TWI335940B - Heizeinrichtung, beschichtungsanlage und verfahren zur verdampfung oder sublimation von beschichtungsmaterialien - Google Patents

Description

1335940 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】

此項發明包含-種可將m或昇麵加齡置，該加熱 袈置可應祕錄設備是作為汽化裝置上的㈣體，本發

明此外也包含-種至少具有以上加餘置的塗奴備，以及塗料 汽化或昇華的方法。 【先前技術】 • 般說來，彻加熱汽化的方法來作塗震已行之多年，加熱 汽化這個方法之所以廣泛地被使用在表面塗裝處理上，特別是在 有機光電領域上的生產過程，例如，使用有機發光二極體（〇led) 的顯示器，其重要因素之-就是它的單純性。 加熱以化綠就是把補放置於—個汽化裝置内加熱，使得 這些汽態分子根觀化或料_轉變域態，絲藉助於它 參們所得到的動能’或是經由擴散作用（例如在某種媒介氣體中）， 著凝結到我們所規劃的標的表面上，典型的汽化過程必須在真 '空中進行’但是如果讀性氣體作域子的話，在健環境，甚 ’至於大氣壓力下的汽化都是可能的。 實務上’已知把原料轉變為汽態的方法有很多種，其簡化的 形式就是把航化捕放置在—侧龜繞著加齡件（燈絲） 的掛堝裡面’當與被加熱時，經由熱輻射或是/以及熱傳導，放 置於賴裡頭的原料就可以獲得所須的能量而轉變為汽態。 妓要讓儘可能 的原料’可以在最h的時啊，發生相變，但必須要是在原 ϋ穩定的條件下’也就是說，汽化裝置的溫度爾得愈低就愈不 谷易使得這些待汽化原料受到過熱的鎌，這制要求在有機原 科场別㈣，因為有機物暴露在高能量下時，容祕生變化甚 ’又]破:¾原料的穩定性即使是在無機化合物上也是需要注音 的課題。 〜 為了滿足以上所述的要求，有人建議對待汽化原料均勾地進 行能量輸送，在歐洲專利書EP 1 132 493 A2裡，對用於基材塗 佈的有機分子汽化健所作㈣_是，在職她待汽化原料 跟具有高度熱導能力的金屬或陶竟粒子混合，但是雖然以金屬或 陶餘子作為添加物的確改善了熱量傳導的行為，缺點仍然存 在，那就是能量輸送到職的方式還是間接的，添加粒子的能量 傳輸還是*足_ ’因為添加粒子之_細還是受到待汽化原 料的阻隔，另-個缺狀，職中散㈣配置可能會使得汽化裝 置的射出特性將要隨著剩餘原料的多寡而改變，這會對塗佈的均 勻度以及流程控制有不良影響’此外_的形狀，進而分子流束 的形狀也會受到限制。 由歐洲專利書第EP 〇 561 016 A1號可知，例如由虫鼠或是氨 基鉀酸S旨（Urethan)所形成的有機塗層，魏把—渗透性載體^ 漬於有機補或其溶液中，然後再把這個載體置人汽化I置中加 1335940 修正 ίϊ? 汽化’在_料^^於該載體的容 _物術娜權嘛任務，但是 足上述的要求。rf種缺點，使得這種傳統技術仍無法完全滿 加m L 缺點就在於浸潰過的載體在掛禍中的間接 進〇而導纟/麵源能量輸送的不均勻會導致汽化的不均勻，並 術運用果的不均勻，為了防止這個問題發生，傳統的技 的缺點好妓薄料域體，好具树述不良熱導 體則對於可汽化原料的數量以及/或是汽化裝置 為守、主㈣—了不必要的限制’再另—個缺點是，附著於這種 為次》貝取料而設計的傳統裁俨 用h H、 載體上的溶劑無法完全去除。在許多應 Μ可、、/x^過私中’溶劑的存在S报有問題的，這是因為溶 以視為-種雜質’而且對於塗層的形成以及其特性會產生 :擾，這樣触象特別是在有機光電元件的生產上，容轉致效 率的降低或者是生命期的縮短。 【發明内容】 因此這個發_使命就是，發展出—種改良式的，尤 塗裝設備應用上的汽化或是昇華技術，這個新的技術不僅是要克 服以上傳統式汽化技術的諸多缺點，而且要使這個新的技術具有 更廣泛的應雜圍，_是也要可以翻在有機塗層的加工势造 上，這個新的技術尤其應該要達到高功率（每單位時間高度的 料輸送量）η糊崎姆，糾㈣基材的塗 裝作業上也-樣’加溫姐巾，—賴於塗料不至於造成傷害的 4-3 1335940 修正 精確溫度調冑妓這個發赃務的^~~ /這個任務可以透過具有專利中請範圍第卜15或17項所述 特徵的種加熱裝置、一種塗裂設備，以及一種塗佈方法來達成。 本毛月之申#專她圍的其它附屬項目則舒塗裝賴在形態以 及應用上的諸多優越性。 由本發月的第-個觀點來看，此任務首先是由一種可以使原 參；（ '下簡稱塗料）升溫以至汽化的加熱裝置來達成。此加熱裝 ，寺徵&個具有内腔的加熱體。這個内腔的功能是要容納塗 料並包含分散佈置的多個加熱元件。相對於傳統式的汽化技術， 卷月所提出的加熱裝置可以使得塗料跟加熱體形成緊密直接的 接觸’故耐鱗_的直接能量輸送。 恤裡〃祕置加熱讀的方摘可以大量提升塗料跟多 =加熱元件之_有效接觸面積。這個時候我們對於塗料的能量 所有位置同時進行。這種加熱方式的優點是 出佈狀態，例如均勾分佈。本發明所提 戶、:，，、體具有_個重要的優點，那就是加熱腔裡面的溫度均衡 ^中^過恤的加熱元件喊方法，我們可以避㈣統加执方 =胃「熱點一)」的局卿 =伽問題也因此得到解決。由於本發明― 所具有的—親蝴，目峨了_麵 1335940 修正丨

. 旦μ aa 口丄a —___補充I 里的巨大負擔。這樣的設計降低了特定塗佈速率所需的汽化溫 ，度而且普遍提高了汽化效率。 &於腔㈣待汽化原料不斷地在進行附著跟散開的作用，加 熱體的内部結構可贿得其表面上補的流量保持穩定，也因而 •為塗佈的均勻度建立了必要的基礎。再者，汽化特性即使是在原 料存量的最大幅度變化之下仍可保持不變，或者僅只有可以忽略 的極小改變。 '由於本發騎提出的加歸置對於待汽化塗料_類不會造 制所以在貫際的應用上，無論原料的初始狀態是流質還是 - 。都可以原子、分子，或聚合的型態被轉化為汽相。雖秋典 型的相變是賊化料華’但是我·本專利申細^使用的 概念「汽化」是指所有可能種類的相變。 我們在這裡所使關概念「加熱元件」所指涉的是任何可以 鲁使用於加熱體的，適合於直接加熱相鄰分佈塗料的元件。每一個 •加減_近的塗料溫度都可喊猶加氣件所職的孰源直 .接調節。在這個用途上，加熱元件就是_或是熱源的一部份。 基於特殊魏的需求，如果輕把多數加熱元件嵌入到加執 體内’本發明具有足夠的彈性可以允許預定的加熱元件分佈。例 如，當我們想得到均勾放射特性的時候，可將加熱元件以均勾的 樣式配置於加熱體内腔。隨著各式各樣在應用上的具體需求，也 5 1335940 置’以便在加熱體上 可以變化—下把加熱元件用^^的標 的不同的局部區域形成不同的汽化速率 於減Γ言，根據本發明所製作的多個加熱元件可以單獨配置 :相、^作為獨立的稱。但是這些加熱元件跟加熱體最好是 =相_質。加熱體的内壁可作為加熱元件使用。本發明如 現的話，其優點是，在這種情形下，加熱元件可 1二繼犧，處祕了細傳輸，以及 ㈣了額外的載體材料。這些額外的載體材料可能會使得本發明 所指涉的加熱裝置對於溫度的快速反應產生負面的影響。 加熱元件所使用的材料最好具有每公尺克耳文至少2瓦特 (2 W/rnK)的導熱能力。其好處是可以整個加熱體對外界溫度調 祕有快速的反應。蝴元件不雜収«的、導熱度在每公 尺克耳文1G瓦特（1GW/roK)以上的材料。 本專利所提出的-個具有特別優勢的發明，就是使用了對塗 料作直接加熱的加熱树。在這樣的組態上，我們用電流直接驅 動加熱兀件，以便使電能直接轉變為熱能。本發明的這種加执形 式的特別㈣是讓加_置具錄義溫度反應。這些加熱 元件可以直接跟至少-個電觀接，也可叹由元件外部電磁場 驅動’而在元件内部感應出電流的感應式主動發熱元件。 6 12 - ^ 12 - ^1335940 本發明的加熱裝置的第二種㈣是與至少—個熱源作直接接 觸的被動加熱7C件設計。這馳態的優點是加熱裝置簡化的構造 以及在具體汽餘務上的雜跟適應性。錢麵動式加熱元件 的、、且態上，為了保持快速的溫度調節反應，我們則選擇使用導熱 度更高’至少每公尺克耳文50瓦特（50 W/m Κ)以上的加敎元 件。 *、’、 一般來說，本發明所運用的加熱體在幾何上具有三度空間的 内部結構。這樣在三度空間幾何上就構成了複數個空腔以及一個 内壁。方便的是其内部的結構在形狀上並沒有任何的限制。加熱 體幾何構造的_可靖著塗料是存在於_或是絲的相位以 及/戈疋有無特別的形狀要求的各種不同狀況而變化。比較具有 優越性的是由具有小孔（Poren)(空腔）、薄層（Lamellen，相互 平行的隔片，也可以有蓋）、蜂巢（Waben)、具有滲透性的起泡材 料（offenporigerSchaum)以及/或是纖維（Faser)組合製成的 内部空腔。 加熱體本身在材質上最好選用至少一種導電材料。例如至少 一種金屬以及或者一種陶瓷材料。使用這種材料的好處是基於它 們在力學與熱力學特性上的穩定性，以及加熱體本身外形的可加 工性。金屬材料可以選擇鎮鋼（Wolfram)、组、翻、銅、金、銀、 不銹鋼（例如鋼泡〔Edelstahlschaum〕）。比較適合的陶竟材料我 們列舉碳化矽（Siliziumkarbid)、硼氮化合物（Bornitrit)、氧 7 1335940 _—_ ΓΪ1| lflfZj 一 I 補 化鋁 （Aluminiumoxid )、 硼氮-鈦乙硼 ’ （Bormtrit-Titandiborit)、氮化銘（Aluminiumnitrit)或是 這些材料的混合物。如果一個加熱體要由金屬跟陶瓷混合構成的 - 話’可以考慮在陶瓷上作金屬塗佈。再者，加熱體的材質裡也可 $有石墨，或者完全由石墨製成。在前者的情況下、無論是在 陶瓷材料上塗佈石墨或者是在陶瓷材料裡面嵌入石墨，都是可行 的例子。

本發明所可以衍生的另一種有利的製造形式是含有多個加熱 體的加熱裝置。這些加健可以填m是錄不同的塗料。 因應各種具_塗裝作#，這些填裝了不_料以及/或是具有不 同内部結構的加鋪可喊汽化裝置減列佈置。把這些加熱體 以上下堆方式佈置於汽化|置中的話也可以有其方便 性。為了便概化作業流㈣控制，可讓屬於至少—個加熱體的 加熱元件跟其它的加熱元件分開來驅動。 由本發明所衍生的加熱裝置可以具有的另一個重要優點是， 可以在加齡置上裝置導向機構㈣汽態塗料，_朗要需要 的放射特性。—傳統職式的汽化裝置是㈣躺形狀、綱 上溫度分碰形，収㈣的行絲妓其物触。相較 本發明所提供的加紐及其轉㈣咕縣妓 性。這個導嶋基本上可以由任何適合 8 丄 W5940 受1|1?修正 •τ 月日 ,:的元件構成。該導向機的加熱體構成， 〇本身在加絲置運作時並不塗m料塗料經過。 。導向機構㈣殊優點是，可崎把塗料轉化騎_相變過 私跟塗料被汽化之後由出口注入到塗裝設備内腔的過程分開。導 .向機構在作用上是一種原料傳輸媒體。在導向機構的内部結構 裡’塗料不斷的吸附跟分離的作用成全了汽態原料通過導向機構 鲁的傳輪。11樣的好處s，那個負責把塗料轉變為汽態的加哉體可 以針對這個相變任務作最佳化，而同時，這一個導向機構均外 的加熱體則可針對其原料流束控制的任務作最佳化。 加熱體以及/或是導向機構在其外形上可以隨著所須的汽化 特性而自由地選擇。而出口朝向基材、釋放出汽態原料的表面， 也可以隨著實際的汽化任務自崎取。所峨平坦的表面，以至 於凹形、凸形以及各式各樣彎曲的表面都可以均勻塗佈。汽態原 #料出汽面可以局部彎曲，尤其是凹狀或是凸狀。像這樣子的ϋ • •形狀考率對於汽化雜有其重大的影響，因為在汽化作業上的原 -料流束主要是朝向所要傭的物件，故而提高了汽化的效率。這 裡所指的效率是最終所塗佈在受钱物件上的原料總量跟在汽化 系統中的所需用掉的原料總量的比值。汽態原料出汽面的形狀應 該隨著所欲塗裝機板的形狀差異而彈性選擇。 加熱體的内部結構可以隨著實際汽化作業的條件作間隔上的 調整。空穴的大小可視塗料的相變特性以及用料需求作適當的選 9 98]2. I7 修正 年月日 … 丨補充 對於像是粉狀或者是粒子狀哪塗料，考慮其在加熱體的 :及大量塗佈的方便性上’腔體的特性間隔 八C araktenstischeGr〇esse)應該選擇在大約i亳米到5公 刀之間。讀所謂的特性間隔所指涉的是在至少―個方向上的介 =巢=上平行薄層結射編相鄰薄片之間的距離，或奴 用 平行相對的兩個内壁之間的距離。在某些特定的應 、,’選擇較小_部結_距可能會比較有利。譬如說，待汽 果在填裝触段是呈職狀，加鏡内部結構在間隔上 二=疋的選擇’使得當毛細管作用發生的時候，原料可以被平 均地導入並分布在整個加熱體上，進而促成均勾的汽化。相對地， =候當這些空腔在至少—個方向上具有1微_丨毫米這個 軏圍内的特性間隔範圍内是有利的。 =結構的最合適關隔選擇通常可由專業人員根據各種汽 來歧。修㈣—個大_職材（其大小在1〇公分 到1公尺的層級範圍）作喷霧的話，最合適的特性間隔也可能會 是3公分。 由本發明的第二個觀點來看’以上所述的任務是由一種至少 具有-個本發騎贿的加錄置的塗料備來達成。根據本發 明所優先触的-缝綠備具有—_來定位待塗裝基材的支 造，使得這個基材的表面跟—個基準面對齊。這一個基準面 以跟加熱裝置的岐面__幾何構造為優。 1335940 _ s㈣修正 、 L 補充 、、由本發明辟三個觀點來看，以上所述雜務是由-種汽化 =去來達成。個汽化方法騎轉當中使用了至少—個本發明所 提出的可轉裝航化轉的加題。* -·少有一個是使用對於待汽化原料作直接加熱的加熱树 • 本發_提出財法所具有的傑出伽是，待汽化元料的溫 度可以對外界的溫度調節有—個短的反應_。加錄置中的溫 度可叹精確地靖’使得在高汽化鱗的運轉當巾，原料不至 •驅動》或是 在根據本發騎優先魅財法上，至対—個加熱體的加 熱元件是直接由電流驅動或經由電磁感應直接由電流 替代性地以熱流驅動。 本發明也包含了-侧立的細。此即應用本發騎提出的 加熱裝置或是本發明所提ώ的塗裝設備於有機麵塗層，特別是 • 有機色料塗層的製造上。 【實施方式】 娜本發撕衍钱频形式贿如下，紅肝呈現且有 平坦的或是凸狀出汽面的加熱體運用。這禮要強調的是，本發明， 無論是在出汽面的變化形式上’以及/或是在加熱裝置跟待塗裝基 材之間相對_鶴的變化形紅，較Μ域實施的。所有 關於塗裝贿、汽化H，及其__色，只要是在傳統的汽化 11 I335940 r—_____ 技術上已知的，或者是在_根據本發明所衍生的加熱裝置時， 可以由專業人員調配的’在以下的說明裡不會再逐項贅述。例如， .我們可以難所有根據本發明衍生的汽化m都會有一個如圖 . 二所不的溫度感測器。 • 首先’請參閱第—圖 '第二圖及第三圖，.根據本發明所衍生 的’具有主動鶴加件的加難置’以及第四圖為另一個根 魯據本發明所衍生的，具有被動驅動加熱元件的加熱裝置。 第-圖為-根據本發明所衍生的塗裝設備⑽的剖面圖，這 個塗裝設備100具有-個加熱裝置1〇、一個外接電源2〇，跟一個 基材依托3G。塗裝設備的内部空間是—個隔離室仙這個 隔離^〇1可以是由真空設備（未圖示）抽成真空的密閉空間， 或者是由鈍氣源（未圖示）填裝過媒介氣體的密閉空間。 加熱裝置10包含了-個由_材料組成的、具有許多小孔 (空腔）的加熱體n，這—個加熱體n是由碳化頻成的，盆上 的=小孔（空腔)大小約為1毫米，這種小孔（空咖尺寸適合 像疋求二甲素（PhthalQGyanine)之義有機顏料，或者是其它 r員似塗料的&化健。在簡圖上所呈現的加熱體Η的材料是由許 多加熱元件12構成的。待汽化的塗料就可以佈置在這些加執元件 12之間。加熱體U具有—個出汽面13，這個出汽面13在 的選擇是要配合它對面固定於基材依托3〇上基材31的平坦表面。 12 丄 丄 日修正 曰補充 力”.、mi在側面具雜觸面i4，這 經加嶋r^tr個電㈣提供譬如說2安培流 八，2體11具有—個平行六面體的形狀。例如，其高度為1公 八八又為5 A刀’出⑽13跟基材31之間的距離譬如說是5 公分。 於基材31的塗袈處理包含了以下的作業流程：首先，把待 斤化的塗缝填於加熱體11中，在這裡，加鐘η上塗料的裝 填通常在另—個未示於圖上的塗料裝填處所進行，把待汽化的塗 =到加紐11的表面上去，例如制出汽面13上知依小孔 (空腔）的大小而異，這些塗料會下落到加熱體u的内腔裡面去， 這财落的過程可以加熱體u的震動協助進行，固態的塗料有時 可以藉助於液態懸劑而滴落’或是倒入到加熱體u上去，在待汽 化塗料呈液相的情況下’則在塗贼填處馳加熱體n浸泡到液 相的塗料裡去’或者是把液態塗料淋細加熱體11上，使得加熱 體11把塗料吸收進去，另-種可能性是，在隔離11〇1内對加熱 體11進行裝填作業。 然後啟動電源20，當通上電流時，加熱體u本身成為電阻 性的電熱絲，塗料因而被加熱到汽化溫度，溫度的控制可以藉由 如第三圖所示的溫度制器16，或者是，在加熱體U的電阻跟 13 1335940 $1$107修正 補充I1 、四 ____補充I1 已知的情況下’藉由電阻的量測，或是進一步使 了我們餘、 塗料的直接加溫則提供 頭6^ /说作業取直接而且最輕鬆自如的掌控，在加執體裡 用頭的、塗:受熱而逐件轉變為汽相，經過多次的附著跟分離的體:里 流合^塗觀會向外以箭頭方向推進到出汽面13。在這裡，氣 大;在摄步把以塗料帶向基材3卜舉例而言，溫度調節的範圍 大为在攝氏50度到600度之間，甚或更高。 浐，^於第—圖所示的出汽面13在幾何上是一個長方形的面 =仙樣的原則τ也可以改為線_縫式的出汽面㈡。同 ’’單點式的岐面13也—樣容易據以實施。 f圖及第一圖’一樣呈現的是一個塗裝設備刚，不同的 夕方就在於第二圖擁有多數個加熱體11· 1、11. 2及11 3，這些 =加熱體n.1、^.2及W恤繼當中，、軸 ^控制的開關22 ’逐-單獨地被開啟，例如，循序地開啟。這 體^轉模式所具有的優點是，可以事先一次在這些多數的加熱 _ · 2及3上裝填大量的塗料’這些分開填裝於多數 加熱體H· i、1L 2及u. 3的塗料則可以在運轉中逐一地隨著開 關22的制御而釋放出來。而當在最上層的加熱體〖I. 1上的原料 7告馨’這—個加熱體n.1就成為以下汽化過程中把原料流束 導向機材的導向機構15。 14 1335940 TV!修司 红圖則是根據本發明衍生有凹狀表面的待 塗裝物件的示賴，補示例子上，紐31是呈中空的球狀，它 =面32正待均勻塗層，這個時候，中空球面的内腔構成了隔離 至1 ’其内可能已抽成真空或是填充了某種純氣。

、、加熱裝置10的加熱體U是由一種多孔的、起泡的、而且可 以導電的喊㈣構成，像是碳切這軸對於待汽化塗料具有 惰性的材料，加熱體11的出汽面13是-個具有半球形的凸狀表 面’或是-個半球跟—根圓柱-域成的凸狀表面。 這個加熱體11的下半部是兩個相互電氣絕緣的接觸面14， 這兩個接觸面14提供了加熱體n的電流供應，且同時作為位於 中工球面巾央的加熱體11的機械支撑，這裡另外還安裝了 一個溫 度感測器16，這個溫度感測器16是用來監控、調節加熱體u在 正個π化作業當中的溫度’接觸面是經過—組開關（未呈現於 ^ 圖示）跟電源20連接的。 、 汽化的過程與以上描述的步驟類似，在加熱體Π裝填好塗料 之後，電阻熱效應以及溫度的調控使得汽態塗料多方位同時由出 汽面13依箭頭方向流向基材31的内面32，加熱體n的内在結 構確保原料可以均勻地向四面八方流動。如果在中空球面内調整 適當比例的鈍氣壓力的話，可以藉由氣體對汽態原料的散亂作用 提高最後形成於球體内面32塗層的均勻度。 15 I 98.12. 17 ^ ' —第四圖表示了根據本發明所有間接加熱元件 的貫施型態。如圖所示’該加熱健1Q與其加熱體11安裝於塗 裝設·的隔離室101中，加熱體11跟由螺旋狀燈絲41纏达 起來的熱源40之間有只钱力學上的接觸。這些燈絲可經由導: 21以電源20驅動而發熱’在隔離室1(U中也有-用來支撐基材 31的，材依托30 ’在這個圖示上有別於上述幾種根據本發明所衍 生的實施_是，物咖姻u的是無，這賴流現在負 責調控在加熱體11中的塗料所带M> 、 T 騎力的汽化溫度，汽化—域述步驟 進行。 以上無論是在本文描述上、姻料以及t請專纖圍中所 揭不的各項本發_概，都可能翔地，歧制地對本發明 具體實施時的各種型態產生重大影塑。 綜上所述，本發明結構設計及方法合理，應已充分符合新賴 性及進步性之蚊發明翻縣，纽法提㈣請，騎貴局核 准本件發明專利申請案，以勵發明，至感德便。 【圖式簡單說明】 " 2-圖係為本發明所衍生的塗奴備之第—實施例剖面圖。 =二圖係為本發明所衍生的塗裝設備之第二實施例剖面圖。 第三圖係為本發明所衍生的塗裝設備使用於具有凹狀表面的 待塗裝物件之示意圖。 f四圖係為根據本發明所衍生的另_種具有間接加熱元件的 實施型態。 1335940 【主要元件符號說明】 10加熱裝置 100塗裝設備 101隔離室 11加熱體

11.1加熱體 11.2加熱體 11.3加熱體 12加熱元件 13出汽面 14接觸面 15導向機構 16溫度感測器 20 電源 21導線 30基材依托 31 基材 31内面 40熱源 41螺旋狀燈絲

Claims (1)

1. 99年07月16日修正替換頁 十、申請專利範圍： ----- 1.種加熱名置，係設置於一塗裝設備，用以將一塗料轉變為汽 態，包括有： 至少-加熱體，該加無内部具有複數個空腔，㈣填裝該塗料； 以及 複數個加熱TL件’該些加熱元件係分散佈置於該些空腔表面 上’其巾，_加熱元件_由導熱或將雜直接觀成熱能而 發熱。 2_如申請專利範圍第丄項之加熱裝置，其中該些加熱元件是由該 加熱體的内壁構成。 / 3. 如申請專利範圍第】項之加熱裂置，其中，當該些加熱元件係 藉由導熱*雜時’該些加熱元件具有至少每公尺克耳文2瓦特 (2 W/m K)的導熱能力。 4. 如申請專利範圍第！項之加熱震置，其中，當該些加熱元件係 藉由導熱而發熱時，該些加熱元件與至少一個熱源連接。 5. 如申請專利範圍第1項之加熱裝置，其中，該加熱體具有至少 一種内部結構，這個内部結構選自於以下所列結構：空孔結構 (Porenstrukturen)，薄片結構（Lamellenstrukturen)，蜂巢結 構（Wabenstrukturen) ’ 起泡結構（Schaumstrukturen)，以及纖 維結構（Faserstrukturen)。 18 1335940 99年21曰替換耳 物瓣丨心嶋，料，^ ' 或陶紐料’或是金屬軸纽姆料所構成。 .7.如申請專利範圍第1項之加熱裝置，其中，該加熱體為複數個， 於該些加熱體之空腔的表面上分散佈置有該等加熱元件。 8·如申請專利範圍第7項之加練置，其中至少一個加熱體的加 熱70件係與其它加熱體的加熱元件係分開驅動。 h·如申請專利細第丨項之加錄置，更具有一導向麟，用以 導向已汽化塗料的放射特性。 10.如申請專利範圍第9項之加熱裝置，更具有一出汽面，該出汽 面係位於該加熱體空腔或該導向機構之出口處。 η·如申請專利範圍第i項之加熱裝置，該等空腔在至少一個方向 上彼此具有在1毫米到5公分之間的間隔。 1 12.如中請專利範圍第1至1G項中任-項之加熱裝置 ，該等空腔 在至>、個方向上彼此具有在i微米到j毫米之間的間隔。 13.-種塗奴備，其具有如巾請專利細項目第丨至12項中任 一項的加熱裝置。 .14.如申明專利範圍帛13項所述之塗裝設備，更具有一基材依 托°亥基材依托係沿著一預定基準面，用來定位一待塗裝基材。 15.—種用於一塗裝設備上使塗料轉變為汽相的方法，包含以下步 19 99年10月21日替換頁 驟： 在如申《月專利範圍第1至12項中任一項所述加熱聚置的該加 熱體之上填裝塗料；以及 對该加熱體之該些加熱元件作開關的動作。 =·如申請專概㈣15項之麟—塗裝設備上使塗料轉變為 汽相的方法，其巾，當該些加熱元件簡由導熱而發熱時，多數 的加熱元件每_具有至少每公尺克耳文2瓦特（2 導熱能力。 ”的 17.如申請專娜圍第15項之祕—錄設備上使塗料轉變為 相的方法，其巾該些加熱元件__作依預定運轉計劃進行。 W·如申請專利範圍第17項之用於一 〈用於塗裝設備上使塗料轉變為 相的方法，其中，當該加埶俨 …、紅為稷數個時，不同加熱體的該些 加熱元件單獨地先後依序開關。 19. 一種塗裝設備’用以將—塗料轉變為汽態，包括有： 一隔離室，其中設有： 及 至^加熱浴，其内部具有複數個空腔， 用以填裝該塗料； 複數個加熱元件，係分散你 布置於5亥隔_室中而不與該加熱體 作直接接觸且環繞設置於該加埶 〃 3肢之周圍，猎此，該等加熱元件 卯年10月21日替揍頁 ’係以熱對流的方式而提供該加熱體所需之熱源。 20.如申切專利範圍第19項的塗裝設備，其巾，該些加熱元件具 .有至少每公尺克耳文2瓦特（2 w/m K)的導熱能力。 • 21·如申請專利範圍笫19項的塗裝設備，其t，該些加熱元件與 至少一個熱源連接。 _ 22.如申請專利範圍帛19項的塗裝設備，其中，該加熱體具有至 少-種内部結構’這個内部結構選自於以下所列結構：空孔結構 (Porenstrukturen)，薄片結構（Lameiienstrukturen)，蜂巢 結構（Wabenstrukturen)，起泡結構（Schaumstrukturen),以 及纖維結構（Faserstrukturen)。 23·如申請專利範圍第19項的塗裝設備，其中，該加熱體由一種 金屬，或陶兗材料，或是金屬跟陶瓷混合材料所構成。 ♦ 24. 士口申請專利範園第23項的塗裝設備，其中，該加熱體為複數 .個犄，其中之一加熱體的加熱元件與其它加熱體的加熱元件係分 開驅動。 25.如申請專利範圍第19項的塗裝設備，更具有一導向機構，用 以導向已汽化塗料的放射特性。 26.如申請專利範圍第25項的塗裝設備，更具有一出汽面，該出 汽面係位於該加熱體空腔或該導向機構之出口處。 1335940 _ 99年10月21日替換頁 ^ 27.如申請專利範圍第19項的塗裝設備，該等空腔在至少一個方 •- 向上彼此具有在1毫米到5公分之間的間隔。 • 28.如申請專利範圍第19至27項中任一項的塗裝設備，該等空 ' 腔在至少一個方向上彼此具有在1微米到1毫米之間的間隔。

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   ------ — y修正 曰補充 年月 七、指定代表圖： (一） 本案指定代表圖為：第（一）圖。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明： 10加熱裝置 100塗裝設備 101隔離室 11加熱體 12加熱元件 13出汽面 14接觸面 20 電源 21導線 30基材依托 31 基材 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式：