TWI229632B - Flexible mold, method of manufacturing same and method of manufacturing fine structures - Google Patents

Description

1229632 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於-種模具及—種製造模具之方法，更特 定言之係有關於一種撓性模具及其製造方法，其有用於模 製精密結構且在抗靜電性能方面為極佳的。本發明亦有關 於採用此種撓性模具製造—精密結構之方法。特別的是， 本發明可具優點地被用於製造電漿顯示器之背板的肋條。 【先前技術】 广斤知，隨著電視機技術之進步與發展，採用陰極映像 官(CRTs)之顯示裝置已愈來愈更為經濟化的量產。無論如 何近年來，取代使用陰極映像管之此等顯示裝置，薄且輕 之平面顯示裝置已經吸引漸增的注意力。 平面顯不裝置之一項代表為液晶顯示器（lcd)，其已經被 廣泛地使用於諸如筆記型個人電腦、行動電話、個人數位 助理器(PDA)、及其他可攜式電子資訊裝置之緻密顯示裝 置。另一方面，電漿顯示器為一種典型之薄且具大螢幕尺 寸之平面顯示裝置，事實上也是開始被應用於商業中，且 近年來亦提供作為住家之壁掛式電視螢幕。 一種電漿顯示器具有如圖丨概要圖所示之構造。雖然在圖 式之範例中，為了簡化之目的該電漿顯示器5〇僅包括一顯 不之放電格子56，其大致包括多倍的顯示之微小放電格 子。更特別的是，每一顯示之放電格子56被界定為一對玻 璃基板所環繞（也就是說前玻璃基板61與後玻璃基板51)，其 彼此相互間隔且對立，及一被配置在這些玻璃基板之間具

O:\90\90l8l.DOC 1229632 精密結構的肋條54(屏障肋條，有時稱之為分 =或屏〜）°前玻璃基板61包含-透明顯示電極63，M 知描電極與持續電極所組成、一透明介電層以、及； 透明保護層64。後玻璃基板51包含—位址電極53盘一下緣 ^電層52。顯示電極63與位址電極53為彼此垂直，且在正 常樣式下為相對應間隔配置。每一 y 母顯不56之放電格子具有 一形成於其内壁之螢光層55，且在 ^尸 内中山封有一稀有氣體 (例如，巩氣體），藉以有助於 聚放電發光。 冑由在_電極之間的電 一般而言，由陶瓷精密結構 一。 成之肋條54先於電漿顯 不态#板所形成，其加上位址電極 冤柽53通常被設置在後玻璃 1上（如圖2示意圖所示）。因為肋條之形狀與大小的精 確度明顯地影響電渡顯示器之性能’對於製造肋條之模具 與製造方法已提出有不同的改進。 例如，已提出申請一種用於製造屏障肋條之方法，其特 徵在於使用金屬或玻璃如同模贺姑 褢材枓，且用於成形肋條（分 割壁）之塗料液體被施配 敬碉暴板之表面與模製材料之 間，且在塗料液體硬化之後將模製材料移出，及其後呈有 已硬化塗料液體之基板在# 仕1寻廷之後立刻被烘烤（參考曰本 未審查專利公告開（荦）箆Q ; 、U )紗12336幻。塗料液體具有低融點 之玻璃顆粒為主要成分。 - 同時，已提出-種用於製造電聚顯示器基板的方法，包 含填滿隨附溶劑之陶瓷哎诂琏顆 亢次破璃顆粒與有機添加物所組成黏 劑之混合物進入具有模穴的繫功条& 的1石夕乳樹脂模具用於形成分割

O:\90\90181.DOC • 6 - 1229632 二步驟’且結合此混合物成-體於由陶究或破璃所形成 之月板（日本未審查專利公告間（案）第9_i34676D虎） &此外，在日本未審查專利公告開（案）第咖二號亦已申 =種製造分割壁之方法，包含步驟··在_基板—表面上 广具有一預定軟度之分割壁構件，其形狀為具有—預 疋厚度之板片、經由設有相斜旛 β ,相對應於所將形成分割壁形狀之 >1模的壓力模製分割壁構件、由 再1干由刀割壁構件剝離壓模具、 及在預定溫度熱處理過模塑分割壁構件。 /、 無論如何，仍然存在有由於靜電所造成起電之問題。因 為’模具通常由樹脂材料所製成’在它使用期間可能發生 由於靜電所造成之起電問題，处 呵、、、口果杈具會有吸引模製材料 之灰塵或顆粒或肋條之碎片的傾向，以致需要經常的清潔 或對於所完成背板之品質可能會有負面的影響。 為了處理靜電之問題，解決方式之一為採用一種離子導 包材料車乂佳的為過氯酸鐘（曰本未審查專利公告開（案）第 :01-191345號），、對於製造錢顯示器基板的模具進行抗靜 I處理的方法。過氯酸經相較於其他一般鹽基具有相對較 低的低電離能量（在溶劑中具有高可溶性），以致當混合於例 如树月曰之有機材料’其增加材料之導電性。依據此方法， 由於k靜％處理之結果造成模具表面之電阻被降低，因此 可防止灰塵或盆翻彳h ~ /、頭似物之粘附。特定言之，當以此方式所 賦予模具之離子導電性’無論周遭環境皆可成功的執行抗 靜電處理。 【發明内容】

O:\90\90l8t.DOC 1229632 無論如何由近來之研穿 抗靜電處理的方法存在有：：項採用過氯酸鐘之 ^ 有而要被解決之問題。過氣酸鋰具 特性’當鹽被混合至材料中，不僅在處理 ㈣在處理模製材料時需要極度的小心操作。因此’要大 量製造包含過氯酸鐘之模製材料或模具是很困難的。 “本發明在—方面提供_種包含—模型層之撓性模具，在 板里層表面上5又有特定形狀與大小之凹槽圖案，其中該模 型層包含-作為抗靜電劑之有機氟化物㈣。 、 本發明在另-方面提供製造—種包含—模型層之捷性模 具的方法，在模型層設有特定形狀與大小之凹槽圖案，該 方法包含步驟： 塗敷-包含作為抗靜電劑的有機氟化物㈣鹽之光硬化 樹脂材料在金屬主控圖案上形成—層敎臈層厚度之光硬 化樹脂材料，在金屬主控圖案表面上具有一相對應於該模 八之S凹槽圖案的形狀與大小之突出圖案； 在4金屬主控圖案上壓層一由塑膠材料膜層組成之透明 支座，由此形成该金屬主控圖案、該層光硬化樹脂材料、 及該支座之一貼層； 由支座之側邊以光線照射該貼層以硬化該光硬化樹脂材 料層；及 由忒金屬主控圖案將該光硬化樹脂材料硬化所形成之該 模型層連同該支座剝離。 本發明在另一方面，提供一種製造精密結構之方法，在 精密結構之基板表面上具有特定形狀與大小之一突出圖

O:\90\90181.DOC 1229632 案，該方法包含步驟： 提供一具有一模型層之撓性模具，該模型層在其表面上 ^有一相對應於該突出圖案之形狀與大小的凹槽圖案，該 杈1層包含一作為抗靜電劑之有機氟化物的鋰鹽； 放呈可硬化模製材料在該模具之該基板與該模型層之 1且填滿该模製材料進入該模具之該凹槽圖案； 固化该核製材料且形成一精密結構，該精密結構由該基 板與成一體連接在此之突出圖案所組成；及 由該模具剝離該精密結構。 【實施方式】 依據本發明之撓性模具與其製造方法及用於製造一精密 結構之方法，可具優點地個別實行於不同的具體實例中。 本發明之具體實例將參考電漿顯示器肋條的製造詳述於 後，以作為精密結構之一典型範例。其應瞭解本發明非僅 限於電漿顯示器之肋條的製造。 如同前述參考圖2所敘述，電漿顯示器之肋條54被設置在 後玻璃基板5 1上以形成電漿顯示器之背板。肋條54之間距 C(格子節距）可隨著螢幕之大小而變，且一般範圍在大約 150至400 μπι之間。一般而言，肋條應該滿足二項需求，也 就疋說不應存在有諸如氣泡内含物、變形、及其類似物之 缺陷”及M肋條之節距應該具有高精確度”。關於節距之精確 度方面，肋條被設置在指定位置且相對於位址電極需要有 微小的偏異，事實上此位置之容差在數十個μιη之内。如果 位置誤差超過數十個μιη，可見光之光線發射情形可能會有 O:\90\90181.DOC -9- 1229632 負面的影響，且無 目前螢幕尺寸已有 能變的更嚴重。 法滿足於所預期自然光發射顯示 變大的趨勢’肋條節距之精確度不足可 當考慮肋條54如同一单辦，& ^ 正體，所需要肋條54之全部節距 IU介於二端肋條54之間的距離在圖式中僅顯Μ㈣ 條，通常存在有大約3_個肋條）的尺寸精確度大致在數十 個啊之内，而隨著基板之大小或肋條之形狀可能會有苹此 的差異。—般而言，肋條可最好地採用撓性模具所形成y 撓性模具包含-支座及以支座所支撐之設有凹槽圖案的模 型層’且模具之全部節距（在二端之凹槽部位之間的距離） 亦需要如同肋條般的滿足於在數十個ppm或更小的尺寸精 確度之内。依據本發明’可達到令人滿意之肋條節距與全 部節距之尺寸精確度。 百先本發明之撓性模具有用於製造一用於如圖2所示之 電聚顯示器的背板，將敘述該構造以及其製造方法。 圖3之局部透視圖概要地顯示依據本發明一項具體實例 之撓性模具。圖3所示之撓性模具職設計用於製造具有直 列肋條樣式之電漿顯示器的背板，其複數個肋條54被配置 成如圖2所不彼此相互平行。撓性模具1〇可被修改設計（雖 然未於圖中不出），使得其可令所製造電漿顯示器的玻璃基 板’背板具有格子造形肋條樣式，其中複數個肋條被配置 成為大致平行，藉以彼此在固定間距相交叉，或其他型式 之電漿顯示器背板。 圖4為沿著圖3的線JY -jy之剖面圖，雖然在此圖中並未準

O:\90\9018l.DOC 1229632 確地再製圖3之撓性模具的形狀與大小。如圖4所示，撓性 模具1()在其表面上具有預定形狀與大小之凹槽圖案。:槽 圖案為直列肋條樣式’由複數個配置在固定間距之大致； 行凹槽情構成。凹槽4具有側邊（側壁），較佳的斜向成如圖 4所不，藉以可令肋條易於由模具所剝離。同時，在縱轴方 向伸展之凹槽的終端具有較佳的斜向端表面。凹槽4之形狀 與大小可依據所採用模具製造之„顯示器肋條的形狀盘 大小’分別在-較廣範圍予以改變。例如，在圖镜示之模 具10的情形中，在模型層11之表面測量時，每1槽4之深 度d-般在範圍大m⑽至權μη1之間，且較佳的在範圍: 細删卿。每-凹槽4之寬度w_般在範圍大約5至250障， 且較佳的在範圍大約i⑻至· _每—凹槽之長度隨著凹 槽之樣式而變化極大，且無法如利般界定 之間的平面部分之寬度卜―般在範圍大約跑⑽m，且： 的在範圍大約100至200 μιη。 可易於瞭解的，撓性模具10之形成以在表面設有， 位於凹槽之頂部平面設有開口(如圖4所示)，以致其可；優 點=用於μ具有突出圖案之電聚顯示器肋條，例如一直 =出圖#、—格子狀突出圖案等。撓性模具10可能僅由 所形成，或可能視需要包括額外的層或可 成核具之不同的層執行選擇項的處理。撓性的 由支座丨與模型層_形成 一 乂佳的 百你丹上具有凹槽卷 一支座1與模型層11為較佳的透明體。 母 本發明之撓性模具的特徵在於模型層包含作為抗靜電劑

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之足夠功能 ▲將所使用之有機氟化物鋰鹽混合 被混合至用於本發明之模型層 料（杈製材料，較佳的為樹脂材料）中，其 的在混合物中或所完成模具中作為抗靜電劑 且用於避免由於靜電發生非必要的起電。 货％之棋型層的有機氟化物鋰鹽，並未 適合於在本發明採用之有機氟化物鋰鹽，較 特別的限制。 佳的為： (1) 一種具有極佳的濕氣穩定性之化合物，也就是說，一 種化合物當有濕氣時幾乎不會分解； (2) —種具有極佳的熱穩定性之化合物，也就是說，一種 化&物田被加熱至一昇高溫度（例如大約i 〇〇艽）時幾乎完全 不會分解，更特別的是，一種化合物在採用模具之模製處 理過耘中保持在穩定狀態且當被加熱昇溫至200。〇或更高 時（較佳的大約在300至35(rc)不會引發熱分解； (3) —種具有極佳導電性的化合物，也就是說諸如一種成 分在濃度為一莫耳之PC/DME(丙烯碳酸鹽/乙二醇二曱鱗） 測量時呈現有導電性大約為5至15 mS/cm，較佳的大約1〇 至 12 mS/cm 〇 用於本發明之鋰鹽化合物需要滿足於此等需求之至少_ 項’且袁佳的滿足全部需求。 本發明者頃發現適用於本發明的有機氟化物鋰鹽包括但 不限於CF3S03Li、（CnF2n+1S〇2)2NLi，其中η為1或2之整數、

LiS03C2F4S03Li、CF3C02Li、C4F9S03Li、（CF3CO)2NLi、 (CF3S02)3CLi、及（CF3S02)2CFLi。此等鋰鹽可被單獨使用 O:\90\90181.DOC -12 - 1229632 或它們之中的二或多個混合使用。 此等鐘鹽可在本發明中具優點地被使用，其理由將敘述 如後。諸如 CF3S03Li、（CF3S〇2)2NLi、（C2F5S〇2)2NLi 鋰鹽 為較佳的。同時，申請者已確定諸如CF3S03Li、 (CFeOANLi、（CASOANU之鋰鹽在溫度高達35(rc時為 穩定的。此外，這些鋰鹽具有低氧化特性，以致它們可易 於被混合於模製材料，且毫無困難的處理所完成之混合 物。因此，整個過程由準備模製材料開始（製造模具）至模具 之儲存’可更易於被廣泛應用。 如丽所述之有機氟化物的鋰鹽具有明顯之極佳的抗靜電 劑性能。此等鋰鹽具有類似過氯酸鋰之低離子能量，且可 被具優點地使用作為抗靜電劑。一般而言，在一序列有機 氟化物之鋰鹽中，在例如（CnF2n+iS〇2)2NLi分子中具有 群之鋰鹽，具有特別高的導電性。特別是在諸如 (CJ^hSO^NU分子中具有二個^仏群之亞胺鹽，可由此 等鹽中預期具有特別高的導電性。 上述之有機氟化物鋰鹽可將它們直接混合於模製材料， 或可能較佳的被溶解在鐘鹽電離溶劑中，^接著被混合於 模製材料中。適當的電離溶劑為具有大約扇。C或更高滞點 之極性溶劑。適於本發明應用之具有高濟點的極性溶劑之 -項範例包括但不限於乙烯碳酸、乙烯乙二醇、内/及 它們的衍生物。此等電離溶劑可被單獨使用或它們之中的 二或多個混合使用。可使用不同的這些電離溶劑量用以溶 解裡鹽’及-般而言相對於模製材料之總重的較佳使用2 O:\90\90181.DOC -13- 1229632 大約在重量比範圍0 01至10%， 約 〇·1 至 1.0%。 更特別的是在重量比範圍大 在模型層之鋰鹽的有效混 可隨著不同的的因子而有 所變化，諸如㈣之種類以及模製材料之種類，且一 對於模製材料之總重較佳的在重量比範圍大約㈣至5二， 更佳的在重量比範圍大約0.05至1%。如果此等鐘鹽之混。人 量為小於重量比0.01%’無法達到所預期之抗靜電效果。相 反的’如果混合量為多於重量比5%’可達到飽和之抗靜電 效果。 模型層為較佳的由光硬化樹脂材料所形成之硬化片件。 可具優點地被應用於本發明所使用的模型層為一薄膜層， 在塗敷一可固化樹脂材料形成一膜層之後，應用熱、光或 其他能量硬化樹脂材料形成該薄膜層。因此可固化樹脂材 料為較佳的熱可固化樹脂材料或光硬化樹脂材料。特別的 疋，一種光硬化樹脂材料可具優點地被使用，因為其不需 要一較大且長的加熱熔爐用於形成模型層，且可在相對較 短期間完成硬化作用。光硬化樹脂材料為較佳的一種光硬 化單基體或低聚物，更佳的是一種丙烯酸單基體或低聚 物’且最佳的是一種（甲基）丙烯酸樹脂，也就是說一種單基 體或低聚物的丙烯酸樹脂或甲基丙烯酸酯。 更特別的是’適於形成模型層之丙烯酸單基體包括但不 限於胺基鉀酸酯丙烯酸樹脂、聚酯丙烯酸樹脂、聚醚丙稀 酸樹脂、丙烯醯、丙烯酸、丙烯酸酯。適於形成模型層之 丙稀酸低聚物包括但不限於胺基奸酸i旨丙烯酸樹脂、環氧 O:\90\90181.DOC -14- 1229632 树月曰丙烯酸树脂低聚物。特別的是，胺基鉀酸酯丙烯酸樹 脂及它的低聚物在固化之後可提供一撓性及強力硬化片 段，且在一般丙烯酸樹脂之間具有非常高的固化速度，以 致其可有助於改進模製之生產力。此外，當此等丙烯酸樹 脂單基體或低聚物被採用，所完成之模型層變成光學透明 體。因此，具有此等模型層之捷性模具可令光硬化模製材 料被用於製造電漿顯示器之肋條或其他精密結構。此等丙 烯酸單基體或低聚物可被單獨使用或它們之中的二或多個 ’把σ使用。雖然、丙烯酸樹脂單基體或低聚物之特徵已經敛 述如上’相似之特徵可在甲基丙稀酸自旨單基體或低聚物中 獲得。 可固化樹脂材料可包含一種選項添加物。例如，當可固 化樹脂材料為光硬化樹脂材料，適當的添加物可包括一感 光劑。對於感光劑，類似之最適當的化合物應該依據可固 化樹脂材料之型式所選用，且此等範例可能包括2_氨氧基 -2-甲基-L丙烷]-酮、雙（2,4,6_三甲基笨醯苯基氧化磷。 這些感光劑可被單獨使用或它們之中的二或多個混合使 ::感光劑可隨著可固化樹脂材料之種類而被廣範地改變 里使用’且相對於可固化樹脂材料之全部數量—般被使 二重量比範圍在大約〇.U10%，及較佳的重量比範圍在 大約0·5至2%。 — 除=於本發明之有機氣化物鐘鹽，其他諸如過氣酸 σ Μ酸鹽等抗靜電劑’可在另添加小量之下被使用， /、要在本發明之操作效果方面沒有負面的影響，或反之操

O:\90\90181.DOC -15- 1229632 作效果可由此被改進。 其他可被使用之添加物， 子化界面活性劑等。 包括例如胺類界面活性劑、離 模型層可隨著諸如肋條之形狀與大小因子，在不同的厚 度變化下被使用。-般而言，模型層之厚度範圍在大約 = 〇〇μΓΠ，較佳的範圍在大約1〇〇至5〇〇以111。如果模型層太 薄，將無法形成特定高度之肋纟。模型層之厚度可隨著是 否設有支座而被適當的修改。 模型層為較佳的以支座所載有。載有模型層之支座可能 由任何材料所構成，且因為對於模具之操作需要有適當的b 撓性，支座較佳的由具有適當的硬度或軟度之材料所構成。 關於支座材料之硬度，其較佳的選擇用於支座材料之材 料為相當的硬於關於形成模型層所形成凹槽的模製材料 m佳的一種諸如光硬化樹脂之光硬化材料)之硬度，較佳的 一種具有高玻璃轉換溫度之塑膠材料。因為，一般而言光 硬化樹脂之硬化收縮為大約些許％，如果支座使用—種軟 質塑膠薄膜’形成物之硬化收縮可能導致支座本身之尺寸 改變’且凹槽之尺寸精確度無法控制在數十個ppm之内。相 的如果塑谬膜層為硬質的，即使是在光硬化樹脂硬化 :縮之後仍可保持支座本身之尺寸精確度，且可保持凹槽 /巨之尺寸精確度在高度精冑。同時，當塑膠膜層為硬質 時，在形成肋條期間可保持小的節距變化。這在模製能力 與尺寸精確古品曰 又乃曲疋具優點地。適於應用本發明之硬式塑 膠膜層的範例包括下文所列示。

0:、9_ 81.DOC -16- 1229632 如果塑膠膜層是硬質的，因為模具之凹槽節距的尺寸精 確度僅ik著塑膠膜層之尺寸改變而定，為了提供模具有所 預』之凹槽_距的尺寸精確度，執行充份的後處理，使得 塑膠膜層之尺寸為如同所希望的，且在製造之後對於模具 不會有所改變。 支座材料之硬度可能被表示為諸如剛性對張力，也就是 拉力強度。支座材料之拉力強度，一般至少大約5 kgW， 車乂佳的至少大約為1〇kg/mm2。如果支座材料之拉力強度為 1於5 kg/mm，當所完成之模具由金屬主控圖案5所剝離或 當電漿顯示器肋條由模具中被剝離時將降低加工的操作能 力，且這可能導致斷折或破裂。 較佳的用以應用本發明之支座為塑膠材料之膜層，其在 操作方面具有良好的加工能力及好的硬度。適於支座之塑 膠材料的範例包括但不限於聚對苯二甲酸二乙酯（ρΕτ)、聚 對苯二甲酸乙二酯（ΡΕΝ)、拉伸聚丙烯、聚碳酸酯、三乙酸 等。在匕們之間，聚對苯二甲酸二乙酯膜層為特別的有用 於支座，及類似諸如Tetr〇nTM膜層之聚脂纖維膜層可具優點 地被使用於支座。這些塑膠膜層可被單獨使用作為一單一 膜層或它們中的二或多個可被組合使用如同一複合膜層或 壓層膜層。 前述之塑膠膜層或其他支座，可隨著模具或電漿顯示器 之構造而在不同的厚度之下被使用，厚度一般在範圍大約 50至500 μπι ’且較佳的在範圍大約1〇〇至3〇〇 μπι。如果支座 之厚度超過前述之範圍，可能會降低在處理之加工能力。

O:\90\90181.DOC -17- 1229632 支座愈厚，在強度方面具有更多的優點。 本發明亦有關於製造如前所述之撓性模具的方法。依據 本發明之製造撓性模具的方法包含特定步驟： 塗敷一包含作為抗靜電劑的有機氟化物的鐘鹽之光硬化 樹脂材料在金屬主控圖案上形成一層預定膜層厚度之光硬 化樹脂材料，在金屬主控圖案表面上具有一相對應於該模 具之該凹槽圖案的形狀與大小之突出圖案； 在該金屬主控圖案上壓層一由塑膠材料膜層組成之透明 支座，由此形成該金屬主控圖案、該層光硬化樹脂材料、 及該支座之一貼層； 由支座之側邊以光線照射該貼層以硬化該光硬化樹脂材 料層；及 由。亥金屬主控圖案將該光硬化樹脂材料硬化所形成之該 模型層連同該支座剝離。 依據本發明之製造撓性模具的方法，可被應用於本發明 範圍内之不同的改良。例如，一種撓性模具用於製造如圖2 所不之電漿顯示器基板，其具有圖3、4概要圖顯示之構造， 可依據圖5顯示之順序具優點地製造。 首先如圖5(A)所示，製造出相對應於電漿顯示器基板的 形狀與大小之金屬主控圖案5,提供一由透明塑膠膜層所組 成之支座1(在下文中稱之為支座膜層）及一層壓滾輪23。金 屬主控圖幸θ丄、 、在一表面具有分割壁14，其與位於電漿顯示器 背板之肋條具有同樣的形狀與大小。因此，以鄰接分割壁 14所界疋之空間（内凹處），被使用如同電漿顯示器中的放電

O:\90\90181.DOC -18- 1229632 顯示格子。可在分割壁14之上層尾端部位錐形面，用以防 止氣泡之内含物。可在個別分割壁之終端部位設有斜面以 辅助由金屬主控圖案移出所完成之模具。無論如何提供具 有兀全相同於最後所形成肋條之形狀的金屬主控圖案，可 略去在製造之後需要處理肋條之尾端部位，以及可避免在 處理尾端部位時產生碎片之缺失。在本製造方法中，用於 形成肋條的全部材料被硬化，以致在金屬主控圖案留下非 《小的殘餘物，因此易於再使用金屬主控圖案。層壓滾輪 23由橡膠滾輪所組成，且用以推壓支撐膜層1於金屬主控圖 案5。其他現有或客製的壓層裝置可被使用，以取代壓層滾 輪。支撐膜層1由聚酯膜層或如前所述之其他透明的塑膠膜 層所組成。 接著使用諸如刀片塗佈機或圓桿塗佈機（未於圖中示出） 之現有或訂製的塗敷裝置，塗敷指定量之光硬化模製材料 11至金屬主控圖案5的尾端表面。當撓性與彈性材料被使用 作為支撐膜層1，即使發生光硬化模製材料丨丨之收縮，支撐 膜層1之緊合接觸可防止1〇 ppm或更大之尺寸改變，只要支 撐膜層本身未變形。 在壓層處理之前，為了避免由於潮濕而改變支撐膜層之 尺寸’較佳的在製造環境之下執行時效處理。除非執行時 效處理’可能在所完成之模具中發生無可接受的尺寸變化 (諸如在300 ppm階數之變化）。 接著，壓層滾輪在金屬主控圖案5上沿著箭頭之方向滑 動。這項壓層處理之結果，模製材料丨丨可在指定厚度之下 O:\90\90181.DOC -19- 1229632 :勻地刀彳且在勿割壁i 4之間的間隙被填滿模製材料η。 在凡成壓層處理之後，將支撐膜層丨壓層在金屬主控圖案 ^上’如圖5(Β)所示’模製材料以如箭頭所示之光線㈣所 了射。如果支撐膜層1未包括諸如氣泡之光線散射成分，且 以透明材料所均勻地形成，照射光線可在具有微小衰減之 下均勻地照到模製材料。照射之結果，模製材料被有效地 硬化且形成-黏貼在此之支撐膜層i的均勾模型層U。因 此，完成附加有支撐膜们的撓性模具，且結合模型層_ 為-整體式組件。因為在諸如範圍350至450随之波長的紫 外線光可被採用’這項處理為極具優點地，因為其不需要 使用會產生大量熱量之光源’諸如溶絲燈具之高墨水銀燈 具。因為可避免支撐膜層或模型層在光硬化期間的熱變 形，引致可控制節距在高精確度之下的另一優點。 接著如圖5(C)所示，將撓性模具1G在不損及它的完整性 之下由金屬主控圖案5剥離。如果有必要，撓性模具1〇可依 據預定排程被放置在溫濕度穩定且受到空氣調節處理。藉 由此空氣調節處理，可拍j涂丨非 j抑制非預期之尺寸改變，且完成一 具有正確尺寸之模具。 时本發明之撓性模具可在不考慮大小與尺寸之下相對地簡 早製造’只要使用適當的如所熟知且傳統的壓 敷裝置。因此，依據本發明 η- 月將不冋於採用諸如真空壓模機 等真空裝備之傳統製造過程，一大尺寸撓性模具可在無限 制之下被簡單且簡易製造。 此外’本發明之撓性模具有用於製造不同的精密結構。

O:\90\90l8l.DOC -20- 1229632 执本毛明之撓性模具有用於模製具有直列肋條型式或 :子肋條型式之電漿顯示器肋條。心，藉由使用撓性模 妨· *幕尺寸电漿顯示器所設置可防止紫外線由顯示 :ϋ之肋條結構’ π簡單的使用—壓層滾輪以取 代一空裝備及/或複雜的程序而易於製造。 六因此本發明亦指向採用本發明之撓性模具，用於製造精 狁結構之製造過程。依據本發明之製造精密結構的方法包 含特別步驟： 提供撓性核具，在其表面具有相對應於精密結構之突 出圖案的形狀與大小之凹槽圖案，該模型層包含一供作抗 靜電劑之有機氟化物鐘鹽； 放置一可硬化模製材料在該模具之該基板與該模型層之 門且填滿該模製材料進入模具之該凹槽圖案； 固化該模製材料且形成一由該基板與成—體連接於此之 突出物樣式所組成之精密結構；及 由該模剝離該精密結構。 由前述可以瞭解，精密結構可具有不同的結構，且一般 以電漿顯示器基板（背板）所例示，其在玻璃板片設有肋條。 如圖2所示之電漿顯示器基板的製造過程，將參考圖6敘述 如下。例如在圖丨至3顯示之曰本未審查專利公告開（案）第 2001-191345號的製造裝備，可具優點地被應用於此製造過 程0 首先，&供一設有以固定間距彼此相互平行之電極的玻 璃板片，且被固定在一平板上。接著，如圖6(Α)所示，本 O:\90\90181.DOC -21 - 1229632 I月之撓性模具1 〇被放置在玻璃板片3 !之指定位置，且破 璃板片3 1與模具10彼此相互適當的對齊。撓性模具丨〇為車六 佳的在除了肋條形成區域以外之區域，預先標示一諸如交 叉標不之對齊符號。因為模具10為光學透明體，對齊於在 玻璃板片31的電極可易於被執行。更特別的是，可採用目 視或採用諸如感光耦合元件照相機之感測器對齊，使得模 具10之凹槽可被設定在平行於玻璃板片31之電極。如果有 必要，可調整溫度與濕度以使凹槽成為一致於在玻璃板片 3 1上之鄰接電極之間的間距。這項調整是需要的，因為模 具10與玻璃板片31會依據溫度與濕度之改變而有不同程度 的膨脹或收縮。因此，在玻璃板片31完成對齊於模具丨〇之 後，需要控制溫度與濕度使之保持在恆常狀態。這項控制 方法在大尺寸電漿顯示器基板之製造特別的有效。 接著放置一層壓滾輪23在模具1〇之尾端部位。層壓滾輪 23為較佳的一種橡膠滾輪。於此，模具1〇之一尾端部位為 較佳的固定於玻璃板片31上，以致在完成對準之後可避免 模具10相對於玻璃板片31之位移。 接著，模具10之另一自由端部位以一固定架（未於圖中示 出）被昇高高出層壓滾輪23以外露玻璃板片3 i。此時，模具 1 〇不應该文到張力。這是為了防止模具丨〇起皺褶及用於保 持模具10對齊於玻璃板片3 1。其他構件亦可被使用，只要 可以保持對準之狀態。在本發明之製造過程中，因為模具 1 〇具有彈性，壓層處理時模具1 〇在被舉高之後可被準確地 回復至對齊之初始位置，如圖所示。 O:\90\90181.DOC -22- 1229632 接著用以形成肋條之指定數量的肋條母體33被供應至玻 璃板片3 1上。該肋條母體可使用諸如附加有用於膏之管嘴 的漏斗所供應。 在此文中所使用名詞”肋條母體，，意即任何模製材料，可 用以形成所希望肋條模具之最後產物，只要可以形成肋條 杈具，並無特別的限制。肋條母體可被熱成型或光硬化。 特別是’ 一種光硬化肋條母體可非常的有效於結合上述透 明撓性模具被使用。如前所述，撓性模具包括極少的氣泡 或諸如變形之缺陷，可抑制光線之不均勻散射。因此，模 製材料被均勻地硬化以形成均勻且品質良好的肋條。 適於肋條母體之一項化合物的範例為基本上包括下列成 分： 、 (1) 一用於賦予肋條形狀之陶瓷成分，諸如氧化鋁； (2) —用於填滿在陶瓷成分之間的間隙及增加肋條密度之 玻璃成分’諸如鉛玻璃或磷酸玻璃；及 (3) —黏劑用於陶瓷成分之彼此相互抓住、固定住與繫 結，及它的固化劑或聚合觸發物。黏劑成分之硬化為較佳 的不是以加熱或加溫所獲得而是以光線照射，在此情形中 不再需要考慮玻璃板片之熱變形。如果有必要的話，為了 降低用於除去黏劑成分之溫度，一種由氧化物、鹽或鉻之 複合物、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、銦或鍚、釕、鍺、鈀、 銀、欽、姑、金或鈽組成之氧化催化劑可被添加至組合物 中〇 在實行圖示之製造過程中，肋條母體33不再被均勻地供 O:\90\90181.DOC -23- 1229632 應至整個玻璃板片31。如圖所示，肋條母體33僅被供 應至玻璃板片3 1靠近層壓滾輪23之部位，因為在將敘述如 後之步驟中，層壓滾輪23在模具1〇上被移動，藉以均勻地 塗布肋條母體3 3在整個玻璃板片3 1上。在此情形中，其希 望肋條母體33所具有黏度一般大約為2〇,〇〇〇 cps或更小，較 佳的大約為5,000 cps或更小。如果肋條母體之黏度為高於 大为20,〇〇〇 CpS，其難以藉由壓層滾輪充份的塗布肋條母 體，結果空氣可能被吸進入模具之凹槽部位，及可能變成 肋條缺陷之原因。事實上，如果肋條母體之黏度為大約 20,000 cps或更小的，壓層滾輪僅需要由玻璃板片之一端被 移動至其他端一次，以均勻地塗布肋條母體在玻璃板片與 杈具之間，且均勻地填滿全部凹槽部位不會引致氣泡之内 含物。供應肋條母體之方法未限制於如前所述之方法。例 如，肋條母體可能被塗敷於玻璃板片之整個表面，雖然未 於圖中不出。在此情形中，用於塗敷之肋條母體具有如前 所述之同樣的黏度。特別的是，當所形成之肋條為格子樣 式之形狀，肋條母體之黏度一般大約為2〇,〇〇〇 cps或更小， 較佳的為5,0〇〇cps或更小。 接著經由一旋轉馬達（未於圖中示出）驅動以移動層壓滾 輪23在模具1G上，如圖6(A)之箭頭所*。而層壓滾輪23因 此在模具10上被移動，以層壓滾輪23之重量本身由一端至 另-端接連不斷的施加壓力在模具1Q上，以致肋條母的 在玻璃板片31與模具1〇之間被塗布且填入模具⑺之凹槽。 因此，肋條母體接連不斷的取代在凹槽之空氣且填/里

O:\90\90I81.DOC -24- 1229632 中所:k布之肋條母體厚度範圍，藉由適當的控制肋條母 體之黏度或壓層滚輪之直徑、重量或移動速度，可由些微 μιη至數十個μηι。 藉由圖不之製造過程，模具之凹槽亦供作空氣之通道， 以致即使空氣被抓取在凹槽中，當施加如前所述之壓力 時，空氣可有效的經由此槽被排出離開模具至周遭環境。 結果，本製造過程可防止餘留氣泡之内含物，即使肋條母 體在大氣壓力之下填滿凹槽。換句話說，在填滿肋條母體 時不需要降低所施加的壓力。其應瞭解可降低壓力以進一 步有助於除去氣泡。 接著肋條母體被硬化。如果被塗布在玻璃板片3丨上的肋 條母體3 3被光硬化，由玻璃板片3 1與模具丨〇所組成之壓層 被放置在照射裝置（未於圖中示出）中，且肋條母體33以諸如 紫外線穿透玻璃板片31與模具1〇所照射，如圖6(B)所示。 在硬化之後，完成肋條母體之模製物，也就是肋條本身。 最後，將所完成之肋條34粘著於玻璃板片31，玻璃板片 31與模具1〇由照射裝置中被移出，且模具1〇被分離且移 出，如圖6(C)所示。因為本發明之模具1〇為極佳的易於操 作，如果使用一種低黏著力材料如同模具之塗佈層，模具 1 〇可藉由較小的力量易於分離且移出不會傷及粘著於玻璃 板片3 1之肋條34。其應了解不需要較大裝置用於模具的分 離與移出。 本發明將參考以下範例更為特別詳細敘述。對於熟悉此 項發明者應易於瞭解，本發明非限制於此等範例。 O:\90\90181.DOC -25- 1229632 範例 範例1: 撓性模具之製造： 針對電漿顯示器背板之製造，準備一具有直列樣式肋條 (分割壁)之矩形金屬主控圖案。更特別的是，金屬主控圖案 以固定節距所配置的肋條在沿著沿縱軸方向具有等腰梯形 之切面。以鄰接肋條所界定之空間（凹人處），為相對應於電 漿顯示器用以顯示之放電格子。每_肋條高度為135陣、 頂端寬度為60 μιη、及底部寬度為12〇 。節距（在鄰接肋 條的中心之間的距離）為3〇〇 μχη，且肋條數目為3〇⑻。全部 節距為900.221 mm(在位於二端之肋條的中心之間的距離 為了在形成模具之模型層所使用，以混合脂肪族胺基鉀 酸酯丙烯酸低聚物（由Daice：UUCB公司製造）、丙烯酸苯氧乙 S旨、及2-氫氧基-2-甲基-1-苯基-丙烧小㈣感光劑··註冊商 標Darocure 1173” ；由汽巴（Chiba)特殊化學公司製造）以重 罝比100 : 25 : 1.25所構成。接著，一（CF3S〇2)2NU之丙烯 碳酸鹽被添加至此混合物中供作抗靜電劑。所添加抗靜電 劑之i相對於紫外線可硬化樹脂之重量比為〇 · 5 %。鐘鹽濃 度之重量比為2〇〇/0。因此完成可用於形成模型層之紫外線 可硬化樹脂。 為了用於供作模具之支座，提供寬度13〇〇 及厚度 ΙΟΟμπι之聚對笨二曱酸二乙酯膜層（註冊名稱，，ηρε";由 Teijin公司製造）。 接著’前述之紫外線固化樹脂以線狀被塗敷至所準備之 O:\90\90181.DOC -26· 1229632 金屬主控圖案的上游尾端。接著前述聚對苯二甲酸二乙酯 膜層被壓層在金屬主控圖案之表面上以覆蓋它。當一壓層 滾輪被小心使用以推壓聚對苯二甲酸二乙酯膜層，紫外線 可硬化樹脂被填滿進入金屬主控圖案之凹入處。 在此狀態，紫外線可硬化樹脂經由光線波長為3〇〇至4〇〇 nm之 螢光燈（由三菱-歐斯郎Mitsubishi-Osram公司製造）穿透聚 對苯二甲酸二乙酯膜層照射3〇秒。紫外線可硬化樹脂被硬 化，且因此獲得模型層。接著將聚對笨二甲酸二乙酯膜層 隨同模型層由金屬主控圖案被剝離，因此完成具有相對應 於在金屬主控圖案上之肋條的形狀與大小之多倍凹槽的撓 性模具。模型層之厚度大約為3〇〇 μιη。 電漿顯示器背板之製造： 在製造如前所述之撓性模具之後，模具在對齊於電漿顯 示^5之玻璃基板所對齊配置。模具之放置以凹槽圖案面向 玻璃基板。接著，感光性陶瓷膏被填入在模具與玻璃基板 之間。所使用之陶瓷膏具有以下成分： 可光硬化低聚物： 雙紛-Α-縮水甘油_之二甲基丙烯酸（由Kyoeisya化學公 司製造） 21.0 g 可光硬化單基體： 三伸乙甘醇二甲基丙烯酸（由Wako純化學工業公司製造） 9.0g 稀釋劑： 1，3_丁二醇（由Wako純化學工業公司製造） 30.0g O:\90\90181.DOC -27- 1229632 感光劑： 雙（2,4,6-三甲基苯酿）-苯基膦氧化物（註冊名稱，，Irgacure 819” ；由汽巴（Chiba)特殊化學公司製造） 〇.3g 介面活性劑： 磷酸鹽曱基烷聚醇 3.〇g 無機顆粒： 錯玻璃溶塊與陶莞顆粒之混合磨粒（由Asahi玻璃公司製 造） 180.Og 在填滿陶瓷膏之後’模具被壓層藉以覆蓋玻璃基板之表 面。當壓層滾輪被小心地使用以壓抵模具在基板，陶曼膏 被完全地填滿模具之凹槽。 在此狀悲’使用波長為400至450 nm之螢光燈呈（由 Philips公司製造）的光線穿透模具與玻璃基板由二側照射 陶瓷膏30秒。陶瓷膏被硬化以形成肋條。接著，玻璃基板 連同形成在其上之肋條由核具所分離’如所希望的完成由 玻璃基板與附加在其上之肋條所組成之電漿顯示器背板。 範例2 重複如前所述之範例1的程序製造撓性模具。在此範例 _ ’為了評估裡鹽溶液之濃度的效果以及溶液添加量相對 於樹脂量在模具之表面阻抗的效果，圖7顯示不同濃度的鐘 鹽〉谷液’也就是說： C 1......1 %重量比的碳酸丙稀醋溶液 C2......2%重量比的碳酸丙烯酯溶液 C5......5%重量比的碳酸丙烯酯溶液 O:\90\90181.DOC -28 - 1229632 CIO — 1 ο %重量比的碳酸丙烯g旨溶液 C20·…20%重量比的碳酸丙烯酯溶液 被使用，且鋰鹽溶液相對於樹脂量之混合量亦在重量比工 至5%之範圍中變化。 在母鐘鹽浴液以不同混合I被混合於樹脂中以準備紫 外線可硬化樹脂，每一紫外線可硬化樹脂被塗敷至厚度1〇Q μχη 之聚對苯二甲酸二乙酯膜層，且經由紫外線光照射以製造 具有模型層厚度為300 μιη之模具。 所完成之模具，在溫度為22°C與相對濕度（RH)55%所測 量的模型層之表面阻抗（Ω /cm2)，且將測量結果繪製如圖7 所不。為了測量表面阻抗，使用一種商用可購得測量裝置 (型式1272A ;由Monroe電子公司所製造）。如圖7所示，模 具之表面阻抗可以增加所添加鋰鹽溶液及溶液相對於樹脂 之全部數量的混合量所降低。一般而言，當鋰鹽溶液相對 於樹脂之混合量在範圍大約〇〇1至5%重壹比，可滿意的降 低表面阻抗。 範例3 重複如前所述之範例丨的程序製造撓性模具。在此範例 中’為了評估鐘鹽溶液相對於樹脂總量之混合量在模具之 起電電壓的效果，所使用鋰鹽溶液為重量比2〇%之碳酸丙 烯酯溶液（C20)，且鋰鹽溶液相對於樹脂總量之混合量的變 化在重量比範圍〇·〇至2.0%。 在將鋰鹽溶液混合在不同混合量以準備紫外線可硬化樹 月曰之後母备、外線可硬化樹脂以厚度為1 〇〇 μ；〇^被塗敷在

O:\90\9018I.DOC -29- 1229632 聚對苯二^酸二乙酯膜層且以紫外線光照射形成具有拜厚 度之模型層的模具。 接著，每一模具被切割以形成長度85〇 mm><寬度35〇 mm 之測試樣本。在模型層之這項測試樣本，一個相同於測試 樣本之尺寸且厚度為1〇〇 μηι之聚對苯二甲酸二乙酯膜層 (註冊名稱"ΗΡΕ，，··由丁力如公司製造）被黏貼住。該測試樣 本在其一端被固定於於橫向構件且類似一短簾被垂直地懸 掛。破懸掛的測試樣本，所黏貼的聚對苯二甲酸二乙酯膜 層以速度大約為300 mm/s被剝開，且在剝開之後立刻在溫 度為22 C與相對濕度（RH)55%之下測量起電電壓（Κν)。將測 里結果繪成如圖8所示。為了測量起電電壓，可使用一種商 用可購得起電測量裝置（型式FMX-002 ;由SIMCO公司所製 造）。由圖8之圖形，模具之起電電壓可以添加鋰鹽溶液以 及牦加鋰鹽溶液相對於樹脂總量之混合量所降低。 【圖式簡單說明】 圖1為概要地顯示可應用本發明之一項傳統電漿顯示器 範例的剖面圖。 圖2為顯示用於圖1之電漿顯示器的電漿顯示器背板之立 視圖。 圖3為顯示依據本發明一項具體實例之撓性模具的立視 圖。 〜 圖4為沿著圖3之模具的線jy-jY之剖面圖。 圖5a-5c為顯示依據本發明之一種製造撓性模具的方法 之剖面圖。

O:\90\90181.DOC -30- 1229632 電槳顯示器背板 野樹脂材料量之 對樹脂材料量之 圖6“c為顯示依據本發明之一種製告 的方法之剖面圖。 圖7為圖繪在表面電阻與添加鋰鹽量相 間的關係。 圖8為圖繪在起電電壓與添加鋰鹽量相 間的關係。 【圖式代表符號說明】 I 支座 4 凹槽 5 金屬主控圖案 10 撓性模具 II 模製材料 14 分割壁 23 層壓滾輪 31 玻璃板片 33 肋條母體 34 肋條 50 電漿顯示器 51 後玻璃基板 52 下緣介電層 53 位址電極 54 肋條 5 5 螢光層 5 6 放電格子

O:\90\9018i.DOC -31 - 1229632 61 前玻璃基板 62 透明介電層 63 顯示電極 64 下緣透明保護層 O:\90\90181.DOC -32-

Claims (1)

1229632 拾、申請專利範圍： 1. 一種包含一模型層之撓性模具，在模型層表面上設有特 定形狀與大小之-凹槽圖案，其中該模型層包含一作為 抗靜電劑之有機氟化物經鹽。 2. 如申請專利範圍第i項之撓性模具，其中該有機氣化物鐘 鹽係由 CF3S03Li、（CnF2n+1S02)2NLi，其中或 2之整數、 LiS03C2F4S03Li ^ CF3C02Li ^ C4F9S03Li ^ (CF3CO)2NLi ^ (CF3S02)3CLi、及（CF3S02)2CFLi組成之群中選出至少一鋰 鹽。 3. 如申請專利範圍第_項之撓性模具，其中該有機敦化 物鋰鹽以相對於樹脂材料數量之重量比〇 〇1至5%混合形 成該模型層。 4·如申叫專利範圍第1或2項之撓性模具，其中該模型層為 透明體。 5·如申請專利範圍第丨或2項之撓性模具，其中該模型層係 由一可固化樹脂材料之硬化產品所組成。 6·如申明專利範圍第5項之撓性模具，其中該可固化樹脂材 料係由包含一可光硬化單基體、一可光硬化低聚物、及 其混合物所組成之群中選出。 7·如申咕專利範圍第6項之撓性模具，其中該可固化樹脂係 由包含一丙烯酸單基體、一丙烯酸低聚物、及其混合物 所組成之群中選出。 8·如申印專利範圍第7項之撓性模具，其中該可固化樹脂係 由包含一（甲基）丙烯酸單基體、一（甲基）丙烯酸低聚物、 O:\90\90181.DOC 1229632 及其混合物所組成之群中選出。 9·如申請專利範圍第8項之撓性模具，其中該/該等（甲基）丙 烯5文單基體及/或低聚物係由氨基鉀酸酯（甲基）丙烯酸、 聚酯（甲基）丙烯酸、聚醚（甲基）丙烯酸所組成之群中選 出。 10.如申請專利範圍第13戈2項之撓性模具，#中該模型層具 有厚度5至1〇〇〇 μχη。 如申請專利範圍第1或2項之撓性模具，其中該模具進一 步包含一載有該模型層之支座。 12·如申請專利範圍第項之撓性模具，其中該模具被用 於模製電漿顯示器背板之肋條。 13·如申請專利範圍第1或2項之撓性模具，其中該有機氣化 物鋰鹽在採用該模具之模製處理過程中，當溫度低於邛〇。〇 時不會熱分解。 从如申請專利範圍第項之撓性模具，其中該模型層之 凹槽圖案為一直列樣式，由複數個大致彼此相互平行凹 槽在固定間距下所配置構成。 15·如申請專利範圍第項之撓性模具，其中該模型層之 凹槽圖案為一格子樣式，由複數個大致彼此相互平行凹 槽藉以在固定間距相交又所構成。 16·如申請專利範圍“或2項之撓性模具，其中在該模型層 中之該凹槽圖案係以平台部位與凹槽所定出，且其中該 凹槽具有深度100至400 μηι及在該模型層表面測量之寬 度為50至250 μηι 〇 O:\90\90181.DOC 1229632 17. 如申請專利範圍第n之撓性模具，其中該支座為一塑膠 材料之膜層。 18. 如申請專利範圍第17之撓性模具，&中該塑膠材料係由 聚對苯二甲酸二乙酯、聚對苯二曱酸乙二酯、拉伸聚丙 烯、.聚碳酸酯、及三乙酸組成組成之群中選出至少一塑 膠材料。 19·如申請專利範圍第n項之撓性模具，其中該支座具有厚 度 50至 500 μιη。 2〇· —種製造一撓性模具的方法，在撓性模具表面之模型層 設有特定形狀與大小之凹槽圖案，該方法包含步驟： 塗敷一包含作為抗靜電劑的有機氟化物的鋰鹽之光硬 化樹脂材料在金屬主控圖案上形成一層預定膜層厚度之 光硬化樹脂材料，在金屬主控圖案表面上具有一相對應 於該模具之該凹槽圖案的形狀與大小之突出圖案樣式； 在该金屬主控圖案上壓層一由塑膠材料膜層組成之透 明支座，由此形成該金屬主控圖案、該層光硬化樹脂材 料、及該支座之一貼層； 由支座之側邊以光線照射該貼層以硬化該光硬化樹脂 材料層；及 由该金屬主控圖案將該光硬化樹脂材料硬化所形成之 該模型層連同該支座剝離。 21.種製造一精岔結構之方法，該精密結構在基板表面上 具有特定形狀與大小之一突出圖案，該方法包含步驟： 提供一具有一模型層之撓性模具，該模型層在其表面 O:\90\90I8I.DOC 1229632 上具有一相對應於該突出圖案 案，該模型層包含-作為抗靜電劑之^大與大小的凹槽圖 放置-可硬化模製材料在該模：化物的經鹽’· 真滿錢製材料進入該模具之該凹 . 固化該模製材料且形成一精密結構，該精密結構 基板與成一體連接在此之突出圖案所組成；及 — 由該模具剥離該精密結構。 22. 如申睛專利範圍第2丨項之製造精密結構的方法， ^ ^ /、中該 精岔結構為電漿顯示器的一背板。 O:\90\90181.DOC