TWI262815B - Fine particles separation treatment system and cyclone-type centrifugal separation device - Google Patents

Description

1262815 玫、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關去除不純物以獲得高純度之微粒子、溶 液的微粒子分離處理系統及旋風式離心分離裝置。 【先前技術】 、。在例如藥品、化學品、半導體、機能性材料等之生產 、σ矛中冑過濾洛液中所含的特定之微粒子以獲得微粒子 者/又纟機械加工ι，有—邊從4共給槽n給切削液一邊 =仃切削加工’然後將含有微粉末狀之切削屑的切削液供 給至過濾裳置，在該過濾裝置中去除切削屑並將切削液送 回供給槽者（例如曰本特開2001_137743號公報卜 如此’在過濾取得溶液中所含的特定之微粒子、或從 =^液過;慮去除切削屑的設備中，在處理路線中，槽、配 ,等之不純物會附著於微粒子，以致欲作成既定純度之微 粒^或切削液等之溶液時，有其限度。因此，藉由例如過 ^衣置:^離子父換裝置等之組合，雖然能提升純度，惟因 需要另外設置離子交換裝置之故，有構造複雜，成本高的 問題。 【發明内容】 本發明，係鑑於此種情況而開發者，其目的在提供一 種構造簡單，且低成本即能獲得高純度之微粒子、溶液的 微粒子分離處理系統及旋風式離心分離褒置。 為能解決前述課題，且達成目的，本發明作成如下之 構成。 5 315575 1262815 第1發明之微粒子分M^ 刀離處理系統具備： 辟存溶液之儲存槽； 以及 使前述儲存槽之溶液 衣的/谷液循環路線； 配置於前述溶液循環 的旋風式離心分離裝置，、、、’將溶液中之微粒子分離 珂述旋風式離心分離裝置具有·· 與前述儲存槽之溶液出口 與前述儲存槽之、容、液 、、v入通路， 從前u 奋液入口側相連通的流出通路； 攸刖述導入通路供入含 產生渦流，利用離心狀態使==⑷液而以既定流速 出通路排出分離掉微粒子 1側移動而從前述流 所刀離的微粒子沈降的旋風器部；以及 使 使在前述旋風器部沈降的微粒子通 粒子捕集箱，其特徵為： 、孔而沈表的 於f述粒子捕㈣之中讀置配置電極棒， 對别述電極棒及前述粒 施電氣分離。 …捕-相之電極施加電位以實 路二 =發明'，在使儲存槽之溶液循環的溶液猶環 、、泉中：備有將溶液中之微粒子分離的旋風式離 置，在此旋風式離心分雜梦w#门 床衣 所分離的微粒子沈降之二風器部使渴流減速以使 、…、u 在旋風器部沈降的微粒子 通過連通孔而沈殿在粒子捕集箱中，並對粒子捕集箱之中 心位置所配置的電極棒、及粒子捕集箱之電極施加電位， 315575 6 1262815 即可利用電場之影響而移動 液中之不純μ〜/ ( ctr〇ph〇resis)使溶 微粒子的寸者於電極棒或電極上’減少其附著於 得高純度溶:果能以簡單的構造且低成“獲 同二其中係對前述電極棒賊與和前述微粒子之電荷相 、I粒子捕集箱之電極賦與和前述彳1 # i 反的電荷以實施電氣分離。對電二相 相同的雷尸 ^ 1件趴共和被粒子之電荷 “ 1粒子捕集箱之電極賦與和微粒子之雷， 的電泳=::ΓΓ，即可利用受電場之影響而移動 闊的電極上ώ π、物離子附著於粒子捕集箱之面積廣 ]構造且低成本而4萑4曰古 料而獲侍咼純度之微粒子或溶液。 ，其中係於前述溶液循環路線中，且 而作動或進行作業的各 『肴有使用洛液 作動或進行作業。 4 4"使用南純度之溶液而 器部ΐ下Γ係將前述電極棒之上端部，延長至前述旋風 至粒子插：’因而可使從溶液之流速緩慢的旋風器部下部 ==箱止的微粒子從中心位置往外側移動，並附著 將代粒：；之下部及粒子捕集箱，防止其飛散而能有效地 將Μ粒子捕集到粒子捕集箱内。 並脾ΐ。’其中係於前述電極棒之上端部設置圓錐電極部， 士厂圓錐電極部定位於面臨前述連通孔之位置，因而可 处溶液之流速緩慢的旋風器部下部往粒子捕集箱沈激 315575 7 1262815 的微粒子從連通孔浮上。 又，前述旋風器部具有：位於上方的圓筒 … ίϋ钱如、土 /士 及從it匕 、5 σ卩連’而在下方縮小的錐度（taper)部，並 將前述電極棒的長度作成較前述圓筒部之直秤為 因而電極棒的電荷會變大而使微粒子從旋風器部:: 教子捕集箱移動，防止其飛散，而有效μ二二= 粒子捕集箱内。 于捕本到 又，前述粒子捕集箱之電極與前述電極 在前述連通孔之直徑以上，由於粒子捕集箱之電::：電:: f的間隔在連通孔之直徑以上，且粒子捕集箱之電極與電 亟棒的間隔較狹窄之故，可借科抑J2L ua ^ 又J便U粒子攸旋風器部的下部移 動至粒子捕集箱並保持，防止里 工4“ 于,万止其Η，而可有效地將微粒 捕木到粒子捕集箱内。此時，如使其較連通孔之直徑為 狹窄時，則缺少將微粒子捕集到粒子捕集箱内的空間，而 將間隔作成連通孔之直徑以上， 幻J ;保捕集用之空間。 ^第2發明之旋風式離心分離裝置，係具有：供入含有 U粒子的溶液而以既定流速古 、， 產生屬/瓜’利用離心狀態使微 粒子往外側移動而排出分 刀雕桿极粒子的溶液，並使前述渦 流減速以使所分離的微粒子沈降的旋風器部，·以及 使在前述旋風器部沈降的微粒子通過連通孔而沈殿的 粒子捕集箱，其特徵為： 於f述粒子捕集箱之中心位置配置電極棒， 對ϋ述電極棒賦與和前祕彡 引迷政粒子之電荷相同的電荷。 在此第2發明中，在粒早姑 千捕集相之中心位置配置電極 315575 8 1262815 棒，並對電極棒賦與和微粒 ★ ★ 之包何相同的電荷，即可扃 溶液之&逮緩慢的粒子捕集 W Π便从粒子從中心 側移動並附著於粒子捕隼箱 置 < 外 丁侦市相之内壁，防止其 效地將微粒子捕集到粒子捕集箱内。 σ μ第3!明之旋風式離心分離裝置，係具有：供入含有 被粒子的〉谷液而以既定流速產 ^ f 生/尚机，利用離心狀熊债料 粒子彺外側移動而排出分離掉 - 流減速以使所分離的微粒子…广液，亚使可述涡 _ 成祖于沈降的旋風器部，·以及 使在前述旋風器部沈卩备66 粒子捕集箱，其特徵為·· 切過連通孔而沈殺的 反的=述粒子捕集箱之電極賦與和前述微粒子之電荷相 在此第3發明中，剩_ # 2 & ★ ^子捕木箱之電極賦與和微粒子 之笔何相反的電荷，即六 在液之〉,,L速緩慢的粒子捕隼箱 内使微粒子從中心位罟分从如# 丁補木相 置彺外側私動並附著於粒子捕集箱之 内壁，防止其飛散，而可有效地 α/_ 令文也將被粒子捕集到粒子捕集 相内。 第4發明之旋風式離心分離裝置，係具有：供入含有 的溶液而以既定流速產生㈣，利用離讀態使微 tr外側移動而排出分離掉微粒子的溶液，並使前述滿 W減速以使所分離的微粒子沈降的旋風器部；以及 在~ I&風&。卩沈降的微粒子通過連通孔而沈激的 粒子捕集箱，其特徵為·· 於前述粒子捕集箱之中心位置配置電極棒、 315575 9 1262815 電極棒賦與和前述微粒子之電荷相同的電荷、 “I】述粒子捕集箱之電極賦與和 反的電荷。 I 丁 <甩何相 在此第4發明中，於粒子捕集箱之中心 棒，對電極棒賦盥和微趣+ -置电極 捕隹r ” 士 ......子之電荷相同的電荷，再對粒子 捕术相之電極賦與和微粒子之電荷相反的電荷，即可在、、容 液之流速緩慢的粒子捕集箱内使微粒子從中心位置往外制 移動並附著於粒子捕㈣ < < 夕卜側 地將微粒子捕集到粒子捕集箱内政’而可有效 【實施方式】 以^rzt發明之微粒子分離處理系統之實施形態加 …传#不限於本實施形態。又，本發明之實 於此。 較仏形恶者，本發明之用語並不限 本實施形態之微粒子分離處理系統 半導體、機能性材料等之生產、妒士 韦口化子0口、 定之微粒子加以分離時了二將溶液中所含的特 +。7 K 可廷擇性地獲得高純度的微粒 二A除溶液中之不純物離子時’亦廣泛被採用。 第1圖ΓΠ:微粒子分離處理系統之一例，係顯示於 :弟1圖係微粒子分離處理系統之概略構成圖。 本貝轭形恶之微粒子合雜考 溶液的儲存槽101、及使儲\样、⑻=係具備有：儲存 環路㈣、以及配置溶液循環的溶液循 -置在>谷液㈣路線丨02中以分離溶液 ❹子⑽風式離心分離裝置^在此溶液循環路線 315575 10 1262815 1 02中，具備有循環泵1 〇3，並 I便用此循裱泵1 03使溶液循 環。 此旋風式離心分離驻罢， 刀離衣置1具有：與儲存槽ιοί之溶液 出口側連通的導入通路5、及盥存 入一 1省孖槽1 〇 1之溶液入口側 連通的流出通路4、及；fii道λ、s Μ 及攸V入通路5供入含有微粒子的溶 液而以既定流速產生渦流，利、〜 、， 〜用離〜狀恶使微粒子往外側 移動並從流出通路4排出分離掩w 併出刀離掉被粒子的溶液，並使渦流 減速而使所分離的微粒子沈降 丁凡丨牛的碇風為部2 ;以及使在旋 風為部2沈降的微粒子通過連通 、逆逋孔而沈澱的粒子捕集箱 3 ° 在此粒子捕集箱3之中心位置配置電極棒1〇,並對此 電極棒1〇及粒子捕集箱3之電極η施加電位以實施電氣 分離。在此微粒子分離裝置1中，在旋風器部2使渦流減 速以使所分離的微粒子沈降之同時，使在旋風器部2沈降 的微粒子通過連通孔而沈殿在粒子捕集箱3中，並對粒子 捕集箱3之電極η賦與和微粒子之電荷相反的電荷，即可 ㈣叉電場之影響而移動的電泳使溶液中之不純物離子附 者於粒子捕集箱3之面 庠 帝 #貝廣闊的电極u，減少其附著於微 粒子的表面之情形，而簡 J間早的構造且以低成本獲得高 、、、屯度之微粒子或溶液。 又，亦可對經配置於粒子捕集箱3之中 棒10賦與和微粒子# 7电極 ^ 电何相反之电何，對粒子捕集箱3 之琶極1 1賦與和微粒子雷年 于之電何相问的電荷，而作成利用為 龟場之影響而移動的帝 〜 又 動的电冰使浴液中之不純物離子附著於電 315575 11 1262815 極棒1 ο，因為電極棒丨0之清潔或更換容易。 本貝施形態之微粒子分離處理系統之另一例，係顯示 :第2圖中第2圖係微粒子分離處理系統之概略構成圖。 本貫施形態之微粒子分離處理系統1 〇〇，係具備有：儲存 /合液的儲存槽101 ;使儲存槽1 〇 1之溶液循環的溶液循環 路線102 ;以及配置在溶液循環路線1〇2中以去除溶液中 的不純物的旋風器離心分離裝置i及各種裝置i 10。此旋 ，式離心分離裝置1係以與請相同的方式構成，各種 袭置11 0係放電加工機，係使用溶液而作動或進行作業 者而由於具備有旋風式離心分離裝備i故可使用高純度 之溶液而作動或進行作業。 /、 依據第3圖及第4圖，說明旋風式離心分離裝 置1之構成帛3圖係旋風式離心分離裝置之剖面圖、第 4圖係旋風式離心分離裝置之平面圖。本實施形態之旋風 式，〜刀離1置1，在垂直方向具有旋風器部2及粒子捕 集箱3。旋風器部2，係由樹腊等之絕緣體、或SUS(不錄 鋼)等之導體金屬所形成。此旋風器部2上部，在軸心上且 有流出通路4’在從軸心偏移的位置具有導入通路5。流出' 通路4,係由貫通旋風器部2上部的管體6所形成，導入 通路5,係由在旋風器部2上部—體成型的管體 旋風器部2,具有上下2段之錐形部以心、下成 之錐形部Μ係透過連通孔8而與粒子捕㈣3相連通。。 從導入通路5供入含有微粒子％的溶液而 …生渴流，利用離心狀態使微粒子90往外側移 315575 12 1262815 部2下部往粒子捕集箱3移 將涔抵早0Λ站社 止其氣放’而可有效地 將❹子90捕集到粒子捕集箱3内。 又’粒子捕集箱3之電極丨丨盥 係在連通孔8之直,m /、’極棒10的間隔D2’ M a t π ,, 。δ亥粒子捕集箱3之電極！ j 〜电極棒1 〇的間隔D2作楫鲈空 部2下部往粒子捕13^1 ，可使微粒子從旋風器 木私動亚保持，防止其飛散，而可 有效地將微粒子9〇捕集到粒子捕集 較連通孔8之直秤D3為| # 士 ^ 〇作成 3為狹乍時，則將微粒子90捕集到粒 于捕集箱3内的允r 丁 σ 工間不足，而將間隔D2作成連通孔8之 徑D3以上，則可確保捕集微粒子90的空間。 本實施形態之旋風式離心分離裝置丄中，在旋風器部 2沈降之經分離的微粒子％，將通過連通孔8而落下並積 存於粒子捕集箱3。在溶液之流速緩慢的粒子捕集箱3内， :中心附近會發生微粒子9〇浮上的現象，惟如於粒子捕集 相3之中心位置配置電極棒i 〇，並對電極棒1 〇賦與和微 粒子90之电何相同的電荷，對粒子捕集箱3之金屬環之電 =11賦與和微粒子9〇之電荷相反的電荷，即可使微粒子 =中心位置往外側移動並附著於粒子捕集箱3之金屬環之 弘極11之内壁，防止其飛散，而可有效地將微粒子90補 集到粒子捕集箱3内。 又’利用受電場之影響而移動的電泳使溶液中之不純 物離子附著於粒子捕集箱3之面積廣闊的電極n，可減少 附著於微粒子的表面的情形，而可以簡單的構造且以低成 本獲得高純度之微粒子或溶液。另外，在本實施形態中， 14 315575 1262815 極棒10賤與和微粒子9。之電荷相同的電荷， 可作成1 =3賦與和微粒子9G之電荷相反的電荷，但亦 作成只對至少一方賦與電荷的構造。 例，次，將另一實施形態之旋風式離心分離裝置之— 第5圖中。第5圖係旋風式離心分離 二圖。本貫施形態之旋風式離心分離裝置”，與】 其說明。 n的構成，係附以相同符號並省略 二 =形態：旋風式離心分離裝置i，係將電極棒1〇 ?:a延長至旋風器部2的下部。該電極棒 =:延長至旋風器部2的下部，即可使從溶液之流速 風器部下部至粒子捕集箱3止的微粒子9。從中： /外侧移動，使之附著於旋風器部2之下部 果相3之内壁，防止1m 到粒子捕集箱3内。而可有效地將微粒子9。捕集 例，^次^又另—實施形態之旋風式離心分離裝置之— 1夕J ’顯不於第6圖中。第6 R #门丄 圖係紋風式離心分離裝置之剖 面圖。本貫施形態之旋風式離心分離裝置丨中，盘 =圖之實施形態相同的構成，係附以相同符號並省二 本實施形態之旋風式離心分離裝^，係於電極棒1〇 的增設置圓錐電㈣13，並使此圓錐電極部"位於 通孔8之位置，而可藉由圓錐部13防止沈殿在粒子 捕木相3内部的微粒子從連通孔8浮上。 315575 15 1262815 [實施例] 第1圖之微粒子分離處理系統中，使用第7圖（a)所示 之無電極之與第3圖及第4圖相同構成之旋風式離心分離 衣置、及第7圖（b)所示之第1圖及第2圖之旋風式離心分 離衣置、及第7圖（c)所示之第5圖之旋風式離心分離裝 置、及第7圖（d)所示之第6圖之旋風式離心分離裝置，含 有微粒子的溶液，係使用含有氧化矽（silica)粒子的離子交 換水之分散劑作為試料，進行不純物附著至氧化矽粒子的 測定。 將此測定結果，表示於第8圖及第9圖。第8圖係對 二氧化矽原粉之氧化矽（Si)100%，以第7圖（a)所示之無電 極、第7圖（b)所示之標準電極施加50V、第7圖（c)所示之 延長電極施加50V、第7圖（d)所示之圓錐電極施加5〇v之 方式加以分離處理的情形，分別將粗粉、微粉之組成以數 值表示，第9圖係以圓形圖表示者。 如第7圖（a)所示之無電極時，粗粉為氧化矽（以）1〇〇% (第9圖（a))、微粉為氧化矽（Si)99.348%上附著有鐵（Fe)、 鎳（Ni)、鋅（Zn)、鍅（Zr)之不純物（第9圖（b))。微粉上顯著 附著有不純物。 如第7圖（b)所示之標準電極施加5〇v時，粗粉係氧化 矽（Si)99·8%上附著有鐵（Fe)、鎳（Ni)(第9圖（^)、微粉係 氧化矽（Si)99.901%上僅附著有鐵（Fe)(第9圖（d))。微粉與 粗粉之間幾無差別，微粉上幾乎看不到不純物之附著。 如第7圖（c)所不之延長電極施加5〇v時，粗粉為氧化 315575 16 1262815 石夕（8〇100%(第9圖（^)、微粉亦為氧化矽（以）1〇〇%(第9圖 (f))、粗粉、微物均無不純物之附著。 如第7圖（d)所示之圓錐電極施加50V時，粗粉為氧化 矽（Si)99.885〇/〇，而附著有鐵（Fe)(第9圖（g))、微粉為氧化 石夕（Sl)99_969%，而附著有锆（Zr)之不純物（第9圖（h))。粗 粉與微粉之間並無有意義的差別。 又’測定試料粉體之氧化矽粒子之分離效率。將結果 表不於第1 0圖。第1 〇圖中所示測定條件，係如下所述。 試料粉體：氧化矽粒子 为政劑·離子交換水 分散劑之溫度T : 3 41： 分散劑之流量q ·· 42〇公升/小時 分散劑之濃度Cp : 〇.2wt〇/o 入口側與出口側之壓力差ΛΡ : 0.2Kg/m2 pH ： 7 第8圖及第9圖中所示測定結果中，相較於第7圖 所示之無電極之與第3圖及第4圖相同構成之旋風式離心 分離裝置，第7圖(b)所示之第3圖及第4圖之旋風式離心 分離裝置、及第7圖⑷所示之第5圖之旋風式離心分離裝 置、及第7圖⑷所示之第6圖之旋風式離心分離裝置，能 分離分散劑之小粒徑，且分離效率有改善。特別是第7圖 (d)所示之第6圖之旋風式離心分離裝置能分離分散劑之小 粒子徑，且分離效率特別有改善，而獲得很理想的結果。 【圖式簡單說明】 315575 17 I262815 第1圖係微粒子分離處理系統之概略構成圖。 第2圖係另一實施形態之微粒子分離處理系統之概略 構成圖。 不」固你々疋风式離心分離裝置之剖面圖。 第4圖係旋風式離心分離裝置之平面圖。 第5圖係旋風式離心分離裝置之剖面圖。 第6圖係旋風式離心分離裝置之剖面圖。 第7圖（a)至（(1)係表示比較例及實施例之旋風式離心 分離裝置的圖。 第8圖係以數值表示微粒子之純度的圖。 :9圖⑷至(h)係以圓型圖表示微粒子之純度的圖。 弟1 0圖係顯示施力$丨X. - 4 的影響之圖。 到粒子捕集相之電位對分離性能 [元件符號說明] 1 2al 3 3b 4 6、7 9 11 13 100 旋風式離心分離裝置 2a2錐度部 粒子捕集箱 底蓋 流出通路 管體 排洩閥 電極 圓錐電極部 微粒子分離處理系統 2 2c 3a 3 c 5 8 10 12 90 101 旋風器部 圓筒部 下部排出孔 粒子捕集箱圓筒 導入通路 連通孔 電極棒 氣壓施加機構 微粒子 儲存槽 315575 18 1262815 103 循環泵 102 溶液循環路線 19 315575

Claims (1)

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申請專利範圍修正本 絲w (94年8月31曰） 一種U粒子分離處理系統，具備： 儲存溶液之儲存槽； 使前述儲存槽之溶液循環的溶液循環路線；以及 :置於前述溶液循環路線中，將溶液中之分 離的靛風式離心分離裝置， Θ it疑風式離心分離裳置呈有· =前述儲存槽之溶液出口側相連通㈣人通路； 興W述儲存槽之溶汸 ^二 入口側相連通的流出通路； =述導入通路供入含有微粒子的溶液而以既定 ::、，…尚流，利用離心狀態使微粒子往外側移動而從 亲以#通路排出分離掉微粒子的溶液，並使前述渦流 2分離的微粒子料料風H部；以及 ，在則迷旋風器部沈降的微粒子 殿㈣子捕集箱，其特徵為： 則述旋風器部具有：位於上方的圓筒部、及從此圓 筒部連“往下方縮小的錐度部， 及攸此0 於f述粒子捕集箱之中讀置配置電極棒， 將月'J述包極棒的長度作成較前述圓筒部之直徑為 長， 對别述電極棒及前 以實施電氣分離。…捕…電極施加電位 (修正本）315575 1262815 2 ·如申請專利範 對前述電極^項之微板子分離處理系統，其中 荷， 4與和前述微粒子之電荷相同的電 =述粒子捕集箱之電極賦與 何相反的電荷以實施電氣分離。 仙子之電 3 ·如申請專利範圚笛 、 項之微粒子分離處理系統，其中 ;引处，合液循環路線中，具備有使用 進行作業的各種裝置。 合成而作動或 4·如申^利範圍第1項之微粒子分離處理系統，其中 ^將刖述電極棒之上端部，延長至前述旋風器部之 如申Μ專利乾圍第丨項之微粒子分離處理系統，其中 於前述電極棒之上端部設置圓錐電極部，並使該 錐電極部位在面臨前述連通孔之位置。 、 士申叫專利範圍第丨項之微粒子分離處理系統，其中 則述粒子捕集箱之電極與前述電極棒的間隔，係在 如述連通孔之直徑以上。 7 · 種旋風式離心分離裝置，具有： 供入含有微粒子的溶液而以既定流速產生滿流，利 用每隹〜狀悲使微粒子往外側移動而排出分離掉微粒子 的溶液，並使前述渦流減速以使所分離的微粒子沈降的 旋風器部；以及 使在如述旋風器沈降的微粒子通過連通孔而沈殿 的粒子捕集箱，其特徵為： (修正本）315575 1262815 則述旋風ι§部具有：位於上方的圓筒部、及從此圓 筒部連續而往下方縮小的錐度部， 於17述粒子捕集箱之中心位置配置電極棒， 將雨述電極棒的長度作成較前述圓筒部之直徑為 長， 荷 8 · —種旋風式離心分離裝置，具有： ★供入含有微粒子的溶液而以既定流速產生渦流，利 用離心狀態使微粒子往外側f多動而才非出分離掉微粒子 的溶液，並使前述涡流減速以使所分離的微粒子沈降的 旋風器部；以及 使在則述旋風器部沈降的微粒子通過連通孔而沈 澱的粒子捕集箱，其特徵為： η邻：疋風器部具有：位於上方的圓筒部、及從此圓 问邛連績而往下方縮小的錐度部， 於：述粒子捕集箱之中心位置配置電極棒、 長，將'』这电極棒的長度作成較前述圓筒部之直徑為 荷 對前述電極棒賦與和前述微粒子之電荷相同的電 荷：=子捕集箱之電…和前述微粒子之電 項之旋風式離心分離裝 9.如申請專利範圍第7項或第 (修正本）315575 3 J262815 置，其中 將‘述電極棒之上端部，延長 部。 主則述靛風器部之下 •如申請專利範圍冑7項或第8項之旋届 置，其中 、又靛風式離心分離裝 於前述電極棒之上端部設置圓錐電極 錐電極部位在面臨前述連通孔之位置。卩立使4回 11·如申請專利範圍第8項之旋風式離心分離裝置 前述粒子捕集箱之電搞你1 A i ^ 1、f、n πj t ^ /、則述電極棒的間隔，係在 刖述連通孔之直控以上。 (修正本）315575 4 1262815 «MTV .. .Λ.»»'·"» -Λ* -•W-»—”t & 3騰正j年月ίΤ . I