TWI360194B - - Google Patents

Description

1360194 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種測試用單元，特別是指一種用於 半導體測試領域的非對稱彈力之測試單元。 【先前技術】 隨著半導體技術的進步，對於測試機具精密度的要求 大幅提尚，在高頻測試的情況下測試訊號則藉由探針的傳 遞，因此當探針具有許多接觸點時，易產生不連續面而形 成阻抗不連續，造成測試訊號反射損耗失真，並且，過多 的接觸接點亦會使得探針的反應速度較慢，影響測試的正 確性。 參閱圖1，傳統測試用探針丨是可置換地設置於一測試 座1〇〇的一探針孔2〇〇中，用以電連接一測試接點3〇〇以 及一收訊接點400。 該測試用探針1是以導電材料製成，並包括一穿設於 該探針孔200的殼體件u、一上接觸件12、一下接觸件13 ’及一彈性元件14。 該殼體件11具有一中空的底壁m、一由該底壁m 之外周緣向上延伸的圍繞壁112 '一由該圍繞壁112之頂端 徑向向内延伸之中空的頂壁113,及一由該底壁lu與圍繞 壁112及頂壁113所界定的穿孔114。 该上接觸件12是可上下移動地設置於該殼體件u的穿 孔114上半部，並具有一可移動地抵靠該頂壁丨丨3之底面的 抵靠部121、一由該抵靠部ι21向下延伸的連接部122，及 5 1360194 由4抵罪部121向上延伸並穿過該頂壁113而可接觸該待 測接點300的接觸部123。 該下接觸件13是可上下移動地設置於該殼體件1〗的穿 孔二14下半部’並具有—可移動地抵靠該底壁⑴之頂面的 抵靠部131、一由該抵靠部131向上延伸的連接部132，及 由該抵罪邹131向下延伸並穿過該底壁111而可接觸該收 訊接點400的接觸部133。 °

該彈性元件14是可壓縮形變地設置於該殼體件Η之穿 孔U4内，且二端分別連接該上接觸件12的連接部122及 該了接觸件13的連接部132，並用於因應該待測接點· 及该收訊接點400的間距緩衝調變該上、下接觸件ΐ2、η 的距離。该彈性元件Μ是一壓縮彈簧。 / 0 2 ’使用時，將該測試座100設置於該收訊接點

上方’且使該下接觸件13之接觸部133接觸該收訊接 ‘零400’並使該待測接點3〇〇接觸該上接觸们2之接觸部 123 ’依據該待測接點則及該收訊接點彻的間距，該上 :下接觸件12、13相應配合_該彈性元件14，使該彈性 ^牛14偏斜抵#該殼體件u，㈣得該上接觸件η 及該下接觸件13的接觸部133同時偏魏靠該殼 u牛u，而沿該待測接點则、該上接觸件12、該殼㈣ “下接觸件13及該收訊接點_形成電通路。 件：广Λ於使用時，該上、下接觸件12、13及該彈性元 接觸邱疋&者該威體件U運動’僅依靠該上接觸件12的 接觸部⑵及該下接觸件13的接觸部133同時偏斜抵靠該 6 1360194

殼體件11形成電導通，彼此間實際接觸面積並不大，且較 多的接觸點相對會使訊號傳輸時的阻抗加大，而不利半^ 體測試’不僅訊號傳輸速度無法有效提升，另一方面，因 元件表面互相摩擦而刮落的顆粒，將沉積於該殼體件η内 ，影響訊息傳遞的正確性，再者，傳統測試用探針丨的部 品元件多，因此組裝費時且不易，故製造成本較高。。 【發明内容】

因此，本發明之㈣，即錢供一種可有料低阻抗 ，並增加訊息傳遞之正確性的非對稱彈力之測試單元 几 二於是，本發明的非對稱彈力之測試單元是設置於一測 試座的測試孔中，該測言式孔的内周面形成_纟冑—開放部 的溝槽，該非對稱彈力之測試單元是以導電材料製成，i

用以電連接一待測接點及一收訊接點，包含一本體 位件。 R

該本體可形變地設置於該測試孔中，包括一基部、— 由該基部的一端向一第一方向延伸的第一彈性部、—由該 第-彈性部向該測試座頂面方向延伸的第一接觸部、一由 該基部的另_端實質上向該第—方向延伸的第二彈 由該第二彈性部向該測試座底面方向延伸的第二接觸 等中’该第一接觸部的頂端凸伸出該測試座的頂面， >且電連接至該待測接點，該第二接觸部的頂端凸伸出該例 5式座的底面’且電連接至該收訊接點。 、 方向的方向 内’該限位 該限位件自該本體的基部往相反於該第一 體突伸，且可分離地插設於該測試孔的溝槽 7 1360194 件包括一與5玄基部連接的連結部，及一由該限位件側面6 外突伸的限位突塊，其中，當該限位件插設於該溝槽内時 ，該連結部可與該溝槽的開放部相楔合，且該限位突塊可 卡抵於溝槽内，因此可將該本體固定於該測試孔中。 本發明之功效在於：藉由插設於該溝槽中的該限位件 提供一穩固的支點，致使該本體產生彈性回復力，該第_ 接觸部與第二接觸部分別向上與向下頂抵該待測接點與該 收訊接點’形成穩固的電通路，該本體不因受該待測接點 的推擠而搖晃或傾倒，發生訊號不穩定或斷路，增加訊息 傳遞之正確性。 【實施方式】 有關本發明之前述及其他技術内容、特點與功效，在 以下配合參考圖式之四個較佳實施例的詳細說明中，將可 清楚的呈現。 在本發明被詳細描述之前，要注意的是，在以下的說 明内容中’類似的元件是以相同的編號來表示。 參閱圖3，為本發明非對稱彈力之測試單元5的第一較 佳實施例’該非對稱彈力之測試單元5是設置於一測試座6 的測試孔61中，該測試孔61的内周面形成一具有〆開放 部621的溝槽62 ’該非對稱彈力之測試單元5用以電連接 待測接點300及一收訊接點4〇〇。 該非對稱彈力之測試單元5是以導電材料製成包含 一本體51及一限位件52。 該本體51概呈c型且可形變地設置於該測試孔61中 8 1360194 ，包括一基部511、一由該基部511的一端向一第一方向 7〇〇延伸的第-彈性部512、—由該第—彈性部512向該測 試座6頂面方向延伸的第-接觸部513、-由該基部511的 另螭實貝上向該第一方向700延伸的第二彈性部514，及 一由該第二彈性部514向該測試座6底面方向延伸的第二 接觸部515,其中’該第—接觸部513的頂端凸伸出該測試 座6的頂面，且電連接至該待測接點3〇〇，該第二接觸部 515的頂端&伸出該測試座6的底面，且電連接至該收訊接 點400，在此應特別注意的是該第一接觸部$丨3與第二接觸 部515的形式並非僅限於圖式中所繪，舉凡平頭式、尖頭 式、或其他形式皆可，端視該待測接點3〇〇與收訊接點4〇〇 的態樣而有所改變，實際實施時還可以有很多的變化，不 應以本實施例所揭露為限。 該限位件52自該本體51的基部511往相反於該第一方 向700的方向一體突伸，且可分離地插設於該測試孔61的 溝槽62内，該限位件52包括一與該基部511連揍的連結部 52卜及一由該限位件52側面向外突伸的限位突塊522，其 中，當§亥限位件52插设於該溝槽62内時，該連結部521 可與該溝槽62的開放部621相楔合，且該限位突塊522可 卡抵於溝槽62内，因此可將該本體51固定於該測試孔61 中，此外，該限位件52的形式可因應該溝槽62的變化， 以及隨設計的需求而改變，不應以本實施例所揭露的態樣 為限，並且，該限位突塊522的形式可以隨設計的需求而 改變，亦不應以本實施例所揭露為限。 9 ^〇υΐ94 參閱圖4 ’當使用該第一較佳實施例的非對稱彈力之測 。式單7L 5騎半導體測試時，是先將該測試座6設置於該 收訊接點4GG的上方’並使該本體51的第二接觸部515接 觸該收訊接點400,當該待測接點鳩接觸該本體5ι的第 -接觸部513 _，即會將該第一接觸部513向下推擠連 動擠壓該第一彈性部512、基部511，及第二彈性部514產 生形變，並且，插設於該溝槽62中的該限位件52提供—

穩固的支點，致使該本體51產生—彈性回復力該第一接 觸。Ρ 513與第一接觸部515分別向上與向下頂抵該待測接 點300與該收訊接點侧，因此沿該待測接點、該第— ^觸部5Π、該第-彈性部512、該基部5ιι、該第二彈性 4 514、該第一接觸部515，及該收訊接點彻形成一穩固

的電通路’再者，該限位件52將該本體51固定於該測試 孔61中’當該待測接點細向下推撥該第—接觸部⑴時 亥本體51不會因為受推擠而在該測試孔6ι中搖晃或傾 幻因而發生訊號不穩定或斷路的狀況。 參閱圖5 ’為本發明㈣稱彈力之測試單元5的第二較 ，實施例’該第二較佳實施例大致與該第—較佳實施例相 同„不同之處在於：該第二較佳實施例的非對稱彈力之測 試=元5更包含_設置於該本體51的第一彈性部512與第 二彈性部514間的緩衝元件53，當該待測接點300接觸該 、體51的第-接觸部513，該第一接觸部⑴受到推擠， 連動擠[該第-彈性部512、基部511、第二彈性部514， 及該緩衝元件53產生形變，因此該緩衝元件53輔助該本 10 體/1產生—較該第，實施例更大的彈性回復力，因此即使 接觸。p 513文到該待測接點3〇〇較大的向下擠麼力 該本體51不致產生彈性疲乏，該第-接觸部513以及 該弟二接觸部515仍可與該待測接點以及該收訊接點 :〇 '成一穩固的電通路，並且’在本實施例中，該緩衝元 53是一彈性膠條，但不應以本實施例所揭露為限。 /閱Q 6為本發明非對稱彈力之測試單元5之第三較 佳貫施例，該第三較佳實施例大致與該第一較佳實施例相 δ不同之處在於.该第二彈性部514由該基部⑴向該第 方向7〇0延伸與該基部511間形成一角度為90度的夾角 /並且„亥限位件52概呈L型地自該本體^的基部W U目反於4第方向彻的方向一體突伸，因此相較於該 第—實施例而言’該非對稱彈力之測試單元5設置於該測 式孔61内時具有較多的接觸面積因此當第—接觸部M3 受到該待測接‘點_較大的向下擠壓力時，可.產生一較該 第一實施例較大的反作用力，以抵消過大的向下擠壓力， 致使》亥本體51不致產生彈性疲乏該第一接觸部以及 觸部515仍可與該待測接點以及該收訊接點 400形成一穩固的電通路。 參閱圖7 ’為本發明非對稱彈力之測試單元$之第四較 佳實施例’該第四較佳實施例大致與該第三較佳實施例相 同’不同之處在於：該第四較佳實施例的非對稱彈力之測 試單元5更包含一設置於該本體51的第一彈性部512與第 二彈性部514間的緩衝元件53，該緩衝元件”與該第二實 1360194 施例之緩衝元件53相同可輔助該本體51產生一較該第三 實施例更大的彈性回復力，使該本體51不致產生彈性疲乏 以形成一穩固的電通路，在本實施例中，該緩衝元件53是 一彈性膠條’但不應以本實施例所揭露為限。 综上所述’本發明非對稱彈力之測試單元5相較習知 的測試用探針1能有效地減少接觸接點，相對使訊號傳輸 時的阻抗減少，有效提升訊號傳輸的速度，並藉由該限位 件52將s玄本體51固定於測試孔6丨中，且該本體5丨與該 緩衝元件53可形變地產生彈性回復力，使該第一接觸部 513與該第二接觸部515得以穩固地電連接該待測接點· 與該收訊接點_，避免雜訊產生，進而提高訊息傳輸的正 確性，此外，本發明非對稱彈力之測試單元5與傳統習知 的測試用探針1相較具有較少的部品元件，組裝方便省時 ，且可有效減少製造生產的成本，本發明非對稱彈力之測 试單元5故確實能達成本發明之目的。 惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不 能以此限定本發明實施之範圍’即大凡依本發明中請專利 範圍及發明說明内容所作之簡單的等效變化與修飾皆仍 屬本發明專利涵蓋之範圍内。 12 1360194 【圖式簡單說明】 圖1是一剖視圖，說明一傳統的測試用探針設置於一 測試座的一探針孔，且尚未電連接一待測接點及一收訊接 點時的狀態； 圖2是一剖視圖，說明圖丨之傳統的測試用探針的二 端分別接觸該待測接點及該收訊接點時的狀態； 圖3是一剖視圖，說明本發明非對稱彈力之測試單元 的第一較佳實施例，並說明其設置於該測試座的探針孔且 尚未電連接該待測接點及該收訊接點時的狀態； 圖4是一剖視圖，配合說明圖3，為該第一較佳實施例 的非對稱彈力之測試單元的第一接觸部與第二接觸分別接 觸該待測接點及該收訊接點時的狀態； 圖5是一剖視圖，說明本發明非對稱彈力之測試單元 的第二較佳實施例； 圖6是一剖視圖，說明本發明非對稱彈力之測試單元 的第三較佳實施例；及 圖7是一剖視圖，說明本發明非對稱彈力之測試單元 的第四較佳實施例。 13 1360194 【主要元件符成说明】 300 待測接點 52 限位件 400 收訊接點 521 連結部 5 非對稱彈力之 522 限位突塊 測試單元 53 緩衝元件 51 本體 6 測試座 511 基部 61 測試孔 512 第一彈性部 62 溝槽 513 第一接觸部 621 開放部 514 第二彈性部 700 第一方向 515 第二接觸部 14

Claims (1)

1360194 十、申請專利範圍： :種非對稱彈力之測試單元，是設置於-測試座的一測 試孔中，該測試孔的内周面形成一具有一開放部的溝槽 ，該非對稱彈力之測試單元是以導電材料製成，包含： —本體，可形變地設置於該測試孔中，包括一基部 由。玄基。卩的一端向一第一方向延伸的第一彈性部、 由*亥第一彈性部向該測試座頂面的方向延伸的第一接 觸邠，一由該基部的另一端實質上向該第一方向延伸的 第一彈性部，及一由該第二彈性部向該測試座底面的方 向延伸的第二接觸部；及 一限位件，自該本體一體突伸且可分離地插設於該 測试孔的溝槽内’用以將該本體固定於該測試孔中。 據申專利範圍第1項所述的非對稱彈力之測試單元 ’其中，該限位件自該本體的基部往相反於該第一方向 的方向一體突伸。 3.依據申請專利範圍第2項所述的非對稱彈力之測試單元 ’其中，該限值件包括一由該限位件側面向外突伸的限 位犬塊’當該限位件插設於該測試孔的溝槽内時，該限 位突塊可卡抵於該溝槽内以供固定。 4·依據申請專利範圍第3項所述的非對稱彈力之測試單元 更包含一設置於該本體的第一彈性部與第二彈性部間的 緩衝元件’該緩衝元件可供增加該本體的彈性回復力。 5.依據申請專利範圍第4項所述的非對稱彈力之測試單元 ’其中’該緩衝元件是一彈性膠條。 15 1360194 6.依據_請專利範圍第5項所述的非對稱彈力之測試單元 ’其中’該限位件更包括一與該基部連接的連結部，當 該限位件插設於該測試孔的溝槽内時，該連結部與該開 放部相換合以供固定。 7·依據中請專利範圍第6項所述的非對稱彈力之測試單元 ，其中，該第一接觸部的頂端凸伸出該測試座的頂面， 且該第二接觸部的頂端凸伸出該測試座的底面。

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