TWI266325B - Variable current sinking for coarse/fine programming of non-volatile memory - Google Patents

Description

I266325 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係針對用於非揮發性記憶體之技術。 【先前技術】 半導體$憶體裝置已變得愈來愈風行地用於各種電子裝 、 置中。例如，非揮發性半導體記憶體用於蜂巢式電話、數 位相機、個人數位助理、行動計算裝置、非行動計算裝置 及其它裝置。電可擦可程式唯讀記憶體（EEPROM)及快閃記 憶體為最風行之非揮發性半導體記憶體。 EEPROM及快閃記憶體皆利用一定位於半導體基板中之 通道區域上方且與其絕緣之浮動閘極。該浮動閘極定位於 源極區域與汲極區域之間。在浮動閘極上提供一控制閘極 且使該控制閘極與該浮動閘極絕緣。藉由保留在浮動閘極 上之電荷篁來控制電晶體之臨限電壓。意即，在電晶體接 通之則必須向控制閘極施加最小量之電壓以允許其源極與 φ 汲極之間的傳導由浮動閘極上之電荷量來控制。 某些EEPROM及快閃記憶體裝置具有一用以儲存兩個範 •圍之電荷的浮動閘極，且因此記憶體單元可在兩個狀態之 ^ 間被程式化/擦除。當程式化EEPROM或快閃記憶體裝置 日守，通常將一程式電壓施加至控制閘極且將位元線接地。 將來自通道之電子注入該浮動閘極。當電子在浮動間極中 ‘聚集時，該浮動閘極變成帶負電且記憶體單元之臨限電壓 升高。 通常，施加至控制閘極之程式電壓作為一系列脈衝而施 99134.doc 1266325 加。該等脈衝之量值隨每 如〇.2v)。在兮裳n 貝肌衝而、加-預定步長(例 在連病叙間㈣射，進行㈣操作。意即， 的每脈衝之間讀取正被並行程式化之-群單元中 二tr式化位準以判定其是等於還是大於其被程式 里占广、料1位準。—隸核對程式化之方法為在特定比較 傳導性。將經核對被充分程式化之單元（例如在 、早凡中）藉由使位元線電Μ自0升高至Vdd(例如，2 5 伙特）而鎖定以停止用於彼等單元之程式化過程。在某些情 兄下脈衝數目將党到限制（例如，2〇個脈衝）且若最後之脈 衝未完全程式化一給定之記憶體單元，則假定-誤差。在 =:建構中，在程式化之前將記憶體單元擦除（成組塊或其 匕單位)。關於程式化之更多資訊可於以下專利中發現： 年3月5日中δ月之標題為"Se〗f B〇〇sting Technique„的美 國專利巾請㈣⑽麟：及期年”加中請之標題為 Detecting 〇ver programmed Mem〇ry"的美國專利申請案 1 〇/629，_，該等中請案皆以全文引用之方式倂人本文中^ 圖1展示了一施加至快閃記憶體單元之控制閘極（或在某 些情況下為導引閘極）之程式電壓訊號Vpgm。程式電壓訊 號VPgm包含量值隨時間增加之一系列脈衝。在程式脈=開 始時，將待程式化之所有單元的位元線（例如，連接至汲極） 接地，藉此自閘極至通道產生了 Vpgm_〇 ν之電壓差。一曰 一單元達到目標|壓（通過程式核對），個別位元線電壓即升 高至Vdd以使記憶體單元處於程式抑制模式（例如，至彼單 元之程式停止）。 99134.doc Ϊ266325 k 藉由識別由禁用電壓範圍分隔之多個不同的所允許之臨 限電壓範圍來建構多狀態快閃記憶體單元。例如，圖2展示 了對應於三個資料位元的八個臨限範圍^^七^?)。 其它記憶體單元可使用多於八個之臨限範圍或少於八個之 臣°"限範圍。每一不同之臨限電壓範圍均對應於該組資料位 兀預定值。在某些建構中，使用格雷碼指派而將此等資 料值（例如，邏輯狀態）指派至臨限範圍使得若浮動閘極之臨 _ 限電壓錯誤地移至其鄰近物理狀態，則僅有一個位元將受 到影響。被程式化於記憶體單元内之資料與該單元之臨限 電壓範圍之間的特定關係視為該等單元而採用之資料編碼 機制而定。例如，美國專利第6,222,762號及2〇〇3年6月I) 日申明之 Tracking Cells For A Memory System，丨的美國專 2申請案第刪61，244號皆描述了用於多狀態快閃記憶體 單70之各種資料編碼機制，該等專利皆以全文引用之方式 倂入本文中。 如上文所描述，當程式化快閃記憶體單元時，在程式化 脈衝之間核對該等記憶體單元以查看其是否達到目標臨限 值種用於核對之方法為在對應於目標臨限值之字元線 處施加-脈衝且判定該記憶體單元是否接通。若如此，則 記憶體單元已達到其目標臨限電壓值。對於快閃記憶體單 兀之陣列而言’並行地核對諸多單元。對於多狀態快閃纪 憶體單^陣列而言’該等記憶體單元將執行每—狀能之 核對步：以判定記憶體單元處於哪—狀態。例如，能：在 八個狀悲中儲存資料之多妝能 憶體單元可能需要對七個 99134.doc !266325 比較點執行㈣⑻乍。圖3展示了三個程式化脈衝心、議 及10c(每-脈衝亦描綠於圖j中）。在程式化脈衝之間為七個 核對脈衝以執行七次核對操作。基於該等七次核對操作， 系統可判定記憶體單元之狀態。 在每矛王式化脈衝之後執行七次核對操作使κ & ^ $ 變慢。-種用於減少核對之時間負擔的方法為使用更有效 之核對過程。例如，2⑼2年丨2月5日巾請之"Smart Ver办加

Multi-State Memories，，的美國專利申請案第㈣μ，奶號中 揭示了-智慧核對方法，該案以全文引用之方式併入本文 中。在使用智慧核對過程之程式化/核對序列期間用於多狀 態記憶體之寫入序列的例示性實施例中，在該過程開始時 在核對階段期間僅檢驗所選記憶體單元正在被程式化至其 ，多狀態範圍的最低狀態(例如圖2之狀態”。一旦一或多個 =隐體單7L達到第—儲存狀態（例如圖2之狀態即將多狀 恶序列中之下—狀態（圖2之狀態2)添加至該核對過程。此下 -狀態可在最快單元達到該序列中之此前—狀態時立即添 為記憶體通常設計為具有若干程式化步驟以自一 3—狀態，所以亦可在延遲了若干循環之後再添 曰口==量可固定或使用一基於建構之參數，其允許延遲 裳置特徵而設定。按上述繼續將狀態添加至核對 :二組直至已添加了最高狀態。類似地，可自 二^移除較低狀態’因為趨向此等位準之所有記憶體 早-成功核對至彼等目標值且該等記憶： 進一步程式化。 数鎖疋以防 99134.doc 1266325 除了以合理之速度程式化之外，為達成多狀態單元之適 當資料儲存，應藉由充足餘量將多狀態記憶體單元之多個 範圍的臨限電壓位準相互分隔以使記憶體單元之位準可程 式化且以明確方式讀取。此外，建議一緊密臨限電壓分佈。 為達成緊密臨限電壓分佈，通常已使用小的程式步，藉此 更緩慢地程式化單元之臨限電壓。所要之臨限分佈愈緊 密，則步愈小且程式化過程愈緩慢。 ，一種用於在沒有不合理地減緩程式化過程情況下達成緊 密臨限分佈之解決方法為使用兩階段程式化過程。第一階 段（粗程式化階段）包含嘗試以較快方式升高臨限電壓且相 對較少地關注達成緊密臨限分佈。第二階段（細程式化階段） 嘗試以較慢方式升高臨限電壓以達到目標臨限電壓同時亦 達成較緊禮、之臨限分佈。可於下列以全文引用之方式倂入 本文中的專利文獻中找到粗/細程式化方法之實例：2002年 1 月 22 日中睛之，，N〇n_v〇latile Semic〇nduCt〇r Mem〇ry

Device Adapted to Store A Multi-Valued Data in a Single

Memory Cell”的美國專利申請案第1〇/〇51，372號；美國專利 6,301，161、美國專利5,712,815、美國專利第5,22〇,53i號及 吳國專利第5,761，222號。當在程式化期間核對記憶體單元 牯某二先别解决方法將首先為粗模式執行核對過程且接 著隨後為細模式執行核對過程。此核對過程增加了核對所 需之時間。粗/細程式化方法可與上文所描述之智慧核對過 程結合使用。 隨著記憶體裝置變得愈來愈小且愈來愈密集，對較緊密 99134.doc 1266325 之臨限分佈及合理之鞀4 程式化方法提供了對;==已増加。儘管粗/細 分佈及合理⑽式化；^法吨供所要之”密的臨限 【發明内容】 大致描述之本發明係關於用於非揮發 更具體言之，本文所描述 =體之技術。 細程式化方法。 ηΤσ以提供一經改良之粗/ 之=明::::::含一用於程式化非揮發性健存元件 電路進行通訊之非揮發性儲存元# ^個核對選擇 二㈣揮發性儲存元件經受粗核對，同時導致第 一子集之非揮發性儲存元件經受細核對。 寺導致弟 本發明之某些實施例包括：—感測致 儲存元件進行通訊； : 、與非揮發性 測電路提供指干非捏^ 模式才曰示電路’其基於該感 程式化- = = ===:電:r':_:處= 對訊號，且㈣揮發粗核 弟k擇電路向非揮發性儲存元件纟 " *-建構之-實例…::力: 儲存元件是處於粗程式化模式還是==發性 方法。若糾㈣料性儲存元件核式之步驟的 仔x件處於粗程式化模式，則 99134.doc 11 1266325 發性儲存7"件執行粗核對，而無需對非揮發性儲存 化模式订細核對。若判定彼非揮發性儲存元件處於細程式 、工，則為彼非揮發性儲存元件執行 非揮發性儲存元件執行粗核對。仏、田核對’而無需對 本叙明中之另一實施例包含一具有一一 端之非揮發性儲亡_ i ° 、、且控制終 端進行、設備亦包含一與至少-控制終 ^相之可轉換電流流人裝置。若該非揮發性儲存元 、、广蔣粗私式化模式，則該可轉換電流流入裝置將粗電流 =供給該控制終端，且若該非揮發性儲存元件處於細 =化模式，則該可轉換電流流入裝置將細電流流入提供 =控㈣端。在某些實施例中，在細程式化模式期間而、 非在粗程式化模式期間提供電流流入。 本發明之另一實施例包含：一感測電路，其與非揮發性 進行通訊；—程式化模式指示電路，其基於該感 j電路&供指示非揮發性儲存元件是處於粗程式化模式還 是細程式化模式之輪出；及一可轉換電流流入裝置，复鱼 該程式化模式^電路及該非揮發_存元件進行通^。、 若非揮發性儲存元件處於粗程式化模式，則該可轉換電流 流入裝置將粗電流流入提供給非揮發性儲存元件，且若非 揮發性儲存元件處於细避u卜招 地、、、田私式化模式，則該可轉換電流流入 裝置將細電流流入提供給非揮發性餘存元件。在一實施例 中°又備將一共同程式化訊號施加至-非揮發性儲存元 件之閘極、在粗程式化期間自非揮發性儲存元件流入第一 電流、判定非揮發性儲存元件之臨限電壓已達到第一核對 99134.doc -12- 1266325 水平且轉換該流入以搜尋第二電流從而回應於判定非揮發 性儲存元件之臨限電壓是否已達到第一核對位準。

本發明之另-實施例包括：—感測電路，其與非揮發性 儲存元件進行通訊；一程式化模式指示電路，其基於該感 測電路提供-指示非揮發性儲存元件{處於粗程式化模式 還是細程式化模式之輸出；及一可轉換電荷封包量測電 路，其與該程式化模式指示電路及該非揮發性儲存元件進 行通訊。該可轉換電荷封包量測電路向非揮發性儲存元件 提供了-經量測之電荷以回應指示非揮發性儲存元件處於 細程式化模式之程式化模式指示電路。 本發明之又-實施例包含—組非揮發性儲存元件及一與 該等非揮發性儲存元件進行通狀獨立可轉換電荷封包量 測系統。將該獨立可轉換電荷封包量測系統獨立地轉換以 向，於細程式化模式之程式化非揮發性儲存元件提供特定 經量測之電荷，而不提供彼特定經量測之電荷以程式化處 於粗程式化模式之非揮發性财元件。—實施例包含對非 揮舍性儲存7C件執行—粗程式化過程、判定非揮發性儲存 兀件應轉換至細程式化過程及作出響應而執行細程式化過 粒。该細程式化過程之一建構包含預充電一非揮發性储存 兀件之控制線及經由該非揮發性儲存元件對彼控制線進 放電以程式化彼非揮發性儲存元件。 本^月之此等及其它目標及優點將自下列描述變得更顯 見中本發明之較佳實施例已結合圖式而閱明。、 【實施方式】 99134.doc -13- 1266325 ι·記憶體系統 圖4之方塊圖中大致說明了 一可倂入本發明之各種態樣 的例示性記憶體系統。本發明亦可使用不同於圖4之架構的 架構。大量獨立可定址記憶體單元丨丨排列成列與行之陣 列。藉由線15將沿陣列11之行延伸的位元線與位元線解碼 • 斋、驅動器及感測放大器電路13電連接。藉由線丨7將沿陣 列11之列延伸的字元線電連接至字元線解碼器及驅動器電 _ 路19。藉由線23將沿呈陣列U之記憶體單元的行延伸之導 引閘極電連接至導引閘極解碼器及驅動器電路2丨。每一電 路1 3、1 9及21經由匯流排25自控制器27接收位址。亦將解 碼及驅動電路13、19及21經由個別控制及狀態訊號線 29、3 1及33而連接至控制器27。經由將控制器及驅動器電 路13及21互連之匯流排22而使施加至導引閘極及位元線之 電壓一致。在某些實施例中，控制器27包含一狀態機以使 本文所描述之功能的效能一致。在其它實施例中，狀態機 φ 獨立於控制器而操作。 可藉由線35將控制器27連接至一主機裝置（未圖示）。該 - 主機可為個人電腦、筆記型電腦、掌上型裝置、數位相機、 •音訊播放器、蜂巢式電話或各種其它褒置。可根據若干現 存的物理及電氣標準中之一者而在一卡中建構圖4之記憶 體系，，該標準諸如 PCMCIA、C0mpactFlash™ Ass〇ciati〇n、 MMC™ Association ^ Smart Media ^ Secure Digital™ ^ Memory Stick及其它標準中之—者。#呈卡之形式時線％終止於 卡上之與主機裝置之互補連接器形成介面的連接器中。或 99134.doc 14 1266325 者，可將圖4之記憶I系統嵌入該主機裝置。在又一替代例 中’可將控制器27欲入該主機裝置，同時使記憶體系統之 其它組件位於一可移除卡上。在其它實施例中，記憶體系 統可位於封I中而非卡中。例如，記憶體U可位於—或 多個積體電路、一或多個電路板或其它封裝中。

根據個別控制及狀態線29、31及33中之控制訊號，如經 由匯流排25定址，解碼器及驅動器電路13、^及以在陣= η之其各自線中產生適當f壓以執行程式化、讀取及捧除 功能。包含電壓位準及其它陣列參數之狀態訊號經由相同 之控制及狀態線29、31及33而由陣列u提供給控制器27。 電路13内之複數個感測放大器接收可指示陣列11内已定址 記憶體單元之狀態的電流或電壓位準。在讀取操作期間， 感測放大器經由線41向控制器27提供關於記憶體單元狀態 之育訊。通常使用大量感測放大器以便能夠並行地讀取大 Ϊ 5己憶體早元之狀態。 II·記憶體單元 圖5係記憶體陣列U之一部分之第一實施例的平面圖。圖 6係自截面A-A截取之記憶體陣列的部分橫截面圖。對基板 及導電το件進行了說明，同時略微描述了存在於其兩者之 間的介電層以將圖簡化。然而，應瞭解在導電層自身之間 及導電層與基板之間將包含適當之氧化層。 石夕基板45包含平坦頂端表面47。藉由最初之離子植入及 隨後之擴散穿過表面47而在基板45内形成伸長之擴散部分 49、51及53。伸長之擴散部分49、51及53充當記憶體單元 99J34.doc -15- 1266325 ^源極與没極。為了對此描述提供一慣例，將該等擴散部 分展示為在第一，’x，，方向上被隔開，而長度在第二方向上 延伸。此等"X"及’，y"方向基本上相互垂直。跨越基板表面47 包含呈列與行之陣列的大量浮動閘極，其間存在適當之閘 極介電質° 一列浮動閘極55、56、57、58、59、6〇鄰近且 平行於另一列浮動閘極62、63、64、65、66、67。一行浮 動閘極 56 63、77及79。該等浮動閘極由第一層經導電推雜之多 =體石夕（”多W)形成，該第—層多晶財沉積於表面上且 然後藉由使用_或多個光罩步驟被㈣成個別浮動閉極而 得以分離。 藉由線15將位元線解碼器及驅動器電路13(參見圖句與 陣列之所有位％線的源極/汲極擴散部分連接，該等擴散部 分包含圖5之擴散部分49、51及53。將個別記憶體單元之行 的源極及沒極連接至適當操作電麼以進行讀取或程式化從 而回應於經由匯流排k 田IS机排25所供應之位址及經由線”所供應之 圓）汉團6之結構使 、 π仍母陶行浮動閘極心等y閘 極。導引閘極81、83及85在，，v”方内μ仙P上 牡y方向上伸長且在”χ”方向上具 有延伸跨過兩行鄰近浮動間搞θ ^ ⑦動閘極及-定位於其之間的源極 /汲極擴散部分的寬度。任何 和個導引閘極之間的間隔均至 少與被兩個導引閘極所覆蓋 吓復盍之鄰近淨動閘極行之間的，V， 方向上之間隔相同，以便介一 允斗一閘極隨後形成於此間隔中 之基板處。藉由蝕刻第二層叙 ，、、二導電摻雜之多晶矽而形成導 99134.doc -16- 1266325 引閉極’㈣二層經導電摻雜之多晶石夕沉積於第一多晶石夕 層及-合適之多_層間之介電質上的整個表面上。導引 問極解㈣及職以路21(參見圖铺由線加連接至所 有導引閘極且其能夠獨立控制其㈣以回應於匯流排Μ上 所提t、之位址、線33上所提供之控制訊號及來自驅動器及 感測放大器1 3之資料。 字元線9卜92、93、94及95在，竹向上伸長且在導引間 極上方延伸，其中"y”方向上位於其間之間隔使每—字元線 對準-列浮動閘極。藉由似彳第三層經導電摻雜之多晶石夕 而形成該等字元線，該第三層經導電摻雜之多晶石夕沉積於 一首先形成於第二多晶矽層及逡d / ^及導引閘極之間所曝露之區域 上的介電質頂端上的整個表面上。字元線允許選擇其列中 之所有記憶體單元以進行讀取或寫入。選擇閘極解碼器及 驅動器電路19(參看圖4)與每一字元線連接以獨立選擇一列 記憶體陣列。然後藉由位元線及導引閘極解碼器及驅動器 電路13及21(參看圖4)而使所選列内之個別單元能夠讀取或 寫入。 雖然前述結構中之閘極較佳由經摻雜之多晶矽材料製 成，但是可使用其它合適之導電材料以替代所描述之該等 三個多晶矽層中的一或多者。例如，自其形成字元線及選 擇閘極之第三層可為多酸材料，其為在其頂端具有諸如鎢 之導電耐熔金屬矽化物的多晶矽以增強其導電性。通常不 使用多酸來替代第一或第二多晶矽層，因為由多酸所形成 之多晶體矽間氧化物的品質通常不能令人滿意。 99134.doc -17- 1266325 圖5及圖6中未展示的為金屬導體層。因為擴散部分及多 晶矽元件通常具有一顯著小於金屬導電性之導電性，所以 將金屬導體包含於獨立層中並藉由任何中間層以定期間隔 /口夕曰日矽元件及擴散部分之長度而連接至個別金屬線。因 為圖5-6之實施例之所有擴散部分及多晶矽元件需要獨立 • 驅動，所以在此等金屬線之數目與擴散部分及多晶矽元件 之數目之間通常存在一對一之對應。 鲁圖7描繪了一等效於圖6之結構的等效電路，其中等效元 件由與圖5及圖6之參考數字相同的參考數字識別，但是添 加了撇號（’）。所說明之結構與相鄰結構共用源極及汲極擴 政邛刀由一個不同區域中之不同閘極元件控制貫穿基板 中位於鄰近擴散部分49與5丨之間的通道之傳導。向左之第 一區域（T1-左）具有直接位於其上方之浮動閘極％及以電容 方式與其耦合之導引閘極81。藉由浮動閘極57及導引閘極 83以相似之方式控制向右之第二區域（τ丨_右）。藉由為字元 • 線92之一部分的選擇閘極99來控制Τ卜左與Τ1-右之間的第 三區域Τ2。 . 因此電子穿過擴散部分49與51之間之通道的導電位準受 • 電穷〜s該專電场由此等不同閘極元件藉由施加於閘極 上之電C而、、^予其個別通道區域。浮動閘極上之電壓取決 於其所攜帶之淨電荷加上自其它閘極及節點以電容方式輕 合之所有位移電荷的量。允許穿過浮動閘極下方之通道部 ^刀的導電位準由彼浮動閘極上之電壓控制。選擇閘極99上 之電壓僅關閉通道且變成目標導電位準，以選擇個別單元 99134.doc -18- 1266325 以與其源極/汲極區域連接。在一瞢 元可被視為三個電晶體之一系列連^ Γ個別記憶體單 道之三個不同區域⑺.左、T2、ft母—電晶體用於通 , — T1-右）中的每一者。在其它 W例中’母—浮動閘極可被視為1憶體單元。 選擇单—記憶體單元之兩個浮動閘極中的-者，以藉由 施加-電壓於該單元之另一（非選擇）浮動閑極上之㈣間

二進作式化或⑼取，無論彼另-浮動閘極攜帶何種 電何（此與其狀態相關）’該㈣皆足以使該另一浮動間極下 方之通道區域變得充分具有導電性。當藉由—施加至盆字 兀線之充足電壓來接通單元之選擇電晶體時，僅所選之浮 動閉極回應於針對該單元之讀取或程式化操作。在讀取；_ 浮動間極之狀態期間’在其源極與汲極之間穿過該單元之 電流因而取決於由所選之浮動閑極所攜帶之電荷而不考慮 另一浮動間極上之電荷。雖然施加於未選擇浮動閘極上: 之導引閘極上’以使非選擇浮動閘極下之通道部分具有導 電性之電壓’亦藉由相同之導引閘極而輕合至鄰近單元之 鄰料動閘極’但是藉由施加合適電壓條件於該鄰近單元 之其它元件上而避免了對該鄰近單元之影響。 圖5-7之實施例之浮動閘極較佳藉由施加電壓於其位元 線（源極及沒極擴散部分）及其兩個導引閘極上而得以程式 化’其導致產生跨過閘極介電質而待被注入所選浮動閘極 中之電子從而在基板通道區域中獲得足夠能量。用於此之 較佳技術為”源極側注入（source side injecti〇n)，，，其描述於 吴國專利第5,313,421號及第5,712518G號，㉟等專利以全文 99134.doc •19- 1266325 引用之方式倂入本文中。 為了擦除@5_7之實施例之記憶體單元，可設計且操作該 等記憶體單元使得電子自所選之浮動閉極移除至通道或字 兀線之選擇閘極。若擦除至選擇間極，則浮動閉極邊緣⑼ 與選擇閘極99之間的介電質較佳為氧化物薄層，該氧化物 薄層已在浮動閘極邊緣上生長且當將適當電廢施加於該單 兀之各種7G件上時電子随穿該氧化物薄層。浮動閉極邊緣 1〇5與l擇閘極99之間亦提供相同物。當設計為被擦除至選 擇閉極"時’應注意確保跨過選擇閘極與基板表面47之間 :閘極介電質之所得電壓梯度仍然充分低於彼介電質之崩 θ位準° &問題至關重要’因為在擦除期間字域通常升 高^超㈣伏特之位準且有時至2〇伏特或更高之位準，同 至單元之其匕電壓通常為5伏特或更小。可藉由使選 擇閘極介電質變厚來減小跨過該選擇閘極介電質之電壓梯 度或可選擇該選擇間極介電質以具有一大於通常所使用之 介電常數的介電常數。後者可對選擇電晶體之操作產生不 利影響。 、、若單元將被擦除至通道，則應稍微修改圖5-7之實施例。 ，首先，將選擇閘極99與鄰近浮動閘極邊緣1〇3及1〇5之間的 ”電貝製彳于較厚以防止將浮動閘極擦除至選擇閘極。第 二，將浮動閘極之下側與基板表面47之間的介電質之厚度 製侍較薄（諸如約1〇〇埃）以有利於電子隧穿其。第三，將待 被同日守擦除之單元作為一區塊沿行或在區塊内聚集在一 起。在一實施例中，一區塊在基板上與其它區塊隔離。此 99134.doc -20- 1266325 形成η阱且將一 區塊隔離之η味 通常藉由三阱過程來完成，其中在p基板中 載運單元區塊之P阱定位於將區塊與其它 内。然後將-合適擦除電壓施加至待擦除之區塊的辦，同 時不會影響其它區塊。 關於圖4-7之結構的更多細節可在美國專利Μη，·中 ， 找到，該案以全文引用的方式倂入本文中。 圖4-7之記憶體結構係一適當記憶體單元之一實例。其它 # 結構亦可用於建構本發明。例如，一實施例可使用一包含 -電荷儲存介電質之多層式介電質。本發明之其它實施例 可使用NAND型快閃記憶體單元或職型快閃記憶體單 元。下列美國專利/專利申請案中提供了NAND型快閃記憶 體及其操作之相關實例：|國專利第5,57〇,315號、美國專 利第5,774,397號、美國專利第6,〇46,935號、|國專利第 5,386,422號、美目專利第M56,528號及美國專财請案第 〇9/893,277(公告號為第Us 2〇()3/_2348號），所有該等專利 # /專利申請案以全文引用之方式倂入本文中。下列專利描述 了 NOR型快閃記憶體且該等專利以全文引用之方式併入本 ♦文中·美國專利第5,〇95,344號、第5，172,338號、第5,890，192 ，號及第6，151，248號。亦可使用其它類型之快閃記憶體單元 及其匕類型之非揮發性儲存元件。 ΠΙ·記憶體陣列操作 圖8之表格中提供了用以程式化、讀取及擦除陣列〗1之記 體單疋的例示性操作電壓。表格行（2)係關於被擦徐至選 擇閘極（字元線）之類型的單元的操作，而表袼行（8)展示了 99134.doc -21 - 1266325 對操作被擦除至基板之類型的單元的修改。在此等實例 中，形成有單元之基板部分含有P型摻雜且位元線擴散部分 為η型。在此等操作過程中將該基板保持在接地電位。 在圖8表格之表格行（1)中，給出一未選擇之列的電壓狀 態。藉由驅動器電路19(圖4)使未選擇列之字元線處於接地 電位。對於沿未選擇列之單元的位元線（擴散部分）及導引問 極而吕，行中之"X”指示彼等元件上之電壓無關_，，不可用”

情形。因為對於該陣列之元件而言不存在由電路13、邮 21中之任何一者所產生之負電壓，所以在此實施例中列之 選擇閘極上的零電壓確保沿彼列之單元皆未啟用。沒有電 /瓜可/瓜過其通道。程式化或讀取不同列之相同行中的其它 單元可在不影響其字元線上具有零電壓之列的情況;進 行0 表格之第二表格行⑺提供了用於擦除被設計為擦除至 字疋線之選擇閘極的類型之單元的—組例示性電壓。藉由 驅動裔電路19將在隊25伏特範圍内之高擦除例如 20伏特）施加至其㈣閘極將被擦除的所有字元線。此通常 t包含呈大量规連列之所有單元的至少-經界定之單元區 t然而’在較佳之應用中，可同時擦除更少或更多單元。 itr至㈣擦除區塊限制於單—狀單元。藉由驅 將沿—或多個所選列之單元的導引閘極設定為低 =:伏特)以藉由導引閘極與浮動閉極之間= =;:=動閘極之電•維持於-低位準。浮動閘極 4間極(字元線)之間的所得電位差致使電子隨 99134.doc •22- 1266325 穿中間介電質。關於擦除之更多資訊可於美國專利 5,270,979中找到，該案以引用之方式倂人本文中。 。圖5之表格+的表格行（3)及⑷提供了用於讀取一記憶體 單元之兩個浮動閘極的狀態的例*性電壓：表格行⑺用於 '左浮動閘極且表格行⑷用於右浮動閘極。在每一情況下，、 . 藉由被升高至電壓vSR的選擇閘極來啟用單元，該電壓Vsr 足以接通單元之選擇電晶體從而使電流能夠流過通道。: _ 電壓通常比選擇電晶體之臨限值高丨伏特。 當讀取一浮動閘極之電壓狀態時，如圖8之表格的表格行 ⑶及⑷t所示，正讀取之浮動閘極上方之導弓丨閘極具有一 施加至其之電壓八且另一浮動閑極上方之導引閘極被升高 至V B R。使電壓V B R足夠高（例如8伏特）以使未選擇浮動閑極 下方之單元的通道部分充分具有導電性，而不論該未選擇 :動閘極之程式化狀態如何。為讀取所選浮動間極之狀 態，在讀取步驟期間，使電漫〜階躍多個電壓（下文所述）， φ且其值在單元電流穿過—經界定之臨限時由電路Η内之感 測放大器偵測。 • ®8。之表格的表格行（5)及⑹中給出了用於程式化雙浮動 .^極單元之—浮動間極的例示性電Μ。為選擇用於操作之 單元，充分地升高選擇間極以接通單元之選擇電晶體。電 屢VSP可不同於讀取期間所使用之電麼〜以使源極側注入 程式化速度最佳化。-實例為當選擇電晶體之臨限值為一 伏特時VSP=2.2伏特。在程式化操作期間將與經選擇以被程 式化之浮動閉極相同的單元側上之位元線擴散部分升高至 99134.doc -23- 1266325 最大位70線電壓（例如，5伏特）。使此電壓足夠高以跨過浮 動問極通道與選擇閘極通道之間的間隙能夠建立一充足的 場從而獲得源極側熱電子程式化。在程式化期間將在與未 選擇浮動閘極相同之單元側上的位元線擴散部分偏壓於零 伏特或接近零伏特。 在浮動閘極電壓之程式化窗範圍内，將未選擇浮動閘極 上之導引閘極升高至足以使未選擇浮動閘極下之通道區域 具有充分導電性之電壓Vbp(例如Vbp=8伏特）以便不會對目 標汗動閘極之程式化造成干擾，而不管未選擇浮動閘極上 存在何洋動閘極電壓。將電壓Vp施加至所選浮動閘極上方 之導引閘極，該電壓Vp之位準可將所選浮動閘極驅動至一 在通道中輔助創建所要場條件且低於其之電壓以進行熱電 子程式化。例如，電壓Vp可在5_12伏特之範圍内。在程式 化操作期間此電壓可改變。通常，將一組適當之程式化電 =首先施加至擦除單元，接著施加一組適當之讀取電 壓，且右頌取步驟未指示所選浮動閘極已被程式化至所要 電壓狀態(該狀態可為用於二進位儲存之程式化狀態或用 於夕位準儲存之可變館存狀態中之—狀態），則再次施加程 式化電壓’邊等程式化電壓可部分地不同於該較早組。 圖8之表袼的表格行（7)展示了施加至經選擇用於程式化 但其本身並未被程式化之一列内的彼等單元之電壓。例 汝在陣列之一列分段部分内同時被程式化之若干數目的 單兀’口其間具有未被程式化之其它單元的列而另外被間 隔。正是此等未被程式化之其它單元來接收圖8之表格的表 99134.doc -24- 1266325 格行（7)之電壓◎將相對之位元線擴散部分維持於相同電壓 下以防止任何電流在通道中流動（例如，均在零伏特下或= 在5伏特下）。如藉由表格行（1)中所使用 沖一 丨不〇Ci X指不此 等單元之導引閘極上的電壓為無關電壓。

在經设計以被擦除至基板的記憶體陣列之情況下，應 表格行（8)之擦除電壓條件來#代表格行⑺之彼等條件:將 含有待被擦除之單元區塊的p阱及其周圍之n阱升高至擦除 電壓VE’該電壓％在1〇-25伏特之例示性範圍内（例如車^ 為20伏特）。在讀取及程式化此等單元期間，將其牌維持於 接地電位。在擦除期間較佳將正電壓Vse施加 便減小跨過選擇閉極介電f而施加之電壓，因為^ = 擇閘極之間之過大電壓差可破壞介電質材料或導致其比另 外所要之用於操作單元的材料厚。因為此電壓自選擇閘極 部分地耦合至經搜尋以被擦除之相鄰浮動閘極，所以此電 壓不能太高，否則浮動閘極與基板通道之間的電壓差（其报 高以實現擦除)會減小得太快。視％之位準而定，να:: 示性範圍為3_12伏特。# %=2()伏特時，Vse=1()伏特為較佳。 圖8中所提供之值為一組實例。熟習此項技術者將能夠使 用用於操作記憶體系統之其它適當值及方法。 IV.粗/細程式化 士圖9A提供了臨限電壓（VTH)對時間及位元線電遷d)對 時間的圖表以指示如何執行粗/細程式化過程之-實例。亦 可使用粗/細私式化方法的各種替代例及實施例。圖从中所 曰的方法始於執行程式化過程之粗階段的程式化過程。 99134.doc -25- 1266325 當記憶體單元之臨限電壓達到電壓vLA時，則藉由將單元之 位元線電壓升高至％值而使記憶體單元進入細程式化階段 以便使程式化過程減慢。與粗程式化階段相比，在細程式 化階段期間，程式化過程被減慢。因此，在細程式化階段 期間每一程式步之臨限電壓的改變很可能變小。記憶體單 元將保持於細程式化階段中直至記憶體單元之臨限電壓已 達到目標臨限電壓位準^^。當記憶體單元之臨限電壓達到 Vv時’記憶體單元之位元線電壓升高至⑽以抑制彼單元 之進一步程式化。在一實施例中，VLA較Vv低了一v牛 vPgm 艾 長。在其它實施例中，VLA與Vv之間的差值較大。 所描繪之過程假定一粗程式化模式及一細模式。在 八匕貝鉍例中，可使用多個粗模式及/或多個細模式。例 如’圖9B展示了三個模式。在其它實施例中，可使用三個 以上之桓式。圖9B之實施例展示了第一模式（最粗模式）， 其直至記憶體單元之臨限電壓達到％時才得以執行。在 彼時記憶體單元轉變為中間程式化模式（比最粗模式細且 :水、式粗）’在此時位元線升高至Vi]。記憶體單元將保 持於中間模式中直至記憶體單元之臨限電麼達到％，此 % δ己憶體單元將進入最細程式化模式並且位元線將升高至 %。記憶體單元將保持於最細程式化模式中直至記憶體單

:之S»限電壓達到Vv。當記憶體單元之臨限電壓達到W 時’位元線將升高至Vdd以抑制彼記憶體單元之進—步程式 =如上所討論’在其它實施例中，可使用三個以上之模 式（例如4個模式、5個模式等）。 99134.doc -26- 1266325 圖10為一描述粗/細程式化過程之一實施例的流 步崎，選擇待程式化之記憶體的部分。在一建構中， I為適口 5己憶體結構之-或多個寫入單a。寫入單元之 口、f㈣％為頁Q在其它實施例#，亦可使用其它單元及/ 或結構。在步驟204中，有時使用預程式化過程，其中已定 止^ 口己憶體早疋被給予視非資料而定之程式化以將館存元 件知耗變平且為隨後之擦除提供更一致之起始點。在步驟 2〇6中’執行擦除過程，如適合於所使用之類型的館存元 t美國專利第5，G95,344號描述了合適之智慧擦除過程的 只丨j、忒案以王文引用的方式倂入本文中。步驟2⑽包含 孝私式化過知’對於貫際寫人階段而言其經設計以將擦 =記憶體單元的臨限電s設為更_致之起始範圍。在二 貫施例中，若任何記憶體單元在擦除期間（或在軟程式化期 間）均無法進行核對，則可將其映射出邏輯位址㈣。此時 冗憶體為資料條件性程式化階段作好了準備。 在步驟2H)中，將程式„(Vpgm)設定為初始值。例如， 在某些實施例中’使用圖i之階梯形波形且步驟21〇包含設 定初始脈衝。同樣，在步驟21〇中’將程式計數器㈣初始 化為零。在步驟22〇中，施加程式脈衝。例如，步驟22〇之 一重複可包含施加圖3之程式脈衝1〇A。在步驟⑵中，同時 執行粗及細核對過程。以一在時間上與核對一或多個記憶 體單元以進行細程式化重疊的方式來核對一或多個記憶體 早以進打粗程式化。例如’關於二進位記憶體單元⑽ 如’兩個狀態）’#核對某些記憶體單元以進行粗程式化 99134.doc -27- 1266325 時，核對其它記憶體單元以進行細程式化。關於多狀態記 憶體單元’當核對某些記憶體單元從而為—特定狀態進行 粗程式化時，核對其它記憶體單元從而為相同之特定狀態 進行細程式化。在有關多狀態記憶體單元之其它實施例 中，可為不同狀態而同時程式化/核對不同的記憶體單元， 其中核對某些記憶體單元以進行粗程式化同時核對其它記 憶體單元以進行細程式化。下文將描述步驟222之更 Λ-Α* 即 ° 在步驟224中，判定所有記憶體單元是否已核對其臨限電 壓在彼記憶體單元之最終目標電壓下。若如此，則在步驟 226中成功地完成程式化過程（狀態=通過）。若並未完全核 對所有記憶體單元，則判定程式計數器（pc)是否小於刊。 若程式計數器（PC)不小於20(步驟228)，則程式化過程已失 敗（乂驟230)。若程式計數器（pC)小於2〇，則在步驟中將 程式計數器（PC)增加丨且程式電壓升壓至下一脈衝。步驟 230之後，該過程返回至步驟22〇且將下一程式脈衝施加至 記憶體單元。 V·核對 圖11提供了一描述一用於同時執行粗核對與細核對（參 看圖10之步驟222)之過程的一實施例的流程圖。在圖丨丨之 步驟302中’系統將檢驗暫存器(或其它儲存裝置)以判定特 定快閃記憶體單元是處於粗程式化模式還是㈣呈式化模 式。若記憶體單元處於粗階段（步驟3〇4)，則在步驟3〇6中執 行粗核對。例如，參看W9A，記憶體單元可將其臨限電遂 99134.doc •28- Ϊ266325 與電壓VLA進行比較。若記憶體單元之臨限電壓高於、a(步 驟3〇8)，則記憶體單元已通過粗核對測試。若記憶體單= 之L限電壓小於Vla，則記憶體單元未通過該核對測試。若 記憶體單元未通過粗核對測試，則記憶體單元保持於粗程 式化拉式中（步驟31〇)。若記憶體單元通過粗核對測試，則 記憶體單元將程式化模式變為細程式化模式（步驟312)。 在步驟304中，若判定記憶體單元處於細程式化模式 在步驟320中將執行細核對過程。例如，參看圖9A，可將古己 憶體翠元之臨限電塵與最終目標臨限電屢Vvit行比較。若 记憶體單S之臨限„高於目標電⑺(步驟322),則已通 ^田核對測試且在步驟324中將抑制記憶體單元程式化。用 ”_ 士 ㉟^王式化之一實施例為將位元線升 :二亦可使用用於鎖定記憶體單元之其它方法 =2中’若判定核對測試未通過（例如，因為記憶體單元 :限㈣小於目標電壓Vv)，則將不會抑制記憶體 一步程式化（步驟326)。 日士 =料元執行圖11中之過程。在諸多實施例中，將同 ¥ %式化多個單元。因此 過程。在此程式化期間，竿此單：多個單元執行圖11之 其它單元將處於細程式化過：二處：粗程式化過程而 核對步驟_而其因此’某些單元將執行粗 將執订細核對步驟320。例如，被 私式化至狀態2(參看圖2)之— 1 破 化比其它單元快。較快程式化之Γ可使某些單元之程式 彼等處於細階段之單元將使复^可率先進入細階段。 將使其臨限電壓與狀態2之核對點 99134.doc -29- 1266325

Vv進行比較，而處於粗階段之記憶體單元可使其臨限電壓 與狀態2之VLA進行比較。由於在每一核對步驟任一給定單 凡將僅執行粗核對或僅執行細核對而不是同時執行兩者， 所以圖11之過程提供了效率。另-方面，先前系統可按順 序進行粗核對及細核對。藉由本發明之一實施例，若記憶 體單7C為多狀態單元且必須對多狀態進行核對測試，則將 對多個狀態進行粗核對或將對多個狀態進行細核對。然 • @，不會對-特定記憶體單元之多個狀態進行粗核對及細 核對兩者。例如，返回至圖3,描繪了七個核對脈衝。在八 狀態之記憶體單元中，七個核對脈衝將用於粗核對過程或 七個核對脈衝將用於細核對過程。在某些先前技術之裝置 中，若存在八個狀態，則其需要十四個核對脈衝，其中七 個脈衝用於粗階段且七個脈衝用於細階段。因此，圖 之過程可減少所需核對脈衝之數目。 圖12為一描繪用以建構圖u之過程之一實施例的組件的 % 方塊圖。圖12展示了一用於一位元線之電路。在一實施例 中’將存在用於每一位元線之此電路。在另一實施例中， - 將存在用於一對位元線之此電路。圖12展示了一連接至開 • 關400及電容器402之位元線。該電容器亦接地。開關4〇〇 自多工器404接收一訊號。將自多工器4〇4所接收之訊號用 於程式化。多工器4〇4接收兩個訊號vpc及Vpf，且基於來自 C/F暫存器420之指示而在彼等兩個訊號之間進行選擇。開 關400亦連接至感測放大電路41〇之輸入端。訊號Verf亦連 接至感測放大電路410之輸入端。感測放大電路41〇之輸出 99134.doc -30- 1266325 柒向C/F暫存裔42〇提供資料。C/F暫存器似之輸出端向多 工器404、鎖定暫存器422及多玉器43〇提供資料。多工器㈣ 接收mc及Tf ’且基於來自C/F暫存器42〇之資料而在兩 。個Λ#υ之間進行選擇。多玉H43G之輸出連接至感測放大電 路410之另一輸入端。 圖12之組件之操作係基於位元線放電核對過程。首先， 將位元線充電。然後，向附著至彼位元線之記憶體單元的 φ 控制閘極（或導引閘極）提供一核對脈衝。然後允許位元線放 電。基於放電速率，可判定記憶體單元是高於還是低於一 特定臨限電壓位準。 圖13展示了位元線電壓（Vbl)對時間之圖表。在一建構 中，允卉位元線隨一段時間τ而放電。在時間丁處，將位元 線之電壓與筝考電壓Verf進行比較。若位元線電壓高於 Verf，則圮憶體單元具有較低驅動能力且比目標臨限電壓 更易於程式化。若在時間τ處位元線電壓小於Verf，則記憶 • 體單元之臨限電壓小於目標臨限值。在另一實施例中，可 允許位元線放電直至其達到Verf，而非在固定時間τ之後量 • 測位元線上之電壓。然後，將此放電時間與一組預定時間 Λ 進仃比較以判定臨限電壓是高於還是低於目標臨限值。在 使用粗/細方法而得以程式化之單元中，在一實施例中， 可藉由使一 Verf用於粗程式化且使另一 Verf用於細程式化 而使该比較點可在粗與細之間改變。在一替代性實施例 中，時間τ之量可改變使得存在一時間T1以用於與粗程式化 關聯之放電且存在在細程式化期間與放電關聯之另一時間 99134.doc 1266325 T2。在另一實施例中，可改變位元線之預充電使得存在一 用於粗程式化之預充電值及另一用於細程式化之預充電 值。或者’可使用上文之組合。 在另-實施例中，可利用一利用電流比較器之靜態感測 方法。在彼實施例中，以一組特定用於粗/細程式化之參考 電流來取代固定參考Verf。對於一給定記憶體單元而言， 當參考電流超過單元電流時，相關聯之感測放大器將指示 7比目標電壓更易於程式化的單元臨限電壓。在美國專利 第6,222,762號中可找到進—步之資訊，該案以全文引用之 方式倂入本文中。 在圖12所描繪之設備的一實施例中，C/F暫存器為卜 一曰存器其指示特定記憶體單元是處於粗程式化模式 還是處於細程式化模式。在程式化„，若記憶體單元處 於粗程式化模式’則多工器楊經由開關彻將粗模式程式 化電壓（vpc)發送至位元線。若記憶體單元處於細程式化模 ^，則多工器404經由開關400將細模式程式化電壓（Vpf)發 廷至位元線。在核對期間，感測放大器410將包含一比較位 ^線電麗與參考電㈣rf之電路。在核對期間，若記憶體 士一处於粗核式，則多工器43〇將基於C/F暫存器選擇粗 時，選通Te。感測放大以1〇將判定在TC指示之時間内位元 ^疋否放電至固定參考值Verf。若感測放大器判定記憶體 早=通過粗核對（因為在Tc指示之時間内位元線已放電 =定參考值Verf)’則向C/F暫存器侧發送—訊號以改變 '存器從而指示記憶體單元現在處於細程式化模式。此 99134.doc -32- 1266325 時，多工器404及430將接著改變其選擇使得多工器4〇4在下 一次程式化該單元時將電壓Vpf發送至位元線，且多工器 430在下一次進行核對操作之比較時將時間選通以發送i 感測放大器410。在細模式期間，若感測放大電路4i〇判定 已成功通過細核對過程（因為在以指示之時間内位元線已 放電至固定參考值Verf)，則感測放大器41〇將向c/f暫存器 420如此指示，其將然後致使鎖定暫存器422指示應鎖定（抑 制）該單元以防進一步程式化。 圖14為用於執行核對之第二實施例。使用一對參考電流 源而非使用-對感測時間’其中—固定參考電壓用於與位 兀線電壓進行比較。對於一給定記憶體單元而言，當參考 電流超過其單元電流時，相關之感測放大器將指示此條 件，此條件反映記憶體單元被程式化以滿足目標臨限條 件。因此，多工器430將基於C/F暫存器420之輸出選擇是提 仏用於粗卩白#又之電流源（Ic)還是用於細階段之電流源（If)。 圖15描繪了另一替代實施例。在圖15中，多工器448將選 擇一用於粗程式化階段之參考電壓（Vrc)或用於細程式化階 段之參考電壓（Vrf)以提供給感測放大器41〇。在此實施例 中，感測放大器410又將基於C/F暫存器420比較在一固定時 間段（τ)之後放電位元線上之電壓與自多工器448所接收之 電壓參考。 VI.電流流入 如上所述，一種用於將記憶體單元自粗程式化模式轉變 為細程式化模式之方法為升高位元線上之電壓。升高位元 99l34.doc -33 - 1266325 線上之電廢往往會減慢程式化過程。因此，將以較小辦量 升高細程式化模式中記憶體單元之臨限電麼，且可達成較 緊岔之臨限電壓分佈。另一用於將时一 肝。己隱體早兀自粗程式化 階段轉變為細程式化階段之方法Λ 乃凌為改變穿過記憶體單元之 支配’ δ己憶體單元之源極將升高至接地 入端連接至源極以控制電流將流過通道 通道的電流量。在程式化期間，>由選擇閘極之導電特性 以上。可將電流流 之量。流入電流愈

大，則穿過通道之電流愈大且記憶體單元將程式化得愈 快。當電流流入減弱（流入較少之電流）時，則通道中之電流 將下降且記憶體單元將程式化得更緩慢。例如，若在粗階 段電流流入端流入1000 ηΑ，且然後在細階段流入1〇〇 ηΑ， 則通道電流將下降至其原始值之1/10且記憶體單元之程式 化將減慢約十倍。 圖16為相關臨限電壓增加（Vt)對階梯形控制閘極程式脈 衝之圖表，其遵循一系列250 mV階梯形控制閘極程式化脈 衝及1000 nA電流流入，藉此建立一穩定狀態之程式化條 件。圖16展示了 一使用不同電流流入而被程式化之記憶體 單元的5條程式化曲線5〇〇、502、504、506及508。與圖表 500相關聯之記憶體單元具有1，000 nA之電流流入，其繼續 穩定狀態之程式化操作。與曲線502相關聯之記憶體單元具 有降低至562 nA之電流流入。與曲線504相關聯之記憶體單 元具有降低至316 nA之電流流入。與曲線506相關聯之記憶 體單元具有降低至178 nA之電流流入。與曲線508相關聯之 記憶體單元具有降低至100 nA之電流流入。如自圖丨6之圖 99134.doc -34· 1266325 表可看出，電流流入愈大，則記憶體單元將程式化得愈快。 例如，在第一程式脈衝之後，與曲線508相關聯之記憶體單 元的臨限電壓增加了 20 mV，與曲線506相關聯之記憶體單 元的臨限電壓增加了 33 mV，與曲線504相關聯之記憶體單 _ 元的臨限電壓增加了 68 mV，與曲線502相關聯之記憶體單 •元的臨限電壓增加了 112 mV且與曲線500相關聯之記憶體 單元的臨限電壓增加了 234 mV，其反映根據步控制閘極程 式化階梯形對250 mV之穩定狀態回應。在第二程式化脈衝 之後，與曲線508相關聯之記憶體單元具有47 mV之臨限電 壓，與曲線506相關聯之記憶體單元具有90 mV之臨限電 壓，與曲線504相關聯之記憶體單元具有159 mV之臨限電壓 且與曲線502相關聯之記憶體單元具有270 mV之臨限電 壓。在第三程式化脈衝之後，與曲線508相關聯之記憶體單 元的臨限電壓為87 mV，與曲線506相關聯之記憶體單元的 臨限電壓為159 mV且與曲線504相關聯之記憶體單元的臨 限電廢為271 mV。在苐四私式化步驟之後’與曲線5〇8相關 聯之記憶體單元具有144 mV之臨限電壓且與曲線506相關 聯之記憶體單元具有249 mV之臨限電壓。在第五程式化步 驟之後，與曲線508相關聯之記憶體單元的臨限電壓為221 mV 〇 因此，如圖16所描述，藉由降低電流流入之量可減緩程 式化之速率。因此，在一實施例中，將兩個電流流入之間 的改變用於在粗模式與細模式之間進行改變。例如，粗模 式可具有大電流流入（例如，1000 nA)且細模式可具有較小 99134.doc -35- 1266325 電流流入（例如，1G〇nA)。或者，粗模式可沒有電流流入 而細模式具有一電流流入以減小程式化之速度。亦可使用 其它組態。 圖17描繪了根據圖7之示意圖的記憶體元件，其中添加了 、連接至右位元線或控制線⑽右，終端51，）之電流流入端 .6〇〇。在圖17之建構中，浮動閘極56,正被程式化。在某些實 施例中’ 51，及49,處之控制、線皆被認為是位元線。在其它實 籲施例中’終端51，處之控制線可被認為是源極線或一不同之 控制線。電流流入端600連接至C/F暫存器42〇(上文所描 述)。在-實施例中’電流流入端_為可變電流流入端。 意即，電流流入端600可流入不同位準之電流。例如，電流 流入端可流入兩個不同位準之電流，一位準之電流用於細 模式且另一位準之電流用於粗模式。基於來自c/f暫存器 420之指示，將選擇適當之電流流入值。例如，若c/f暫存 器420指示浮動閘極56,處於粗模式，則將由電流流入端 • 選擇用於粗模式之適當電流流入。若C/F暫存器420指示浮 動閘極56’處於細模式，則電流流入端6〇〇將選擇用於細模式 . 之適當流入值。在另一實施例中，電流流入端600將僅用以 . 流入用於細模式之電流，且在終端51，與接地電源之間將存 在一開關以在粗模式期間繞過電流流入端6〇〇。基於儲存於 C/F暫存器420中之值來控制彼開關。在圖17之實施例中， 將程式電壓（例如，上文所描述之階梯形控制閘極程式化電 壓）施加至左導引閘極81，。 在另一貫施例中’圖1 7之電流流入端600為一可變電流流 99134.doc -36- 1266325 入，其可為多狀態記憶體單元之每一狀態流入不同組之粗 及、田值。例如，若存在七個程式化狀態，則電流流入端 600將此夠流入十四個（或，若存在重疊則少於十四個）不同 位準之電流。或者，可存在十四個（或，若存在重疊則少於 十四個）不同電流流人。對不同狀態採用不同組之電流流入 允午耘式化過程更有效，從而使得需要較少程式化脈衝 (例如，200 mV步長）且在不致使將目標為待程式化至較低

狀態（例如，程式化至狀態丨）之單元過度程式化之情況下， 將較快地程式化已較大程度地程式化之記憶體單元（例 如，程式化至狀態7)。上文所描述之機制之一建構可在每 一程式化脈衝之後核對所有狀態，而非使用上文所提及之 智慧核對機制。 下文之表格提供了一組例示性電流流入值。應注意，為 細模式提供了兩個選項。視設計細模式之電路設計者希望 減緩細模式中之程式化的程度而定，該設計者可選擇任一 選項 其中選項2對應於當自粗模式轉變為細模式時

99134.doc -37- 1266325 相同的情況下，可將狀態至狀態分流減少至可使程式化分 佈緊密之相同程度。為此目的，下一表格描繪了在狀態至 狀態分流為400 mV之情況下用以程式化七個狀態所必需之 恒定電流流入值的範圍。 假定狀態至狀態分流為400 mV 狀態 VT 粗電流流入 細電流流入值 細電流流入值 值（nA) (選項 1)(ηΑ) (選項 2)(nA) 7 2.8 1000.15 489.71 239.78 6 2.4 489.71 239.78 117.40 5 2.0 239.78 117.40 57.48 4 1.6 117.40 57.48 28.14 3 1.2 57.48 Π 28.14 13.78 2 0.8 28.14 13.78 6.74 1 1 0.4 13.78 6.74 3.30 應注意，上文若干組電流流入值僅出於舉例之目的且視 特定建構而定亦可使用諸多其它不同值。進一步應注意 到，對於一不同之狀態而言用於細模式中之電流流入的諸 多值與用於粗模式中之電流流入值相同。例如，細模式（選 項1)之狀態5的電流流入值及粗模式之狀態4的電流流入值 皆為117·40 nA。此重疊可減少建構此特徵所需之邏輯’且 在某些情況下可減小電流流入端之數目或該（該等）電流流 入端之複雜性。 圖18用圖表描繪了 一替代實施例，其中C/F暫存器420用 以控制開關620。開關620在兩個電流流入端622與624之間 選擇。電流流入端622流入用於粗模式之電流且電流流入端 624流入用於細模式之電流。若C/F暫存器420指示浮動閘極 5 6，在粗模式中被程式化’則其將一訊號發送至開關6 2 8以選 擇電流流入端622。若浮動閘極56,在細模式中被程式化’則 99134.doc -38- 1266325 暫存器420將指示開關62G選擇電流流入端624。因此， 精由轉換電流流入端得以執行自粗程式化模式至細程式化 杈式之轉換。吾人期待與用於粗模式之電流流入端Μ)相比 用於細松式之電流流入端624將流入較少電流。 圖19為一描述一使用本文所描述之電流流入技術之過程 程圖。纟步驟65G中，記憶體單元將在粗程式化模式中 開始程式化。該粗程式化模式將繼續直至達到第一臨限電 善核對位準。為了執行粗程式化模式，在步驟中電流流 入機制將被設定為粗模式電流流入設定。在某些實施例 中，在粗模式中將不使用電流流入。步驟652可包含適當地 控制圖17中之電流流入端6〇〇或選擇圖丨8中之電流流入端 622。步驟65〇及步驟652將繼續直至完成粗模式（此為步驟 652下方之箭頭為虛線之原因）。當完成粗模式時（由於已達 到了粗核對位準），在步驟654中將開始細程式化模式。作 為細程式化模式之一部分，在步驟656中電流流入端將被設 • 定為細模式電流流入設定。在一實施例中，步驟656包含適 當地設定圖17中之電流流入端6〇〇。在另一實施例中，步驟 • 656包含選擇圖18中之電流流入端624。圖19之過程係用於 • 一記憶體單元。吾人期待多個記憶體單元將同時執行圖19 之過私，其中某些記憶體單元處於粗程式化模式而其它記 憶體單元則處於細程式化模式。 除了圖17及圖18中所描繪之彼等記憶體單元之外，可將 圖19之過程連同本文所描述之電流流入技術用於其它類塑 之記憶體單元。例如，圖17及圖18包含每一記憶體單元中 99134.doc -39- 1266325 之雙浮動問極。如本文所描述之電流流入技術可用於一僅 八有浮動閘極之s己憶體單元，在此情況下該電流流入端 較佳連接至該-個浮動閘極之源極側。電流流入技術亦可 用於具有兩個以上浮動閘極之記憶體單元。通常，將電流 流入應用於相對於正被程式化之浮動閘極的源極側。然 而，在其匕貫施例中，其可連接至其它控制線從而藉此支 配程式化速度。例如，在某些結構中可任意地設計源極及 汲極且因此本發明並不限於"源極”側。 應庄μ可將上述用於粗/細程式化之電流流入與較早所 描述之同時的粗/細核對過程組合使用。在替代模式中，可 在不使用較早所描述之同時的粗/細核對過程之情況下使 用用於進人細模式對粗模式之電流流人過程。此外，可在 使用或不使用較早所描述之智慧核對過程之情況下使用本 文所描述之電流流入技術(其與同時之粗/細核對組合或不 與同時之粗/細核對組合）。此外，㈣將電流流人用於在粗 /細之間改變之情況下’亦可將智慧核對過程與同時之粗/ 細核對過程一同使用。 νιΙ·電荷封包量測 參考圖20-25描述了用於使—記憶體單元進入細程式化 之另 '组實施例。此等實施例藉由限制程式化-記憶 體早-可用之電荷而提供一細程式化模式。例如，圖2〇展 ::呈其中浮動閉極56,正被程式化之組態的圖7之記憶體 附著至位元線右終端51，的為—由c/f暫存器樣控制 開關彻具有兩個輪人端。第-輸入端由參考 99134.doc 1266325 數字702標記。當C/F暫存器42G指示浮動閘極％，處於粗模式 時，開關700將選擇輸入端7〇2,在粗程式化模式期間該輸 入端將為連接至位元線之標準組件。意即，在粗程式化模 式期間，在一實施例中，*存在電荷封包量測。若如OF暫 存器420所指示浮動閘極56,處於細程式化模$，則開關_ 將終端51’連接至開關爾及電容器川。將電容器71()之相對 側連接至參考電位（例如接地p將開關7〇8連接至預充電電 源（例如，電壓電源）712。組件7G8、71()及712用於作為兩步 式方法之一部分的細程式化模式。在第一步驟中，電容器 71〇經由開關708連接至電源712且#充電至預充電電麼^ 式化源極偏壓）。在第二步驟中，電容器71〇自電壓電源η? 斷開接著-控制閘極程式化電壓脈衝被施加至左導引閑極 81'。儲存於電容器71〇中之預充電電壓經由穿過記憶體單元 之電流而被放電，且電子被注入浮動閘極56，。 充分放電時，•電子注人停止且程式化中斷。因此 =電容器710上之相對電荷量限制了發生程式化之程度。電 合裔上之較少的相對電荷意謂臨限電壓將移動較小量。例 如’與-預充電至相同電壓值之具有電容c的電容器相比， ^預充電至相同電壓值之具有兩倍大的電容（例如2〇之電 容器儲存兩倍之相關電荷且進行多達兩倍之程式化。圖2〇 展不了用於一位元線之組件42〇及7〇〇-712。在一實施例 中’存在用於每一位元線之一組類似的組件。 士圖21提供了兩個圖表。上圖表展示了終端51，處之電壓對 叶間。下圖表展示了選擇閘極處之電壓對時間。在時間t〇 99134.doc 1266325 處，電容器710預充電，因此預充電終端51，處之控制線。當 ^擇閘極在時間丨]處接通時，圖2〇之電容器71〇將開始流入 電流’且其電壓將升高從而減小電流。最終，當電容器充 分放電時通道中之電流停止流動。 圖22為一描述一用於執行上文所描述之電荷量測之過程 ’的一實施例的流程圖。在步驟74〇中，選擇適當之預充電電 路。在一實施例中，僅存在一用於細模式之預充電電路且 鲁不存在用於粗模式之預充電電路。其它實施例可使用一用 於粗模式之第一預充電電路及一用於細模式之第二預充電 電路。在步驟742中，將允許預充電之開關（例如開關7〇8) 閉合以開始預充電。在步驟744中，斷開開關，結束預充電。 在v驟746中，施加供應給導引閘極之脈衝且將選擇閘極接 通使得電流流過通道且將電子注入浮動閘極直至電容器被 充分放電。 圖23提供了一替代實施例之方塊圖，其使用一用於粗程 Φ 式化杈式之預充電電路及另一用於細程式化模式之預充電 電路。開關780連接至終端51，且由C/F暫存器42〇控制。若 • C/F暫存器420指示浮動閘極56'處於粗程式化模式，則開關 .780將選擇組件782、784及786。若C/F暫存器42〇指示浮動 閘極56,處於細程式化模式，則開關78〇將選擇組件79〇、792 及 794 〇 預充電電源786連接至開關782,該開關782連接至電容器 7料。當開關782閉合時，預充電電源786為粗程式化模式而 對電容器784充電。在對電容器784充電之後，斷開開關782 99134.doc -42- 1266325 且允井電谷态784藉由記憶體單元放電c經由開關78〇)以程 式化浮動閘極5 6，。 當開關790閉合時預充電電源794用於對電容器792進行 預充電。在對電容器792預充電之後，斷開開關79〇,藉此 允卉電谷裔792在細程式化模式期間藉由記憶體單元放電 以便程式化浮動閘極56’。在一實施例中，予貝充電電源786 較預充電電源794而言將處於一較低電壓下使得與被充電 以用於細程式化模式之電容器792相比電容器784被充電至 相對較大值以用於粗程式化模式。電容器上之電荷值愈 大，將發生愈多之程式化。因此，可允許為粗模式而進行 較多程式化且可允許為細模式而進行較少程式化。電源（電 壓或其它類型之電源）及電容器之精確值基於特定需要及 裝置最優化、模擬及/或裝置特徵化以及用於區別粗程式化 對細程式化之目標來判定。 圖24提供了-用於量測記憶體單元内之電荷的替代性實 施例。圖24展示了連接至可變預充電電源_之c/f暫存器 420。預充電電源_可供應至少兩個不同電源位準，一;立 準用於粗程式㈣式且另-位準用於細喊化模式。基於 C/F暫存器42G中之值，向開關8〇2供應適#之位準。開關_ 亦連接至電容器804及終端51，。因此，在粗程式化階段期 間，將預充電電源800用於將一粗充電位準發送至電容器 804以用於程式化浮動閘極56，。在細程式化模式期間，預^ 電電源800將提供一用於程式化浮動閘極％，之細充電（其與 粗充電相比具有相對較小之量值）。 99134.doc -43- 1266325 圖25提供了用於如上文所描述之電荷量測的又一替代實 施例。圖25之實施例包含使用一用於粗模式及細模式兩者 之共同預充電電源848。然而，開關840用以在兩個不同電 容器之間進行選擇。電容器842用於在粗模式期間進行程式 化且電容器844用於在細模式期間進行程式化，該電容器 844之電容小於電容器842之電容。基於儲存於C/F暫存器 420中之值，開關840在電容器842與844之間進行選擇。

應注意，在某些實施例中，使用電容器預充電控制線（例 如5Γ)將使控制線接地。當將脈衝供應給導引閘極時，預充 電致使電流流入至電容器，且電壓將升高直至該裝置最終 將其自身關閉。當電流流入電容器時，終端51，處之電壓將 增加直至其達到足夠高之值從而有效停止程式化。在程式 化期間為每一脈衝執行此充電限制操作。 在施加了每一脈衝之後，核對記憶體單元。視情況可將 上文所描述之電荷封包量測技術與上文所描述之智慧核對 過程及/或同時之粗/細核對過程組合使用。 應注意，在某些實施例中，同時之粗/細核對、程式化期 間之電流流入及程式化期間之電荷量測皆涵蓋一共同奸 (例如VP§m階梯訊號），該共同訊號被提供給多個記_ 元之字元線或導引閉極（視記憶體單元結構而定）。早 已為^及描述之目的呈現了本發明之前述詳細 其並不:欲具有窮舉性或將本發明限制至所揭示之精確带 根據上文之教示可做出諸多修改及變化。所描述之: 把例經選擇以最好地解釋本發明之原理及其實際應用二 99134.doc -44- 1266325 而藉此使得其它熟習此項技術者能夠在各種實施例中以如 t a於所期待之特定應用的各種修改來最好地利用本發 〜欲藉由附加至其之申請專利範圍來界定本發明之 疇。 【圖式簡單說明】 圖1彳田繪了一用以程式化非揮發性記憶體單元之程式電 壓的實例。

圖2描输了 —用於非揮發性記憶體裝置之狀態空間的實 圖^田緣了用於程式化快閃記憶體單元之程式電壓脈衝 及該等程式脈衝之間的核對脈衝之實例。 圖4係-可建構本發明之快閃記憶體系統之—實施例的 方塊圖。 圖5係圖4之系統之記憶體單元陣列的一部分的一實施例 之平面圖。 之部分 圖6係在截面A_A處截取之圖5的記憶體單元陣列 橫截面圖。 圖7係圖3之結構的等效電路。 性 圖8係為-種用以操作記憶體單元之方式而提 電壓的表袼。 、/ 壓對 圖9A包含用於粗/細轾式化之臨限電壓及位元線電 日守間的圖表。 圖9B包含用於粗/細程式化之臨 u电麼及位兀線電壓# 時間的替代圖表。 ^才 99134.doc -45- 1266325 圖ίο係一描述一用於程式化非揮發性記憶體之過程的一 實施例之流程圖。 圖11係一描述一用於執行粗/細核對之過程的一實施例 之流程圖。 圖12係用以核對非揮發性記憶體單元之組件的方塊圖。 圖13係用於感測之位元線電壓對時間的圖表。 圖14係用以核對非揮發性記憶體單元之組件的替代方塊 圖。 春圖15係用以核對非揮發性記憶體單元之組件的替代方塊 圖。 圖16係臨限電壓對程式脈衝之圖表。 圖17係使用電流流人之第—實施例之非揮發性記憶體的 示意圖。 圖18係使用電流流人之第二實施例之非揮發性記憶體的 示意圖。 • 圖19係一描述一使用電流流入之粗/細程式化過程的一 實施例之流程圖。 • 圖20係使用電荷封包量測之第一實施例之非揮發性記憶 體的示意圖。 圖21描繪了電壓對時間的圖表。 圖22係一描述一使用電荷封包量測之粗/細程式化過程 之一實施例的流程圖。 圖23係使用電荷封包量測之第二實施例的非揮發性記憶 體之示意圖。 ~ 99134.doc -46- 1266325 圖24係使用電荷封包量測之第三實施例的非揮發性記憶 體之示意圖。 圖25係使用電荷封包量測之第四實施例的非揮發性記憶 體之示意圖。 【主要元件符號說明】 11 陣列 1 3 ' 19 ' 2 1 電路

15、17、29、31、33、 線路 35、41 匯流排 控制器 基板 基板表面 擴散 浮置閘極 導引閘極 字元線 選擇閘極 浮置閘極邊緣 開關 22、25 27 45 47 49、49丨、51、51，、53、 55、55,、56、56,、57、 57’、58、58,、59、60、 62 、 63 、 64 、 65 、 66 、 67 、 75 、 76 、 77 、 78 、 79 81、81，、83、83,、85 91、92、92丨、93、94、95 99 > 99， 103 、 105 400 、 620 > 700 > 708 、 780 、 782 、 790 、 802 、 99134.doc -47- 846 1266325

402 、 710 、 784 、 792 804 、 842 、 844 404 、 430 、 448 410 420 422 600 、 622 、 624 702 712 、 786 、 794 、 800 電容器 多工器 感測放大電路 C/F暫存器 鎖閉暫存器 電流流入端 輸入端 848預充電電源

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Claims (1)

1266325 十、申請專利範圍： 1 · 一種用於程式化之設備，其包括： 一非揮發性儲存元件，其具有一閘極及兩個控制終 端；及

2.

可轉換電流流入裝置，其與該等控制終端中之一者 進行通訊，若該非揮發性儲存元件處於一粗程式化模 式’則该可轉換電流流入裝置向該等控制終端中之該— 者提供一粗電流流入，且若該非揮發性儲存元件處於一 細程式化模式，則該可轉換電流流入裝置向該等控制終 端中之該一者提供一細電流流入。 如請求項1之設備，其中·· "亥粗電流流入為一大於該細電流流入之電流流入。 如請求項1之設備，其中·· 邊可轉換電流流入裝置包含一可在兩個電流流入模式 中運作之單一電流流入。 如請求項1之設備，其進一步包括： 一感測電路，其與該非揮發性儲存元件進行通訊；及 私式化模式指示電路，其基於該感測電路提供一指 八Y非揮發性儲存元件是處於該粗程式化模式還是該細 私式化拉式之輸出，該可轉換電流流入裝置與該程式化 模式指示電路進行通訊，且基於一來自該程式化模式指 不電路之輪出而在該粗電流流入與該細電流流入之間 行轉換。 5.如請求項丨之設備，其中： 99134.doc 1266325 該可轉換電流流入裝置包含：一第一電流流入單元， ^提供該粗電流流入；一第二電流流入單元，其提供該 Λ電流流入；及一開關，其用於選擇該第一電流流入單 凡或該第二電流流入單元。 6·如請求項5之設備，其進一步包括： —感測電路’其與該非揮發性儲存元件進行通訊；及 一輊式化模式指示電路，其基於該感測電路提供一指 鲁=非揮純儲存元件是處於該粗㈣化模式還是該細 程式化模式之輸出，該開關與該程式化模式指示電路進 仃通訊，且基於來自該程式化模式指示電路之資訊而在 該第-電流流入單元與該第二電流流入單元之間進行轉 換。 7·如請求項1之設備，其進一步包括： 感測電路’其與遠非揮發性健存元件進行通訊； -程式化模式指示電路，其基於該感測電路提供一指 # 示該非揮發性儲存元件是處於該粗程式化模式還是該細 程式化模式H該可轉換m人裝置與該程式化 . 模式指示電路進行通訊；及 • 7選擇電路，其與該料化模式指示電路及該感測電 路進饤通π ’右該非揮發性儲存元件處於該粗程式化模 式’則該選擇電路向該感測電路提供-粗參考訊號，且 若該非揮發_存元件處於該細程式化模式，則該選擇 電路向該感測電路提供一細核對訊號。 8·如請求項7之設備，其中·· 99134.doc 1266325 该感测電路基於爽和 該粗參考訊號_ 1: 模式指示電路之輪出將 資料進行比Γ 與該非揮發性儲存元件之 -特定核對位準。 ❺存兀件疋否已達到 9. 如請求項8之設備，其中·· 儲;化旨Μ路包含—料單元，㈣存單元 =日不該非揮發性館存元件是處於該粗程式化 還疋4、、、田程式化模式之資料。 、式 W·如請求項7之設備，其中·· 該感測電路包含用拥> 非揮發性儲存…否滿 化如請求们之設備，其中：要求的電子電路。 該等兩個控制終端為位元線。 12·如請求項}之設備，其中·· 該等控制終端中之該一者為一源極端子。 13 ·如請求項1之設備，其中： 該非揮發性儲存元件為一快閃記憶體元件。 14 ·如請求項1之設備，其中·· 該非揮發性儲存元件為一多狀態快閃記憶體元件。 1 5 ·如睛求項1之設備，其中·· 該非揮發性儲存元件為-多狀態儲存元件；及 該可轉換電流流入裝置對於不同狀態向該等控制終端 中之該-者提供不同之粗電流流人，且對於不同狀態向 邊寺控制終端中之該—者提供不同之細電流流入。 99134.doc 1266325 6·-種用於程式化—非揮發性儲存元件之設傷，1包括. 一感測電路’其與該非揮發性儲存元件進行通訊；· 程式化模式指示電路，其基於該感測電路提供一指 丁違非揮性儲存％件是處於_粗程式化模式還是處於 一細程式化模式之輸出；及 、

-可轉換電流流入裝置，其與該程式化模式指示電路 及該非揮發性儲存元件進行通訊，若該非揮發性儲存元 件處於該粗程式化模式，則該可轉換電流流人裝置電路 向該非揮發性儲存元件提供—粗電流流人，且若該非揮 發性儲存元件處於該細程式化模式，㈣可轉換電流流 入裝置電路向該非揮發性儲存元件提供一細電流流入。 17·如請求項16之設備，其中： 忒粗電流流入為一大於該細電流流入之電流流入。 18·如請求項15之設備，其中： 。亥可轉換電流流入裝置包含一可在兩個電流流入模式 中運作之單一電流流入。 19.如請求項16之設備，其中 该可轉換電流流入裝置包含：一第一電流流入單元， 其提供該粗電流流入；一第二電流流入單元，其提供該 細電流流入；及一開關，其用於選擇該第一電流流入單 元或該第二電流流入單元；及 該開關與該程式化模式指示電路進行通訊且基於來自 该程式化模式指示電路之資訊而在該第一電流流入單元 與该第二電流流入單元之間進行轉換。 99134.doc -4- 1266325 2 〇 ·如睛求項16之設備，其中： 該可轉換電流流入裝置與該非揮發性儲存元件之一源 極端子進行通訊。 21 ·如請求項16之設備，其中： 該可轉換電流流入裝置與該非揮發性儲存元件之一位 元線進行通訊。 22·如請求項16之設備，其中： • 該可轉換電流流入裝置與該非揮發性儲存元件之一控 制線進行通訊。 工 23·如請求項16之設備，其中： 該非揮發性儲存元件為一快閃記憶體元件。 24·如請求項16之設備，其中： 該非揮發性儲存元件為—多狀態快閃記μ元件。 25·如請求項16之設備，其中： 該可轉換電流流入裝置對於不同狀態提供不同之粗電 • &流入且對於不同狀態提供不同之細電流流入。 26· -種用絲式化非揮發性儲存元件之設備，其包括： • 矛以化電@ ’其與該等非揮發性儲存元件進行通 訊；及 -或夕個可轉換電流流人電路，其與該等非揮發性儲 件進行n &或該等電流流人電路使處於一粗程 ^匕階段之該等非揮發性儲存元件的-第-子集經受一 第電机抓入目時使處於一細程式化階段之該等非揮 發性儲存元件的一第二子集經受一第二電流流入。 99134.doc 1266325 27·如請求項26之設備，其中： 該程式化電路向該等非揮發性儲存元件提供 引訊號。 ^ U导 认如請求項26之設備，其中對於一特定非揮發性儲存元件 而言，該等可轉換電流流入電路中之一者包括： 一感測電路’其與該特定非揮發性儲存元件進行通訊； -程式化模式指示電路，其基於該感測電路提供一指 示該特定非揮發性儲存元件是處於該粗程式化階段還^ 處於該細程式化階段之輸出；及 -可轉換電流流人裝置，其與該程式化模式指示電路 及該特定非揮發性儲存元件進行龍，若該特定非揮發 性儲存元件處於該粗程式化階段，則該可㈣電流流人 裝置向該特定非揮發性儲存元件提供該第一電流流入， 且若該特定非揮發性儲存元件處於該細程式化：：，則 該可轉換電流流人裝置向該特定非揮發性儲存元件提供 該第二電流流入。 29·如請求項28之設備，其中： 該第一電流流入為一大於該第二電流流入之電流流 入0 3〇·如請求項28之設備，其中： 该可轉換電流流入裝置包含一可在兩個電流流入模式 中運作之單一電流流入。 31·如請求項28之設備，其中： 該等非揮發性儲存元件為快閃記憶體元件。 99134.doc -6- I266325 32·如請求項28之設備，其中： 該等非揮發性儲存元件為多狀態快閃記憶體元件。 33· —種用於程式化之設備，其包括·· 用於為非揮發性儲存元件執行粗程式化階段之構件； 用於在該粗程式化階段期間流入一第一電流之構件 ▲用於藉由將該流入轉換至一第二電流而為該非揮發性 儲存元件轉換至細程式化之構件。 a 34·如請求項26之設備，其中·· 非揮發性儲存 該或該等可轉換電流流入電路包含每一 凡件之一可轉換電流流入電路。 35. 一種用於程式化之方法，其包括： 為-非揮發性儲存元件而執行一粗程式化階段，該粗 程式化階段包含流入一第一電流；及

_藉由轉換至-第二電流之該流入而為該非揮發性儲存 元件轉換至一細程式化階段。 36·如請求項35之方法，其進一步包括： μ判疋邊非揮發性儲存元件之—臨限電壓是否已達到一 ' /對位準，§该非揮發性儲存元件之該臨限電壓已 達到㈣-核對位準時，開始該轉換步驟；及 ^ 定4非揮發性儲存元件之該臨限電麼是否已達到一 核對位準’當該非揮發性儲存元件之該臨限電壓已 37 a ]亥第—核對位準時，完成該細程式化階段。 37.如請求項35之方法，其中： 99l34.d〇( 1266325 該第一電流大於該第二電流。 38.如請求項35之方法，其中·· 口亥非揮發性錯存凡件為一快閃記憶體元件。 39·如請求項35之方法，其中·· 該非揮發性儲存元件為一多狀 价如請求項35之方法，其中：J閃錢體元件 該 與該粗程式化階段相比，在該細程式化階 非揮發性健存元件之一臨限電摩的變化減小。/間 41. 一種用於程式化之方法，其包括： 將-程式電壓訊號施加至—非揮發性料元件. 自該非揮發性儲存元件流入—第— ， 化； 電/瓜以執行粗程式 臨限電壓已達到一第 判定該非揮發性儲存元件之 核對位準；及 轉換該流入以流入—第二電流以回應於判定該非 性儲存元件之該臨限電壓已達到該第-核對位準，該榦 換步驟致使該非揮發性儲存元件執行細程式化。 42.如請求項41之方法，其中： 該第一電流大於該第二電流。 43 ·如請求項4丨之方法，其中·· 該非揮發性儲存元件為一快閃記憶體元件。 44·如請求項41之方法，其中： 該非揮發性儲存元件為一多狀態快閃記憶體元件。 45·如請求項41之方法，其中： 99134.doc Ϊ266325 將 極 該程式電壓施加至該非揮發性儲存元件之一控制閘 46. —種用於程式化之方法，其包括： 為多狀態非揮發性儲存元件而執行一粗程式化階段， 4粗私式化階段包含流人—第—組電流，使得被程式化 至不同狀態之非揮發性儲存元件流入該第一組電流之不 同電流；及 藉由將該流入轉換至一第二組電流而為該等非揮發性 儲存元件轉換至一細程式化階段，使得被程式化至不门 狀態之非揮發性儲存元件流入該第二組電流之不 流。 1

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