TWI328931B - Timing generator, testing device, and timing generating method - Google Patents

Description

1328931 21800pif.doc 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於生成所需的時序的選通（strobe)信號之 時序產生器及時序產生方法以及對被測試元件進行測試的 測試裝置。本發明申請案與下述的美國專利申請有關。對 藉由文獻的參照來形成的組合所認可之指定國而言，將下 述的申請案所記述的内容藉由參照而組合到本發明申請案 中，以作為本發明申請案的一部分。 US 11/223892申請日2005年9月9日 【先前技術】 作為習知的用於生成所需的相位的時脈信號之方 法’已知有一種利用PLL (Phase Lock Loop ’鎖相回路） 的方法。該方法中藉由在供給到PLL的電壓控制振盪器的 控制電壓上重疊所需的電壓，而使時脈信號的相位對應於 該重疊電壓而偏移。 但是’當利用電壓控制振盪器使時脈信號的相位進行 偏移時’在已設定的位移量和實際的位移量之間有時會產 生誤差。因此’在習知技術中，是藉由預先測定在電壓控 制振盈器的控制電壓上所重疊的電壓和實際的位移量之關 係而進行預置（initialize)。 例如’藉由將2種電壓重疊至電壓控制振盪器的控制 電壓上’並檢測對各個重疊電壓的相位偏移量，則可對重 疊電壓和相位偏移量的關係進行測定。在這種情況下，需 要正確地檢測相位偏移量。但是，在正確地檢測相位偏移 6 21800pif.doc 量的情況下，例如需要利用閉環（1〇〇p ==電路中的延遲等會產生各種測定誤差 產生的目的是提供能夠解決上述課題的時序 、置以及時序產生方法。該目的利用專利申 二本發二 =:合一且’從屬 恶決上述課題，本發明的第1形態提供時序產生 第2 於輸出對第1週期錢具有所㈣相位差之 =二應===:對 括广預=上並供給到電壓控制振盪部；時序控制部包 控對用於表示針對重疊電壓的變化的、電壓 位移二4輸出的振^信號的時序偏移量的比例之時序 信號茲L壓生成部’其根據與第2週期 相ί對另=1週期信號及第2週期信號中的至少一個的 盘第2週期^相位進行位移，以使第1週期信號的相位 下’_生成部供===== 1328931 21800pif.doc ，致糊的相位和第2週期信號的相位再 - 人-致時的重疊電壓的變化量進行檢測；以及增 :第2相位調整裝置所檢測的重疊電“變化 週期信號的相位_化量來計算時序位移號對第 第。2相位調整裝置可以第2週期信號的相位在包含i mi週期的規定的整數倍之變化量之範圍内進行變 :目位成部所生成的重疊電壓依次進行變化。第2 1 ί裝刀別在第1職錢的週期的規定的整數 程中，以在第1週期信號的不足1週 期的範_ ’使第2職錢_位發生變化 使重疊電壓依次進行變化，且增益計算部可 ^ 期信號的週期的規定之整數倍的偏移;J = 變化量，而計算出時序偏移增益。于乂重豎電壓的 辦範圍存儲部，其預先存错著用於表示電壓控 彡動作的重疊電壓的_之資訊；電壓生成 ==一=:下’在範_部所存儲= [的乾圍内，預先生成-種大致是下限的重疊電壓= 1相位調整裝置在將大致是下限的重疊電壓重聶至 壓上的狀態下，使第2週期信號的相位進—步U = 第1週期信號的相位和第2週期信號的相位一致 論值’並使第i週期信號的週期的理論值成為規定 1328931 21800pif.doc •倍的值之後除以”電壓的變化量以算出時序偏移增益。 纟發θ的第2m提供—種測試裝置，為對被測試元 件進行測試的測試褒置，此測試裝置包括： 圖案產生器， 其依據所給予的時序信號，對被測試元件供給測試圖案； 仏?檢測器*利用所給予的選通信號的時序對應於被 測試兀件以對被測試元件所輸出的輸出信號的 信號值進行 檢測’時序產生器’其生成時序信號及選通信號並將這些 ❿健供給及信驗_ ;欺^，其根據信 號檢測器所檢_信號值，對被測試元件的好壞進行判 疋，時序產生11包括：第1電壓控制振盈部，其將-種與 所給予的控制電壓相對應的頻率的減信號作為時序信號 而，出，第2電壓控制振盡部，其將一種與所給予的控制 3相對應的頻率的振盈信號作為選通信號而輸出；以及 時f控制部’其將一種與選通信號和時序信號應具有的相 位所對應的重豐電壓重疊至控制電麗上並供給到第^電 義馳制振盪部或第2電壓鋪振盪部；時序控制部包括： 預置部，其對用於表示針對重疊電壓的變化的、第^電塵 ，制振，部或第2電餘制振盪部所輸出的振Μ信號的時 立偏移里的比例之時序偏移增益進行測定，·以及電壓生成 部，其根據一種與選通信號和時序信號應具有的相位差所 對應的時序位移量和時序偏移增益，以生成該重疊電麗； 預置部包括：第！相位調整裝置，其使時序信號及選通信 號中，至少一個的相位對另一個的相位進行偏移以使時 序信號的相位與選通信號的相位一致；第2相位調整裝 9 21800pif.doc 二，轉著藉由第丨相_整裝置所形成的相位偏移 二狀態下’使電壓生成部供給到電屋控制㈣部的 -电壓依次變化’並對第1週期信號的相位和第2週期信號 ϋ相，再次一致時的重疊_的變化量進行檢測；以及‘ 十，部’其根據第2相位調整裝置所檢測的重疊電壓的 ，化量，和藉由使重疊電壓變化所形成的第2週期信號對 第1週期信號的相位的變化量，而計算時序偏移增益。 、本發明的第3形態提供時序產生方法，為一種用於生 =第1週期信號具有所需的相位差之第2週期信號的時 產生方法，包括：電壓控制振盪階段，其將與施加的押 ^電壓相對應之頻率的振盪_，作為第2週期信號而^ ，以及時序控制階段，其將與第2週期信號對第1週期 仏號應具有_位差所對應之重疊電壓重疊至控制電壓上 =供給到電壓㈣振紐段；時序控麵段包括：預置階 段，其對用於表示針對重疊電壓的變化的、在電壓控制振 盡階段所輸出的缝㈣的時序偏移量的比例之時序 增益進行測定；以及電壓生成階段，其根據-種與第2週 期信號應具有的所需_位差賴應㈣相移量和時序 偏移增益’以生成該重疊電壓；預置階段包括：第1相位 調整階段，其使第丨週期信號及第2職信號中的至少一 個的相位對另—個的相位進行偏移，以使第1週期信號的 相位與，2週期信號的相位一致；第2相位調整階段，其 在保持著第1相位調整階段中的相位偏移量的狀態下，使 電壓生成階段中供給到電壓控制振盪階段的重疊電壓依次 1328931 21800pif.doc 變化，並對第1週期信號的相位和第2週期信號的相位再 次一致時的重疊電壓的變化量進行檢測；以及增益計算階 ^又，其根據第2相位調整階段所檢測的重疊電壓的變化 量，和藉由使重疊電壓變化所形成的第2週期信號對第j 週期彳§號的相位的變化量，而計算時序位移增益。 另外，上述的發明的概要並未列舉本發明的全部的必 要特徵，本發明的特徵群的子集也可又形成發明。 【實施方式】 以下藉由發明的實施形態來對本發明進行說明，但以 下的實知形態並不對申請專利範圍的發明進行限定，而且

實施形態中所說明之特徵的組合的全部也未必是發明的解 決方法所必須者。 X 圖1所示為關於本發明的實施形態之測試裝置100的 構成的一個例子。測試裝置1〇〇為一種對半導體電路等的 被測試元件進行測試的裝置，此測試裝置100包括圖案產 生器10、信號檢測器12、判定器14及時序產生器2〇。 _圖案產生器10對應所給予的時序信號以生成對被測 試元件200進行測試的測試圖案，並供給到被測試元件 200。k號檢測器12對被測試元件200依據測試圖案所輸 出的輸出k號的k號值，在所給予的選通信號的時序下進 行檢測。例如，信號檢測器12可為在被測試元件2〇〇的每 一接腳（pin)上所設置的比較器。 〇時序產生器輸出所需之時序的時序信號及選通信 號。在本例中，時序產生器20生成一種規定此圖案產生器 11 21800pif.doc 生試圖案的輸出時序、週期等用的時序信號。 號的二器2〇依據信號檢測器12應檢測之輸出信 ίΐ時序以輸出上述之選通信號。 啼伯判^ 14根據信號檢測器12所檢測的輸出信號的信 fi 試元件的好壞進行判定。例如，判定器 幸：n 案產生器10根攄測試圖案所生成的期待值圖 it:!!1112所檢測的信號值進行比較，而判定被測 成70件200的好壞。 ，2所示為測試裂置⑽之詳細構成的—個例子。在 》，圖案產生器10具有圖案發送器11及波形產生器

而且時序產生器20具有第1PLL電路U —卜第2PLL ，路21-2及時序控制部4〇。第1Ηχ電路2ι —ι以所給 =基準時脈作為基準’生成所㈣率的時序信號。而且， PLL電路21-2以所給㈣基科脈作絲準，

所需頻率的選通信號。由於第1PLL電路21-1及第2PLL 電路21-2具有相同的構成，所以在本例巾是對第肌^ 電路21 —2的構成來進行說明。第2ρΐχ電路21一2 相位比較部22、$#部24、低通·器26、電壓 盪部28及分頻器30。 电登控制振 相位比較部22、低通濾波器26、電壓控制振盈部28 为頻器30構成所謂的PLL (鎖相回路）。電壓控制振 4 28將與所料的控織黯叙鮮的振餘號，作為 選通信，而輸出。相位比較部22對藉由分頻器3〇所接收 的選通信號的她和所給予絲料脈的相位進行比較， 12 1328931 21800pif.doc 並輸出與相位差對應的控制電壓。 廷裏，基準時脈為週期不變動的時脈。例如， 脈可以是-種為了使職裝置剛的各構成要^“ 配至各構成要素科脈。而且，基科脈_與時 器20所具有的PLL不同的電路來生成。 時序控制部40將應輸出時序信號及選通信 時序所對應之重疊電壓重疊至第lpLL電路2卜Υ = 2PLL電路21:2的各個相位比較部22所輪出的控制電壓 上，並將此重疊電壓供給5彳電壓控制振盪部Μ。在 中’時序控制部4〇將該重疊電壓輸出到重疊部Μ聶 部24被設置在相位比較部22和電塵控制振靈部28之i 並在相位比較部22所輸出的控制電壓上，加上時序 電壓且此重疊電壓經由低通舰器26 而供給到霞控制錢部28。這種構成，可使電壓控 制缝部28所輸出的選龍_相位對應於重疊電壓ς 偏移，以便以所需㈣縣輸㈣序錢及選通信號。 ^進行被測試树勘的測試時，時序信號及選通信 號有時應具有所需_位差而生成嘴序㈣部4()在進行 被測試錯200的測試之前，預先測㈣於表示對重疊電 壓的變化的、電壓㈣健部28所輸出的振餘號的時序 偏移量的比例之時序偏移增益1後，在進行被測試元件 200的測試的情況下，將與時序信號及選通信號應具有的 相位差相對應的重疊電壓，供給到第1ριχ電路2ΐ —ι及 第2PLL電路21 —2。 21800pif.doc 序偏移増i的測定是藉由對圖案產生部10依據 輸出的圖案’在信號檢測器12中對應於選通信 二由H則。在這種情況下，信號檢測器12的檢測結果 可措由判定HU以供給到時序控制部40。 ㈣示树序控购4G之構成的—侧子。時序 5:。預置邱：括預置部56、電壓生成部50及範圍存儲部 定時序偏^ =進订被測試元件勘的測試之前，預先測 ㈣择㈣二其用於顯示對重疊電壓的變化的、電壓 =置出的振a信號的時序偏移量的比例。亦 傾钭量時=鼻重疊電壓變化量—時序偏移量的特性的 制電壓上’並檢測對各個重 :== ::=r變化版重蝴=可: ，屢生成部5G生成-種重疊電壓， 振盪部28的控制電壓上。例如:在二= 二選^ = Ϊ況下’電壓生成部5〇根據對應於應輸 出該賴所需時序之時相移量 = 序偏移增益，以生成該重疊電壓。例如，電壓生^ .P 5〇藉由將時序偏移餘叫相 u 生成 成的重疊電壓的電壓值。在太 si里，计鼻應生 序資料而被供給 在本财，該時序偏移量作為時 預置部56具有相位調整部46辩 調整部46根據來自判定哭14 曰/ ° 。相位 到疋。° 14的域，對圖案信號（時序 21800pif.d〇c 位和選通信號的相位進行比較。相位調整部46 號的相位Π 5〇所生成的重疊電壓進行變化，並對圖案信 和選通信號的相位是否—致進行檢測。在這種情 伯例如判定器14中供給一種被固定為Η位準或[位 為期待值，#判定結果切換時，可對圖案信號 的相位和選通信號的相位是否一致進行判定。 、以亡的實施形態中所提及的圖案信號、選通信號、第 1週期彳。號和帛2週期信號等等，其時脈之間的間隔是^ 奈秒。圖2的基準時脈和波形成形器13的輸出時脈 和振幅分別為12.5 MHz〜125 MHz (1G〜6.5 bps)和0 l〜i V(峰至峰值）。 在對時序偏移增益進行測定的情況下，首先，相位調 整部46使時序信號及選通信號中的至少一個的相位對另 一個相位進行偏移，而使時序信號的相位和選通信號的相 位一致。例如，相位調整部46在如前面所說明的那樣檢測 到相位的一致之前，藉由使供給到第1PLL電路21 —1或 第2PLL電路21 —2的重疊電壓進行變化，使圖案信號的 相位和選通信號的相位一致。 此時’電壓生成部50可在預先所確定的範圍内生成 該重疊電壓。例如，電壓生成部50可生成電壓控制振盪部 28進行線形動作的重疊電壓之範圍的大致是下限的重疊 電壓，相位調整部46可使電壓生成部50所輸出的重疊電 壓徐徐增加。這裏’所說的電壓控制振盪部28進行線形動 作之重疊電壓的範圍’是指對已重疊至電壓控制振盪部28 15 21800pif.doc 叠電壓的變化，電壓控麵部28所輸 電壓的位偏移量進行線形變化的。該重疊 50可依i央6 4 &圍存儲部54預先進行存儲。電壓生成部 電严。鈇m目位調整部46的指示，生成該下限的重疊 二’、、、彳目立調整部46在該大致是下限的重 ^在控㈣壓上的狀態下，使選通信號的相位進行偏 移，而使隨錢的她和選通信號的相位一致。 相位調整# 46可保持著圖案信號的相位和選通信號 =位-致之重疊電壓的電壓值。然後，相位調整部私 使電壓生成部5G供給到電壓控制振蘯部28的重曼電壓依 -人進订變化’並·案信號的相位和選通信號的相位再次 時的重疊電壓的變化量騎檢測。例如，藉由相位調 ^46所保持的電壓值，與圖案信號的相位和選通信號的 ^位再次-致時的重疊電壓的電隸之差分來檢測該變化 篁。而且位調整部46可生成漸增或漸減的電壓。 增益計算部4 8根據相位調整部4 6所檢測的重疊電壓 =變化里’及S1使重覺電壓變化而形成之選通信號的相位 的變化量來計算時序偏移㈣。如上所述，在使重疊電壓 進行變化祕後，由於_信號_位和魏信號的相位 一致’所以因使重疊電壓變化所造成之選通信號的相位的 變化量成為圖案信號的週期的整數倍。 例如，在相位調整部46使重疊電壓逐漸增加，且使 該選通信號的相位連續地進行變化的情況下，在圖案信號 的相位和選通信號的相位再次一致時，可使選通信號的相 1328931 21800pif.doc 位偏移量成為圖案信號的週期的1倍。在這種情況下，增 益計鼻部48藉由將圖案信號的週期除以重疊電壓的變化 可算出時序位移增益。增益計算部48預先存儲圖案信 號的週期的理論值時較佳。

而且，在相位調整部46從最初時圖案信號的相位和 選，信號的相位一致的狀態，使選通信號的相位只在圖案 信號的週期的整數倍之相位偏移的相位附近中，則在選通 信號的相位連續地進行變化的情況下，圖案信號的相位和 2通信號的她的再:欠-断，可使魏信制相位偏移 量^為圖案信號的週期的該整數倍。在這種情況下，增益 «十算4 48藉由將圖案信號的週期之邏輯值的該整數件除 以重疊電壓的變化量，可算出時序偏移增〜、 藉由像上述這樣將圖案信號的已知的週期作為基準 ，測定該選通信號的相位偏移量，可輕鬆地對該相位偏移 量進行測定。因此’能夠輕鬆地計算㈣序偏移增益。

圖4所示為重疊電壓和選通信號的相 的-個例子。在圖4中，縱轴表示:: ，叠電__電壓值。而且，在圖4中’以虛線表示t = ，偏移里特性的理想值，以實線來表示該特性的實測 值。該特性如圖4所示’具有線形區域（νι〜 辑5㈣物為糊區域之^ 該特性的理想值和實測值例如會由 部28的特性等而具有誤差。因此，在為了使例如 17 1328931 21800pif.doc 的相位以位移量A來偏移而根據該特性的理想值以生成此 重疊電壓V2的情況下，選通信號的相位的實際偏移量對 A會具有誤差。因此，如圖3中所說明的那樣，對該特性 進行測定並預先算出時序偏移增益時較佳。 圖5所示為預置部56之動作的一個例子的時序圖。 首先，相位調整部46使圖案信號的相位和選通信號的相位 一致。藉此，如圖5 (a)所示那樣，使圖案信號的上升邊 緣的相位和選通信號的上升邊緣的相位一致。 然後，相位調整部46生成一種與圖案信號的週期的 整數倍的相位偏移量相對應之重疊電壓，此重疊電壓並重 ，至控制電壓上。這裏，對相位調整部46預先供給圖案信 號的週期的設計值以作為圖案信號的週期。藉此，如圖5 (b)所不那樣，使選通信號的上升邊緣的時序位於該整數 倍的週期後的圖案信號之上升邊緣的時序的附近。此時， 如圖4中所說明者，選通信號的相位和圖案信號的相位具 有誤差。 >。然後，如圖5 (b)所示那樣，相位調整部46使選通 ^號1相位在包含圖案信號的週期的該規定的整數倍變化 里之範圍内使重疊電壓依次進行變化並搜索該選通信號 的相位與圖案k號的相位一致時之重疊電壓，而如圖5(c) 所不那樣，使選通信號的相位和圖案信號的相位一致。 ，時，相位調整部46以使選通信號的相位分別在圖 二/號的週期的規定整數倍之變化量的前後期間，在圖案 七號的不足1週期的範圍内進行變化，而使重疊電壓依次 2l80〇pif(joc 時較佳。例如，在圖5㈦中，由於搜索該圖案 “緣二序:選通信號的第7脈波: 小^内進信號的第5脈波上升邊緣的時序還 無誤地檢重曼電麼進行變化。藉此，可 數倍的偏移時相位進行圖案信號的週期的該整 -個=====產生方法的 :=生器2。，以產生所需的===明 ：預置階段_〜_和電屋產生 =(S306) ’其中預置階段中須敎—種時序偏移增益， 對重疊電壓的變化的、電力控制振盪部烈所輸出的 輪出序偏移量的比例，電壓產生階段中根據與應 輸出選通化就的所需的時序相對應之時序偏移量和時序偏 移增益，以生成該重疊電壓。 f預置階段中，首先在第丨相位調整階段S3〇〇中使 圖f信號及選通信號的至少—個的相位相對另-個的相位 進行偏移，而使圖案信號的相位和選通信號的相位一致。 第1相位調整階段S300藉由與圖3中所說明的相位調整 部46同樣的方法，使圖案信號的相位和選通信號的相位一 致。 接著，在第2相位調整階段S302中，從在第丨相位 1328931 21800pif.doc 調整階段S300所檢測到的重疊電壓開始使電壓值依次進 行變化，並對圖案信號的相位和選通信號的相位再次一致 時的重疊電壓的變化量進行檢測。第2相位調整階段S302 中藉由與在圖3中所說明的相位調整部46同樣的方法來檢 測該重疊電壓的變化量。 接著’在增益計算階段S304中，根據第2相位調整 階段S302中所檢測到的重疊電壓的變化量，及由於使重 疊電壓變化而形成的選通信號對圖案信號的相位的變化 量’來計算時序偏移增益。增益計算階段S304中藉由與 圖3中所說明的增益計算部48同樣的方法來計算時序偏移 增益。 然後，在上述的電壓產生階段S306中，生成一種與 時序偏移量對應的重疊電壓^利用這種方法，可以所需的 時序輕鬆地生成精度良好地受到控制的選通信號。 如上所述’時序產生器20可在所期望的時序輸出一 種用於供給到測試裝置1〇〇所具有的驅動器（波形成形器 13)的時序信號，且輸出一種用於供給到測試裝置1〇〇所 具有的比較器（信號檢測器12)的選通信號。在這種情況 下，時序信號及選通信號由不同的PLL電路生成。然後， 時序產生器20可利用圖1至圖6中所說明的方法，分別計 算對時序信號的時序偏移增益及對選通信號的時序偏移增 益。 而且，在以上說明中，是使選通信號的相伋進行偏 移，而將時序信號和選通信號的相位差控制為所需的值， 20 1328931 21800pif.d〇c 子中，也可使時序信號的相位進行偏移，而 需?值。在這種情況下，在圖1至圖6 的^理t法中可藉由料序賤的處理和對選通信號 的處理進行切換而輕鬆地進行。 的時上的說明中是對將測試裝置議所使用 的時序域和選通信號的相位差控制在所 序產生方法並不限定於對測試裝置腦 所使用之摘㈣的相位差之控制 第1週期信號和規定頻率的第2獅乂在規疋頻羊的 ㈣帕ΛΛ 士 第週期域之間’也可利用 圖所說月的方法，對第1週期信號和第2週期信號之相 位差輕鬆地進行㈣。 _ = ㈣對本發明贿了說明，但本發明的 的技術人員應該清楚，在一關和丁系 ㈣Μ Μ A ί 述形態上可加以各種各樣 的變更或改良。由申請專利範圍的記述可知，此種加以變 更或改良的形態也可包含在本發明的 【圖式簡單說明】 拔j =二Ϊ關於本發明的實施形態之測試裝置100的 構成的一個例子。 圖2所示為測試裝置1〇〇之詳細構成的一個例子。 圖3所4時序控制部40之構成的—個例子。 圖4所示為重登電壓和選通信號的相位 的一個例子。 作里i關你 圖5所示為預置部56之動作的一個例子的時序圖。 1328931 21800pif.doc 圖6所示為關於本發明的實施形態之時序產生方法的 一個例子的流程圖。 【主要元件符號說明】 10 :圖案產生器 11 :圖案發送器（generator) 12 :信號檢測器 13 :波形成形器 14 :判定器 20 :時序產生器 21 : PLL電路 22 :相位比較部 24 :重疊部 26 :低通慮波器 28 :電壓控制振盪部 30 :分頻器 40 :時序控制部 46 :相位調整部 48 :選通計算部 50 :電壓生成部 54 :範圍存儲部 56 :預置部 100 :測試裝置 200 :被測試元件 22

Claims (1)

1328931 21800pif.doc 十、申請專利範圍： 1.-種時序產生器’用於輸出第i週期 ==週期信號具有以前述“ 期信週 前述時序控制部包括： 且輸出重疊電壓； 參 相位調整裝置，复枯& 偏移而與前述第1週期信:的相位週=信3=連續地 的第鳴、和前述==-致時的重疊電壓 期信號的相位再次-致時的重前述第2週 作為重疊電壓的電壓值 2=第2電壓值的差分 =rr前述第2=::=1週 位偏移量、和前述第丨，位致時的第！相 號的相位再次一致時2,號：相位和前述第2週期信 的變化量而輸出， #位偏移I的差分作為偏移量 增益計算部，依 r變化量、心移==:¾ 的之==述以二目的之相位差，依據前述目 電壓； ❺移增姐，財叙輸出前述重叠 重疊部’其輪入 工制電壓和由前述時序控制部所輪出 23 1328931 21800pif.doc 的前述重疊電壓，對這些電壓進行加算且將顯示此加算的 結果的電壓予以輸出；以及 電壓控制振盪部，其輸入前述重疊部的輸出電壓，且 輸出具有與前述輸出電壓值對應的頻率的振盪信號，以作 為剞述第2週期信號。 2. 如申請專利範圍第1項所述的時序產生器，其中： 1述第2相位調整裝置以前述第2週期信號的相位在 包含前述1週期信號的週期的整數倍變化量之範圍内進行 A化使％述電壓生成部所生成的前述重疊電壓進行變化。 3. 如申請專利範圍第2項所述的時序產生器，其中： ，述相_整裝置分別在前述第丨職錢的週期的 :„之變化量的前後，以在前述第1週期信號的不 足f期的範圍内，使前述第2週期信號的相位進行變化， 以使前述重疊電壓進行變化，且 述整由使前述第1週期信號的週期的前 出前述除以前述重疊電壓的變化量，而計算 4甚如申請專利範圍第3項所述的時序產生器， 還包括範圍存儲部，盆先存 - 控制振盪部呈線形動作的二、=::用於表示前述電壓 舒、. 卿的别述重疊電壓的範圍之資訊； ’迷健生成部在前述第丨相 週期信號的相位和前述$ j裝置使别述第1 下’在前述範圍存儲部所存的c位-致的情況 預先生成下限的前述重疊^的^重疊電_範圍内’ 24 2l800pif.d〇c -步變化，以使刚述第週期信號的相位進 述弟1週期信號的相位和前述第β期 ^如申請專利範圍第2賴賴時序產生n，. 前述增益計算部可藉由使前述第1週期信. 理論值之成為前述整數倍的值之後除以前述 化量，而算出前述時序偏移增^ H壓的變 試裝種對被測試元件進行測試的測 給測生器’其依據時序信號’對前述被測試元件供 元件測J利用選通信號的時序’對前述被測試 檢測，'、、；〜、1 =圖案所輪&的輸出信號的信號值進行 供4==產Ϊ生成前述時序信號及前述選通信號並 U =_產生器及前述信號檢測器， ;、f祜、ΡΙ·^、_ 據刖述仏號檢測器所檢測的信號值，對 則述被測试兀件的好壞進行判定； w生讀4前料序㈣和具有以前述時 私t目的之相位差的選通信號且包括： 相位差以及前述目的之她=序錢和魏選通信號的 重疊部或第2重疊部；位差’且將重疊電壓輸出至第1 25 uzoyji 21800pif,d〇c 前述時序控制部包括·· 相位調整裝置，龙 至少-方的相位相對於選通信號和前逃時序信號的 述選通信號的相位和前述_ 連續地偏移，以使前 通信號的相值和前述 σ唬的相位一致，將前述選 第1電>1值、和前述 ％的相位—致時的重疊電歷的 位再次-致時的重叠電“;選通信號的相 屢輸值的變化量而輪分作為賴 前述選通信號的相位一發姓使别述時序信號的相位和 序信號的相位和前述選_21相位偏移量、和前述時 位偏：巧二作為偏移量的輸大出一致時的第2相 的變化量、和前述偏正裝置所輸出的電壓值 電壓生成化量，算出時序偏移增益； 的之相位差和前述時序差，依據前述目 壓； 吟序偏移增益以生成且輸出前述重疊電 前述測試裴置又包括·· 如述第1重疊部，其輸入 部所輸出的前述重w L 4時序控制 此加算的結果的==，進行加算且將顯示 ㈣笛輸出至第1電壓控制振盪部； ;L 且部，其輸入控制電壓和由前述時岸批& 部所^的前述重叠電壓，對這些電壓進行加算且=制 此加=的結果的電壓予以輸出至第2電壓控制振^顯不 1電虔控制振盪部，其輸入前述第1重疊部的輪出 26 1328931 21800pif.doc 將具有與該輪出電壓值相 作為前述時序信號而輪出，以及〜的頻率的振盡信號 電壓第】麵部’其輸八前述第2重， 電屋且將具有與該輪出㈣值 卩的輪出 作為前述選通信號而輪出。 〜的頻率的振盪信號 7.—種時序產生方法， 號具有目的之相位差之第迥；成對第1週期信 括： 弟2獅號的時序產生方法，包 時序控辦段，輪Μ 期信Ϊ的相位差以及前述目的之相第2週 月，J述時序控制階段包括： 輸出重疊電壓，· 相位調整階段，使前述第 移而與前述第1週期信號的相位— ί 連續地偏 的相位和前述第2週期信號的相位一二=:週期信 第1電壓值、和前述第J 致時的重豐電屬的 信號的相位再次一致時的重心=目位和前述第2週期 為重疊電壓的電壓值的變化=山第2電壓值的差分作 :相位和前述第2週=週期 偏移$、和前述第i週期 致時的第1相位 ==時的二 增益計算階段，依播命H 值的變化量、和前述偏移量a目立，整階段所輪出的電壓 電壓生成階段輪入^變^量’算出時序偏移增益； 輸入則迷目的之相位差，且依據前述 27 1328931 21800pif.doc ㈢的之相位至和則述時序偏移增益 疊電壓· 、重豐階H控制電壓和由前述時序控制部 的前述重叠電壓’對這些電壓進行加算且將顯示此加^ 結果的電壓予以輸出；以及 异的 電壓控=振蘯階段，輸入前述重疊部的輸出電壓，且 =與前述輸出電壓值對應的頻率的振盪信號 為〗 述第2週期信號。 μ馬則 於輸出第1週期信號和第2週 為目的之相位差，包括有别述第1週期信號 時序控制部，其輸入前述第丨 a ^ 期信 前信f!相位-致;的重疊2 期信號的相位再次_ 目位和前述第2週 作為^電，電虔值的的第2電塵值的差分 、十算邛預先餘存前述第1週期# 論值，且依據前述相位 ，期U的週期的理 化量、和前述第】週期出的前述電壓值的變 移增益； 4號的週_理論值，算出時序偏 28 1328931 21800pif.doc 的之=以Γ前述目的之相位差，依據前述目 ΐί差和Μ時序偏移料，以生成錢出前述重疊 重豐部’其輪人控制電塵和由 的前述重臺電屋，對這些電壓進行加 ^梢輸出 結果的電壓予以輪出；以及 开將頌不此加算的 輪出部’其輸人前述重疊部的輸出電壓，且 電*值對應的頻率的振㈣號，以作 試裝包:Τ種對被測試元件進行測試的測 給測：’ Μ據時序信號’對前述被測試元件供 元件其利用選通信號的時序，對前述被測試 檢測，… 式圖案所輸出的輸出信號的信號值進行 供給產Jiff述時序信號及前述選通信號並 m^ 、產生器及刖述信號檢測器， 前，二 測器所檢測的信號值’對 序產生器輪出前述時序信號和具有以前述時 ίίΓ之相位差的選通信號且包括： 柏位差以’其輸入前述時序信號和前述選通信號的 柏位差以及㈣目的之相位差，且將重疊電壓輸出至第1 29 1328931 21800pif.doc 重疊部或第2重疊部； 前述時序控制部包括： 相位調整裝置，苴佶兪冰,联，上 至少-方的相位相對:另一方η:前述時序信號的 述選通信號的相位和料時序信二Γ將^ΐ 位:!述時序信號的相位-致二 值、和别料序錄的相位 = ，再次-致時的重疊電壓的第2電壓值的差以= 壓的電壓值的變化量而輪出， 讀為重疊電 的變=計述ST述相位調整裝置所輸出的電壓值 、月'L時序k號的週期，算出時序偏移增益； _ i生成部’其輸人前述目的^ ^相位差和前述時序偏移增益以生成且輪出 刖述測試裝置又包括： 部所上，其輸入控带順和由前述時序控制 的電壓，對這些電魏行加算且 此加亡的結果的，壓相輪出至第丨控制振盡部.〆、 别述第2重疊部’其輸入控制電壓和由前述 销，出的前述重疊電壓，對這些電壓進行加算且將 此加算的結果的電壓^以輸出至第2電壓控制振盡部| 第1電壓控制振料，其輸人前述第丨重疊部的 電壓’且將具有與該輸出電壓值相對應義率的振^ 作為前述時序信號而輸出，以及 。J 1328931 21800pif.doc 第2電壓控制振盪部，其、 電壓’且將具有與該輪出電’壓丄别述第2重叠部的輸出 作為前述選通信號而輪出。4目對應的頻率的振盪信號 一種時序產生方法，為〜 號具有目的之相位差之第2 =於生成對第1週期信 括： 唬的時序產生方法，包 時序控制階段，輸入前述第 期信號的相位差以及前述目的之週J馆號和前述第2週 前述時序控制階段包括··目位差’且輸出重疊電壓； 相位調整階段，使前述第2 移而與前述第1週期信號的相位二致相位連續地偏 號的相位和前述第2週期信號的相位二致1週期信 第1電壓值、和前述第1週期信號的相電壓的 信號的相位再次一致時的重疊電壓的第2電^弟2週期 為重疊電壓的電壓值的變化量而輪出，|壓值的差分作 值的算前述相位調整階段所輪出的電壓 =董和“第1週期信號的週期，算出時序： 電壓生成階段，輸人前述目的之相位差 =相位差和前述時序偏移增益— 重豐階段’輸讀制電壓和由前料 的前述重疊電壓，對這些電壓進行加算 出 結果的電壓料_;以及 |且將知此加算的 31 1328931 21800pif.doc 幹出==皆段，輸入前述重疊部的輸出電壓，且 壓值對應的頻率的振覆信號，以作 為刖述第2週期信號。 如申請專利範圍第8項所述的時序產生器，其中·· 勺= Γ立調整裝置以前述第2週期信號的相位在 使ϋ信制獅職數倍變化量之範圍内進行 變化錢生成部所生成的誠重進行變化。 .如申凊專利範圍第u項所述的時序產生豆 前述相位調整裝置分別在前述第i二，、的 前述整數倍之變化量的前德，#〜遽的週期的 S \ ±後以在刖34第1週期信號的不 週』的乾_’使前 2週膽 以使前述重疊電壓進行變化，且 料仃邊化’ 前述增益計算部藉甴使前述第丨 述整數倍的偏移量，除以义、+、击晶#r 唬的週期的刖 出前述時序偏^益“重疊電壓的變化量，而計算 請專利範圍第12項所述的時序產生器，苴中. 還包括範圍存儲部，其預先存儲著用於表示：:、中· 控制^部呈線形動作的前述重疊電 ·' 前述電壓生忐卹& 讯， r：f：^ 預先^下述限的前述重4錢的範圍内， 剛述控麵上的狀態τ’使前述第2週期信 32 1328931 21800pif.doc 一步變化，以使前述第1週期信號的相位和前述第2週期 信號的相位一致。 14.如申請專利範圍第8項所述的時序產生器，其中： 前述增益計算部可藉由使前述第1週期信號的週期的 理論值之成為前述整數倍的值之後除以前述重疊電壓的變 化量，而算出前述時序偏移增益。

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