TWI292462B - Control system and method of hazardous gas supply - Google Patents

Description

1292462 , 九、發明說明： 【發明之技術領域】 本發明是關於一種危險氣體供應之控管系統及方法，特別是關 於一種應用在危險氣體處理領域中用以提昇氣體傳輸之安全性的 危險氣體供應之控管系統及方法。 【先前技術】 隨著台灣科技產業的蓬勃發展，使得各種製造產業成長更加快速，然 而隨著快速成長的同時，也隨之衍生許多廢液、廢水、廢氣等污染問題， 譬如半導體或光電絲之製射會產生各式各樣轉舰缝、氫氣、石夕 烧類氣體、__和金錢化物等，而這些氣體除了在直接接或吸入時 對人體健康造成直接性的危餅，且在濃度過高、處理不當、與其他物質 產生化學反應或是具有自臟的情況下容易有概、爆炸的危險，這會對 大眾人身安全產生相當大的潛在性危險，更會造成財產損失及生產中斷， 因此必須加以謹慎處理，不可任意排放到大氣中。 而這些具有易燃易爆性質的危險氣體，過去—般是如第—圖所示之」 氣處理設備進行處理，其透過—進路u將—危險氣體A以圖中箭號 向通入，並傳送至—處理設中進行處理，該處理設備_應該危, 氣體的種_麵抑，如物__、熱躲、_焚化、濕式 務和生物處理等等。然由於該處理設處理該危險氣體辦可能產幻 基、屋力不均’或是該危險氣體A通入的流逮不穩定，如此皆可能會造月 !292462 該危險氣體A產生逆流或回火之危險情況’而目前大多是在該進氣管路1〇 中增設一逆流防止閥13，用以避免前述之危險氣體A逆流或回火的情況。 其中配置該逆流防止閥13需要額外加裝一壓力檢測設備（圖中未揭示）以避 · 免長時間壓力過大而產生管路破裂’進而產生燃燒或爆炸的情況，此外亦 ： 需定期檢修或更新該逆流防止閥13的内部裝置，以確保操作運作過程的安… 全性。 惟，該逆流防止閥13雖可避免在該危險氣體A供應到該處理設備以進 行處理時產生逆流之危險，但如此仍無法解決該進氣管路丨丨的氣體殘留問春 題。因為在該危險氣體A初始供應至該處理設備匕時，該進氣管路内 未事先經過檢查而是殘留有其他反應物質則會有相當大的機會產生爆炸，〆 且在該危險氣體A停止供應後，亦可能有部分的危險氣體A殘留累積在該·， 進氣官路11中（圖中未揭示）’若不加以去除也具有相當之危險性，而此清-洗管路或清除危險氣體之相關步驟皆為相當的耗時費事，這對於分秒必爭 的製造業者而言，這將是一個急需解決及改善的問題。 · 此外，除了使用前述之逆流防止閥13來解決此種進氣管路丨丨逆流回火 之情形，有些則在進氣管路11上使用火焰捕捉器（圖中未揭示），此設備雖 也是可以獅逆流回火_，但卻麟可⑽用在所有的危賴體處理設 備上，因此在使用上也是不甚便利。 縱上所述，由於危險氣體處理的安全控管技術在實際應用上仍具有缺 失’因此於上述f知技術之缺失而發明出本案「危險氣體供應 6 1292462 之控管系統及方法」。 【發明内容】 本案之主要目的在於提供一種危險氣體供應之控管系統及方法，透過、 間早的&路配置與簡胃的操作控做程，使得危險氣體不驗生逆如火： ’同時可崎除管财鱗朗喊體或反應物質 ，有效節省成本與時間 ‘· 〇 濤 本案之另-目的在於提供一種危險氣體供應之控管系統及方法，其在 原有的進氣管路外另加增一進氣管路與原有的交叉接通以通入一惰性氣體籲 利用故些進氣管路上之多組進氣與排氣閥的啟閉來控制危險氣體和惰性 孔體的供賴排出，錢危險氣體可安全地通人處理設射進行處麵不· % 易產生逆>4回火’同時亦解決管路氣顏留問題。 k 本案之又一目的為提供一種危險氣體供應之控管方法，用以控管一危 險氣II透過-第-進氣管路通入一處理設備中處理，其中該第一進氣管路 具有-第-進氣閥及一第一排氣閥，其包含下列步驟：（a)提供一第二進_ 乳官路’以與該第—進氣管路交叉接通，該第二進氣管路具有-第二進氣 間與第二排氣閥；（b)開啟該第二進氣閥，供-惰性氣體進入該第二進氣 笞路，（C)開啟弟_排氣閥，供該惰性氣體排出至一回收設備；（d)關閉 该二排氣閥並開啟該第一排氣閥，致使該惰性氣體通入該處理設備中；（幻 開啟該第-進氣閥，使得該危險氣體得以進入該第一進氣管路並通入該處 理設備；以及（f)關閉該第二進氣閥，使得該惰性氣體停止供應，因此防 7 1292462 止該危險氣體通入該處理設備時產生逆流回火。 根據上述構想’更包含下列步驟：（g)持續供應該危險氣體，以供該 處理設備進行處理；以及（h)提供一處理步驟，用以安全停止該危險氣體 通入至該處理設備中處理。 根據上述構想’該步驟（h)係包含了下列步驟：（h〇開啟該第二進氣閥·. ，供該惰性氣體進人該第二進氣管路；⑹關閉該第—進氣閥，用以停止該. 危險氣體之供應；⑹關閉該第—排賴，用以停止該惰性氣體通入該處理 設備；以及⑹開啟該第二排_，致使該惰性氣體排出該回收設備内，因鲁 此避免錢險氣體滯留在該第—進氣管路及該第二進氣管路㈣產生逆流 回火。 根據上述構想，該危險氣體係為選自氫氣、魏類氣體、烧類氣體和， 金屬氫化物等易燃易爆氣體，而該惰性氣體係選自氦、氯、氮、二氧化碳 等其他不易與該危險氣體反應之惰性氣體。 根據上述構想，該回收設備係用以回收處理該惰性氣體與一部分殘留鲁 於該第-及第二進氣管路巾的危險氣體。該處理設備係、為選自—燃燒室、 反應室、洗滌塔等廢氣處理設備。 本案之再一目的為提供一種危險氣體供應之控管方法，用以避免當停 止透過-第-進氣管路供應該危險氣體給一處理設備處理時產生逆流回火· ，其中該第-進氣管路具有-第-進氣閥及—第—排氣閥，該第一進氣闕 用來控管該危險氣體進人該第-喊管路中，第_魏_來管制通 8 I292462 入該處理設備之氣體，其包含下列步驟：（a)提供一第二進氣管路，以與 读第一進氣管路交又接通，該第二進氣管路係與一回收設備連結，其中該 第二進氣管路具有一第二進氣閥及第二排氣閥，該第二進氣閥用來控管一 β 情性氣體進入該第二進氣管路中而該第二排氣閥用來管制通入該回收設備 ： 文氣體；（b)開啟該第二進氣閥，供一惰性氣體通入該第二進氣管路；（幻 關閉該第一進氣閥，用以停止該危險氣體之供應；（d)關閉該第一排氣闊 ，用以停止該惰性氣體通入該處理設備；以及（e)開啟該第二排氣閥，致 使該惰性氣體排出該回收設備内，避免該危險氣體滯留在該第一進氣管路鲁 及該第二進氣管路内而產生逆流回火。 根據上述構想，該步驟（b)前更可包含一步驟（f)提供一該危險氣體· 戈全地通入至該處理設備中進行處理之步驟。· · 根據上述構想，該步驟⑺係包含下列步驟：⑹開啟該第二進_ 供該惰性氣體進入該第二進氣管路；⑹開啟該第二排氣闕，供該惰性氣體 排出至該回收設備；⑹關閉該第二排氣閥並開啟該第—排氣闕，致使該惰鲁 性氣體通人嫩里設射；⑹開啟該第—進氣閥，使_危險氣體得以進 入該第-進氣管路並通入該處理設備；以及⑹關閉該第二進氣闕，使得該 ^性軋體停止供應’因此防止該危險氣體通入該處理設備時產生逆流回火. 案之再-目的為提供_種危險氣體供應之控管系統，用以控管一處 理設備處理-危險氣體，其係包含：一第一進氣管路，係與該處财= 9 1292462 、口具有帛it氣閥及一第一排氣閥，該第一進氣閥用以控管該危險氣 體進入韻-進氣管路中，以及該第—排額絲管制通人該處理設備之 氣體’第—進氣轉，喃該第—進氣管路交叉賴，並與1收設備 連t H進氣管路具有—第二進氣閥及第二排氣閥，該第二進氣闕用 來控管一惰性氣體進人該第二進氣管路中_第二排氣_來管制通入該 回收設備之氣體，其中透過分馳管該第-進氣閥、該第二進氣閥、該第 一排氣_及該第二拆_之啟閉，致使該危險氣體之開啟供應與停止供 應給該處理設備處辦不會產生逆流回火。 根據上述構想，控管該危險氣體開始供應的操作方法係為下列步驟：（ a)開啟該第二進氣閥，供該惰性氣體進人該第二進氣管路；（b)開啟該第 一排氣閥，供該惰性氣體排出至一回收設備；（C)關閉該第二排氣閥並開 啟該第一排氣閥，致使該惰性氣體通入該處理設備中；（d)開啟該第一進 氣閥使传该危險氣體得以進入該第一進氣管路並通入該處理設備；以及（ e) 關閉該第二進氣閥，使得該惰性氣體停止供應，因此防止該危險氣體開 始通入該處理設備時產生逆流回火。 根據上述構想，控管該危險氣體停止供應的操作方法係為下列步驟：（ f) 開啟該第二進氣閥，供該惰性氣體通入該第二進氣管路；（g)關閉該第 一進氣閥，用以停止該危險氣體之供應；（h)關閉該第一排氣閥，用以停 止该惰性氣體通入該處理設備；以及（i)開啟該第二排氣閥，致使該惰性 氣體排出該回收設備内，避免該危險氣體滯留在該第一進氣管路及該第二 10 1292462 進氣管路内而產生回火。 了解本案之魏與目的，可躺下贿财式細™，俾有更深入之 【實施方式】 ,、：下文中本發明，請參考附圖，熟悉本技術者須瞭解下文中的 。兒月僅係作為_賴，而不祕限制本發明。 、 以下針對本錄佳實顧的危險供狀控衫統進行描述，但實 際之編㈣嫩咖細綱雜㈣術法，熟悉本 技藝者當能林脫離本發.實際精神及範_情況下，㈣種種變化及 修改。 請參閱第二圖，本案之較佳實施例之一種危險氣體供應之控管系統之 簡要架構示意圖。本案控管系統包含有一第一進氣管路21與一處理設備四 連結，該第-進氣管職上設置n進_23與—第—排氣_，該 第-進氣閥23即控制-危險氣體仪否可以進入該第—進氣管路μ中，該 第-排氣閥24則是控制該危險氣體A(或其他摻雜氣體)是否可以通入該處 理設備22進行處理。此外，本系統更包含有一第二進氣管路烈與一回收設 備26連結，該第二進氣管路25上具有一第二進氣閥27和一第二排氣閥28， 該第二進氣閥27用來控制一惰性氣體β是否可以進入該第二進氣管路莊奶 中，該第二排氣閥28則是用來控制該惰性氣體Β(或其他摻雜氣體)是否可 以通入該回收設備26。且該第二進氣管路25係與該第一進氣管路21交叉連 1292462 接，並可以相互導通，因此該危險氣體A與該惰性氣體B可以藉由該第一 進氣官路21與該第二進氣管路25之相互導通處而互相流動。而本案就是透 過控管該等進氣閥（23、27)與該等排氣閥（24、28)而控制該危險氣體八與 ‘ 該惰性氣體B的流動與流向，進而可以達成本案所揭示之安全地起始與停 . 止供應危險氣體處理之發明目的。 ‘· 其中，該危險氣體A可以是氫氣、矽烷類氣體、烷類氣體或金屬氫化/ 物等等各是易燃易爆氣體，而該惰性氣體B則可以是氦、氬、氮、二氧化 碳等其他不易與該危險氣體Α反應之惰性氣體。且該處理設備22則可以是鲁 一燃燒室、反應室或洗滌塔等等以有效處理該危險氣體4的各式廢氣處理 設備。該回收設備26則是用來回收處理該惰性氣體β、一部分殘留於該第 一及第二進氣管路(21、25)中的危險氣體A或是殘留反應物質（圖中未揭示 一 )。 , 由鈾面先鈾技術之論述及第一圖之圖示可知，該危險氣體A在開始提 供給該處理設備12進行處理時(請參見第一圖）與欲停止處理該危險氣體Α φ 時會產生逆流回火的可能性最大。因此本發明就是以這兩個時點内分別操 控如第二圖賴不之該等進關（23、27)與鱗排關（24、28)以控管通 入危險氣體A與惰性氣體B的流向達成解決或降低該危險氣體歧生逆流 回火之可能。 ’ 喷參見第二圖’其係為本案控管系統之危險氣體供應之開始進行危險 氣體供應之操作流程圖。步驟31係為_開始錢啟該第二進氣閥27以使該 12 1292462 ’且由於该第二進氣管路25與該 惰性氣體B得以進入該第二進氣管路25内 第一進氣管路21有相互接通，因此該惰性氣體B可以流動到該第一進氣管 路21其中的部分區射。步微則是侧啟該第二排氣_，以使該惰性 氣體B排出至該回收設備26中，且因該惰性氣體β可以流動到該第一進氣 管路21中因此也可以清除掉原本殘留在娜—進氣管路21_危險氣體a 或疋任何反應物質（圖中未揭示）。步驟33則關閉該第二排氣閥以停止將 鋪性氣體B排人至該时設備26巾，再開啟該第—排氣_以將該情性

氣體B轉為通入該處理設備22，若是該第一進氣管路21與該處理設備挪 連結的官路間有任何反應物質的堵塞都可以加以清除。步驟⑽則是開啟該 第一進氣閥23以使該危險氣體A開始通入至該第一進氣管路21，並因前述 步驟33中已開啟了該第一排氣閥24,因此該危險氣體a就可以通入該處理 攻備22中進行處理。由於該惰性氣體B仍持續供應，因此步驟祁則為關閉 4第二進氣閥27以停止該惰性氣體β之供應，因此最後只剩下該第一進氣 閥23與該第一排氣閥24還開啟，於是就可讓該危險氣體a順利通入該處理鲁 設備22進行處理。 請再參見第四圖，其係為本案系統停止危險氣體A供應之操作流程圖 。其與第三圖之操作流程上截然相反，由於在此操作流程前，本案系統的 該第一進氣閥23與該第一排氣閥24是持續開啟，讓該危險氣體A通入該處 理設備22進行處理。因此步驟41為開啟該第二進氣閥27以供應該惰性氣體 β至該第二進氣管路25中。步驟42中關閉該第一進氣閥23，以停止提供該危 13 1292462 險氣體A，然而該惰性氣體B仍持續供應，因此可以將該第一進氣管路u 中仍殘留的危險氣體A與其他反應物質排入該處理設備22中進行處理。步 驟43則是該第—排氣_，用以停止供應危險氣體A給該處理設備μ 處理隶後步驟44則開啟該第二排氣閥28，以讓該惰性氣體β或是仍殘留· 的危險氣體Α或是其他反應物質再排出至該回收設備26中，該等進氣管路-- ⑵、25)中只會有該惰性氣體⑽流動，而無該危險氣體A或是其他反應‘ 物質的存在，系統的安全性即提昇不少。 依據上述的實施方式，危險氣體處理廠商即可依此簡單的操作流程進鲁 行危險氣體的處理，且有效地避免了危險氣體逆流或是回火的可能，同時 可以清除官路中殘存殘留的氣體或反應物質。此外，本發明的系統配置也 可讓處理廠商簡易地組裝配置出來，成本極低而效率極高。 . 因此，本案改良了傳統危險氣體處理的氣體供應方式，無須加裝許多 ， 精細易損的閥組或是檢測器，避免長期運作後需要常常檢修維護的工作。 透過本案簡易的管線安裝與操作控管流程可有效增加危險氣體供應與處理鲁 的系統安全性，並提昇危險氣體處理的運作效能，節省成本與時間。 綜上所述，本案確實可提供一種危險氣體供應之控管系統及方法，係 在原有的危險氣體進氣管路再叉接上另一進氣管路以通入一惰性氣體， 在逆些進氣管路上加設有進賴與排制，糊這些進氣與職閥的啟閉 來&制危險氣體與惰性氣體的供應與排放，以使危險氣體可安全地通入處 理設備中進行處理而不易產生逆流回火且易於清除管路_殘留氣體，實 14 1292462 具產業之彳貝值’菱依法提出發明專利申請。 以上所述係利驗佳實施例詳細 m明，而射_本發明的範圍 ’因此熟知此技藝的人士應能明瞭，適當而作些微的改變與調整，仍將不 失本發明之要義所在’林麟本剌之精神和綱，簡絲為本發明 的進-步實施狀況。謹請貴審查委員明鏗，並祈惠准，是所至禱。 本案得由熟習此技術之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫本案申 請專利範圍所欲保護者。

15 1292462 【圖示簡單說明】 第一圖係為習用的廢氣處理設備之示意圖。 第二圖係為本案較佳實施例之一種危險氣體供應之控管系統之簡要架 構不意圖。 第二圖係為第二圖所揭示之控管系統開始進行危險氣體供應之操作流 程圖。 第四圖係為第二圖所揭示之控管系統進行停止危險氣體供應之操作流 【圖號說明】 11 進氣管路 12處理設備 13逆流防止閥 21第一進氣管路 22處理設備 23第一進氣閥 24第一排氣閥 25第二進氣管路 26回收設備 27第二進氣閥 第二排氣閥 危險氣體 惰性氣體 供應惰性氣體之步驟 排放氣體至回收設備之步驟 將通入回收設備之氣體轉通入處理設備之步驟 供應危險氣體之步驟 停止供應惰性氣體之步驟 供應惰性氣體之步驟 停止供應危險氣體之步驟 停止將氣體通入處理設備之步驟 將氣體通入回收設備之步驟 17

Claims (1)

1292462 十、申請專利範圍： 1、一種危險氣體供應之控管方法，用以控管一危險氣體透過一第一進氣 管路通入一處理設備中處理，其中該第一進氣管路具有一第一進氣閥 及一第一排氣閥，其包含下列步驟： (a) 提供一第二進氣管路，以與該第一進氣管路交叉接通，該第二進 氣管路具有一第二進氣閥及第二排氣閥； (b) 開啟該第二進氣閥，供一惰性氣體進入該第二進氣管路； (c) 開啟該第二排氣閥，供該惰性氣體排出至一回收設備； (d) 關閉該第二排氣閥並開啟該第一排氣閥，致使該惰性氣體通入該 處理設備中； (e) 開啟該第一進氣閥，使提該危險氣體得以進入該第一進氣管路並 通入該處理設備；以及 (f) 關閉該第二進氣閥，使得該惰性氣體停止供應，因此防止該危險 氣體通入該處理設備時產生逆流回火。 2、如申請專利範圍第丨項之危險氣體供應之控管方法，更包含下列步驟： (S)持續供應該危險氣體，以供該處理設備進行處理；以及 (h)提供-處理步驟，贱安全停止該危險氣體通人至該處理設備中 處理。 士申π專利|巳圍第2項之危險氣體供應之控管方法，該步驟㈤係包含 了下列步驟： 18 1292462 (hi)開啟該第二進氣閥，供該惰性氣體進入該第二進氣管路； (h2)關閉該第一進氣閥，用以停止該危險氣體之供應； (b)關閉該第一排氣閥，用以停止該惰性氣體通入該處理設備；以及 ' (h4)開啟該第二排氣閥，致使該惰性氣體排出該回收設備内，因此避免 β 該危險氣體滯留在該第一進氣管路及該第二進氣管路内而產生逆 流回火。 4、 如申請專利範圍第1項所述之危險氣體供應之控管方法，其中該危險氣 體係為選自氫氣、石夕烧類氣體、烧類氣體和金屬氫化物等易燃易爆氣體· 〇 5、 如申請專利範圍第1項所述之危險氣體供應之控管方法，其中該惰性氣 · 體係為選自氦、氬、氮、二氧化碳等其他不易與該危險氣體反應之惰性. 氣體。 - 6、 如申請專利範圍第1項所述之危險氣體供應之控管方法，其中該回收 設備係用以回收處理該惰性氣體與一部分殘留於該第一及第二進氣管馨 路中的危險氣體。 7、 如申請專利範圍帛1項所述危險氣體供應之控管方法，其中該處理設 備係為選自-燃燒室、反應室、洗滌塔等廢氣處理設備。 - 8、 一種危險氣體供應之控管方法，収避免當停止透過—第―進氣管路供 應該危險氣體給-處理設備處理時產生逆細火，其中鶴—進氣管路 具有-第-進氣闕及-第-排氣闊，該第一進氣閥用來控管該危險氣體 19 ^^462 進入該第-進氣營一 ^ 顺_來管_人該處理設備之氣 體，其包含下列步t ⑺提供-第二進氣管路 一 ^ ”々弟一進氣官路交又接通，該第二進 灰 L回收設備連結，其中該第二進氣管路具有-第二進 氣閥及第二排^ 、Μ Μ ’ 進氣_來控管-惰性氣體進入該第 、飞吕路中而該第二排氣閥用來管制通入該回收設備之氣體； ⑶開啟該第二進氣閥，供—惰性氣體進人該第二進氣管路； (c) 關閉該第1_，料撕幌之齡 (d) 關閉轉-排_，㈣壯該·㈣通入魏财備；以及 (e赚韻—排_，致使糊生氣動_回收設_，避免該危 險氣體滞留在該第—進氣管路及該第二進氣管路㈣產生逆流回 火。 如申請專利範圍第8項所述之危險氣體供應之控管方法，其中該步驟（ b)前更可包含—步驟⑺提供一該危險氣體安全地通入至該處理設備φ 中進行處理之步驟。 10如申明專利氣圍第9項所述之危險氣體供應之控管方法，其中該步驟( f)係包含下列步驟： (f〇開啟該第二進氣閥，供該惰性氣體進入該第二進氣管路； 開啟該第二排氣閥，供該惰性氣體排出至該回收設備； (D關閉該第二排氣閥並開啟該第一排氣閥，致使該惰性氣體通入該處 20 1292462 理設備中； (ω開啟該第-進氣閥，使得該危險氣體得以進入該第一進氣管路並通 入該處理設備；以及 w ⑹關閉該第二進使得該雜氣體停止供應，因此防均危險氣- 體通入該處理設備時產生逆流回火。 … u、-種危險氣體供應之控管系、统，用以控管—處理設備處理—危險氣體，-其係包含： 一第-進氣管路，係與該處理設備連結，具有一第一進氣閱及一第一籲 排氣閥，該第-進氣閥用以控管該危險氣體進入該第一進氣管路中，以 及該第一排氣閥用來管制通入該處理設備之氣體；以及 一第二進氣管路’以與該第-進氣管路交叉接連，並與一回收設備連 結，該第二進氣管路具有一第二進氣閥及第二排氣閥，該第二進氣闕用 來控管-惰性氣體進入該第二進氣管路中而該第二排氣閥用來管制通 入該回收設備之氣體； · 其令透過分別控管該第-進氣閥、該第二進氣閥、該第一排氣闕以及 該第二排氣閥之啟閉，致使該危險氣體之開始供應與停止供應給該處理 設備處理時不會產生逆流回火。 . 12、如申請專利範圍第u項所述之危險氣體供應之控管系統，其中控管該危_ 險氣體開始供應的操作方法係為下列步驟·· (a)開啟該第二進氣閥，供該惰性氣體進入該第二進氣管路； 21 1292462 (b)開啟_第二排氣閥，供該惰性氣體排出至—回收設備； 1 ] ^第_排氧閥並開啟該第一排氣閥，致使該惰性氣體通入該處 理設備中； (d) 開啟4第一進氣閥，使得該危險氣體得以進入該第一進氣管路並通· 入該處理設備；以及 (e) 關閉轉二進氣閥，使得該惰性氣體停止供應，@此防止該危險氣 體開始通入該處理設備時產生逆流回火。 13、 如申請專利範圍第11項所述之危險氣體供應之控管系統，其中控管該危馨 險氣體停止供應的操作方法係為下列步驟： (f) 開啟該第二進氣閥，供該惰性氣體通入該第二進氣管路； (g) 關閉該第一進氣閥，用以停止該危險氣體之供應； (h) 關閉該第一排氣閥，用以停止該惰性氣體通入該處理設備；以及 (i) 開啟該第二排氣閥，致使該惰性氣體排出該回收設備内，避免該危 險氣體滯留在該第一進氣管路及該第二進氣管路内而產生逆流。 儀 14、 如申請專利範圍第Η項所述之危險氣體供應之控管系統，其中該危險 氣體係為選自氫氣、矽烷類氣體、烷類氣體和金屬氫化物等易燃易爆 氣體。 15、 如申請專利範圍第Η項所述之危險氣體供應之控管系統，其中該惰性 氣體係為選自氦、氬、氮、二氧化碳等其他不易與該危險氣體反應之 惰性氣體。 22 1292462 16、 如申請專利範圍第11項所述之危險氣體供應之控管系統，其中該回收 設備係用以回收處理該惰性氣體與一部分殘留於該第一及第二進氣管 路中的危險氣體。 17、 如申請專利範圍第11項所述之危險氣體供應之控管系統，其中該處理 設備係為選自一燃燒室、反應室、洗滌塔等廢氣處理設備。

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