CN209854237U - 一种新型的点式蒸发源 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型的点式蒸发源，包括外壳和加热装置，所述外壳内设有加热装置，所述加热装置的加热丝为片状加热丝。所述片状加热丝的厚度为0.3‑1mm，宽度为2‑10mm。所述片状加热丝上下按照一定间距折叠后环绕成圆形组成所述加热装置。所述外壳与所述加热装置之间设有至少一层金属套筒。本实用新型的加入装置的加热丝采用片状加热丝，加热丝的截面积加大，从而提升加热丝使用寿命。

Description

一种新型的点式蒸发源

技术领域

本实用新型涉及一种蒸镀设备，特别涉及一种新型的点式蒸发源。

背景技术

在OLED(有机发光显示屏)制备工艺中，蒸镀设备用热蒸发的方式对材料进行加热，加热后的材料成气态沉积到Substrate(基板)上进行成膜。其中用于蒸镀金属材料的一般采用点式蒸发源，采用点式蒸发源代替传统的线状金属加热丝，点式蒸发源使用片型加热丝来加大辐射热面积，从而提高热效率。点式蒸发源包含如下部分：1)坩埚；2)加热装置，加热装置根据坩埚的设计容量加热丝的宽度及高度进行调整；3)用于固定加热装置的固定绝缘装置；4)提高热使用效率的内置外壳；5)加热装置金属外壳；6)热电偶；7)用于连接加热丝及电源的连接装置。

目前加热装置采用直径在0.5-1mm的丝状加热丝，通过陶瓷等绝缘件进行加热丝的组装，来保证加热丝均匀分布及避免加热丝之间接触造成的短路。加热装置的外壳用不锈钢材料加工成套筒的形式，套筒柱面有封闭型和开孔型。此两种型式的套筒热损失比较大，易造成热均匀性比较差。

现有的点式蒸发源存在以下问题：

1.加热丝形状为圆形，因此在加热丝上产生的热量大部分会反射到坩埚以外的区域，热使用效率极低。

2.因热使用效率低，相对片型加热丝要满足特定温度时，需要更多的电流，导致加热丝寿命下降速度快。

3.丝状加热丝因热辐射面积小，因此缠绕的圈数过多，不易进行固定，并且固定的过程中，因摩擦等因素会对加热丝表面损伤。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的是针对上述现有技术的缺陷，提供一种使用寿命长的新型的点式蒸发源。

为了实现上述目的本实用新型采取的技术方案是：

一种新型的点式蒸发源，包括外壳和加热装置，所述外壳内设有加热装置，所述外壳与所述加热装置之间设有至少一层金属套筒。

一种新型的点式蒸发源，包括外壳和加热装置，所述外壳内设有加热装置，所述加热装置的加热丝为片状加热丝。

所述片状加热丝的厚度为0.3-1mm，宽度为2-10mm。

所述片状加热丝上下按照一定间距折叠后环绕成圆形组成所述加热装置。

所述外壳与所述加热装置之间设有至少一层金属套筒。

所述加热装置的外围间隔距离套设有绝缘件，所述绝缘件固定在所述金属套筒上。

所述加热装置与金属套筒之间的绝缘件上设有热电偶。

所述金属套筒的厚度为0.3-1mm。

所述外壳和加热装置之间的间距为2-5mm，所述外壳与所述加热装置之间设有两层金属套筒。

所述外壳、第一金属套筒、第二金属套筒与加热装置中，每两个相邻部件之间的间距为2-5mm。

所述金属套筒钽套筒或不锈钢套筒。

本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

本实用新型的加入装置的加热丝采用片状加热丝，加热丝的截面积加大，从而提升加热丝使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种新型的点式蒸发源的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的加热装置的结构示意图。

图中：

1外壳；2加热装置；3金属套筒；4片状加热丝；5绝缘件；6热电偶；7坩埚。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。

参见图1和图2，一种新型的点式蒸发源，包括外壳1和加热装置2，外壳1内设有加热装置2，加热装置的加热丝为片状加热丝4。

本实用新型将丝状加热丝改成片状，即加热丝横截面非圆柱状，而是呈长方形或正方形，使加热丝截面积加大，从而提升加热丝使用寿命。

进一步地，片状加热丝4的厚度为0.3-1mm，宽度为2-10mm。

本实用新型的片状加热丝采用厚度在0.3-1mm、宽度在2-10mm之间，所述的厚度及宽度可以根据坩埚容量、蒸镀材料、电压及电流等参数进行设计选择。

进一步地，如图2所示，片状加热丝4上下按照一定间距折叠后环绕成圆形组成加热装置2。

本实用新型的片状加热丝由机床加工而成，精度高，误差小，易组装，可有效提高加热丝形状变化改变而导致的加热均匀性。

参见图1，本实施例在上述实施例的基础上，外壳1与加热装置2之间设有至少一层金属套筒3。

本实用新型在加热装置和外壳之间增加金属薄套筒，减少加热热量损失，让热量在金属薄套筒内均匀性提高，从而提升材料蒸发速率稳定性。

进一步地，加热装置2的外围间隔距离套设有绝缘件5，绝缘件5固定在金属套筒3上。

设置绝缘件，用于防止加热装置的加热丝在加热过程中变形，以保证坩埚7能顺利放入及从加热装置中取出，绝缘件可选用陶瓷环。

进一步地，加热装置2与金属套筒3之间的绝缘件5上设有热电偶6。

设置热电偶，用于测试加热装置2与金属套筒3之间的温度。

优选地，金属套筒3的厚度为0.3-1mm。

进一步地，外壳1和加热装置2之间的间距为2-5mm，外壳1与加热装置2之间设有两层金属套筒3。

金属套筒可以根据加热装置和外壳之间间距进行考虑增加一层或者两层。

优选地，外壳1、第一金属套筒、第二金属套筒与加热装置2中，每两个相邻部件之间的间距为2-5mm。

优选地，金属套筒3为钽套筒或不锈钢套筒，也可以采用其金属套筒。

增加钽或不锈钢等金属薄套筒，从而提升材料蒸发速率稳定性。减少加热的热量损失，让热量在金属薄套筒内均匀性提高，提高温度均匀性，从而提升材料蒸发速率稳定性。

本实用新型具有以下优点：

1)提升蒸发源使用寿命，加热丝相对比较不易断裂；

2)提升加热装置对坩埚加热的均匀性，使材料蒸发速率稳定性提升；同时提升热使用效率。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种新型的点式蒸发源，其特征在于，包括外壳和加热装置，所述外壳内设有加热装置，所述加热装置的加热丝为片状加热丝；

所述片状加热丝上下按照一定间距折叠后环绕成圆形组成所述加热装置。

2.根据权利要求1所述的新型的点式蒸发源，其特征在于，所述片状加热丝的厚度为0.3-1mm，宽度为2-10mm。

3.根据权利要求1或2所述的新型的点式蒸发源，其特征在于，所述外壳与所述加热装置之间设有至少一层金属套筒。

4.根据权利要求3所述的新型的点式蒸发源，其特征在于，所述加热装置的外围间隔距离套设有绝缘件，所述绝缘件固定在所述金属套筒上。

5.根据权利要求4所述的新型的点式蒸发源，其特征在于，所述加热装置与金属套筒之间的绝缘件上设有热电偶。

6.根据权利要求3所述的新型的点式蒸发源，其特征在于，所述金属套筒的厚度为0.3-1mm。

7.根据权利要求6所述的新型的点式蒸发源，其特征在于，所述外壳和加热装置之间的间距为2-5mm，所述外壳与所述加热装置之间设有两层金属套筒。

8.根据权利要求7所述的新型的点式蒸发源，其特征在于，所述外壳、第一金属套筒、第二金属套筒与加热装置中，每两个相邻部件之间的间距为2-5mm。

9.根据权利要求3所述的新型的点式蒸发源，其特征在于，所述金属套筒钽套筒或不锈钢套筒。