TWI243802B - Transparent substrate comprising metal components and use of such a substrate - Google Patents

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1243802 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1) 發明所屬之技術領域 本發明之一標的係爲一種含金屬成份之透明基板’尤 其坡璃透明基板，其能對長波長紅外輻射有作用。 將以該基板在電獎屏幕的用途來更詳細說明本發明’ 然而本發明不限於該用途，而可以將基板插入任何的電磁 屏蔽壁內。 先前技術 電漿屏幕包括一種夾陷在兩玻璃片之間的電漿源氣體 及位於屏幕的背板之內面上的發光體。在操作屏幕時，電 漿源氣體粒子與發光體之間的交互作用會產生具有電磁波 的輻射，其係位於8 0 0和1 0 0 0 n m之間的近紅外區 ，其之傳播主要係經由屏幕的正面，而可能成爲高困擾破 壞的來源，尤其就位置接近紅外線控制的設備而言，例如 遙控方式者。 再者，如同所有的電子設備，電漿屏幕具有可能產生 寄生輻射的驅動器，其必須不能干擾其它裝置，微電腦、 攜帶型電話等等。 爲了中止或至少減少此種輻射的傳播，在面對於屏幕 正面’有一问步透明且金屬化窗，以提供電磁屏蔽。 吾人已知的一種窗係由二p V B片所構成，其間藉由 黏著劑的黏合而保有一由波浪狀金屬線所形成的均勻金屬 篩網’該金屬線的方向係沿著二實質上垂直的方向且其表 現約5 0微米的厚度’篩網的開孔表現約〇 · 1 2 m m 2的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） —r--------^------IT------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -4 - 1243802 A7 _______ B7_ 五、發明説明（2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 正方表面積。然而’此解決方式對於大屏幕尺寸係令人不 滿意的，尤其因爲P V B之輕微的撓性以及積層階段期間 金屬織物之的張力需要，可能在積層板中造成開孔扭曲之 問題。 另一種解決方式爲藉由習用的光刻技術在玻璃基板上 直接沈積金屬篩網，及將此基板接合於屏幕的正面。 不論任一種解決方式，篩網通常係重疊的，俾金屬線 係平行於屛幕的邊緣，此迫使水平線與屏幕的像素成正交 。然而，當觀看者在某一角度注視屏幕時，此種篩網排列 可能產生一種疊紋（moir§ )效應，而明顯地對他有視學妨 礙。 爲了限制可能易於產生的疊紋效應，有角度的篩網排 列係較佳的，即金屬網的二實質垂直方向係以實質上與屏 幕像素成4 5 °來建立。然而，此種排列的改良有時係非 完全令人滿意的。 另一種可行的解決疊紋問題之方式，由專利申請案 F R 2 781 789可知，爲製造一插在聚（乙烯 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 丁醛）（P V B )片內的波形金屬線之篩網’該片本身結 合一玻璃基板，此發明的特徵爲安排二相鄰的線，它們表 現相同的取向，俾一個波形相對於另一個波形係有相位位 移。 回到在紅外區的透射問題，已知金屬導體尤其銀在紅 外區具有反射特性。因此’爲了藉由一種基板以增加電磁 屏蔽效果，如專利申請案FR 2 781 789中所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇>< 297公釐） -5- 1243802 ΑΊ Β7 五、發明説明（3) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 揭示者，玻璃基板（以使P V B內所倂入的金屬篩網被有 利地結合）包括至少二個銀層，厚度等於約1 0 n m。位 於兩層金屬氧化物型介電材料之間的層，當藉由陰極濺鍍 技術進行銀的沈積時，係能防止銀的劣化。 爲了使該基板具有額外美觀特性（俾其可彎曲以用於 電漿屏幕以外的用途）、機械特性（俾其係更強的）或安 全性（俾其在破裂時不會造成傷害），玻璃基板係接受彎 曲、退火或韌化類型的熱處理。爲了保持一功能層如銀的 完整性，尤其防止其在熱處理期間之劣化，一種已知的方 式係設計一疊薄層，俾其表現例如以下之順序： 玻璃/ S n〇2/Zn〇/Ag/Zn〇/S i 3N4 /ZnO/Ag/ZnO/S i3N4 雖然基板，尤其專利FR 2 781 789者， 會改善電磁屏蔽和疊紋問題。但是總是希望能夠更進一步 地改良目前解決方式的特性。 【發明內容】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明一目的因此在於防止電磁波在紅外區中經過電 漿屏幕時的透射缺點及克服疊紋問題（當以金屬篩網當作 解決電磁屏蔽問題的方式時），同時達成令人滿意的光透 射。爲此目的，提供一含金屬成份的透明基板，其特徵和 特性在於防止波在近紅外區中的透射。 依本發明第一觀點，透明基板，尤其玻璃者，係配備 有一疊薄層，其包括在紅外區中具有特性的至少二金屬層 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -6- 1243802 A7 B7 五、發明説明（4) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，最靠近基板者的厚度爲t i，而另一層的厚度爲t 2，厚 度的比例t ^ / t 2係介於〇 . 8和1 . 1之間，較佳介於 0 . 9和1之間，特徵在於：金屬層的總厚度t i + t 2係 介於2 7和3 0 n m之間，較佳介於2 8和2 9 · 5 n m 之間，保護性金屬層係緊鄰置於在上且接觸在紅外區中具 有特性的各層，及每平方基板的電阻係少於1 · 8 Ω。 保護性金屬層較佳係以一選自於鈮N b或鈦T i的單 金屬爲基礎。 此種組態首先可以增加相對於先前技藝厚度（約1 0 n m )的金屬厚度，增加電磁屏蔽及同時減少在近紅外區 的透射，俾至多1 5 %及大部分爲低於1 0 %，其次有對 稱的層厚度，以獲得至少6 5 %之令人滿意品質的光透射 T l且頗大於6 7 %。爲了將該基板應用於電漿屏幕，金屬 層的對稱厚度就屏幕外的反射而言當觀看沿著不同的入射 角度注視時係不會造成干擾，如結構工業中的一般情況， 其中砑光表面係當然較大。 該疊薄層可有利地表現以下順序： 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 玻璃/ S i 3N4/Zn〇/Ag/T i/S i 3N4/ Zn〇/Ag/Ti/Zn〇/S i3N4 在S i 3 N 4之後可將T i〇2置於基板上，俾洗〃 基板正面之反射的色彩，而因此產生一具有極佳色度的中 性美學產品。 本發明的基板亦非常有利地承受韌化或彎曲用的熱處 理。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -7- 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 1243802 A7 _ B7 五、發明説明（5) 依照一個特徵，薄層係互相連接且若將基板使用於電 氣設備時則意欲接地。 依本發明第二體系，透明基板，尤其玻璃者，包括金 屬線的網絡，其爲篩網形式，金屬線係根據厚度t和寬度 W來沈積，基板之特徵爲線的厚度t係介於8 0 n m和 1 2 // m之間，較佳介於2 0 0 n m和1 // m之間，且線 的寬度w係介於1 〇和6 0 // m之間，較佳介於；[5和 3 5 // m之間。 依照一特徵，金屬線係屬於銅或銀。 依照另一特徵，線係交纏以形成多個開孔〇，其之尺 寸在基板的表面上係非均一的，此使得能大大地減弱疊紋 效應。開孔側的輪廓長度係介於2 5 0和7 5 0 // m之間 〇 必須謹慎地相對於開孔的表面積，適當地選擇金屬線 的厚度和寬度，俾改良所組合的基板和屏幕之電磁屏蔽性 ，同時保持令人滿意的光學特性，有適於基板的透明程度 0 令人滿意的結果係在開孔尺寸以及金屬線的厚度和寬 度之間達成折衷協調，此使得能將3 0和1 1 〇 〇 μ Η Z 之間的電磁波減弱至少3 0 d Β。以此目標’開孔的總表 面積對於線沈積的總表面積之比率係大於6 5 % ’而基板 表現少於2 %的擴散透射。 爲了更減少疊紋效應，實質上爲平行六面體形狀的基 板之特徵爲金屬線的位置係在相對於基板邊緣的一角度。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） ----------批衣------IT------0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1243802 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____B7 五、發明説明（6) 製造基板的技術包括於光刻法（或譯微影法）中用金 屬線。光刻法係能產生非常線的金屬線，尤其小於4 〇 # m的寬度，此使得它們無法被觀看者所目視看到的。另 一優點爲完全控制所要獲得的開孔之不同形狀和尺寸，其 非由波化技術所可思及，如用於二p V B片之間所保持的 筛網者。此外，由於線的尺寸對於基板的擴散透射係有直 接之影響，即影響觀看者所可注視的屏幕之模糊性，所以 它們的厚度會有利地減少模糊效果。 金屬線較佳係經由一意欲接地的金屬條而互相連接， 尤其在將基板組裝於電漿屏幕上時。有利地在光刻階段期 間進行線對基板的電氣連接。 依照第三體系，含以上定義的金屬線之基板係與另一 透明基板組合，後者在一面上包括一種面向金屬篩網的一 疊薄層，該疊薄層包括至少一個銀型導電金屬層。在另一 可行的形式中，相同的基板包括金屬線在一面上，而一疊 含有至少一個銀型導電金屬層的薄層係在相反面上。 依照此最後體系的一個特徵，組合的基板表現第一體 系之基板的特徵。 爲了特別地使用本發明的基板（其位置靠著電漿屏幕 )，而將一抗反射塗層加在基板的外表面。此外，就安全 性而言，較佳爲將一種熱塑性膜覆蓋在金屬線或該疊薄層 上以製造一種積層的基板。 圖式簡單說明z 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） l·--------辦衣------1T------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -9- 1243802 A7 五、發明説明（7) 參照附圖來說明本發明的其它特徵和優點。 第1圖係依第一體系結合有電漿屏幕的透明窗之剖視 圖； 第2圖係依第二體系結合有電漿屏幕的透明窗之剖視 圖； 弟3圖係％ 1圖的另一*種替代形式； 第4圖係第2圖的另一種替代形式； 第5圖係依第三體系意欲結合有電漿屏幕的透明窗之 剖視圖； 第6圖顯示依金屬層之不同厚度比率，基板的光透射 第7圖顯示依金屬層之總厚度，紅外輻射的透射； 第8圖顯示依本發明的金屬篩網之部分頂視圖； 第9圖顯示對應於各種金屬篩網模型的電磁衰減； 第1 0圖顯示第9圖中所示的篩網模型之光透射和光 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 散射。 主要元件對照表 E 電漿屏幕 〇 開孔 1 透明窗 10 玻璃片 11 內面 12 外面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -10- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 金屬成份 薄層 金屬成份 金屬篩網 抗反射塗層 雙面黏合劑 黏合膜 玻璃 熱塑性聚合物 1243802 kl ___B7 五、發明説明（8) 2 0 2〇 2 1 2 1 3 0 4 0 4 0 5 0 6 0 實施方式 首先指出，與各種數量尤其是本發明的構件之厚度有 關的比例係未附於圖中，以便能較容易閱讀。 第1至5圖各顯示一種透明窗1 ，其意欲接合於電漿 屏幕E之正面。 在第1和2圖中，透明窗1係由單一基板如玻璃片 1 0所構成，其上沈積有具電磁屏蔽性的金屬成份2 0和 2 1° 在第3和4圖中，其分別爲第1和2圖的替代形式， 透明窗1係積層的玻璃，俾使其具有機械強度，而因此窗 的正面破裂時保護屏幕。 依照第一體系，金屬成份2 0係由至少二層的導電性 A g型功能層所構成。這些金屬層係插入一疊薄保護層內 ，較佳的順序係如下： 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公楚） ----.------装------1T------m (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 - 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 1243802 A7 B7____ 五、發明説明（9) 玻璃/ S i3N4/Zn〇/Ag/T i/S i3N4/ ZnO/Ag/T i/ZnO/S i 3N4 T i層構成銀的保護金屬層，特別防止銀的氧化。 T i〇2層可插於靠近玻璃的S i 3 N 4和Ζ η ◦之間 ，俾^先〃基板之反射的色彩。 藉由已知的陰極濺鍍技術，在意欲面向屏幕的基板之 內面1 1上沈積出所有的疊層。 最靠近基板的第一金屬銀層係表現一種厚度t i，其實 質上等於第二金屬銀層的厚度，俾厚度t i / t 2的比例係 介於0 · 8和1 · 1之間，較佳介於0 · 9和1之間。因 此，光透射係高度適合的，根據第6圖係大於6 7 %，如 可見光。圖上的點係對於不同的基板樣品，其中厚度比例 係在0 . 7至1 · 2 5中變動，基板表現較佳型態的疊層 〇 厚度t 1和t 2係遠大於目前技藝者，俾增加基板上的 金屬之總厚度t i + t 2，以增加電磁屏蔽及減少來自朝向 基板外側的屏幕之紅外輻射的透射。 因此，金屬層的總厚度t i + t 2係介於2 7和3 0 n m之間。爲了獲得朝向屏幕的紅外輻射之良好的反射， 即輻射至少可能通過基板，則選擇介於2 8和2 9 . 5 n m之間的金屬層總厚度將是較佳的，因此輻射的透射就 8 0 0 n m的波長而言係未超過1 3 %。 藉由依本發明控制功能性金屬和介電層之沈積以及其 厚度，及使用保護性金屬層，則所獲得的基板係非常有利 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） L--------裝------訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} -12 - ^43802 A7 、 _B7______ $、發明説明（1() 地表現少於1 . 8 Ω/ □的低電阻。此外，其能忍受任何的 韌化或彎曲用的熱處理。 堆疊之不同薄層的厚度値之例子係如下表中所示，厚 度t 1和t 2係1 4 n m : 玻璃 厚度（nm) ShN4 20 Ti〇2 5 Zn〇 10 ‘ Ag 14 ^ Ti 1.5 _ Si3N4 73 ^ Zn〇 10 ‘ Ag 14 ^ Ti 1.5 ^ Zn〇 10 ^ S13N4 22.5 玻璃基板1的外面1 2可配備有抗反射塗層3 0。 可藉由雙面黏合劑4 0使基板1黏附於篩網的正面。 黏合劑係位於基板之內面1 1周緣，或以薄膜形式提供， 其實質上拉伸在基板的整面內面1 1上。 在本發明第二體系中，金屬成份2 1係由C u或Ag 的金屬線網絡所構成，其爲篩網形式。使用已知的光刻技 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -柒· 、v 一口 經濟部智M財產局員工消費合作社印製 -13- 1243802 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（11 術使金屬線沈積在玻璃基板1 0的內面1 1上。外面1 2 可接受一種抗反射塗層3 0。就基板至筛網正面的黏附而 言，亦可如上解釋地使用黏合膜4 0來完成它。 金屬線的擺置較佳係在二實質上垂直的方向，及界定 多個開孔〇（第8圖）。線可爲直的，可表現正弦曲線形 狀，或可表現任何其它幾何形狀。 藉由增加篩網的金屬體積以強化電磁屏蔽。爲此目的 ，可以改變線的寬度w及/或厚度t。整個篩網的線可具 有相同的寬度和厚度，但是在基板之一點至另一點可改變 這些特徵。光刻方法係特別有用的，因爲其能完全控制金 屬沈積的厚度和寬度，且能容易地產生額外的構件，如匯 流排。與光刻法均等的方法，如光照相凹版法或光鏤法亦 可被採用。 線的寬度w係介於1 〇和6 0 // m之間。線的厚度係 介於8 0 n m和1 2 // m之間。 增加基板上的金屬體積，即增加金屬線的寬度及/或 厚度，則會增加電磁屏蔽。當孔徑（aperture )表面積增加 時，電磁屏蔽係成比例變得更令人滿意的。然而，必須將 紅外輻射所透射的總孔徑表面積列入考慮，該表面積係對 應於篩網之組合開孔◦的總表面積。此係因爲總孔徑表面 積係直接參與光透射，其必須足夠高以便經由基板以透明 方式讀取屏幕。 因此，開孔〇之總表面積與所沈積的金屬體之間必須 建立一種折衷協調，俾提供適合的電磁屏蔽，同時保護正 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ----r------辦衣------1T------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -14- 1243802 Α7 Β7 五、發明説明（θ 確的光透射。 第9圖就介於20和1100MHz的頻率而言，m 現不同方形開孔◦的各種篩網模型所產生的衰減（d B ) 之曲線，其之側面由二相對的線之內緣的分開距離所界定 ’係介於2 5 0和7 5 0 // m之間。 以上表中摘述各種模型Ml至M7。 I 扣衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 線 篩網模型/金屬 寬度w 厚度t 開孔側面 Ml/Cu 12 β m 12 β m 250 // m M2/Cu 50 β m 50nm 3 5 0 // m M3/Cu 60 β m 2 5 0 n m 3 5 0 // m M4/Ag 60 β m 80nm 350 // m M5/Ag 60 β m 1 2 0 n m 7 5 0 // m M6/Ag 60 β m 1 2 0 n m 1.5mm M7/Ag 30 μ m 2 0 0 n m 4 2 0 // m 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1 0圖係關於基板的光透射和光散射（亦稱爲擴散 透射）的測量，該基板包含第9圖的篩網模型Μ 1至Μ 7 〇 雖然就光透射（其大於8 0 % )而言，系統Μ 5和 Μ 6係令人滿意的且散射很少的光線（少於2 % )，然而 就電磁屏蔽而言其性能係很不好的（根據第9圖，衰減係 少於或僅約3 0 d Β )。 模型Μ 1就屏蔽而言係具有非常良好的性能（約5 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) Α4規格（210X 297公釐） -15- 經濟部智慈財產咼員工消費合作社印製 1243802 A7 ___B7 五、發明説明（θ d β的衰減），但是產生光散射，即影像的模糊度係太高 白勺’爲9 %的等級。 與之成對比地，模型Μ 7係正確的，具有大於3 0 d Β的屏蔽，最高接近5 0 d Β (就4 0 〇 Μ Η ζ等級的 頻率而言），且光透射係大於8 0%，具有約1.5%的 散射。 因此，線的尺寸較佳値係：線寬度w介於1 5和3 5 V m之間，且厚度介於2 〇 0 n m和1 // m之間。再者， 開孔◦的尺寸係界定爲使得開孔的光透射或者總表面積的 比率，即光透射的孔徑表面積相對於線的沈積表面積，即 防止光透射的表面積，係大於6 5 %，同時導入少於2 % 的擴散透射。 再者，爲了減少當觀看者以某一角度注視屏幕時所存 在疊紋效應，篩網相對於基板邊緣的位置角度係使得篩網 的線與篩網的像素形成實質4 5 °的角度。 爲了能最佳地減少疊紋效應，篩網的開孔0係表現可 變的尺寸，造成可變的孔徑表面積。藉由使線的互相間隔 變大或變小以可觀地減少疊紋效應，可以獲得該些不均勻 的開孔。 在二不同的體系（第3和4圖）之替代形式中，窗1 係屬於積層的玻璃。窗包括一片玻璃1 0，位置在正面且 構成金屬成份的基板，其對應於第3圖中的該疊層2 0和 第4圖中的篩網2 1 ，另一片玻璃5 0的位置在背面，意 欲面向屏幕，及一片基於例如聚（乙烯丁醛）（P V B ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） t---Μ------1衣------IT------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -16- 1243802 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（Η 的熱塑性聚合物6 〇，其係插在兩片玻璃之間。 坡璃片1 0和5 0的外面有利上設有一種抗反射塗層 3 0 〇 藉由一種夾緊裝置（未於圖示）或任何其它習用的裝 置來使積層的窗附著於屏幕。 最後，在第5圖所示的最後體系中，第二體系中所界 定的金屬篩網係結合第一體系的一疊薄層2 0。 因此，窗1包括一片玻璃1 0，其構成金屬篩網2 1 的基板，一片玻璃5 0，其構成該疊薄層之基板（配備如 上所述表現相同厚度特徵的兩銀層），及一片熱塑性聚合 物6 0，其隔開金屬篩網2 1與疊層2 0，俾充當作層的 保護膜及導入窗的積層。 銀金屬層的存在，會增加篩網中所已經存在的金屬量 ;因爲銀層係特別適合於阻止紅外區波長的輻射，所以此 種組態會改良屏幕的電磁屏蔽。 兩片玻璃1 0和5 0的外面有利上係配備有一種抗反 射塗層3 0。 藉由夾緊裝置使積層的窗係附著於屏幕，窗的正面因 此與帶有篩網2 1的基板或配備有疊層2 0者沒有區別。 明顯地在後者體系中，目的在於以金屬篩網使體系達 到最佳程度，其在一替代形式中可結合具有篩網的體系和 一使用具有不對稱厚度的二銀層之體系，如技藝中已知者 ，例如t i = 1 3 n m且t 2 = 9 n m，或替代地不使用二 銀層而使用單一銀層。此外，可以思及’若僅使用單一基 l·--------裝------訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格（2丨〇、〆297公楚） -17- 1243802 A7 B7 五、發明説明（1与 板，則其之一面上包括金屬篩網，而另一面包括金屬層（ 單或多層）。 所述的各種體系之金屬成份、金屬層及/或金屬篩網 係經由導電方式而連接至接地的屏幕之金屬點，以便使所 有的金屬成份接地。 ---"------1衣------IT------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） -18-

Claims (1)

1. ABCD 1243802 六、申請專利範圍 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 · 一種透明基板，尤其玻璃者，其包括篩網（2 1 )形式的金屬線網絡，金屬線係根據厚度（t )和寬度（ w )來沈積，其特徵在於：線的厚度（t )係介於8 0 n m和1 2 // m之間，且線的寬度（w )係介於1 〇和 6 0 y m之間。 2 ·如申請專利範圍第1項之基板，其中線的厚度（ t )係介於2 0 0 n m和1 // m之間。 3 ·如申請專利範圍第1項之基板，其中線的寬度（ w )係介於1 5和3 5 // m之間。 4 ·如申請專利範圍第1項之基板，其係結合另一透 明基板（1 0 )，包括在其中一個面上的一種面向金屬篩 網（2 1 )配置之一疊薄層（2 0 )，該疊薄層包括至少 一個銀型導電金屬層。 5 ·如申請專利範圍第1項之基板，其中，在含金屬 線的反面上’其包含一疊含有至少一個銀型導電金屬層的 薄層。 6 ·如申請專利範圍第1至5項中任一項之基板，其 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 中金屬係交纏以形成多個開孔（〇），且其尺寸係非均一 的。 7 ·如申請專利範圍第6項之基板，其中開孔的總表 面積對於金屬線沈積的總表面積之比率係大於6 5 %，而 基板表現少於2 %的擴散透射。 8 ·如申請專利範圍第6項之基板，其中開孔側的輪 廓長度係介於2 5 0和7 5 0 // m之間。 本纸張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 19- 1243802 A8 B8 C8 D8 _ 六、申請專利範圍 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 ·如申請專利範圍第1至5項中任一項之基板，其 表現實質上平行六面體形狀，其中金屬線的位置係在相對 於基板邊緣的一角度。 1 0 ·如申請專利範圍第9項之基板，其中金屬線係 由光微影法或光鏤法所產生者。 1 1 ·如申請專利範圍第1 〇項之基板，其中金屬線 係屬於銅或銀線。 1 2 ·如申請專利範圍第4或5項之基板，其中該疊 薄層包括在紅外區中具有特性的至少二銀層，最靠近基板 (1 〇 )者的厚度爲t i，而另一層的厚度爲t 2，厚度的 比例t i / t 2係介於〇 . 8和1 · 1之間，且銀層的總厚 度t ! + t 2係介於2 7 . 5和3 0 n m之間。 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項之基板，其中厚度比 例t〗/ t 2係介於〇 · 9和1之間。 1 4 ·如申g靑專利範圍第1 2項之基板，其中銀層的 總厚度t i + t 2係介於2 8和2 9 . 5 n m之間。 1 5 ·如申請專利範圍第1 2項之基板，其中該疊薄 層表現以下順序 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 玻璃/S i 3N4/Zn〇/Ag/T i/S i 3N4/ Zn〇/Ag/Ti/Zn〇/S i3N4。 1 6 ·如申請專利範圍第l項之基板，其中一片熱塑 性材料（6 0 )係結合於基板的整個表面及覆蓋金屬線。 1 7 .如申請專利範圍第1項之基板，其中金屬線係 互相電氣連接，且在使用基板於電氣設備的情況中係意欲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -20- 1243802 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 3 接地。 1 8 ·如申請專利範圍第1項之基板，其中相反於帶 有金屬元件的基板之面係包含一種抗反射塗層。 1 9 .如申請專利範圍第1項之基板，其係用於任何 的電磁屏蔽壁中。 2 0 · —種電漿屏幕，其在屏幕的正面上置放有至少 一個如申請專利範圍第1至1 8項中任一項之基板。 i ,t.-- (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Ad規格（210 X 297公釐） -21 -