TW589395B - Partially densified carbon preform - Google Patents

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TW589395B TW088101062A TW88101062A TW589395B TW 589395 B TW589395 B TW 589395B TW 088101062 A TW088101062 A TW 088101062A TW 88101062 A TW88101062 A TW 88101062A TW 589395 B TW589395 B TW 589395B
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Description

589395 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（I ) 本發明之背景 目前’用於飛機之高效能制動器碟盤，通常係將碳預 成形物藉由使用氣態甲烷前驅物之化學氣相沉積增密後， 再由所形成之碳/碳複合物質製得。這種傳統的增密方法 通常包括重複的增密作用循環，然後以機械處理預成形物 表面’以便打開在增密作用期間被封閉的孔隙。本技術有 個缺點，就是其可能需要大量時間，有時要數百小時的程 度才能完全增密預成形物。 或者，增密作用必須慢慢進行，如此預成形物外部的 孔隙才不會在預成形物內部孔隙被塡滿之前就先被塡滿。 如果預成形物外部孔隙在其內部之增密作用前就阻塞了， 則到達預成形物內部之前驅物將不足，如此便無法將其完 全增密。 一種避免這種問題的方法，係利用一種前驅物液態碳 氫化合物增密方法，例如I"5年2月14日頒給Thurston 等人之美國專利5,389，152中所揭示者。在此方法中，整 體增密作用係自預成形物內部向外發生。如此一來，增密 作用可以較高速率進行，而不用顧慮到預成形物外部的孔 隙會被阻塞，而妨礙預成形物內部的增密作用。然而，利 用前驅物液體增密時，有些部份之預成形物通常仍保持未 增密的原狀，例如圖2所示者，而必須藉機械將之除去。 此外，雖然液體前驅物方法通常有較短之增密時間， 但通常還是使用需較長製程時間的化學氣相沉積（CVD)技 術，因爲由CVD方法所製備之增密預成形物已經認證而爲 ___^_ 4____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一裝· ν">τ· 、τ d 卿395 A7
五、 發明説明（ 軍事及商業飛機所採用。 因此，需要一種改良之利用液體前驅物的增密方法， 其可增密全部預成形物，並讓所有組件能符合所需認證標 準，同時還使所有組件比利用CVD可更快速地製備。 本發明之槪要 本發明包括一種部份增密之預成形物，及一種增密一 或多個多孔性預成形物的方法。 在本發明之方法中，係將多孔性預成形物浸在可熱分 解的前驅物液體中。該多孔性預成形物係在前驅物液體中 ’加熱至足以分解前驅物液體的溫度，並在預成形物內沉 積前驅物液體的第一分解產物。在增密預成形物表面之前 ，停止前驅物液體中預成形物的加熱，由此形成一種部份 增密的預成形物。 在本方法之一具體實施例中，預成形物之增密作用係 經由使用氣態前驅物之化學氣相沉積來完成，其中該氣態 前驅物可在預成形物之未增密部份內，經加熱分解成第二 分解產物，由此可進一步增密預成形物。最好第一分解產 物和第二分解產物爲同一化學物種。 部份增密之預成形物包括預成形物及預成形物內之已 增密區。該已增密區包含已沉積之前驅物液體的分解產物 。預成形物之未增密區則是在已增密區與預成形物之至少 一表面之間。 I--------^^衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T j· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 589395 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（h ) 圖式之簡略說明 圖1是用於增密預成形物之反應器的槪圖。 圖2是一種在如圖1所示的裝置中，利用前驅物液體 及實施例1所說明方法來增密之制動器碟盤預成形物的截 面圖。 圖3是第二制動器碟盤預成形物之透視圖，其係先以 液態碳氫化合物部份增密，剩餘部份再經由使用氣態碳氫 化合物之化學氣相沉積增密。 圖4是第三制動器碟盤預成形物之透視圖，其中內徑 與外徑表面係在利用液態碳氫化合物之增密作用期間被隔 離，其係先以液態碳氫化合物部份增密，剩餘部份再經由 以使用氣態碳氫化合物之化學氣相沉積增密。 圖5是第四制動器碟盤預成形物之截面圖，其係如實 施例2所說明的來部份增密。 本發明之詳細說明 · 現在將參考附圖來更詳細地說明本發明之特色、方法 細節及裝置，並在申請專利範圍中指出。應瞭解本發明之 特定具體實施例係以說明的方式表示，而不爲本發明之限 制。本發明之主要特色可用在許多不同的具體實施例中， 而不偏離本發明之範疇。 圖1表示適合根據於1995年2月14日頒給Thurston 等人之美國專利5,389，152中所說明之方法，以及根據於 1984年9月18日頒給Houdayer等人之美國專利4,472,454 ----6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇'乂297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一裝· 訂- 4 589395 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（今） 之方法，來進行增密作用之反應器100。反應器1〇〇係說 明於1995年3月14日頒給Carr〇U等人之美國專利 5,397,595及於I"6年8月2〇日頒給Scaringella等人之美 國專利5,547,717中。當使用一種感應線圏，例如感應線 圏1〇4，來加熱預成形物時，反應器100較佳係由非磁性 物質如鋁、石英、玻璃、不鏽鋼、陶瓷或其之組合物所製 成。 反應器100包含空腔102,於其中將一或多個預成形 物（未顯示）增密。在操作過程中，將足夠至少覆蓋預成形 物之前驅物液體注入空腔102。該前驅物液體爲一種在可 加熱預成形物的溫度下，可在預成形物內蒸發、分解並沉 積前驅物分解產物的液體。依前驅物液體而定，該分解產 物可爲碳、碳化矽、氮化矽或其他的分解產物。該前驅物 液體應爲介電性的。較佳的是，前驅物液體之介電常數應 大於〇·5，大於1更佳，而以大於1.5最佳。爲了在預成形 物內沉積碳，可使用具適當沸點之碳氫化合物，例如環己 烷、正己烷或苯。可使用甲基三氯矽烷、二甲基二氯矽院 、甲基二氯矽烷或其他有機矽烷或有機矽烷混合物，來沉 積碳化矽。另外，可選擇前驅物液體以共沉積物質。例如 ，利用三-正-甲基胺基矽烷或其他矽烷化合物，可沉積碳 化矽與氮化矽的混合物。 在空腔102內部放置一或多組感應線圈104。在操作 過程中，感應線圈104被前驅物液體覆蓋，並運作以加熱 預成形物。感應線圏1〇4可由銅或其他即使受熱亦不與前 _______7_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 589395 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（<；) 驅物液體反應之高傳導性物質所構成° 電能係經由醜條⑽而供至感瓣圈1G4。匯流條 106係由高傳導性物質如銅所製造。較佳使用數百安培至 數千安培的電流，提供足夠的功率來加熱預成形物。由於 大量電流之故，匯流條106應具有足夠的截面以免過度加 熱。匯流條1〇6可包含水通路1〇5，來運送冷卻水通過匯 流條106及通過感應線圈1〇4。 匯流條1〇6 .係連接於一個電源(未顯示）。所使用的爲 AC電源。感應線圈1〇4之電壓、電流、頻率及形狀’是 利用已知技術藉由預成形物之形狀、幾何學和電性來決定 。通常，起始功率的標準爲能感應加熱預成形物’在預成 形物中心產生一個溫度，其高到足以分解前驅物並在預成 形物內形成解產物，但又低到足以使預成形物之未增密區 不會因這些區域外的分解產物沉積而被密封起來’藉此造 成不均勻的增密作用。在增密作用中心，雖非必要，但通 常在預成形物中心，溫度通常係在約850°至200(^C的範 圍之間。較佳溫度係在約850。至1000°C的範圍之間。 匯流條106係通過封口 107而進入反應室102。當反 應室102在操作期間包含前驅物液體時，封口 107必須有 彈性，並且要能夠抵抗前驅物液體的化學侵蝕。如果反應 器100係由傳導性組件構成時，封口 107應該還要能使匯 流條106和反應器100絕緣。例如，可使用矽酮橡膠來密 封反應器100中匯流條106通過的開口。 爲方便起見，匯流條106係進入反應器之下部。如果 _______8_ ---------衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 589395 A7 B7 五、發明説明（b ) 匯流條106係進入反應室102上方位置，則仍需要封口 107。它並不一定要避免液體漏出，但必須避免蒸氣從反應 室102中逸出。匯流條1〇6可經過排氣管136進入反應室 102，在此情況下則不需要特別的封口。然而，希望保持匯 流條106儘可能地短，以減少功率在匯流條中的損失。 前驅物液體係通過前驅物注入口 1〇8,經由閥門11〇 而供應至反應器1〇〇。最初，反應室1〇2中已注入足量之 前驅物液體以覆蓋預成形物。在操作過程中，前驅物液體 會在沉積反應中被消耗，或以蒸氣形態自反應器100逸出 。因此，在反應器100操作期間，可利用前驅物注入口 108替換已逸散之前驅物液體。 在增密作用期間，液體前驅物可能變得混濁。因此， 可打開閥門114,使前驅物液體流過反應器100及回流管 (retum)112而到達過濾器116，於該處將其過濾後再抽回 至反應器100中。過濾器Π6可爲任何適合之過濾器，例 如多孔性陶瓷篩網，或更佳爲木炭。最好，前驅物液體可 自反應器100中除去，或者一旦前驅物液體在一或多次增 密作用循環而變混濁後，可將其蒸餾。 如在此使用者，前驅物液體可能具易燃性。因此，最 好增密作用之操作過程係在惰性氣氛下進行。例如，可使 用氮氣。爲了淸洩反應室102之空氣，可將閥門120打開 ，讓惰性氣體如氮氣流過注入口 118。可打開閥門124，以 便更快速、有效地淸洩蒸氣回收系統130。一旦反應室1〇2 內之氣氛由惰性氣體如氮氣所取代，便可打開閥門128， __ ____ 9 本^尺度適用中國國篆標準（CNS ) A4規格（210X297公釐} ---------衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 J· 589395 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 i五、發明説明（"]) I 以供應氮氣直接進入排氣管136之出口。此氮氣流可防止 | 空氣進入反應室1〇2，且可關閉閥門120和124。關閉閥門 120和124可減少通過蒸氣回收系統130的氣流。因此蒸 氣回收系統可更有效率地操作。 蒸氣回收系統130是一種相關技藝中已知用來回收已 蒸發液體類型的系統。這類系統可減少製程中所產生之廢 料量及所使用之前驅物量。此外，蒸氣回收系統130係爲 了防止前驅物因蒸發作用而損失大量體積。 在操作過程中，將預成形物置於反應室102 ，緊靠著 感應線圈104。預成形物包括一種貫穿孔隙之纖維結構， 其爲經編織的或非編織的。該纖維基本上必須在增密過程 期間及其預定使用的條件下，在化學上是不反應的。預成 形物較佳係置於一個支撐固定物中，以穩固地保持預成形 物在相對於反應器和線圈的固定位置。該固定物之實際形 狀係以預成形物形狀爲基準。這種固定物可以任何便利的 方式支撐，例如在凸緣132上。以預成形物形狀爲基準， 可能需要使用不同大小或形狀的線圈。基於這個理由，感 應線圈104係與匯流條106在連接器134上連接起來。連 接器134延續包含匯流條106的電路。它亦延續由通道 1〇5所形成的水流路線。連接器134可爲一塊提供螺絲固 定點(未顯示)的金屬，其可保持感應線圈104之底座連至 匯流條106。水流路線之接合處可藉由彈性”0”環或一些其 他方便形態來密閉。其材質必須能抵抗水和前驅物液體兩 者的侵蝕。爲此目的，可使用Ε· I· DuPont de Nemours & ——____ ίο____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2i〇'x297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) i裝· 訂- 4 589395 A7 B7 五、發明説明（i7 )
Co·之Viton®氟橡膠（fluoroelastomer)或砂酮橡膠。亦可使 用其他固定配備，例如切口、凹槽或夾子等。 不像CVD會在增密作用期間在整個預成形物中沉積 分解產物，使用前驅物液體之增密作用係得到一增密作用 的輪廓，通常是從預成形物中心開始，然後向表面進行。 隨著這種增密作用的進行，形成一種增密逼，而預成形物 之剩餘部分則包括未增密區。因此，經由使用前驅物液體 ，可形成一種部份增密之預成形物，其中預成形物內部係 由其中所沉積之分解產物，例如碳或碳化矽來增密。預成 形物亦在已增密區與預成形物之至少一表面之間有未增密 區。在本發明之方法中，這種部份增密之預成形物的未增 密部份，可在之後經由化學氣相沉積來增密。 預成形物之增密作用可利用沸騰的液體前驅物，在已 加熱之預成形物內建立溫度梯度。溫度梯度爲預成形物之 增密作用中心比表面熱，如此增密作用係隨預成形物溫度 之增加而從中心向表面進行。隨著分解產物沉積作用的進 行，預成形物之傳導性增加，因而增進與電場的耦合。如 圖2所示，預成形物200，一種環狀預成形物，例如用於 盤式制動器者，其內徑邊緣202和外徑邊緣204，由於大 量的熱在這些邊緣流失，所以並未完全增密，因而留下未 增密部份206和已增密部份208。 預成形物係利用一種經修正之加熱循環來處理，其中 最終功率比所需增密至預成形物邊緣之功率減少了約百分 之二十五。在一個較佳具體實施例中，經由在處理之前將 _____11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 589395 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（气） 一種絕緣物質添加至非編織預成形物的內徑表面與外徑表 面，可使從內徑和外徑表面的增密作用輪廓最適化，其可 使處理期間消耗較少功率，並可得到較短循環時間。 在部份增密作用期間，增密作用係在離預成形物外表 面的一段距離下終止。通常，但並不總是，該距離係預設 好的，且可距離磨耗表面約0.1和0.2吋(2.5毫米和5毫米 )。經由本發明方法所製備之一個部分增密預成形物的例子 表示於圖5中，並進一步在本文之實施例2中說明。 在一個較佳具體實施例中，可以一種絕緣物質覆蓋部 份預成形物，其使內徑與外徑表面減少熱量的損失，於是 得以在預成形物之邊緣維持較高溫度。該絕緣物質爲一種 能夠在增密作用環境中生存，且不會妨害預成形物之感應 加熱的物質。其必須能承受超過約1000°C的溫度，一般對 於前驅物液體如環己烷爲惰性，而且不會嚴重地感應耦合 。適合之絕緣物質例子包括碳氈(felt)和陶瓷。適合之絕緣 物質可以是可重複使用或不可重複使用的。可將適合之低 密度碳氈例如經由縫合或其他適當方式，附著於非編織之 內徑和外徑邊緣。 所需之增密程度可經由減少完全增密循環的最後百分 之二十五而得到。 若需要，靠近內徑和外徑表面的表面之進一步增密作 用，可在氣態前驅物如甲烷或其他氣態碳氫化合物存在下 ，利用CVD或化學蒸氣滲透作用(CVI)來進行，以便在預 成形物內沉積碳，或利用適合之氣態矽化合物來產生碳化 ___ _12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ;衣· 訂” d 589395 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（…） 矽。 通常，需要三或四次使用氣態碳氫化合物，例如甲烷 之化學氣相沉積(CVD)循環，以製備出僅利用CVD增密之 碳/碳制動器碟盤。每次的CVD循環可能需要數百小時才 能完成。使用一種液態碳氫化合物增密方法來部份增密預 成形物，其在CVD處理前主要是增密預成形物碟盤之內部 (非磨耗部份），則CVD循環數可減少到幾個，較佳爲一次 ’如此可省去數百小時的處理時間，同時提供具備與完全 增密CVD制動器碟盤相同之摩擦力與磨耗性能特徵的制動 器碟盤。部份增密之增密作用係經由在包含氣態前驅物， 例如甲烷之氣氛中的化學氣相沉積來完成，該氣態前驅物 在預成形物之未增密部份內，受熱分解成第二分解產物， 由此進一步增密預成形物。化學氣相沉積方法的例子係說 明於1980年7月15日頒給Fisher等人之美國專利 4,212,906 ;於1986年4月8日頒給Lackey等人之美國專 利4,580,524 ;及於1994年9月20日頒給Golecki等人之 美國專利5,348,774中。 經由本發明方法所製備的增密預成形物例子係表示於 圖3。增密預成形物400包括液態碳氫化合物增密部份402 ，和經由氣態碳氫化合物之CVD所形成的部份404。氣態 碳氫化合物增密部份404則包括制動器碟盤所有磨耗部份 〇 經由本發明方法所製備之碳增密預成形物的另一具體 實施例係表示於圖4。增密預成形物406包括液態碳氫化 ___ _ _13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ϋ' 1·»ϋ —>^1·· —ΙΜϋ ιϋϋ mum ml (ϋ I ϋϋ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 589395 A7 B7 五、發明説明（\\ ) 合物增密部份408，和氣態碳氫化合物增密部份410。在本 具體實施例中，液態碳氫化合物增密作用係以隔離進行。 下列實施例包括一個經由典型液體增密作用所形成之 增密預成形物的例子(實施例1)，作爲經由本發明方法(實 施例2)所形成之部分增密碟盤的對照。 實施例1 一種非編織預成形物係經由將數層氧化碳纖維束 (Avox carbon tow 可得自 Textron Systems corporation)堆積 起來，然後將倒鉤針穿過該纖維束堆而編造。經過各層而 拖曳纖維的針將各層固鎖在一起。然後使預成形物在真空 下進行高溫熱處理（l，8〇〇°C)，以便將氧化纖維轉換爲碳纖 維(Avcarb)。熱處理之後，預成形物具有1，705克之重量， 0.54克/公分3之密度，及31%之纖維體積。用於盤式制 動器之非編織碳預成形物，係由這種物質所形成，其具有 12.7公分(5吋)之內徑、34.3公分（13.5吋)之外徑，及4公 分（1.56吋)之厚度。本預成形物係在一個類似如圖1所示 之反應器中增密，其係以環己烷當作前驅物液體。 反應器包括一個能夠保存環己烷之液體密閉容器、一 個將揮發環己烷再製之蒸氣回收系統、一個感應電源及一 個能夠和碳預成形物耦合並將其加熱的感應線圈。該蒸氣 回收系統包括一個平板熱交換器，Alfa Laval型M10-BWFG。該感應電源包括Lepel LSP12-200-30型，其具有 200千瓦之功率和30千赫之頻率。 一__14____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I--------·裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 589395 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（vl ) 將預成形物置於反應器容器內，並固定在一對薄板感 應線圏中心內。然後將反應器容器裝組合好並連接於蒸氣 回收系統（平板熱交換器）。將環己烷抽入反應器容器中， 以便使預成形物和感應線圏浸泡在液體環己烷中。然後以 氮氣淸洩反應器系統最少20分鐘，以便除去任何存在系統 內的空氣。 然後利用感應電源系統加熱預成形物。電源之輸出功 率係由操作員人工控制。該操作員使電源輸出功率維持在 預設之功率軌跡。 在五小時的增密循環中，功率密度係設定在13.2瓦/ 公分2(85瓦/吋2)，然後在300分鐘時，功率密度係增加 至約54.3瓦/公分2(350瓦/吋2)。用於以環己烷操作的 功率密度係列於表I。 當增密作用循環完成時，令反應器排出環己烷並拆除 之。將預成形物自裝置中移出，置於防溶劑烘箱中，在 175°C下乾燥最少4小時，以除去任何殘留的環己烷。 在預成形物乾燥後，如同下列所有實施例中，利用具 鑽石刀鋒之帶鋸將其切成一半。然後利用細粒砂紙將露出 的表面以手工拋光。然後在低倍率下(5-10X)觀察這些表面 ，使用15公分(6吋)游標尺測徑器來測量沉積作用之輪廓 〇 該經增密的預成形物在預成形物表面某些部份有高度 沉積，但其他部份預成形物表面區域則保持未經增密’如 圖2所示。 __ 15__丨_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公董） ---------^辦本-- ϋϋ ϋϋ ml·- ϋ_·1 一 .心 ml ϋϋ ϋϋ ϋ^ϋ ϋ_ϋ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 589395 A7 B7 五、發明説明（〇η )
表I 循環時間 功率密度 | (分） (瓦/吋2)(瓦/公分2) t Pd⑴ 0 85 (13.2) 20 85 (13.2) 40 85 (13.2) 60 85 (13.2) 80 85.5 (13.3) .100 86 (13.3) 120 87.5 (13.6) 1 140 91 (14.1) 160 96.5 (15.0) 180 105.5 (16.4) 200 120 (18.6) 220 141 (21.9) 240 172 (26.7) 260 214.5 (33.3) 280 272.5 (42.4) 300 350 (54.3) I--------•裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T i· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 實施例2 一種非編織碳預成形物，係利用如實施例1說明之相 同方法所形成。用於制動器碟盤之非編織碳預成形物，係 塑成具有12.7公分(5吋)之內徑、34.3公分（13.5吋)之外徑 ，及4.0公分（1.59吋)之厚度。本預成形物具有1，680克之 重量，0.522克/公分3之密度，及30%之纖維體積。本操 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 589395 A 7 B7 五 發明説明（A) 作之功率密度則係對照實施例1之操作而減少。在五小時 的增密循環中，功率密度係設定在13.2瓦/公分2(85瓦/ 吋2)，然後在300分鐘時，功率密度係增加至約46.5瓦/ 公分2(3〇〇瓦/吋2)。用於以環己烷操作之功率密度係列 於表II。
表II 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 循環時間 功率密度 (分） (瓦/吋2)(瓦/公分2) t Pd⑴ 0 85 (13.2) 20 85 (13.2) 40 85 (13.2) 60 85 (13.2) 80 85.5 (13.3) 100 86 (13.3) 120 87 (13.5) 140 90 (14.0) 160 94.5 (14.7) 180 101.5 (15.7) 200 113.5 (17.6) 220 130.5 (20.2) 240 155.5 (24.1) 260 190 (29.5) 280 237.5 (36.8) 300 300 (46.5) 部份增密預成形物之截面圖係如圖5所示。部份增密 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 589395 A7 B7 五、發明説明（A ) ' 預成形物500具有一未增密部份502，及離表面一段所需 ； 距離之已增密部份504。增密作甩在離側面506 —段約 0.28至0.33公分(0.11至0.13吋)的距離(如圖5所示之距 離A)，及離外徑508與內徑510 —段約0.89公分(0.35吋) 的距離(如圖5所示之距離B)時停止。 這種部份增密預成形物之未增密部份，可在之後藉由 化學氣相沉積而增密。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

  1. 589395 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 體包含一種有機矽烷。 7. 根據申請專利範圍第6項之方法，其中該有機砂院 係選自下列各物：甲基三氯矽烷、二甲基二氯矽烷及甲基 二氯矽烷。 8. 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該氣態前驅 物係選自下列各物：甲烷、乙烷和丙烷。 9. 根據申請專利範圍第1項之方法，第一分解產物和 第二分解產物相同。 10. 根據申請專利範圍第1項之方法，其係用於製造制 動器組件。 11. 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該增密一或 多個多孔性預成形物之步驟包括： a) 將多孔性預成形物浸泡在環己烷中； b) 將環己烷中的多孔性預成形物加熱至足以蒸發及分 解預成形物內之環己烷的溫度，以便在部份預成形物內沉 積碳； c) 繼續加熱該環己烷中的預成形物，直到碳已經沉積 到離至少一面預成形物的表面達一段預設距離爲止，由此 形成一種具有已增密部份和未增密部份之部份增密的預成 形物； d) 使部份增密的預成形物和一種氣態碳氫化合物接觸 j e) 將預成形物加熱至足以分解預成形物內之氣態碳氫 2 ^紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4规格(210 X 297公釐) " ....................0^...............•訂---------------^0 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 589395 39882? ABCD 六、申請專利範圍 化合物的溫度，以便在該預成形物之未增密部份中沉積碳 ，由此可進一步增密預成形物。 12. 根據申請專利範圍第11項之方法，其中該預設距 離係在0.25至0.51公分(0.1和0.2吋)之間的範圍內。 13. 根據申請專利範圍第1項之方法，其中形成具有增 密區和未增密區之部分預成形物的步驟包括： a)將多孔性預成形物浸泡在可熱分解之前驅物液體中 .b)在足以分解前驅物液體並在預成形物內沉積一種分 解產物的溫度下，加熱前驅物液體中的多孔性預成形物； 以及 c)在離預成形物表面達一段預設距離，停止加熱該前 驅物液體中的預成形物，由此則形成一種具有已增密內部 及未增密內部之部份增密的預成形物。 14·根據申請專利範圍第13項之方法，其中該前驅物 液體包含環己烷。 15_根據申請專利範圍第I4項之方法，其中該分解產 物包含碳。 16.—種根據申請專利範圍第13項之方法所製得之部 份增密預成形物，包括： a) —種預成形物； b) —種在預成形物內的已增密內部區域，該已增密區 域包含經液體增密作用分解之前驅物液體的分解產物；以 及 3 ^紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) .........·------------------------------'ITi...........I— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 589395 C8 D8 六、申請專利範圍 C)一種該預成形物之未增密區域，其係在已增密區域 和該預成形物的至少一表面之間。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 17. 根據申請專利範圍第16項之部份增密預成形物， 其中該未增密區域在該已增密區域和該預成形物表面之間 具有基本上均勻之厚度。 18. 根據申請專利範圍第16項之部份增密預成形物， 其中該分解產物包含碳。 19. 根據申請專利範圍第16項之部份增密預成形物， 其中該分解產物包含碳化石夕。 4 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
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