TWI235402B - A method for producing the gas discharge display screen - Google Patents

Description

1235402 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 具體涉及一種交流 a本發明屬於氣體放電技術領域， 等離子顯示幕的前基_製作方法。 【先前技術】 結構目氣體放電顯示幕均採用表面放電型 個域板及與之轉在-起的後基板，前

ϋ放㈣極純轉放f電極X和 質# ’在放電電極的絲覆蓋有一層介 負層，介質層上覆蓋-層介質保護層。所述的後基板上 配置有與放電電極相互垂直的定址電極，定址電極上覆 盍-層介制，介制上配置有與其定址f極平行的條 狀障壁，且在條狀障㈣底部覆蓋錢光粉層，前後基 板用低溶點玻璃粉封接在—起，並且在其間充有⑹、紅、

Xe等的混合放電氣體。 目前採用_印刷法制作氣體放賴示幕前基板的製作 過程如下： 1)採用光刻技術在玻璃平板先製作出透明電極，在 有匯流電極圖形的絲網印刷版上注人黑色銀漿料，黑色 銀漿料通過_印刷版漏印在_平板上的透明電極的 外侧上’隨後對黑色銀㈣進行烘乾、燒結，形成匯流 電極； 5 1235402 2) 經過圖形對位，在有黑條圖形的絲網印刷版上注 入黑色銀漿料，黑色銀漿料通過絲網印刷版漏印至已形 成匯流電極的玻璃平板上，對黑色銀漿料進行烘乾、燒 、、°燒去黑色銀漿料中的有機材料，形成黑條； 3) 然後，在玻璃平板的匯流電極和黑條上塗敷介質 層，經燒結，燒去介質層中的有機材料，至此前基板f 作完成； < 採用光刻法制作氣體放電顯示幕前基板的製作過程 如下： 1) 採用光刻技術在玻璃平板先製作出透明電極； 2) 將黑色感光性銀漿料印在玻璃平板上形成連續的 膜層，在曝光機内通過帶有匯流電極圖形的掩模板，而 對玻璃平板上的膜層進行曝光，之後進行顯影，再經烘 乾、燒結形成匯流電極； / 3) 將黑色感紐㈣料印在已形成匯流電極的玻璃 平板上，形成連續的膜層，在曝光機内經過圖形對位， 通過V有黑條圖形的掩模板對玻璃平板上的膜層進行曝 光，之後進行顯影，再經烘乾、燒結，燒去黑色銀衆料 中的有機材料，形成黑條； 4) 在已形成匯流電極和黑條的玻璃平板上塗敷介質 層，經燒結，燒去介質層中的有機材料，至此前基板製 作完成； 由於現有技術當中如果採用絲網印刷法，在每次製 1235402 備黑條圖形時都需要將有黑條圖形的漏印板與已形成匯 流電極的玻璃平板進行精確對位，保證黑條圖形漏印在 維持放電電極X和掃描/維持放電電極γ之間的非放電區 内，如果採用光刻法，在每次製備黑條圖形時都需要將 有黑條圖形的掩模板與已形成匯流電極的玻璃平板，進 订精確對位，轉紐，賴黑條目形形祕維持放電 電極X和掃描/維持放電電極γ之間的非放電區内。黑條 圖形與匯流電極圖形之間的間距數量單位是微米級，每 次如對位不精確，就會影響轉放電電極X和掃描/維持 放電電極Υ有效放電空間的形成，造成發光區不能够完 全發光和黑條對放電_巾産㈣本底光遮擋不充分， 對外界環境光的魏達不到最佳效果，這樣會導致屏發 光效率降低，晝面質量變差。 、另外’在形成匯流電極和黑條時，如果採用絲網印 刷法，需要兩塊不__印刷板進行兩次漏印、乾燥、 燒結；如果採用光刻法時，f要兩塊不_掩模板進行 兩次曝光、顯影、乾燥、燒結。此形成匯流電極和黑條 勺製作=藝繁;貞’耗費模板材料’造成招峨示幕的製 作成本高，生産效率低。 【發明内容】 。本發明目的在於提供—種簡化卫藝，能簡化生產流 程、减少設備投資、節約原材料雜量，提高圖形製作 的精度和轉子屏的晝面質量，同時提高生産效率，降 1235402 低生產成本的一種製作氣體放電顯示幕的方法。 本發明的技術方案是這樣實現的··採用絲網印刷製 作氣體放電顯示幕的方法，包括， ϊ)採用光刻技術在破璃平板上先製作透明電極，· 2)給絲網印刷版上注入黑色銀漿料，黑色銀漿料通 過絲網印刷版漏印在玻璃平板上；對漏印在玻璃平板上 的黑色銀漿料進行烘乾、燒結，燒去黑色《料中的有 機材料，形成匯流電極和黑條；透明電極和匯流電極構 成放電電極，放電電極包括轉放電電極〗 放電電極Y; 3)再在破璃平板的匯流電極和黑條上塗敷介質層， 經燒結，燒去介質層中的有機材料； 質層上用電子束蒸發成膜法，製作氧化鎮介 貝保遵Μ，至此前基板製作完成； 成==備好的前後基板進行封接、排氣、老煉即形 成氣體放電顯不幕； 張同ίΙΓ的匯流電極和黑條的製作過程是通過在一 入里色電極81形和黑條圖形的絲叫刷版上注 平Γ黑色銀㈣通過絲網印刷版漏印在玻璃 千板上的翻餘科侧技維 持電極放雷雷托V 电冤極X和知描/維 W敌衫極γ之間的非放魄上 行烘乾、燒結，_去 U銀漿枓進 流電極和黑條。枓中的有機材料，形成匯 1235402 對黑色銀漿料進行供乾時，烘乾溫度爲85__阶，時 間爲18-22分鐘、燒結溫度爲54(rc_56(rc，時間爲&犯 分鐘’燒去黑色銀漿料中的有機材料’匯流電極和黑條 的高度爲3-10微米。 …^' 採用光刻技術製作氣體放電顯示幕的方法，包括： υ採用光刻技術在麵平板上先製作出透明電極； * 2)將黑色感級轉料印在玻璃平板上形成連續的 膜層，在曝光機内通過帶有圖形的掩模板對麵平板 的膜層進彳博光’之後進行嶋彡，再麵乾、燒結，燒 去黑色感光性銀漿料中的有機材料，形成匯流電極和^ 條.，透明電極和匯流電極構成放電電極，放電電極_ 維持放電f極X和掃描/維持電極放電電極γ ; 3)在玻璃平板的匯流電極和紐上塗敷介 燒結，燒去介質層中的有機材料； 、… 心Λ)在介ff上用電子錢發編_氧化鎂介質 保tr蔓膜，至此荊基板製作完成； 、 5)將製備好的前後基板進行封接、 成氣體放電顯示幕； 謂即形 其所說的隨f極和黑條的製作触是 感光性銀㈣印在玻璃平板上形成連續的膜層，^ 曝光機内通過一張同時帶有匯流電極圖形和二二 :模板對玻璃平板上的膜層進行曝光，將電極圖圖= 條圖形從_板讀㈣_平板均料== ⑽ 1235402 ^和維持放電電極x和掃描/維持放 進行顯影，乾、燒結：色: 銀水料中的有機材料，形成匯流電極和黑條感 對黑色感紐轉料綠時，财、^ ；f：f18'22^-^ 5-c.eo^ 5分鐘，燒去黑色感光性銀漿料中的有機材、： 電極和黑條的高度爲3-10微米； '机 本發明通過將形成匯流電極和黑條的工藝 幷’貫現了黑條與匯流電極—次成型，如果採用絲網二 刷法，即將匯流電極圖形和黑條圖形製備在—張漏后 上，選用黑色Ag漿料，通過絲網印刷漏印一次成型。P士反 果採用光刻法實現，則需要把電極和黑條圖形製備在1 張掩模板上，在玻璃板上塗覆黑色感光性Ag漿料，再通 過曝光 '顯影完成匯流電極和黑條的一次成型。之樣不 僅避免了圖形對位，提高了圖形製作的精度和等離子屏 的晝面質量，同時簡化了生産流程，提高了生產效率， 還减少了産品材料的消耗及生產綫設備的投入，有利于 降低生産成本。 【實施方式】 附圖是本發明的具體實施例，下面結合附圖對本發 明的内容做進一步詳細說明： 請參閱第一圖所示，本發明所述的交流氣體放電顯 示幕採用表面放電型結構，包括一個前基板1及與之封 10 1235402 接在一起的後基板6，前基板1上配置有透明電極（i丁 〇) 2和匯流電極3，透明電極2和匯流電極3構成放電電 極，放電電極包括維持放電電極X和掃描/維持放電電極 Y，在放電電極的表面覆蓋有一層介質層4，介質層4 上覆蓋一層介質保護層5，在維持放電電極}(和掃描/維 持放電電極Y之間的非放電區内覆蓋有條狀黑色銀漿料 1 2，所述的後基板6上配置有與放電電極相互垂直的 定址電極7，定址電極7上覆蓋一層介質層1 1，介質 層1 1上配置有與其定址電極7平行的條狀障壁9，且 在條狀障壁9的底部覆蓋有螢光粉層8，前、後基板工、 6用低熔點玻璃粉封接在—起，並且在其間 ^ 、

Xe等的混合放電氣體。 氣體放電顯示幕各單元的放電過程是，首先曰在^ 掃描/維持放電電極γ (掃描/維持“ Υ和、准持放電電極X構成—個顯示行）之_ 它們之間産生放電，紐引起掃描/維持放電電 = 持放電電極X之間產生放電，完成該放電單元的:放 電，定址放電完成後即進人放電維持期， = 的單元使轉進彳t， 點亮狀態。 i疋址的早兀處於 參閱第二圖所示 幕的方法，包括： 採用絲網印刷製作氣體放電顯示 1)對基板玻璃進行清洗， 採用光刻技術在破螭平板 1235402 上先製作透明電極； 絲網印刷板上注人黑色銀羅料，黑色銀漿料通 過絲網印難神在_平板± ;龍印在玻 的黑色銀轉精烘乾、燒結，燒去黑色銀

放電電極Y =料’軸隨電極和祕，如雜倾流電極^ 成放電電極’放電電極包括維持放電電極X和掃描/維持 3)在玻璃平板的匯流電極和黑條上塗敷介質層，經 燒結’溫度爲560-570t，時間爲1(M5分鐘，燒去介質 層中的有機材料； 、 > 4)在介質層上帛電子束蒸發成酿㈣氧化鎮介質 保濩膜，厚度爲4_埃-7G0Q埃，至此前基板製作完成； 5)將製備好的前後基板進行封接、排氣、老煉即形 成氣體放電顯示幕； 其中所說的匯流電極和黑條的製作過程是通過在一 張同時具有匯流電極圖形和黑條圖形的_印刷板上注 入黑色銀漿料，黑色銀漿料通過絲網印刷板漏印在玻璃 平板上的透明電極的外側上和維持放電電極χ和掃描/ 維持放電電極γ之間的非放電區上，對黑色銀漿料進行 烘乾，烘乾溫度爲85-95^，時間爲18—22分鐘，然後再 進仃燒結，燒結溫度爲54(TC-56(Tc，時間爲25-35分 知，燒去黑色銀漿料中的有機材料，形成匯流電極和黑 12 1235402 條，匯流電極和黑條的高度爲3—10微米。 、貫施例·採用絲網印刷製作氣體放電顯示幕時， 對於對角線長爲42英寸的顯示幕，先準備高炼點的 PD-200玻璃基板一塊，對基板玻璃進行清洗，採用光刻 技術在玻璃平板上㈣作透明電極，在同—張絲網印刷 板上製作出匯流電極圖形和黑條圖形，匯流電極圖形寬 9〇μιη，黑條圖形寬17_’匯流電極與黑條圖形的間距爲 45卿’在具有匯流電極圖形和黑條圖形的絲網印刷板上 注=黑色銀_ ’這樣就省去了黑條圖形與已製作好的 匯流電極圖形進行對位的過程，然後黑色銀㈣通過絲 網印刷版漏印在玻璃平板上的透明餘的外側上和維持 放電電極X和掃描/維持電極放電電極γ之_非放電區 上，再對黑色銀漿料在乾燥爐進行烘乾，其溫度9〇。〇， 時間20分鐘、在燒結爐進行燒結’燒結溫度55〇七，時 刀崔里，燒去黑色銀漿料中的有機材料，形成匯流電 極和黑條，極和祕的高度㈣6微米。再在破 离平板的匯流電極和黑條上面塗敷介質層，其介質層主 添成刀爲破璃粉Pb〇. β2〇3· Si02和樹脂粘結劑等有機溶 刻。^要的功用是在使用交流電時，絲作爲儲存電荷 ^容及在驅動前基板上的電極時，介㈣能夠提 i、土^荷以降低所需之驅動電壓，並提供記憶維持狀態 。紅燒結’燒結溫度5航，a夺間12分鐘，燒去 、中的有機材料，爲了提南電極的放電壽命，還要 13 1235402 在介質層上用電子束蒸發成膜法製作氧化鎂Mg〇保護 膜’ MgO保護膜主要以氧化鎮製作，其主要作用是隔絕顯 示幕的放電單元和其它部分，避免前基板的維持放= 極X和掃描/維躲電電極丫電極部分在#離子屏 的過程中受_子的撞擊，以保護底下的各層材料:除 此之外，尚可提供較高的二次電子發射效率，以降低^ 生氣體放電所㈣最低啓動魏，厚度_埃，至此^ 基板製作完成；將製備好的前後基板進行封接、别 老煉’即形成氣體放電顯示幕。 ;; 一…八〇议诃週枉问上述實施例一。 實施例二：在對黑色銀滎料在乾燥爐進行 其溫度阶，時間18分鐘，在燒結爐進行燒結；J、 度=，_25分鐘，燒去黑色銀糾中的有機^ 形成匯々,L電極和黑條，匯流電極

MgO保護膜厚度侧埃；"、、條‘度44微米 其溫~分鐘，在 度56〇°Γ摘％分鐘，燒去黑色銀漿料中的 形成匯抓電極和黑條，匯流電極和黑條的高 米’ MgO保護膜厚度jQ卯埃。 又’’、、 參閱第三圖所示’採用光刻技術 顯示幕的方法，包括： 衣作虱體放1 1)對基板玻璃進行清洗， 採用光刻技街在破璃平板 14 1235402 上先製作出透明電極； ★ 2)將黑色感光性銀n料印在玻璃平板上形成連續的 膜層’在曝光機内通過帶有圖形的掩模板對玻璃平板上 勺骐層進行曝光’之後進行顯影，再經烘乾、燒結，捧 去黑色感紐聽料中的有機材料，軸匯流電極和^ 條’透明電極和匯流電極構成放電電極，放電電極包括 、、隹持放電電極X和掃描/維持放電電極Y ; 、3)在玻璃平板的匯流電極和黑條上塗敷介質層，經 丈疋結’燒結溫度爲560-570°c，時間爲10一15分鐘，择 介質層中的有機材料； ^ μ在介質層上用電子束蒸發成膜法，製作氧化錢介 為保護膜，至此前基板製作完成；以及 5)將製備好的前後基板進行封接、排氣、老煉即形 成氣體放電顯示幕； 〜其所述的匯流電極和黑條的製作過奴，先將黑色 感光I·生銀賴印在玻璃平板上形成連續賴層，然後在 為内通過關¥帶有匯流電極圖形和黑條圖形的 、板對破璃平板上的膜層進行曝^，將電極圖形和黑 條圖形從掩模板上複印到玻璃平板上的透明電極的相 2維持放電電極X和掃描/維持放電電極丫之間的非 r隨後進行顯影，再經供乾，烘乾溫度爲85-95 分鐘’然後再進行燒結，燒結溫度爲540 C ’時間爲25-35分鐘’燒去黑色感光性銀裝料 15 1235402

高度爲3〜1〇微米； 採用光刻技術製作氣體放電顯示幕時， 〖50英寸的顯示幕，先準備高熔點的 ‘一塊，採用光刻技術在玻璃平板上先製 對於對角線長爲50 ^ PD〜200破璃基板一塊， 作ψ ^丨低工ΤΌ果 Θ電極’將黑色感紐銀II料印在玻璃平板上形 2續的膜層’膜層厚度爲15μπ1，然後在曝光機内通過 張问時帶有匯流電極圖形和黑條圖形的掩模板對玻璃 反上_相紫外燈照射進行曝光將電極圖形和黑條 y從掩模板上複印到玻璃平板上的透明電極的外側上 ^持放電電極X和掃描/維持放電電極γ之間的非放 品上’隨後進行顯影，再經烘乾，供乾溫度啊，時 Β ϋ ί鐘、在燒結爐進行燒結，燒結溫度55代，時間 刀名里燒去黑色感光性銀漿料中的有機材料，形成匯 流電極和黑條，其匯流電極和黑條的高度約爲6微米。 再在破璃平板_流電極和黑條上面綠介質層，介質 ^成分爲玻璃粉 =劑。主要的功用是在使用交流電時，㈣作爲儲存 ’’何之電容。以及在驅動前基板時，介f層能夠提供壁 電荷以降低所需之驅動雜，並提供記憶維持狀態的功 能。經燒結，燒結溫度5蚊，時間12分鐘，燒去介質 =中的有機材料，爲了提高電極的放電壽命，還要在介 質層上用電子束蒸發成膜法製作氧化鎂MgG保護膜，％0 16 1235402 保護膜主要以氧化鎂製作，其主要功用是隔絕顯示幕的 放電單元和其它部分，避免前基板的維持放電電極X和 掃描/維持放電電極γ部分在等離子放光的過程中受到 離子的撞擊，以保護底下的各層材料。除此之外，尚可 提供較兩的二次電子發射效率，以降低産生氣體放電所 需的取低啓動電壓。厚度5500埃，至此前基板製作完成； 將製備好的前後基板進行封接、排氣、老煉，即形成氣 體放電顯示幕。 貫施例五、六的其它技術過程同上述實施例四。 只施例五：在對黑色銀漿料進行在乾燥爐進行烘乾 時供乾溫度85 C，0夺間18分鐘、在燒結爐進行燒結， 燒結溫度545t，時間25分鐘，燒去黑色銀漿料中的有 機材料域匯流電極和黑條，紐電極和黑條的高度 爲4微米，MgO保護膜厚度4〇〇〇埃。 士貝知例八·搞黑色銀漿料進行在乾燥爐進行供乾 吟，烘乾溫度95°C，時間乃八# 士沾 蛑心心阶士間22刀备，在燒結爐進行燒結， k456〇c ’時間35分鐘，燒 機材料，形成匯流電極和里A陌、“巴民水抖中的有 _ 矛…、么卞’匯流電極和愛棒的古疮 爲10微米，Mg0保護膜厚度7000埃。’…、〜 以上方法適用任何尺寸氣體放電顯示 [圖式簡單說明】 第一圖是交流氣體放電顯示幕結構示意圖； 第二圖是本發明採用絲網印刷法製作 匯流電極及黑條的 17 1235402 流程圖；以及 第三圖是本發明採用光刻法制作匯流電極及黑條的流程 圖。 【主要元件符號說明】 前基板 1 透明電極 2 匯流電極 3 介質層 4 介質保護層 5 後基板 6 定址電極 7 螢光粉層 8 障壁 9 介質層 1 黑色銀漿料 12 18

Claims (1)

1235402 十、申請專利範圍： 其係採用絲網 1、一種製作氣體放電顯示幕的方法， 印刷，該方法包括： 1)採用光刻技術在玻璃平板上先製作透明電極； 、2)給絲網印刷版上注入黑色銀漿料，黑色銀漿料、雨 過絲網印刷版漏印在玻璃平板上；對漏印在破璃平= 的黑色銀漿料進行烘乾、燒結，燒去黑色銀漿料中 機材料，形成匯流電極和黑條；透明電極和匯流電極構 成放電電極，放電電極包括維持放電電極χ和掃描/ 放電電極γ; f 3) 再在玻璃平板的匯流電極和黑條上塗敷介質層， 經燒結，燒去介質層中的有機材料； 4) 在貝層上用電子束蒸發成膜法製作氧化鎂介質 保護膜，至此前基板製作完成；以及 、 5) 將製備好的前後基板進行封接、排氣、老煉即形 成氣體放電顯示幕； 其特徵在於： 所說的匯流電極和黑條的製作過程是通過在一張同 時具有匯流電極圖形和黑條圖形的絲網印刷版上注入黑 色銀漿料’黑色銀漿料通過絲網印刷版漏印在玻璃平板 上的透明電極的外侧上和維持放電電極X和掃描/維持電 極放電電極Y之_非放電區上，對黑色銀漿料進行供 乾、燒結’燒去黑色銀㈣中的有機材料，形成匯流電 極和黑條。 19 1235402 2、如申請專職m第1項所述之製作氣體放電顯示 幕的方法，其巾對黑色銀㈣進行烘乾時，烘乾溫度爲 85-95°C，時間爲18-22分鐘。 3、如帽專利减第丨項所叙製作氣體放電顯示 —的方法，其找黑色銀輯巾的有機材職結時，燒 結溫度爲5机-56代，時間爲25_35分鐘。 4、 如㈣專利範圍第丨項所叙製作氣體放電顯示 的方法，其中該匯流電極和黑條的高度爲3_1〇微米。 5、 -種製作《放電顯示幕的方法，其係採用光刻 技術，該方法包括： )採用光刻技術在麵平板上先製作出透明電極； 2) 將黑色感級銀轉印在麵伟上形成連續的 曝錢㈣過帶有_的掩模板對玻璃平板上 去愛“：曝光，之後進行顯影，再經烘乾、燒結，燒 條，，1Ϊ賴料中的有機材料，形成匯流電極和黑 条透明電極和匯流電極構成# f , 維持放㈣成1電極，放電電極包括 f放電電極X和知描/維持放電電極Y ; 3) 在玻璃平板的匯流電極 保4)在I?層上料子束蒸發成祕製作氧化鎂介質 保相’至此祕㈣作完成；以及 、"貝 5)將製備好的前後基板 成氣體放電顯示幕； 丁封接排乳、老煉即形 其特徵在於： 20 1235402 所說的隨電極和黑條的製作触是， 感 光性銀漿料印在玻解板上形成連續的闕，㈣在曝 光機内通過-張同時帶有匯流電極圖形和巧 模板對玻璃平板上的膜層進行曝光，將電_料蜜條 圖形從掩核板上複印到玻璃平板上的透明電極的外侧上 和維持放電電極X和掃描/維持放電電極¥之 區上，隨後進行顯影，再經烘乾、燒結，燒去 性銀漿料巾时機材料，形賴流電極和黑條Γ 農二ΓΓί:範圍第5項所述之製作氣體放電顯示 幕的方法，其中對黑色感光性銀裝贿 爲85-95〇C，時間爲18-22分鐘。 ，度 7、 如申請專利範圍第5項所述之製作氣體放電顯示 幕的方法’其中對黑色感級銀漿料中的有機材料 時，燒結溫度爲54(TC-56(rc，時間爲25_35分鐘。〜 8、 如申請專職®第5項所述之製作氣體放電 幕的方法，其中匯流電極和黑條的高度爲3_1〇微米。、 21