TW567570B - Handler for TCP and method for TCP illumination - Google Patents

Description

567570 五、發明說明（1) 發明領域 本發明係有關於一種將複數帶狀連接之各貼帶載具封 裝（tape carrier package，TCP)的測試塾（test pad)依 序連接於測試插栓（test pin)的TCP用操作機以及TCP照明 方法 先前技術 如同一般所知的，TCP係為藉由貼帶自動貼合（tape automated bonding， TAB)技術而在薄膜上封裝半導體晶 片者，在貫際搭載於印刷電路板前的搬運階段，係成為複 數連接的帶狀型態。於日本早期公開平7 — 8 6 3 5 5號公報 中，係揭露一種TAB測試裝置，以持續的間隔移送此種帶 ，型態的tcp(以下簡稱TCP帶），並使各Tcp上的測試墊接 ，，接於半導體積體電路測試裝置（通稱為IC測試機）的測 二，上以*進仃測試。此種TAB測試裝置係由：持續的間隔 二:，並使各TCP上的測試塾接觸連接於上述測試插 Ϊ !!曰y操作機（亦稱為TAB操作機）、藉由測試插栓與半 作^ 、ai Ϊ行信號的授與及接收，以測試半導體晶片的動 作之1C測試機本體所構成。 由斟ί 測試裝置係使用攝像機以拍攝TCP(TAB)，藉 有無半導鹗=影像資料進行影像處理，以高精度的檢測出 控incp 晶片與有無標記（mark)穴’並基於此檢測結果 機斟a柏Γ的間隔移送。此τAB測試裝置係使用配置於攝像 执對向側且與攝像機包夾TCP的光源盒，此光源盒具有不

第5頁 567570 五、發明說明（2) 偏移的照射T C P全體之大面積發光面，攝像機藉由此光源 盒所發射的照明光透過TCP所得的透射光而受光，以拍攝 TCP的影像。 但是，如同上述TAB測試裝置，藉由來自TCp的透射光 取得TCP的影像（TCP影像）以檢測出有無半導體晶片或標記 穴的方法中，具有在TCP影像的對比低的場合，無法確實 且正確的檢測出有無半導體晶片或標記穴的問題。 發明概要 有鑑於上述的問題，本發明的目的在藉由得到高 的TCP影像’以確實且高精度的檢測出檢測對象物。 车„為J ?成ί述目㈤，本發明相關於TCP用操作機之繁1 又，係在依序間隔移送連接複數TCP的TCP帶，並使各 上的測試墊接觸連接於半導體積體電路測試裝置， 妾收於TCP照射照明光所得之來自各Tcp的透過光以曰 各TCP的TCP影像，並基於此TCP影像控制TCP帶之 TCP用操作機中，係採用具備有因應檢測對象物調整昭日 光之光源，以使TCP上之各檢測對象物得到對比良=圖、 而且，相關於TCP用操作機之第2手段，係在上述 手段中’光源係採用因應檢測對象物切換照明光之顏 而且，相關於TCP用操作機之第3手段，係在上述。 手段中’在檢測對象為Tcp上的半導體晶片時，昭 採用紅色。 …、明先係

第6頁 567570 五、發明說明（3) 相關於TCP用操作機之第4手段，係在上述第2或是第3、 的手段中，在檢測對象為形成在TCP上的沖孔穴時，照明 光係採用藍色。 另一方面，本發明相關於TCP照明方法之第1手段，藉 由接收於TCP照射照明光所得之透過光以取得TCP影像，並 基於此TCP影像檢測出TCP上各檢測對象物場合的照明方 法，係採用得到對比良好之TCP影像的因應檢測對象物調 整照明光。 而且，相關於TCP照明方法之第2手段，係採用因應檢 測對象物調整照明光的顏色。 相關於T C P的照明方法之第3手段，係在上述第2手段 中，在檢測對象為TCP上的半導體晶片時，照明光係採用 紅色。 相關於TCP的照明方法之第4手段，係在上述第2或是 第3的手段中，在檢測對象為形成在TCP上的沖孔穴時，照 明光係採用藍色。 相關於TCP的照明方法之第5手段，係在上述第1手段 中，因應對象物調整照明光的強度。 圖式之標示說明： X : TCP 帶 xl : TCP 机 X 2 :扣鏈齒輪孔 X 3 :半導體晶片

第7頁 567570 五、發明說明（4) X 4 :測試塾 X 5 :沖孑L穴 1 :供給捲筒 2 :收容捲筒 3A、3B :扣鏈齒輪 4 :推壓裝置 5A〜5C : CCD攝像機 6 A :鹵素燈泡 6B、6C :2色光源盒 7 :沖孔單元 8 :影像處理單元 9 :控制單元 < 1 0 :監視電視 6 0 :發光面 實施例 以下請參照圖式以對本發明之TCP用操作機以及TCP的 照明方法的實施例作說明。 第1圖所繪示為本發明一實施例之TCP用操作機的重要 部位構成圖。於此圖中，標號X為TCP帶，1為供給捲筒 (reel)、2為收容捲筒、3A、3B為扣鏈齒輪（sprocket)、4 為推壓裝置（pusher)、5A 〜5C 為 CCD(charge couple device， 電荷耦合元件）攝像機、6 A為鹵素燈泡、6 B、6 C 為2色光源盒（光源）、7為沖孔單元（punch unit)、8為影

第8頁 567570 五、發明說明（5) 為控制單元、10為監視電視（monitor 像處理單元、 television) ^彳目，丨^1!帶j如第2圖所示，TCPxl係以複數被連接且同時於 鏈齒輪孔x2。各Tcpxi於中央搭載有半 /1总^ 3日守，並没置有複數的測試墊χ4，且測試塾 Χ4係經由導線圖案連接於半導體晶片χ3上的各連接塾。而 且’方；各ΊΧΡχΙ係因應動作測試的結果形成沖孔穴χ5。此 沖孔六χ5係為各TCPxl用以識別良品與不良品的穴。 依此形成的TCP帶X係以茶褐色的半透明樹脂作為基 材’、於ί基材上搭載半導體晶片x 3的同時，形成有導線圖 案或測試墊X 4。尚且，上述半導體晶片χ 3與沖孔穴义5為本 實施例的檢測對象物。 丨 供給捲筒1係為多重捲繞Tcp帶X者，並伴隨著扣鏈齒 輪3A、3B的回轉依序送出Tcp帶X。收容捲筒2係捲收上述 由供給捲筒1送出的TCP帶X。扣鏈齒輪3A、3B設置於推壓 裝置4的兩側。並藉由控制裝置9的控制而被回轉驅動。各 扣鏈齒輪3A、3B係以表面上形成的突起與扣鏈齒孔嚙合， 以將T C P帶X向收容捲筒2惻依序間隔移送。推壓裝置4係藉 由押壓停止狀態的T C P帶X ’以將各τ C P X 1的測試塾X 4與I C 測試機本體的測試插栓（未圖示）接觸連接。 C C D攝像機5 B、5 C係藉由接收由2色光源盒6 B、6 C個別 照射至TCP帶X之照明光的透射光，取得；[的影像 (TCP影像）輸出至影像處理單元8。如圖所示，本TCP用操1 作機具備有3個CCD攝像機5A〜5C。於此些CCD攝像機5A〜

567570 發明說明（6) 5 C rj-y 换懕杜丄CI)攝像機5A係設置用以取得作為TCP影像之位於 衷置4位置的鹵素燈泡6A其照明光之反射影並用 =測試插栓對TCPxl的位置（正確而言為測試墊χ4)。 ti ^1，CCD攝像機5B、5C係設置用以檢測出半導體晶 片χ3與沖孔穴χ5的有無。 2,色光源盒6Β、6C係為具有2色發光機能的可見光光 二丄ί ί於控制單元9的控制以發射紅光或藍光。第3圖所 一、/ 2色光源盒6Β、6C的外觀構成斜視圖。如圖所 :，2色光源盒具有發光面6〇，此發光面6〇係盥τ[ρχΐ略同 :5二，以均勻照度照射於TCPX1。2色光源盒6B、6C係配 十T ^ D攝像機5 β、5 c的相對惻，並與c C D攝像機5 B、5 C包 爽1(^\1’以均勻的照明][(：1^1的全區域。 上述發光面6 0係藉由密集配設複數的發光二極體 (L E D )以形成’具體而言係為發射紅光的l E D (紅色L E D )與 ^射監光的LED(藍色LED)，相互鄰接且交錯配置以形成。 發光面60在僅驅動紅色LED的場合均勻的發射紅光，另一 方面在僅驅動藍色led的場合均勻的發射藍光。 沖孔早元7係基於控制早元9的控制而動作，並因應以 1C測試機本體之TCPxl的動作試驗結果，而於TCPxl上形成 沖孔穴x5。影像處理單元8係藉由影像處理從各CCD攝像機 所輸入的T C P影像以控制T C P帶X的移送動作，亦即是控制 扣鏈齒輪3A、3B或是供給捲筒1或收容捲筒2等的動作。 而且，各CCD攝像機5 A〜5C係連接監視電視1 〇，並依 各CCD攝像機5 A〜5C切換TCP影像。

第10頁 567570 五、發明說明（7) 其次係說明依此構成之TCP用操作機的動作。 本TCP用操作機係藉由以影像處理單元8影像處理CCD 攝像機5A所取得的TCP影像，以檢測出TCPxl的位置。然後 控制單元9係藉由基於此位置檢測結果控制扣鏈齒輪3 a、 3 B決定τ c P X 1位置，並使τ C P X 1上的測試墊X 4正確的接觸連 接I C測試機本體的測試插栓。 ^ 另一方面，由於CCD攝像機5B係設置於箭頭所示之TCP 帶X移送方向的上游側，而取得動作試驗前的TCP影像。然 後’影像處理單元8係藉由影像處理CCD攝像機5B的TCP影 像以檢測有無半導體晶片X 3。控制單元9係藉由基於此半 導體晶片x3的檢測結果控制Tcp帶X的移送，僅將搭載有半 導體晶片X 3的T C P X 1停止於推壓裝置的位置以進行動作試_>· 驗。於此場合’由於CCD攝像機5B對向的2色光源盒6B係藉 由控制單元9自動設定為「紅色」，而能夠正確的檢測出 有無半導體晶片x3。 再者’ CCD攝像機5C係設置於TCP帶X移送方向中沖孔單 凡7的下游側，並取得以沖孔單元7所形成之沖孔穴χ 5的 TCP影像。然後，影像處理單元8係藉由影像處理CCD攝像 機5 C的TCP影像以檢測有無沖孔&χ5。控制單元9係基於此 =孔穴X 5的檢測結果，以判斷是否對應動作試驗的結果確 實的形成沖孔穴x5。於此場合，由於CCD攝像機5C對向的2 色光源盒6C係藉由控制單元9自動設定為r藍色」，而能 夠正確的檢測出有無沖孔穴χ 5。

依本實施例的話，藉由將照明光自動設定為對TCP帶X

第11頁 567570 五、發明說明（8) 的茶褐色基材透光率高的紅色光或是透光率低的藍色光， 而能夠南精度且確貫的檢測出半導體晶片X 3與沖孔穴X 5。 然而，本發明並不限定於檢測上述半導體晶片X 3或是沖孔 穴x5，亦可以用於TCPxl上的各種檢測對象。 而且，由於本發明的特徵係在於切換設定對TCP帶X的 基材透光率高的光與透光率低的光，因此照明光並不限定 於紅色與藍色。例如是依照基材的變更，對於透光率高的 光與透光率低的光係可以考慮紅色與藍色之外的其他顏 色。 再者，以C C D攝像機5 A〜5 C之半導體晶片X 3或沖孔穴 X 5的檢測，係由操作者於監視電視1 0確認而個別的設定半 導體晶片X 3或沖孔穴X 5的檢測區域。藉由僅對各檢測區域 進行影像處理或是監視以檢測出半導體晶片X 3或沖孔穴 X 5。此種檢測區域的設定作業，由於係由操作者於監視器 目視辨認CCD攝像機5 A〜5C的各TCP影像並指定檢測區域， 例如是藉由於設定半導體晶片X 3相關之檢測區域的場合使 照明光為紅色’半導體晶片係能夠容易辨認。而且’於設 定沖孔穴X 5相關之檢測區域的場合，藉由使照明光為藍色 而能夠容易的辨認沖孔穴X 5。 尚且，照明光的切換亦可以為手動設定。 上述實施例之光源，其構成係藉由使用具有2色發光 機能的2色光源盒6 B、6 C，因應檢測對象物而切換照明光& 為紅色/藍色，然而在顏色的變更之外更加上，或是取代 照明光之顏色的變更，而藉由最佳化照明光的強度以得到

第12頁 567570 五、發明說明（9)

Tcpxl上之半導體晶片χ3與沖孔穴X5對比良好的TCp影像。 例如是使用上述實施例之2色光源盒6β、6c的場合，2 色光源盒6B的發光色設定為「紅色」，而且，此紅色光的 ，度係設定為使CCD攝像機5B所拍攝之半導體晶片χ3的7(：{) =像對比為最佳的強度’同時將2色光源盒6 c的發光色設 疋為「藍色」，而且，此藍色光的強度係設定為使CCD攝 像機5C所拍攝之沖孔穴x5的TCP影像對比為最佳的強度。 另一方面，上述2色光源6 B、6 C以單一色照明光源 6 B 、6 c ’取代的場合，光源6 Β，之照明光的強度係設定為 使C C D攝像機5 Β所拍攝之半導體晶片χ 3的τ c Ρ影像對比為最 佳的強度’同時光源6 C ’之照明光的強度係設定為使c C D攝 像機5C所拍攝之沖孔穴X 5的TCP影像對比為最佳的強度。4 此種照明光的強度調節，例如是藉由控制單元9階段 的依序切換上述各種光源所射出的照明光強度，同時藉由 影像處理單元8檢測出各強度之TCP影像的對比，藉由檢測 出此對比之最佳的照明光的強度以實現。 發明的效果 如上述之說明，依本發明較佳實施例的話，由於係因 應檢測對象物調節照明光以得到TCP上之各檢測對象物的 良好對比TCP影像，因而能夠高精度且確實的檢測出各種 檢測對象。 雖然本發明已以一較佳實施例揭露如上，然其並非用❿ 以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精

第13頁 567570

第14頁 567570 圖式簡單說明 第1圖所繪示為本發明一實施例之TCP用操作機的重要 部位構成圖； 第2圖所繪示為本發明一實施例之T C P帶的正面圖；以 及 第3圖所繪示為本發明一實施例之2色光源盒的斜視 圖。

Claims (1)

1. 567570 六、申請專利範圍 I 一種TCP (tape carrier package，貼帶載且 用操作機，在依序間隔移送連接複數TCp(xl)的一 並使各泫些T C P ( X 1 )上的複數測試塾（χ 4 )接觸連接 一半導體積體電路測試裝置，於各該些TCP(xl)妾昭觸射t接昭於 明光所得之來自各該些TCP(xl)的透過光受光以拍攝各^ = TCP(xl )的複數TCP影像，並基於該些TCP影像控制該τ^ρ 帶（X)之移送的該TCP用操作機中， 其特徵為因應該些檢測對象物（x 3、X 5 )調整該照明光 之光源（6B、6C)，以使該些TCP(xi)上之各別複數個、檢測 對象物（X 3、X 5 )得到對比良好圖案。 2 ·如申請專利範圍第1項所述之TCp用操作機，其特徵 為其中該光源（6 B、6 C )係因應檢測對象物（x 3、X 5 )切換該 照明光的顏色。 Λ 3 ·如申請專利範圍第2項所述之TCP用操作機，其特徵 為其中檢測對象為該些TCP ( X 1 )上的半導體晶片時，該照 明光係採用紅色。 4 ·如申請專利範圍第2項或是第3項所述之T C P用操作 機’其特徵為其中檢測對象為形成在該TCP ( X 1 )上的沖孔 穴（X 5 )時，該照明光係採用藍色。 5 ·如申請專利範圍第1項所述之TCP用操作機，其特徵 為其中該光源（6 B、6 C )係因應該些檢測對象物（X 3、X 5 )切 換該照明光的強度。 6· —種TCP照明方法，係在藉由於一TCP (xl )照射一照Φ 明光所得之透過光受光取得一TCP影像，並基於該TCP影像

   第16頁 567570 六、申請專利範圍 檢測出該TCP(xl )上各別檢測對象物（χ3、χ5)場合的照明 方法中， 其特徵為因應該些檢測對象物（X 3、X 5 )調整該照明 光，使其得到對比良好之該TCP影像。 7. 如申請專利範圍第6項所述之TCP照明方法，其特徵 為其中該光源（6 B、6 C )係因應檢測對象物（X 3、X 5 )切換該 照明光的顏色。 8. 如申請專利範圍第7項所述之TCP照明方法，其特徵 為其中檢測對象為該些TCP ( X 1 )上的半導體晶片時，該照 明光係採用紅色。 9 .如申請專利範圍第7項或是第8項所述之T C P照明方 法，其特徵為其中檢測對象為形成在該TCP(xl )上的沖孔#-穴（X 5 )時，該照明光係採用藍色。 1 0 .如申請專利範圍第6項所述之TCP照明方法，其特 徵為因應該些檢測對象物（X 3、X 5 )切換該照明光的強度。

   第17頁