TWI254179B - Liquid-crystal display panel and method for manufacturing same - Google Patents
Liquid-crystal display panel and method for manufacturing same Download PDFInfo
- Publication number
- TWI254179B TWI254179B TW089111852A TW89111852A TWI254179B TW I254179 B TWI254179 B TW I254179B TW 089111852 A TW089111852 A TW 089111852A TW 89111852 A TW89111852 A TW 89111852A TW I254179 B TWI254179 B TW I254179B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- electrode
- crystal display
- display panel
- liquid crystal
- film
- Prior art date
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 60
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 51
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 60
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 37
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 30
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 30
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 25
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 5
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 4
- 239000011325 microbead Substances 0.000 description 4
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- RGCKGOZRHPZPFP-UHFFFAOYSA-N alizarin Chemical group C1=CC=C2C(=O)C3=C(O)C(O)=CC=C3C(=O)C2=C1 RGCKGOZRHPZPFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001566 austenite Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000021168 barbecue Nutrition 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 238000003490 calendering Methods 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000002336 repolarization Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136227—Through-hole connection of the pixel electrode to the active element through an insulation layer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
- G02F1/13394—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
1254179 修正
_案號 89111852 1、發明說明（1) 亍面i::係有關於—種液晶顯示面&，以及製造液晶顯 =面板的方法，特別是有關於—種液晶顯示面&，= 4=之間=準確性，且其中避免如對比等顯示特 、、 以及衣造此液晶顯示面板的方法。 鞀一 Ϊ去’液晶面板1色和單色二種’已廣泛地用作為 顯不貧汛的方式。 q叩与 在此液晶面板中，在顯由 έ人 均句的間隙是重要的。』不為中所m板之間得到 門陴ί =由丙烯酸樹脂或8 1 〇2製成之稱為微珠粒的球型 間隙材枓，一般被置於 八主 相對基板被放置在其：其上形成TFT的靖板上，之後 妁祕i: 1在上述方法巾，因作為間隙材料的微珠粒被平 ^ ^ ^ ^ ^ ^, 〒才連接線上，在玻埚基板上的電荷等 ί會&成被珠粒分佈的變化，因而導致面板中間隙的不均 习。 隹5一個現象是微珠粒在玻璃基板之加壓的開口部份聚 木’因而擾亂液晶的gp A ^ 降低顯示品質。-向’而V致如顯示對比的損失，其 為了上述問題’有曰本專利公開公報編號第 10 282327 #、’形成為柱狀的非導電物質，做為在玻璃滤 光片上非顯不區域中的間隙間隔粒的發明。 在日本專利公開公報編號第S6 0 - 1 6472 3號中，有在 TFT上將絕緣物質形成為柱狀的發明。 有相似的技術，以相同的方式在m基板的顯示連接 線上將絕緣物質形成為柱狀的
2137-3281-pf2.ptc 第5頁 1254179 案號 891Π8Μ五、發明說明（2) 修正
上述技術自顯示區域中除去微珠粒，且在對庫於非開 間；：:⑽或連接線上方的區域之位置上，物形成 曰永間隔粒，使得在具有獨立彩色濾光片和tft基板之液 曰^板中，改善對比，I即使當形成間隔粒時，因有相對 2涛的部份，改善面板表面之間間隙的精確度，因而得到 己善顯示品質的效果。 」而上述技術貫際上，造成面板範圍間隙不均勻的 严口題，其中此為CF-on —TFT(彩色濾光片在TFT上）面板。 在CF —〇n-TFT技術中，在TFT開口部份，直接形成彩色 廣’以消除因彩色濾、光片基板和TFT基板之間的對準偏移 而在對準時發生的數值開口降低，且為一關於獲得大玻璃 基板，擴大顯示區域，和精細顯示晝素的有效技術。 在習知技術中，因CF-on-TFT結構，必須形成如4圖中 所示之各個彩色層，以延伸至TFT信號電極線和閘極 線。 此外，為了消除外界光自連接線的金屬反射，形成黑 色矩陣，不僅在TFT上方，還在信號電極線和閘極電極線 的上方。考慮T F T和各種線之間的位置準確性，應用如顏 料分佈法’印刷法，電鍍法和喷墨法之形狀應用方法。
_ 然而，以上述應用方法，各時間形成一層，在面板中 會發生0 · 1至〇 · 2 μ m之膜厚的變化，此變化易於在連接線 和TFT上特別大。 為此理由，在CF-on-TFT面板中，若柱狀間隔粒403在 連接線和TFT上方被形成為間隔粒4 03，會有黑色矩陣和彩 色@白勺交互作用，以及柱狀間隔粒應用的變化，而使面板
MM. 89111852 1254179 曰 修正 五、發明說明（3) 表面之間的間隙之均勻度變差。 在曰本專利公開公報編號第4- 22 6424號中，當組合具 有間隔粒或其他等等之一片電子裝置時，有使間二粒^其 他等等以具有鋁之金屬遮光層作為主要元件的發明，且在 曰本專利公開公報編號第4 —22 6424號中，有文句說明具有 間^粒置於彩色濾光片和相對基板之間液晶區域中的液晶 顯示面板。 然而，在該等發明中，沒有關於形成在具有度 的膜之部份中放置柱狀間隔粒的文句。 夕一因，’為了改善上述習知例中之缺點，本發明的目的 故一甘Ϊ提供一種液晶顯示面板，包括一彩色液晶顯示面 拉ii:皮内具優良均句性的間隙，而不使如對比之顯 不特性變差。 示面：乂f成上述目.的，本發明的第一型態'，為-液晶顯 y、 ’其中该液晶顯示面板包括複數個查夸·α及 基板21 6表面上之多層膜的表面的部份上，至少 該液晶顯示面板之複數個晝素之間的部份晝素上，且該 層膜的该部份具有微小的厚度變化。 、 6 面板2明^/態’為一方法，用以製造-液晶顯示 面板100，包括在基板216上各個複數個晝素區域中，妒 -彩色膜m ’ 一信號電極（一薄膜電晶體之源極電極/ 214 ’ -閘極電極212 ’以及一薄膜電晶體之汲極電極 小地於-部^^孔21〇上形成柱狀間隔粒
2137-3281-pf2.pt 第7頁 217 ’其上形成透明晝素電極2〇5，接著在該透明畫 K54179 荦?卢 曰 修正 ------^^89111852 五、發明說明（4) 2 03 ’·且接著敌置一相對基板2〇ι，苴 極2〇2/以與讀透明晝素電極膜205相對成相對共透明電 藉由利用上述構造，在根據本 用以製造液晶顯示面板 曰顯示面板和 型式之數目小，且門卩5初、士 W 心成在基板上的功能膜 μ 心 且間隔粒被形成在膜厚一直均 上。更明確地，例如，由靡田士於予直吟勾的接觸孔 祐 甘七〜Α、各 應用本^明至彩色液晶顯示面 ::、中杉色濾光片形成於Τ”上之彩色液晶顯示面板(後 ^中將以CF-c^-TFT面板稱之）中’為自薄膜電晶體之源極 $極214供給信號電壓至透明晝素電極2〇5 (後文中將以 TO稱之）的目的而設的接觸孔上，提供一柱狀突出物，作 為維持面板間隙的間隔粒。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更明 、頁易懂，下文特舉一較佳每 , 細說明如下： 車“…例，並配合所附圖式’作评 圖式簡單說明： 加椹ΓΛ圖係顯示根據本發明之液晶顯示面板的實施例之 木構的剖面圖； 透視Γ圖係顯示根據本發明之液晶顯示面板一般觀察之 之，3圖所7^為根據本發明之液晶顯示面板中晝素區域 之一例的平面圖； 第4圖所示為過去之、、右曰 — 圖； 之，夜日日顯不面板的架構例之剖面 例之ΐ 5播圖，顯而不根據本發明之液晶顯示面板的另一實施 例之架構的剖面圖； 2137-3281-pf2.pt 第8頁 1254179 案號 89111852 五、發明說明（5) 修正
苐6圖係顯示根據本發明 — I 明之，夜晶顯不面板的又一實 例之架構的剖面圖； 、U 第7圖係顯示根據本發明 — 哞4知明之液晶顯不面板的又一實旆 例之架構的剖面圖；以及 、 第8圖所示為根據本發明之液晶顯示面板與過去之液 晶顯示面板之間的特性值之比較圖。 符號說明： 100〜液晶顯不面板；201〜相對基板；2〇3〜柱狀間隔
粒、;/04·〜液晶；2 0 5〜透明電極膜；20 6〜覆蓋層，· 20 7〜彩色 濾光片；2 0 9〜絕緣膜；21〇〜接觸孔；211〜黑色矩陣；21 2〜 閘極電極；213〜非晶矽層；214〜信號電極；215〜彩色滹光 片；21 6〜TFT侧玻璃基板；217〜晝素電極；218〜薄膜電晶 體| 21 9〜間隙，· 220〜晝素部份；221〜晝素部份；31〇〜接觸 孔，4 0 3〜間隔粒；5 〇 1〜相對基板；5 〇 3〜柱狀間隔粒； 50 5〜TFT側透明電極；50 6〜覆蓋層；5 0 7〜彩色層；5 0 9〜絕 緣膜；5 1 0〜接觸孔部份；5丨2〜閘極電極；5丨3〜非晶矽層； 5 1 4〜信號電極；5 1 6〜TFT侧玻璃基板；6 〇 3〜柱狀間隔粒； 6 0 4〜；6 0 5〜晝素電極；61 〇〜接觸孔；7 〇 3〜柱狀間隔粒； 7 0 5〜TFT側透明電極；7丨〇〜接觸孔部份。
實施例： 明確地’第1圖所示為一液晶顯示面板丨〇 〇的架構之部 份放大圖’其為根據本發明之一實施例。在如第1圖中所 示之液晶顯不面板1 〇 〇中，柱狀間隔粒2 〇 3，形成且置於形 成在透明畫素電極2 0 5側之基板2 1 6表面上之複數層膜的部 份2 2 0上，在形成液晶顯示面板1 〇 〇之複數個畫素之畫素的
2137-3281-pf2.ptc 第9頁 1254179 案號 89111852 五、發明說明（6) 最小部份220及221上，其中膜厚的變化微小。 由於對上述過去問題持續的研究，已知道 207及215，閘極電極膜層212， 膜層(-薄膜電晶體之源極電極= 雷熇？ 1 7 w ^ ^ ^ . ； Ζ14涛Μ電晶體之汲極 ，：，、、色1陣臊層2 1 1，絕緣膜層2 0 8、2 0 9，覆蓋膜 層206，和透明晝素電極膜皿、 ? 1 R4 I 』 層5寻專，形成在透明基板在ΛΛ 5側’在其中該等層以複雜方式疊合 起的刀，接觸孔在晝素部份22〇和221中，為 於作為具有微小膜厚變化的部份。 〜、 σ 203 發明中’具有適當高度的柱狀間隔粒 2〇3，形成在弟3圖中所示之液晶顯示面板1〇〇 域之放大圖式中，如31〇所指示的接觸孔部份。）一素[ 第1圖所示為第3圖之液晶顯示面板1〇〇自切割 入之剖面圖。 因此，在根據本發明之液晶顯示面板丨〇〇中， :間隔粒203 ’以具有均句高度，在接觸孔21〇中下層膜的 厗度是均勻的，且良好地形成在任何接觸孔21〇上，使得 ^相對基板21 6和201之間的間隙被精確地設定在一指定 極202值得注意的是，所提供之基板2〇1包括一共同透明電 / j根據本發明之液晶顯示面板丨〇 〇中，柱狀間隔粒2 〇 3 1Ϊ透明晝素電極膜2 〇 5上，且進一步柱狀間隔粒2 0 3 〜形成在晝素電極（薄膜電晶體之汲極電極）21 7上，穿過透明晝素電極膜2 0 5。 Λ. 月 日 修正 彩色層 信號電極 2137-3281-pf2.ptc 第10頁 1254179 五、發明說明 案號 ⑺ 89111852_^ 月 曰 修正 此外，用於本發明之柱狀間隔粒2〇3可由非有機材料 和有機材料之一所製成。 此外’本發明之液晶顯示面板丨〇〇可為彩色液晶顯示 面板或早色液晶顯示面板之^一。 根據本發明之液晶顯示面板1 〇 〇的實施例，應用至事 色液aa顯示面板的情況，將在後文中進一步詳細說明。 明確地，第1圖所示為第3圖之液晶顯示面板1〇〇沿切 割線A-A之剖面圖，此顯示CF-on-TFT型液晶顯示面板 1〇〇。如此圖式中所示，在由信號電極（薄膜電晶體之源極 電極）214，閘極電極212，和畫素電極（薄膜電晶體之汲 極電極）217形成的薄膜電晶體（TFT)218上，使用曝光等 等將非晶石夕（a-S i) 2 1 3，彩色濾光片2 0 7和21 5，以及黑色 矩陣（BM) 21 1製形，其後放置柱狀突出物2〇3作為 21〇中的間隔粒。 巧接觸孔 柱狀突出物2 03形成液晶顯示面板丨〇〇的於二相對 曰曰 基板2 0 1和2 1 6之間，並建立而維持以一設定長度 的間隙21Θ 〇 從 形成在玻璃基板2 1 6薄膜電晶體側的表面上之複數 =膜的疊合數目相對較小，且各膜即不是非均句亦非種 :二如具有習知連接線的情況，有一以具有穩 製Γ接觸孔210，"粒形成在此具有小厚度
板中間隙的精確度。 门没 j改善S 得到：：：ί到在面板表面内液晶中的均勻延遲，因而3 付到具有改善之品質的顯示器。
如第3圖中所不，本發明之柱狀間隔粒3 〇 3，可位在所 有位在構成液晶顯示面板1 〇 〇的複數個晝素區域2 2 〇，2 2 1 等等上之接觸孔210上，且如有需要，以位在隨機地選擇 之晝素區域之接觸孔，或在畫素區域中在各個在預訂的位 置或以預訂的間隔之各個接觸孔上較佳。 特別是在彩色液晶顯示面板1 〇 〇中，理想上可在R，G 和B晝素區域中均句選擇的接觸孔3 1G上，提供柱狀間隔粒 30 3，且也可只選擇在R，G*B畫素區域之一晝素區域，且 在所有j部份的選擇晝素區域上提供柱狀間隔粒3〇3。 值得注意的是，於第3圖中標號3 〇 5、3 j丨、3丨2、 3 1 4、3 1 6分別各表示一薄膜電晶體侧透明畫素電極、一黑 色矩陣層、一閘極電極，一信號電極（薄膜電晶體之源極 電極）以及一薄膜電晶體。 因此’請參照第1圖，一a-Si層213形成於本發明的 TFT侧玻璃基板21 6上。在a-Si層21 3上提供一黑色矩陣 211 ’且在此上方進一步形成一覆蓋層2Q6。 覆蓋層20 6和彩色層207形成於TFT側透明電極2〇5的底 部，其間具有一接觸孔210。 一 TFT侧玻璃基板216，其上形成上述膜，被以一幾個微 米的間隔，由相對基板201，以液晶2 04夾在其間。 # 根據本發明，用以維持對應至相對基板2〇1之間隙的 柱狀間隔粒2 0 3，以幾微米的高度形成於接觸孔部份2〇1 上。在此貝施例中’希望柱狀間隔粒2 〇 3由有機材料开； 成，此之一例為丙稀酸樹脂。
2137-3281-pf2.ptc 第12頁 1254179案號89111852_年月曰 修正 __ 五、發明說明（9) 間隔粒2 〇 3。 在上述架構中，間隔粒的高度為TFT侧透明晝素電極 2 0 5，薄膜電晶體之源極電極21 7，絕緣膜2 0 9，和柱狀間 隔粒2 0 3的總厚度。 TFT側透明晝素電極2 0 5，絕緣膜2 0 9，薄膜電晶體之 沒極電極2 1 7及薄膜電晶體之源極電極2 1 4由濺鍍製程等等 所形成，其膜厚的變化在面板表面内可控制在幾十至幾百 埃。 柱狀間隔粒2 0 3由旋轉塗覆或印刷形成應用，接著由 曝光和顯影以實行製形，其膜厚為〇. 1至〇. 2 // m。 所以，間隔粒高度的變化幾乎等於柱狀間隔粒2 〇 3的 變化，效果為可使面板之間間隙的變化，為柱狀間隔粒 2 0 3的變化。 根據本發明之液晶顯示面板1 〇 〇的特性值，與具有過 去架構之液晶顯示面板的差別，示於第8圖中，其將用以 進一步說明本發明的效果。 第8圖所示為第2圖之B-B，平面中自設定面板間隙值 (中心值）偏移的量。 如由曲線D可見，在根據習知技術之液晶顯示面板1 〇 〇 中，液晶顯示面板的二端部份固定，但有對應於設定值大 量窄化間隙的趨勢，且在中心部份間隙明顯地大於設定 值。 相對於此，如由曲線C可見，在根據本發明之液晶顯 示面板1 0 0中，面板間隙精確度有明顯改善。
2137-3281-pf2.ptc 第13頁 1254179 五、發明說明 案號 (10) 89111852 年月日 修正 使用旋轉塗覆或印刷或其他可得到均勻膜方法，以施 加感光丙烯酸樹脂光阻至CF-on-TFT基板上，形成在TFT侧 破璃基板2 1 6自閘極電極2 1 2至T F T侧透明晝素電極2 0 5，此 膜施加至等於面板間隙所需的厚度，預熱到6 〇 至丨2 〇 c ’且接著使用光罩曝光以得到其預定形狀。 之後，做顯影，並在2 0 0 °C至2 5 0 °C做燒烤，以在預定 形狀之接觸孔部份21 0上得到柱狀間隔粒2〇3。 根據本發明之液晶顯不面板1 〇 〇的另^一實施例中，如 第6圖中所示，在形成TFT 618側畫素電極6 05之前，上述 柱狀間隔粒6 〇 3可被施加並形成，以得到相同的效果。在 此情況下’形成柱狀間隔粒6 〇 3的剖面區域，以小於接觸 孔部份6 1 0。 在第6圖中，根據本實施例，兩相對組立之基板6 1 6及 6〇 1，具有一特定之間隙，其間填充以一液晶層。並且， 所提供之基板601包括一共同透明電極602。 此外’標號6 0 5表示一透明畫素電極、標號㈤7及6 1 5 表示彩色層並且標號612、613、614、617及611分別各表 示一閘極電極膜層、一非晶矽膜層、一信號電極（薄膜電 晶體之源極電極）、一薄膜電晶體之汲極電極以及一黑色 矩陣層。 … 更又甚者，標號6 0 8及6 0 9分別各表示絕緣膜層且標號 606表示一覆蓋膜層。 而且，標號616表示一TFT側之玻璃基板。 而上述實施例說明使用感光丙烯酸樹脂的情況，可使 用如非感光丙烯酸樹脂或聚醯亞胺之有機樹脂材料，形成
2137-3281-pf2.ptc 第14頁
黑色矩陣的黑色樹脂，形成彩色層的彩色光阻，而得 同效果。 根據本發明之液晶顯示面板丨〇 〇的又一施來昭 第5圖詳細說明如下。 、 / Μ 明確地，在液晶顯示面板1〇〇的又一實施例中，如第5 圖中所不，柱狀間隔粒5 〇 3使用非有機材料形成。 更明確地，如第5圖中所示，一a —Si層513形成在TFT 5 1 8側玻無基板5 1 6上。在a - S i層5 1 3上形成一黑色矩陣 511，且在此上方形成一覆蓋層5⑽。
在TFT側透明電極5 0 5之下，形成覆蓋層2 0 6和彩色層 2 0 7 。 根據本發明，用以維持對應至具一共同透明電極5 〇 2 之相對基板5 0 1之間隙的柱狀間隔粒5 〇 3，以幾微米的高度 形成於接觸孔部份5 1 0上。在此實施例中，希望柱狀間隔 粒5 03由Si02製成。 在如上述架構之液晶顯示面板1 〇 〇中，間隔粒5 〇 3的高 度為T F T側透明晝素電極5 〇 5，絕緣膜5 〇 9，信號電極5 1 4， 和柱狀間隔粒5 0 3的總厚度。 在本實施例中，T F T侧透明畫素電極5 〇 5，絕緣膜 50 9，和信號電極膜514由濺鍍製程等等所形成，其膜厚的 變化在面板表面内可控制在幾十至幾百埃。 柱狀間隔粒5 0 3亦由濺鍍製程等等所形成，在曝光和 顯影完成之後實行製形，其厚度在面板表面内的變化在幾 十至幾百埃之内。 所以，可形成間隔粒，使得間隔粒高度的變化小於◦ ·
2137-3281-pf2.ptc 第15頁 1254179
間隙的變化，為柱狀間隔 1 V m ’效果為可使面板表面之間 粒5 0 3的變化。 、因此，使用濺鍍或真空瘵鍍或其他可得到均勻膜的方 f軛加心仏至“ —〇n —TFT基板上，形成在TFT側玻璃基板 516自閘極電極512至评丁側透明晝素電極5〇5，之後，曝光 用之光阻被施加，且使用光罩以得到其預定形狀。接著， 作蝕刻以將光阻剝離，藉以在預定形狀之接觸孔部份5〇 上得到柱狀間隔粒5 0 3。 於第5圖中，標號507及515表示彩色層並且標號5〇4、 5 〇 8、5 1 1及5 1 3分別各表示一液晶層、一絕緣層、一黑色 矩陣層以及一非晶矽膜層。 根據本發明之液晶顯示面板1 〇 〇的另一實施例，詳細 說明如下。 、在此實施例中，如第7圖中所示，在形成TFT側透明晝 素電極7 0 5之前，可使用濺鍍或真空蒸鍍等等以得到相同 效果。在此情況下，形成柱狀間隔粒7〇3的剖面區域，以 小於接觸孔部份7 1 0。 在弟7圖中，根據本實施例，兩相對組立之基板71 6及 701，具有一特定之間隙，其間填充以一液晶層7〇4。並 且’所k供之基板701包括一共同透明電極702。 此外’標號7 0 5表示一透明畫素電極、標號7 〇 7及7 1 5 表示彩色層並且標號71 2、71 3、71 4、71 7及711分別各表 示一閘極電極膜層、一非晶矽膜層、一信號電極（薄膜電 晶體7 1 8之源極電極）、一薄膜電晶體之汲極電極以及一黑 色矩陣層。
2137-3281-pf2.ptc 第16頁 1254179 修正 曰 案號 89111852 五、發明說明（13) 更又甚者，標號7〇8及70 9分別各表示絕緣膜層且 706表示一覆蓋膜層。 儿 而且，標號716表示一TFT側之玻璃基板。 由則述說明可見，根據本發明之液晶顯示面板丨〇 〇的 製造f法，例如，為在基板上各個複數個晝素區域中，妒 成一办色膜，一信號電極，一閘極電極，和一晝素 亚在其上形成透明電極膜，之後，在該透明電極膜上， 位在該晝素區域上的接觸孔的部份上，最小地形成柱狀 極朕相對，而以柱狀間隔粒插置其間。 电 本發明之製造方法的變化方法， 數個晝素區域中，形成一MI在基板上各個複 極，和一晝素電極，並直 Έ 該透明雷搞腔μ I在/、上形成透明電極膜，之後，在 ,,JL ." ' 位在該晝素區域上的接觸孔的部份 f =小地形成柱狀間隔粒’之 極，閘極電極，和晝素電極上 =^電 與透明電極膜相對，而以柱^ ^板’以相對共透明電極 藉由採用以上詳間隔粒Γ其間。 色液晶顯示面板，以制、生 液日日顯不面板，包括彩 ^ ^ , Φ 衣k此液晶顯示面板的方法，楫&丨 在面板表面内具有優良均句^万汝传到 特性變差。 3隙，而無如對比之顯示 限定發揭=離然其並非“ 第17頁 2137-3281>pf2.pt(
2137-3281-pf2.ptc 第18頁
Claims (1)
1254179 案號 89111852 修正 包括 申請專利範圍 1. 複數個 一柱狀間隔粒，形成且置於形成在 之基板表面上之多層膜的表面的部份上 液晶顯示面板之複數個晝素之間的部份 膜的該部份具有微小的厚度變化，其中 微小的厚度變化的該部份為一接觸孔， 隔粒形成在該透明晝素電極膜上。 2. ' 種液晶綠不®板’包括_ 複數個晝素；以及 一柱狀間隔粒，形成且置於形成在 之基板表面上之多層膜的表面的部份上 液晶顯示面板之複數個晝素之間的部份 膜的該部份具有微小的厚度變化，其中 微小的厚度變化的該部份為一接觸孔， 隔粒形成在一晝素電極上，該晝素電極 極電極，且穿過該透明晝素電極膜。 3. 如申請專利範圍第1項所述之液 該柱狀間隔粒甴選自由一非有機枋料和 之群組的材料所製成。 4. 如申請專利範圍第1項所述之液 該液晶顯示面板的型式為選自由彩色型 群組的一種型式。 5. 一種液晶顯不面板的製造力法’ 專利範圍第1或2項所述之液晶顯示面板 92 4,〜2 面對透明晝素電極 ，至少位在形成該 畫素上，且該多層 該晝素部份之具有 以及其中該柱狀間 邱對适明晝言電極 ，至少位在形成該 晝素上，且該多層 該晝素部份之具有 以及其中該柱狀間 係薄膜電晶體之汲 晶顯示面板，其中 一有機材料所組成 晶顯示面板，其中 和單色型所組成之 用以製造如申請 ，包括：
2137-3281-pf2.ptc 第19頁 1254179 _案號89111852_年月曰 修正_ 六、申請專利範圍 在基板上各個複數個晝素區域中，形成一彩色膜，一 信號電極，該信號電極係一…薄膜電晶體之源極電極，一閘 極電極，以及一晝京電極’該晝素電極係該薄膜電晶體之 >反極電極， 其上形成透明畫素電極膜； 接著在該透明晝素電極膜上，在位在該晝素區域上的 接觸孔的部份上，最小地形成柱狀間隔粒；以及 接著放置一相對基板，其上形成相對共透明電極，以 與該透明晝素電極膜相對。 6. —種液晶顯示面板的製造方法，周以製造如申請 專利範圍第1或2項所述之液晶顯示面板，包括： 在基板上各個複數個晝素區域中，形成一彩色膜，一 信號電極，該信號電極係一薄膜電晶體之源極電極，一閘 極電極’和一晝京電徑5該晝系電径彳乐該湾fe電晶體之没 極電極； 形成一枉狀間隔粒於該晝言電極上’該晝"^電往係該 薄膜電晶體之没往電極’最小地位在該晝裏區域上的接綱 孔的部份上； 接著在該透明電極膜上，在位在該畫素區域上的接觸 孔的部份上，最小地形成柱狀間隔粒； 在該彩色膜，信號電極，係該薄膜電晶體之源極電 極，閘極電極，和晝素電極，係該薄膜電晶體之汲極電極 上，除了柱狀間隔粒以外，形成該透明晝素電極膜，以及 接著放置一相對基板，其上形成相對共透明電極，以 與該透明晝素電極膜相對，而以該柱狀間隔粒插置其間。
2137-3281-pf2.ptc 第20頁
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17129499A JP3838818B2 (ja) | 1999-06-17 | 1999-06-17 | 液晶表示パネル及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWI254179B true TWI254179B (en) | 2006-05-01 |
Family
ID=15920643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW089111852A TWI254179B (en) | 1999-06-17 | 2000-06-16 | Liquid-crystal display panel and method for manufacturing same |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6870592B1 (zh) |
| JP (1) | JP3838818B2 (zh) |
| KR (1) | KR100386826B1 (zh) |
| TW (1) | TWI254179B (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018170949A1 (zh) * | 2017-03-20 | 2018-09-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板及其制造方法、阵列基板 |
| WO2021232495A1 (zh) * | 2020-05-18 | 2021-11-25 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及显示装置 |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW459275B (en) | 1999-07-06 | 2001-10-11 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device and method of fabricating the same |
| JP4646368B2 (ja) * | 1999-08-31 | 2011-03-09 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の作製方法 |
| KR100482469B1 (ko) * | 2000-11-25 | 2005-04-14 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 크로스 토크 방지용 액정표시장치 제조방법 |
| JP2002169166A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法ならびに画像表示応用機器 |
| JP2003084290A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-19 | Sony Corp | 液晶表示装置 |
| JP4362250B2 (ja) * | 2001-10-16 | 2009-11-11 | Ｎｅｃ液晶テクノロジー株式会社 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
| KR100433229B1 (ko) * | 2002-05-17 | 2004-05-28 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
| KR100840679B1 (ko) * | 2002-06-25 | 2008-06-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 횡전계 방식의 액정표시장치의 제조방법 |
| KR20040026375A (ko) * | 2002-09-24 | 2004-03-31 | 일진다이아몬드(주) | 액정 디스플레이 및 그 제조방법 |
| TW594232B (en) * | 2002-11-26 | 2004-06-21 | Hannstar Display Corp | A method of utilizing dual-layer photoresist to form black matrix and spacers on a control circuit substrate |
| JP4283020B2 (ja) | 2003-03-28 | 2009-06-24 | シャープ株式会社 | 液晶パネルおよびその製造方法 |
| US7286204B2 (en) * | 2003-03-28 | 2007-10-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Spacers for display devices |
| KR100981632B1 (ko) * | 2003-08-11 | 2010-09-10 | 삼성전자주식회사 | 어레이 기판, 이의 제조방법 및 이를 갖는 액정 표시 장치 |
| JP4092309B2 (ja) * | 2004-06-03 | 2008-05-28 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
| JP4761782B2 (ja) * | 2005-01-27 | 2011-08-31 | 東芝モバイルディスプレイ株式会社 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
| KR101157978B1 (ko) * | 2005-06-30 | 2012-06-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시패널의 제조방법 |
| TWI269075B (en) * | 2005-10-27 | 2006-12-21 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | Manufacturing method of color filter device, liquid crystal display panel and manufacturing method thereof |
| CN101126876B (zh) * | 2006-08-18 | 2010-05-12 | 北京京东方光电科技有限公司 | 薄膜晶体管液晶显示器像素结构的制造方法 |
| JP5467565B2 (ja) * | 2008-03-11 | 2014-04-09 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 電気光学装置、電子機器、カラーフィルタ基板及び製造方法 |
| TWI514039B (zh) * | 2014-01-13 | 2015-12-21 | Au Optronics Corp | 畫素結構 |
| CN206479745U (zh) | 2017-01-03 | 2017-09-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板及显示装置 |
| JP7248213B2 (ja) * | 2017-11-24 | 2023-03-29 | エルジー・ケム・リミテッド | 基板の製造方法 |
| JP7415384B2 (ja) | 2019-09-06 | 2024-01-17 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置および電子機器 |
| JP7342648B2 (ja) | 2019-11-25 | 2023-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置および電子機器 |
| JP2022055778A (ja) | 2020-09-29 | 2022-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置および電子機器 |
| CN113391488A (zh) * | 2021-05-20 | 2021-09-14 | 惠科股份有限公司 | 阵列基板、显示面板及阵列基板的制造方法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4763995A (en) | 1983-04-28 | 1988-08-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Spacers with alignment effect and substrates having a weak alignment effect |
| JPS60164723A (ja) | 1984-02-07 | 1985-08-27 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 液晶表示装置 |
| US4904056A (en) | 1985-07-19 | 1990-02-27 | General Electric Company | Light blocking and cell spacing for liquid crystal matrix displays |
| ATE142352T1 (de) * | 1990-05-31 | 1996-09-15 | Canon Kk | Flüssigkristall-farbanzeige und verfahren zu seiner herstellung |
| JP2954386B2 (ja) | 1990-05-31 | 1999-09-27 | キヤノン株式会社 | 電子機器の製造方法 |
| JP2953594B2 (ja) | 1991-04-18 | 1999-09-27 | 大日本印刷株式会社 | 液晶表示装置およびカラーフィルター |
| JP3999824B2 (ja) * | 1995-08-21 | 2007-10-31 | 東芝電子エンジニアリング株式会社 | 液晶表示素子 |
| JP3708593B2 (ja) * | 1995-09-06 | 2005-10-19 | 東芝電子エンジニアリング株式会社 | 液晶表示装置、及びその製造方法 |
| JPH0980447A (ja) * | 1995-09-08 | 1997-03-28 | Toshiba Electron Eng Corp | 液晶表示素子 |
| JP2907137B2 (ja) * | 1996-08-05 | 1999-06-21 | 日本電気株式会社 | 液晶表示装置 |
| JPH1068961A (ja) | 1996-08-29 | 1998-03-10 | Toshiba Corp | 液晶表示装置及びこの液晶表示装置の製造方法並びにこの液晶表示装置の駆動方法 |
| JPH1068955A (ja) * | 1996-08-29 | 1998-03-10 | Toshiba Corp | 液晶表示素子 |
| JP3819104B2 (ja) * | 1997-03-28 | 2006-09-06 | 東芝電子エンジニアリング株式会社 | 液晶表示装置 |
| JPH10282327A (ja) | 1997-04-09 | 1998-10-23 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルター |
| JP3019203B2 (ja) | 1997-04-18 | 2000-03-13 | 株式会社山栄プラスチック | ジョイント部材 |
| JPH1184386A (ja) * | 1997-09-01 | 1999-03-26 | Toshiba Corp | アクティブマトリクス型液晶表示装置 |
-
1999
- 1999-06-17 JP JP17129499A patent/JP3838818B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-06-16 US US09/594,721 patent/US6870592B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-16 TW TW089111852A patent/TWI254179B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-06-17 KR KR10-2000-0033502A patent/KR100386826B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018170949A1 (zh) * | 2017-03-20 | 2018-09-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板及其制造方法、阵列基板 |
| WO2021232495A1 (zh) * | 2020-05-18 | 2021-11-25 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及显示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6870592B1 (en) | 2005-03-22 |
| KR20010007429A (ko) | 2001-01-26 |
| JP2001005006A (ja) | 2001-01-12 |
| JP3838818B2 (ja) | 2006-10-25 |
| KR100386826B1 (ko) | 2003-06-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI254179B (en) | Liquid-crystal display panel and method for manufacturing same | |
| TWI273315B (en) | Orientation division type liquid crystal display, fabrication method thereof and image display method | |
| US6078378A (en) | Liquid crystal display with pixels having an opening formed from a photosensitive resin with spacers attached | |
| TW493100B (en) | Thin film transistor integrated device, method for manufacturing the same, and liquid crystal display apparatus | |
| JP4134106B2 (ja) | カラーフィルタ基板およびその製造方法ならびにそれを備えた表示装置 | |
| TWI234031B (en) | Method for forming post spacers in liquid crystal display | |
| TW594328B (en) | Color liquid crystal display panel, manufacturing method of the same | |
| KR101167312B1 (ko) | 미세 패턴 형성 방법과 그를 이용한 액정 표시 장치 및 그제조 방법 | |
| JP2003233064A (ja) | 液晶表示装置及びそのカラーフィルタ基板 | |
| TWI247959B (en) | Liquid crystal display device | |
| US7554646B2 (en) | Method of fabricating liquid crystal display device | |
| TW526365B (en) | Multi-domain vertical alignment liquid crystal display | |
| KR20030065396A (ko) | 횡방향 전계 액정 표시 장치 | |
| JP4562021B2 (ja) | カラーフィルタ基板およびその製造方法、表示装置 | |
| CN106526957B (zh) | 彩膜基板及其制造方法、显示面板 | |
| US6829024B2 (en) | Liquid crystal display having a reflective electrode and method for fabricating the same | |
| TW200532254A (en) | Liquid crystal display device | |
| JP2001133791A (ja) | 液晶表示装置 | |
| KR101166620B1 (ko) | 더미 패턴이 포함된 마스크를 이용하여 제조되는액정표시소자 및 이를 이용한 액정표시소자 제조방법 | |
| JPH08327814A (ja) | カラーフィルタの製造方法とカラー液晶表示素子 | |
| KR101130873B1 (ko) | 액정표시패널의 제조방법 | |
| TW200813536A (en) | Liquid crystal display panel and fabricating method thereof | |
| JPH05188385A (ja) | 液晶ディスプレイ | |
| US20070115420A1 (en) | Liquid crystal display device | |
| JP2010169888A (ja) | 表示パネル |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |