TW571025B - Piston-vacuum pump with gas-inlet and gas-outlet - Google Patents

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571025 A7 B7 五、發明説明(丨) 本發明係關於一種依據申請專利範圔第1項前言之活塞 式真空泵 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此種形式之單級(stage)或多級活塞式真空泵在EU-A-85 687中已爲人所知,它們較相類似之旋轉式活塞真空泵 更省成本且較不易磨損,因此在市場上銷路很好。 在活塞式真空泵中,每一氣缸-/活塞系統都設有一種 由閥(valve)所控制之氣體入口以及一種亦由閥所控制之 氣體出口。因此,由DE-A-1 96 34517中已知一種由活塞所 控制之氣體進入閥(氣體進入管線匯集至氣缸壁中之環形 槽中,環形槽是由活塞本身所封閉或開啓)以及一種由壓力 或活塞所控制之氣體排出閥,此氣體排出閥具有一種延伸 於整個氣紅正面上方之閥盤。在閥盤上升時,壓縮之氣體 會到達一種位於氣缸頭中之室中,氣髖排出管線連接至此 室中。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 若活塞在到達其死(dead)點之後開始其使泵室擴大時之 移動相位(吸入揚程),則該氣體排出閥關閉。此時泵室仍 未與氣體入口相連接,因此該泵室中之壓力下降。由於活 塞式真空泵另外具有之優點是:其能以不具備死空間之方 式來構成及操作,則可在活塞之上述移動相位期間產生很 小之壓力,此種壓力可阻碍活塞之移動且使該活塞驅動器 增加負載(load)。爲了解除此驅動器之負載,則由DE-A-196 34517中已知:須使泵室經由管線以及反壓閥(back-pressurevalve)而與氣體排出室相連接。當泵室中之壓力 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 571025 A7 B7 五、發明説明()) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 下降時,該反壓閥開啓而可防止低壓之產生。此種方式之 缺點是:已輸送之氣體又到達泵室中且必須輸送很多次 或很多倍。 本發明之目的是針對氣體入口來改良一種與此處所述方 式相關之活塞式真空泵。此外,此種氣體入口之構成方式 須使活塞在吸入揚程期間在泵室中不會產生(或只產生微 不足道之)一種欠壓(under pressure)。最後,此種在 DE-A-1 96 34 517中已爲人所知之泵之優點之達成是不會受 影響的,此種優點是:吸入壓力較低時氣體替換時所需之 較大面積之入口縫隙以及較大面積之未損及空間之出口閥
D 依據本發明,上述目的是藉由各申請專利範圍之特徵來 達成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 與上述先前技藝不同的是:在本發明之活塞式真空泵中 設有一種受壓力控制之氣體進入閥,此閥在吸入揚程期間( 較佳是在吸入揚程之第一相位中)是開啓的(open)。此種方 式除了構造簡單及成本低之外所具有之優點是:對於驅動 器會造成負載之上述欠壓現象已不會發生。上述缺點(即, 氣體成份必須輸送很多倍)亦不會存在。 受壓力控制之氣體進入閥可以唯一之進氣閥形式存在著 。但在吸入壓力較低時應存在較大面積之導入口,以便在 壓力開始上升之前使泵室儘可能完全充滿氣體。若本發明 中除了第二氣體進入路徑之外另外存在一種氣體進入路徑 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 571025 A7 B7___ 五、發明説明(+ ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 。氣體進入閥12存在於氣體進入室14和泵室5之間且是以 壓力來控制,在活塞之吸入揚程期間只要在泵室5中產生 一種足夠小之壓力時,則氣體進入閥12即打開(open)。 在第la和lb圖之實施例中,氣體進入閥12和排出閥7 是相隣而配置。氣體排出閥7之閥盤8是藉助於螺釘15而 固定在氣缸頭4上,此閥盤8是經由活塞2上之衝桿16來 操作β氣體進入閥12之密封件是一種彈簧舌18 ’其是一 種固定在氣紅和氣缸頭4之間的閥片19。在氣體進入閥12 關閉時,弾簧舌18平放於氣體進入室(或管線)14之入口 20 ° 第2a至2c圖顯示一種大約固定於氣缸頭4中央之氣體 進入閥12,其密封件包含一個以旋轉對稱方式構成之閥舌 22,閥舌22經由一個圓環形之弾簧區段23而與邊緣24相 連接(第2b圖)。此種以閥片構成之密封件21固定至氣缸 頭4是以一種固定螺母27以及一種具有外領26之套筒25 來達成,該固定螺母27可栓入氣缸頭4中之螺紋孔28中。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在封閉之閥12中,氣體進入室14之入口 20之弾簧舌22 平放在泵室5中。套筒26本身(例如由Vit on所構成)或彈 性環29形成閥座。密封件21之邊緣夾緊在該固定螺母27 和彈性環31之間。因定螺母27具有一個中空之軸(其設有 凹口 32以便引入該弾簧區段23)。若該密封件之邊緣用之 夾緊面已相對於一種數値a和該彈簧舌22之平面而被重置 (r e s e t ),則該弾簧舌22可受到預應力。氣體排出閥7之 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 571025 A7 B7 五、發明説明(6 ) 閥盤8圍繞著進入閥12且可受到壓力所控制或經由該衝桿 1 6而受到活塞所控制。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在第3和4圖之實施例中,氣體排出閥7之密封件8藉助 於弾性之蛇腹3 5 (金屬或彈性材料)而固定至氣缸頭4。蛇 腹35之內部形成氣體進入室14。氣體進入泵室5中是經由 閥盤8中之鑽孔36來達成。 在第3圖之方式中,氣體排出閥7之閥盤8設有(或塗佈) 一種弾性膜37。在鑽孔36之區域中,此膜37設有多個相 對於此鑽孔36而偏移地配置之開口 39,這些開口在泵室5 處於足夠之欠壓時可使氣體進入(第3圖左半部所示)。在 第4圖之實施例中,彈簧舌40配屬於此鑽孔36,就像第1 圖7之方式一樣,彈簧舌40藉由螺釘41而固定至閥盤8。 第5圖顯示一種緊密 <弾性環42)栓入氣紅頭4之螺紋中 的閥座43(其具有多個進出孔44)。環形之密封件45配屬 於這些進出孔44(其配置在一個圓周上),密封件45受到壓 力弾簧46之作用。彈簧46支撐在揚程限制器47上且決定 了氣體進入閥12之預應力。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在第1至5圖之形式中,須使用氣缸孔之橫切面之一部 份以便配置此氣體進入閥12;但主要部份仍用來構成此種 較大面積之氣髖排出閥7。氣體進入閥12之位置是特別有 利的,其可直接在吸入揚程開始之後以壓力控制之方式引 導其開口之移動。 在第6至9圖之實施形式中,氣體進入之方式是經由一 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 571025 A7 B7 五、發明説明(6 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 種在側面注入泵室5中之開口 50(鑽孔或縫隙)來達成。氣 體進入閥12是位於氣缸壁3中之室51中,氣體進入管線 14注入此室51中。第6至8圖中之密封機構類似於第1,2 和5圖中之密封機構(彈簧舌18,21或受到彈簧負載之環形 之密封件45)。在第9圖之實施形式中,此室51中存在一 種習知之反壓閥,其具有一種受到壓力弾簧52所作用之球 體53以作爲密封件,一種錐形之座54配屬於此反壓閥。 第6至9圖中之各鑽孔50分別位於氣缸壁3之面向氣體 排出閥7之正面之直接相隣區域中*閥12在吸入揚程開始 時因此會儘可能提早地受到壓力所控制而開啓(open)。在 習知之方式中適當地存在另一由活塞2所控制之氣體入口 55(第8圖),其在氣缸壁3中是以環繞式之導漕56所構成 。氣體進入管線14同樣是注入此導槽56中。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第6至9圖之方式所具有之儍點是:氣體排出閥7之橫切 面不會由於配置氣體進入閥12而受到影響且在側面上除 了氣缸之外亦存在足夠之空間以便安裝該氣體進入閥12 。此外,亦可簡易地製成一種不損及空間之氣體排出閥。 在這些方式中重要的是:氣體入口 50存在於氣缸孔之正面 之直接相隣之區域中,氣體進入閥12因此可在吸入揚程開 始時受到壓力控制而打開(open)。 在第10圖之方式中,此祥塞2<其正面具有一種軸環61) 設有一種位於外部之唇片62。此外,此活塞2設有一種在 軸向延伸之導槽63,當此活塞2位於其上部之死點時,此 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 571025 Α7 Β7 五、發明説明(1 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 導槽63由活塞正面延伸至氣體入口 55(氣缸壁3中之環形 導槽56)。在吸入揚程開始且泵室5中有足夠之欠懕時,此 唇片62(其與氣缸壁形成該氣體進入閥12)由氣缸壁拿下 來,使得氣體入口 55和泵室5之間可經由導槽63而連接。 導槽63之功能是亦可在活塞外襯和氣缸壁之間形成一種 環形間隙。適當之方式是此入口 55具有一種圓形鑽孔之形 式,軸環因此可經由該入口而移動至下部之死點。 最後,氣體入口可位於活塞2之正面66中。在第11圖所 示之實施例中氣體進入閥12是以舌片閥(第1和第6圖)構 成。彈簧舌18藉助於螺釘65而固定至活塞2且在氣體進入 通道14之入口 20關閉時是平放著的。其它形式之閥同樣 是可能的(例如,球閥)。此種解法之前提是:此種級(stage) 由於曲軸箱而須準行吸入過程。曲軸箱因此必須密封且所 吸入之氣體不可損害曲軸箱中之組件。其構造簡單且價格 低廉是有利的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在這些圖式中之一些圖式中顯示:上述形式之一些組件 可被塗層(第3圖之閥盤8,第4和10圖中之活塞正面,第 5圖中之活塞外觀,第6圖中之氣缸壁6)。氣體進入閥12 之密封件及/或座亦可設置一種塗層。依據此種塗層應具 有之功能(密封,蒸發,磨損之保護)而選取各種材料(例如 ,弾性體或聚四氟乙烯)。氣體排出閥7之操作可以壓力或 活塞來控制。 如以上各實施例所述,就此種受壓力控制之氣體進入閥 本紙張又度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 571025 A7 B7 五、發明説明(8 ) 而言以下各種不同之構造形式都是可考慮的: a) 舌片閥,其具有金屬墊圈或具有.弾性墊圈。 b) 彈簧負載式閥盤,情況需要時具有中央引導丨牛° c) 由彈簧鋼片所構成之閥,其可將閥盤及弾簧舌組合成 單一組件。 d) 弾簧負載式球閥。 e )弾性膜,其藉由閥體而夾緊。 f)活塞頭上之軸環,其在工作室之方向中受到所施加之 壓力時變成未密封狀態,因此可達成一種壓力平衡。 此種形式之閥適合此種藉由曲軸箱來達成之吸入作用 或適合此種經由活塞外襯之吸入作用。 藉由本發明之方式,則由此方式所構成之活塞式真空泵 具有下述有利之特性: •價格低, •功能強*操作上較可靠,對污染不敏感, •高密封性, •較小之死空間, •雜音少, •較少接合至終端構造,空間上較節省, •製造及安裝較簡單, •足夠之橫切面及控制時間。 主要元件之對照表 1 活塞-氣缸-系統 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) I--------衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T-. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 571025 A7 B7 五、發明説明(q ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 活塞 3 氣缸壁 4 氣缸頭 5 栗室 7 氣體排出閥 8 閥盤 9 閥座 11 氣體排出室 12 氣體進入閥 14 氣體進入室 15 螺釘 16 衝桿 18 彈簧舌 19 閥片 20 入口 21 密封件 22 閥舌 23 彈簧區段 25 套筒 26 外領 27 固定螺母 28 螺紋孔 29,31 彈性環 32 凹口 35 蛇腹 -11 · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 571025 A7 B7 五、發明説明() 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 36 鑽孔 37 弾性膜 39 開口 40 彈簧舌 41 螺釘 42 彈性環 43 閥座 44 進出孔 45 密封件 46,52 壓力彈簧 47 揚程限制器 50 開口 51 室 53 球體 54 座 55 氣體入口 56,63 導槽 61 軸環 62 唇片 65 螺釘 66 活塞正面 -12- I--------;k-----,—訂------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐)

Claims (1)

  1. 571025 Hif 月 Q l ::: :、申請專利範圍 一- 第89 1 06978號「具有氣體入口和氣體出口之活塞式真空 泵」專利案 (9 2年1 1月修正) 六申請專利範圍: 1· 一種具有氣體入口和氣體出口之活塞式真空泵,其 舍括:至少一個活塞(2 ),至少一個氣缸(3 ),—個 由活塞(2)和氣缸(3)所構成之泵室(5),一個氣體進 入管線’一個氣體進入閥(1 2 ),一個氣體排出管線 以及一個在正面配置於氣缸孔之橫切面中之氣體排 出閥(7 ),其特徵爲:氣體進入閥(1 2 )是以壓力來控 制且須配置成使其在吸入揚程期間較佳是在該吸入 揚程之第一相位中開路(〇 p e η )。 2. 如申請專利範圍第1項之泵,其中氣體進入閥(1 2 ) 同樣是以正面處於氣缸孔之橫切面中。 3. 如申請專利範圍第1或第2項之泵,其中氣體進入 閥(1 2 )和氣體排出閥(7 )是氣缸頭(4 )之組件。 4. 如申請專利範圍第1項之泵,其中氣體進入閥(1 2 ) 和氣體排出閥(7 )是相隣地配置在氣缸孔之橫切面。 5. 如申請專利範圍第4項之泵,其中氣體進入室(或管 線)1 4存在於氣缸頭(4 )中且氣體進入閥配屬於泵室 (5)中氣體進入室(14)之入口(20)。 6. 如申請專利範圍第4或第5項之泵,其中氣體進入 閥(1 2 )是氣體排出閥(7 )之閥盤(8 )之組件。
    571025 六、申請專利範圍 7. 如申請專利範圍第6項之泵,其中閥盤(8 )固定在彈 性之蛇腹(35 )上且蛇腹之內容空間形成該氣體進入 室(14)。 8. 如申請專利範圍第7項之泵,其中閥盤(8 )設有一種 彈性膜(37 )且此彈性膜之一部份具有閥功能。 9·如申請專利範圍第1項之泵,其中該受壓力所控制 之氣體進入閥(1 2 )在側面靠近泵室(5 )處配置於氣缸 壁(3 )中。 10·如申請專利範圍第9項之泵,其中氣體進入方式是 經由一種側面注入泵室(5 )中之開口( 5 0 )(鑽孔或縫 隙)來達成。 11. 如申請專利範圍第9或1 0項之泵,其中氣體進入閥 存在於一種在氣缸壁(3)中所形成之室(51)之內部, 此室(5 1 )是與氣體進入管線(1 4 )相連接。 12. 如申請專利範圍第1項之泵,其中該受壓力所控制 之氣體進入閥(12)存在於活塞正面壁(66)中。 13·如申請專利範圍第1,9或1 2項之泵,其中存在另 一個受活塞所控制之氣體入口( 5 5 )。 14. 如申請專利範圍第1,2或9項之泵,其中該受壓力 所控制之氣體進入閥(1 2 )是以舌片閥’彈簧負載閥 ,球閥或類似物所構成。 15. 如申請專利範圍第1項之泵,其中此泵之各組件中 之一個或多個是有塗層的,此種塗層用來密封’衰 571025 、申請專利範圍 減雜音或衰減振動或作爲磨損保護用。 16.如申請專利範圍第1項之泵,其中存在一種活塞控 制之氣體入口( 5 5 );活塞(2 )在正面設有一種軸環 (61);存在一種由軸環(61)至氣體入口(55)之連接 件(6 3 );軸環(6 1 )與氣缸壁(3 ) —起形成該受壓力所 控制之氣體進入閥(1 2 )。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105927517A (zh) * 2016-01-15 2016-09-07 王颖 对称螺旋线形阀压电泵
CN112302905A (zh) * 2019-07-31 2021-02-02 Amk控股股份有限公司 用于空气压缩机的气缸活塞

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6540492B2 (en) * 2001-04-09 2003-04-01 Carrier Corporation Compressor piston with reduced discharge clearance
DE10233302B4 (de) * 2002-07-22 2006-06-14 Knf Neuberger Gmbh Pumpe
DE10247336A1 (de) 2002-10-10 2004-04-22 Pfeiffer Vacuum Gmbh Kolbenmaschine zur Förderung von Gasen
DE10308421A1 (de) * 2003-02-27 2004-09-09 Leybold Vakuum Gmbh Kolbenpumpe, vorzugsweise Kolbenvakuumpumpe, mit Auslassventil
DE102004047159B4 (de) * 2004-09-29 2006-09-07 Danfoss Compressors Gmbh Kolbenverdichter, insbesondere hermetischer Kältemittelverdichter
DE102005044904B4 (de) * 2005-09-14 2009-12-03 Hirschmann, Karl-Heinz, Prof.Dr. Elektromagnetisch betreibbare Dosierpumpe
WO2009037486A1 (en) 2007-09-20 2009-03-26 Scion-Sprays Limited A fluid injector having a reed valve
GB2452954B (en) * 2007-09-20 2010-01-27 Scion Sprays Ltd A reed valve for a fuel injection system and a fuel injection system having such a reed valve
DE102008031450A1 (de) * 2008-07-04 2010-01-07 Gardner Denver Thomas Gmbh Pumpe
GB2478876B (en) 2009-03-31 2012-03-21 Scion Sprays Ltd A fluid injector having a novel inlet valve arrangement
DE202010002145U1 (de) 2010-02-09 2011-09-07 Vacuubrand Gmbh + Co Kg Membranvakuumpumpe
CN102384062B (zh) * 2010-08-30 2015-12-16 中国计量学院 活塞往复式压缩机的全无余隙机型的结构
JP6111697B2 (ja) * 2013-01-30 2017-04-12 スズキ株式会社 エンジンの負圧供給装置
DE102014216282A1 (de) * 2014-08-15 2016-02-18 Robert Bosch Gmbh Kolbenpumpe mit mechanischen Hubanschlag für Membranfeder
DE202016001148U1 (de) 2016-01-31 2017-05-04 Schwarzer Precision GmbH & Co. KG Ventilsegment und Ventilanordnung
DE102016002071A1 (de) 2016-01-31 2017-08-03 Schwarzer Precision GmbH & Co. KG Ventilsegment und Ventilanordnung
DE102021201112A1 (de) 2021-02-05 2022-08-11 Thyssenkrupp Ag Kolben für eine Kolbenpumpe, Verfahren zur Herstellung eines Kolbens, sowie Kolbenpumpe

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT38542B (de) * 1907-04-22 1909-08-25 Farbenfab Vorm Bayer F & Co Verfahren zur Darstellung von Leukoverbindungen der Gallocyaninreihe.
DE826926C (de) * 1948-10-02 1952-01-07 Paul Neunert Selbsttaetig oeffnende und schliessende Saug- und Druckventile
US3312388A (en) * 1965-08-25 1967-04-04 Stal Refrigeration Ab Device for suction valves for reciprocating machinery
GB1217235A (en) * 1968-01-17 1970-12-31 Ezra Dale Hartley Improvements in or relating to pumps
US4370103A (en) * 1980-04-28 1983-01-25 Arrowhead Research Piston pump with discharge valve, inlet valve and misalignment compensating means in a pump head
US4679994A (en) * 1981-03-09 1987-07-14 Allied Corporation Piston vacuum pump
DE3116534A1 (de) * 1981-04-25 1982-11-18 Pierburg Gmbh & Co Kg, 4040 Neuss Kolbenvakuumpumpe
JPS58501474A (ja) 1981-08-13 1983-09-01 コモンウエルス サイエンテイフイツク アンド インダストリアルリサ−チ オ−ガニゼイシヨン 往復動ピストン−シリンダ装置
GB2132284B (en) * 1982-12-17 1986-04-03 Commw Scient Ind Res Org Porting and ducting arrangement
US4525128A (en) * 1983-06-09 1985-06-25 Clayton Dewandre Co., Ltd. Reciprocating exhauster
US4854825A (en) * 1987-02-27 1989-08-08 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization Multi-stage vacuum pump
US5076769A (en) * 1990-07-16 1991-12-31 The Dow Chemical Company Double acting pump
GB9126801D0 (en) * 1991-12-18 1992-02-19 Wabco Automotive Uk Vacuum pump
US5482443A (en) * 1992-12-21 1996-01-09 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization Multistage vacuum pump
GB9402828D0 (en) * 1994-02-15 1994-04-06 Wabco Automotive Uk Vacuum pump
DE19634518A1 (de) * 1996-08-27 1998-03-05 Leybold Vakuum Gmbh Kolbenpumpe mit Entlastungsventil
DE19634517A1 (de) * 1996-08-27 1998-03-05 Leybold Vakuum Gmbh Kolbenvakuumpumpe mit Auslaßventil

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105927517A (zh) * 2016-01-15 2016-09-07 王颖 对称螺旋线形阀压电泵
CN112302905A (zh) * 2019-07-31 2021-02-02 Amk控股股份有限公司 用于空气压缩机的气缸活塞

Also Published As

Publication number Publication date
AU3163600A (en) 2000-11-02
EP1169572A1 (de) 2002-01-09
WO2000063557A1 (de) 2000-10-26
EP1169572B1 (de) 2005-08-17
DE50010975D1 (de) 2005-09-22
DE19917009A1 (de) 2000-10-19

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