TWI377259B - - Google Patents

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TWI377259B
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TW
Taiwan
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vacuum
substrate
connecting plate
mask
vapor deposition
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Application number
TW94129324A
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English (en)
Chinese (zh)
Inventor
Toshiyuki Okada
Masahiro Kikuchi
Original Assignee
Hitachi Shipbuilding Eng Co
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Publication date
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