TW591337B

TW591337B - Positive photoresist composition

Info

Publication number: TW591337B
Application number: TW090108294A
Authority: TW
Inventors: Tomoya Sasaki; Kazuyoshi Mizutani; Shoichiro Yasunami
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date: 2000-04-06
Filing date: 2001-04-06
Publication date: 2004-06-11
Also published as: US6555289B2; JP4139548B2; KR20010100871A; JP2001290272A; US20020048720A1; KR100739423B1

Description

/ A7 B7 五、發明說明（發明範轉體於正型綠組合物,合物用於製造半導板.、曰书置、製造積體電路所用之掩模、印刷電路板、敗晶平板及類似裝置。發明背景之2造：導體裝置、磁泡記憶器、積體電路和類似裝置光二广Γ實務上廣泛使用對紫外線或可見光敏感之 :二，阻劑包括負型光阻劑(光照射區域不溶於顯影 I:年二劑(光照射區域溶解)。負型光阻劑在最配:也位’因爲其敏感性比正型高，濕法 “極佳’即對基板之接著性和對化^之耐性。步致密和高整合半導體裝置及類似物的 :刻二度減小。另外，基板利用“ 抗乾蚀性^要光阻劑具有高析像度和高度乾幻由於此等原因’目前正型光阻佔主要地位。另外，最近幾年來，隨著多力;上展，非常需要更精細圖;電子設備的合度。闺果乂違到更间致密作用和更高 m’與橫向減小相比，積體電路垂直不疋太夕’因此’光阻圖案之高度對因此’當圖案變得更加精細時，晶圓上大。構之阻抗圖案在抑制大小變化方面㈣更^^度複雜結此外，在各種暴露系統中，問題伴隨】曰現。例如，在由光線曝光時，由於基’二门尺寸* 工阿度不同，反射近而進法訂發積 -4 本紙張尺度顧 t _ χ 297 ) 591337 A7 五、發明說明（2 ) 光之干擾作用極大影響尺寸精度，而在電子束曝光時，由於電子反散射產生近貼效應，不能增加精細光阻圖案之高寬比。回頃發現，可用多層光阻系統解決大量此類問題。多層光阻系統普遍描述於且state 丁 (1981)]，此外，有很多出版物報告關於此系統方面之研究。通常，多層光阻系統包括三層光阻系統和雙層光阻系統。三層光阻系統之形成方法爲，將有機平化薄膜塗覆於具不同咼度之基板上，其上疊加無機中間層和光阻層，使光阻層圖案化，用光阻層作掩蔽乾法蝕刻無機中間^，用無機中間層作掩蔽由〇2RIE (反應離子蝕刻）使有機平化薄膜圖案化。該系統基本使用習用技術，因此，對此系統研 %從早期即已開始。然而，I系統問題爲，製程很複雜，或者説，由於所疊加三層（即，有機薄膜，無機薄膜和有 =薄膜）物理性能不同，所以中間層中易產生裂痕或針線與該三層光阻系統相比，雙層光阻系統使用一種光阻曰該光阻層具有二層光阻系統之光阻層和無機中間芦之兩種性能（即阻抗氧U之光阻層），因此防止裂痕或二孔出現另外，從二層減至兩層使製程簡化。但與用習知光阻層之三層光阻系統不同，雙層光阻系統必疋不利導出一種具抗氧電漿之新型光阻層。在此等形勢下，需要開發一種高敏感和高析像之正阻劑，該光阻劑具有極佳抗氧電浆性，且能夠在雙層光阻 5-— 297ΤΜΎ 本紙張尺度義巾_規格⑵0; 591337 A7 B7 五、發明說明（3 系統或類似系統中用作上層光阻層，特別在無任何變化利用該製程之驗顯影系統光阻層。在製造包含具有半微米或更小寬度線路之㈣時，光刻曝先裝置所用波長變得越來越短，目前正對使用κπ激元雷射或AfF激元雷射進行研究。在使用料短波長之微影 (光刻）技術中，一般使用稱爲"化學放大型光阻劑"之光阻劑。訂，在使用ArF激元雷射時’以薄膜透光性視點看，特別不適合將酚結構作爲光阻劑主要组分引入黏著樹脂。所普遍使用《黏著劑爲樹脂聚合物，其包含能夠由酸分解且產生羧酸作爲成像部位之結構，如羧酸之三級酯（如第三丁酯）、1 -烷基金剛烷酯和經T H P保護之本體。線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ίν 作爲對ArF激το雷射透明之具成像部位之含矽光阻劑實例，JP-A第1 1-23 1542號（此處，” JP_A ”指"未經審查公開曰本專利申請案”）揭示一種聚合物，其包括馬來酸酐-羧酸不飽和第二丁酯·烯丙基三甲基矽烷-甲基丙烯酸乙氧基乙酉曰。該光阻劑有一個問題，處理超細圖案之析像度和線圖案之邊緣粗糙度差。在本文中，”邊緣粗糙度”指由於光阻劑性能，光阻線路圖案之上部和底部邊緣在與線路方向垂直之方向不規則波動，且自上方正視觀察到邊緣不規則之現象。另外，所塗佈薄膜具有高疏水性，因此，曝光面對鹼顯影劑顯示不良滲透性，不利產生大量顯影缺陷。發明概要本發明之目的爲提供一種用於製造半導體裝置之正型光 -6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 591337 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (I) A7 五、發明說明（4 阻組合物，該組合物保證高析像度、極隹線路圖案邊緣粗键度及減少顯影缺陷。經對正型化學放大系統中光阻組合物進行廣泛調查，本發明發現’藉使用由共聚特定重複單元獲得之可酸解樹月旨’可達到本發明之目的。更明確而言，本發明提供以下正型光阻組合物。 (1) 一種包含（A)樹脂之正型光阻組合物，該樹脂包括（a) 一種由以下式（I)代表之重複單元，（b)至少一種由以下式 (Ila)或（lib)代表之重複單元，（c) 一種由以下式（111)代表之重複單元及（d) —種滿足以下條件之重複單元（〗v): 可以與由式（I)至（III)代表重複單元對應之單體共聚，包含至少一種選自由含内酯結構之基團，含内醯胺結構之基團、-OH、_OCH3、-OCORa、-NHCORa、_NHS02Ra、 -N(R)CORa、-N(R)S02Ra、-COOH、_COORa、_CONHRa、 -C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN所組成之群之官能團，且可經過取代，其中r、r a和R b分別獨立代表具1至1 0個碳原子之烷基或芳基，及大體不能由酸分解，且在酸作用下於驗顯影劑中溶解度增加： ~f-CH2—CH夺 R, I I1 (CH2)TS 丨1 —只2 R3 其中R1至R3分別獨立代表烷基、鹵烷基、鹵原子、烷氧本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I I I I -ϋ ϋ n ϋ H ϋ ϋ 1· I · ϋ ϋ ϋ ϋ I 一-口V I ϋ ϋ ϋ ϋ I ^1 ϋ I I ϋ ϋ ϋ V. ϋ ϋ ^ I ϋ ϋ ϋ I ^ ϋ I I ϋ ·1 ϋ ϋ ϋ I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 591337 A7 B7 五、發明說明（5 ) 基、三烷基矽基或三烷基矽氧基，且n代表 γ -4-CH2—C-4- (Ha) L——C02 — Q 其：γ代表選自由氫原子、甲基、氰基和氣原子組成之群 (基團’ L代表單鍵或二價連接基團，Q代表氯原子夠由酸分解產生羧酸之基團；或能 CH~f- 〇=~i j=：〇 (lib) ___>·11 Jr— . I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其中X1和X2分別獨立代表選自氧原子、硫原子、_NH_ -nhso2·之基團；L>L2分別獨立代表單鍵或二價連接；團；A1代表-Q，或-COOQ，，但其限制條件爲，當χΐ代表』原子且L1代表單鍵時，Al代表-Q，； Α2代表氫原子、4 基、羥基、-COOH、-C00R，、<〇_ΝΗ1”、可經取代之丈基、可經取代之環烴基、烷氧基或-C〇〇Q,，其中r，*r 分別獨立代表可具有取代基之烷基；且…代表能夠由酸3 解產生羧酸之基團：

-CH-CH

0==S 广0 (XXX) 其中Z代表氧原子或Z-R4，R4代表氫原子、羥基、具線性

in I i^i ϋ I ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ I -8 - 591337 A7 B7 五、發明説明（6 ) 或分支鏈之烷基或-〇-S02-R5，且R5代表烷基或三鹵甲基。 (2)根據以上（1)中描述之正型光阻組合物，其中重複單元（IV)爲一種滿足重複單元（IV)所需條件之單元，且由下式（IV)代表： (IV) -l3-a3 其中Y表選自由氫原子、甲基、氰基和氣原子組成之群之基團，X3代表選自由-C02-、-0-及-CON(R)-組成之群之基團，其中r具有如上之相同含義，L3代表單鍵或二價連接基團，A2代表由下式（V)或（VI)代表之基團： —X4 -(-ilc)ml (V) 其中X4代表可在環内包含一個羰鍵或酯键之脂環系烴基，各R c獨立代表氫原子、院基、含有作爲取代基的至少一個官能團之烷基（該官能團選自由-OH、-0CH3、-OCORa、 -NHCORa、-NHS02Ra、-N(R)C0Ra、-N(R)S02Ra、-C00H、 -COORa、-CONHRa、-C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、 -C0N(Ra)(Rb)和-CN組成之群）或選自由 _0H、-0CH3、-OCORa、 -NHCORa、-NHS02Ra、-N(R)C0Ra、-N(R)S02Ra、-C00H、 -COORa、-CONHRa、-C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-C0N(Ra)(Rb) 和-CN組成之群之基團，其中R、Ra和Rb分別具有與上相同含義，ml代表〇至5之整數； —CH2—C—RC2 (VI) Rc3 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 591337 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（7 ) 其中Rcl和Rc3各自獨立代表氫原子、具1至10個碳原子可經取代之烷基、含作爲取代基之至少一個官能團之烷基 (該官能團選自由-OH、-OCH3、-OCORa、-NHCORa、 -NHS02Ra、-N(R)CORa、-N(R)S02Ra-、-COOH、-COORa、 -CONHRa、-C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和 -CN 組成之群）或選自由-COOH、-COORa、-CONHRa、 -C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN組成之群之基團，但其限制條件爲Rcl和Rc3不同時爲氫；且Rc2 代表選自由-OH、-OCH3、-OCORa、-NHCORa、-NHS02Ra、 -N(R)CORa、-N(R)S02Ra、-COOH、-COORa、-CONHRa、 -C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN組成之群之基團，其中R、Ra和Rb各自具有與上相同之含義。 (3) 根據以上（2)中所述之正型光阻組合物，其中式（IV) 中A3爲由以下式（VII)代表之基團： (VI 工〉 ρ).Τ1：其中X 5代表選自-C0-0·和- C(=0)-之基團，Rc和ml各自具有與上相同含義·，m5代表〇至2之整數。 (4) 根據以上（3 )中所述之正型光阻組合物，其中由式 (VII)代表之基團爲由以下式（VIII)4(IX)代表之基團： CJhU ο ___ __-10-___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ———------·_____ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

一口、I .1 I I I I I I ϋ I Lr ϋ I Γ· ϋ ϋ I I I I ϋ ϋ n I ϋ I 591337

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（8 ) CH3 (5) 根據以上（2 )中所述之正型光阻組合物，其中式（V) 中X 4爲金剛烷殘基。 (6) 根據以上（1)至（5 )任一項中所述之正型光阻組合物，其除包括樹脂（A )外，尚包括： (B) —種能夠以光化射線或輻射線照射產生酸之化合物， (C) 一種能夠溶解（a )和（B )之有機溶劑，和 (D) —種有機驗性化合物。 (7) 根據以上（6 )中所述之正型光阻組合物，其中該組分 (B )爲肖b夠以光化射線或輻射線照射產生有機續酸之化合物0 (8) 根據以上（1)至（7)任一項中所述之正型光阻組合物，其進一步包括（F)含氟界面活性劑、含矽界面活性劑和非離子界面活性劑之至少一種界面活性劑。本發明藉由使用具有上述明確結構重複單元之含矽可酸解樹脂，&良析像度和顯影缺陷，且進—步藉加入有機驗性化合物改良®案之線邊緣粗糙度。改良線邊緣粗链度之機理尚不m楚’但據推測，樹脂中高親水性組分⑻和有機驗性化合物協同作用，由之在對應線路側壁和邊緣部分心區域控脂中可酸解基團之分解比例。本紙張尺度翻

591337 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 五、發明說明（9 發明詳細説明以下描述本發明所用樹脂（A )。在重複結構單元中，…至R3各自獨立代表選自烷基、i 基、自原子、烷氧基、三烷基矽基和三烷基矽氧基之基團。該坑基較佳爲具1至i 〇個碳原子之線性或分支烷基，更佳爲具1至6個碳原子之線性或分支烷基，更佳爲甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基或第三丁基。画淀基之實例包括氣甲基、溴甲基和碘甲基。少充氧基較佳爲具1至6個碳原子之線性或分支烷氧基，更佳爲甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基或第三氧基，更佳爲甲氧基或乙氧基。三垸基秒基之烷基較佳爲具1至6個碳原子之線性或分支燒基，更佳爲甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基或第三丁基，最佳爲甲基。三燒基碎氧基之烷基較佳爲具1至6個碳原子之線性或分支烷基，更佳爲甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基或第三丁基，最佳爲甲基。 η代表0或1，較佳爲丨，邊緣粗糙度在此範圍得到更大改良。由式（I)代表重複單元之具體實例包括以下化合物，但本發明不限於此等明確實例。表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂-----------------1--------------- 591337 A7 B7 五、發明說明（1〇 )

Si(CH3}3 a-i) ；ch2— fHr (1-7)

Si{CHJ3 ：CH,

Sl{C^ (KZ) •ff

Sl{C^s}2 ch2—ch) CH2 Si(Si(CH5)3)3 (1-3) ；CH2~^jr (Ϊ-9)si(si(cfy3)3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -CH—CHj-夺 h2 (^) SiO(Si(CH3)a}3 [cht (1-10)

SiO(Si(CH3)3)3 -CH2—Ct (1-5). -4ch^- sia3 <ch广 (1-6) ch2 Si(OCH3)0 •ff Sid3_fh. SipCH3)3 (Ml) (M2) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 · ^1 ϋ ϋ ij -^1 «^1 —ϋ 一-ΰ，I ·ϋ ϋ I ·.1 I ^1 ϋ ϋ ϋ ^1 I ϋ ϋ ϋ i^i ϋ ϋ ^1 ϋ ϋ ϋ —^1 ϋ ϋ ϋ ^1 , 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 591337 A7 _____B7__ 五、發明説明（H ) — 在重複單元（Ila)中，γ代表選自氫原子、甲基、氰基和氯原子之基團。L代表單鍵或二價連接基團。Q代表氫原子或能夠由酸分解產生羧酸之基團。能夠由酸分解產生羧酸之基團爲在曝光時由組分（B )產生之酸作用下分解和自樹脂解吸且產生_CO〇H之基團。該基團之明確實例包括三級烷基（如第三丁基和第三戊基）、卜烷氧乙基（如異冰片基、1 -乙氧乙基、丨-丁氧乙基、i _ 異丁氧乙基和1-環己基氧乙基）、烷氧甲基（如丨_甲氧甲基和1-乙氧甲基）、四氫吡喃基、四氫糠基、三烷基矽基、 3 -氧代環己基、2 -甲基金剛烷基、甲瓦龍酸（mevai〇nic)内酯殘基以及2_(r-丁内酯基氧羰基）-2·丙基。在重複單元（lib)中，X1和X2分別獨立代表選自由氧原子、硫原子、-NH-和-NHS02-組成之群之基團。l1和L2分別獨立代表單鍵或二價連接基團。由L 1和L 2代表之二價連接基團明確爲選自由亞烷基、經取代亞烷基、醚基、硫醚基、羰基、酯基、醯胺基、磺醯胺基、胺基甲酸酯基和脲基或兩種或多種其組合基團所組成之群之基團。 L 1和L2之亞烷基和經取代亞烷基包括由下式代表之基團： -[C(Rd)(Re)]r. 其中Rd和Re可相同或不同，分別代表氫原子、烷基、經取代烷基、_原子、羥基或烷氧基。該烷基較佳爲低碳烷基’如甲基、乙基、丙基、異丙基和丁基，更佳爲甲基、乙基、丙基或異丙基。經取代烷基之取代基實例包括羥

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（η ) Γ仗自原子和％氧基。該貌氧基包括具1至4個碳原子之燒氧基，如曱0其土乙氧基、丙氧基和丁氧基。_原子之實例包括氯原子、溴馬 ^ ^ 昊原子、鼠原子和破原子。r代表1至1 〇之整數。 A1和A 2分別獨立代表氫原子、氰基、羥基、-c〇〇h、 •^OOR、-CCKNH-R”、可經取代之烷基、烷氧基、環烴基或-COOQ，其中R，和Rn分別獨立代表可具有取代基之燒基。 A A R和R"之烷基較佳爲具1至1 0個碳原子之線性或刀支k基’更佳爲具1至6個碳原子之線性或分支烷基，更佳爲甲I、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第一丁基或第三丁基。其烷氧基亦較佳爲具丨至6個碳原子之線性或分支烷氧基，更佳爲甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基或第三丁氧基，更佳爲甲氧基或乙氧基。Q ’之實例包括對重複單元（Ila)中Q描述之相同基團。上述燒基或烷氧基之額外取代基實例包括_原子（如氟、氣、溴和碘）和烷氧基（如甲氧基、乙氧基、丙氧基和丁氧基）。 Α1和A 2之環烴基實例包括環丙基、環戊基、環己基、金剛烷基、2 -甲基-2-金剛烷基、降冰片基、冰片基、異冰片基、三環癸基、二環戊晞基、降莰烷橋氧基、蓋基、異蓋基、新菫基及四環十二烷基。組成此等環烴基環之鍵可包含酯鍵或羰鍵。 -15 - ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱7 ---.-------------------t---------^ — ----------^---.------------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 591337 A7 __________B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（13) 環烴基之額外取代基實例包括羥基、卣原子，羧基、燒氧基、醯基、氰基和醯氧基。卣原子之實例包括氯原子、溴原子、氟原子和碘原子；烷氧基之實例包括丨至4個碳原子之烷氧基，如甲氧基、乙氧基、丙氧基和丁氧基；醯基之實例包括甲醯基和乙醯基；醯氧基之實例包括乙醯氧基。由式（Ila)代表重複單元之具體實例包括以下化合物，但本發明不限於此等具體實例。 CH| •CH3

HaD (Ha-1) (^-5) rCH, 令〇2 C(CH3)2(C2H3) -CH2—Of CHa (Ua-2) 计严 2 (Da-6) CHsOC^ -pf (H^8) · ---------：---t---------^ I --------- (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) -16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（14 )由式（lib)代表重複單元之具體實例包括以下化合物，但本發明不限於此等具體實例。 f〇2 C(CH3)3 (Ha-9)卞Hr (Ua-10) f〇2 C(CHab(p2Hs> CH, (Ua-13)

CH CH.¢5 PH3 ch3oc2 (Ha-12) (na-14) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

W) ί la VI 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 - mu ϋ .^1 ϋ 一-οτ I i^l ϋ ϋ I I ^1 ^1 11 ^1 n L1 ϋ ^1 n ϋ ^1 ϋ I- ϋ —^1 ϋ I ^1 ^1 ϋ ϋ i^i _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 591337 . A7 B7 五、發明說明（15 ) 冬"CH-CH*^0 0H C(CH3)3 CH 冲M 0=f T° 0 OH H3CH2C — C(CH3)；2 Μ ^CH- •CH^^ 0==f r° P-3] 0=^ y^o p-4] S OH ? OH C(CH3)3 ca2 qch3 ^^CH- ^ch- ，CH j r° p-5] °=r T^0 [1-6] 〇 OH 〇 I OH h3c-ch h3c-ch 0CH2CH3 0CH2ai2CH2CH3 0=f 〇

OH H-7]

〇=Υ γ=0 [1-8] 0 OH H3C-CH och2ch〔ch3)2

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 0=f 〇 I . H3COH2C-C(CH3)2

T° M OH °=T 0 C(CH3)3 SOo CH, -18- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I - — — — II - - - I - - - — II I - — IUI - - I - I - I - - - - ---- - - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）乃1337 A7 B7 五、發明說明（16 ) 0=f γ=0 H-11] Ο NH C(CH3)3 S02

[1-12] 0

IcH-CH 冲 Γ0 P-13] Ο NH CCCH^ S02 NH CH3 0=Ί T^0 P-35J 0 CL

0=f γ^ο Ο NH σ-ΐ4]

H3C — CH so2 ch3

I c(ch3)3 ch2ch2oh och2ch30=Γ Τ"° Π-16] 0 0、 ——.——- — — 1-----Φ____ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) C(CH3)3 ch2ch2cooh 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Π-1730、 C^CH^ ch2ch2och2ch2cooh 〇=f l=〇 P-18] 0 〇s ^{CH^ ch2ch2conhso2ch3 "^CH-CH 才 !=〇 P-19] 0 HN i(CH3)3 ^™°0H

tcH-CH 冲 0=^ T° Π-20] 〇 HN C(CH3)3 ^CH2CH2〇H -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ^-rov I I I I ϋ ki 1^1 n I ϋ ϋ ϋ ϋ I ϋ I .^1 ϋ I . 591337 A7 B7 五、發明說明（17) v /CH-CH 1 0=f γ=0 [卜21]? ◦、 0陶3叫_ ^ 才 v CH-CH J 0=f y^O 0-22J? 〇、 C(CH3)3 ch2ch2coocn3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

I · ^1 ϋ -^1 ϋ ·ϋ 一-口 V I ϋ ϋ ϋ t^i I I i^i l·— ϋ 1 ϋ I in in ϋ> ϋ ϋ n ϋ i^i I 冲 v yCH-CH 1 0=( y=0 il-23]&叫。、CH傅。〇 li〇H3h

CH-CfT^ γ=0 ^24] O 0、 O

}25] P-27J

• O

[^26] 1^28] x yCH-CH 7 〇=f y=^〇 0-29]

0=1 Y=0 0 Q * C(CH3)3 U~3D]

x yCH-CH }0=y 〇 o iC(CH3)3

il-32] COOH -20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 591337 A7 _ B7五、發明說明（18 ) 0=[ · r° [1-333 〇=f . γ=〇 [卜 34] 0 0 · 〇 1 s 1 c(ch3)3 1 C(CH3)3 _3)3 C(CH3)3 〇=f γ=0，[卜35] 0=[ ^===0 [卜 36] 〇〇 X 0 〇、 C(CH3)3 CH^ C(CH3)3 CH- I *ch3 OCH3 och2ch3 0=^ γ=0 [1-37] °-r r° [丨-3B] 0 〇v 〇 0 C(CH3)3 .υ 0 ch2 och3 1 ch2 och3 為 0==f T"0 [h39] 〇 1 〇、—， hc-ch3 ce-ch3 och2ch3 〇ch,ch3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -21 - 本紙張尺度適元中國ϋ：標準(CNS)A4規格⑵Ο X 297公釐） -· I I I J I I I 1 - - - - - - I — — ΙΙΓ - — ^· - I - - - I - - - - - - - - 591337 A7 • B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

五、發明說明（19 ) 冬XH-CH才 . J=0 [l-4〇j 0 | 0 i0 j C(CH3)3 ^；CH- CH沖 X° {1-42] 0 0 I CH20CH3 tcH-CH 彳 i0 -CH冲 0=( r° | 0 0 1 Ί C(CH3)3 [1-44]

[1-41] S ， ccch3)3 r° [1-43] Ο ο .

ch-ch3 och2ch3

(卜 45] Γ〇 [卜46] Ο 〇

"^CH - CH 冲， 0=T r° [I-47J Ο Ο IC(CH3)3

C(CH3)3 "^CH- ‘CH冲〇 Γ〇 [1-48] 1 h3c 0==f o。 (h C(CH3)3 ( )r CH-CH 、COOH F〇 ch2och3 [卜 49] -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 591337 A7 --—-—--— B7 _____五、發明說明（2〇 ) 在重複單元（III)中，Z代表氧原子或N_R4，R4代表氫原子、踁基、具線性或分支鏈之烷基或-0-S〇2-R5，且R5代表烷基或三南甲基。^和^之烷基較佳爲具1至10個碳原子 •^線性或分支烷基，更佳爲具〗至6個碳原子之線性或分支烷基，更佳爲甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基或第三丁基。由式（III)代表重複單元之具體實例包括以下化合物，但本發明不限於此等具體實例。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) -23- 尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公釐） -I « n ϋ ί I .^1 ϋ n 一-ov 1 n I ϋ n n I ϋ If >^· ϋ I ϋ ϋ ϋ I ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ .^1 I . A7 A7五、發明說明（21 )

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製重複單元（IV)具有以下特性： 1)可與由式（I)至（III)代表重複單元對應之單體共聚， 2 )包含至少一個選自由含内醋結構之基團、含内醯胺結構之基團、-OH、-〇CH3、-〇c〇Ra、-NHC〇Ra、_丽8〇办、 -N(R)CORa、-N(R)S02Ra、-COOH、-COORa、-CONHRa、 -C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN組成之群之官能團，其中R、Ra和R：b分別獨立代表具1至1〇個碳原子之烷基或芳基，且可經過取代，及 3 )大體不能由酸分解。在以上1)中，”可與式（I)至（ΠΙ)代表重複單元對應之單體共聚”確切含義爲，當式（I)至（III)代表重複單元對應之 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

591337 A7

五、發明說明（22 ) 單體和重複單元I V對應之單體在共存聚合觸媒中聚合時，總能產生一種聚合物，該聚合物分別以1莫耳％或更高量包含式（I)至（IV)代表重複單元之對應單體。在以上3 )中，，，大體不能由酸分解，，包括根本不能分解之情形或即使分解，分解率也非常低（小於5莫耳％ )。在以上2 )中，含内酯結構基團之實例包括含々-丙（醇酸）内酯、Γ-丁内酯、6 -戊内酯或ε -己内酯骨架之基團，且可具有取代基。取代基之實例包括低碳烷基（如甲基、乙基和丙基）及甲氧基。含内醯胺結構基團之實例包括含/?·丙内醯胺、r _ 丁内醯胺、d -戊内醯胺或ε -己内醯胺骨架之基團，且可具有取代基。其取代基之實例包括低碳烷基（如甲基、乙基和丙基）和曱氧基。此R、R a和Rb代表具1至1 0個碳原子烷基或芳基之實例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、正己基、環己基、苯基及茶基，且可經取代。此外，烷基或芳基之進一步取代基實例包括低碳烷基 (如甲基、乙基及丙基）和甲氧基。更確切言之，R較佳爲甲基、乙基、正丙基、異丙基、環己基或苯基，更佳爲甲基、乙基、正丙基、異丙基或環己基’更佳爲甲基、乙基、正丙基或異丙基。

Ra和Rb較佳分別爲甲基、乙基、正丙基、異丙基、異丁基、第二丁基、第三丁基、環己基或苯基，更佳爲甲 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 «I ϋ I ϋ I I I I I Li ϋ I I I n ϋ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 591337 A7 B7 五、發明說明（23) 基、乙基、正丙基、正丁基、環己基或苯基，更佳爲甲基、乙基、正丙基或環己基。重複單元（IV)較佳由式（IV)代表之重複單元。在式（IV)中，Y代表選自由氫原子、甲基、氰基和氯原子組成之群之基團。X3代表選自-C02_、-0-及-CON(R)-之基團，其中R具有與上相同之含義。L 3代表單鍵或二價連接基團。A3表示由式（V)或（VI)代表之基團。在式（V )中，X 4代表脂環系烴基，且可在環内包含羰鍵或酯鍵。各R c獨立代表氫原子、烷基、含作爲取代基之至少一個官能團之烷基（該官能團選自由- 〇H、-OCH3、 -OCORa、-NHCORa、-NHS02Ra、-N(R)CORa、-N(R)S02Ra-、 -COOH、-COORa、-CONHRa、-C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、 -CON(Ra)(Rb)和_CN組成之群）或選自由-OH、-OCH3、-OCORa、 -NHCORa、-NHS02Ra、-N(R)CORa、-N(R)S02Ra、-COOH、 -COORa、-CONHRa、-C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb) 及-CN組成之群之基團，其中R、Ra和Rb分別具有與上相同之含義，ml代表0至5之整數。在式（VI)中，Rcl和Rc3分別獨立代表氫原子、具1至1 0個碳原子可經取代之烷基、含作爲取代基之至少一個官能團之烷基（該官能團選自由-OH、-OCH3、-OCORa、-NHCORa、 -NHS02Ra、-N(R)CORa、-N(R)S02Ra、-COOH、-COORa、 -CONHRa、-C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和 -CN 組成之群）或選自由-COOH、-COORa、-CONHRa、 -C0NHS02Ra、_C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN組成之 — -26- ϋ張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,1:0、I H ϋ n ϋ ϋ ϋ —.1 I I ϋ ϋ ϋ ϋ t I I n ϋ I ϋ ^1 I I ϋ ϋ I ϋ ϋ . 591337 A7 _B7__ 五、發明説明（24 ) 群之基團，但其限制條件爲Rcl和Rc3不同時爲氫。且Rc2 代表選自由-OH、-OCH3、-OCORa、-NHCORa、-NHS02Ra、 -N(R)CORa、-N(R)S02Ra、-COOH、-COORa、-CONHRa、 -C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN組成之群之基團。R、Ra和Rb具有與上相同之含義。在式（IV)中，X3較佳爲-C02-或-CONH-，更佳爲-C02-。由L 3代表之二價連接基團確切爲選自由亞烷基、經取代亞烷基、亞芳基、經取代亞芳基、醚基、硫醚基、羰基、酯基、醯胺基、磺醯胺基、胺基甲酸酯基、脲基或兩種或兩種其組合基團所組成之群之基團。L3之亞烷基和經取代亞'坑基包括由下式代表之基團： _[C(Rd)(Re)]r_ 在該式中，Rd和Re分別獨立代表氫原子、烷基、經取代烷基、_原子、羥基或烷氧基。該烷基較佳爲低碳烷基，如甲基、乙基、正丙基、異丙基和正丁基，更佳爲甲基、乙基、正丙基或異丙基。經取代烷基之取代基實例包括羥基、_原子和烷氧基。該烷氧基包括具1至4個碳原子之烷氧基，如甲氧基、乙氧基、丙氧基和丁氧基。_原子之實例包括氣原子、溴原子、氟原子和破原子。r代表1至10之整數。_ L 3之亞芳基中亞芳基和經取代亞芳基之實例包括鄰亞苯基、間亞苯基、對亞苯基、2,3-亞莕基、2,6-亞莕基和2,7-亞莕基。在此等當中，較佳選用鄰亞苯基、間亞苯基及對亞苯基，更佳選用間亞苯基和對亞苯基。 -27- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇 X 297公釐) 591337 A7 --- B7 五、發明說明（25 ) L 3之8i胺基、磺醯胺基、胺甲酸酯基和脲基可分別在其氮原子上具有取代基。該氮原子上之取代基包括氫原子和燒基。該烷基較佳爲低碳烷基，如曱基、乙基、正丙基、異丙基和正丁基，更佳爲甲基、乙基、正丙基或異丙基。在式（V )中，X4之脂環烴基之具體實例包括卜丁内酯、四氫呋喃、d -戊内酯、四氫吡喃、金剛烷、降莰烷和異莰燒之殘基。在此等中，較佳環爲r - 丁内酯、d -戊内酯和金剛燒。

Rc之:基或具取代基烷基中之烷基包括具1至個碳原子之燒基，其明確實例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、正戊基、正己基和環己基。

Rc較佳爲氫原子、甲基、乙基、_〇h、-〇ch3、-COOH、 -COOCH3或-CN，更佳爲氫原子、甲基、_〇H、-C00H或_CN。 m 1較佳爲1至4之數字，更佳爲2或3。式（VI)中Rcl和Rc3之烷基或具取代基烷基中之烷基包括曱基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、正戊基、正己基和ϊ衣己基。

Rcl和Rc3較佳分別爲氫原子、甲基、乙基、正丙基、正丁基、環己基、-CH2OH、-CH2OCH3、-COOH、-COOCH3、 -CH2COOH或- CH2COOH3’更佳爲氯原子、甲基、乙基、正丙基、環己基、-CH2OH、-CH2OCH3、-COOH或-COOCH3，更佳爲氫原子、甲基、乙基、_CH2OH、-CH2OCH3、-COOH 或-COOCH3。

Rc2較佳爲-OH、-OCH3、-COOH、-COOCH3 或-CN，更佳 -28- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公餐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 — --------^ ---------I ----------------------- 591337 A7 r—-------— R7_ 五、發明說明（26 ) 爲-OH、-COOH或-CN。式（IV)中A3較佳爲由（V)代表之基團。由式（V)代表之基團更佳爲由式（VII)代表之基團，最佳爲由式（VIII)*(IX)代表之基團。在式（VII)中’ X5代表選自-c(=0)_0_和·c(=0)_之基團。Rc 具有與上相同之含義。 m5代表〇至2之整數。在式（VII)中，X5較佳爲-C0-0- ; Rc較佳爲氫原予、甲基、乙基、_0H、_OCH3、-COOH、_COOCH3或-CN，更佳爲氫原子、甲基、-OH、-COOH或-CN °ml較佳爲0至2之數字；m 5較佳爲0或1。含有由式（V)代表基團之重複單元之明確實例包括以下化合物，但本發明不限於此等明確實例。式（V)之實例：經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} . I I------------I I I----ί--I I I I I I--------- 591337 A7 B7 五、發明說明（27 ) ch2-ch^--^ch2-ch)--(* ch2- ch)— C〇7 co9. co2

〇〇‘ -(ch2-ch)--(ch2-ch)~. ~(ch2-ch)-—(ch2-ch- CO.

〇 o o CO,

o C〇2 CO,

-(ch2-ch)- C02 -(ch2 - CHi o,I . II CH2CH2〇CCH2CH2C02-(占 CH2CH2OCCH2CH2C〇2，〇

CH2—CHj- ~(-ch2-ch^ C〇2

OH 〇 ^ch2-ch]— CCb

co2h C〇2

co2h HO -(ch^ch]- ch2-ch)- -(ch2-ch] 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 C〇2

OH HO CO,

C〇2CH3 HO C〇2

co2ch3 ------------·1!—訂---------線 ---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 30· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（28 ) 包含由式（VI)代表基團之重複單元之明確實例包括以下化合物，但本發明不限於此等明確實例。式（VI)之實例： -CHp-GH- C02

—^ch2-ch]— · —^CH2~CH^~.丫入 CO广 OH

O II co2h ccv -(ch5-ch^ CO: -°v

Me

CN ^fcH2 — CH)—

Me 包含由式（VII)代表基團之重複單元之明確實例包括以下化合物，但本發明不限於此等明確實例。式（VII)之實例： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 IAW ---------^ --------I I ---------------------. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（29 )

~- (

-(oh2-chJ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} -c C〇2 I CH2CH2OCCH2CH2C02·。 ο ：η2— ch*^— ? CO, CO- i? CH2CH2〇CCH2CH2C〇2'

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製對於本發明之樹脂（A)，爲選擇由式（I)代元、至=一種來自（IIa)和（nb)之重複單元和由式（ΙΠ)ϋ 〈重複單元之含量，可藉考慮光阻劑之所需抗氧漿蝕刻性、敏感度、防止圖案裂化能力、對基板之接著力、光阻 2分布以及爲光阻、析像度、抗熱性及類似所需之因素實在用於本發明之樹脂（Α)中，由式（I)代表之重複單元含表之重複單 -32- 本紙張尺適用中國國豕標準（CNS)A4規格（21〇>< 297公釐 ^-----------------一--------------- 591337 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（3〇 ) 量以全部重複單元計，一般爲1 〇至9 〇莫耳％，較佳1 5至 7 0莫耳％，更佳2 〇至5 0莫耳％。來自重複單元（Ila)和（Hb)之至少一種重複單元含量以全部重複單元計，爲5至5 0莫耳％，更佳1 〇至4 〇莫耳。/0。重複單元（III)之含量以全部重複單元計，爲1〇至9〇莫耳 %，較佳1 5至7 0莫耳％，更佳2 0至6 0莫耳％。重複單元（IV)之含量以全部重複單元計，爲3至4〇莫耳 %，更佳5至3 0莫耳％。爲獲得本發明所用之樹脂（A)，可在聚合觸媒存在下共聚由式（I)代表重複單元對應之單體、至少一種自（IIa)和 (iib)之重複單元對應之單體、由式（ΙΠ)代表重複單元對應之單體以及由式（IV)代表重複單元對應之單體。另一種方法在共聚由式（I)代表重複單元對應之單體、式重複單元對應之單體及馬來酸酐後，或者在使式（1)代表重複單儿對應之單體和馬來酸酐共聚後，使所得共聚物中自馬來酉艾肝衍生之重複單元在鹼性或酸性條件下用醇進行部分開環酉旨化或水解。以GPC法聚苯乙烯爲基準，本發明之樹脂較佳具有〗，〇〇〇至20〇,〇〇〇之重均分子量。如果重均分子量小於丨，〇〇()，抗熱或抗乾蝕刻性能降低，所以不佳，而在超過2〇〇,〇〇〇時，顯影性能受到破壞，或者由於黏度極高，產生不利結果，例如，成膜性能惡化。在本發明之正型光阻組合物中，根據本發明混於全部組合物之樹脂（A)之量以光阻劑中全部固體含量計，較佳爲 33- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公愛 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·· , J n ^^1 1 ^^1 ^^1 ^^1 I ϋ ϋ i^i ^^1 ϋ ^^1 mMt n ϋ ϋ ϋ I 11 ·1 ϋ ^^1 I I ϋ· ^^1 < 591337 A7

五、發明說明（31 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 40至99.99重量％，更佳5〇至99 97重量％。能夠以光化射線或輻射線照射產生酸之化合物（B )係描述如下。能夠以光化射線或輻射線照射分解並由之產生酸之可用化合物實例包括，光陽離子性聚合所用之引發劑、光游離基聚合所用之引發劑、染料所用之光學脱色劑、光學褪色劑和能夠經照射產生酸之化合物，照射係以用於微影光阻劑或類似之已知光線（例如2〇〇至4〇〇納米之紫外線或遠紫外線’較佳爲g線、h線、i線或κ I* F激元雷射線），或者以 A r F激元雷射線、電子束、X射線、分子束或離子束照射。該化合物可適當自此等及其混合物選擇。能夠以光化射線或輻射線照射產生酸之本發明所用化合物之其G實例包括’錢鹽，如§ · I ·斯里辛格（gchlesinger) Photogr. Sci. Eng, [18, 387 (1974)]、T.S·巴爾（Bal)等人，1 &斗勿(polymer) [21，423 (1980)]等所述之重氮鹽，美國專利第4,069,055號、第4,069,056號和Re27,992、日本專利申請案第3-140140號等所述之銨鹽，D.C.耐克（Necker)等人，九分子(Macromolecules) [17，2468 (1984)]、C · S ·溫（Wen)等人，Teh, Proc. Conf. Rad, Curing ASIA [東京，1988年8 月，第4M頁]、美國專利第4,〇69,055號及第4,〇69,〇56號等所述之磷鑌鹽，J.V.克瑞威洛（Grivello)等人，大分子[1〇 (6) 1307 (1977)]、Chem. & Eng. News [Nov· 28，ρ· 3 1 (1988)]、歐洲專利第104，143號、第339,049號和第410,201號、日本專利申請案第2-150848號、第2-2965 I4號等所述之碘鏘鹽，j. -34- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> ·· 訂i •線丨Φ----ΓΙ1ί----------- 591337 A7 B7 五、發明說明（32 ) V·克瑞威洛等人，聚合物 J· (Polvmer J.) [17, 73 (1985)]、J. V·克瑞威洛等人，J. Org· Chem· [43, 3055 (1978)]、W. R·沃特（Watt)等人，J. Polymer Sci., Polymer Chem. Ed. [22，1789 (1984)]、J· V·克瑞威洛等人，聚合物體（Polymer Bull)[14, 279 (1985)]、J· V.克瑞威洛等人，大分子Π4 (5)，1141 (1981)]、J· V·克瑞威洛等人，J. Polymer Sci., Polymer Chem. Ed· [17, 2877 (1979)]、歐洲專利第 370,693 號、第 161,811 號、第 410,210 號、第 339,049 號、第 233,567 號、第 297,443 號和第297,442號、美國專利第3,902，114號、第4,933,377號、第 4,760,013號、第4,734,444號和第2,833,827號、德國專利第 2,904,626號、第3,604,580號和第3,604,581號、日本專利申請案第7-28237號、第8-27102號等所述之硫鑌鹽，J· V·克瑞威洛等人，大分子「10 (6)，1307 (1977)]、J. V·克瑞威洛等人，J. Polymer Sci·, Polymer Chem. Ed· [17，1047 (1979)] 等所述之硒鑌鹽，及C· S·溫等人，Teh, Proc. Conf. Rad. Curing ASIA「第478頁，1988年8月，東京]所述之坤鑕鹽等；美國專利第 3,905,815 號、JP-B-46-4605 (，’JP-Bn指’’經審查曰本專利公告π)、日本專利申請案第48-36281號、第 55-32070 號、第 60-239736 號、第 61-169835 號、第 61-169837號、第 62-58241號、第 62-212401號、第 63-70243 號、第63-298339號等所述之有機i化合物；Κ.梅耶（Meier) 等人，J. Rad. Curing [13 (4)，26 (1986)]、Τ· Ρ·吉爾（Gill)等人，無機化學(In〇rg· Chem.)[19, 3007 (1980)]、D·阿斯特拉（Astruc)，Acc· Chem· Res· [19 (12)，377 (1896)]、曰本專 -35- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ·------- I ^---------^ I ----^---^---------------- 591337 A7 B7 五、發明説明（33 ) 利申請案第2-161445號等所述之有機金屬/有機鹵化物；S. 哈亞斯（Hayase)等人，J. Polymer Sci. [25, 753 (1987)]、Ε·瑞曼尼斯（Reichmanis)等人，J. Polymer Sci., Polymer Chem. Ed. [23, 1 (1985)]、Q· Q.朱(Zhu)等人，J. Photochem· [36, 85, 39, 317 (1987)]、B.阿密特（Amit)等人，Tetrahedron Lett. [(24) 2205 (1973)]、D. H. R·巴坦（Barton)等人，J. Chem. Soc· [3571 (1965)]、P. M·考林斯（Collins)等人，J. Chem· Soc·[柏金 (Perkin) I，1695 (1975]、M.如丁斯坦（Rudinstein)等人， Tetrahedron Lett· [(17)，1445 (1975)]、J· W.沃克（Walker)等人，J. Am. Chem. Soc· [110，7170 (1988)]、S· C·布斯曼 (Busman)等人，J. Imaging Technol. [ 11 (4)，191 (1985]、H· M.侯林漢（Houlihan)等人，大分子[21，2001 (1988)]、Ρ· Μ. 考林斯等人，J. Chem. Soc·，Chem. Commun· [532 (1972)]、S· 哈亞斯等人，大分子[18, 1799 (1985)]、E.瑞曼尼斯等人，L Electrochem. Soc·，Solid State Sci· Technol·「130 (6)1、F. M. 侯林漢等人，大分子[21，2001 (1988)]、歐洲專利第0, 290, 750 號、第〇46,083 號、第 156,535 號、第 271,851 號和第 0,388,343 號、美國專利第3,901，710號和第4，181，531號、日本專利申請案第60-198538號、第53-133022號等所述具鄰硝基苄基類型保護-基之光化發酸劑；光化分解產生磺酸且由亞胺磺酸酯（鹽）代表之化合物，描述於Μ ·吐努卡（TUNOOKA)等人，曰本，聚合物預印刷(Polymer Preprints Japan) [35 (8)]、G·波那（Berner)等人，J. Rad. Curing [ 13 (4)]、W· J·密基斯（Mijs)等人，塗覆工藝（Coating Technol·) [55 (697)，45 -36- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 591337 A7 B7 五、發明說明（34 ) (1983)]、亞克蘇（Akzo))，H.阿達齊（Adachi)等人，曰本，聚合物預印刷[37 (3)]、歐洲專利第0，199,672號、第84,515 號、第044,115號、第618,564號和第0,101，122號、美國專利第 4,371，605號和第4,431，774號、日本專利申請案第64-18143 號、第2-245756號、第3-140109號等；日本專利申請案第61-166544號、第2-71270號等所述之二颯化合物；以及日本專利申請案第3· 103854號、第3-103856號和第4-210960號等所述之重氮酮颯和重氮砜化合物。除以上外，亦可使用其中將能夠由光產生酸之上述基團或化合物引入主鏈或側鏈之化合物，其實例化合物描述於 Μ· E.伍德象斯（Woodhouse)等人，J. Am· Chem. Soc· [104, 5586 (1982)]、S· Ρ·帕帕斯（Pappas)等人，J. Imaging Sci. [30 (5)，218 (1986)]、S.康朵（Kondo)等人，Makromol. Chem” Rapid Commun· [9，625 (1988)]、Y·亞馬達（Yamada)等人， Makromol. Chem, [152, 153, 163 (1972)]、J· V·克瑞威洛，L Polymer Sci，Polymer Chem· Ed· [17，3845 (1979)]、美國專利第3,849，137號、德國專利第3,914,407號、日本專利申請案第 63-26653 號、第 55-164824 號、第 62-69263 號、第 63-146038號、第63-163452號、第62-153853號、第63-146029號等。此外，亦可使用由光產生酸之化合物，其描述於V. N. R. 匹莱（Pillai)，合成(Synthesis)[(l), 1 (1980)]、A·阿拜德 (Abad)等人，Tetrahedron Lett. [(47) 4555 (1971)]、D· Η· R. 巴坦等人，J· Chem· Soc· [(C)，329 (1970)]、美國專利第 -37- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規^(210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •丨----- It---------^ I----.---^---------------- 591337 A7 五、發明說明（35 ) 3,779,778號、歐洲專利第126,712號等。在此等能夠以光化射線或輻射線照射分解且由之產生酸之化合物中，特別有效化合物描述如下。 (1)由下式（PAG1)代表之嘮唑衍生物及由下式（pAG2)代表之均三畊衍生物、兩種衍生物係分別以三卣甲基取代：

R N—N/ W 201 0 (PAG1) C(Y)

C N C(Y) (PAQ2) 其中R2G1代表經取代或未經取代芳基或者經取代或未經取代晞基，R2G2代表經取代或未經取代芳基、經取代或未經取代晞基、經取代或未經取代烷基或-C(Y)3，Y代表氣原子或溴原子。其明確實例包括以下化合物，但未以任何方式限制本發明0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •38- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

— · ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ 一φ、I H ϋ ϋ ϋ ϋ H ϋ I ^ I ϋ I ^1 ^1 I I I ϋ I ϋ ϋ I ^1 ^1 I ϋ ϋ .1 I ϋ ^1 I 591337 A7 B7 五、發明說明（36 ) C1 CH=CH- CC13 (PAG1-1) N-N h3c-^)-ch=ch-c.〇；c-cci3 (PAG1-2) N-NH3c。乂）- CH 二 CH- c、〇/ C - CBx3 (PAG1-3) N-N-Q^C如CH 乂。》-叫 (PAG1-4)

(ni^HgO .0 0

N 一N (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) CH=CH (PAG1-5) c 一 cci3 Q-ch=ch^〇-c； .(PAG1-5) n—n ；C-CC13 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 N-N Q[Vch 奢A〇>-叫 (PAG1 - 7) N_N CH=CH-C^〇^-CC13 {3~ch==ch^O^ (PAGl-B) 39- ··____ ϋ ί 1 ·ϋ 一-口、I ϋ ·ϋ ϋ i^i I 11 線 I ----.------------------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（37) ecua3c义n人cc】3 C1

(PAG2-2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

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Λ Λa3c 八 Ν 人ca: (PAG2 - 7)

(2 - 4)

COCH, (PAG2-6) OCH, CH=CH N^NΛ Λa3c 八;K~cc!〕 (PAG2-S) -40- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^1337 發明說明（38 ) ^1337

cQ 9H-CH N Ac 八;tr、cq3 CPAG2-9) αΑΛU3C n ca3 (PAG2 -10) 式（PAG3)代表之㈣11和由以下式（PAG4)代表

ArJ ：ΙΘ 2Θ c請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁：> -· ϋ ml ϋ

Ar" (PAG3> Θ (PAG4) R' 205 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製在式（PAG3)中，Ari和Ar2分別獨立代表經取代或未經取代芳基。其取代基較佳爲垸基、卣烷基、環燒基、芳基、烷氧基、硝基、羧基、烷氧羰基、羥基、醜基或_原子。在式（PAG4)中，R2❹3、&2。4和R2〇5分別獨立代表經取代或未經取代烷基或者經取代或未經取代芳基。較佳爲具6至 1 4個碳原子之芳基、具1至8個碳原子之烷基或其經取代衍生物。該經取代芳基之取代基較佳爲具1至8個碳原子之烷氧基、具1至8個碳原子之烷基、硝基、羧基、幾基或齒 -41 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 591337 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（39 ) 原子，該經取代烷基之取代基較佳爲具1至8個碳原子之燒氧基、羧基或烷氧羰基。在式（PAG3)和（PAG4)中，Z-代表相反陰離子，灰實例包括全氟烷磺酸陰離子（如BF4_、AsF6_、PF6_、SbF6·、SiF62·、 CIO,和CF3S〇3_)、經縮合多核芳系磺酸陰離子（如全氟苯續酸陰離子和莕1 -磺酸陰離子）、蒽醌磺酸陰離子以及各含續酸基團之染料，但本發明不限於此。可通過單鍵或取代基連接R2〇3、r2〇4和r2〇5之二者或Arl和 Ar2 〇其明確實例包括以下化合物，但未以任何方式限制本發明。 ΟτΆ. 4¾ ^-sof _3-” sof (PAG3D Λ 1? θ (PAC3-3) 0^0 (PAG3-4) -42- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ϋ ϋ f ϋ 1 I · ϋ ϋ J .[ ϋ ϋ 一，0、I ϋ ϋ I I ^1 ϋ I I I ^1 I I ϋ WH ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ I I I ϋ I ϋ . (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 591337 A7 . B7 五、發明說明（40 )

OCH3 SbF6 (PAC3-7) cf3so3 OCH3 PF6 Θ Θ

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02N (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (PAG3-B) N〇2

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I W· 一-口、I ^1 ^1 ϋ ϋ —i ϋ ί I ϋ I ^1 ^1 I κϋ ϋ I ϋ ϋ ϋ ϋ I I n I I ϋ ϋ n I I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（42 )

CF3SO3 0

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(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (PAG3-26)

Χ----^ CF3(CF2)3S〇f (PAG3-2B) '--Ο-βΟ--^ CF3(CF2)7S〇f (PAG3-2S) _-46- _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

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(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - I I I I I I 一= 口，— — — — — — — — — I I I I I Γ — — — — — — — — — — — — — — — — — — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（45 ) /h-s-K ^-OC^HsJ CF^SO® (PAG4-B) H3C0 ^ 、〇& α CF3S0； © 2 (PAG4-9)即~〇~产嗎玛θ ch3 (PAG4-10)

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I I ϋ Ί I I I 一-口，I n ϋ ϋ ϋ I 1 I I I ϋ ϋ ϋ Ml ϋ ϋ I I I ϋ ϋ I ϋ ϋ ϋ I ϋ I I I ^1 I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（46 ) H0(n)^ © (PAG4—14) bf4 Θ ch3 (FAG4-15)

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- .-ϋ 1 ϋ ϋ ϋ n I^口、 ϋ ϋ I ϋ I I I ϋ ^1 ^1 ϋ »^1 ϋ ϋ ^1 ^1 ϋ ϋ ^1 H 51 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（49 )

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(PAG4-34) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 52 -ϋ I ϋ m 一-0, » ϋ ϋ I II ϋ -ι>— »ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ·ϋ l^i I in —^1 .^1 n - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（5〇 )

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CF3(CF2>3S〇f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^8^17 ~

cf3(cf2)3so3 Θ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -53

一-口，· ^1 ϋ ϋ I ϋ ϋ I I I I ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ ϋ ϋ ί— ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ I I ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（51 ) 上述由式（PAG3)和（PAG4)代表之鏘鹽爲我們所熟悉，且可以下述方法合成’例如J· W·奈普西爾（Knapczyl)等人，J· Am^Chem. Soc. [91，145 (1969)]、A· L·梅克（Maycok)等人，L Qlg^-Chem. [35, 2532 (1970)]、Ε·果薩斯（Goethas)等人，Bull· Soc_^Chem. Belg. [73，546 (1964)]、Η· M.雷赛斯特（Leicester)， J^Am. Chem. Soc. [5 1，3587 (1929)]、J· V·克瑞威洛等人，L l〇hm. Chem, .Ed. [18, 2677 (1980)]、美國專利第 2,807,648 號及第4,247,473號、日本專利申請案第53-101331號等。 (3)由下列式（PAG5)代表之二磺酸衍生物和由式（PaG6)代表之亞胺續酸衍生物： (PAG5) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

R206 - SO广。-N u 人 (PAG6) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其中Ar3和Ar4分別獨立代表經取代或未經取代芳基，R2〇6代表經取代或未經取代烷基或者經取代或未經取代芳基，A 代表經取代或未經取代亞燒基、經取代或未經取代亞缔基或者經取代或未經取代亞芳基。其明確實例包括以下化合物，但未以任何方式限制本發明〇 54- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐） — · ϋ »1— ϋ ϋ ϋ H ϋ 一-口，I W MB ^ ΜΗ· MB Μ·· MB Η·· KB MB · 591337 A7 B7 五、發明說明（52 ) (PACS-r])SO 广 so2-(^CH3

CI CPAG5-2) h3co^^s〇2—s〇2· (PAG5-3) H3C{^KS0广 5¾ (PAG5-4)

〇CH3

CI (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) #

P3C <y (PAC5-5) 訂ί

S〇2一 S02 so厂 S02-^^_CF3

CI 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (PAC5-5) η5〇2〇

ca S〇2—SO 2 (PAG5-8)

Cl -55- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） a 線_·——Γ —------------ 591337 A7 B7 五、發明說明（53 ) ca S0；2 — S〇2 ~ (PAG5-9) ch3 a

s〇2〜 so:

0CH3

Cl (PAG5-10) SO广 5¾ (PAG5-11)

OCH, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •參 h3c k<y h3c SO 厂 S02.

(PAG5-22) 訂i

F F F

S02一 S02·

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F F F F F (PAC5-13) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

<^)~S0广 SO:

(PAG5-15) -56 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）線丨^----- 591337 A7 B7 五、發明說明（54 ) 0

,Ν-0—S02 -^ 0 (PAG6-2) 0

，N_0- 0 (PAG6-2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ

0CE, 0 (PAG6-3) 0

<y CF, 訂i 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

0CH3 -57- 線 ----·------------------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（55 ) 〇 0 (PAG5-7) 0 N— 0—SO, 0 (PAG6-8) 0

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

-58- I I I i I I 一aj— — — — — — — — — —^^^1 I I I I»— I ϋ I I ϋ ϋ ϋ I ϋ I ! ϋ ϋ ϋ I I _ _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（56 )

0-50厂 CF3 (PAG6-13)

F (PAG6-14) η

F (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (PAG6-15) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -59-

一 δ、1 I ϋ ϋ ϋ I I ϋ a^i ϋ ·ϋ I ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ .^1 ϋ ϋ ^1 I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（57

0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 蠡 H3c h3c

，N-G - S02-CF3 Ο (PAG6-18) Ο

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -RO -

一：口 t 1 n ϋ I I ϋ ϋ I ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ ^1 ^1 ^1 n ϋ ^1 ϋ I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 591337 A7 B7 五、發明說明（58 ) (4)由以下式（PAG7)代表之重氮二砜衍生物 n2 R21—S02—C—S02—R22 (PAG7) 其中R21和R22分別獨立代表可具取代基之烷基、環烷基或可具取代基之芳基。遠:ki基較佳爲具1至2 0個碳原子之線性或分支燒基，更佳爲具1至1 2個碳原子之線性或分支烷基。該環烷基較佳爲環戊基或環己基。該芳基較佳爲可具取代基之6至1 〇個石反原子^•基。其取代基之實例包括，垸基，如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、正己基、正辛基、2_乙基己基、壬基、癸基及十二烷基；烷氧基，如甲氧基、乙氧基、丙氧基和丁氧基；1¾原子、硝基和乙驢基。該重氮二颯衍生物之明確實例包括以下化合物：雙（甲磺醯基）重氮甲烷、雙（乙磺醯基）重氮甲燒、雙（丙〜s盛基）重氮甲纟死、雙（1·甲基丙橫醯基）重氮甲故、雙（丁磺醯基）重氮甲烷、雙（1-甲基丁磺醯基）重氮甲燒、雙（庚磺醯基）重氮甲烷、雙（辛磺醯基）重氮甲烷、雙（壬續驢基）重氮甲烷、雙（癸磺醯基）重氮甲烷、雙（十二烷磺醯基）重氮甲烷、雙（三氟甲磺醯基）重氮甲烷、雙（環己磺醯基）重氮甲垸、雙（爷確醯基）重氮甲烷、雙（2-氣苄磺醯基）重氮甲烷、雙（4_氣苄磺醯基）重氮甲烷、雙（苯磺醯基）重氮甲烷、雙（4 -甲氧基苯磺醯基）重氮曱烷、雙（2 -甲基苯橫酿 -61 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ϋ· «^1 ·ϋ ϋ I ϋ ^1 ·ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ ^1 n ϋ ^1 ϋ I ϋ ϋ ^1 ϋ I ϋ ϋ - 591337 A7 五、發明說明（59 ) 基）重氮甲烷、雙（3·甲基苯磺醯基）重氮甲烷、雙（4-甲基苯磺醯基）重氮甲烷、雙（2,4-二甲基苯磺醯基）重氮甲烷、雙（2,5-二甲基苯磺醯基）重氮甲烷、雙（3,4_二甲基苯磺醯基）重氮甲烷、雙（2,4,6-三甲基苯磺醯基）重氮甲烷、雙（4-氟苯磺醯基）重氮甲烷、雙（2,4-二氟苯磺醯基）重氮甲烷、雙（2,4,6-二氟苯磺醯基）重氮甲烷及雙（4_硝基苯磺醯基）重氮甲烷。 (5)由下列式（PAG8)代表之重氮酮砜衍生物：

R 21

•CO n2II -C一S07—R* 22 (FAG8) (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) Φ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其中R21和R22分別獨立代表可具取代基之烷基、環烷基或可具取代基之芳基。其取代基之明確實例與（PAG7)之取代基相同。重氮酮颯衍生物之明確實例包括以下化合物：甲磺醯基-苯甲醯基-重氮甲烷、乙磺醯基-苯甲醯基-重氮甲烷、甲磺醯基-4-溴苯甲醯基-重氮甲烷、乙磺醯基_ 4 -溴苯甲醯基-重氮甲烷、苯磺醯基-苯甲醯基-重氮甲烷、苯磺醯基-2-曱基苯基-重氮甲烷、苯磺醯基—3-甲基苯基·重氮甲烷、苯磺醯基-4-甲基苯基-重氮甲烷、苯磺醯基-3-甲氧苯基-重氮甲烷、苯磺醯基-4-甲氧苯基-重氮甲烷、苯磺醯基-3_氣苯甲醯基·重氮甲烷、苯磺醯基- 4-氯苯基-重氮甲烷、甲苯磺醯基-3-氯苯甲醯基-重氮甲烷、甲苯磺醯基-4-氣苯基-重氮甲烷、苯磺醯基-4-氟苯 -62- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

» * 一：口，1 ^1 ^1 11 ϋ i^i I B^i I I ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ 1« I I 591337

基-重氮甲烷及甲苯磺醯基氟苯基-重氮甲烷。在此等化合物中’適合使用在以光化射線或㈣線照射分解以產生有Μ酸之化合物。使用此類化合物可獲得良好析像度和光阻劑性能之良好再現性。所时機树爲具有機基團之磺酸。該有機基團之實例包括可具取代基之烷基'可具取代基之苯基及可具取代基之茶基。其取代基之實例包括具1至12個碳原子之線性或分支烷基、具1至6個碳原子之烷氧基和齒原子（如氟、氣、溴和碘）。有機基團之具體實例包括，烷基，如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正：基、異丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第三戊基、第一戊基、正己基、正戊基、正辛基、2 -乙基己基、壬基、癸基及十二烷基；經取代烷基，如氣甲基、二氣甲基、三氣甲基、氯乙基、氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、全氟丁基及全氟辛基；經取代苯基，如苯基、甲苯磺酿基、二甲苯基、三甲苯基、甲氧苯基、乙氧苯基、氯苯基、溴苯基、硪苯基、氟苯基和五氟苯基；及經取代莕基’如莕基、甲莕基、甲氧莕基、氣莕基、溴莕基及碘莕基。在此等有機基團中，.較佳選用具氟原子者。此類化合物之實例包括下列化合物（Β1)至（Β6)，此等化合物（Β1)至（Β6)出自由式（PAG1)至（PAG8)代表之化合物（產生有機磺酸者）。 (Β1)具有有機磺酸陰離子作爲相反陰離子之硫鑌鹽化合物 (Β2)具有有機磺酸陰離子作爲相反陰離子之碘钂鹽化合物 (Β3)有機二颯衍生物 __ -63- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X 297公釐) 591337 A7 _ _ B7 五、發明說明（61) (B4)亞胺磺酸衍生物 (B5)重氮二颯衍生物 (B6)重氮酮颯衍生物作爲光化發酸劑，較佳選用以光化射線或輻射線照射產生有機磺酸之化合物（B-3)至（B-6)，因爲光阻圖案之析像度良好；選用產生氟化有機磺酸之化合物（b_3)至（B-6) 更佳，因爲其敏感性高。所加光化發酸劑（B )之量以本發明正型光阻組合物總重量計（不包括塗料溶劑），通常爲0力01至4〇重量％，較佳 0·01至20重量％，更佳〇·ι至5重量％。如果能夠以光化射線或輻射線照射分解並由之產生酸之化合物加入量小於 0·001重量％ ’則敏感性降低，若加入量超過4 〇重量％，則由光阻劑吸收之光線過度增加，分佈變壞，或者不利減小處理邊限（特別爲烘焙）。本發明之正型光阻組合物較佳包含（D)有機鹼性化合物。有機鹼性化合物之實例包括具下列結構之化合物： R251 R2S。—jjj_R252 (A) 其中R250、尺251和R252可相同或不同，分別代表氫原子、具 1至6個碳原子之烷基、具1至6個碳原子之胺烷基、具1至 6個碳原子之羥烷基或具6至2 〇個碳原子之經取代或未經取代芳基，但其限制條件爲和R252可彼此結合成環； ____-64- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------#! (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

一：口、 ϋ i-i —i I ·ϋ ·ϋ ^1 ϋ ^1 ·1. ϋ n ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ ϋ ^1 .1- H ^1 I 591337 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____B7 五、發明說明（62)I L ~ N-I I =c—N—c-—II. _ I Ψ j^| r254 r255 R253—C—N一C—R256I I 其中R253、R254、R255和R256可相同或不同，分別代表具1至6 個碳原子之烷基。該化合物更佳爲在一個分子内具有化學環境不同兩個或多個氮原子之含氮驗性化合物，更佳爲具有經取代或未經取代胺基和含氮原子環結構二者之化合物或具烷胺基之化合物。其較佳具體實例包括經取代或未經取代胍、經取代或未經取代胺基吡啶、經取代或未經取代胺烷基吡啶、經取代或未經取代胺基P比洛淀、經取代或未經取代吲峻、經取代或未經取代吡唑、經取代或未經取代吡畊、經取代或未經取代嘧啶、經取代或未經取代嘌呤、經取代或未經取代咪唆淋、經取代或未經取代P比嗅淋、經取代或未經取代哌畊、經取代或未經取代胺基嗎啉以及經取代或未經取代胺烷基嗎啉。其取代基之較佳實例包括胺基、胺燒基、嫁胺基、胺芳基、芳胺基、烷基、烷氧基、醯基、醯氧基、芳基、芳氧基、硝基、羥基和氰基。該化合物之較佳具體實例包括胍、1，卜二甲基脈、 (B) (C) 〇)) (E) --------^---------&—ΦΙΙ — f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} -65- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297 ) 591337 A7 __B7___ 五、發明說明（63) 1，1，3,3-四甲基胍、2 ·胺基吡啶、3 -胺基吡啶、4 -胺基吡淀、2 -二甲胺基p比淀、4 -二甲胺基p比淀、2 -二乙胺基p比啶、2 -胺甲基吡啶、2 -胺基_ 3 -甲基吡啶、2 -胺基-4 ·甲基吡啶、2 -胺基-5 ·甲基吡啶、2 -胺基-6 -甲基吡啶、3 -胺乙基吡啶、4 -胺乙基吡啶、3 -胺基吡咯啶、哌畊、N-胺乙基）哌畊、N-(2-胺乙基）哌啶、4-胺基-2,2,6,6-四甲基味淀、4 -喊淀基喊淀、2 -亞胺基喊淀、1-(2 -胺乙基）p比咯啶、吡唑、3 -胺基-5 -甲基吡唑、5 -胺基-3 -甲基-1 -對甲苯基p比吐、p比畊、2 -(胺甲基）-5-甲基p比畊、喊淀、2,4-二胺基p密淀、4，6 -二輕基喊淀、2 - p比嗤淋、3 - p比峻淋、三級嗎啉衍生物[如N -胺基嗎啉、N - ( 2 ·胺乙基）嗎啉、1，5-二氮雜二環[4,3,0]壬烯-5、1，8-二氮雜二環[5,4,0]十一碳晞-7、2,4,5-三苯基咪唑、N -甲基嗎啉、N -乙基嗎啉、N -羥乙基嗎啉、N -苄基嗎啉和環己基嗎啉乙基硫脲（CHMETU)] 以及曰本專利申請案第11-52575號所述之受阻胺（例如 [0005]中所述者），但本發明不限於此。更佳具體實例包括1，5-二氮雜二環[4,3,0]壬烯-5、1，8-二氮雜二環[5,4,0]-7-十一碳晞（DBU)、1，4-二氮雜二環[2,2,2] 辛烷、4 -二甲胺基吡啶、六亞甲基四胺、4,4-二甲基咪唑琳、p比洛、说吐、咪峻、噠畊、嘧淀、三級嗎淋衍生物 (如CHMETU)和受阻胺[如雙（1，2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基）癸二酸g旨]。在此等化合物中，更佳選自1，5·二氮雜二環[4,3,0]壬晞-5、1，8-二亂雜一 $衣[5,4.0]十一碳晞_7、l，4-二氮雜二環 -66- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ---------^---------線丨 -----.------------------- 591337 A7 B7 五、發明説明（64 [2,2,2]辛燒、4 -二甲胺基P比淀、六亞甲基四胺、chmETU 及雙（1，2,2,6,6-五甲基_4-喊咬基）癸二酸@旨。可單獨使用此等有機鹼性化合物，或使用兩種或多種其混合物。所用有機鹼性化合物之量以光阻組合物全部固體量計，一般自0.001至10重量％，較佳〇〇1至5重量％。如果用量小於0.001重量％，則不能得到加入有機鹼性化合物之效果；如果大於10重量％，則易減低敏感度或非曝光區域顯影能力變壞。本發明之正型光阻組合物較佳包含（E)界面活性劑，即，較佳包括含氟界面活性劑、含矽界面活性劑、含氟原子和矽原子二者之界面活性劑及非離子性界面活性劑之至少一種界面活性劑。在此等中，更佳選用含氟界面活性劑、含矽界面活性劑以及含氟原子和矽原子二者之界面活性劑。此等界面活性劑之實例包括曰本專利申請案第62_36663號、第 61-226746號、第 61-226745 號、第 62-170950號、第 63_ 34540號、第 7-230165號、第 8-62834號、第 9-54432 號及第 9_ 5988號所述之界面活性劑。亦可使用以下市面上銷售之界面活性劑。可用市售界面活性劑之實例包括含氟界面活性劑及含♦ 界面活性-劑，如EFtop EF301和EF303 [由Κ· K·辛-阿齊塔，卡塞生產（Shin-Akita Kasei Κ· K·)]、Florad FC430和431 [由蘇密托莫 3M 公司生產（Sumitomo 3M Inc·)]、Megafac F171、F173、F176、F189和R08 [由代尼盤墨水及化學品公司生產（Dainippon Ink & Chemicals，Inc·)]、Surflon S-382、 -67- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

裝訂

591337 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ' --------- 五、發明說明（65) SC101、102、103、1〇4、105和1〇6 [由阿薩悉-格拉斯公司生產（Asahi Glass Co·，Ltd·)]以及 Troysol S-366 [由卓依化學么司生產（Troy Chemical)]。此外，亦可使用聚矽氧烷聚合物KP-341 [由辛-埃蘇化學公司生產（Shi心Etsu ，

Ltd·)]作爲含碎界面活性劑。作爲界面活性劑另外實例之非離子性界面活性劑之具體實例包括，聚乙二醇烷基醚，如聚乙二醇月桂醚、聚乙二醇硬脂醚、聚乙二醇鯨蠟醚及聚乙二醇油醚；聚乙二醇烷烷芳醚，如聚乙二醇辛基苯醚和聚乙二醇壬基苯醚；聚乙一醇/聚丙二醇嵌段共聚物；脂肪酸脱水山梨糖醇酯，如單月桂酸脱水山梨糖醇酯，單棕櫚酸脱水山梨糖醇酯，單硬脂酸脱水山梨糖醇酯，單油酸脱水山梨糖醇酯，三油酸脱水山梨糖酸酯和三硬脂酸脱水山梨糖醇酯；以及脂肪酸聚乙二醇脱水山梨糖醇酯，如單月桂酸聚乙二醇脱水山梨糖醇酯，單棕搁酸聚乙二醇脱水山梨糖醇酯，單硬脂酸聚乙二醇脱水山梨糖醇酯，三油酸聚乙二醇脱水山梨糖醇酯及三硬脂酸聚乙二醇脱水山梨糖醇酯。所加界面活性劑（E)之量以本發明組合物中固體含量计，通常爲0.001至2重量％，較佳約〇〇丨至i重量％。此等界面活性劑可單獨使用，或作爲兩種或多種之混合物使用。本發明之正型感光組合物通常包含溶解組分和之溶劑。塗佈正型光阻組合物使用至少一種選自由下列各物組成之群之溶劑：乙酸丙二醇酯單烷基醚，如乙酸丙二醇 — -68 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

I I I ^1 ϋ ϋ 一-0、I n I .^1 ϋ l^i I I I 1 .^1 ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ϋ ^1 ϋ n I ϋ ^1 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 591337 A7 _______B7 五、發明説明（66 ) 酯單甲醚（PGMEA)和乙酸丙二醇酯單乙醚；乳酸烷酯，如乳紅甲自曰和乳故乙@旨；丙二醇單貌基醚，如丙二醇單甲鍵 (PGME)和丙二醇單乙醚；乙二醇單烷基醚，如乙二醇單甲醚和乙二醇單乙醚；乙酸乙二醇酯單烷基醚，如乙酸乙二醇酯單甲醚和乙酸乙二醇酯單乙醚；2-庚酮；r -丁内醋；fe氧基丙酸烷酯，如甲氧基丙酸甲酯和乙氧基丙酸乙醋；丙酮酸烷酯，如丙酮酸甲酯和丙酮酸乙酯；N -甲基叶匕咯啶酮；N，N -二甲基乙醯胺；和二甲亞颯。在本發明之正型光阻組合物中，固體含量通常爲〇.5至 2 0重量％，較佳3至1 5重量％，更佳5至1 2重量％。若需要，本發明之正型光阻組合物可額外包含酸分解溶解-抑制化合物、染料、增塑劑、除上述外之界面活性劑、感光劑、促進於顯影劑中溶解之化合物及類似物。本發明之正型光阻組合物係塗於基板上，並形成薄膜。所塗薄膜較佳具0.4至1.5微米之厚度。可藉由適合塗覆方法（如旋轉器和塗覆器）將該組合物塗覆於製造精密積體電路裝置之基板上（例如以矽/二氧化矽塗覆之基材），通過預定掩模曝光，烘焙，隨後顯影，由之得到極佳光阻圖案。所用曝光光線較佳爲2 5 〇納米或更小波長遠紫外射線，更佳2 2 〇納米或更小。可更明確使用 K r F激元雷射線（2 4 8納米）、A r F激元雷射線（1 9 3納米）、 F 2激元雷射線（1 5 7納米）、X射線、電子束及類似射線。在此等中，較佳選用A r F激元雷射線（1 9 3納米）。對於以遠紫外線曝光之本發明正型光阻組合物，其顯影 -69- 本紙張尺度適财S 8家標準(CNS) A4規格(21G χ 297公巧 591337 A7 五、發明說明（67) 所用顯影劑爲無機鹼（如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、矽酸鈉、偏矽酸鈉和水性氨）、一級胺（如乙胺和正丙胺）、二級胺（如二乙胺和二正丁胺）、三級胺（如三乙胺和甲基二乙胺）、醇胺(如二甲基乙醇胺和三乙醇四級銨鹽（如氫氧化四甲基銨和氫氧化四乙基鍵）或環性胺 (如吡咯和哌啶）之鹼性水溶液。該鹼性水溶液可進一步分別以適量包含醇和界面活性劑。 / 如果用由本發明正型光阻組合物形成之光阻劑作爲雙光阻層上部光阻層，在以氧電漿蝕刻組成下層之有機聚合物薄膜時，該上部光阻層對氧電漿顯示足夠高耐性，在此，該上部光阻層圖案充當部分保護屏蔽。本發明正型光阻组合物之抗氧電榘性依上部光阻層之碎含量、蚀刻裝置或蝕刻條件變化，然而，蝕刻選擇比率（下部光阻層和上部光阻層間之蝕刻速率比）可自丨〇至丨〇〇，但這已足夠。在用本發明之正型光阻組合物形成圖案時，首先於欲經處理基板上形成有機聚合物薄膜。該有機聚合物薄膜可爲已知光阻劑’其實例包括各種系列，如F Η系列和F H i系列 [由奥林，富吉薄膜公司生產（Fuji Film 〇Hn)]、〇iR]系列 [奥林公司生產（〇lln)]和PFT系列[由蘇密托莫化學公司生產（Sumitomo Chemical Co·，Ltd)]。爲形成該有機聚合物薄膜，將此已知材料溶於適合溶劑，由旋塗法、噴塗法或類似万法塗佈所得溶液。然後在該第一層有機聚合物薄膜上形成本發明之正型光阻組合物薄膜。用與第一層相同之方 •70- 本紙張尺度翻+國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮 591337

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製法’將光阻材料溶於適合溶劑，所得溶液由旋塗法、喷塗法或類似方法塗佈。然後使如此形成之雙光阻層經歷形成圖案步驟。第一階及’在第二層（即上層）光阻組合物薄膜上形成圖案。更明確$ 如需要，放置掩模，然後通過該掩模照射高能射線，因此，經照射區域中光阻組合物變得溶於鹼水性溶液，經用該鹼水性溶液顯影後形成圖案。第一階段爲蝕刻該有機聚合物薄膜。操作時，用該光阻組合物薄膜圖案作屏蔽進行氧電漿蝕刻，以形成具高度高寬比之精細圖帛。該1電漿蚀刻#機聚合物薄膜係盘麵g 知光㈣操作㈣基板後，以_光阻薄料間進行電黎灰化所用技術相同。可關柱形電㈣刻裝置或平行裝置藉由氧氣流作爲反應氣體(即’触刻氣體)完隨後’用所得光阻圖案作屏蔽處理基進如濺射蚀刻、氣體電衆㈣和離子2 光：薄:::：:膜：！層：阻薄膜法蚀刻處理係以剥離材料= 層可藉由溶解第-層有機薄膜之光阻^ 此時，由於該有機聚合物層爲經自由選擇以=已光触刻操作修飾(例如，熟化)，所 τ使用已知本身光阻劑之有機溶劑。亦叮電裝蚀刻或類似方法制離該光阻薄膜。 '合诗，實例以下由述及實例更詳細描述本發明，但不應將該本發明本紙張尺咖τϋϋ^_Α4 AW--------訂-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -線· 591337 A7 ---— R7__ 五、發明説明（69 ) 限於此等。合成實例（1 ) 合成樹脂（1 )至樹脂（6 ) 在氮氣流下將11.4克晞丙基三甲基矽烷、9.8克馬來酸酐、9.7克甲基丙烯酸第三丁酯和5 〇克從-丙烯醯氧基·々，点 -一甲基_ Γ -丁内酯加至36亳升無水THF，使之完全溶解。其後’在氮氣流下以佔單體總*莫耳數〇·33莫耳％之量加入引發劑V-59 [沃克純化學工業公司製造（Wak〇 purechemical

Industries，Ltd·)]，並加熱至 6 5 °C。混合物反應20小時後，將反應混合物滴加至45〇毫升己烷，過濾所沈澱白色粉末，然後在減壓下以室溫乾燥i小時。隨後，將白色粉末溶於36毫升無aTHF，再次滴加至4 5 0毫升己烷，過濾所沈澱白色粉末，然後在減壓下以 4 0 °C乾燥1 6小時得到樹脂（1 )。經GPC檢測發現，用聚苯乙晞作標準樣，所得樹脂（1) 具有14,200之重均分子量按照Gpc面積比，具或更小分子量之組分含量爲4 %。樹脂（2 )至（6 )係用與上述相同之方法得到。表1與結構式顯示樹脂（1)至樹脂（6)各重複單元之莫耳比和^均子量。合成實例（2): 合成樹脂（7): 在氮氣流下將11 ·4克烯丙基三甲基矽烷、9·8克馬來酸酐、9.7克甲基丙晞酸第三丁酯和4.31克甲基丙晞酸乙氧基 -72- 591337 A7 B7 五、發明說明（70) 乙酿加至36毫升無水THF ’使之完全溶解。隨後用與合成實例（1 )完全相同之方法得到樹脂（7 )。經GPC檢測發現，用聚苯乙缔作標準樣，所得樹具有13,5〇〇〇之重均分子量，按照Gpc面積比，且更小分子量組分之含量小於3%。〃 ’ ^ 表1與結構式顯示樹脂（7)之各種重複單元莫分子量。耳比和重均樹脂（1 ) —(ch2-

Si(CH3)2 樹脂（2 )

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5i(CH3)3 樹脂（3 ) 一^CH2一 g

Γ^33 γ-^33 Si(CH3)3 樹脂⑷一^ -73- 適用中(CNS卿各⑽x 297·公愛

9°2 OOz

OH -----------参.！备--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 591337

五、發明說明（71 樹脂（5 )

—im卜in Si(CH3)3 . I 2 I

(CHa)2 0 9〇 (CH232 COOH 樹脂（6 ) *-tch2-c- ( 33 、厂 ^33 σ、〇人。：CH^~ 严c Si(CH3)3 ?〇2 ch3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) # 樹脂（7 )(用於比較）々Η厂^ 卜2 St(CH3)3

C(C叫 o^c 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製實例將以下物負A於19 · 2克乙酸丙二醇g旨單甲醚米薄膜濾器精確過濾。樹脂（1)，作爲可酸解樹脂（A)組分 (2，4,6 -二甲冬基）二苯基硫鑽-十七氟辛烷磺酸鹽，作爲曝光時產生酸之複合組份 -74- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）通過0.1微 2克 0,12 克 591337 A7 Β7 五、發明說明（72) 0.012 克 0.003 克

DBU 界面活性劑w - 1 (下示） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 用由坎南公司（Canon)製造之塗覆器CDS-650將FHi-028D 光阻劑[用於i線之光阻劑，由奥林，富吉薄膜公司生產 (Fuji Film Olin)]塗於碎晶圓上，以9 〇 °C烘培9 〇秒鐘，形成具0.83微米厚度之均勻薄膜。進一步將該薄膜以2〇〇Ό加熱 3分鐘，隨後該薄膜減至〇·71微米。在該薄膜上塗佈以上所製備含矽光阻劑，以90°C烘焙90秒鐘，其具有〇.2〇微米厚度層。由其中裝載析像掩模之ArF階躍器（stepper)使所得晶圓曝光，。同時改變曝光量和焦點。隨後在潔淨室内將該晶圓以12(TC加熱90秒鐘，用氫氧化四甲銨顯影劑（2·38%)顯影 60秒鐘，用蒸餾水清洗，乾燥得到圖案。結果，經由掃描式電子顯微鏡觀察該圖案，析像〇.14微米線/空間（析像度）。經評定，粗糙度爲Α。粗糙度係以目視通過S E Μ觀察〇. 15微米之線和空間圖案内線邊緣部分之粗糙大小（不規則度），並根據自較高評價以’入序A、Β和C進行二級評定。線邊緣幾乎無粗糙度（不規則度）被評定爲A，線邊緣略微粗糙度（不規則度）評度爲 B、線邊緣上明顯粗糙度（不規則度）評定爲匸。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製爲評價顯影缺陷數目，將實例（丨）所製備光阻劑溶液塗於6英吋裸矽基板，至〇.5微米厚度，在眞空抽吸式熱板上以140°C烘焙6 〇秒鐘，用尼坎階躍器（Nik〇n咖叩叫nsR-1505EX通過〇·35微米接觸孔圖案之試驗掩模（孔密度比： 1.3)曝光，以120 C經曝光後_加熱9 〇秒鐘，然後用I%%氫 -75- 本紙張尺度過用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）

Claims

修正 591337 A8 第0901082¾號專利申請案 BS C8 中文申請專利範圍替換本(93年2月）D8 申請專利範圍 1. 一種正型光阻組合物，其包含（A) —樹脂；（B) —能夠以光化射線或輻射線照射產生酸之化合物； (C) 一能夠溶解(A)和（B)之有機溶劑；和 (D) —有機鹼性化合物，其中該(A)樹脂包括： (a) —由以下所示式（I)代表之重複單元， (b )至少一由以下所示式（Ila)或（lib)代表之重複單元， (c) 一由以下所示式（III)代表之重複單元，及 (d) —滿足以下條件之重複單元（I V) ·· 可與由式⑴至（III)代表重複單元對應之單體共聚，包含至少一選自由以下各基團組成之群之官能團：含内酯結構之基團、含内醯胺結構之基團、-OH、-OCH3、-OCORa、-NHCORa、-NHS02Ra、-N(R)CORa、-N(R)S02Ra 、 -COOH 、 -COORa 、 -CONHRa 、-C0NHS02Ra、_C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN，其中R、R a和Rb分別獨立代表具1至1 0個碳原子之烷基或芳基，且各基團可經取代，及大體不能由酸分解，且在酸作用下於鹼顯影劑中之溶解度增加： -4-CH2—CH-)- Ηχ I I (CH2)—Si-R2 ⑴ 其中R1至R3分別獨立代表烷基、鹵烷基、鹵原子、烷本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐)

裝玎 591337

氧基、 0或1 ; 燒基甲石夕燒基或三垸基甲矽氧烷基，且η代表 Υ I (工 la) L——C02-Q 其中Y代表選自由氫原子、甲基、氰基和氯原子組成之群之基團，L代表單鍵或二價連接基團，Q代表氫原子或能夠由酸分解產生羧酸之基團； CH+ :〇 X、l· (IXb) h A1 其中X1和X2分別獨立代表選自氧原子、硫原子、_NE 和-NHS〇2-之基團；Ll和L2分別獨立代表單鍵或二價$ 接基團；A1代表-Q，或-C00q，，但其限制條件為，^ X1代表氧原子且Li代表單鍵時，"代表_Q，； A2代表j 原子、氰基、羥基、-C00H、_C〇〇R，、_c〇_nh r,,、^ 經取代之烷基、可經取代之環烴基、烷氧基或 COOQ’，其中R，和R”分別獨立代表可具有取代基之为基；且Q’代表能夠由酸分解產生羧酸之基團·· 十尸- CHi— _ (III) 其中Z代表氧原子或N-R4，R4代表氫原子、羥基、具 -2- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇 X 297公釐) ,88 8 , A BCD 591337 六、申請專利範園性或分支鍵之坑基或-o-scvr5，R5代表烷基或三鹵$ 基，其中樹脂（A )之量以光阻劑中全部固體含量計為 40至99.99重量％，所加化合物（B)之量以本發明正型光阻組合物總重量計（不包括塗料溶劑）為〇 · 〇〇丨至4 〇重量％，而所用有機鹼性化合物（D)之量以光阻組合物全部固體量計為0.001至10重量％。 2·根據申請專利範圍第1項之正型光阻組合物，其中該重複單元（IV)為滿足該重複單元（IV)所需條件且由下式 (IV)代表之重複單元： γ I (IV) X3—L3—A3 其中Y代表選自由氫原子、甲基、氰基和氯原子組成之群之基團，X3代表選自由_C02-、-〇-及-CON(R)-組成之群之基團，其中R具有與上述相同之含義，L 3代表單鍵或二價連接基團，A2代表由以下式（V)或（VI)表示之基團： -X4 -<-Rc)ml (V) 其中X 4代表可在環内包含羰键或酯鍵之脂環烴基，各 R c獨立代表氫原子、烷基、包含作為取代基之至少一個官能團之烷基（該官能團選自由_011、-0<：113、-0C0Ra、-NHC0Ra、-NHS02Ra、-N(R)C0Ra、-N(R)S02Ra-、-COOH、- COORa、-CONHRa、-C0NHS02Ra、- -3- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇χ 297公釐）

591337 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍

C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN組成之群）或選自由-0H 、-OCH3 、-OCORa、-NHCORa、-NHS02Ra、-N(R)C0Ra、-N(R)S02Ra、-C00H、-C00Ra、-C0NHRa、-C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN組成之群之基團，其中R、Ra和Rb分別具有與上述相同之含義，且ml代表0至5之整數； , 裝 ^ci -Crl2—C-*Rc2 (VI) Rc3 % 其中Rc 1和Rc3分別獨立代表氫原子、具1至1 〇個碳原子可取代燒基、含作為取代基之至少一個官能團之燒基（該官能團選自由-011、-0(：113、-0(：011&、乂 NHC0Ra、-NHS02Ra、-N(R)C0Ra、-N(R)S02Ra-、-C00H、-C00Ra、-C0NHRa、-C0NHS02Ra、_ C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN組成之群）或選自由-COOH、-COORa、-CONHRa、-C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN組成之群之基團，但其限制條件為RC1和RC3不同時為氫；且RC2代表選自由- OH、- 〇CH3、- OCORa、- NHCORa、 -NHS02Ra、-N(R)CORa、-N(R)S02Ra、-COOH、-COORa、-CONHRa、-C0NHS02Ra、-C0N(R)S02Ra、-CON(Ra)(Rb)和-CN組成之群之基團，其中R、Ra和Rb 分別具有與上述相同之含義。 3.根據申請專利範圍第2項之正型光阻組合物，其中該式 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 591337 A8 B8 申請專利範圍 (IV)中A3為由以下式（VII)代表之基團： R丄㈣其中X代表選自-C0-0-和-C(=〇)-之基團，RC和ml分別具有與上述相同之含義，m5代表〇至2之整數。 4·根據申請專利範圍第3項之正型光阻組合物，其中該由式（vii)代表之基團為藉下列式（νιπ)或（ιχ)代表之基團：

5·根據申請專利範圍第2項之正型光阻組合物，其中該式 (V)中X4為金剛烷殘基。 6·根據申請專利範圍第丨項之正型光阻組合物，其中該組分（Β )為以光化射線或輕射線照射產生有機橫酸之化合本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公董) 591337 8 8 8 8 A B c D 申請專利範圍物根據申請專利範圍第1項之正型光阻組合物，其進一步包括（E)含氟界面活性劑、含矽界面活性劑和非離子性界面活性劑之至少一界面活性劑者。 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)