TWI339490B - Method of forming a self-gated transistor and structure therefor - Google Patents

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Description

1339490 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明一般係關於電子元件，而更特定言之，係關於形 成半導體裝置之方法及其結構。 【先前技術】 過去，半導體產業使用各種方法及結構來形成同步整流 器。在2001年8月7曰頒予Alan Ba丨]的第6,271,712號美國專 利案中揭示一同步整流器之一範例，該案係以引用的方式 併入於此。如Alan Ball之專利中所示，先前之同步整流器 一般包括駆動一功率型金屬氧化物半導體場效電晶體 (MOSFET)之一比較器。該等比較器之一輸入係柄合至該 MOSFET之汲極以便感測該MOSFET之源極至汲極電壓，並 在該汲極電壓小於會開啟一 MOSFET的寄生二極體之一源 極電壓值時致動該MOSFET。當受到致動時，該MOSFET將 一電流從一電感器經由該MOSFET放電。但是，為了關閉 該MOSFET，源極至汲極電壓必須大於零伏特。此點使得 同時致動上部電晶體與該同步整流器並增加該同步整流器 之功率消耗。此外，由於該比較器輸入係耦合至該MOSFET 之汲極，因此可施加於該汲極之最大電壓受限於該比較器 的輸入之崩潰電壓。 因此，需要具有一種在該源極至汲極電壓不大於零伏特 時關閉且具有一高崩潰電壓之裝置。 【發明内容】 此外，為說明簡潔起見，關於熟知步驟及元件之說明與 100285.doc 細節均略去。本文所使用的「 戰机電極J所指的係一裝置 中可載送電流流經該裝置之_ 兀件’例如MOS電晶體之一 源極或汲極，或是一雙極電曰 ¥日日體的射極或集極；而「控制 :極」所指的係該裝置中可控制流經該裝置的電流之一元 件，例如MOS電晶體之一開極，或雙極電晶體之一基極。 雖然本文中將該等裝置解嘮A & χτ 解說為特疋的Ν通道或ρ通道裝置， 但熟習此項技術者將會明白， 依據本發明亦可能係互補型 裝置。 【實施方式】 圖1示意性說明在—功率控制系統1G中作為-同步整流 器而連接之-自間極電晶體25之—項具體實施例之一部 Τ。其他組件-般係、外部連接至電晶體25，以便為系㈣ 提：功能性。例如’-上部輸出電晶體16、一能量儲存電 感器17 量儲存電容器18、一脈衝寬度經調變(—Μ) 的控制^9以及-電壓調整器21—般係外部連接至電晶體 25。但疋，在某些具體實施例中，調整器21可能係形成為 電晶體25之—部分。為輔助對電晶體25的操作進行解說， 而說明電感器17、電容器18、電晶體16及控制器心系統 10接收’丨於一主體電壓輪入u與一主體電壓回應之間的 一主體電壓，並形成介於-電壓輸出13與一回應14之間的 輸出電壓。施加於輸人u與回應12之間的主體電壓可能 大如數百伏4寺或小如數伏特。調整器21接收該主體電壓並 產生一操作電壓，該操作電壓係接收於電晶體25之—電壓 輸入26上用以操作電晶體25之内部電路。接收於輸入％上 100285.doc 1339490 的調整器2〗之輸出電壓一般實質上係直流電壓，但是該電 可旎係一切換電壓。為了提供一實質上不變的直流電 • I D周整器2 1可能係形成為一線性調整器或一非線性調整 ‘ W例^，一 PWM調整器）。在任一情況下，皆可能必須將 ：* :電容器15連接於輸入％與源極28之間以提供能量儲存。 田使用一非線性調整器時需要電容器丨5，以便在無任何可 。的供應電壓之週期期間提供一操作電壓。一般地，調整 φ 益21提供由電晶體25於一輸入26上接收之一實質上的直流 電壓。在較佳具體實施例中，調整器21係一線性電壓調整 益以便提供實質上的直流電壓。線性調整器在此項技術中 已為人熟知，而其一範例可見諸MMarty 81>〇你]〇的「電源供 應洋細說明書」（Butterw〇rth-Heinemann於1994年出版，第 一即）之第二節。調整器21產生足夠的電壓及電流以啟動一 比較态42。調整器21 —般提供從約五至十伏特（5至1〇 v)之 一電壓以及從約二至二十微安培（2至2〇 ma)之一電流。控制 φ 益19操作電晶體16以調整輸出13與回應14之間的輸出電壓 值。一般地，控制器19接收表示該輸出電壓值之一回授電 壓（如虛線所說明）。在2002年10月15日頒予Clarkin等人的 第6,465,993號美國專利案中揭示此一 pWM控制器之一範 例’該案係以引用的方式併入於此。 自閘極電晶體25係形成為包括比較器42、一電晶體3 j、 一可選偏移電壓或偏移46以及一可選保護電路37。電晶體 3 1係形成為包括一主電晶體部分或主電晶體33及一感測部 分或感測電晶體32 ^電晶體31還包括藉由電晶體33之寄生 I00285.doc 1339490 主體二極體而形成之一二極體34與藉由電晶體32之寄生主 體二極體而形成之一二極體35。一般地，電晶體31係由互 連成形成一可能具有較大負載電流而導通電阻較低的較大 電晶體之許多電晶體單元所形成。該等單元中的數個單元 讓其源極與其他單元之源極分離而將該些數個單元引到一 分離的外部端子，以便形成電晶體32。電晶體32及33之沒 極與電晶體32及3 3之閘極一般係共用》當一負載電流24流 經電晶體25時，一主要電流30流經電晶體33。電流24引致 一感測電流29流經電晶體32以提供表示電流24之一感測信 號。電流29之值係藉由電晶體32之尺寸與電晶體33之尺寸 之比率而決定。一般地，該比率介於五百與一千比一之間 (500至1000:1)。此類電晶體在此項技術中已為人熟知且常 稱為SENSEFET電晶體。SENSEFET係伊利諾伊和蕭慕堡的 Motorola公司之商標。在1985年i i月12日頒予R〇bert
Wrathall的第4,553,084號美國專利案中揭示一 SENSEFET 電晶體之一範例，該案係以引用的方式併入於此。下面將 進一步看出’依據流經電晶體25的電流24之極性而致動或 停用電晶體25。比較器42偵測該極性並作為回應而致動及 停用電晶體3 1以及因此而致動及停用電晶體2 5。 電晶體3 1之一汲極係連接至電晶體25之一第一端子或汲 極27，而電晶體3 1之一源極係連接至電晶體25之一第二端 子或源極28。電晶體3 1之一源極36係連接至比較器42之一 反向輸入44。比較器42之—非反向輸入43係連接至源極 28，並因此而連接至電晶體31之源極。可選偏移扦表示一 100285.doc 1339490
可選的負偏移電壓，該負偏移電壓可能係形成於比較器η 外部或形成為非反向輸入43中之一内部偏移。替代性的 係，針對比較器42之反向輸入可能形成一正偏移。當偏移 46係包括於比較器42的輸入43之外部時，偏移邨具^連接 至源極28之一正端子與連接至非反向輸入43之一負端子。 在某些具體實施例中可能省略偏移46β可使用可選的保護 電路37來箝位元施加於源極36及輸入44之電壓以防止損壞 比較器42或電晶體32。電路37—般包括以相反極性連接之 一第一保護二極體38與一第二保護二極體39。二極體38之 陽極及二極體39之陰極一般係連接至源極28，而二極體39 之陽極及二極體38之陰極係連接至源極36 ^在某些具體實 施例中，可以一電阻器40來替代二極體38及39。
在較佳具體實施例t，偏移46係形成為比較器42的輸入 43内之一内部偏移。該偏移電壓之值一般從約零至十毫伏 特（0至10 mV)變化，較佳的係約五（5)毫伏特。較佳的係， 使用電路37且該電路37包括二極體38及39以便保護電晶體 25。當致動電晶體16時，將》及極27拉至實質上等於輸入η 上的主艘電壓之一電壓。由電晶體3 1之汲極來接收汲極27 上的高電壓，而電晶體31之汲極作為回應而將二極體34及 3 5反向偏壓至一非導電狀態。若此為系統1 〇之一初始啟 動’則瞬變可能已不知如何已致動電晶體3〗，而主電流3 〇 將經由電晶體33流向源極28及回應1 2 ^電流30引致感測電 流29流經電晶體32。比較器42接收作為一感測信號之電流 29並作為回應而驅動輸出45變低。由於比較器4'2具有〆高 100285.doc • 11 - 1339490 輸入阻抗，因此少量的電流29便足以形成將迫使輸出45變 低之一正電壓。此一電壓一般不足以正向偏壓二極體39。 電晶體3 1接收該低開啟輸出4 5並作為回應而停用電晶體3 2 及33以停用電晶體3 1及電晶體25。電晶體丨6保持為致動而 電流經由電晶體16及電感器17流向充電電容器I 8。從而， 比較器42偵測電流30之正流動並作為回應而停用電晶體 25 ° 當電晶體16關閉時，汲極27被迫達到小於回應12的電壓 而因此小於源極28上的電壓之一電壓，當汲極27上的電壓 及成低於一極體34及35的正向電壓降時’二極體34及35作 為回應而係正向偏壓，而電流開始從回應12經由源極28及 經由二極體34而流向汲極27。汲極27上的負電壓亦正向偏 壓二極體38，而電流從源極28經由二極體38及35流向汲極 27。該電流中的部分電流作為一感測信號而為輸入料所接 收。邊感測彳έ號之電流於輸入4 4形成一電壓，該電壓負值 大於輸入43上的電壓，且輸出45被迫變高。由於高輸入阻 抗’少量的電流便足以於輸入44形成一電壓。高開啟輸出 45致動電晶體32及33，而電晶體25作為回應而開啟並經由 電晶體將儲存於電感器1 7中的能量釋放到回應丨2。從而， 比較器42偵測電流30之負流動並作為回應而致動電晶體 25。電晶體具有-低導通電阻，因此橫跨電晶體33之電壓 降小於二極體34之正向電壓降。橫跨電晶體31之低電壓降 停用二極體34及35並降低橫跨介於源極28與汲極27之間的 電晶體25之電壓降，從而減小電晶體25中的功率消耗。 I00285.doc 1339490 當電晶體1 6再一次開啟以開始對電感器丨7進行充電時， 將沒極27拉向輸入π上的主體電壓。由於電晶體31受到致
動’因此，當電晶體1 6開始將汲極27拉高時，電流30開始 經由電晶體3 1而流向源極28。在此項技術中已熟知，電晶 體16之開啟發生於藉由來自控制器19之閘極驅動而決定的 整個一時間週期❶由於電流3〇開始以反向流經電晶體33 時，感測電流29方向相反並流經電晶體32以形成針對電晶
體25之一正感測信號。少量的電流29便足以在輸入44處形 成電壓。由於偏移46之負電廢確保該輸入43相對於源極 28而為負，因此，少量的電流29便足以在輸入料上形成大 於輸入43之一電壓。接收於輸入44上的正電壓形成迫使輸 出4 5差低之一感測仏號。該低開啟輸出* $停用電晶體3 2及 33,從而停用電晶體31及電晶體乃。從而，比較器“偵測 電流30之正流動並作為回應而停用電晶體乃。由於偏移
46，在來自該電晶體16的電流能夠迫使電流3〇由流自源極 25(或負）轉變為流入源極28(或正）之前，比較器42開始停用 電晶體25。施加低信號以開始停用電晶體乃之程序一般係 在電流30因偏移46之負電壓而達到零之前發生。完全停用 電晶體25之-刻將在該電流達到零後發生並係依據偏移^ 之：電壓及該電流波形之驗。在該零交越點之前施加該 低#號以開始停用電晶體25使得從電晶體16經由電晶體Μ 流向回應⑽電流數量最小化，從而使得功率消耗最小 化。在該零交越點之前停用電晶體25亦使得當電流進行轉 變時輪出13上的振蕩最小化。可看出，可將電晶體25製造 100285.doc 13 ⑧ 1339490 於具有用於輸入26、汲極27及源極28的引線之一三引線包 裝中。
在不包括二極體38及39之一項替代具體實施例中，操作 與上面相同。但是，由於高di/dt及寄生電感而有可能在切 換轉變期間於輪入44出現尖峰。若無任何來自二極體3 8及 39之箝位，則不能保護輸入44及源極％免受此類電壓瞬變 之景^專。：¾無任何來自二極體3 8及3 9之箝位，則將迫使電 流流進或流出輸入44而迫使輸入44進行切換。輸入44處所 見電壓將係電晶體32所能產生的最大電壓。當致動電晶體 32時，該電壓很小，而當停用電晶體32時，該電壓可能為 數伏特。在使用電阻器40來替代二極體38及39之另一項替 代具體實施例中，電流29之一部分流經電阻器4〇並形成由 輸入44來接收的正電壓。 園2不葸性說明一自閘
一部分，其係在圖】之說明中所解說的電晶體25之一項替代 具體實施例。電晶體51在一功率控制系統5〇内係作為一同 步整流器而連接，該功率控制系統5〇係圖丨之說明中所解說 的系統H)之一項替代具體實施例。電晶體51係形成為除包 括電晶體25外還包括電壓調整器2卜調整器2】較佳的係產 生用於操作電晶體25之-實質上的直流電屢。調整器”於 -_入52上接收一電麼。施加於輸入52之電麼可能係 -切換電麼或-實質上的直流電a，只要該 整器2〗之輸出所提供之電壓便可。 、# 圓3示意性說明連接成在一功率控制系統6〇中充當一對 100285.doc 1339490 其他電路。藉由熟習此項技術者所熟知的半導體製造技 術，在晶粒71上形成電晶體25或51或56或65及裝置7〇。 紅觀上述，已明顯揭示一種新賴的裝置與方法。在其諸 多特徵外，包括使用具有一感測部分以提供一用以致動該 電晶體的感測信號之-電晶體。使用一感測電晶體部分以 提供該感測信號有助於在高電壓應用中使用該自閘極電晶 體。使用一負比較器偏移有助於在流經電晶體之電流切換 極性之前停用該自閘極電晶體，從而使得功率消耗最小化 並減小該輸出中的振盪。 雖然已藉由特定的較佳具體實施例來說明本發明，但很 明顯’熟習此項半導體技術者將明白許多替代例及變化 例。例如，可以與一電阻器串連之一電源FET來替代電晶體 32 ’其中橫跨該電阻器而產生感測信號。 【圖式簡單說明】 圖1示意性說明依據本發明一自閘極電晶體及使用該自 閘極電晶體之一系統之一項具體實施例之一部分； 圖2示意性說明依據本發明一自閘極電晶體及另一系統 之一項替代具體實施例之一部分； 圖3示意性說明依據本發明使用一自閘極電晶體之一系 統之另一項具體實施例之一部分； 圖4示意性說明依據本發明一自閘極電晶體及另一系統 之另—項替代具體實施例之一部分； 圖5示意地說明依據本發明其使用一自閘極電晶體之— 系統之另一項替代具體實施例之一部分；以及 100285.doc © 1339490 圖6示意性地說明依據本發明併入一自閘極電晶體之一 半導體裝置之一放大的平面圖。 為說明之簡潔與清晰起見，圖中各元件不一定係按比例 繪製，而不同圖式中相同的參考數字表示相同的元件。 【主要元件符號說明】
10 功率控制系統 11 主體電壓輸入 12 主體電壓回應 13 電壓輸出 14 回應 15 電容器 16 上部輸出電晶體 17 能量儲存電感器 18 能量儲存電容器/充電電容器 19 脈衝寬度經調變（PWM)的控制器 21 電壓調整器 24 負載電流 25 自閘極電晶體 26 電壓輸入 27 第一端子或汲極 28 第二端子或源極 29 感測電流 30 主要電流 31 電晶體 100285.doc •18· 1339490
32 感測部分或感測電晶體 33 主電晶體部分或主電晶體 34 二極體 35 二極體 36 源極 37 可選保護電路 38 第一保護二極體 39 第二保護二極體 40 電阻器 42 比較器 43 非反向輸入 44 反向輸入 45 輸出 46 可選偏移電壓或偏移 50 功率控制系統 51 自閘極電晶體 52 電壓輸入 55 功率控制系統 56 電晶體 57 調整器 59 電容器 60 功率控制系統 61 電壓源 62 輸出 100285.doc -19- 1339490 63 操作 電 壓 源 64 電 壓 調 整 器 65 白 閘 極 電 晶 體 66 電 壓 源 68 電 晶 體 70 半 導 體 裝 置 71 半 導 體 晶 粒 80 電 源供應 系 統 100285.doc -20- ⑧

Claims (1)

1339490 •第094U0086號專利申請案 _ •中文申請專利範圍替換本(99年η月） 年Μ月？曰修正替換頁 十；申請專利範園： C-—- 1. 一種形成一自閘極電晶體之方法，其包含： 耦合一電晶體，該電晶體可操作以形成一感測信號來 表示一流經該自閘極電晶體的電流；以及 配置該自閘極電晶體之一第一電路以在一正電流流經 該電晶體後實質地停用該電晶體及為回應一負電流流經 該電晶體致動該電晶體。 2. 如請求項1之方法，其中耦合可橾作以形成該感測信號來 表不流經該自閘極電晶體的該電流之該電晶體包括：形 成具有一主電晶體部分與作為一感測部分的一感測電晶 體之一電晶體，其包括將該主電晶鎧部分耦合至該感測 部分，其中該感測部分係可操作以形成該感測信號來表 示流經該自閘極電晶體之該電流。 3. 如請求項2之方法，其中將該主電晶體邹分耦合至該感測 刀包括，將該感測電晶體之一沒極耗合至該主電晶體 部分之一汲極以及耦合至該自閘極電晶體之該汲極，且 還包括將該感測電晶體之一閘極耦合至該主電晶體部分 之一閘極以及耦合至該自閘極電晶體之該閘極。 4. 如吻求項1之方法，其中配置該自閘極電晶體之該第一電 路以在該正電流流經該電晶體後實質地停㈣電晶體及 為回應該負電流流經該電晶體致動該電晶體包含耦合一 比較器以接收該感測信號其中該感測信號對該正電流為 正及對該負電流為負。 5. 如請求項4之方法，其中搞合該比較器以接收該感測信號 100285-991108.doc 1339490
包括：耦合該比較器非夂句椾入\乂具有一負偏移電 壓。 6. 如請求項4之方法’其中耦合該比較器以接收該感測信號 包括當該感測信號形成一電壓且該電壓低於該自閘極電 晶體之一源極之一電壓時，耦合該比較器以回應致動該 自閘極電晶體。 7. 如請求項4之方法，其中耦合該比較器以接收該感測信號 包括於該感測電晶體之一源極與該自閘極電晶體之一源 極之間耗合一兩極體及一電阻其中一者。 8.如請求項〗之方法，其另包含配置該自閘極電晶體之一内 部電壓調整器以接收具有從一電壓源外部至該自閘極電 晶體的一第一值之一外部電壓，及調整該外部電壓以 成具有一小於該第 含配置該自閘極電 一電路。 电壓的第二值之一内部操作電壓包 晶體以利用該内部操作電壓操作該第 9· 一種·操作一自閘極電晶體之方法，其包含：
應而停用該自閘極電晶體；
其中該第二電流在與該第 配置該自閘極電晶體以經由 電流以作為一第二感測信號， 100285-991108.doc 10. 10. 11. 12. 13. 14. 15. 11年/(月客曰修正替換頁 -電流相反之一方向上流動；以及 配置β自間極電晶體則貞測該第二感測信號並作為回應 而致動該自閘極電晶體。 如叫求項9之方法，其中配置該自閘極電晶體以經由該感 、'J Ρ刀而傳導一第二電流以作為一第二感測信號包含配 “自間極電晶體以導引該第二電流·流經一二極體。 如叫求項9之方法，其中配置該自閘極電晶體以經由該感 則4 77而傳導一第二電流以作為一第二感測信號包含配 置該自閘極電晶體以導引該第二電流流經一電阻。 如”月求項9之方法，其中配置該自閘極電晶體以偵測該第 感測彳i號並作為回應而停用該自閘極電晶體包括耦合 一比較器之一輸入以接收該第一感測信號。 一種自閘極電晶體，其包含： 一電晶體，其具有一主電晶體部分與一感測部分，其 中該感測部分係耦合至該主電晶體部分以形成一感測信 號來表示流經該自閘極電晶體之一電流，該主電晶體部 分具有一第一閘極；以及 一控制電路耦合成接收該感測信號並驅動該第一閘極 以致動該電晶體以回應該感測信號之一第一極及以停用 S亥電晶體以回應該感測信號之一反極。 如請求項13之自閘極電晶體，其中該控制電路包含一比 較器具有一耦合成接收該感測信號之反向輸入。 如請求項14之自閘極電晶體，其中該比較器具有一耦合 至該自閘極電晶體的一源極之一非反向輸入。 100285-991108.doc 1339490 11年!|月？曰修正替換頁 16.如凊求項15之自閘極電晶體，其中該比較器之該非反向 輸入具有一負偏移電壓。 I7’如吻求項13之自閘極電晶體，其另包含該感测部分具有 - 源極，其係與該主電晶體部分之一源極分離，及—保 • 護電路耦合至該感測部分之該源極。 18. 如請求項13之自閘極電晶體，其中該主電晶體部分之— 源極係耦合至該自閘極電晶體之一源極。 19. 如請求項13之自閘極電晶體，其另包含一電壓調整器耦 合以提供一操作電壓至該比較器及耦合至該自閘極電晶 體之-源極。 20. 如請求項13之自閘極電晶體，其進一步包括形成於一具 有不超過四個引線的包裝中之該自閘極電晶體。 100285-991108.doc
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