1359215 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種裝置及—種方法,㈣置及方法用於 電解處理平坦工件,更具體而言用於電解處理於傳送帶化 傳送線中形成平坦形狀(例如形成㈣板形狀)之卫件表面 上的彼此電絕緣之導電結構。 【先前技術】 為製造晶片卡(智慧卡)、食品價格標鐵或識別標藏,人 們使用落狀塑膠,其上製作有適宜之電功能所需之導電結 構。 傳統方法採用(例如)_ . }使用蝕刻製程可自其製作所期望 金屬圖案之塗銅材料。為降低 m此万去之成本並允許製造出 比使用該蝕刻製程所能達成 |此運成之彼專結構更精細之結構’存 在一使用電解沉積法激竹么s 蓋阁m 作金屬結構之意圖。第4,56M45號 美國專利中闡述了此—用 用於1k天線線圈之習知方法。因 此’可使用包括以下方法丰碰A ‘ v驟方法序列於一聚烯烴薄膜 上1作金屬結構:膨脹、 蝕幻。周卽塑膠材料供隨後吸附 催化活性金屬;沉積催 r金屬,以一負影像形式印刷 -、——加速催化活性連接;無電及電解金屬電鍍。 用於金屬電鍍條帶之製程包括數種電鐘方.法。多年來, 的直將所明捲帶式處理設備作為傳送帶化傳送線用於 二間’㈣㈣送通過並與處理液體接 觸:電接觸該等條帶供進行電解金屬沉積。接觸電極適合; 於此目的。對於電解處理而言,可在該處理設備中之處理 102691.doc 1359215 液體内設置兩個所需之電極(即接觸電極及反電極)或僅設 置反電極。 例如,DE 100 65 643 C2闡述了一種用於電鐘或用於電 解姓刻導電條帶形工件之裝置,其中用於建立電接觸的兩 個接觸輥及該反電極均被設置在電解槽内。此佈局之問題 係於接觸輥於電解槽内亦會被金屬電鍍,以致存在沉積在 接觸輥上之金屬損壞敏感箔膜之風險。 出於避免或減少電解槽内陰極上沉積金屬之目的, WO 〇3/〇 38158A闌述一種用於藉由對已在用於條帶之捲帶 式叹備中構造成在基板上導電之結構實施電鍍之加強型電 鍍5又備,其令一陽極及一旋轉接觸輥皆位於一電解槽中。 在其㈣板旋轉的—側Λ,接觸輕被連接至一直流電源之 負極而在旋轉離開基板的一側上,則連接至該電源之正 極。此可藉由以類似於分割直流馬達集電極之方式分割該 接觸輥而使之成為可能。作為—結果,可藉由將電位改向 陽極來剝紅常作業時該輥旋轉—圈期間沉積於該接觸親 上之金屬。此方法之主要缺點係:當沉積於該輔助陰極上 之層變得㈣愈料,必須定期自機器上移除自該經陽極 極化之接觸輥上移除之金屬。 基本缺點釭.僅可電解處理在其整個區域上導電之 (Li、夭、不此電解處理彼此電絕緣且期望用於產生 (例如)天線線圈之結構。 材::面:V:9 51 325…揭示了一種用於對電絕緣荡膜 材枓表面上彼此電絕緣之導電結構實施非接觸式電解處理 I0269I.doc 1359215 之裝置及方法。由此’將該材料於一傳送路徑上傳送邊過 一處理設備,同時使其與處理液體接觸。在運輸過程中, 該材料被引導穿過至少一個各由一經陰極極化電極及一經 陽極極化電極構成之電極佈局,使該經陰極極化電極及該 經陽極極化電極輪流與處理液體接觸。一電源使電流流經 該等電極及該等導電結構。出於此目的,以基本上不允許 電流在該兩個相反極化電極之間直接流動之方式將該等電 極彼此屏蔽。所述方法之一缺點係所沉積之金屬層僅具有 _ 減小的塗覆厚度,此乃因:作為該電極佈局之—結果, 金屬一方面被沉積,而當工件被引導穿過該陰極極化電極 時另一方面亦會至少部分地被再次溶解。 DE 1〇〇 65 649 A1提出一種用於對具有一導電表面之撓 性條帶實施電化學捲轴式處理之裝置,該裝置具有一位於 該電解液外側的陰極接觸輥。其周圍纏繞有該等條帶之特 殊陽極輥以可旋轉方式設置於電解液中。因此,該等陽極 籲幸昆具有彳滲透離子的電絕緣層,該電絕緣層使該等條帶 保持與該陽極間隔開一規定且盡可能小的距離。但是,其 不能處理具有彼此電絕緣之結構之表面。 DE 44 13 149 A1闡述了 一種用於印刷電路板之傳送帶化 a ’X線其特別包括了接觸輥及(例如)電解液中之可溶式 陽極為避免在給擬金屬化物件提供㈣接觸之接觸輥之 接觸,面上沉積非期望之金屬,在接觸輕上設置接觸扇 =等接觸扇區藉由-換向器交替地被陰極化或被陽極 β /、/、忒物件之陰極接觸而同時於旋轉離開該物件之 102691.doc ^^215 區域中被陽極化。作為 成直接之自卿結果,在非期望之金屬沉積後達 作為、°果該等習知方法*允許電解處理具有較小及 極小結構之表δ,該等結 理或傳送帶化線中成本效::緣且(例如)於條帶處 絕緣工件上。纟本4地㈣膜條帶形式沉積於一電 及本發明之根本問題係、避免該等習知電解處理裝置 及方=之缺點且更特定而言發現一種允許連續電解處理電 絕緣箔膜或板材料之表面 上被此電絕緣之導電結構以藉此 改良習知技街之裝置及方达 士… 置及方法。出於此目的,該裝置應具有 一極緊岔之構造且更具體 5 k供接觸兀件以避免與該等 接觸兀件之一非期望金屬化相關之該等習知問題。更且體 而言’該方法及該裝置意在用於譲膜材料,該落膜材 枓配備有極小之導電結構且可用作(例如)用於標記及自動 識別及分配配送站中貨物之晶片卡的-組件或用作(例如) 用於出入控制之雷早,%丨上 狀電子4料。可以極低之成本超大規模地 '造此類電子組件。進一步’可利用該方法及該裝置來製 造印刷電路技術中之印刷電路羯膜及汽車工程中或通訊電 子裝置中之具有普通電路(例如用於玩具)之印刷電路箱 膜。進-步,該裝置及該方法將允許增加塗覆厚度。 、於克服此問題中’本發明提供如請求項1之裝置及如請 求頁之方法。附屬申清專利範圍中將描繪本發明之較佳 實施例。 本發明之方法及裝置用於電解處理(更特定而言)電絕緣 102691.doc 上359215 平坦工件之表面上或平坦工件上完全導電之表面上彼此電 絕緣之小導電結構,此等工件較佳呈條帶或板形狀,更具 體而言呈具有此等導電結構之塑膠帶(塑膠箔膜)或耐化學 紙(例如,樹脂浸潰紙)之形式.此類型結構具有數個公分 (例如2至5 cm)之尺寸。較佳地,該裝置及該方法用於藉由 相應地改變該等扇段相對於各自所貼靠工件之極性來實施 金屬化製程及剝離製程(蝕刻、輕微蝕刻)。出於簡單之緣 故本文k後給出之說明係關於金屬化製程。 【發明内容】 本發明之裝置包括: a) 至少兩㈣送路徑,該兩個傳送路徑大體上彼此平行 延伸且在該等傳送路徑上該等工件較佳沿一相應之傳 送方向連續傳送而該等工件上之結構被電解處理, b) 至少-個總成’該總成係設置於該等傳送路徑之間且 包括-第-可旋轉接觸電極及一第二可旋轉接觸電 極,而該第一及第二接觸電極係與該等傳送路徑中一 f應傳送路徑相關聯,其中該第-及第二電㈣靠於 ^等件上而同時與相應的另一傳送路徑間隔開,其 中 ’、 第-及第二接觸電極在其周邊上各包括至少兩個扇 段’該等扇段彼此絕緣且連接至一電源,其中 d)該第-接觸電極之―第—扇段,其點靠在第—傳送路 控上傳送之該等工件上;該第二接觸電極之一第一扇 段’其貼靠在第二傳送路徑上傳送之該等工件上,該 I0269i.doc 第一及第二接觸電極之該等第一扇段皆 之-第接至这电源 a)該第一接觸電極 上 < 弟-扇奴,其朝該第二傳送路徑 該垃工件旋轉且與該第二傳送路徑間隔開;及 上正傳送觸電極之一第二扇段,其朝該第一傳送路徑 等第轉且與該第一傳送路徑間隔開;該 =-^連接至該電源之_第二極,以便在該第一 第-接觸電極之該等第二扇段與該等工件之 用於處理該等工件之電解 雷2、* ’ 區, 电解,一電流流過該等電解 及 b)該總成及該等工件與―電解液接觸。 應瞭解,本文中所使用術語「總成」係界定 ^個具有上述特徵b)、c)、d)及e)之接觸電極之總成。因 f涵蓋任一其中該裝置包括一個或二 〜成而母-個總成或至少一個總成包括兩個或兩且 有該等上述特徵之接觸電極之結構。 八 該等接觸電極具有-導電表面且較佳配置有以_類 T直流馬達令之集電極之方式分割的扇段。該等扇段較# 藉助...邑緣件而彼此絕緣。可藉由滑動觸點、捲轴觸點 觸點將電流輸送至不同之扇段。 ’’ s水 可於毗鄰接觸電極之間進一步設置電絕緣隔離牆以防止 或減小流過該等破鄰接觸電極之間的直流電流。進一步, 可緊密地並排佈置該等接觸電極以便亦能夠充分地接觸 尺寸結構。 102691.doc -11 - 一總成之該等接觸電極較 較佳以大體相同之速度旋轉。出 於此目的,可在一總虚夕兮1 , 〜成之该兩個接觸電極之間連接同步構 件。可將連接該等接觸雷炻沾 極的齒輪形式之中間輪、有齒皮 帶、鏈條或類似裝置皆用作同步構件。 本發明之裝置及方法之特定特徵在於該等可旋轉接觸電 極之雙重功能:藉由將該等接觸電極同時在朝該第一傳送 路徑旋轉側上極化為陽極而在朝該第二傳送路徑旋轉侧上 極化為陰極,當朝該第二傳送路徑旋轉的用於接觸該等工 件之電極側被陰極極化時已沉積在該接觸電極上之非合意 金屬將於對置侧上被剝離且在朝該第—傳送路徑旋轉之電 極侧用作陽極時被沉積於該等工件上。出於此目的,該等 工件經由該第一接觸電極之第—扇段及經由該第二接觸電 極之第-扇段(其各貼靠在該等傳送路徑之一相應傳送路 徑上之工件上)電連接至一電源之一(第一)極。該第一接觸 電極之第一扇段及該第二基礎電極之第二扇段(其各自朝 另一相應傳送路徑上之工件旋轉)被電連接至該電源之另 一(第二)極,而且不接觸正於此等傳送路徑上傳送之工 件。作為一結果,一電流流過於該第一及第二接觸電極之 該等第二扇段與該等被接觸工件之間形成的用於處理該等 工件之電解區E。因此,自该第二扇段剝離之金屬將被沉 積於該等工件上。出於此目的,該等電解區E形成相應之 電解池。當該總成之該等接觸電極旋轉時,該等扇段會相 應地改變極性且因此第一扇段將變成第二扇段且反之亦 然。金屬將可能被沉積於該先前經陰極極化之(第―)扇段 102691 .doc -12· 1359215 上且若其經陽極極化而變成第二扇段,則其將被再次溶 解,此將導致該總成之該等接觸電極被自我剝離且用於剝 離該等接觸電極之電流同時用於對工件實施金屬化。該等 接觸電極之有利的雙重功能及該等接觸電極之扇段在旋轉 期間之極性改變皆取決於在旋轉期間該等扇段是否貼靠在 工件上,此允許防止金屬累積於該等接觸電極上且因此防 止干擾電鍍製程》 之輔助電極亦省去附加 有效且緊密之結構以允 此既省去用於剝離該等接觸電極 之陽極。此使得可提供一種具有一 許在無需較大能源、材料及維修費用之情形下達成良好塗 覆厚度之裴置。 對於電解處理工件而言,可在金屬化製程期間沉積諸如 銅、鎳、金、銀、鉑、錫或其合金等金屬。若該等工件將 被施以金屬電鍍,則該等接觸電極貼靠在工件上或於其上 滾動之彼等扇段(第一扇段)之電位可(例如)朝陰極改變, 而未貼靠在該等工件上但與其間隔開之彼等扇段(第二扇 &)則被%極化。作為一結果,在一個傳送路徑上之經陰 極極化工件與一總成之兩個接觸電極之第二接觸電極之經 陽極化第二扇段之間形成一第一電解區而相應地在另一傳 送路徑上之經陰極極化工件與第一接觸電極之經陽極化扇 段之間形成一第二電解區。若欲自工件上電解移除(剝離) 金屬’則相應地以相反極性極化該等扇段。 為達成對工件之有效電解處理,可在傳送路徑之間設置 複數個總成。亦可將各自具有複數個總成之複數個裝置前 10269l.doc 丄切215 後排成一列及/或並排地(彼此上下4幻設置於一處理線 内為改良工件導向且更具體而言改良接觸,可在工件另 -側上該等接觸電極之對面(例如,正對面)設置數個附加 之傳送捲轴。該等傳送捲轴亦在工件上滚動。可將複數個 此類型之處理線安裝成-列且該等處理線可進一步包括各 種站,例如用於工件之乾燥站、儲存站及其它站。 對於處理而言,係在分別朝該等接觸電極旋轉之側上電 解處理工件之表面。可以不同方式於該裝置内處理(例如) /等”有彼此電絕緣之小導電結構之卫件(塑膠條帶、耐 化學紙(例如樹脂浸潰紙)或板)。例如,可在各種流之輪送 方向係相同或相反之情況下所有傳送路徑上處理工件之不 Z流。進—步可引導穿過該裝置且於其中僅處理一個工件 μ ’於此情形下,在該裝置相應之反轉點處設置再定向或 輸送構件,例如旋轉輕或其它再定向或輸送裝置,該等構 ,用於將工件自—傳送路徑再定向或輸送至另—傳送路 徑,由此在上行路徑或在返迴路徑上移動該等工件通過 觸電極。 若藉由設置於該材料中之電鑛通孔將該等卫件之相同表 ,面上與其它結構電絕緣之該等導電結構電連接至設置於該 寻,件之相應對置表面上之其它結構,則亦可電解處理轉 /等接觸電極之該等側,此乃因位於末端側上之該等結 構會因此經由該等電鍍通孔被電接觸。於此情形下,提供 附加之工作電極’例如設置於該等工件不朝該等接觸電極 旋轉之側上之其他陽極(附加之陽極)。對於處理兩側而 I02691.doc 1划215 言,可使用可溶及不可溶陽極作為該等陽極。 若:貫二電鍍該等結構,亦可以此一方式佈置該等總 再疋向或輸送構件弓1導該等工件在複數個傳送路 =穿過該裝置’而該等傳送路徑位於該等總成之間以便 可在任一側上處理該等工件。 於此铋形下,於一特定實施 Η中,在未為工件提供傳送 型㈣職㈣(例如,金層板下’可引導所謂模 金屬板或一無接頭金屬環帶)穿過該等 接觸電極總成並予以處理,而非相應外側傳送路徑上之工 :。該等模型皆係經電接觸,因此構成該等接觸電極之經 陽極極化外部扇段之—好技 反極。已沉積於該等模型上之金屬 或在該等模型離開該裝置後被化學银刻掉,或者(例如)於 一無接頭金屬環帶之,f香:η:彡π , 衣咿之丨月形下,可在返迴路徑上被電解移 ^為達成可再循環性’該等模型較佳由不錄鋼構成。於 »玄等工件係被引導於兩個田比鄰總成之間之情形下,此實施 例係適合;於此實施方案中,該兩個毗鄰總成共用-個傳 送路徑(以於此傳送路徑上處理該等工件)。 車乂佳亦可使用該等接觸電極來傳送工件以便可藉由省去 僅適用於輸达之構件(例如傳送輥或捲軸)進-步減小該裝 置之複雜性。 6亥等接觸電極之間的間距應選擇得如此小以致於仍可以 =電電流輕易地電解處理例如2至5 e m之極小的導電結構。 右》玄間距因《等接觸電極之所選擇直徑而不可能再減小, 則田沿工件之運輸方向觀看時此等工件亦可相互套在一 起出於此目的,設置於該等接觸電極之間的絕緣隔離牆 102691 .doc -15- U59215 ° /、有彎曲形狀❶該等絕緣牆之彎曲形狀亦允許減少該 觸電極上集電極形狀之扇段數量,此乃因該等絕緣牆 提供之屏蔽效應構成一較大的周圍區域》作為一結果,給 反電極側供應電流之滑動觸點亦可被選擇為具有一較在工 件上滚動之電極側為大之尺寸以便可延長金屬化製程之持 續時間。 錯由以此方式佈置該等接觸電極,可靠地金屬化甚至極 小的彼此電絕緣之結構。該等毗鄰接觸電極之間的間距越 小’該等結構之末端區域及中心區域内之塗覆厚度差異越 小(當沿輸送方向觀看時)。此乃因下述事實:該等結構被 該等接觸電極同時接觸且僅在引導穿過本發明裝置之傳送 路徑中之某一行進距離上位於電解區中。至於末端區域, 此規則僅在該裝置中該等接觸電極之間的間距係如此之小 以致於當該等工件被傳送穿過該裝置時該等結構可始終被 至少一個接觸電極電接觸之情況下適用。此僅在該等結構 相當大或該等接觸觸點之間的間距甚小之情況下才係可 能。因此,多數情形下,該等接觸電極之間的間距應至多 為數個公分,以允許盡可能切實可行地均勻地金屬化僅具 有數個公分尺寸之結構。 原理上,可設想具有複數個實施例可用於實現前述原 理。一特別佳的第一實施例在於··以水平輸送方向在裝置 中傳送工件。於此情形下,可在水平或垂直或沿一傾=定 向傳送該等工件。該裝置在入口側上包括至少一個開孔及 其出口側上包括一個開孔(例如,凹槽)以允許工件進出該 I0269I.doc -16 - 丄 裝置0為防止月夕 斤 過夕處理液體流過該等凹槽’可在該傳送路 徑任一側上之# —牛^ ^玄4開孔上設置密封元件(例如密封輥)。進 , 可裱繞該等通道開孔設置數個防濺板及一用於 液體之收集罐式 , 、 罐次—位於該等通道開孔下方之相應的腔室。 外流處理液體藤隹 集於收集罐中並藉助適宜的泵及管道返 至本發明之裝置。 於該裝詈47,·ΪΠ· i r 可將複數個接觸電極總成前後設一列。由 此’可達成該裝置之一極緊密結構且作為其一結果,亦達 成該等電解區之極緊密結構。 ~更具體而言’於該等接觸電極間所達成之最小間距亦確 定奴處理絕緣結構之最小尺寸。該最小間距尤其取決於接 觸電極之空間尺寸且取決於電解區中該等接觸電極之扇段 與》亥等工件之間的間距。因&,有利之情形係,將該等接 觸電極構造為具有一較小直徑的輥以便可將該等輥或該等 捲軸電極之縱向軸之間的間距選擇為極小。如此成為可能 之緊密總成允許電解處理約2公分或甚至更小尺寸之結 構0 使用具有最小可能大小之接觸電極(例如,圓形)來減小 該等電極之間的最小間距之目的通常與(更具體而言當使 用彈性接觸材料時)所產生的接觸電極機械不穩定性之問 題相抵觸。但可藉助具有一金屬軸的機械上穩定之接觸輥 來較佳地解決該問題》 當僅在一側上實施處理時,該等接觸電極可(例如)藉助 一接觸輥及一對置的無電流輥(支撐或傳送輥)接觸工件。 10269l.doc 1359215 替代報及捲轴’可利用旨在擦抹工件表面之旋轉刷或導 電的海錦狀裝置用作接觸電極。其先決條件係根據本發明 之適合分段及給該等離散扇段之供電。因此, +允許刷子 或導電塗層之變形產生與毗鄰扇段之短接。 接觸電極藉助傳送捲轴及藉由重力及/或藉由_彈簧力 而被推至工件表面上》 ” 根據本發明之裝置可被設置於—處理罐中,該處理罐可 在工件之入口及出口處包括諸如密封唇等密封元件及/或 用於將液體ρ艮制於處理罐内之刮板,由此形成—電解設 備。可進-步設置擠壓輥’該等擠壓輥可在(例如)自液: 中移除箱膜或板時保留該液體,同時可靠地引導工件。該 等密封構件用於盡可能完全地將液體限制於罐中以在= 之最大程度上防止處理液體㈣。若欲以一豎立位置水;: 傳送工件,此特別重要,此乃因於此情形下’壓力會聚隼 於處理液體t ’作為其-結果則會導致該等通道開孔之^ ^區域中厂堅力極高。亦可自上方經由該液體槽位準將工件 傳送入電解設備巾,特料在擬相材料 下。於此等情況下,益中+由m 4 淠兄下無兩在處理罐之側壁上設置用於該算 工件入口和出口。 寸 ::接觸電極以及工作電極(例如附加之陽極)皆較佳延 产,2體而言可延伸跨越工件的整個有用(擬處理)寬 '父佳基本上橫切於工件之輸送方向。 若欲在該線中處理板形工 轉輥。’則-置輪送裝置來替代旋 輸送裝置由(例如)設置於該等傳送路徑之任一侧 I0269l.doc 1359215 上之傳送或導向捲軸構成。一來自於該一個傳送路徑之板 進入固持其之輸送裝置。當該板已完全進入輸送裝置後, 該裝置即刻繞枢軸旋轉至返回傳送路徑並釋放該板。為防 止傳送路徑上毗鄰板之間的間隔太大,該輸送裝置可(例 如)在該等傳送路徑之間實施一上下運動外,亦實施一向 前與返回運動。該向前與返回運動係選擇得如此之大以致 於輸送後該等板之間的間距相當於輸送前之間距。若欲僅 在一侧上塗覆板形工件,該輸送裝置亦可實施一組合式旋 • 轉及向前/返回運動,以便在該工件已改變方向後,該輸 送裝置會使該先前已朝下轉動之欲處理側將隨後向上朝該 等扇段式接觸電極轉動。輥形接觸電極較佳由彈性導電材 料製造。作為一結果,於一側上,可將—極高之電流傳輸 至該等工件之表面,而在另一側上,該等接觸電極之間的 間距及該等接觸電極與該等電解區之間的間距將減小,此 乃因決定此間距之該等電極與該等工件表面之間的接觸表 面並非係類似剛性輥上之窄長表面而係較寬之表面。 可將金屬/塑膠複合材料,更具體而言由一具有高比例 導電填充物之彈性塑膠形成之複合材料用作接觸電極之彈 性材料。該等複合材料由作為黏結劑之彈性體(諸如橡 膠、電化學穩定之矽或其它彈性塑膠材料)及一導電填充 物構成。該等黏結劑亦包括在電子裝置製作申使用的不完 全固化之導電膠。該導電填充物係在製作期間與此類材料 混合。由此,即可獲得該金屬/塑膠複合物。 亦被稱作填隙成分之該等填充物較佳由呈粉末、纖維' 102691.doc •19· 1359215 針、圓柱、球'絮4、錄及其它形狀之金屬構成。整個 ,觸材料中可包括的填充物之百分比可高達知重量%。隨 著填充物百分比之增加,該金屬/塑朦複合物之彈性將減 弱’但導電性增加。此兩種變化適合於特定應用。任—同 時具有導電性之電化學敎材料皆適合㈣填充物。當前 之填充物係(例如)欽、鈮、翻、金、銀' 不錄鋼及導;炭 (electrocoai)。亦可使用(例如)鐘翻、鍍銀或鍍金顆粒,例 如由鈦、銅、鋁或玻璃製造的球。 於本發明之—特定實施例中,接觸電極之扇段可包括以 一 α>〇之角度朝該電極之軸傾斜且亦以一相對於工件輸送 方向之傾Μ向之數個界線。藉由此規則,由該等扇:之 間的間隔(例如由該等間隔中之絕緣件)產生之一屏蔽效應 將不再被傳遞至工件上之某些區域而將被均化。此外,= 等界線之角度α亦可在一接觸電極之一個或多個扇段上具 有不同的值。可(例如)以一 ζ形線形式構造該等界線。八
:可靠地提供一特別緊密結構’可將該等接觸電極作為 緊也、總成容納於一共用承載框架上。 根據本發明之裝置較佳係條帶處理線中之一組成部分, 每一條帶處理線包括至少-個第一及—個第二用於錯= 件之儲存構件,例如儲存鼓(捲軸至捲軸)^進一步,此類 處理線通常包括用於經由該處理線將工件自該至少一個第 一儲存構件傳送至該至少-個第二儲存構件之傳送部件。 另外,可言免置用於引導敏感工件以使其保精確直線之 構件(例如橫向限界捲軸)及用於修改傳送輥位置之構件 10269 丨.doc •20- 1359215 出於此目的’可沿傳送路徑設置數個感測器,該等感測器 連續地對準工件外邊緣之位置並一旦偵測到非允許之偏差 即刻修改該等用於傳送及/或引導該箔膜之構件。 更具體而言,該裝置適合於在條帶形狀之薄工件(例如 名膜)上 >儿積金屬。此類箔膜可(例如)由聚酯、聚酿胺或聚 稀烴’更具體而言由聚乙烯構成。 更具體而言,可利用該申請專利之裝置在塑膠箔膜材料 上製作線圈形結構。此類線圈形結構可用作天線用於一資 料載體(智慧卡)上之非接觸式資料傳輸;包括此類天線之 載體可(例如)攜載一積體電路,該積體電路與該天線電連 線以將該天線中產生之電脈衝發送至(例如)儲存該等電脈 衝之積體電路或將藉諸該天線接收之資料作為一電信號來 處理。化號處理允許(例如)慮及已儲存之其它資料來轉換 所供應之資料。該如此獲得之資料又被儲存及/或傳送至 該天線。隨後由該天線傳輸之此等資料可被接收於一接收 天線中以使所發射之資料可與(例如)由該天線在資料載體 上所接收之資.料相比較。此類資料載體可(例如)於物流業 中及零售業中用作(例如)貨物上之無接觸式可讀價格標籤 或識別標籤,進一步可用作與人有關的資料載體,例如用 於出入控制之滑雪卡、RF7D(射頻感應裝置)標籤及身份卡 或用作汽車之識別構件。 該等具有電絕緣金屬結構之箔膜之其他應用領域係(例 如)用於製造汽車工程中或通訊電子裝置中之簡單電路, 例如用於玩具或手錶之簡單電路。此等材料可進一步用於 J0269l.doc 1359215 。又備之主動式及被動式電磁屏蔽或用作大樓及服裝織物上 之遮蔽格柵材料。 該等資料载體可由其上已使用本發明之裝置電解產生電 、邑緣構之箔膜(例如聚酯箔臈或聚氣乙稀箔膜)製造而 成。出於此目的,可根據以多重印刷方式於其上產生之結 構圖樣,將具有金屬化結構且使用該裝置製造之該等箔膜 刀隔成對應於相應資料载體大小之離散箔膜片。然後,可 將》玄等積體電路施加至箔片上且將該等金屬結構電連接至 所鈀加的積體電路。更具體而言,一黏結製程可用於此目 的。不僅可以—尚未設置—载體且最、终封裝之晶片形式施 加該等積體電路,且亦可將其施加至一諸如TAB載體 (TAB_帶自動黏結)之載體上並置放於該箔膜上。一旦該積 體電路已完成電接觸,即可將該羯膜片處理成最終資料載 體,該箔膜片進一步與另一箔膜進行層壓以(例如)形成一 其中銲接有天線之卡。更具體而言,可以下述方式製造該 資料載體上之該等電絕緣結構: 較佳於一鍺存鼓上提供呈條帶狀且具有(例如)—介於2 0 _ 50 μπι範圍之厚度及一 20 cm ' 40 Cm或60 cm寬度之镇膜材 料(該搭膜捲繞在該儲存鼓上)。 首先,使該條帶具有因(例如)於該箔膜之表面上印刷一 活化劑漆或一活化劑膏而欲產生之結構。出於此目的,該 漆或膏可(例如)包含一貴金屬複合物、更具體而言包含一 鉑複合物、較佳包含一有機鉑絡合物。此外,該漆或膏包 含一黏結劑以及其他當前組分,例如溶劑、染料及觸變 I02691.doc -22- !359215 wJ。較佳藉助一輥將該漆或膏印刷在被引導通過該輥之箔 膜上,更具體而言,藉助一平版、一凹版或一微影印刷製 程,但亦可藉助網版印刷或藉助捲軸式網版印刷。出於此 目的,將該漆或膏自一儲罐輸送至一分配輥上 Θ场刀-so 輕刀配至β玄印刷輕上且自該印刷觀分配至該箔膜上。使用 合適之到板自該分配輥及自該印刷輥中刮除多餘之漆或 膏。可(例如)以硬鉻塗覆該印刷輥。藉助一軟反壓輥(「軟 輥」)將該謂膜壓靠在印刷輥上以便有效地塗墨。於該活 化劑印刷站後面的一個站中,供乾印刷於該猪膜上之油 墨。出於此目的,傳送該條帶狀箔臈材料穿過一乾燥路 經’該乾燥路徑係由(例如)IR輻射器或熱空氣鼓風機構成 或若該活化劑漆或該活化劑膏中之㈣劑將在u v輕射作 用下以反應方式乾燥(較佳不帶溶劑),則其亦可包括 射器。此等乾燥設備較佳設置於該帶狀材料被傳送穿過的 -乾燥料中。在通過該乾燥站後,該條帶狀材料抵達更 具體而言係由-鼓形成之另—條帶儲存設施。在自該材料 退繞之第-儲存鼓至該材料被重新收集之第二儲存鼓之路 途上’藉由捲軸(捲轴方法)導向並牵仲該材料。接下來, 以無電方式及/或電解方式金屬電錢已印刷有活化劑漆或 活化劑膏之條帶狀荡膜以形成該等金屬結構。 出於此目的,自該儲存鼓上退繞已印刷有活化劑漆或膏 :之泊膜並將其引導穿過—處理線之各個連續的處理站,該 條帶狀材料藉由旋轉輥導向並被牽伸(捲軸方法)。原理 上,亦可將該條帶狀材料直接自印刷製程傳送至渴式化與 102691.doc •23- 1359215 處理而不對該材料做任何進一步之中間儲存。 於一第一處理步驟中,該經印刷之材料被輸送至一還原 劑中,該還原劑往往係一於一水溶液(例如硼氫化鈉)、一 氨基硼烷(例如二甲胺基硼烷)或一次亞磷酸鹽中之強還原 劑。於該還原劑中,包含於該漆或該膏中之氧化貴金屬被 還原成金屬性貴金屬’例如還原成金屬性鉑。在還原後, 該條帶被饋送至一沖洗站,於此處用水將多餘的還原劑沖 洗掉。較佳將一喷淋沖洗站用於此目的。接下來,以無電 弋將極薄(0.2_0·5 μιη厚)之銅層沉積於該等活化劑結構 上。銅沉積於該等結構上係由該還原劑内形成之貴金屬核 所引發’而在未印刷之區域上則不沉積銅。一包含甲醛以 及酒石^鹽、乙二胺四乙酸鹽或四(丙♦基)·乙二胺之 見用電解槽可用作該銅電解槽。在鍍銅後,該條帶狀材料 破傳达至-冲洗站,其中藉由水喷淋沖洗剝除多餘之 鍍溶液。 來將6亥條帶狀材料饋送至本發明之裝置,其中有 選擇地給該等現已導電之結構塗覆其他金屬(例如/銅)。 較佳地,沉錄加 ,。。可將任何習知之電解鍍銅電鍍槽用於電 解鋼沉積,々,丨Α ^ 3焦磷酸鹽、硫酸、鉀磺酸、氨基磺酸 或四氟醆之雷綠& 土只口夂 又槽。一特別合適之電鍍槽係一可包含硫酸 銅、硫酸及少Θ 、 物、聚 夏氣化物以及添加劑(例如有機硫磺複合 酸電錢Li::複合物及聚乙雄醇)之疏酸電鑛槽。該硫 溫度下運作2盡可能咼的陰極電流密度在—接近室溫之 又 。若選擇一(例如A/dm2(有效結構表面)之 102691 .doc •24· 1359215 陰極電流密度,將會以一約2 μιη/rnin之速率沉積銅。若該 绪膜條帶傳送穿過本發明裝置之速度係丨米/分鐘而該等工 件通過一次,則藉助一約2.5至7.5来長的線,可沉積一自5 至15 4爪厚的銅層。若將該材料傳送穿過該裝置數次,則 可相應縮短該線或可沉積金屬以提供更大的塗覆厚度。 可以直流形式將電流供應至本發明裝置中之工件及電 極。於一特定實施例中,亦可採用脈衝電流。脈衝電流有 利的用於產生一盡可能高的電流密度,此乃因亦可於此等 條件下沉積一呈現良好性質(諸如光滑、低粗糙度、均勻 塗覆厚度、良好延展性、導電性等高表面品質)之金屬, 例如,一銅層。出於此目的,較佳利用所謂反向脈衝電 々IL,亦即,一既包含陰極亦包含陽極電流脈衝之脈衝電 流》原理上,單極脈衝電流亦當然有利。若使用反向脈衝 電流,該等陰極及陽極電流脈衝之脈衝高度、相應之脈衝 寬度及需要時該等個別脈衝之間的脈衝間脈動皆得以最佳 化以最佳化該等沉積條件。 若沉積銅,較佳將一氧化還原系統之複合物(更具體而 言,諸如FeS〇4及FeKSO4)3等Fe2 + &Fe3 +複合物)添加至該 電鑛槽以在使用不可溶陽極時維持沉積溶液中銅離子之濃 度。,電鍍槽内包含之Fe2、子在不可溶陽極處氧化以形 成Fe3離子。該等Fe3·*•離子被轉移至金屬鋼片,較佳被包 含於含有該等金屬銅片之另—罐中(再生塔)。於該再生塔 中’ 4等銅片在該等Fe3+離子作用下氧化以形成以+及 Fe2+離子。甴於該兩種反應(Fe2+離子之陽極氧化以形成 102691.doc •25· 1359215 W離子及氧化銅月之氧化以形成Cu2+同時形成。、子) =時進行,故可將沉積溶液中銅離子濃度大體上保持恒 定。 在—金屬化製程期間當該荡膜條帶已通過本發明裝置 後,該材料被再次引導至一其中沖洗掉多餘沉積溶液:喷 2沖洗站。然後’可將該條帶狀材料輸送至該處理線之另 —站’於其中該條帶狀材料將與—意欲防止銅生錄之純化 2件接^在將該條帶狀錢材料捲繞至另—儲存鼓上之 前,於-乾燥站中將該材料供乾。出於此目的,所用設備 可類似於彼等用於烘乾活化劑漆或活化劑膏之設備。 用於執行所述方法步驟之該等站可配備適合的導向及傳 送捲軸或輥以及配備用於處理該等處理液體之設備(例 如過濾泵、化學品計量站)以及配備加熱及冷卻系統。 【實施方式】 圖1係本發明之一裝置之一俯(或側)視圖,該裝置具有 Φ並排佈置於兩個相應傳送路徑T,、T”之間的兩列接觸電極 總成A,該等總成包括第一接觸電極2及第二接觸電極8 ^ 該裝置進一步包括一電源(未顯示)及一具有多個壁15之處 理罐,壁15包括以凹槽形狀設置在其入口及出口位置處供 工件1通過之數個開孔。工件丨係一在其任一側上印刷有 (例如)絕緣、導電結構之箔膜條帶。密封輥丨6防止自該罐 發生大的液體流失。該流失之液體被收集在位於該罐外側 之腔室21中並經由本文並未顯示之泵及管道返回至該罐。 工件1係沿輸送方向1 8被引導進入、穿過並離開該罐。進 10269 丨.doc -26- 1359215 步該罐内亦。又置有附加之陽極14及旋轉親,其用於 在-列總成A内及兩列總成之間將工件i自-傳送路徑丁,再 定向至另-T"。用於傳送工件i之支樓或傳送捲轴或㈣ 係設置在工件!之傳送路徑旁邊或任一側上。此等捲轴或
輪可係絕緣捲軸或輪,例如具有—橡㈣塗層之鋼H 由於第一及第二接觸電極2、8係彼此間緊靠設置,因此, 當自輸,方向18上觀看時,其係由絕緣㈣相互間隔開以 P方止大!電流自第二接觸電極8直接流至第一接觸電極2, 因為此將會導致該等田比鄰接觸電極之經陰極極化側而非工 件1被塗覆或導致可能產生一短接。 於一列總成A内反轉工件1之輸送方向之第-旋轉輕13俜 位於距工件進入位罟爭、告* 神視u係 千進入位置最遇處,以便可於一列總成中 反的輸送方向(向前及向後)。第二接觸電極8係沿^輸送 方向相對於第-接觸電極2偏置。接觸電極2 \ 個相反極化之扇段9、】 匕括兩 ^ L 猎由接觸電極處之睥心 =域予以示意性,會示),其中該電源之—第㈣ 靠在傳送路徑τ、τ"中工件上之接觸電極2、8之第接,貼 應扇段以便電接觸該等工件,而該電源之另-Γ 極接觸朝傳送路旋轉 =第二 隔開之接觸電極2、8之第-戶iiiQ ^寻傳送路徑間 姑“ 第一扇^又9以便在自該等工件門^ 開之接觸電極2、8之第二扇段9與該等傳 件間隔 件之間形成多個電解區E。 、 k中該等工 接觸電極2、8之第二扇段9包括與附加陽 性以便當貫通電鍍該等工件時形成進—步之電解Γΐ極 螂h。精助 】02691.do, -27- 疋轉13,邊等工件被引導數次來回穿過該裝置以使工件 1的兩個表面能被處理至相同程度。於接近該罐之入口及 出口側處,設置有用於在兩列總成A之間再定向工件1之旋 轉觀13。在第二列總成之末端處,使該等工件在密封報16 處離開該罐並將其引導至(例如)其它處理站,例如沖洗站 或乾燥站。 藉由再疋向工件i數次,即可於一較小空間内獲得一其 上亦可輕易達成較厚塗層之長處理路徑。 八 攸圖2及3可看出:接觸電極2及8各被分割成六個扇段 ' 1〇。該等扇段被緊固至-同樣以剛性方式支靠於軸7上 之絕緣環6。轴7可由金屬製成以加強其勁度 9、_助絕緣件3而彼此電絕緣。電流藉由分別連接= 極及%極之極轨4被供應至該等接觸電極之扇段9、10。以 此—方式佈置極辄4:於-金屬化製程中,電流始終自電 源5之負極流至最靠近正與工件!接觸之表面之第一扇段 1〇。作為-結果,以陰極方式電接觸該等工件卜電源5之 ^極被連接至對置的第二扇段9,第二扇段9朝向正處於該 總成之另-相應傳送路徑上其返迴路線上之工件!上之欲 處理結構旋轉並與其間隔開而無需接觸該等工件一電解 W係形成於第二扇段9與工件】之間。作為 極靴4對扇段9、10之特殊電 .·由 萍电成供應之一結果,離散電解區 二逐-形成,其中接觸電極2、8之第二扇段9形成該陽極而 上Γ:件(其各由接觸電極2、8之第一扇段ί〇接觸)形成 陰極。5亥兩個圖2及3合在-起顯示本發明之一總成。 I02691.doc -28- U59215 極化,則:::極之間設置絕緣壁’若後者係經陰極 接觸電極" 段1〇上沉積少量金屬。但由於隨著 極改變以便面步旋轉,此等第一扇段1〇之電位朝陽 成陽極第極極化金屬結構之對置工件- 沉積至I: 積之金屬㈣被再切解並被 理液麟/件1上。作為一結果,不再需要對持續與處 =體(導電電解液)接觸之該等陰極連接接觸電極實施昂 二工二離上。此外’用以溶解金屬之電流可用於將金屬沉積 二4不根據圖丨之電鐘線,然而其具有位於本發明裝置 接觸電極2、8之間的特殊形狀之絕緣壁12以便作為藉此 成為可能之較高電流密度之一結果而加速金屬沉積。圖中 僅不意性騎扇段9、Π)^Α處示意性描繪具有兩個接觸 電極2、8之'總成。欲金屬化之結構s係藉由經陰極極化 之第-扇段10經由該等接觸電極得以電接觸並同時延伸至 _電解區EI於此處’該等結構被電解金屬化。為金屬化 工件1旋轉離開總成A之側,進一步提供亦連接至一電源 (未顯示)之附加陽極14。僅當工件丨亦在彼側上被接觸時方 可在陽極丨4與工件丨之間產生一電流。於本情形下,此係 由自朝向總成A旋轉之電接觸側所建立的一導電連接所 引起(貫通電鍍)。 進一步,提供從動式(傳送捲軸)或非從動式(支撐捲軸) 之支撐及傳送捲軸11。於後一情形下,接觸電極2、8被驅 動且其自身用作傳送捲軸。 ^2691,d0c *29- 1359215 圖5顯示對應於圖4的具有絕緣壁12之另一實例,絕緣壁 12具有一特別形狀且用以處理特別小的結構。所構建之該 等絕緣壁之特別形狀亦允許充分接觸極小結構。於此實例 中,絕緣壁12係盤繞在接觸電極2、8周圍。作為一結果, 毗鄰接觸電極2、8之間的間距可進一步減小。由於:個陰 極第—扇段之間的間距係經窄化,故若該 (例…之小直徑,而該第一及第二接觸電二目: 重疊,則仍可充分接觸自輸送方向上看長度小於(例 如)2.5 cm之結構。 圖6顯示一類似於圖丨的本發明裝置之一特定實施例。此 裝置用於在附加陽極14(其於圖i中被設置在兩列總成之間) 被去除之情況下均勻地將金屬沉積於該等工件之任一側 上。該圖式圖解閣釋本發明裝置之一極緊密實施例,其用 '、塗覆於工件1之包括貫通電鍍孔之任一側上彼此絕緣之 結構。該裝置包括三列總成。形成於兩個外部列之間的一 參列總成不具有自己的相關聯之傳送路徑而使用位於外側的 毗鄰總成之傳送路徑。原理上且根據本發明’傳送路徑了 之部分Τ·與,Τ”存在區別,但為更好地瞭解此圖,本文令並 未顯示此區別。 在工件】之入口側上及出口側上,電解區£係形成於一方 面由接觸電極2、S之第一扇段〗〇所接觸的工件〗與另一方 面分別為附加陽極〗4及接觸電極2、8之第二扇段9之間的 傳送路徑之任-側上。在該第一再定向之後,一第一接觸 電極2與一第二接觸電極8始終彼此相對定位,而其第一扇 Ϊ 02691.doc -30· 1359215 段10以陰極形式直接接觸工件1之兩個側。其相應側處的 間隙形成所接觸工件1與毗鄰接觸電極2、8之第二扇段9之 間的電解區E。允許該電鍍電流自接觸電極2、8之對置經 陽極極化之第二扇段流至工件i。 圖7顯不本發明裝置之剖面前視圖(其中該電解槽罐被 剖切)’其中在兩個傳送路經τ,、τ"上並以_水平輸送方向 被傳送穿過該裝置之工件!呈垂直定向。壁15所形成的罐 在圖中未顯示的前壁中包括用於工件1進出該罐之通道開 孔。該等通道開孔幾乎完全由該圖式中亦未顯示的密封輥 所封閉。自該等入口及出口開孔逃逸出的處理液體被收集 在該等密封輥下面並經由本文亦未闡釋之管道'泵及可能 設置的喷嘴系統返回至處理罐以使該罐中電解液位準(其 由線19指示)可始终保持恒定。 端視所使用之方法,該罐中可設置本文中亦未闡釋的習 知之加熱及冷卻系統、過濾器及用於分配處理液體之分配 噴嘴。 接觸電極2、8皆垂直安裝於該罐中且藉由適合之軸承 (僅部分地顯示)保持在頂部處及底部處。但從輸送方向上 看時,僅以舉例方式顯示其一個經陰極極化之第一扇段i 〇 之第一接觸電極2係位於僅以舉例方式顯示其一個經陽極 極化之第二扇段9之第二接觸電極8後面。設置於左手側上 之第二接觸電極8係與該罐中右手側上所示工件間隔開並 藉由第一扇段10接觸該罐中左手側上所示之工件。相反, 該右手側上所示之接觸電極2(其部分地被右手侧上所示接 I0269l.doc 丄359215 觸電極8遮蔽)係與左側工件間隔開並藉由其 觸右側工件。絕緣件3位於該等扇段之間。扇又0接 j對接觸電極2、8施加壓力,可將傳送及支承載 、圓形轴承或長孔(未顯示)中並用壓縮彈酱將宜壓 在接觸電極2、8之上部末端’設置有具有極轨4:隼 極22。極鞭4之某些相應極鞋係設置在側面。電流係自 ’原、之兩個極傳輸至該等接觸電極之相同扇段9及⑺中相 應之-個上(本文未闡釋自該等集電極至扇段9、1〇之電流 傳輸)。電源5之負極被連接至給接觸工件ι之接觸電極2、 第扇#又1 0供應電流之外側極轨4。該電源之正極則被 接至内側極鞋4,内側極辄4給在相應的另一傳送路徑上 季:該等工件旋轉之接觸電極2、8之第二扇段9供應電流並 間隔開。集電極22係設置於液體位準19上方。該等集 T極係精由圖中未顯示之線連接至該等接觸電極之個別扇 段0 • 應將接觸電極2與8彼此間之偏置(間距)且作為其一結果 亦將該等未顯示之旋轉親之直徑選擇得足夠小,以防止在 牛與接觸電極2、8之經陽極極化扇段之間產生一短 接。 e- 圖8顯示-本發明用於電解處理其任一側上板狀工件^之 裝置之側視圖。工件1係水平定向並以-水平輸送方向18 傳运在進入該處理罐之前,該等板經由該等密封親Μ之 ^的【至21於傳送路徑τ,之—向前路線上被引導至該上 置中出於增加清晰度之目的,圖中顯示該罐呈半剖 102691.doc •32- 刀狀同樣’電解區E、E'分別再次形成於經陰極極化之 工件】與以陽極形式連接之第二接觸電極8及附加陽極14之 =的》亥向刖路線上。於該向前路線之末端處,設置有一適 σ於輸达板狀工件1之輸送裝置17。輸送裝置17係以可移 動方式承載且適合於藉由一圖中未顯示之驅動裝置沿箭頭 所不之方向上下及前後移動。沿箭頭Μ之方向均勻移動之 工件1進入上部與下部傳送捲軸11之間的輸送裝置17。一 僅°亥輸送裝置之傳送捲軸Η保持工件1,該輸送裝置即 刻移動至該下部返回位置中,亦即,移動至該裝置之總成 之另傳送路徑Τ"。一旦其已抵達該下部位置,即刻沿相 反之旋轉方向驅動傳送捲軸u並在下部返回傳送路徑丁,,上 傳达該工件。在此,被接觸電極8及傳送捲軸U —起卡住之 工件1被接觸且經由該裝置被傳送至其出口 18並經受進一步 处理在該列總成之末端處,工件1經由被密封輥丨6密封 之凹槽離開該罐並可根據該方法順序得到進—步之處理。 之傳送裝置之前向運動用於在板輸送期間保持 鄰板之間的相同間距。可提供本文中未闡釋之感測器用 此目的,該等感測器對準該等前面的板狀工件之位置並 應地,制該輸送裝置之前後運動以保持連續^之間的' 距恒定―致°若僅欲在—側上處理該等卫件,該輸送裝 可執行一具有與用於條帶狀工件之旋轉輥相同半徑之旋 運動來替代該上下運動,以將工件丨引導至該裝置之返 傳料徑T,,。然後,即可藉由使該輸送裝置實施一更快 更慢之旋轉運動保持毗鄰板之間的相同間距。 、 102691.doc •33· 1359215 藉助此較佳實施例, 用雷M虛 低成本及使用極少維修費 非導電載體基板上彼此料之結構。 误步署1 7目9相田於圖8,但在該列總成末端處未設置輸 运裝罝17。而工件伤緩 仟係厶由一與該入口區域(凹槽 '密封 )類似之出口區域離開該罐。因此’兩個平行的 板流被引導穿^ μ裝置。该線適合於處理板狀及條帶狀工 :兩者。對於處理任一側上之工件】,於此情形下,必須 貝通電鍍此等工件’此乃因並未提供單獨對旋轉離開該總 成之側實施電觸點。 圖10圊解闡釋該裝置之一接觸電極8,圖中顯示接觸電 極8於其中心處斷開且具有以一特定方式構建之扇段9、 1〇。該等安置於電極8之主體上且藉由絕緣件3彼此電絕緣 之扇段具有數個界線,料界線以—角度㈣向電極8轴7 之方向傾斜且作為其一結果以一相對於該等工件之輸送方 向之作角疋向。藉由此措施’由扇段9、} 〇之間的絕緣件3 所產生的一屏蔽效應將不會被輪送至該等工件上之某些區 域而是將被均化。 圖〗1圖解闡釋根據圖1〇之扇段9、丨〇之另一實施例,其 中於一個扇段内該等扇段之界線相對於電極2、8之轴7, 角度a具有不同之值。 應瞭解,本文所闡釋的該等實例及實施例僅用於圖解說 明之目的且熟悉此項技術者將藉助於該等實例及實施例聯 想出各種修改及改變及對本申請案中所闡釋特徵之組合,: 該些修改、改變及組合皆包括在本發明所述之精神及權限 102691.doc • 34- 1359215 内且包括在隨时請專㈣圍之範疇内。本文引證的所有 出版物、專利及專利申請案皆以^用的方式併入本文中。 【圖式簡單說明】 礞 將參照以下圖式解釋本發明^該等不㈣式顯示: 圖1係-用於電解塗覆工件之本發明裝置之俯視圖; 圖2係穿過-本發明裝置之總成之一第一扇段式 極之剖視圖; 圖3係-根據圖2之總成之一第二接觸電極之剖視圓,·圖 2及3 —起根據本發明圖解闡釋一總成; 圖續-根據圖!之裝置’但該等接觸電極 形狀之絕緣壁; 寻殊 圖5係根據圖4之本發明之另一眘竑也 +货月炙另貫鈿例,其具有用於處理 特別小的結構之特定形狀之絕緣壁; 圖6係一根據本發明之裝置 装罝其具有一類似於圖1的用於 在工件任一侧上均勻沉積金屬之極緊密構造; =係-具有垂直定向之工件及水平輪送方向之本發明 裝置之前視圖(其中槽罐被剖切); 圖8係-用於電解處理任—側上之板狀工件 置之側視圖; 瑕 圖9係一根據圖8之側視圖,盆中 沿相同之輸送方向料丨、巾#在兩個傳送路徑上 =10係扇段具有一特定構建方案之裝置之一接觸電極· 圖π係類似於圖10之扇段之另—構建方案。 於圖式中,相同之符號用於表示相同之元件。 10269 丨.doc -35- 1359215 4 【主要元件符號說明】 1 工件 2 第一扇段式接觸觸點 3 絕緣件 4 極勒i 5 電源 6 絕緣環 7 軸 8 第二扇段式接觸電極 9 扇段 10 扇段 11 傳送捲軸/支撐輥 12 絕緣壁 13 再定向/輸送構件 14 附加電極/陽極 15 罐壁 16 密封輥 17 輸送裝置 18 工件1之輸送方向 19 液體位準 20 壓縮彈簧 21 腔室 22 集電極 S 總成 102691.doc •36. 1359215 τ,τ', T” 傳送路徑 Ε, Ε' 電解區
102691.doc •37