TWI289154B - A method and a device for bonding two plate-shaped objects - Google Patents

Description

1289154 玟、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本：明關於一種以黏著劑結合兩個板狀物件的方法及穿 、中該黏著劑係由紫外線放射及加熱方式固化。4 使用於所謂s〇A半導體裝置(覆”導體袭二 =體用於結合碟形半導體基板與碟形絕緣載體，諸如玻 【先前技術】 Η的方法，猎此該二物件能旋轉而塵縮在一起，以便該 :個物件間的㈣劑在作用黏著劑上離心力的影響下均^ 刀佈。在黏著劑施加於兩物件之間時，如第MW，如號美 國專利或以任何其它方式，其可依據黏著劑的型式，藉由 紫：光照射及/或加熱方式，固化該黏著劑。本發明關：一 種施加光線照射及加熱這兩種處理方式的方法。 有利的是’其僅使用一固化室作該黏著劑固化處理之用 因此兩個照射燈及加熱元件必須配置於固化室中，照射 及加熱兩個物件間的黏著劑。 在兩個板狀物件具有不同膨脹係數的兩個板狀物件的情 ^因為於固化處理期間該物件溫度與之後的結合物件溫 度不同（較咼），該結合的物件可扭曲或捲曲。 【發明内容】 、X月目的A加5玄結合板狀物件的扭曲或捲曲的趨勢。 為心成為目的’其間具有黏著劑的兩個板狀物件將傳輸 87272 1289154 =包含紫外燈及加熱元件的固化室，藉此在該照射處理 的至少該第一部份期間，可移動的_構 物件及加熱元件之間。因此在該物件溫度將連續增^ 該黏著劑將兩個板狀物件結合在_起至某個程卜 因為該固化室中的溫度將高.於固化室外的溫度，較佳的 是」於該固化處理的部份期間，可移動的隔熱構件可定位 於5亥固化室外側，以便該隔熱構件能冷卻。 在-較佳實施例中’該隔熱構件係—傳輸該物件至固化 至之载體的-部份（或連至載體）。藉此該物件及隔熱構件將 同時進入固化室。於是’該載體可保留在該固化室達至少 3〇秒’較佳超過60秒’且後續該載體由該固化室移出，而 該物件維持在該固化室達至少6〇秒。 一較佳的是’在該載體由該固化室移除後，該物件以加熱 疋件方向移除，以便該物件快速加熱至所須溫度。 ' 較佳的是’以紫外光線照射及加熱固化的黏著劑，結合 兩個板狀物件的方法，包含下列步驟：⑷以其間黏著劑移 =兩個板狀物件進入一包含紫外照射燈及加熱元件的固化 至，⑻於至少30秒期間保持隔熱構件於該物件及加熱元件 期間’而該物件曝露於紫外線的照射，⑷移除該隔熱構件 達至少60秒’而該物件藉加熱元件加熱，且藉此⑷移除該 固化室的該物件。 Μ 本發明也關於一種以紫外光線照射及加熱固化的黏著劑 結合兩個板狀物件的裝置，其包含-具有子外線照射燈1 力元件的固化室，且包含一能暫時配置在該加熱元件及 87272 1289154 該兩個板狀物件間的可移動隔熱構件。 【實施方式】 後文的圖形僅為該實施例的 』的概略表不，其中較少相關性 的部件未表示。 圖1-3表示一包含臂1㈣體，該臂1在其尾端具有一支架 ，台2’而該支架平台具有一概呈圓形及平坦的上表面。在 X支木平口 2下方具有一相連的隔熱構件3。該隔熱構件3係 一由隔熱材料製成的碟形宮。珥 至前頭4私不該載體1，2移動的 方向。 圖4及5表示如圖w的載體u，藉此該載體承載兩個板狀 物件5。該兩個板狀物件均為碟形且其前間具有—層黏著劑 。該層黏著劑必須由紫外光照射及加熱固化。該載體12可 以箭頭4指示的方向，將兩個物件5傳送至固化室然後送 出固化室11 (圖7及8)。 在該固化室内有三個具有垂直部7及水平部8(參閱圖5)的 支桿6。該支桿6能以箭頭9指示的垂直方向移動。因此，該 支桿6的水平部8能由該支架平台2提升物件5，以便該載體 能移峨頭4)，而將二部件5留在固化室丨丨内。因此，物件 係由如圖6所示的支桿6承載。 圖7及8表示該固化室u包含一上部的紫外光照射燈以 其下部的加熱元件13。該固化室11具備一開口 14，由此該 載體1，2-以及與其連接的隔熱構件3-能進出該固化室u。箭 頭4指示該移動方向。 圖7表不該載體在其進入固化室丨丨後的情形。該載體u 87272 1289154 攜帶已經如圖5所示的二极狀物件5 兩個部件5由該紫外燈】2照射，以—件間後’ :Γ2處：广:份期間，為避免兩個部件5被加；， :_具備該隔熱構件3,如此該隔熱構件位於兩個物 件5及該固化室下部的加熱元件13之間。如此，只要載體Η :於級固化室η内側，兩個物件5必須不能由加熱元件13加 熱，至少該加熱程度將能減少。 在該固化處理的第-部份發生後，二部件5由三支桿6(如 圖6所示）的載體U提升，以便該載體u•以及該隔孰元件3_ 能由該固化室U移出 '然後’該三支桿6向下移動，使二部 件5更接近加熱兀件13 ’藉此該物件5可留在加熱元件η上 。藉此該支桿6可移入加熱元件13中的凹口（未表示）。在固 化處理70成後，該二支桿6能向上移冑，以便載體】二能移 入固化室11。接著，支桿6替換載體U2上的物件5，且該物 件5能將載體1，2由固化室丨丨送出。 該結合二板狀物件的裝置所揭示的實施例僅是一個範例 ’其它許多實施例也是可行的。 【圖式簡單說明】 本發明將利用實施例的說明詳細解釋，其參考於圖式， 其中： 圖1係一表示載體的上視圊； 圖2係一該載體的側視圖； 圖3係一該載體的下視圖； 圖4係該載體攜帶兩個板狀物件的上視圖； 87272 -9- 1289154 圖5係一如圖4載體的侧視圖； 圖6係一該載體在不同位置的側視圖； 圖7表示載體在内側的固化室；及 圖8表示載體在外側的固化室。 【圖式代表符號說明】 1 臂 2 支架平台 3 隔熱構件 4 > 9 前頭 5 物件 6 支桿 7 垂直部 8 水平部 11 固化*室 12 紫外線照射燈 13 加熱元件 14 開口 -10- 87272

Claims (1)

1. _.5㈣ ΐΝΒ*1ΜΗ»λίώΤ7ν：：·, *.«**： ,·»ί-ΤΛΙ 拾、申請專利範圍： • 一種以紫外線照射及加熱方式固化的黏著劑結合二個板 狀物件的方法，藉此其間具有黏著劑的該二個板狀物件 傳ϋ至包含一紫外線燈及一加熱元件的固化室，藉此 一可移動隔熱構件於該照射處理的至少該第一部份期間 係暫時配置於該等物件及加熱元件間。 士申叫專利範圍第1項的方法，其特徵在於在該固化處理 的部份期間，該可移動隔熱構件位於該固化室外側。 申明專利範圍第丨或2項的方法，其特徵在於該隔熱構 件係一載體的-部份，用以將該等物件傳送至該固化室。 4·如申睛專利範圍第3項的方法，其特徵在於，在該硬化處 理期間，該載體留在該固化室達至少3〇秒，較佳超過6〇 秒丄且後續該載體由該固化室移除’而該物件留在該固 化室達至少60秒鐘。 5·如申請專利範圍第4項的方法，其特徵在該載體由固化室 移除後，該物件以該加熱元件方向移動。 6·如申請專利範圍第1項的方法，1 ~ & u乃忒，具包括以下步驟·· (a) 將其間具有黏著劑- 的—板狀物件移入一包含紫外線 π射燈及加熱元件的固化室； (b) 保持該等物件及加埶 …疋件間的隔熱構件達至少30秒 ，而該等物件將曝露於紫外線照射； ⑷移除該隔熱構件達至少60秒 件加熱； 3寺物件由该加熱70 (d)將該等物件由該固化室移出 87272 1289154 7.種以I外線照射及加熱方式固化的黏著劑結合二個板 狀物件的裝置’包含—具有—紫外燈照射燈及—加熱元 件的固化室’且包含—能暫時配置在該加熱it件及該二 板狀物件間的可移動隔熱構件。 δ.如申請專利範圍第7項的裝置，其特徵在於該隔熱構件係 一載體的一部份，用以傳送該物件進入該固化室。 9·如申請專利範圍第8項的裝置，其特徵在於藉由源自該載 體的二個板狀物件將該二個板狀物件移向該加熱元件。 87272 -2-