JP3182212B2 - 高密度化多孔質ビレットを製造する方法及び多孔質予備成形体の高密度化方法 - Google Patents

高密度化多孔質ビレットを製造する方法及び多孔質予備成形体の高密度化方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、内部孔を炭素−セラミ
ック若しくはセラミック混合物のような濃度勾配付きの
マトリックス物質で充填することによる高密度多孔質予
備成形体の製造方法或いは多孔質予備成形体を高密度化
する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】炭素マトリックス中に炭素繊維を含んで
成る炭素−炭素複合体(C/C)は、高温用途に対して
多くの望ましい性質を示す。炭素−炭素複合体は、高い
強度を有し、靭性であり、軽量であり、他に類を見ない
非常に高温での強度残率とクリープ耐性を有するきわめ
て耐火性に富む材料である。炭素−炭素複合体の比較的
低い弾性率と、きわめて小さな熱膨張係数と、高熱伝導
率との組合せは、格別の耐熱衝撃性を示す材料をもたら
す。
【0003】炭素−炭素複合体は、高温での多くの用途
に対し酸化防止対策を必要とする。酸化防止対策の一部
として炭化珪素(SiC)及び窒化珪素(Si
)の高密度セラミックコーティングが有用な成果を
与える可能性があることが一般に認識されている(J.E.
Sheehan,「 Carbon 」27, 709 (1989))。こうしたコー
ティングの使用における最も重大な問題は複合体とセラ
ミックコーティングとの間の熱膨張の不整合であり、こ
れはコーティングにおけるクラックを誘発しそして剥離
をもたらす。
【0004】炭素−炭素複合体の使用は、大部分、その
固有に乏しい耐酸化性により、比較的短時間のロケット
推進用途、例えばITE部(integral throat entranc
e:一体的なスロート入口部)或いは再突入用途、例え
ばノーズコーン部に制限されてきた。
【0005】後の研究の多くの基礎となった初期の報告
は、耐酸化性コーティングの開発のための基礎的に重要
な性質と関係するものであった。これら報告は、保護コ
ーティングを通しての或る種の元素種の拡散、保護コー
ティングの揮発性並びにコーティング材料とグラファイ
トとの化学的及び機械的適合性(両立性)に関係するも
のであった。また、1)化学的蒸着(CVD)、2)火
炎溶射、3)スラリー浸漬、塗布或いはこて塗り、また
は4)電気泳動塗装のようなコーティングを被覆するた
めの方法も報告された。
【0006】耐酸化性炭素−炭素複合体について米国特
許第4,582,751号、第4,599,256号、
第4,472,476号、第4,585,675号に見
られる最近の研究は、新しいコーティング方法或いは酸
化抑制方法を使用した。しかし、これら新しい方法も結
局は従来からの方法に類似するものであり、しかも、コ
ーティングや抑制材料は材料及び方法の特異な組合せを
使用してのみ生成された。幾つかの場合、関心のある材
料は、従来から提唱された材料の実施の結果として生れ
た。
【0007】珪素或いは珪酸塩基コーティングの被覆
は、クラックがコーティング中に発現しそしてコーティ
ングが剥離するからごく限られた耐酸化性を提供するに
過ぎない。酸素及び大気水分がクラックを通して下側の
材料に達し、有害な作用を及ぼす。
【0008】化学的な蒸気浸透その他の方法により作製
された窒化珪素及び炭化珪素セラミック付着物は、作製
に時間がかかりまた所望されざる副産物を生じ更に一般
に真空中で実施されねばならない。
【0009】上述した方法は、特に炭素とセラミックコ
ーティングとの間での熱膨張係数の固有の差により熱衝
撃問題を呈する。
【0010】セラミック−セラミック複合体の存在理由
は、単一のセラミックでは得られない靭性及び破壊に至
るまでの余裕度を与えることである。現在理解されてい
るように、これら性質を実現することへの鍵は、予備成
形体とマトリックスとのそれらの界面での適正な相互反
応である。界面を横切っての結合が強力であるなら、ク
ラックが界面を通してすぐに伝旛するから靭性は実現さ
れず、急激な突発的破壊をもたらす。結合があまりに弱
すぎると、最適の機械的性質は実現され得ずそして余り
にも容易な繊維の引き出しにより靭性は低減されよう。
【0011】繊維−マトリックス結合を最適化する必要
性が存在するが、これまでの方策は予備形成体の作製前
に繊維をコーティングするか或いは織られた予備成形体
の化学的な蒸気浸透を含ものであり、異種材料の性質の
不整合並びに処理時間が非常に長いという欠点を呈し
た。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】斯くして、本発明の課
題は、従来技術の制約や欠点を回避する高密度化された
多孔質予備成形体(ビレット)の製造方法或いは多孔質
予備成形体の高密度化方法を開発することである。
【0013】本発明の更に別の課題は、異種材料の性質
の不整合並びに処理時間が非常に長いという欠点を呈し
ない高密度化された多孔質予備成形体(ビレット)の製
造方法或いは多孔質予備成形体の高密度化方法を開発す
ることである。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明に従えば、内部孔
領域を有する予備成形体においてその孔に濃度勾配付き
蒸着マトリックス組成物を含有せしめることによる高密
度化された多孔質予備成形体製造方法或いは多孔質予備
成形体の高密度化方法が提供される。濃度勾配付きマト
リックス組成物は、炭素−炭化珪素、炭素−窒化珪素等
のような炭素−セラミック或いはセラミック−セラミッ
ク組成物でありうる。
【0015】本発明の具体例において、多孔質内部組織
を有する多孔質炭素予備成形体から成る酸化防止された
炭素ビレット製造方法が提供される。孔は濃度勾配付き
炭素−セラミック組成物を含有する。炭素予備成形体の
外面は、セラミックで被覆される。好ましいセラミック
は炭化珪素及び窒化珪素或いはその混合物である。
【0016】本発明のまた別の具体例は、多孔質予備成
形体をその内部領域或いは孔内部に連続的に変化する或
いは不連続な(段階的な)濃度勾配付き組成物を付着す
ることにより高密度化するための方法を提供する。
【0017】本方法は、基材表面にマトリックス材料の
化学的蒸着をもたらすに充分に加熱することの出来る任
意の多孔質予備成形体に適用可能である。
【0018】一般に、本方法は、それ自体が、連続付着
プロセスにおいて予備成形体の孔内でのマトリックスの
組成を変化せしめるのに適する。
【0019】本方法はまた、例えば酸化防止、耐熱衝撃
性等の様々の目的のために選択された各種材料の濃度勾
配付きマトリックスを形成するのに特に適する。
【0020】本発明は、炭素の耐酸化性を改善するため
に酸化防止された炭素予備成形体、特にセラミック組成
物を使用する酸化防止された炭素予備成形体に最適であ
る。この理由のために、本発明は多孔質炭素予備成形
体、特には3D織り炭素予備成形体内部に濃度勾配付き
炭素−セラミックマトリックスを付着することと関連し
て記載されるが、但しもっと広い材料の選択が可能であ
る。
【0021】本発明方法はまた、繊維−マトリックス結
合を最適化することを目的として濃度勾配付きの組成物
を通して界面性質を修正するのに使用されうる。
【0022】本発明は、連続的に変化する或いは不連続
な濃度勾配付きマトリックス組成物を製造する方法を提
供する。
【0023】本発明はまた、炭素予備成形体の酸化を抑
制するための濃度勾配付きマトリックス例えばSiC、
Si 、B C、BN等を含有する耐酸化性炭
素ビレット製造方法を提供する。
【0024】本発明は、繊維とマトリックスとの間での
界面性質を最適化するための方法を提供する。
【0025】(用語の定義) 用語「予備成形体」とは、2D、3D、4D、−−nD
構造として広く知られる多方向(次元)織り(編組)構
造体のような多孔質部材に用いるものとする。予備成形
体はまた繊維布、フェルト或いは気泡状構造体からも構
成されうる。
【0026】「高密度化予備成形体(或いはビレットと
も云う)」とは、その内部孔を複合構造を形成するマト
リックス材料で実質上充填した高密度化された予備成形
体を意味するものとする。
【0027】「濃度勾配付きマトリックス組成物」とは
予備成形体の断面或いは予備成形体の孔内部のマトリッ
クス材料の割合が一様でない組成物として定義される。
組成は不連続的に或いは連続的に変化しうる。傾斜マト
リックス組成物とも云う。
【0028】「濃度勾配付き炭素−セラミック組成物」
とは、炭素に対するセラミックの割合が基材上での零か
ら基材から離れた側での100%に向けて増加するマト
リックス組成物として定義される。例えば、この用語
は、セラミック対炭素の比率がビレットの内部領域で零
でありそしてビレットの外面での100%に向けて増加
するマトリックス組成物に当てはまる。
【0029】「急速高密度化」は、米国特許第4,42
7,454号に記載されるプロセス或いはその変更プロ
セスである。
【0030】「予備成形体の基材表面」とは予備成形体
の孔(或いは空洞部)を構成する気孔壁或いは繊維のよ
うな構成部材の表面である。
【0031】
【作用】第1材料(例えば炭素)製の多孔質予備成形体
を第2材料先駆物質(例えば炭素先駆物質)を含む液体
第1試薬中に浸漬する。予備成形体を加熱すると、加熱
された基材との接触に際して第2材料先駆物質(例えば
炭素先駆物質)は分解して孔を構成する基材表面に第2
材料(例えば炭素)を付着する。第1試薬に加熱に際し
て分解して孔内に第3材料(例えばセラミック)を付着
する第3材料先駆物質(例えばセラミック先駆物質)を
含む第2試薬を添加し、第1試薬に対する第2試薬の比
率を段階的に或いは連続的に増加して予備成形体内に濃
度勾配付き組成物(例えば炭素−セラミック)を付着
し、最後に第3材料先駆物質(例えばセラミック先駆物
質)を含む第2試薬のみで第3材料(例えばセラミッ
ク)を付着する。こうして、予備成形体を濃度勾配付き
マトリックス材料で孔を充填することにより高密度化す
る。
【0032】
【実施例】ここで詳しく説明する実施例は、酸化防止さ
れた高密度化予備成形体において基材とマトリックスと
の間での熱膨張適合性を提供する問題に対処するもので
ある。熱膨張適合性及び酸化防止特性は共に、セラミッ
ク成分を含むようマトリックス組成物を濃度勾配付けす
ることを通して達成されうる。
【0033】円筒状の多孔質の予備成形体30内部に不
連続な濃度勾配付き、即ち濃度を段階的に変化するマト
リックスを形成する方法について図1〜2と関連して説
明する。
【0034】図1を参照すると、本発明に従い高密度化
された多孔質予備成形体を製造するのに有用な反応器1
0の概略が示されている。反応器10は容器12を装備
し、容器12は排気口14と出口16及び入口18とを
有する。導管20が入口18に接続され、導管20は混
合器、特には混合弁Mを介して2つの試薬導入部22及
び24に通じる。炭素−セラミック濃度勾配付きマトリ
ックスを生成するためのプロセスにおいて好ましい試薬
は、蒸着炭素源となるシクロヘキサンのような液体炭化
水素である。
【0035】容器12内には、本発明に従って高密度化
されることになる円筒状予備成形体30が配置される。
この場合、予備成形体30は、中央穴に熱サスセプタ3
2を配備している。この例におけるサスセプタ32は、
予備成形体の中央部を集中加熱して予備成形体を通して
放射状の熱伝達を誘起するのに使用される。
【0036】多くの場合、サスセプタは必要とされな
い。これは、多孔質予備成形体の密度が比較的高い場合
や誘導加熱がサスセプタ無しでも有効でありうる場合に
特に云えることである。
【0037】炭素予備成形体をシクロヘキサン中に浸漬
しそして少なくともシクロヘキサンの分解温度まで加熱
する急速高密度化/CVDプロセスは、米国特許第4,
427,454号に記載されている。この特許のプロセ
スにおいては、炭素が多孔質予備成形体の孔壁にまたそ
の孔内部に付着堆積して炭素−炭素ビレットを生成す
る。
【0038】予備成形体の内部に濃度勾配付き炭素−セ
ラミックマトリックスを付着することを目的とする具体
例においては、炭素が先ず、筒状予備成形体30の内面
39に隣り合って付着される。高密度化は一般に半径方
向外方に進行する。高密度化が予備成形体30の外面3
7に向けて外方に進行するにつれ、付着する炭素の比率
は減少し同時に付着するセラミックの割合は増加する。
【0039】付着物の濃度勾配付き部分は導入される液
体試薬の化学量論比を制御することにより得られる。最
初、付着物は純炭素或いは非常に炭素に富むものであり
そして後内面から離れて炭素−セラミック濃度を段階的
に変えながら外面の化学量論セラミックに向けて進行す
る。実際の温度分布は、付着フロントの進行と混合物の
蒸発熱それぞれによる付着時間及び空間座標両方の関数
である。
【0040】図1において、予備成形体30を高密度化
するためには、シクロヘキサンのような炭化水素38
が、導入部24、混合器M及び入口18を経由してシク
ロヘキサンが予備成形体を覆いそしてそこに浸透するま
で導入される。過剰の試薬は出口16を通して容器12
から流出する。
【0041】誘導加熱器36が設けられて、最初サスセ
プタ32を加熱し、予備成形体30の内面39に隣り合
う領域をシクロヘキサンの分解温度以上に加熱する。付
着及び被覆のための好ましい分解温度範囲は1000〜
1500℃、通常1200〜1300℃である。炭素
が、内面39に隣接する孔を構成する基材表面上に付着
される。放出される水素は排気口14を通して排出され
る。図2における層41及び対応するグラフを参照され
たい。上記プロセス段階は100%炭素及び零%セラミ
ックから成る層41を生み出す。
【0042】図2に例示されるように予備成形体の内部
に不連続な濃度勾配(段階)付き炭素−炭化珪素マトリ
ックスを形成するためには、クロロシラン、例えばメチ
ルトリクロロシランのような炭化珪素先駆物質が所望の
炭素炭化珪素先駆物質の混合物が実現されるまで導入部
22(図1)に供給される。供給時間−温度は、付着フ
ロントを25%炭化珪素及び75%炭素からなる層43
が形成されるまで外方に進行せしめるに好ましい範囲内
に調整される。
【0043】続いて、75%炭化珪素及び25%炭素か
らなる層45が形成されるように液体化学量論比が再度
調整される。最後に、液体化学量論比が100%クロロ
シランへと増加されて炭化珪素量付着量を増加しそして
予備成形体30の外面37と隣り合ってその周囲に10
0%炭化珪素層47が付着される。
【0044】上述した段階的な濃度勾配付きマトリック
ス組織のグラフ表示として図2のグラフの曲線51を参
照されたい。
【0045】別法として、化学量論比は図2のグラフの
直線53に示されるように連続的な変化を与えるように
連続的に変化させることもできた。
【0046】図1を参照すると、予備成形体30を取り
巻く不規則な囲い34が描かれている。これは、液体の
分解と先駆物質蒸発過程により生み出された安定な蒸気
皮膜である。この蒸気皮膜34は付着フロントの前方で
予備成形体を冷却する作用を為すので、付着フロントの
前方では付着は起こらない。この蒸気皮膜の形成は予備
成形体を浸漬する液体を使用する方法の特徴でもある。
【0047】液体が使用されそして液体が固有に蒸気皮
膜を形成するので、予備成形体を横切って大きな温度勾
配を創出することが可能である。急速な高密度化をもた
らすことが可能でありそして付着フロントの位置を制御
することが可能である。
【0048】図3〜4は、予備成形体の内部に濃度勾配
付き炭素−セラミック組成物を付着する別の具体例を示
す。
【0049】図3は、3D織り(編組)予備成形体40
を示す。繊維は、炭素、炭化珪素或いは加熱可能な好ま
しくは誘導加熱されうる別の材料と為しうる。炭素製3
D予備成形体の場合、サスセプタは必要とされず、従っ
て例示していない。炭素の酸化防止に対する現在の要望
に鑑みここでは炭素−セラミックを特に例示したが、本
発明はこれに制限されるものでないことを銘記すべきで
ある。他の可能な形態は後に呈示する。
【0050】代表的に、図3に例示されるような3Dブ
ロック構造の予備成形体40は、繊維42のような3種
の互いに直行する繊維を織る(編組する)ことにより形
成される。番号44は、予備成形体40の実質的な外面
を表すことを意図するものである。即ち、これら外面は
予備成形体が中実のブロックであるなら存在する表面で
ある。予備成形体の孔は番号46により示される。孔4
6は隣り合う繊維間の空洞部である。繊維の表面がこれ
ら空洞を形成しそしてまた基材となり、その上に濃度勾
配付きマトリックスが付着される。
【0051】ここでの目的は、予備成形体の孔を構成す
る基材(繊維)表面のすべてにおいて付着が実質上同時
に起こるように予備成形体を一様に加熱することであ
る。
【0052】孔内に濃度勾配付きマトリックス組成物を
形成するのに必要とされる順序段階は、先に記載したの
と実質上同じである。付着物の化学量論比は液体試薬の
化学量論比により制御される。実際の付着温度は、先と
同じく、付着時間及び付着フロントの位置並びに蒸発熱
の関数である。
【0053】最初、例えば、予備成形体はシクロヘキサ
ン或いは更に言えばベンゼン、ヘキサン等のような有機
溶剤中に浸漬される。予備成形体40を構成する繊維4
2はシクロヘキサンの分解温度まで一様に加熱される。
その結果、図4に示すように繊維42周囲に炭素層61
が付着される。次に、液体化学量論比がクロロシランを
増加するように変更されて、付着される炭化珪素の割合
を増加せしめる。その結果、層63が形成される。続く
層65は更に多くの炭化珪素を含む層である。最後に、
液体は炭化珪素先駆物質のみを含むものとされそして1
00%炭化珪素が層67において実現される。層67は
炭素予備成形体の外面44を超えて延在するものとして
示してある。
【0054】液体の化学量論比が連続方式で変更される
なら、図2に直線53として示したような連続的に変化
する濃度勾配が得られることは明らかである。
【0055】付着物質は、先駆物質を変更することによ
り変更されうる。例えば、炭化チタン、炭化ジルコニウ
ム或いは炭化ハフニウムの付着は、四塩化チタン、四塩
化ジルコニウム或いは四塩化ハフニウムとシクロヘキサ
ンとの分散液から達成することができる。他の系として
は、トルエン中でのチタノセン、ジルコセン或いはハフ
ノセンのような有機金属を含みうる。他の使用可能な例
は、三塩化硼素及び有機化合物からの炭化硼素である。
セラミック窒化物は、上記のような金属の塩化物とヒド
ラジンとの反応により付着することができる。
【0056】重要なセラミックの一つは、塩化珪素のよ
うな液体先駆物質を通してアンモニア(NH )をバ
ブリングすることにより形成されうる窒化珪素である。
窒化珪素は高温で安定でありそして炭化珪素より小さな
膨張係数を有する。
【0057】TiNも四塩化チタン液体を通してのアン
モニアのバブリングから生成されうる。
【0058】明らかに、本発明方法により炭素−セラミ
ック組成物のみならずセラミックス混合物からマトリッ
クスを形成することも可能である。
【0059】予備成形体を加熱する方式は形態や材料に
応じて変化する。例えば、図1の予備成形体30は炭素
を通して通電することにより加熱し得た。誘導加熱は、
適用可能ならば、r−f及びマイクロ波加熱をも含みう
る。
【0060】
【発明の効果】異種材料の性質の不整合並びに処理時間
が非常に長いという欠点を呈しない多孔質予備成形体の
高密度化方法を開発することに成功した。予備成形体を
横切って大きな温度勾配を創出することが可能である。
急速な高密度化をもたらすことが可能でありそして付着
フロントの位置を制御することが可能である。
【0061】本発明の特定の具体例に基づいて説明した
が、本発明の範囲内で多くの変更を為しうることを銘記
されたい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従って高密度化された多孔質予備成形
体を製造するための誘導加熱反応器の概略を示す部分断
面図である。
【図2】図1の高密度化された予備成形体ビレットの2
−2線に沿う断面図と対応するビレット内の濃度勾配付
き炭素−セラミック組成物層の濃度を表すグラフとを併
せて示す。
【図3】繊維間の孔内部に濃度勾配付きセラミックマト
リックス組成物を含有させるべき3D多孔質織物予備成
形体の斜視図である。
【図4】図3の予備成形体を高密度化したビレットの幾
つかの繊維の周囲での繊維−セラミック層の分布状態を
示す断面図である。
【符号の説明】
10 反応器 12 容器 14 排気口 16 出口 18 入口 20 導管 M 混合器 22、24 試薬導入部 30 予備成形体 32 サスセプタ 34 蒸気皮膜 36 誘導加熱器 37 外面 39 内面 41 100%炭素層 43 25%炭化珪素−75%炭素層 45 75%炭化珪素−25%炭素層 47 100%炭化珪素層 40 予備成形体 42 繊維 44 外面 46 孔 61 100%炭素層 63、65 炭素−炭化珪素層 67 100%炭化珪素層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 レイモンド・ジェイ・スプリンスカス アメリカ合衆国マサチューセッツ州ヘイ バヒル、ノース・ブロードウェイ1000 (72)発明者 ガレット・エス・サーストン アメリカ合衆国マサチューセッツ州ロウ エル、ハイランド・アベニュー38 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C23C 18/00 - 18/54 C04B 41/85 D03D 25/00

Claims (19)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 濃度勾配付き組成物を含有する高密度化
    多孔質ビレットを製造する方法であって、 (a)第1材料から形成されそして内部に孔を有する多
    孔質予備成形体を用意する段階と、 (b)前記多孔質予備成形体の孔内部に濃度勾配付き組
    成物を付着する段階とを含み、該濃度勾配付き組成物が
    2種の材料から形成されそしてその一方が前記第1材料
    と同じである高密度化多孔質ビレットを製造する方法。
  2. 【請求項2】 付着された濃度勾配付き組成物の濃度が
    連続的である請求項1の方法。
  3. 【請求項3】 付着された濃度勾配付き組成物の濃度が
    不連続的である請求項1の方法。
  4. 【請求項4】 多孔質予備成形体を高密度化するための
    方法であって、 (a)内部に孔を構成する第1材料基材から形成される
    多孔質予備成形体を用意する段階と、 (b)加熱された多孔質予備成形体基材との接触に際し
    て分解して第2材料を生成しそして孔を構成する多孔
    質予備成形体基材表面に該第2材料を付着しうる液体試
    薬中に前記多孔質予備成形体を浸漬する段階と、 (c)前記多孔質予備成形体を前記液体試薬の分解温度
    に加熱して多孔質予備成形体基材表面に第2材料を付着
    する段階と、 (d)液体試薬の組成を変更して前記第2材料と別の第
    3材料とを含む濃度勾配付き組成物を更に付着する段階
    とを包含する多孔質予備成形体を高密度化するための方
    法。
  5. 【請求項5】 段階(d)において、前記液体試薬の組
    成を連続的に変更する請求項4の方法。
  6. 【請求項6】 段階(d)において、前記液体試薬の組
    成を不連続的に変更する請求項4の方法。
  7. 【請求項7】 第1及び第2材料が炭素でありそして第
    3材料がセラミックである請求項4の方法。
  8. 【請求項8】 第1及び第2材料が炭素でありそして第
    3材料がSiCである請求項4の方法。
  9. 【請求項9】 第1及び第2材料が炭素でありそして第
    3材料が酸化防止材である請求項4の方法。
  10. 【請求項10】 第1材料が炭素であり、前記予備成形
    体を浸漬する第2材料形成のための試薬が炭素先駆物質
    でありそして第3材料がセラミックである請求項4の方
    法。
  11. 【請求項11】 第1材料が炭素であり、前記予備成形
    体を浸漬する第2材料形成のための試薬がシクロヘキサ
    ンでありそして第3材料がセラミックである請求項4の
    方法。
  12. 【請求項12】 多孔質予備成形体を高密度化するため
    の方法であって、 (a)内部に孔を構成する第1材料基材から形成される
    多孔質予備成形体を用意する段階と、 (b)加熱された多孔質予備成形体基材との接触に際し
    て分解して第2材料を生成しそして孔を構成する多孔
    質予備成形体基材表面に該第2材料を付着しうる第2材
    料先駆物質を含む液体第1試薬中に前記多孔質予備成形
    体を浸漬する段階と、 (c)前記多孔質予備成形体を前記液体第1試薬の分解
    温度に加熱して多孔質予備成形体基材表面に第2材料を
    付着する段階と、 (d)加熱に際して分解して第3材料を生成しそして該
    孔内に該第3材料を付着する第3材料先駆物質を含む第
    2試薬を前記第1試薬に添加することにより液体試薬の
    組成を変更する段階と、 (e)第1試薬に対する第2試薬の比率を増加して予備
    成形体内に濃度勾配付き組成物を付着する段階とを包含
    する多孔質予備成形体を高密度化するための方法。
  13. 【請求項13】 予備成形体の孔内に濃度勾配付き組成
    物を付着する請求項12の方法。
  14. 【請求項14】 第1試薬と第2試薬の比率を連続的に
    変化する請求項12の方法。
  15. 【請求項15】 第1試薬と第2試薬の比率を不連続的
    に変化する請求項12の方法。
  16. 【請求項16】 第2試薬が炭化珪素先駆物質である請
    求項12の方法。
  17. 【請求項17】 第2試薬が窒化珪素先駆物質である請
    求項12の方法。
  18. 【請求項18】 第2試薬がセラミック先駆物質である
    請求項12の方法。
  19. 【請求項19】 第1及び第2材料が炭素でありそして
    第3材料が酸化防止材である請求項12の方法。
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