TWI241220B - Air shower apparatus - Google Patents

Description

!241220 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種空氣洗塵裳置，更特別係有關於一 種空氣洗塵裝置’具有至少兩個噴嘴，係可穩定控制該空 氣洗塵裝置内之氣流流向。 【先前技術】 目前，無塵室（Clean Room)已係為半導體工業、液晶顯 示為、、生物化學、醫學等不可或缺之重要設施。特別係積 體電路、光學機械、及精密軸承等對於空氣中之浮游微= 或粉塵極為敏感，此將影響產品之品質、可靠性、及良 率。由於上述產品必須於良好之潔淨室内進行生產製造， 因此工業用之潔淨室在各種產業上已被廣泛使用。 一般而言，上述無塵室係提供一空氣洗塵裝置（Air Shower Apparatus)安裝於一入口處，當人員或其他物件 進入該空氣洗塵裝置内，該空氣洗塵裝置可以去除附著在 無塵衣或物件上之微粒或粉塵，如此使該無塵室之入口處 保持潔淨之環境。舉例而言，參考第1圖，一空氣洗塵裝 置1 〇包含一箱型主體1 2。該箱型主體1 2係藉由兩隔板1 4分 開成一空氣洗塵腔20(Air Shower Chamber)及兩空氣潔淨 腔30(Air Cleaning Chamber)分別位於該空氣洗塵腔20之 兩側。該空氣洗塵腔2 0係提供一前門2 2、一後門2 3、及一 通道24穿過該箱型本體12之中間部分。於上述之空氣洗塵 裝置10中，空氣係藉由一鼓風機32 (Bi〇wer)壓縮進入一空 氣室38(Air Chamber)内。於該空氣潔淨腔30之空氣具有 較低的壓力’而將該空氣洗塵腔2 〇之空氣通過一前過濾器

1241220 五、發明說明（2) 34(Pre-Filter)，® ^ 之該空氣室38内高壓的：戚微粒或粉塵。肖空氣潔淨室30 用以潔淨該空氣。複數；；嘴過-高效率過濾器4。’ 面26上。之後，該潔淨&係配置於該通道24之兩側 洗塵腔2◦，並直接喷氣於二 =個喷嘴5。喷進該空氣 著在無塵衣62或物件上之微粒或^他物件’冑此揚起附 上述空氣洗塵裝置通常使 方式去耗粒或粉塵。舉例嘴’以連續性喷氣 之洗塵流程為當人員或逸目前習知空氣洗塵裝置 將該空乳洗塵裝置之前後門閉鎖。然·， = 間内，兩側之喷嘴同時並連砵喳 、又疋、十 ^ λ n 連續喷出潔淨之空氣，並直接嗔 f於人貝或其他物件上。-般而t，於此配置下，猶 啟’藉由鼓風機的開啟與關閉控制該喷射 】=… 省工虱洗塵裝置之後門將打開， 違人貝或物件才能進入無塵室内。 =式喷C方式比連續性噴氣方式更能夠增進去除微粒 或叔塵之效果。脈衝式空氣喷射器（piUse 係藉 由間歇式+(1 ntermittent Type)或脈衝式（Pulsative Type)之喷氣方式以反覆產生衝擊力。該衝擊力出現於啟 動喷氣之開始，且可以更有效去除微粒或粉塵。另外，對 1用連續性喷氣方式之空氣洗塵裝置而言，通常會要求人 f先使用手拍打自己的無塵衣，再進行連續性噴氣，以提 高除塵效果。該脈衝式之喷氣係類似於人員使用手拍打自 己的無塵衣，如此可避免人員忘記拍打自己無塵衣而造成

1241220 五、發明說明（3) 較差之除塵效果。舉例而言，美國專利第6，5 0 7，1 2 0 B2 號，標題為"脈衝式空氣喷射產生器（Pulse Air Jet G e n e r a t ◦ r )π ，編入本文以為參考，揭示一種用於空氣洗 塵裝置之脈衝式空氣喷射產生器。 然而，不論連續性喷氣方式或哼間歇式喷氣方式之空氣 洗塵裝f，由於兩#之ι嘴同時^氣，將使密閉#間内產 生空氣.流（Air Turoulence)。此亂流將可能便〇被吹離 之微粒再附著於無塵衣或物件上，而降低該空氣洗塵裝置 之除塵效果。 有鑑於此，便有需要提供一種空氣洗塵裝置，能夠避免 產生空氣亂流，進而降低已被吹離之微粒再附著於無塵衣 或物件上的可能性。 【發明内容】 本發明之一目的係提供一種空氣洗塵裝置，具有至少兩 個喷嘴，係可控制該空氣洗塵裝置内之氣流流向，並避免 已被吹離之微粒或粉塵重新回到人體或物件上。 為達上述目的，本發明提供一種空氣洗塵裝置，其包含 一空氣洗塵腔。該空氣洗塵腔具有兩側面、至少一第一喷 嘴及至少一第二喷嘴。該第一喷嘴及該第二喷嘴係與一潔 淨空氣源頭相連接，配置於該兩側面之一者上，並交替的 開啟，用以將潔淨之空氣交替間歇式喷進該空氣洗塵腔。 根據本發明之空氣洗塵裝置之喷嘴，可穩定控制該空氣 洗塵裝置内之氣流流向。因此，該空氣洗塵裝置可產生一 具有方向性之氣流，將有助於氣流將已吹離之微粒或粉塵

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帶走’進而避免已吹離之微粒或粉塵重新回到人體或物件 為了讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更明 顯，下文特舉本發明之實施例，並配合所附圖示，作詳細 說明如下： ° / 【實施t式】 參考第2圖，其顯示根據本發明之賞施例之空氣洗塵裝 置110(Air Shower Apparatus)。該空氣洗塵裝置11〇係配 置於撕塵至（圖中未示）之入口處，其包含一箱型主體 11 2 ’係藉由兩隔板11 4分開成一空氣洗塵腔1 2 〇 ( a i r

Shower Chamber)及兩空氣潔淨腔 i3〇(Air Cleaning

Chamber)，分別位於該空氣洗塵腔丨2〇之兩側。該空氣洗 塵腔120係提供一前門122、一後門123、及一通道124貫穿 過該箱型本體112之中間部分。該空氣潔淨腔13〇具有一鼓 風機132(Blower)，以及一前過濾器i34(Pre-filter)安裝 於該空氣潔淨腔之入口 1 3 6，諸如該前過濾器1 3 4安裝於該 空氣潔淨腔之下方。 上於該空氣洗塵裝置1 1 〇中，空氣係藉由該鼓風機丨3 2，由 違工氧潔淨腔130壓縮進入一空氣室i38(Air Chamber) 内。於該空氣潔淨腔1 3 0之空氣具有較低的壓力，而將該 二氣洗塵腔120之空氣通過該前過濾、器i34(Pre-Filter)， 並進入該空氣潔淨室1 3 0。該前過濾器1 3 4係用以過濾微粒 或粉塵。一高效率過濾器1 4 〇係安裝於該空氣室1 3 8之出 D ’用以潔淨該空氣。複數個喷嘴150係配置於該通道124

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，，側面126上，舉例而言兩側各有8個噴嘴15〇，連接至 该=效率過濾器140。該空氣室138内高壓的空氣，係通過 ，咼效率過濾器140，由該複數個喷嘴丨50以高速脈衝式或 間歇式喷出，藉此吹離附著在無塵衣丨62或物件上之微粒 或粉塵。該噴氣速度係約2〇〜26 ffl/sec。根據本發明^一 實知例’該潔淨之空氣甴複數個崎嘴15〇依時間順芋且以 脈衝式喷進該空氣洗塵腔丨20中，籍此造成呈有衝 且 平順之氣流。 力外’一風機濾網機組170 (Fan Filter Unit ; FFU)係 I加裝於該空氣洗塵腔12〇之上方。該風機濾網機組17〇'通 兩係為無塵室之空氣洗塵裝置的辅助設備。 於第一特定實施例中，如第3圖所示，該空氣洗塵裝置 110之該通道124之一側面126具有該8個噴嘴150a、152a、 150b、152b、150c、152c、150d 及 152d。同理，該通道 124之另一側面126亦另具有8個喷嘴（圖中未示），分別對 應於該8 個噴嘴150a、152a、150b、152b、i5〇c、152c、 150d 及152d 。 參考第4圖，其顯示根據本發明之一實施例之脈衝式喷 氣循環，其中ON代表噴氣，亦即喷嘴開啟，〇FF代表不噴 氣’亦即嗔嘴關閉。當操作人員進入該空氣洗塵裝置1工〇 並將▲剞門1 2 2關閉時（時間τ為10 )，一第一預定時間後 (T = tl)，於一第一預定時間内（τ二tl〜t2)，該喷嘴、 152a)開啟並喷氣。之後，該喷嘴（150a、152a)關閉，並 於第三預定時間内（T = t2〜t3)，該喷嘴（15〇b、152b)開啟

1241220 五、發明說明（6) -- 並喷氣。之後，該喷嘴（150b、152b)關閉，並於第四預定 時間内（T二13〜t4)，該喷嘴（1 50c、1 52c)開啟並喷氣。之 後，該喷嘴（150c、152c)關閉，並於第五預定時間内 (丁二t4〜t5)，該喷嘴（150d、152d)開啟並喷氣。於此時 (T二15 ) ’該喷嘴（1 5 0 d、1 5 2 )關閉，而完成第一次之噴氣 循環，旦開始第一次喷氣循環（T = t 5 -19 )。一般而言，每 個喷嘴的開啟時間係相同的，亦即該第二、該第三、該第 四、該第五預定時間皆係相同的，舉例而言約為1秒。 如前所述，該8個噴嘴1 5 0由上往下依序喷氣，如此控制 氣流穩定往下流動，而降低該空氣洗塵裝置丨丨〇之空氣洗 塵腔1 2 0内之空氣亂流度。熟習此技藝者可知，視無塵室 102之需求而定，該空氣洗塵裝置丨10可採用各種不同的^'及 次數脈衝式喷氣循環，以達到更佳化的目的。顯示於第4 圖之喷氣循環僅係用以說明本發明，而非限制本發明。 一般而言，該喷嘴150可藉由一電磁閥i42(Solen〇id Valve)或一檔板（Damper)開啟或關閉。該空氣洗塵裝置 11 0可另具有一控制器，諸如可程式控制器，亦控制每個 該喷嘴150之開啟或關閉，進而實現該脈衝式喷氣循環。 另外，再參考第2圖，當複數個脈衝式噴氣循環執^ 時，可將該風機濾網機組1 7 0啟動，加強穩定氣流向下。 該風機濾網機組1 70之運轉時間係取決於該脈衝式喷氣循 環。更詳細而言’再參考第4圖，該風機濾網機組1 7 〇;可與 該喷嘴150、150b同時啟動（T = tl)，並於該脈衝式喷氣循、 環完成經過一第六預定時間（T = 11 0 )後關閉。 '

00795.ptd 第10頁 1241220 五、發明說明（7) 參考第5圖’其顯示根據本發明之另一實施例之脈衝式 喷氣循環，其中0 N代表喷氣，亦即噴嘴開啟，〇 ρ ρ代表不 喷氣，亦即喷嘴關閉。當操作人員進入該空氣洗塵裝置 1 1 0並將該前門1 2 2關閉時（時間T為10 )，一第一預定時間 後（T-tl) ’於一弟二預定時間内（T = tl〜t2)，該喷嘴 (150b、152b)以及該噴嘴（150c、152c)開啟並噴氣。之 後，該喷嘴（150b、152b)以及該喷嘴（150c、152c)關閉， 並於第三預定時間内（T = t2〜t3)，該嘴嘴（15〇a、152a)及 該喷嘴（150d、152d)開啟並喷氣。於此時（T = t3)，該喷嘴 (150a、152a)及該喷嘴（I50d、152d)關閉，而完成第二次 之喷氣循環，且開始第二次喷氣循環（T = t3 —15)。一般而 言，每個喷嘴的開啟時間係相同的，亦即該第二、及該第 三預定時間皆係相同的，舉例而言約為1秒。 該8個喷嘴150由中間往上下依序喷氣，如此控制氣流穩 定流動。熟習此技藝者可知，當噴嘴由中間往上下依序喷 氣時，另一前過濾器（圖中未示）係安裝於該空氣潔^腔、 1 30之上方，用以配合上述脈衝式噴氣循環，進而具有較 佳之穩定氣流。然而，若使用不同之脈衝式噴氣循俨，該 另一前過濾器可視狀況封閉。 衣 ^ 另外，再參考第2圖，當複數個脈衝式噴氣循環執行社 束後，可將該風機濾網機組170啟動，使氣流向下、a動了 ^ =产=考第5圖：該風機遽網機組17〇係：該脈 衝式赁乳循哀元成經過一弟四預定時間後（τ 、， 並於一第五預定時間内（T = 16〜7 )關閉。 ’亚

00795.ptd 第11頁 1241220 五、發明說明（8) 於第三特定實施例中，如第6圖所示，其顯示該8個噴嘴 (150a，、152a，、150b，、152b，、150c，、152c，、150d，及 152d’）係配置於該通道124之一側面126上。同理，另有8 個喷嘴亦係配置於該通道1 2 4之另一側面1 2 6上，分別對應 於該8 個喷嘴（150a，、152a，、150b，、152b，、150c，、 1 5 2 c ’ 、1 5 0 d ’及1 5 2 d ’）。舉例而言，於此配置下，該8個 喷嘴（150a，、152a，、150b，、152b，、150c，、152c,、 1 50d’及1 52d’）亦可依據前述第一實施例之該脈衝式噴氣 循環，依序喷氣。亦即，該噴嘴（丨5〇a，、1 52a，）先噴氣， 之後為該喷嘴（150b’ 、152b，）喷氣，之後為該喷嘴 (150c’ 、152c，）喷氣，最後為該喷嘴（15〇d，、152d，）噴 氣。該8個喷嘴依序喷氣，如此控制氣流穩定往下流動，、 其主要適用於單人之除塵處理。綜前所述，根據本發 空氣洗塵裝置之喷嘴150，具有複數個脈衝式噴氣循 可穩定控制該空氣洗塵裝置11〇内之氣流流向。因 空氣洗塵裝置no可產生1有方向性之氣流 ^ =流將已吹離之微粒<粉塵冑走，$而避免已 助於 或粉塵重新回到人體或物件上。 之Μ粒 發 雖然本發已以前述實施例揭示，然其並非用 明’任何熟習此技藝者，4不脫離本發明 ：：本 内，當可作各種之更動與修改 m ^ ^ 谓神和耗圍 、 u叹。因此本發明之但崎Μ 視後附之申請專利範圍所界定者為準。 保遠祀圍當

1241220 圖式簡單說明 【圖式簡單說明】 第1圖為先前技術之空氣洗塵裝置之前視示意圖，其顯 示其一半部係被透視。 第2圖為根據本發明之空氣洗塵裝置之前視示意圖，其 顯示其一半部係被透視。 第3圖為沿第2圖之該空氣洗塵裝置之剖線3 - 3之側視示 意圖。 第4圖為根據本發明之第一特定實施例之空氣洗塵裝置 之8個喷嘴之脈衝喷氣循環之時序圖。 第5圖為根據本發明之第二特定實施例之空氣洗塵裝置 之8個喷嘴之脈衝喷氣循環之時序圖。 第6圖為沿第2圖之該空氣洗塵裝置之剖線6-6之側視示 意圖。 圖號說明： 10 空 氣 洗 塵 裝 置 12 箱 型 主 體 14 隔 板 20 空 氣 洗 塵腔 22 前 門 23 後 門 24 通 道 30 空 氣 潔 淨 腔 32 鼓 風 機 34 前 過 濾 器 38 空 氣 室 40 南 效 率 過 渡 器 50 喷 嘴 60 人 員 62 無 塵 衣

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圖式簡單說明 102 無 塵 室 104 入 α 110 空 氣 洗 塵 裝 置 112 相 型 主 體 114 隔 板 120 空 氣 洗 塵 腔 122 前 門 123 後 門 124 通 道 126 側 面 130 空 氣 潔 淨 腔 132 鼓 風 機 134 前 過 濾 器 136 入 口 138 空 氣 室 140 高 效 率 過 濾 器 142 電 磁 閥 150 喷 嘴 150a 喷 嘴 150b 喷 嘴 150c 喷 嘴 150d 喷 嘴 150a’ 喷 嘴 150b’ 喷 嘴 150c’ 喷 嘴 150d’ 喷 嘴 152a 喷 嘴 152b 喷 嘴 152c 喷 嘴 152d 喷 嘴 152a’ 喷 嘴 152b’ 喷 嘴 152c’ 喷 嘴 152d’ 喷 嘴 160 人 員 162 塵 衣 170 風 機 渡 網 機組 00795.ptd 第14頁

Claims (1)

1241220 六、申請專利範圍 1、 一種空氣洗塵裝置，包含： 一空氣洗塵腔，具有兩侧面；以及 至少一第一喷嘴及至少一第二喷嘴，係與一潔淨空氣源 頭相連接，配置於該兩側面之一者上，並交替的開啟，用 以將潔淨之空氣交替間歇式喷進該空氣洗塵腔。 2、 依申請專利範圍第1項之空氣洗塵裝置，另包含： 一風機濾、網機組（Fan Filter Unit ;FFU)，安裝於該空 氣洗塵腔之上方。 3、 依申請專利範圍第1項之空氣洗塵裝置，其中該空氣洗 塵腔另包含至少一第三喷嘴及至少一第四喷嘴，配置於該 兩側面之另一者上，分別對應於該第一喷嘴及該第二喷 嘴。 4、 依申請專利範圍第1項之空氣洗塵裝置，其中該喷嘴包 含一電磁閥（Solenoid Valve)，用以控制該喷嘴之開啟與 關閉。 5、 依申請專利範圍第4項之空氣洗塵裝置，另包含： 一控制器，、用以個別的控制該電磁閥，以開啟或關閉該 喷嘴。 6、依申請專利範圍第5項之空氣洗塵裝置，其中該控制器

00795.ptd 第15頁 1241220 六、申請專利範圍 係為一可程式控制器。 7、 依申請專利範圍第1項之空氣洗塵裝置，其中該空氣洗 塵腔另包含至少一第三喷嘴及至少一第四喷嘴，配置於該 兩側面之該者上，其中該第一、該第二、該第三、及該第 四噴嘴係依序由上至下排列，且依序開啟再關閉，而依序 交替的喷氣。 8、 依申請專利範圍第7項之空氣洗塵裝置，其中該第一、 該第二、該第三、及該第四喷嘴係依序開啟一預定時間。 9、 依申請專利範圍第8項之空氣洗塵裝置，其中該預定時 間係為約1秒。 1 0、依申請專利範圍第1項之空氣洗塵裝置，其中該空氣 洗塵腔另包含至少一第三喷嘴及至少一第四喷嘴，配置於 該兩側面之該者上，其中該第一、該第二、該第三、及該 第四喷嘴係依序由上至下排列，且第二及第三喷嘴先開啟 再關閉，之後該第——及第四喷嘴開啟再關閉。 11、依申請專利範圍第1項之空氣洗塵裝置，其中該空氣 洗塵裝置係適用於一無塵室。 12、一種空氣洗塵裝置，包含：

00795.ptd 第16頁 1241220 六、申請專利範圍 一空氣洗塵腔，具有兩側面； 一空氣潔淨腔，包含： 一氣流入口，連接於該空氣洗塵腔； 一空氣室；以及 一鼓風機，係由該氣流入口處吸入空氣，並將該空氣 壓縮進入該空氣室；以及 至少一第一喷嘴及至少一第二喷嘴，連接至該空氣室， 並配置於該兩側面之一者上，並交替的開啟，用以將潔淨 之空氣交替間歇式喷進該空氣洗塵腔。 1 3、依申請專利範圍第1 2項之空氣洗塵裝置，另包含： 一第一前過濾器，配置於該氣流入口與該鼓風機間之空 氣流動路徑上。 1 4、依申請專利範圍第1 2項之空氣洗塵裝置，另包含： 一高效率過濾器，配置於該空氣室與該喷嘴間之空氣流 動路徑上。 1 5、依申請專利範圍第1 2項之空氣洗塵裝置，另包含： 一風機漉網機組（Fan Filter Unit ;FFU)，安裝於該空 氣洗塵腔之上方。 1 6、依申請專利範圍第1 2項之空氣洗塵裝置，其中該空氣 洗塵腔另包含至少一第三喷嘴及至少一第四喷嘴，配置於

00795.ptd 第17頁 1241220 六、申請專利範圍 該兩侧面之另一者上，分別對應於該第一喷嘴及該第二喷 嘴。 1 7、依申請專利範圍第1 2項之空氣洗塵裝置，其中該喷嘴 包含一電磁閥（S ο 1 e η 〇 i d V a 1 v e )，用以控制該喷嘴之開啟 與關閉。 1 8、依申請專利範圍第1 7項之空氣洗塵裝置，另包含： 一控制器，用以個別的控制該電磁閥，以開啟或關閉該 喷嘴。 1 9、依申請專利範圍第2 0項之空氣洗塵裝置，其中該控制 器係為一可程式控制器。 2 0、依申請專利範圍第1 2項之空氣洗塵裝置，其中該空氣 洗塵腔另包含至少一第三喷嘴及至少一第四喷嘴，配置於 該兩側面之該者上，其中該第一、該第二、該第三、及該 第四喷嘴係依序由上至下排列，且依序開啟再關閉，而依 序交替的喷氣。 2 1、依申請專利範圍第2 0項之空氣洗塵裝置，其中該第 一、該第二、該第三、及該第四喷嘴係依序開啟一預定時 間0

00795.ptd 第18頁 1241220 六、申請專利範圍 2 2、依申請專利範圍第2 1項之空氣洗塵裝置，其中該預定 時間係為約1秒。 2 3、依申請專利範圍第1 2項之空氣洗塵裝置，其中該空氣 洗塵腔另包含至少一第三喷嘴及至少一第四喷嘴，配置於 該兩側面之該者上，其中該第一、該第二、該第三、及該 第四喷嘴係依序由上至下排列，且第二及第三喷嘴先開啟 再關閉，之後該第一及第四喷嘴開啟再關閉。 24、依申請專利範圍第23項之空氣洗塵裝置，另包含： 一第二前過濾器，配置於該空氣潔淨腔之上方。 2 5、依申請專利範圍第1 2項之空氣洗塵裝置，其中該空氣 洗塵裝置係適用於一無塵室。

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