TWI331232B - Discharge method, color filter manufacturing method, electro-optical apparatus, and electronic device - Google Patents

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1331232 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用以喷出具流動性之液狀體之噴出方法及 使用有該噴出方法之彩色濾光片之製造方法、光電裝置及 電子機器》 【先前技術】 用以噴出具流動性之液狀體之喷出方法，已知有以下方 法：將含彩色遽光片之材料之液狀體噴出至基板而製造彩 色/慮光片（專利文獻1)。 上述彩色滤光片之製造方法中，係採用以下方法：將具 有使液狀體形成液滴而可喷出之複數喷嘴之複數液滴喷頭 與基板相對，以使喷嘴行排列於特定方向。接著，在不從 兩Γ的特定區域之喷嘴(未使用噴嘴)喷出液 ^相對移動基板與液滴喷頭，邊從喷嘴（使 用喷嘴）將液狀體適當喷出至墓 色_光# ^ 特定位置而形成彩 域之喷錢用位於喷嘴仃兩端部的特定區 域之喷出量較多之喷嘴而進行液狀體 地喷出液狀體。 貝扣&更加均勻 此外’已知液滴喷出裝置及裝置之製造方法， 彩色遽光片’將具流動性之液狀體喷出而 = 精密良好的微細圖案的功能性薄膜（專利文獻2)形成 該裝置之製造方法中拉 機，以連續拍攝二=滴嗔出裝置所具備的照相 為基準，可決:最:=在基板上時的舉動之結果 疋蚨適液狀體的噴出條件。 I15306.doc 1331232 本發明之光電裝置’其特徵在於：其係具備使用上述發 明之彩色遽光片之製造方法而製造之彩色遽光片。藉此， 由於具均勻形成有複數種色要素之彩色濾光片故可提供 • 具很少色不均等缺點之高顯示品質的光電裝置。 • 纟發明之電子機器’㈣徵在於：其係搭載有上述發明 <光電裝置。藉此，由於搭載有具很少色不均等缺點之高 顯示品質的光電裝置，故可提供容易見到且可彩色顯示之 電子機器。 • 【實施方式】 本發明之實施形態仙使用有具液狀體形成液滴而從喷 嘴喷出的液滴喷頭之液滴喷出裝置之彩色濾光片之製造方 法、及作為使用有該#色遽光片之光電裝置的液晶顯示裝 置、以及作為搭載有該液晶顯示裝置之電子機器的攜帶型 資訊處理裝置為例，進行說明。 (第一實施形態） <液滴喷出裝置> • 首先，依據圖1至圖3’說明液滴噴出裝置。圖丨係顯示 液滴噴出裝置的概略立體圖。 如圖1所示，液滴喷出裝置100係使液狀體形成液滴而噴 出，以在工件W上形成由液狀體所構成之膜。接著其係 具備以下構件：載置台104 ’其用以載置工件W，·及喷頭 早70 101 ’其係具有複數液滴喷頭20(參照圖2)，用以將液 狀體形成液滴而噴出至所載置的工件 此外，液滴喷出裝置1〇〇係具備以下構件：χ方向引導軸 •12· 1 I5306.doc 102 ’其用以冑喷頭單元101朝副掃描方向(x方向)驅動； 及X方向驅動馬達103 ’其用以轉動χ方向引導軸1〇2。再 者’具備以下構件：γ方向引導轴1〇5，其用以引導載置台 HM至主掃描方向(γ方向）；及γ方向驅動馬達1〇6，其用以 與Y方向引導軸1〇5相扣合而轉動。接著，具有基台1〇7, 其係將X方向引導軸102與γ方向引導軸1〇5配設於上部， 並在該基台107下部設有控制裝置1〇8。 此外，具有清潔機構1〇9,其用以將喷頭單元1〇1的複數 液滴喷頭20清潔（恢復處理）、及加熱器m，其用以將所喷 出液狀體加熱，並將溶媒蒸發.乾燥。再者，於清潔機構 109亦具有Y方向驅動馬達110。 在噴頭單元101係具有複數液滴喷頭2〇(參照圖2)，用以 從複數噴嘴22喷出液狀體而塗佈於工件w。接著，藉由， 等複數液滴噴頭20 ’依據從控制裝置108所供應的噴出電 壓，可個別分出液狀體。該液滴喷頭2〇係如後述。 X方向驅動馬達1 〇 3係例如步進馬達等，但並不限於其 從控制裝置108供應X軸方向的驅動脈衝信號時，轉動乂方 向引導轴102，並使與X方向引導軸1〇2相扣合之嘴頭單元 101朝X方向移動。 同樣地，Y方向驅動馬達106、110係例如步進馬達等 但並不限於其’從控制裝置108供應Y軸方向的驅動脈衝_ 號時，與Y方向引導軸105相扣合而轉動，並使具有γ方向 驅動馬達106、110之載置台104及清潔機構1〇9朝γ轴方。 移動。 115306.doc •13· Ϊ331232 清潔機構109清潔液滴喷頭2〇時，移動至靠近喷頭單元 1之位置，並進行.封蓋，其與液滴喷頭2〇的喷嘴面相 雀著而吸引不要的液狀體；擦淨，其係擦栻附著有液狀體 等之喷嘴面，從液滴噴頭2〇的全喷嘴進行液狀體的喷出之 預備喷出或接收不要的液狀體而排出之處理。清潔機構 109係省略詳細說明。

加熱器U1係例如利用燈退火將工件W熱處理之機構， 但並不限於其，其係進行將喷出至工件评上的液狀體蒸發 乾燥且進行用以變換為膜之熱處理。該加熱器⑴的電 源技入及遮斷亦由控制裝置1 〇8所控制。 液滴噴出裝置⑽的塗佈動作係將特定驅動脈衝信號從 控制裝置108送至X方向驅動馬達⑻及丫方向驅動馬達 1〇6，並將喷頭單元101相對移動至副掃描方向（X方向）， 將載置台104相對移動至主掃描方向（丫方向）。接著，在該 相對移動之間從控制裝置108供應喷出電展，並將液狀體 形成液滴而從各液滴喷頭2()喷出至卫件w的特定區域，以 進行塗佈。 量可藉由從控制裝置 從各液滴噴頭20喷出之液滴噴出 1 〇8所供應之喷出電壓大小而調整。 圖2係顯示液滴喷頭之構造的概 佩岭圍，圖2(a)係顯示液滴

噴頭之構造的概略立體圖；圖2(bK 、顯不液滴喷頭之複數 噴嘴配置的概略平面圖。另外，該 _马明確構成，係適當 放大或縮小。 如圖2(a)所示 液滴喷頭2 0係三層構造 之所謂壓電方式 115306.doc -14- 喷墨頭’其係由以下構件所構成··喷噙板21，其係具有複 數喷嘴22 ;儲存板23 ’其係形成有液狀體流路，其包含對 應各喷嘴22而將其劃分之劃分部24 ;及振動板28，其係具 有作為能源產生機構之壓電元件（piezo)29。藉由喷嘴板21 與儲存板23的劃分部24及振動板28，構成複數壓力產生室 25。各喷嘴22係分別連通於各壓力產生室25。此外，壓電 元件29係複數配設於振動板28，以對應各壓力產生室25。 在儲存板23係設有共通流路27，其係將通過形成於振動 板28之供應孔28a而從槽（省略圖示）供應之液狀體暫時儲 存。此外’填充於共通流路27之液狀體係通過供應口 26而 供應至各壓力產生室25。 如圖2(b)所示，液滴喷頭20係具有二個噴嘴行22a、 22b ’分別以間距p 1配設複數（丨8〇個）直徑約為28 μιη的喷 嘴22。接著’二個喷嘴行22a、22b彼此係以相對於間距p 1 而偏頗一半的喷嘴間距P2之狀態而配設於喷嘴板2 1。此 時’間距P 1係約140 μηι。藉此，從與喷嘴行22a、22b相直 父之方向觀之，係形成以大約7〇 μηι的喷嘴間距P2排列3 60 個喷嘴22之狀態。另外，實際喷出液狀體時，未使用喷嘴 行22a、22b兩端側的1〇個喷嘴22。因為，考慮如下：來自 位於兩側之喷嘴22的喷出量與其他噴嘴22相比，難以穩 定°因此’具二個喷嘴行22a、22b之液滴喷頭2〇的有效喷 嘴全長係噴嘴間距Ρ2χ319(約22 mm)。再者，喷嘴行22a、 22b的間隔係約2.54 mm。 液滴喷頭20將作為電性信號的驅動波形施加至壓電元件 115306.doc 15 1331232 29時’壓電元件29本體會扭曲而將振動板28變形。藉此， 可引起壓力產生室25的體積變動，以其所造成之泵作用將 填充於壓力產生室25之液狀體加壓，並將液狀體形成液滴 3〇而從喷嘴22噴出。另外，本實施形態之液滴喷頭2〇係具 有二個喷嘴行22a、22b ,但並不限於此，也可為一連者。 此外，以下所述喷嘴行係指有效喷嘴行。再者，用以將液 狀體形成液滴30而從喷嘴22噴出之能源產生機構並不限於 壓電疋件29，也可為作為加熱元件之加熱器或作為機電轉 換元件之靜電致動器等。 圖3係顯不控制裝置及與控制裝置相關連之各部之電性 構成的區塊圖。如圖3所示，控制裝置1〇8係具備以下構 件.輸入緩衝器記憶體12 0，其係從外部資訊處理裝置接 收液狀體的喷出資料；及處理部122，其係將暫時記憶於 輸入r緩衝器記憶體120之噴出資料展開於記憶機構 (RAM)121而將控制信號送至關連各部。此外，具有以下 構件.掃描驅動部123，其接收來自處理部122的控制信號 而將位置控制信號送至X方向驅動馬達1〇3與γ方向驅動馬 達106，及作為頭驅動機構之頭驅動部124，其同樣接收來 自處理部122的控制信號而將驅動電壓脈衝（驅動波形）送至 液滴喷頭20。 · 輸入緩衝器記憶體120所接收之噴出資料係包含：用以 顯不工件W上的膜形成區域的相對位置之資料；用以顯示 以何種滴下岔度將液狀體的液滴喷出至膜形成區域之資 料，及用以指定驅動（〇N_OFF)液滴喷頭2〇的喷嘴行22&、 115306.doc •16· 1331232 22b内的哪個喷嘴22之資料。 處理部122係將有關膜形成區域位置的控制信號從儲存 於記憶機構121之喷出資料中送至掃描驅動部123。掃描驅 動部123接收該控制信號而將位置控制信號送至χ方向驅動 馬達1〇3,以使液滴喷頭20朝作為副掃描方向之χ軸方向移 動。此外，將位置控制信號送至丫方向驅動馬達1〇6而使保 持有工件W之載置台HM朝作為主掃描方向之γ轴方向移 動。藉此，相對移動液滴喷頭20與工件w，以使液狀體的 液滴30從液滴喷頭20喷出至工件賈所希望的位置。 再者，處理部122係從儲存於記憶機構121之喷出資料 中，將用以顯示以何種滴下密度將液狀體的液滴3〇喷出至 膜形成區域之資料變換為各喷嘴22的4位元喷出位元影像 資料，再送至頭驅動部124。又’依據用以指定驅動（ON-OFF) 液滴喷頭 20 的喷嘴行22&、 22b 内哪個噴嘴 以之資料， 將何時發出用以施加至液滴喷頭2〇的壓電元件29之驅動電 廢脈衝之作為「時點檢出信號」之㈣（LAT)信號與通道 (CH)k號达至頭驅動部124。頭驅動部124接收該等控制信 號而將適當的驅動電壓脈衝送至液滴喷頭2〇 ’以從喷嘴Μ 喷出液狀體的液滴30。 本實施形態中，處理部122將LAT信號與CH信號送至頭 驅動部124，以不會同時從喷至膜形成區域之相鄰喷嘴 喷出液狀體。此外，頭驅動部124依據LAT信號，可以特 定周期產生驅動電壓脈衝。接著，處理部122同步將工件 W與液滴喷頭20相對移動，將CH信號送至頭驅動部124, 115306.doc •17· 1331232 以施加至壓電元件29，其係對應使用時系列不同的驅動波 形之喷嘴22。 <彩色濾光片> • 其次，依據圖4說明彩色濾光片。圖4係顯示彩色濾光片 . 的平面圖。 如圖4所示，彩色濾光片10係具有隔牆部4，其用以在作 為透明基板的玻璃基板1表面劃分複數膜形成區域2。在膜 形成區域2係形成二色（R :紅色、g :綠色、b :藍色）的色 參 要素3。各色要素3R、3G、3B係直線狀配置同色的色要素 3者。亦即，彩色濾光片1〇係具有條紋方式的色要素3。 <彩色濾光片之製造方法> 其次，依據圖5及圖6說明本實施形態之彩色濾光片之製 造方法。圖5係顯示彩色濾光片之製造方法的流程圖；圖 6(a)〜(f)係顯示彩色濾光片之製造方法的概略剖面圖。此 外，本實施形態之彩色濾光片10之製造方法係使用前述之 液滴喷出裝置100，並使用後述之液狀體的喷出方法。 • 如圖5所示，本實施形態之彩色濾光片10之製造方法係 具備以下步驟：在玻璃基板丨形成隔牆部4之步驟（步驟 51) ;及處理形成有隔牆部4之玻璃基板1表面之步驟（步驟 52) 。接著，具備以下步驟：將包含作為功能性材料之不 同色要素形成材料之複數種液狀體喷出至已表面處理之破 璃基板1之步驟（步驟S3);及將所喷出液狀體乾燥而將色 要素3固定化之步驟（步驟S4)。又，具備以下步驟：形成 平坦化層以覆蓋所形成的隔牆部4與色要素3之步驟（步驟 115306.doc -18- 1331232 S5);及在平坦化層上形成透明電極之步驟（步驟 圖5之步驟S1係形成隔牆部4之步驟。如圖6(幻所示，步 驟S1中，首先’在玻璃基板i表面形成第一隔牆部乜，以 劃分膜形成區域2。形成方法係利用真空蒸鍍法或濺射 法，以具遮光性方式使〇或八1等的金屬膜或金屬化合物之 膜成膜’以覆蓋玻璃基板丨表面。接著，塗佈感光性樹 脂，再利用光微影法進行曝光.顯像•蝕刻，以使膜形成 區域2開口。再者’以約2 μιη的厚度塗佈感光性隔牆部形 成材料，再同樣利用光微影法進行曝光•顯像，以在第一 隔驰。卩4a上形成第二隔牆部隔牆部4係形成第一隔牆 部4a與第二隔牆部朴所構成之所謂的雙層岸堤構造。另 外，隔牆部4不限於此，也可為使用具遮光性之感光性隔 牆部形成材料而形成之只有第二隔牆部4b之單層構造。接 著，進入步驟S2 ^ 圖5之步驟S2係表面處理步驟。步驟82中，在之後的液 狀體喷出步驟中，處理玻璃基板〗表面，使其具親液性， 以將所喷出的液狀體滴在膜形成區域2而浸濕擴大。此 外’至少處理第二隔牆部4b的頭頂部，使其具撥液性，以 使部分所喷出的液狀體即便滴在第二隔牆部仆，也可收容 於膜形成區域2。 表面處理方法係對形成有隔牆部4之玻璃基板1進行以〇2 為處理氣體之電漿處理與以氟系氣體為處理氣體之電漿處 理。亦即’將膜形成區域2親液處理，之後，將感光性樹 脂所構成之第二隔牆部4b表面（含壁面）撥液處理。另外， 115306.doc -19· 1331232 若用以形成第二隔牆部4b之材料本體真撥液性，可省略後 者的處理。接著，進入步驟S3。 圓5之步驟S3係噴出液狀體之步驟。如圖6(b)所示步 驟S3中，在液滴喷出裝置100的載置台1〇4載置形成有隔牆 部4且已表面處理之玻璃基板丨。接著，同步將載置有玻璃 基板1之載置台104與液滴喷頭20相對移動（往主掃描方 向），將液滴30從填充有含色要素材料的液狀體之液滴喷 頭20的喷嘴22喷出至膜形成區域2。噴出至膜形成區域2之 液狀體的總喷出量係依據事先噴出次數等的喷出資料從 控制裝置108的處理部122將適當的控制信號送至頭驅動部 124而進行控制，以在之後的乾燥步驟（步驟S4)得到特定 的膜厚。詳細的喷出方法係如後述❶接著，進入步驟以。 圖5之步驟S4係乾燥步驟β如圖6(c)所示，步驟S4中， 藉由液滴喷出裝置100所具備的加熱器m，將喷出液狀體 之玻璃基板1加熱，並從液狀體蒸發溶媒成分，以將色要 素形成材料所構成之三要素固定化。 本實施形態中，首先，藉由將含R(紅）色要素形成材料 之液狀體喷出至膜形成區域2，並使之乾燥，以形成色要 素 接考，藉由將含依G(綠）、B(藍）順序之不同色要素 形成材料之液狀體依序喷出而乾燥，如圖6(d)所示，形成 三色色要素3R、3G、3B。另外，不限於此，例如，在步 驟S3的喷出步驟中，將含不同色要素形成材料之複數種液 狀體刀別填充於不同的液滴噴頭20，並將各液滴喷頭2〇裝 e又於喷頭單元1〇1而從各個喷嘴22將液狀體喷出至所希望 115306.doc -20- 1331232 的膜形成區域2。接著，也可將玻璃基’板1安裝於使溶媒的 蒸汽壓固定而可乾燥之減壓乾燥裝置，而使用減壓乾燥方 法0

<液狀體之喷出方法> 在此，依據實施例，詳細說明將液狀體喷出至膜形成區 域2之喷出方法。 (實施例1) 圖7係顯示實施例丨之液狀體之喷出方法的概略圖。圖 7(a)係顯示嗔出方法的平面0 ;圖7(b)係顯示驅動波形與 控制信號之關係圖。

如圖7(a)所示，實施例丨之喷出方法係稱為所謂橫描畫之 喷出方法，其係在臈形成區域2的長邊方向與液滴噴頭2〇 的喷嘴22a大致平行狀態朝主掃描方向（γ方向）相對移動。 相對於排列於副掃描方向（X方向）之膜形成區域2，噴嘴 22a中，噴嘴al與噴嘴&2係噴至上部膜形成區域2，喷嘴以 與噴嘴a5係喷至下部膜形成區域2。此外，在喷嘴u噴至 隔牆部4之狀態係配置液滴噴頭2〇。 實施例1之喷出方法係具備以下步驟：第一噴出步驟， 其係選擇所使用的喷嘴al、a4而進行喷出，以不會同時從 噴至膜形成區域2之相鄰噴嘴al、a2及噴嘴&4、μ噴出液 狀體；及第二噴出步驟，其係選擇與第—喷出步驟不同組 合的噴嘴a2、a5而進行噴出 域2之相鄰噴嘴al、a2及噴嘴a4、 第一噴出步驟與第二噴出步驟中 以不會同時從喷至膜形成區 a5噴出液狀體。此外， 不使用噴至隔牆部4之 U5306.doc 1331232 喷嘴a3。 . · 因此如圖7(a)所不，第一嘴出步驟中將從喷嘴“所 喷出液狀體的液滴31滴在上部膜形成區域^接著，將從 喷嘴“所喷出液狀體的液滴34滴在下部膜形成區域2。液 狀體並未喷出至隔牆部4。滴下的液滴Η、34因膜形成區 域2的玻璃基板#面施有親液處理而浸濕擴大。為將色要 素3形成特定膜厚，此時’因仍然喷出量不足，故進行第 二喷出步驟。第二喷出步驟+，選擇與第一喷出步驟不同 組合的喷嘴a2、a5 ’噴出液滴32、35，並滴在各膜形成區 域2，以不會同時從相鄰喷嘴&1、a2及喷嘴斜、a5喷出液 狀體。亦即，喷嘴al、a4係用以構成喷嘴行22a之第一群 之喷嘴，喷嘴a2、a5係用以構成噴嘴行22a之第二群之噴 嘴，在彼此不同時點進行該喷出（第一喷出步驟/第二喷出 步驟）。 當然，朝X方向形成同一色色要素3之其他膜形成區域2 亦相同，在第一及第二喷出步驟中，進行從喷嘴行22a的 其他喷嘴的喷出。此外，與γ方向的主掃描同步而進一步 可噴出時’最好再度選擇噴嘴al、a4而噴出。即使如此， 未達到必要噴出量時，對形成同一色色要素3之膜形成區 域2進行液狀體的喷出之一次主掃描結束後，將液滴喷頭 20朝X方向副掃描後’藉由再度重覆進行主掃描，可在同 一色的各膜形成區域2喷出均勻的特定量液狀體。 其次，說明用以施加至所使用噴嘴的壓電元件之驅動波 形（驅動電壓脈衝）之選擇。如圖7(b)所示，例如，控制裝 115306.doc -22· f 108的頭驅動部124係對應LAT信號（k衝）而以20他周 月發出驅動波形A1、A2、A3~An。該等驅動波形幻、 2 A3 ArW系设計為同一形狀、大小者以藉由分別供應 至壓電元件29而喷出規定量的液滴。接著，在對應第一喷 ，步驟所使用的噴嘴al、a4之壓電元件職加由來自處理 P 122之CHk號之信號CH1所選擇的驅動波形八丨。然後， 在對應第二噴出步驟所使用的嗔嘴a2、a5之壓電元件29施 加由來自4理部122之CH信號之信號CH2所選擇的驅動波 形A2。重覆第—喷出步驟、第二喷出步驟時，同樣地藉由 LATt號與CH信號選擇時系列不同的驅動波形使所使用 的噴嘴喷出液滴，以使喷至臈形成區域2之相鄰喷嘴不會 同時喷出液狀體。 本實施形態之液滴喷出裝置100的喷出條件設定中，與 載置台104與液滴喷頭20之相對移動同步而喷出液狀體之 對Y方向的主掃描相對速度，係設定為約2〇〇爪…秒。因 此，由LAT信號所產生的驅動波形A1、A2、A3〜An的周期 為20 kHz時，一周期所需時點係〇.〇5 μ秒。藉此，在這之 間之液滴喷頭20的相對移動量係10 μιη。因此，滴在主掃 描方向之液滴31、34與液滴32、35之間隔係10 μιη。實際 上’被喷出液狀體之膜形成區域2的大小係各式各樣。因 此，最好考慮由主掃描滴下之液滴的間隔，決定主掃描方 向之喷出次數。 再者’隔牆部4雖施以撥液處理，即使液狀體滴下也可 收容於膜形成區域2内，但喷嘴22之間隔Ρ1與膜形成區域2 115306.doc -23· 1331232 的x方向間隔，不-定為整數倍，喷至•隔牆部4之嗔嘴㈣ 位置非特；t。因此，從喷嘴22嗔出之液狀體噴至隔牆部4 時，無法決定液狀體收容於夹有隔牆部4之二個膜形：區 域2中的哪ϋ正確將特定量液狀體喷出⑼形成區 域2,最好噴出液狀體，以不會喷至隔牆部

此外，從液滴噴頭20的喷嘴22喷出之液滴3〇量（體積或 重量），可利用施加至對應的壓電元件29之驅動波形（驅動 脈衝電大小（電位）而改變。因此，即使在喷嘴U未噴至 隔牆部4之狀態，利用驅動波形，會有從該噴嘴噴出之液 滴30喷至隔牆部4之情況。再者，反之，即使喷嘴22噴至 隔牆部4之狀態，利用驅動波形，會有從該喷嘴噴出之液 滴30不會噴至隔牆部4之情況。更具體而言，滴下前的液 滴30為大致球狀時之直徑喷至隔牆部4時，係作成喷出資 料，以不使用其。藉此，可將特定量的液狀體穩定喷出至 膜形成區域2。

另外，如圖7(a)所示，上述實施例丨中，在第一噴出步驟 係選擇噴嘴al、a4，但也可先選擇噴嘴a2、a5。此外，在 第一噴出步驟先選擇喷嘴al、a5*喷出後，可在之後的噴 出時選擇喷嘴a2、a4。藉此，在各膜形成區域2的長邊方 向，可先滴在隔牆部4附近而使液滴浸濕擴大，之後以滴 在靠近中央部附近之方式而喷出。藉此，先將液滴滴在難 以使液滴浸濕擴大之膜形成區域2的角部附近而浸濕擴 大’可更均勻地賦予液狀體。 (實施例2) 115306.doc •24- 1331232 圖8係顯示實施例2之液狀體之喷出方法的概略圖。圖 8(a)係顯示喷出方法的平面圊；圖8(b)係顯示驅動波形與 控制信號之關係圖。相對於實施例丨，實施例2之液狀體之 喷出方法係使頭驅動部124於—周期發出複數（二個）驅動波 形，以選擇施加至與使用其之喷嘴相對應之壓電元件29之 方法。 如圖8(a)所示，實施例2之液狀體之喷出方法係具備以下 步驟·第一噴出步驟’其係選擇所使用的喷嘴al、a5而進 行喷出’以不會同時從喷至膜形成區域2之相鄰喷嘴al、 a2及噴嘴a4、a5喷出液狀體；及第二喷出步驟，其係選擇 與第一喷出步驟不同組合的噴嘴a2、a4而進行喷出，以不 會同時從喷至膜形成區域2之相鄰喷嘴al、a2及喷嘴a4、 a5喷出液狀體。此外，與實施例1相同，第一喷出步驟與 第二喷出步驟中，不使用喷至隔牆部4之喷嘴a3。 更具體而言’如圖8(b)所示’頭驅動部124係依據LAT信 號而在一周期發出二個驅動波形（例驅動波形八丨與驅動波 形B1)。LAT信號的周期與實施例1相同，係2〇 kHz。例 如’第一喷出步驟中，將作為CH信號之信號CH1所選擇的 驅動波形A1施壓至對應所使用喷嘴&1、a5之壓電元件29而 將液滴31a與液滴35a滴在各膜形成區域2。第二喷出步驟 中’將作為CH信號之信號CH2所選擇的驅動波形B1施壓 至對應所使用噴嘴a2、a4之壓電元件29而將液滴32與液滴 34滴在各膜形成區域2。又，重覆第一喷出步驟，將作為 CH信號之信號CH1所選擇的驅動波形A2施壓至對應所使 115306.doc •25· 1331232 用噴嘴al、a5之壓雷开处。 牛29而將液滴31b與液滴35b滴 膜形成區域2。任一種喷 赁出時，不會同時從喷至膜形成區 域2之相鄰噴嘴al、a2及喰趣1 ^ 及噴觜a4、a5噴出液狀體。 此時，各喷出所滴下之饬、本）, ， 之液滴31a、35a與液滴32、34之間 隔及液滴32、34與液滴3lb、35b之間隔相對於實施例… -半的5叫。因此’實施例2之喷出方法與實施例i之喷出 方法相比，即使在同—士德w& 主知描速度，以可將更多的液滴滴

在膜形成區域2。'亦即，可縮短將特定量的液狀體噴出至 膜形成區域2之時點。另外’所使用噴嘴的組合不限於 此，在第-喷出步驟與第二喷出步驟中，亦有使用部分重 覆喷嘴之情況。

此外f施例1中’用以發出驅動波形之周期為倍數的 40 kHz時，可得到與實施例2相同的效果，但藉由液滴喷 頭20的固有頻率特定，提升驅動波形的周期（驅動頻率） 時，不會追隨施加有驅動波形之壓電元件29的舉動，可能 使所喷出的液滴量無法為特定量❶實施例2考慮該種= 點，而在控制裝置108的處理部122之控制信號的發出方法 下功夫。 使用上述實施例1或實施例2之喷出方法時，以穩定的喷 出量將含色要素形成材料之液狀體喷出至各膜形成區域 2，可形成均勻的色要素3。 接著’說明彩色濾光10之製造方法的後續步驟。圖5 之步驟S5係平坦化層形成步驟。如圖6(e)所示，步驟 中’形成平坦化層6，以覆蓋隔牆部4與各色要素3R、 115306.doc -26- 1331232 3G、3B。形成方法，可列舉利用旋轉塗佈法、輥塗 將丙烯系樹脂塗佈而乾燥之方法。此外，也可採用以下方 法：將感光性丙稀㈣脂塗佈後，照射紫外光而使之硬 化。膜厚係約loo nm。接著，進入步驟S6。

圖5之步驟S6係透明電極形成步驟。如圖6⑴所示，步驟 S6中，在平坦化層6上使由IT〇(IndiumTin〇xide:氧化鋼 錫）等所構成之透明電極7成膜。成膜方法可列舉將ιτ〇等 的導電性材料形成目標而在真空中蒸鍍錢射之方法。此 時之膜厚係約1 〇 nm ^所形成的透明電極7，藉由使用彩色 濾光片10之光電裝置可加工為適當必要的形狀（圖案卜 根據以上之彩色濾光片1〇之製造方法，可製造具複數種 色要素3R ' 3G、3B之彩色濾光片1〇，其係將含不同色要 素形成材料之複數種液狀體形成液滴3〇而以穩定的噴出量 喷出至膜形成區域2，以減低喷出所造成顏色不均等的缺 <光電裝置>

其次，依據圖9說明作為本實施形態之光電裝置的液晶 顯示裝置。圖9係顯示液晶顯示裝置的概略分解立體圖。 如圖9所示’本實施形態之液晶顯示裝置2〇〇係具備以下 構件：TFT (Thin Film Transistor:薄膜電晶體）透射型液 晶顯示面板220 ;及照明裝置21 6 ’其用以照明液晶顯示面 板220。液晶顯示面板220係具備以下構件：相對基板 2〇1’其具有作為色要素的彩色濾光片；元件基板2〇8，其 具有TFT元件211 ’其係三端子中的其中一個連接像素電極 115306.doc •27- 1331232 21〇;及液晶（省略圖示），其係由一對基板201、208所灸 持。此外’在構成液晶顯示面板220外側面之一對基板 2〇1、208表面係配設用以將透射的光偏向之上偏光板214 與下偏光板215。 相對基板201係由透明玻璃等的材料所構成’在夾持液 晶之表面側由隔牆部204劃分為矩陣狀之複數膜形成區域 係形成RGB三色的彩色濾光片205R、205G、205B作為複 數種色要素。隔牆部204係由以下構件所構成：稱為黑矩 陣之下層岸堤202，其係由Cr等具遮光性金屬或其氧化膜 所構成；及上層岸堤203，其係形成於下層岸堤202上（圖 面中朝下）’且由有機化合物所構成。此外，相對基板2〇1 係具備以下構件：作為平坦化層的保護膜層（〇C層）2〇6， 其用以覆蓋由隔牆部204與隔牆部204所劃分之彩色濾光片 205R、205G、205B ;及相對電極207，其係由用以覆蓋 OC層206而形成之ITO (Indium Tin Oxide:氧化銦錫）等的 透明導電膜所構成。相對基板2〇 1係使用上述實施形態之 彩色濾光片10的製造方法而製造。 元件基板208同樣係由透明的玻璃等的材料所構成，在 夹持液晶之表面側係具有以下構件：介以絕緣膜2〇9而形 成矩陣狀之像素電極210 ;及對應像素電極21〇而形成之複 數TFT元件211。TFT元件211的三端子中，未連接像素電 極210之其他二端子係連接為在彼此絕緣狀態包圍像素電 極210而配設為格子狀之掃描線212與資料線213。 照明裝置2 16 ’只要係例如使用白色的led、EL、冷陰 115306.doc -28- 1331232 極管等作為光源，並具備可將來自該等光源的光朝液晶顯 示面板220出射之導光板或擴散板、反射板等的構成者， 也可為任何形態者。 由於本實施形態之液晶顯示裝置200係具備具使用上述 實施形態之彩色濾光片1〇的製造方法而製造之彩色濾光片 205R、205G、205B之相對基板201，故具有很少色不均等 顯示缺點的高顯示品質。 另外’液晶顯示面板220在主動元件方面並不限於tft 元件211 ’也可為具TFD (Thin Film Diode :薄膜二極體）元 件者’再者，只要在至少一基板具備彩色濾光片者，也可 為被動型液晶顯示裝置，其係將用以構成像素之電極彼此 交叉而配置。此外，上下偏光板214' 215也可為與用以改 善視角依存性等目的所使用之相位差膜等的光學功能性膜 組合者。 <電子機器> 其次’依據圖10說明作為本實施形態之電子機器的攜帶 型資訊處理裝置。圖10係顯示攜帶型資訊處理裝置的立體 圖。 如圖10所示，本實施形態之攜帶型資訊處理裝置300係 具備以下構件：資訊處理裝置本體301，其具有輸入用鍵 盤302 ;及顯示部303。顯示部303係搭載具有报少色不均 等的高顯示品質之液晶顯示裝置200。 上述實施形態之效果係如下所述。 (1) 上述實施形態之實施例1之液狀體的喷出方法中， 115306.doc •29· 在第噴出步驟，選擇所使用的喷嘴al、a4而將含色要素 形成材料之液狀體噴出至玻璃基板1的膜形成區域2，以不 會同時從喷嘴行22a令喷至膜形成區域2之相鄰噴嘴以、心 及噴嘴a4、a5噴出液狀體。接著，在第二喷出步驟，選擇 與第一喷出步驟不同組合的喷嘴a2、a5而進行喷出，以不 會同時從喷至膜形成區域2之相鄰喷嘴al、a2及喷嘴W、 心喷出液狀體。因&，始終在一次噴出中’不會同時從噴 至膜形成區域2之相鄰噴嘴al、a2及喷嘴a4、&5喷出液狀 體此外，之前的喷出與之後的喷出中，用以噴出液狀體 之噴嘴的選擇係不同。接著，頭驅動部124以2〇 kHz周期 發出驅動波形中，時系列不同之驅動波形係施加至與選擇 用於各噴出時之喷嘴相對應之壓電元件29。再者，以液狀 體不會喷出至用以劃分膜形成區域2之隔牆部4之方式進行 控制。藉此，與同時從相鄰噴嘴al、a2及喷嘴a4、幻噴出 液狀體之情況相比，由於難以產生液滴喷頭2〇的電性及機 械性串音’故可減低相鄰喷嘴間之喷出量的不一致狀況。 亦即，使用該種喷出方法時，可以穩定的喷出量噴出液狀 體，並在膜形成區域2形成由色要素形成材料所構成之均 勻的色要素3。 (2)上述實施形態之實施例2之液狀體的喷出方法中， 相對於實施例1之喷出方法，頭驅動部124在一周期中發出 複數（二個）驅動波形，並利用CH信號，在之前之噴出時與 之後的喷出時，複數驅動波形中選擇時系列不同的驅動波 形，並施加至與所使用之喷嘴相對應之壓電元件29。因 Π 5306.doc •30- 此，與實施例1之喷出方法相比，即使為同一主掃描速 度，也可將更多的液滴30滴在膜形成區域2。亦即，可將 特定量的液狀體噴出至膜形成區域2之時間縮短。 (3) 上述實施形態之彩色濾光片10的製造方法，由於 使用上述實鈀例1或上述實施例2之液狀體的喷出方法故 含不同色要素形成材料之複數種液狀體形成液滴3〇而以穩 疋的噴出里喷出至膜形成區域2，可製造減低喷出所造成 色不均等的缺點，且具複數種色要素3R、3G、3B之彩色 濾光片10。 (4) 作為上述實施形態之光電裝置的液晶顯示裝置 200，由於具備具使用上述實施形態之彩色濾光片1 〇的製 造方法而製造之彩色濾光片2〇5R、205G、205B之相對基 板201，故可提供具有很少色不均等顯示缺點的高顯示品 質之液晶顯示裝置200。 (5) 作為上述實施形態之電子機器的攜帶型資訊處理 裝置300，由於具高顯示品質之液晶顯示裝置2〇〇搭載於顯 不部303 ’故可提供清楚看到文字或圖像等的資訊且可彩 色顯示之攜帶型資訊處理裝置3〇〇。 上述實施形態以外的變形例，係如下所述。 (變形例1)上述實施形態之實施例1及實施例2所示之液 狀體的喷出方法，係說明以下構成：將複數喷嘴所構成之 喷嘴行22a排列於膜形成區域2的長邊方向（χ方向），並在 膜形成區域2的短邊方向（γ方向）相對主掃描所排列的噴嘴 行22a與作為形成有膜形成區域2之被喷出物之工件w，以 115306.doc 31 1331232 喷出液狀體，但並不侷限於此。圖7(a)或圖8(a)中，也可 適用以下構成：在相對於膜形成區域2長邊方向（X方向）而 垂直或傾斜的狀態中排列噴嘴行22a，並在膜形成區域2的 • 長邊方向（X方向）主掃描，以喷出液狀體。 . (變形例2)上述實施形態之液狀體的喷出方法並不侷限 於實施例I及實施例2 ^例如，主掃描方向中，噴至膜形成 區域2之噴嘴22數很多時，可採用組合有實施例i與實施例 2之喷出方法。如此，由於可按1〇 pm與5 μιη之不同間隔滴 • 下液滴，故可以所使用喷嘴改變之方式調整液滴對膜形成 區域2之滴下位置。亦即，可改變滴下位置而難以產生喷 出不均^ (變形例3)如實施例1及實施例2所示，上述實施形態之 液狀體之喷出方法並不侷限於將液狀體喷出至同一膜形成 區域2之情況。例如，膜形成區域連續或接近主掃描方 向，且含同一功能性材料之液狀體喷出至該膜形成區域 時’亦可適用。因此，使用有上述實施形態之液狀體之喷 • 出方法之膜形成’並不限於彩色遽光片，例如，使用含金 屬布線材料之液狀體、含配向臈形成材料之液狀體時，亦 適用於金屬布線、配向膜的形成方法。 (變形例4)利用上述實施形態之彩色濾光片丨〇之製造方 •法而製造之彩色濾光片10的構成，並不侷限於此。圖^係 顯示彩色渡光片之色要素配置的平面圖。如圖U(a)所示， 本實施形態之彩色濾光片10係所謂的條紋方式，其係將不 同的色要素3R、3G、3B分別朝同一方向排列成直線狀。 115306.doc -32- 丄331232 例如’即使為圖丨丨…）的馬赛克方式或圖u(c)的三角方式 的配置’也可適用上述實施形態之彩色濾光片10之製造方 法。此外’不同的色要素3並不限於三色，也可為四色以 上之構成。 (變形例5)使用由上述實施形態之彩色濾光片丨〇製造方 法而製造之彩色濾光片10之光電裝置，並不限於液晶顯示 裝置200。例如，可列舉上發射型有機£1顯示裝置，其係

將彩色濾光片1 〇與具有對應彩色濾光片丨〇的各色要素3R、 3G、3B之複數有機EL發光元件之基板密封，以不會浸入 水分等。 (變形例6)搭載液晶顯示裝置 ^ ， V〜时Jii /卜I·队刀r娟 帶型資訊處理裝置300。例如’彳良好用於行動電話機、 稱為 PDA (Personal Digital Assistants :個人數位助理）之押 帶型資訊機器或攜帶終端機器、桌上型個人電腦、數位: 機、車載用螢幕、數位攝錄機、液晶電視、觀景窗型

幕直視型錄影機、車用導航裝置、呼叫器、電子記事本、 計算器、文字處理機、工作站、電視電話機、p〇s 等的圖像顯示機構，可在任一電子機 ： 示。 丁進仃清楚的顯 (第二實施形態） 之不同點為 圖。圖13係 其次’參照圖12、圖13，以與第一實施形態 中心，說明本發明之第二實施形態。 ~ 圖12係顯示噴嘴行之群構成與液滴滴下位置 顯示驅動波形與控制信號之關係圖。 115306.doc •33- 1331232 圖12中，喷嘴行22a的各喷嘴係分別構成第一〜第三群。 亦即，时’標上數字Η之噴嘴係分別構成第一〜第三 群，說明喷嘴行22a的排列方向(Υ輪方向)之群號碼的排列 順序時’係形成1、2、3、2、3、1、1 t 3、1、2.(以下重覆 之卜藉由該種群構成’屬於同-群之噴嘴者並未彼此相 鄰接，且屬於群之喷嘴數在各群間係大致相等。 圖13中，依據在控制信號LAT的時點而閂鎖之各喷嘴的 ΟΝ/OFF資料(噴出資料)，選擇驅動波形ai〜C2···的一部份 而供應至對應各喷嘴而配設之壓電元件。接著，在供應： 動波形之時點，從喷嘴噴出液滴。另夕卜，驅動波形Αι々 係設計為同一形狀、大尺寸者’以藉由供應至壓電元件 29(參照圖2)，喷出規定量的液滴。 在此，與第-〜第三群的噴嘴有關之驅動波形的選擇係 由用以規定驅動波形的供應時點之控制信號cm〜ch3而進 行亦即’分別將第-系統時點的驅動波形幻、A2供 應至第-群的喷嘴的壓電元件，將第二系統時點的驅動波 形Bl、B2…供應至第二群的噴嘴的壓電元件，將第三系統 時點的驅動波形Cl、C2…供應至第三群的壓電元件 如此，本實施形態中，藉由對應各個各群之驅動波形的 供應時點的系統（以控制信號LAT為基準之相對序列），在 群間不會引起喷出時點重覆。藉此，彳良好減低機械性串 音，並相對緩和因串音所造成喷嘴間的特定不一致。此 外，因各系統的時點係形成周期性，故噴出條件在各噴出 時點之間係相同，並可使液滴量相對於掃描方向而穩定 U5306.doc -34- 化。 貝他形態中 吻乐二 故平均-個群⑴h 22a的喷嘴構成三個群， 十均料的構成噴嘴數與第 喷嘴的平均間隔係、比第_實 /、相^ ’群内之 間的接近度之機械性串立’“。精此’取決於喷嘴 -般而丄^ 可更進"步達成。另外’ 但由於利用實驗可得知：群為、=效果越大之傾向， 眘& i田 群為二以上時，可得到同程度的 實質效果，故鑑於控制容易性等，本實 個群構成。 ”糸化成一 再度回到圖12，該喑 固 Μ出方法中’在喷嘴行22a與玻璃基 板之掃描下，於膜形成區域2之喷嘴掃描執跡下滴下液 滴。由於液滴的喷出時點利用上述方法可分割為各群，故 如圖示所示’液滴的滴下位置在相對應噴嘴的群間於掃描 方向會產生偏位。3外，圖中標示在液滴的滴下位置之 1〜3數字係表示有關其液滴喷出之驅動波形之供應時點的 系統號碼（參照圖13)。 該實施形.4中’藉由臈形成區域2與喷嘴之位置關係， 在喷嘴行22a内進行喷出驅動之噴嘴（圖中以粗線表示，以 下為驅動喷嘴）與完全不進行喷出驅動之喷嘴（圖中以細線 表示’以下為休止喷嘴）係些微產生不規則。在此，著眼 於休止喷嘴而看到該群的排列順序時，其係規則的1、2、 3、1、2、3…，而用以構成群之噴嘴（驅動喷嘴）數或分佈 密度，實質上在群間沒有很大的差異，故表示大致相等。 圖14係顯示用以說明第二實施形態之效果的比較例圖。 H5306.doc -35- 1331232 該比較例中，喷嘴行22a的排列方向（γ軸方向）之群號碼 的排列順序係1、2、3.·.(以下重覆之）。在此，著眼於休止 喷嘴而看到該群的排列順序時，係不規則形成為1、夏、 〇卜3、3···，而在用以構成群之實質喷嘴（驅動 喷嘴）數或分佈密度，係表示在群間會產生偏差。 形成該種群構成時，喷嘴間之機械性及電性串音的影響 會在群間產生差異，並構成喷出量不—致的發生要因=

即’第二實施形態之_構成(參照圖12)係考慮該種情事而 成者。 但疋，上述說明，為方便而只著眼於喷嘴行22&，但實 際上如補充噴嘴行22a間距之位置中，從喷嘴行22b(參照 圖2)亦同樣進行喷出。此外，為將規定量的液狀體配置(填 於膜形成區域2，在-次掃描中喷出總量不足的情況很 多’實際上藉由將如上述的掃描相對於同一膜形成區域而 重覆複數次’可滿足規定量。

如此，以複數次掃描或複數喷嘴進行喷出時，在有關一 膜形成區域2之噴嘴或掃描間，將喷出時點分散化。換言 之:最好不會使相對應之驅動波形的供應時點系統偏顧。 在母個複數膜形成區域2有喷出時點顯著偏頗時，係液狀 體的配置不均之原因所致。此外，即使在同一膜形成區域 内’同時掃描複數喷嘴時’因驅動波形的選擇方式而使喷 出時點偏頗時，會有不均之原因產生。因&，如本實施形 態所示’斷續進行W之例子中，經過休止期間後之最初 喷出與之後的噴出，於共通流路27(參照圖2)的狀態(壓力 115306.doc • 36 · 1331232 損失等）會產生不同，故會招致喷出量的變動。 (第二實施形態） 其次，參照圖15、圖16，以與第二實施形態之不同點為 中心’說明本發明之第三實施形態。 圖15係顯示喷嘴行之群構成與液滴滴下位置圖。 如圖15所示，該實施形態中，係採用描畫方式，其係使 膜形成區域2的長邊方向與主掃描方向一致。接著，對一

個膜形成區域2之液滴喷出係使用一個喷嘴而進行。 喷嘴行22a的各喷嘴係分別構成第一〜第三群，從屬於第 一〜第三群之喷冑’分別在第一〜第三系統的時點（參昭圓 13)進行液滴噴出。藉此，與第二實施形態㈣，可達成 喷嘴間•音的減低’並相對緩和因串音所造成喷嘴間的 性不均。 此外，由於各群之驅動波形的供應時點（喷出時點）係形 成周期性（參照圖13)，故如圖所示，所噴出液滴係等間隔 滴在主掃描方向。另外，以虛線顯示滴在隔牆部4之位置 之滴下位置係為視覺說明喷出時點的周期性而簡單表示， 實際上並非表示液滴滴在該位置。 卜該變形例中’係說明以下情況·將噴嘴行排 列於膜形成區域2的短邊方向，且在膜形成區域2的長邊方 D邊丁主掃描’但即使為喷嘴行22a排列於膜形成區域2的 長邊方向’且在膜形成區域2的短邊方向進行主掃描之情 況’也會有同樣的效果。 圖16係顯示第三實施形態的變形例圖。 115306.doc •37- 丄 該變形例中，各群的喷 J戈出時點係不規則，著眼於一群 時’依照第三系統、第_ 币一糸統、第一系統···（以下重覆）順 序形成驅動波形的供庳主 '、Μ夺點的對應方式。該種情況，因喷 出條件在每一噴出時點传 係不冋，故在主掃描方向會產生嘖 =狀體的配置量)變動。接著，藉由其，因喷嘴間的 形成於副掃抬方向之配置量的不均，附加 ::直父之成分不均，並形成二次元分散的不均。該種 一次元分散的不均與藤尊 ^ 7 、滕蔓狀（―次元的）不均相比，因辨嗜 性低，故結果有使不均難以顯著之效果。 辨為 【圖式簡單說明】 圖1係顯示液滴喷出裝置的概略立體圖。 圖2⑷係顯示液滴喷頭之構造的概略立體圖 液滴嗔頭之複數喷嘴配置的概略平面圖。 〜不 圖3係顯示控制裝置及與控制裝置相關 構成的區塊圖。 邛之電性 圖4係顯示彩色濾光片的平面圖。 圖5係顯示彩色遽光片之製造方法的流程圖。 圖6⑷〜(〇係顯示彩色濾光片之製造 圖。 叼楸略剖面 圖7〇)係顯示實施例】之液狀體之喷出方法、， (b)係顯示驅動波形與控制信號之關係圖。、、平面圖， 圖8(a)係顯示實施例2之液狀體之噴出方法、, (b)係顯示驅動波形與控制信號之關係圖。，平面圖； 圖9係顯示液晶顯示裝置的概略分解立體圖。 n5306,do< -38- 1331232 圖10係顯示攜帶刑 碼常型資訊處理裝置的立體圖。 圖（a) (e)係顯示彩色濾光片之色要素配置的平面圖。 圖12係顯不喷嘴行之群構成與液滴滴下位置圖。 圖13係顯不驅動波形與控制信號之關係圖。 圖14係顯示用以說明第二實施形態之效果的比較例圖。 圖15係顯示喷嘴行之群構成與液滴滴下位置圖。 圖16係顯示第三實施形態的變形例圖。 【主要元件符號說明】

1 被喷出物及作為基板之玻璃基板 2 膜形成區域 3、3R、3G、3B 色要素 4 隔牆部 10 彩色濾光片 20 液滴噴頭 22 喷嘴 22a ' 22b 喷嘴行 29 作為能源產生機構之壓電元件 30、31、31a、31b、32、 34、35、35a、35b 液滴 200 作為光電裝置之液晶顯示裝置 300 作為電子機器的攜帶型資訊處 理裝置 al、a2、a3、a4、a5 噴嘴 W 作為被喷出物之工件 115306.doc -39-

Claims (1)

1331232 年“’日修 第095141355號專利_請案 中文申請專利範圍替換本(99年6月） 十、申請專利範圍： 狀體㈣方法，其特徵在於：其係與被喷出物與 :貝之相對移動同步，從前述液滴嗔頭的複數喷嘴 ^ ^ 計之液狀體喷出至被喷出物的膜形成區 域，該液狀體嗔出方法係具有以下步驟： 第《t出步驟’其係在前述複數喷嘴所構成之喷嘴行 中’選擇所使用的嗔嘴.，以你但I 命山 ㈣u使侍對前述臈形成區域進行 喷出之相鄰的噴嘴不會同時 出；及 u吁赁出别述液狀體，❿進行噴 出步驟，其係選擇與前述第-噴出步驟不同組 ^ 联心成£域進行喷出之相鄰的 月,J述喷嘴不會同時喷出前述液狀體，而進行喷出。 2. 如請求項1之液狀體喷出方法，其中 前述被噴出物表面係具有 前述膜形成區域，仏牆。P ’其用以劃分複數之 前述第-喷出步驟及前述第二喷出步驟中 的贺嘴會喷至前述隔牆部之情 ^擇 丨月々时，不使用該喑 3. 如^求項2之液狀體噴出方法，其中在從前述所 嘴嘴將前述液狀體作為液滴喷出至前述膜的 於所喷出的前述液滴會喷至前心料1 域，且 用噴出該液滴之前述噴嘴。 ，不使 4·如請求項1至3中任-項之液狀體喷出方法，並中 前述液滴”❹有倾㈣產生 1 述複數喷嘴以前述液狀體作 ，、係使從前 作為别迤液滴而嘴出，前述複 I15306-990628.doc Ι3(3^33~Γ 數能源產生機構係電性連接於以特定周期產生驅動波形 之頭驅動機構， 前述第一喷出步驟及前述第二噴出步驟中，從前述頭 驅動機構依序選擇時系列不同之前述驅動波形，並施加 至與所使用之前述喷嘴相對應之前述能源產生機構，以 噴出前述液滴。 5·如請求項1至3中任一項之液狀體噴出方法，其中 前述液滴嗔頭係具有複數能源產生機構/其係使從前 述複數噴嘴以前述液狀體作為前述液滴而喷出，前述複 數能源產生機構係電性連接於以_㈣產生複數驅動波 形之頭驅動機構， 前述第-喷出步驟及前述第二喷出步驟中，從前 驅動機構1前述複數驅動波形中依序選擇時系列不同 並施加至與所制之前述喷嘴相對應之前 述月b源產生機構，以噴出前述液滴。 6· =Γ3:任—項之液狀體喷出方法，其中前述第 域進行^驟及4第二喷出步驟係對同—前述膜形成區 其係在具複數噴嘴 從前述噴嘴將液狀 —種液狀體喷出方法，其特徵在於 之噴嘴行與被喷出物之相對掃描下 體喷出至前述被噴出物， 以前述喷嘴行中所包含的 嘴所構成之群單位，設定與 前述液狀體， 至少未彼此相鄰接之前述噴 月’J述掃描同步之時點，噴出 115306-990628.doc If年6月j日修(更)正替換頁 前述時點在複數前述群間係不同。 8. 如請求項7之液狀體喷出方法，其中前述喷嘴行係具有 二個以上的前述群。 9. 如請求項7或8之液狀體喷出方法，其中以使得構成前述 群之前述喷嘴數在前述複數群間大致相等之方式構成前 述群。 10. 如請求項7或8之液狀體喷出方法其中藉由選擇以時分割 所產生之複數驅動波形的一部份並將之供應至配設於前 述喷嘴内側之能源產生機構，噴出前述液狀體， 以使對應前述群而選擇之前述驅動波形在前述複數群 間不會彼此重複之方式，進行前述驅動波形之選擇。 11. 如請求項1〇之液狀體喷出方法，其中以使對應前述群而 選擇之前述驅動波形構成周期性時點之方式，進行前述 驅動波形之選擇。 12. 如請求項10之液狀體喷出方法，其中以使對應前述群而 選擇之則述驅動波形構成非周期性時點之方式，進行前 述驅動波形之選擇。 13. —種彩色濾光片之製造方法，其特徵在於：其係具有在 基板上劃分複數膜形成區域之隔牆部、且在前述複數膜 形成區域具有複數種色要素之彩色濾光片之製造方法， 使用如s青求項1至12中任一項之液狀體噴出方法， 從液滴喷頭的複數噴嘴，將作為功能性材料之包含不 同色要素形成材料之複數種液狀體喷出至前述複數膜形 成區域，以形成前述複數種色要素。 115306-990628.doc 丨^^^正替換頁I μ·-種光m其特徵在於：其係具備使用如請 之彩色濾光片之絮4古、土 ^⑹ ^13 15.- -種電子機器，其特1=造之彩色遽先片。 光電裝置。 、.其係搭載有如請求項14之 U5306-990628.doc