TWI330260B - Test apparatus for testing electronic device with different working frequencies - Google Patents

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!33〇26〇 13920pifl 修正日期:99年6月8曰 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於對電子元件進行測試用的測試裝置。 本發明特別是有關於對具有工作頻率不同的多個區塊的電 子元件進行測試用的測試裝置。 【先前技術】 過去，對半導體元件等電子元件進行測試的測試裝置 都是向電子元件供給與電子元件的工作頻率相對應的頻率 的測試圖形，對電子元件進行測試的。作為生成與電子元 件的工作頻率相對應的頻率的測試圖形的方法的一個例 子，是延遲基準時鐘脈衝的各脈衝而獲得所需的周期信號 的定時信號產生器（專利文獻1)。 ’ 專利文獻1:曰本專利早期公開之特開昭61_47573號 公報。 … 【發明内容】 為了更精雜對電子元件進行測試，f要讓電子元件 塊同時啟動’進行測試。在進行這樣的測試時， 個定時信號產生器’生成分別與各區塊的工 應的多㈣鐘脈衝’根據生成的多個時鐘脈 生成各區塊的測試圖形，並供給各區塊的。但是 =的測試裝置中，由於這些多個時鐘脈衝 因此在測試開始時，㈣不心的’ 性，難以匕龙興料圖形的相位沒有再現 好頻率的第了25性的測試。特別是在將根據預先確定 羊㈣1基树鐘脈衝供給測試__賴組，與 ου 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正曰期:99年6月8日 :艮據，率可變㈣2基準時鐘脈衝供 形 組一起襄載在測試裝置上，進杆制式模 基準時鐘脈触的場合，由於使第1 二Πΐ 時鐘脈衝振4的振盪器不同，所 以很難進仃有再現性的測試。 吓 因此本發明的目的是提供—魏料 組合而得以實現。另外，蜀二項所述之特徵的 本發明更為有利的具體例專利之範圍的從屬項規定了 具體地說，本發明的第丨古+ 試裝置，其特徵是;=== 基準時鐘二衝衝广成部;根據上述第1 子元件的供給周期圖形供給至上述電 測試圖齡Ϊ上;^測試速率時鐘脈衝，將上述第1 預先確定的；nr元件的第1駆動部；生成頻率在 準時變的第2基準時鐘脈衝的第2基 測試速率時鐘脈衝相位二2 衝與上述第1 形供給至脈衝’生成表示上述第2測試圖 鐘4 以及根據上述第2測試速率時 驅動部/ “第形供給至上述電子元件的第2 測試速率生成部可以具有根據上述第！基準 上述第1 13920pifl 修正日期:99年6月8日 爲93!I6294號中文說明書無劃線修正本 時鐘脈衝，生成單位時間的脈衝數與上述第！測試逮 鐘脈衝大致相同的測試周期脈衝信號的測試周期發生器 二及使上述職翻脈衝信號中的各脈衝延遲成脈衝間隔 致相同’並生紅述第丨賴速树鐘脈衝的第 ^器；上述第i相位同步部可以使上述第2 脈 ::定時延遲器生成的上述第丨測試速率時： j第2賴速率生成部可以具有生賴率為上述第 夫鐘脈衝頻率的2以上的整數倍的參照時鐘脈衝的 多"、、時鐘脈衝振盪部；將上述參照時鐘脈衝分頻， ^2測試速率時鐘脈衝的參照時鐘脈衝分頻器；將上述 率時鐘脈衝分頻，生成具有與上述第2測試速 Ή :氏衝頻率大致相同的測試速率分頻時鐘脈衝的測試 日’鐘脈衝分頻器；以及根據上述第2測試速率時鐘脈 測試速率分頻時鐘脈衝的相位誤差，調整上述參 時鐘脈衝相位的相位調整部。 定的成部具有生成頻率在預先確 可變的可變頻率時鐘脈衝的可變頻率時鐘 生益，將上述可變頻率時鐘脈衝分頻，生成具有與 ^第1測試速率時鐘脈衝頻率大致相同的上述第2基 =鐘脈衝的可變頻率時鐘脈衝分頻器；上述第i相位同步 L二具有檢測上述第1測試速率時鐘脈衝與上述第2基 誤塞1衝的相位誤差的相位檢測器；以及根據上述相位 =、彳上述可變頻率時鐘脈衝與上述Si測試速率時鐘 1330260 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年6月8日 脈衝相位同步的相位調整部。 速4:二==;;=衝與上述第_ 件供給上述第】測試圖二ί成開始對上述電子元 信號的圖形開始信號生成部，上 驅動部根據上述圖形開始㈣^ 1|&動梢上述第2 形與上述第2測試圖形。。幵1始供給上述第1測試圖 時鐘ί:二ΐΓΐ上述圖形開始信號與上述第1測試速率 形號同步部;一使上制 ρ…士咕、丈第2试速率時鐘脈衝同步的第2圖护 率時鐘脈=的土：丨上:第1測試速 第1測試圖形；上述第2驅動部。’ _供給上述 r:步的上，_-號=二逮； :::卢==:==: 各脈衝延_延遲職的上述第i定時延勒；上 顧速率生成部的上述第i ^時延遲 :=rr各脈衝延遲，使得脈衝== 驅動部的上述第1料延㈣，‘可以生成使上述測ί周期 1330260 I3920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年6月8曰 :信號中的各脈衝延遲與上述第丨測試_相對應確定 的時間的上述延遲信號，即上述第1測試圖形。 ，可以具有在上述第2基準時鐘脈衝與上述第】測試 脈衝相位同步的狀態下，生細始對上述電子元 第1測試圖形與上述第2測試圖形的圖形開始 始信號生成部’上述第2驅動部具有使上述 ^測錢㈣鐘脈射的各_延遲，生成上述第2測 述第2定時延遲器；上述第！定時延遲器與上 2苐2疋時延遲器可以設定上述第i驅動部與上述第2驅 據上述圖關始信朗始同步向上述電子元件供給 上迷^測試圖形與上述第2測試圖形所應有的延遲量。 、職L可二Γ在開始供給上述第1測試圖形與上述第2 情況下，向上述第1測試速率生成部供給開始 始___的同步開始信號的同步開 ° d虎供…卩，上述關形開始錢 脈衝與接受上卿步㈣錢、讓上 相位=====1測試速率時鐘脈衝的 . , , 生成讓上述弟1驅動部與上述第2驅 2元件供給上述第1測試圖形與上述的 2，則忒圖形的上述圖形開始信號。 第3 具有生成頻率在預先確定的頻率範圍内可變的 Ϊ 3 ίί3脈衝的第3基準時鐘脈衝生成部；使得上述 :與上㈣1職速率時鐘脈衝相位同步 5 乂部，根據相位同步的上述第3基準時鐘脈 1330260 13920pifl 修正曰期:99年6月8曰 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 衝，生成表不向上述電子元件供給第3測試圖形的供給周 期的第3測試速率時鐘脈衝的第3測試速率時生成部，·以 及根據上述第3測試速率時鐘脈衝，將上述第3測試圖形 供給上述電子元件的第3驅動部。 還可以具有根據上述第i基準時鐘脈衝，生成表示向 上述電子兀件供給第3測試圖形的供給周期的第3測 ^鐘脈衝的第3測試速率生成部；根據上述第3測試逮 率時鐘脈衝，將上述第3賴圖形供給上述電子元件 3驅動部；生成頻率在預先確定的頻率範_可變 鐘脈衝的第3基準時鐘脈衝生成部；使得上述第3 土準時鐘脈衝與上述第i測試料時鐘脈衝相位同步的 ::同：部；根據相位同步的上述第3基準時鐘脈 生成表不向上述電子元件供給上述第4測試卿的供 ㈣苐4測試速率時鐘脈衝的第4測 及根據上述第4測铽迹牽眛铲邮朱^干町王取。丨，U 徂雨 連羊時衝，將上述第4測試圖形 供、，°上述電子元件的第4驅動部。 “此2的發明概要並沒有縣本购的全部必要特徵， 這些特徵的從屬組合也可以構成發明。 脊瓶 =本發明，可以提供一種能對具有不同工作頻率 ^塊的電子元件進行高精度測試的測試裝置。 為讓本發明之上述和其他目 易懂，下文转从杜杳〜， 4寺徵和優點月b更明顯 明如下特舉幸父佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說 【實施方式】 1330260 13920pifl 修正日期:99年6月8曰 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 下面，通過發明的實施方式對本發明進行說明，但是 下面的實施方式並不對申請專利範圍中的發明構成限定， 另外貝細•方式中°兑明的特徵的全部組合並不限於發明的解 決方案必需内容。 圖1表示本實施方式的測試裝置10的結構。本實施方 式的測試裝置10具有根據第丨基準時鐘脈衝（圖中的 CLK1)對電子元件1GG進行賴的第！測試模組16〇與根 據第2基準時鐘脈衝（圖中的CLK2)對電子元件進 行測試的第2測試模組18〇，其目的是通過使第丨測試模 組⑽供給電子元件100的第！測試圖形與第2測試模組 180供給電子元件1〇〇的第2測試圖形相位同步進行具 有再現性的測試。 、 電子元件100具有工作頻率不同的多個區塊。這裏所 說的電子元件100可以是i塊半導體晶片，也可以是 頻率不同的多塊半導體晶片構成的器件。 測試裝置10具有控制測試開始與停止的測試控制部 no ;將第1基準時鐘脈衝供給至第丨測試模組16〇，將第 2基準時鐘脈倾給至第2職馳18 部根據第i基準時鐘脈衝生成第⑽試圖形衝= 子70件100的一個或多個第1測試模組160 ;以及 根據弟2基準_脈衝生成第2職_，並供給至電子 兀件100的一個或多個第2測試模組18〇。 驗測110在開始測試前，將指示第1測試模組 驗、祕與第2測試餘⑽a、㈣步開始的同 I3920pifl 馬93 U 6294號中文說明書無劃線修正本 步開，信號供給時鐘脈衝供給部12G。另外，職控制部 U0還在第1測試模組16〇與第2測試模18〇同步的狀態 L，將指示開始對電子元件1GG供給測試圖形的圖形開始 仏號供給至時鐘脈衝供給部丨2〇。

時鐘脈衝供給部120生成具有第！頻率的第i基準時 在里脈衝，將其供給至第丨測試模組16〇a、16〇b，同時生成 頻率在預先確定的鮮範®内可變的第2基準時鐘脈衝， 將其供給至第2測試模組180a、18〇b。在本實施方式中， 時鉍脈衝供給部12〇，舉例來說，生成25〇MHz的第！基 準時鐘脈衝與200MHz的第2基準時鐘脈衝。另外，時鐘 脈衝供給部120還將同步開始信號供給至第丨測試模組 160a、160b，並將圖形開始信號分別供給至第〗測試模組 160a、160b 與第 2 測試模組 i80a、180b。

修正日期:99年6月8曰 各第1測試模組160a、160b分別根據第1基準時鐘脈 衝，生成表示第1測試圖形供給至電子元件1〇〇的供給周 期的第1測試速率時鐘脈衝（圖中的)，根據 第1測試速率時鐘脈衝將第1測試圖形供給至電子元件 1〇〇。在本實施方式中’第1測試模組16〇a、16〇b，舉例 來說’生成約200MHz的第1測試速率時鐘脈衝。這時， 第1測試模組l60b將第1測試速率時鐘脈衝歸還時鐘脈衝 供給部120。時鐘脈衝供給部12〇根據第1測試模組16% 歸還的第1測試速率時鐘脈衝，使第2測試模組18〇與第 1測試模組160同步。 各第2測試模組i80a、180b分別根據第2基準時鐘脈 12 1330260 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本修正曰期:"年6月8日 衝’生成表示第2測試圖形供給至電子元件1〇〇的供給周 期的第2測試速率時鐘脈衝（圖中的，根據 第2測試速率時鐘脈衝將第2測試圖形供給至電子元件 100。

下面將上面所說的第丨測試模組16〇3與/或第丨測試 模組160a測試的電子元件100的端子組稱為域A，第1 測試模組160b與/或第1測試模組16〇b測試的電子元件 1〇〇的端子組稱為域B’第2測試模組18〇&與/或第2測試 180a測試的電子元件1〇〇的端子組稱為域c，第2測 試模組180b與/或第丨測試模組18%測試的電子元件ι〇〇 的端子組稱為域D。 ★ ^刀冽蚵測試控制部110，時鐘脈衝供給部120 第1測試模>组160，以及第2測試模組18〇的結構進 明0 '

㈣3ϊΓΓ1()具有同步開始信號供給部m以及3 成部112。同步開始信號供給部m :。刖生成讓第1測試模組16〇b開始 至笛1 :目，丨仰Γ 時鐘脈衝供給部120供結 基準時鐘輯Μ !成部112,在第2 下，生;，、料率時鐘脈衝相位同步的狀態 生成開始對電子疋件1〇〇供給第 試圖形的圖形開始信號。這步二；:开; 開始信號與連接測試控制部m 匯流排的時鐘脈衝，馳;^鐘脈衝供給部120的 衝P匯㈣時鐘脈_步，通過匯流排 13 1330260 13920pifl 修正曰期:99年6月8曰 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 供給時鐘脈衝供給部12〇。 供f部12G具有第1基準時鐘脈衝生成部 發器m、;== 130、觸發器142、多個觸 號鬥牛邱= 多個觸發器148、第1圖形開始信 號同m5G以及第2 _開始信號同步部155。 哭，^第基严/f脈衝生成部122含例如振盪器或倍頻 ^成4基準時鐘脈衝。在本實施方式中，第1麟 %釭脈衝生成部122，舉例來 土皁 的時鐘脈衝提古來將振^發出的10MHz Ίίί 作為第1基準時鐘脈衝供給出去。 生器H㈣脈衝生成部13G含可變解時鐘脈衝發 :及測試速率時鐘脈衝分頻器14〇,生成第2基门： =Γ時鐘脈衝發生器132發生在預先確定:頻Ϊ 衝 頻率時鐘脈衝，供給至可變頻率時鐘脈 ^== 實施方式中’可變頻率時鐘脈衝發生 =11率可在1GHZ至2GHZ等倍頻程的頻率 變頻率時鐘脈衝。在本實施方式的電子元 的測6式中，可變頻率時鐘脈衝發生 率時鐘脈衝設M_2GHZ。 頻 可變頻率時鐘脈衝分頻器W對可變時― 的ίίί有與第1測試速率時鐘脈衝的頻率大= ^頻率的第2基準時鐘脈衝。在本實施方式中， 谁日，鐘脈衝分頻n 134將例如2GHz的可變 進，分頻，生成細峨的第2基準日= 1330260 修正日期:99年6月8日 13920pifl Μ 93116294 衝。 相=同步部135含相位檢測器136以及相位調整部 使第2基準賴脈衝與第〗賴速树鐘脈衝同步。 相位檢測器136對第1測試模組祕通過測試速率時鐘脈 衝刀頻H 140供給的第i測試速率時鐘脈衝與可變頻率時 鐘脈衝分頻器134生成的第2基準時鐘脈衝的相位誤差進 。相位檢測器136將測出的相位誤差供給至測試控 =11〇 ___信號生成部112。卿開始信號生 ^ 112根據從相位檢測器136得到的相位誤差對第2吴 2鐘脈衝是否與第1測試速率時鐘脈衝的相位同步進； =斷=位調整部138根據相位檢測器136測出的相位誤 變頻率時鐘脈衝發生器132發出的可變頻率時 鐘脈衝的相位，使其與第〗測試速率時鐘脈衝同步。 測，率時鐘脈衝分頻器⑽對第i測試速率時鐘脈 :丁 · η,分頻’將具有與第2測試速率時鐘脈衝的頻率 頻率的第/測試速率時鐘脈衝供給相位同步部

rr衡八相。位檢測器136。在本實施方式中，賴速率時鐘 (=頻If 14G設定n】=卜將A致為獅MH 中/在第1測試速率時鐘脈衝為綱MHz，第2 ί财衡^衝為1GGMHZ的情況下，也可以讓測試速率時 140對第1測試速率時鐘脈衝進行1/2分頻 衝14同步接收圖形開始信號與匯流排時鐘脈 衝。夕個觸發器Μ4將匯流排時鐘脈衝同步的圖形開始信 1330260 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正日期·_99年6月8日 號與第1基準時鐘脈衝同步接收，將其轉換成與第i基準 時鐘脈衝同步的圖形開始信號。這裏所說的多個觸發器 144是相互串聯的，通過將上一級的觸發器144輪出的圖 升>開始k號與第1基準時鐘脈衝同步接收，再輸出到下二 級，防止圖形開始信號變成亞穩狀態。 觸發器146同步接收同步開始信號與匯流排時鐘脈 衝。多個觸發器148與多個觸發器144 一樣，將與匯流排 φ 時鐘脈衝同步的同步開始信號與第1基準時鐘脈衝同步接 收，將其轉換成與第丨基準時鐘脈衝同步的同步開始信號 (圖中的 CSTART)。 〇 第1圖形開始信號同步部150，將第1基準時鐘脈衝 同步的圖形開始信號與第1測試速率時鐘脈衝同步接收， 生成域A與域B用的圖形開始信號(PSTART__AB)。也就是 忒，第1圖形開始信號同步部150將最後的觸發器144輸 出的圖形開始信號與第1測試模組160b供給的第1測試速 率分頻時鐘脈衝(圖中的LRATECLK1)同步接收。這裏所說 • 的第1測試速率分頻時鐘脈衝是指第1測試速率時鐘脈衝 被第1測試模組160b分頻之後的時鐘脈衝。第1圖形開始 信號同步部150通過將圖形開始信號與第1測試速率時鐘 脈衝同步接收，使其與第1測試速率時鐘脈衝同步。 第1圖形開始信號同步部150，含為了防止圖形開始 信號變成亞穩狀態而串聯設置的多個觸發器152。最前一 級的觸發器152同步接收從多個觸發器144的最後一級的 觸發器144輸出的圖形開始信號以及第1測試速率分頻時 13920pifl 修正日期:99年6月8日 爲削6294號中文_____ 鐘脈衝，輸出到下一級的觸發 152將上-級的觸料152。2級町的觸發器 " ° 輪出的圖形開始信號與第1測 4速^頻時鐘脈衝同步接收，並輸出到下-級。 同牛信制步部155，將第1基準時鐘脈衝 域ί ^ 與第2基树舰衝同步接收，生成 始錢卿肅^。帛2圖_ 的、^ 5含同步接收任何—個觸發11 152輸出 美進^職速㈣鐘脈_步的_開始信號與第2 基準時鐘脈衝的觸發器157。 f 1測試模組祕含級數對照部162、第i測試速率 ιβ / 64以及1個或多個第1驅動部166。級數對照部 來將第1測試模組16〇b接收域Α與β用的圖形 開始^號到將測試圖形供給至電子元件觸的路線上存在 的觸發的級數，與第2測試模組18〇接收域c與D用的 圖形開始信號到將測試圖形供給至電子元件100的路線上 存在的觸發器的級數進行對照的級數調整線路。 _第1測試速率生成部164根據第1測試速率時鐘脈 衝生成第1測試速率時鐘脈衝與第1測試迷率分頻時鐘 脈衝。1個或多個第1驅動部166根據第丨基準時鐘脈衝 ，電子元件10〇供給第1測試圖形。更具體地說，1個或 多個第1驅動部166是分別與電子元件1〇〇所具有的i個 或多個端子相對應設置的，可以將應當供給該端子的那部 分第1測試圖形供給至電子元件1〇〇。第丨測試模組16〇a 除了沒有將第1測試速率時鐘脈衝等歸還時鐘脈衝供給部 17 1330260 13920pifl 爲期㈣號中文說明書無劃線修正本 β：99^6^8Β 120的帛1測試速率生成部外，其餘的結構與功能與第i 測試模組160b —樣，說明省略。 第2測試模組180a含第2測試速率生成部182、第2 驅動部184。第2測試速率生成部182根據可變頻率時鐘 脈衝發生器132與可變頻率時鐘脈衝分頻器134生成的、 又相位同步部I35使其與第i測試速率時鐘脈衝相位同步 的第2基準時鐘脈衝，生成第2測試速率時鐘脈衝盘參昭 •，衝（圖中的REFCLK)。第2驅動部184根據第；、測試 迷率時鐘脈衝將第2測試圖形供給至電子元件1〇〇。更具 體地說’1個或多個第2驅動部184是分別與電子元件1〇〇 $具有的1個或多個端子相對應設置的，可以將應當供給 h蠕子的那部分第2測試圖形供給至電子元件1〇〇<>另外， 第2測試模組i80b的結構與功能與第2測試模組一 樣’說明省略。 權^如上所述，採用本實施方式的測試裝置1〇，第丨測試 _ 1= 160内的第1驅動部μ與第2測試模組180内的第 與驅動部184根據圖形開始信號’開始供給第1測試圖形 1、 、、第/測試圖形。更具體地說，第1驅動部166根據與第 如j 速率時鐘脈衝同步的域A與B用的圖形開始信號開 供=第1測試圖形，第2驅動部184根據與第2測試速 2、 、t _ ^ $域C與D用的®形開始信制始供給第 與^忒圖，。這時’測試控制部u〇在第2基準時鐘脈衝 電子^測試速率時鐘脈衝相位同步的狀態下，生成開始對 '疋件100供給測試圖形的圖形開始信號，因此第1測 丄幻0260 I3920pifl 修正曰期:99年6月8曰 可以使得第1測試圖形與 舄93116294號中文説明書無劃線修正本 試模組160與第2測試模組18〇 弟2測試圖形的相位同步。 圖2表示本實施方式的第！測試速率生成部164與第 !驅動部166的結構。在本實施方式中，第丨測試速率生 成部164與第1驅動部166採用同一或同樣的結構。因此， 下面以第1測試速率生成部164為中心進行說明，對第ι 驅動部166，除了不同點之外，其餘的說明省略。 第1測試速率生成部164與第丨驅動部166含設置信 5虎生成部220、重設置信號生成部29〇、SR鎖存器2川、 第1驅動器200、比較器292以及邏輯比較部29厂 、 *第1測試速率生成部164的設置信號生成部 220，根 據第1基準時鐘脈衝與從級數對照部162接收到的同步開 η’生成表示第i測試速率時鐘脈衝上升界限時間： 设置信號，第1測試速率生成部164的重設置信號生成部 29〇’根據第1基準時鐘脈衝與同步開始信號，生成表示第 1測試速率時鐘脈衝下降界限的時間的重設置信號。 1 一方面’第1驅動部166的設置信號生成部220， 根據第1基準時鐘脈衝與從級數對照部162接收到的同步 開=信號以及圖形開始信號，生成表示該第1驅動部I% 應當供給的第1測試圖形的上升界限時間的設置信號。另 外，第1驅動部166的重設置信號生成部290，根據第1 基準時鐘脈衝、從級數對照部162接收到的同步開始信號 以，圖_始信號’生絲示該第丨驅動部166應當供给 的第1測試圖形的下降界限時間的重設置信號。 1330260 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年6月8曰 SR鎖存器21〇接收設置信號與重設置 生成的時間將輪出轉變為H邏；⑽): (重U生成部2卯生成的時間將輸出轉變為L賴

2〇〇 ’將SR鎖存器210生成的第i測試速率時鐘脈衝供给 ==供給部120,第!驅動部166的第i驅動器— 100 1G生成的第1測試圖形供給至電子元件 第1驅動部166的比較器292測出電子元件1〇〇應測 试圖形而輸出的輸幻f蚊否比預先確定的基準電位大， 將測出的結果供給至邏輯比較部295。第丨驅動部166的 ，比較部295將比較器292測出的結果與輸出信號的期 望值進行比較，對電子元件1〇〇是否良好進行判斷。另一 方面，在第1測試速率生成部164中，也可以不用比較器 292與邏輯比較部295。

因為如上所述’第1測試速率生成部164的設置信號 生成部22〇與重設置信號生成部29〇，與第1驅動部^ 的設置信號生成部220與重設置信號生成部29〇具有大致 相同的結構與功能，所以對第1測試速率生成部164的重 設置信號生成部290，以及第1驅動部ι66的設置信號生 成部220與重設置信號生成部29〇,除了與第1驅動部 的設置信號生成部220的不同點之外，其他說明省略。 設置信號生成部220含測試頻率發生器230、分頻器 25〇、“非或”元件252、“與”元件254、“與，，元件256、 1330260 13920pifl 修正曰期:99年6月8日 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 “與，，元件258、測試圖形發生器以及^時延遲器咖。 測試頻率發生器23〇根據第！基準時鐘脈衝，生成 位時間的脈紐與第】測試料賴脈衝大致相同的測試 周期脈衝信號。更具體地說，測試頻率發生器观設定表 =第1測試速率時鐘脈衝對第丨基準時鐘脈衝關期的倍 率的周期料X ’生縣辦_脈賊為第i基準時鐘 脈衝的1/X的測試周期脈衝信號。 、觸發器234、選擇 元件242、“與”

測試頻率發生器230含計數器232 器236、加法器238、暫存器240、“或” 元件244。 计數盗232是與第！基準時鐘脈衝同步工作的降值 。計數器232在“與，’元件244每次輸出作為測試周 期脈衝信制脈衝時，將紐衝輸人L端 ，到後將周期倍率X的整數部分知設定為計數值端=十)數 盗232與第1基準時鐘脈衝同步減少計數值，在計數值為 0的時點將z端子作為邏輯值“Γ。這樣，計數器232從

向L端子輸人脈衝起經過第丨基準時鐘脈衝的周期的 倍的時間後，將Ζ端子作為邏輯值“丨”。 觸發器234與第1基準時鐘脈衝同步接收2端子的信 =值’將其輸出到選擇器236。選擇器236在從加法器別 接收到進位輸出‘‘〇，，時，將計數器232的 值輸出到“或”元件242。 加法器238與暫存器240根據周期倍率χ的小數部分 XL調整“與，，元件24增出作為測試周期脈衝信號的脈衝 21 丄幻υ260 I3920pifl 爲93刪看綱咖_本 軸触年6月8日 輸出時間。加法器238在暫存器存存 周期倍率X的小數部分Xl。暫存器24。與 脈衝同步，將加法器238的加法社鳊子輪入 ^法結果的小數部分作為寄存值存貯起來。 步’算_"的:數=: 加法器238在累積值的小數部分加上周期倍率 ^分Xl，結果生雜_倍率 ^ 數:ί r供給進位輸出“1' 號‘或:元=是將計數器232的、 出到“4”元件242 1而疋將觸發器234的輸出輸 小數部的 二 入脈衝起經過第1基準時鐘脈二^ :二倍的時間後，輸出邏輯值，，，，在升位元:二期 X 輸人脈衝起經過第1基树鐘脈衝的周期的 岔+1倍的時間後，輸出邏輯值期的 邙162 ί ,元件242輸出選擇器236的輸出與從級數對日召 的==邏輯和。“與”元二 積，將“或，，元件242的與第1基準時鐘脈衝的邏輯 周期脈衝信號進行輸出。、^轉乍為測言式 表'在脈衝>又有輸出到測試周 22 1330260 13920pifl* · 爲93卿働細咖繼本 細獅年6月8日 :如二到了 : 1基準時鐘脈衝的-個 U 乂间始仏唬，或兀件242與“與，，元件244 脈衝信號輸出脈衝，同時設定計、數器232的 的脈衝輸出。料存值_對測胡期脈衝信號 分頻器250對測試周期脈衝信號進行分頻。這裏， 分頻器250通過對測試翻脈衝錢進行分頻 ， 第1基準時鐘脈衝與第i測試速率時鐘脈衝的公倍數^ =了將周期倍率X的小數部分Xl給測試周期脈衝信 唬上的脈衝帶來的脈衝間隔除去。其結果是，分頻器25〇 生^具有大致相同關_、第丨輯速料鐘脈衝分頻 所得的第1測試速率分頻時鐘脈衝。例如，分頻器25〇可 以在第1基準時鐘脈衝為250MHz，測試周期脈ς信號為 200MHz的情況下’設定Ν=4，生成與第丨測試速率時鐘 脈，同步的50MHz的第1測試速率分頻時鐘脈衝。“非 或”元件252在其他輸入信號為“〇，，的情況下，將分頻器 250生成的第丨測試速率分頻時鐘脈衝供給至時鐘脈衝供 給部120。 “與”元件258輸出測試周期脈衝信號與域A^B用 的，形開始信號的邏輯積。第i驅動部166的測試圖形發 生260，在域a與B用的圖形開始信號處於邏輯值為 1的狀恶下，輸入測試周期脈衝信號的脈衝，在與該脈 衝相對應的測試周期中，輸出應當供給電子元件1〇〇的測 試圖形的設置信號。這裏，帛丨測試速率生成部164的測 23 1330260 13920pifl 修正曰期年6月8曰 爲93116294號中文說明書無劃線修正#

試圖形發生器260可以連續地輸出設置信號，在測試周期 脈衝信號的每個脈衝對第i測試速率時鐘脈衝進行設置 “與”元件254輪出測試頻率發生器23〇輸出的測試 周期脈衝信號，測試圖形發生器26〇輸出的第丨測試速率 時鐘脈衝或第1測s式圖形的設置信號的邏輯積。“與，，元 件256輸出存貯在暫存器240中的周期倍率χ的小^部分 Xl的累積值的小數部分與第1測試速率時鐘脈衝或第i測 試圖形的設置信號的邏輯積。 定時延遲器270生成讓“與，，元件254輸入的測試周 期脈衝信號中的各脈衝延遲的延遲信號。這裏，第丨測試 ^率生成部164内的定時延遲器270生成讓測試周期脈衝 信號中的各脈衝延遲，使得脈衝間隔大致相同的延遲信 號，即第1測試速率時鐘脈衝。另一方面，第丨驅動部166 内的定時延遲器270生成讓測試周期脈衝信號中的各脈衝 延遲與第1測試圖形相對應的所定時間的延遲信號，即第 1測試圖形。定時延遲器270含計數器272、觸發器274、 選擇器276、暫存器280、“與”元件282、“與，，元件284 以及可變延遲元件286。 °十數器272根據與測試周期脈衝信號中的各脈衝相對 應確定的粗延遲資料，使該各延遲第1基準時鐘脈衝的整 數倍。更具體地說，計數器272在[端子每輸入一個測試 周，，衝信號的脈衝時，將與脈衝相對應確定的粗延遲資 料設定為計數值。然後，計數器272與第1基準時鐘脈衝 同步減少計數值，在計數值為“〇’，時，以z端子為邏輯 24 1330260 13920pifl 修正日期:99年6月8日 舄93】〗6294號中文説明書無劃線修正本 衝被輸入二ί數脈衝信號中的各脈 了按粗延遲資料,定=二::電時=的周期廷遲

作，基準時鐘脈衝同步端子的 端子的信號到V 的輸出，輪出到“與，，元件282與暫m將觸發_ 部分從“與”元件256接收周期倍率x的小數 中的各_相對==:遲;';與:^ 進;，：的情 W 2;6't二= 瑚。暫Μ的輸出再延遲第1基準時鐘脈衝的周 的小數^ Χ =1基準時鐘脈衝同步，將周期倍率χ 的結果;；年值的小數部分加上微延遲資料所得 276輸出值存貯起來。紐，暫存器彻與選擇器 輸出的電平信號的升位元同步，輸出寄存值。 276輸出、的28„2通過取件第1基準時鐘脈衝與選擇器 仲轉換的邏輯積，將選擇器276輸出的電平 二Si第1基準時鐘脈衝同步的脈衝信號。“與” 值的邏輯di基準2鐘脈= 暫存器280輸出的寄存 步，將延::試丄=的 25 1330260 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年6月8日 供給至可變延遲元件286。可變延遲元件286將“與，，元 件282輸出的、通過粗延遲資料延遲、各脈衝位置經調整 後的測試周期脈衝信號，延遲“與”元件284供給的微延 遲量’作為SR鎖存器210的設置信號輸出。 如上所示，定時延遲器270根據與測試周期脈衝信號 中的各脈衝相對應確定的粗延遲資料與微延遲資料，使該 各脈衝延遲，這樣便可以生成讓脈衝間隔大致相同而延遲

的没置信號。同樣地，重設置信號生成部29〇内的定時延 遲器270，根據與測試周期脈衝信號中的各脈衝相對應確 定的粗延遲資料與微延遲資料，使該各脈衝延遲，這樣可 以生成讓脈衝間隔大致相同而延遲的設置信號。其結果 疋，设置彳§號生成部220内的定時延遲器27〇與重設置信 ，生成部29G内的定時輯器27〇可以將測試周期脈衝信 號中的各脈衝延遲，使其脈衝間隔大致相同，生成第^ 試速率時鐘脈衝。 ' 另一方面，第1驅動部166的設置信號生成部22〇盥 重没置信號生成部29〇内的定時延遲器27㈣“與 ς 254輸入的測試周期脈衝信號中的各脈衝根據與第 试圖形相對應確定的粗延遲#料 # ==?遲資料與微延遲資料，是按將測試周:: =各_轉換成第1測試速率時鐘脈衝所需： 遲1與第1測試圖形的輸出時，的延 的延遲量進行賴的相來設定的。…時鐘脈衝 26 1330260 13920pifl 修正曰期:99年6月8日 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 如上職’第i戦速衫成部164通咖境頻率發 生益230與定時延遲器謂，根據第丨基準時鐘脈衝愈周 期倍率x，生成具有周期為第1基準時鐘脈衝的周^ χ 倍的第_1測試速率時鐘脈衝。第2基準時鐘脈衝生成部内 的相位同步部135使第2基準時鐘脈衝與第丨測試速率生 成部164的設置信號生成部22G肖重設置信號生成部290 内的定時延遲器270生成的第i測試速率時鐘脈衝的相位 冏步。运樣，第1測試模組160與第2測試模組18〇可以 使第1測試圖形與第2測試圖形相位同步地供哈至 件 100。 、〇 圖^是表示本實施方式的第2測試速率生成部ΐ82的 結構。第2測試速率生成部182含參照時鐘脈衝振里部 300、參照時鐘脈衝分頻器31()、測試速率時鐘脈衝分頻器 320、相位檢測器330、相位調整部332、觸發器34〇以及 “與”元件350。 參照時鐘脈衝振盪部300生成頻率為第2基準時鐘脈 衝的頻率的2以上倍數的參照時鐘脈衝（圖中的 籲 REFCLK)。舉例來說，在第2基準時鐘脈衝為2〇〇ΜΗζ的 情況下，第2測試模組180a内的第2測試速率生成部182 生成800MHz的參照時鐘脈衝，第2測試模組内的 第2測试速率生成部182生成1.6GHz的參照時鐘脈衝。 這裏’參照時鐘脈衝振盪部300可以是電壓控制振盈器 (Voltage controlled Osillator)。 參照時鐘脈衝分頻器310對參照時鐘脈衝振盪部3〇〇 27 13920pifl 修正日期:"年6月8日 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 ^ ^參照_脈_行分頻，生成第2測試模組18如 内的第2測試速率時鐘脈衝(圖中的朦孤幻。這裏 =測捕組18〇a内的參照時鐘脈衝分頻器3⑺與第2測含式 =嶋⑽參科鐘脈衝錢器31()，分職 1 衝分頻成队與％。）。舉例來說，在第2測試: r "内的參照時鐘脈衝分頻器310對800MHz的參照時鐘 ，進行U㈣分頻，生成侧施的第2測試速率日; ，脈衝，在第2測試模組刚b _參贿鐘脈衝分頻器 10對1.6GHz的參照時鐘脈衝進行1/2(L『2)分頻生 800MHz的第2測試速率時鐘脈衝。 測試速率時鐘脈衝分頻器DO對參照時鐘脈衝分頻器 M0輸出的第2測試速树鐘齡m行分頻，生成具有i 第2基準時^_鮮大致相同的第2職速率分頻時鐘 脈衝。）。這裏’第2測試模組18Ga内的測試速率時鐘脈 衝分，器320與第2測試模組膽内的測試速率時鐘脈衝 分頻器320，分別將參照時鐘脈衝分頻成1/队與1/Nd。舉 =來說’在第2測試模組18〇a内的測試速率時鐘脈衝分頻 =320對400MHz的第2測試速率時鐘脈衝進行1/2(Nc=2) 刀頻，生成第2測試速率分頻時鐘脈衝，在第2測試模組 180b内的測試速率時鐘脈衝分頻器32〇對8〇〇mHz的第2 測試速率時鐘脈衝進行1/4(Nd=4)分頻，生成第2測試速率 分頻時鐘脈衝。 相位檢測器330對第2基準時鐘脈衝與測試速率分頻 時鐘脈衝的相位誤差進行檢測。相位調整部33〇根據測出 28 1330260 13920pifl 修正曰期:99年6月8日 爲93116294號中文說明書無劃線修 的第2基料舰衝與職料分頻賴脈衝的相位誤 差，調整參照時舰衝的她，使其與第2基料鐘脈衝 同步。 觸發器340與第2基準時鐘脈衝同步接收域〇與〇用 的圖形開始信號。“與，，元件350輸出觸發器34〇收到的 圖形開始錢與參照時鐘脈衝分㈣生成的第2測試 速率時鐘脈衝的邏輯積，在_開始信號的邏輯值為丫 的情況下，將第2測試速率時鐘脈衝供給至第2驅動部

如上所述，分別設置於第2測試模組18〇a、祕的 2測試速率生成部182，可叫第2賴速率分頻時鐘 2基準時鐘脈衝的相位同步而生成與第2基準時 鐘，=目位同步的第2測試速树鐘脈衝。這裏，因為第 ，準時舰衝已㈣2鱗時舰衝生成部⑽使並盘 ^測試速率時鐘脈衝相位同步，因此第2測試速率生成 第1測試速率時鐘脈衝相位同步的第2

驅動：本實施方式的第2驅動部184的結構。第2 :。，鎖存器、第2驅動器二= 。設置信號生成部42G，根據從第2測試速ΐ 衝成到的參照時鐘脈衝與第2測試速率時鐘脈 成表不第2測試圖形的上升界限的時間的設置信 ^。重設置錢生成部46〇 ’根據從第2職速率生成^ 29 1330260 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年6月8曰 182接收到的參照時鐘脈衝與第2測試速率時鐘脈衝，生 成表示第2測試圖形的下降界限的時間的設置信號。這 裏，因為重設置信號生成部460與設置信號生成部42〇的 結構與功能大致相同，所以除了與設置信號生成部42〇的 不同點之外，其他說明省略。 SR鎖存器410接收設置信號與重設置信號，在設置信 號生成部420生成的時間，使輸出變為邏輯值“丨”（詨 φ 置）’在重设置彳§號生成部460生成的時間，使輸出變為邏 輯值（重設置）。這樣，SR鎖存器410根據設置信號 與重e又置仏號生成第2測試圖形。比較器470檢測電子元 件100應測試圖形而輸出的輸出信號是否大於預先確定的 基準電位，並將測出的結果供給至邏輯比較部48〇。邏輯 比較部480將比較器470的檢測結果與輸出信號的期望值 進行比較’對電子元件100是否良好進行判斷。 設置信號生成部420含測試圖形發生器424，‘‘與” 元件428 ’以及定時延遲器430。 ' • 測試圖形發生器424對每個第2測試速率時鐘脈衝的 脈衝，與參照時鐘脈衝同步輸出在與該脈衝相對應的測試 周期中應當供給至電子元件1〇〇的第2測試圖形的設置信 號。這裏，重設置信號生成部460内的測試圖形發生器 424，與設置信號生成部420内的測試圖形發生器424 L 樣，輸出應當供給至電子元件1〇〇的第2測試圖形的重設 置信號。“與’’元件428輸出測試圖形發生器424輸出= 設置信號與參照時鐘脈衝的邏輯積。 30 1330260 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 t ’ 修正日期:99年6月8日 ^時延遲器43〇使料2顯速輪衝信 衝延遲’生成第2測試圖形。更具體地說，定時， 通過與”元件428接收測試圖形私 2測試速率脈衝信號中的各脈衝相對“出的== 速率脈衝信號，的各脈衝 地重:置的時間的延遲信號。同樣 出的第2測試圖形的重設置信號的 i脈衝延遲㈣2職_相對應確定的時_延遲信 〇 総ί時延遲器430含計數器432、“與”元件438以及可 3 450。汁數器432採用與定時延遲器270内的 72同樣的結構，根據與設置信號的各脈衝相對應 射料，向Ζ端子輸出將該脈衝按參照時鐘脈 衝的整數倍延遲的延遲信號。 與元件438獲取參照時鐘脈衝與計數器432輸出的 ^信^的邏輯積’將計數器432輸出的電平信號轉換成 照時鐘脈衝同步的脈衝信號。可變延遲元件450，將 與’兀件438輸出的、用粗延遲資料延延遲、使得各脈衝 的位置延遲的設置信號，按與第2測試圖形相對應確定的 微延遲資料指定的微延遲量予以延遲，作為SR鎖存器41〇 的設置信號輸出。 圖5、圖6與圖7表示本實施方式的測試裝置1〇的動 作時間。在圖5中’同步開始信號供給部114在測試開始 31 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正曰期:99年6月8曰 前’生成指令第1測試模組160b開始生成第i測試速率時 鐘脈衝的同步開始信號，與匯流排時鐘脈衝上升（圖中 个）同步’將其供給至第1測試模組160b。然後，觸發 器146與多個觸發器148，將匯流排時鐘脈衝中同步開始 仏號轉換成與第1基準時鐘脈衝同步的同步開始信號 CSTART 〇 接下來’在接收到與第1基準時鐘脈衝同步的同步開 始信號後’設置於第1測試模組160a與第i測試模組16〇b 的第1測試速率生成部164與第1驅動部166，通過測試 頻率發生器230生成測試周期脈衝信號。另外，第^測試 速率生成部164内的分頻器25〇與“非或’，元件252根據 測5式周期脈衝仏號生成第丨測試速率分頻時鐘脈衝。還 ，，第1測試速率生成部164内的定時延遲器27〇根據測 ，頻率發生器230生成的測試周期脈衝信號，生成第i測 試速率時鐘脈衝RATECLK1。 f ·在接收到第1測試速率時鐘脈衝後，第2基準時鐘脈 衝生，部130内的相位同步部135減少可變頻率時鐘脈衝 發生器132生成的第2基準時鐘脈衝與第i測試速率時鐘 、衝的相位n吳差’使彳于在第丨測試速率時鐘脈衝的脈衝4 以下，基準時鐘脈衝與第1測試速率時鐘脈衝的相位 ，步。攻裏’第2測試模組驗的第2測試速率時鐘脈衝 (圖中的RATECLK2(C))與第2測試模組18〇b的第2測 =率時鐘脈衝（圖中的議CLK2(D))分別由第2洌 式速率時生成部182使其與第2基準時鐘脈衝同步。 1330260 13920pifl 修正日期:99年6月8日 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 測試控制部110内的圖形開始信號生成部112從相位 檢測器i36收到第2基準時鐘脈衝與第i測試速率時鐘脈 衝的相位誤差，在判斷出這些時鐘脈衝的相位同步或在所 定時間内同步時，生成圖形開始信號。也就是說，圖形開 始信號生成部112在第2基準日檢脈衝與第！測試速率時 鐘脈衝的她时態下，生關始錢，開始對 弟1驅動部166與第2驅動部184供給供電子元件用 的第1測試模組與第2測試模組。 =開始信號生成部112生成的圖形開始信號，通過 142、多個觸發器144以及第i圖形開始信號同步 二=’轉換成與第！測試速率_脈朗步的圖形開始 5#uPSTART一AB。然後，圖形開始信號丫與圖6所示 的第1測試速率時鐘脈衝的脈衝9同步，供給至第i測 模組 160a、160b。 另外’ ®㈣始信號生成部112生成的圖形開始信 二=發器142、多個觸發器144、第i圖形開始信號 ^。 以及第2圖形開始信號同步部155，轉換成與 2基準時鐘脈衝同步的圖形開始信號。然 錢信號“Γ與® 7所示的第1測試速率時鐘脈 衝的^ 16々同步，供給至第2測試模組·、娜。 攻裏，第1驅動部166内的定時延遲器27〇與第2驅 ^ 184内的定時延遲器43G根據圖形開始信號對第1驅 部166與第2驅動部184應當開始將第i測試圖形與第 剩試圖形同步供給至電子元件100的延遲量進行設定。 1330260 13920pifl 修芷日期:99年6月8曰 爲931丨6294號中文說明書無劃線修正本 這樣，第1測試模組160a、160b與第2測試模組18〇a、 180b便可以分別將第丨測試圖形與第2測試圖形從第i驅 動器200與第2驅動器400，與圖7所示的第j測試速率 時鐘脈衝的脈衝16同步，供給至電子元件〗〇〇。 如上所述，採用本實施方式的測試裝置1〇，通過使第 2基準時鐘脈衝與第丨測試速率時鐘脈衝相位同步 ，可以

將第1測試®形與第2測試圖形同步供給至電子元件 100。：^裏，測試裝置10，在同時使用具有第i基準時鐘 ，衝的周期的周期倍率X倍的周期的第1測試速率時鐘脈 衝以及可ft:頻率時鐘脈衝發生器132用設定頻率數的時鐘 衝生成的第2 K速率時鐘脈衝的情況下，可以它們的 相位與頻率-致。這樣，測試裝置1G可以用—個或多個第 ^則試模組16G與—個或多個第2測試模組180,對具有不 同工作頻率的區塊的電子元件刚進行高精度的測試。 圖8表不本實施方式的第1變形例的測試裝置10的結 。本變關的戦裝置1G具有測試控制部UG、時鐘脈 _供給。M20、第1測試模組16〇、第2測試模組18〇以及 3測试模組880。這裏’因為測試控制部ιι〇，第^測試 、、且160a、160b，第2測試模組i8〇a、180b具有與圖1 ^示的同—標示的部件大朗—的結構與魏，所以下面 =不同點外’朗省略。另外，因為第3測試模組88〇 =有與圖1所示㈣2測試模組⑽大朗-的結構與功 月<=·，所以下面除了不同點外，說明省略。 時鐘脈衝供給部82〇具有第i基準時鐘脈衝生成部 34 1330260 13920pifl 修正日期:99年6月8曰 爲93116¾4號中文說明書無劃線修正本 122、第2基準時鐘脈衝生成部13〇、觸發器142 發器144、觸發器146、多個觸發器圖形開始作 號同步部15〇、第2圖形開始信號同步部155、第3基準^ 鐘脈衝生成部830以及第3圖形開始信號同步部855。這 =J為第i基準時鐘脈衝生成部122、第2基 ，生成和〇、觸發器142、多個觸發器144、觸發哭⑷、 夕個觸發器148、第i圖形開始信號同步部15〇、第2 _ 155具有與圖1所示的同-標示的繼 ，同-的結構與功能，所以下面除了不同點外，說明省略。 另外，因為第3基準時鐘脈衝生成部㈣，以及含觸發器 a圖形開始信號同步部855分別與圖1所示的^ 始信號同步㈣具有大致同一的:=弟= 除了不同點外，說明省略。 稱/、力此所以下面 脈衝2 Ϊ f _所具有的可變頻率時鐘 篦3其唯1 摘率在預先破定的頻率範圍内可變的 成部830所具有的相位同步部135使^ 3 脈衝生 步。第的第1測試速率時鐘脈衝的相位同 第3基準時鐘脈的第2測試速率生成部182根據 100的供仏月偏笛成表不第3測試圖形供給至電子元件 ，内的第：::二：：:。第— 第巧試_供給至電子似逮率時鐘脈衝，將 35 1330260 13920pifl 修主日期:99年6月8曰 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 採用上述的第1變形例的測試裳置i 〇，通過使頻 預先確㈣頻率範_可變的多個基準時鐘脈衝與第 二式速率時鐘脈衝相位同步’可以將第i測試圖形，第2測 Z形，以及第3測朗形相位同步地供給至電子元件 圖9表示本實施方式的第2變形例的測試裝们〇的么士 構。本變形例的測試裝置1G具有測試控㈣.時鐘^ • 衝供給部920、第1測試模組_、第2測試模组180、第 3測試模組_以及第4職触_。這裏，因為測試控 制部no、第1測試模幻60以及第2測試模組18〇具有 與圖1所示的同-標示的部件大致同一的結構與功能，所 以下面除了不同點外’說明省略。另外，因為第3測試模 組960以及第4測試模組_具有與圖！所示的第i測試 模組職與第2測試馳18〇大致同一的結構與功能所 以下面除了不同點外，說明省略。 _脈衝供給部920具有第丨基料鐘脈衝生成部 121、第2基準時鐘脈衝生成部13G、觸發器M2、多個觸 發器144、觸發器146、多個觸發器148、第！圖形開始俨 號同步部150、第2圖形開始信號同步部155、第3基準 鐘脈衝生成部930、第3圖形開始信號同步部95〇以及第4 圖形開始信號同步部955。這襄，因為第！基準時鐘脈衝 生成部122、第2基準時鐘脈衝生成部13〇、觸發器142、 多個觸發器144、觸發器146、多個觸發器M8、第】圖形 開始信號同步部150以及第2圖形開始信號同步部155具 36 1330260 13920pifl 修正曰期:99年6月8曰 爲931丨6294號中文說明書無劃線修正本 有與圖1所示的同-標示的部件大致同一的結構與功能， 所以下面除了不同點外’說明省略。另外，因為第3基準 時鐘脈衝生成部㈣，含多個觸發器952的第3圖形開始 =同步部950，以及含觸發器957的第4圖形開始信號 同步部955分別與圖丨所_第2基料鐘脈衝生成部 130 ’含多個觸發器152的第1圖形開始信號同步部150， 二及含觸發器丨57的第2 _開始信號同步部155呈有大 致同:的結構與功能，所以下面除了不同點外，說明省略。 第1其H賴組働内的第1賴速率生成部164根據 脈衝生成部122供給的第1基準時鐘脈衝， 式圖形供給至電子元件100的 j /以轉時鐘脈衝。第3測試模組_⑽第h i電==則試速率時鐘脈衝，將第3測_^^ 第3料/ΓΪ 步部135使第3基準時鐘脈_ 二ϊ 3測試速率時鐘脈衝的二 第3基準時的^測試速率生成部⑻根據 携的供給周期ί試圖形供給至電子元件 ，内的第2驅動部184根據 :二:，且 弟4測試圖形供給至電子元件·以料時鐘脈衝，將 37 1330260 ’13920pifl 爲93則4號中文說明書無劃線修正本 修正曰期辦咖曰 採用上述的第2變形例的測試裳置1〇，第 160與第3測試模垣96〇根據第 '用 :不=二!=率時鐘脈衝與第3測=率=

^定的解範_可變的第2基準時鐘脈衝與第ί基準 =，別與第i測試速率時鐘脈衝與第3測二速 Z衝相位同步，將可以將第1測試圖形，第2測試圖形 第3測試圖形以及第4測試圖形相位同步地供給至 件 100。 电丁70 上面是用實施方式對本發明進行的說明，但是本發明 的技術範稀於上述實施方式朗的翻。本發^所 屬技術領域的專業人員明白可以對上述的實施方式進行多 種變更或改良。從申請專利範圍可以看到這種變更或改良 的方式包含在本發明的技術範圍之内。 產業上利用之可能性 從上面的說明可以看出，本發明可以提供一種對具有 工作頻率不同的多個區塊的電子元件進行高精度測試的測 試裝置。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以 限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神 和範圍内’當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 圖1表示本發明的實施方式的測試裝置10的結構。 38 1330260 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年6月8日 圖2表示本發明的實施方式的第1測試速率生成部 164與第1驅動部166的結構。 · 圖3表示本發明的實施方式的第2測試速率生成部 182結構。 圖4表示本發明的實施方式的第2驅動部184的結構。 圖5表示本發明的實施方式的測試裝置10的第1動作 定時。 圖6表示本發明的實施方式的測試裝置10的第2動作 定時。 圖7表示本發明的實施方式的測試裝置10的第3動作 定時。 圖8表示本實施方式的第1變形例的測試裝置10的結 構。 圖9表示本實施方式的第2變形例的測試裝置10的結 構。 【主要元件符號說明】 10:測試裝置 _ 100 :電子元件 110 :測試控制部 112 :圖形開始信號生成部 114 :同步開始信號供給部 120、820、920 :時鐘脈衝供給部 122 :第1基準時鐘脈衝生成部 130 :第2基準時鐘脈衝生成部 39 1330260 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正扫期:99年6月8曰 132、134 :可變頻率時鐘脈衝發生器 135:相位同步部 136、330 :相位檢測器 138、332 :相位調整部 140、320 :測試速率時鐘脈衝分頻器 150 :第1圖形開始信號同步部 155 :第2圖形開始信號同步部 160a、180b :第1測試模組 ® 162 :級數對照部 164 :第1測試速率生成部 166 :第1驅動部 180a、180b :第2測試模組 182 :第2測試速率生成部 184 :第2驅動部 200 :第1驅動器 210、410 : SR 鎖存器 • 220、420 :設置信號生成部 230 :測試頻率發生器 232、272 :計數器 236、276、142、144、146、148、152、157、234、274、 340、857、952、957 :觸發器 238、278 :加法器 240 :暫存器 242 : “或”元件 1330260 13920pifl 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年6月8日 244、254、256、258、282、284、350、428、436 : “與” 元件 250 :分頻器 252: “非或”元件 260、424 :測試圖形發生器 270、430 :定時延遲器 286、450 :可變延遲元件 290、460 :重設置信號生成部 292、470 :比較器 295、480 :邏輯比較部 300 :參照時鐘脈衝振盪部 310 :參照時鐘脈衝分頻器 400 :第2驅動器 432 :計算器 830、930 :第3基準時鐘脈衝生成部 855、950 :第3圖形開始信號同步部 880、960 :第3測試模組 # 955 :第4圖形開始信號同步部 980 :第4測試模組 41

Claims (1)

13920pifl 修正日期:99年6月8日 爲931〗6294號中文說明書 七、申請專利範圚·· 測試i;=有不同工作頻率的電子元件進行測試用的 -第衝生成部，生成具有-第丨頻率的 m第^速率生成部，根據該苐1基料鐘脈衝， 供給至該電付件的供給周期的 ㈣：=至=測試速率時鐘脈衝，將該 -第2基料鐘脈魅成部， 頻率翻内可變的-第2基準時鐘脈衝；羊在預先確疋的 賴ί=::同;吏該第2基準時鐘脈衝與該第' 時#财^2^=生成部’根據相位同步的該第2基準 供二的-生電子元件的 第2:==至測試速率時鐘脈衝’將該 的雷t如1請專利範圍第1項所述之對具有不同工作頻率 ^:^進行測試用的測試裝置，其中該第1測試迷率 罝你拉=周期發生器根據該第1基準時鐘脈衝，生成 …、脈衝數與該第1測試速率時鐘脈衝大致相同的 42 1330260 13920pifl 爲93116294號中文_書無劃線修正本修正日期:99年6月8曰 —測試周期脈衝信號；以及 一第1定時延遲器，使該測試周期_信號中的 衝延遲，使得脈衝間隔大致相同，生成該第i測 』 鐘脈衝； 处平時 該第1相位同步部可以使該第2基準時鐘脈衝盘 1定時延遲n生成的該第丨職速率時鐘脈衝相位同y。 3.如申請專利範圍第2項所述之對具有不同工作 進行測試用的測試裝置’其中該第2測試迷:

-參_鐘_振盪部，生成解為該第2基 氏衝頻率的2以上的整數倍的一參照時鐘脈衝； 、里 -參照時鐘脈衝分，將該參照時鐘脈衝分頻 成該第2測試速率時鐘脈衝； 生 脈衝衝分頻器’將該第2測試迷率時鐘 相同"試速;分頻時鐘脈衝頻率大致

調㈣’根據該第2測試速率時鐘脈衝盘該測 相=率々頻時鐘脈衝的相位誤差，調整該參照時鐘脈衝的 4·如申請專鄕㈣丨項所述之對 測試用的測試裝置’其中該第2基= 頻率;脈衝發生器’生成頻率在預先確定的 T變的一可變頻率時鐘脈衝； 43 1330260 13920pifl 修正臼期:99年6月8曰 爲93〗16294號中文說明書無劃線修正本 -可變頻率時鐘脈衝分頻器，將該可變頻率時鐘脈衝 为頻，生成具有與該第1測試速率時鐘脈衝頻率大致相同 的該第2基準時鐘脈衝； 該第1相位同步部包括： -相位檢測器，檢_第丨測試速率時鐘脈衝與該第 2基準時鐘脈衝的一相位誤差；以及 -相位調整部，根據_位誤差，使該可變頻率時鐘 脈衝與該第1測试速率時鐘脈衝相位同步。 5. 如申請專利第丨項所述之對具有不同工作頻率 的電子兀件進行測試用的測試裝置，更包括： 第1、p丨號生成部’在該第2基準時鐘脈衝與該 第i測錢率時鐘脈衝相位同步的 電子元件供給該第丨測賴料該 關始對5玄 開始信號；且 U弟2測試圖形的一圖形 ===與該第2驅動部根據該圖 開始供給料1測試圖形與該第 疏 6. 如申請專利範圍第5項 =右： 的電子元件進行職用的測試裝置，^有不同工作頻率 一第1__信制步部 ^括. 第1測試速率時鐘脈衝同步；以及開始信號與該 一第2圖形開始信號同步部 第2測試速率時鐘脈衝同步；之遠圖形開始信號與該 該第1驅動部根據與該第 -第i圖形開始信號，開始供給該第 1率時鐘脈衝同步的 $ 1測试圖形；以及 44 13920pifl 爲93116294號中文_無麵修正本 修正日购年6月8日 該第2驅動部根據與該第2測 -第2圖形開始信號，開始供 ^；:鐘脈衝同步的 ^ ^ 汗』拓货、口 4弟2測試圖形。 7.如申請專利範圍第丨項所述之 的電子元件進行測試用的測試裝置，复中 生成部與該第！驅動部分別包括：〃中41測成速率 單位：=周期發生器，根據該第1基準時鐘脈衝，生成 測試周期脈衝信號；以及料時鐘脈衝大致相同的 各二=生成使該測試周期脈衝信號中的 該第1測試速率生成部的該第！定時延遲器 =周期脈衝信號中的各脈衝以脈衝間隔大致相同3 遲的該延遲信號，即該第工測試速率時鐘脈衝；以^延 期脱動部的該第1糾延遲器，生成使該測試周 的時f脈衝延遲與該第1測試圖形相對應確Ξ 、、B、U延遲k號，即上述第1測試圖形。 沾如申明專利範圍第7項所述之對具有不同工作頻率 的電子兀件進行測試用的測試裝置，更包括： -圖形開始信號生成部，在該第2基準時鐘脈衝 垂1測試速率時鐘脈衝相位同步的狀態下，生成開始對二 電子疋件供給該第丨戰圖频 2賴 ^ 開始信號； 圖办 上述第2驅動部包括： 一第2料延遲器’使該第2測試速料鐘脈衡中的 45 1330260 13920pifl 修ΐ日期:99年6月8日 爲93116294號中文說明書無劃線修正本 各脈衝延遲，生成該第2測試圖形，且 該第1定時延遲器與該第2定時延遲器可以設定該第 1驅動部與該第2驅動部根據該圖形開始信號開始同步向 ^電子糾供給該第1職圖雜該第2戦圖形所應有 的延遲量。 9.如中請專利範圍第8項所述之對具有不同工作頻率 的電子元件進行測試用的測試裝置，更包括：

同㈣始彳5號供給部，在_供給該第丨測試圖形 的情況下’向該第1測試速率生成部供 4始生成衫卜測試速率時鐘脈衝的_同步開始信號， 受兮號生成部，在該第2基準時鐘脈衝與4 該第讓該第1測試速率生成部開始生成έ ，1式速率時鐘脈衝的相位同步的狀態下，生成讓言 驅動。卩與該第2 _部開始向該電子元仏 Μ圖形與該第2測試圖形的該圖形開始信號：… 率之 頻率』鐘頻率在預先確定6 1 *_二2::::位：該第3基準時鐘脈衝與該， 準時鐘士根據相位同步的該第” 成表不向該電子元件供給-第3測試_ 46 13920pifl 1 . 修正日期:99年6月8日 爲93116294號中文翻書無劃線修正本 的供Si 一第3測試速率時鐘脈衝;以及 第3測試圖形^至率時鐘脈衝，將該 的電專利範圍第1項所述之對具有不同工作頻率 的電子兀件進行測試用的測試裴置，更包括： 生成:Ϊ二Jit率生成部’根據該第1基準時鐘脈衝， ^表不向該電子元件供給一第3測試圖形的供 一第3測試速率時鐘脈衝； / 、 第3、則動部’根據該第3測試速率時鐘脈衝，將該 弟3測斌圖形供給至該電子元件； 舰基準時鐘脈衝生成部，生成頻率在預先確定的 頻率=_可_-第3基特鐘脈衝； 1制二f玄2 目位同步部，使得該第3基準時鐘脈衝與該第 “J。式速率時鐘脈衝相位同步； 進吐拉第4_測试速率時生成部’根據相位同步的該第3基 的佴:生ί表示向該電子元件供給一第4測試圖形 供、、、°，期的—苐4測試速率時鐘脈衝；以及 -第4驅動部’根據該第4測試速率時鐘脈衝，將該 弟4測試圖形供給至該電子元件。 47