564305 A7 B7 五、發明説明（i ) 本發明關於一種薄型基板用懸吊式乾燥機及基板懸 吊用吊架，其係透過吊架懸吊用於BGA、CSP、PGA等之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 電腦、訊息機器或行動電話等的薄型印刷基板並加以乾燥 者。 一種用以使上述薄型印刷基板乾燥之習知代表性乾 燥機，其係具有窗口式及鏈條懸吊式等。前者之窗口式乾 燥機係使用環形鏈條當作搬運帶，以預定間隔放置用以將 基板保持於該環形鏈條上之數個保持裝置並傾斜安裝，將 基板傾斜保持於各保持裝置上，並在直線搬運期間使該基 板乾燥者。又，後者之懸吊式乾燥機亦使用相同之環形鏈 條當作搬運帶，在行進於乾燥室之頂壁部之環形鏈條上預 先以預定間隔一體安裝數個皮帶扣吊架，在各吊架上懸吊 基板並於直線搬運期間使該基板乾燥者。 經濟部智慧財/i^a(工消費合作Ti印災 無論上述任一形式之乾燥機，為使用環形鏈條進行基 板之搬運而由鏈條驅動部或鏈條本身產生灰塵並深入乾燥 室内，使乾燥室内之淨度降低。隨著最近基板之高精確度 化’乾燥室内淨度之低下帶給基板製品之品質或製品之良 率相當大之影響，因此強烈要求乾燥室内淨度之提昇。 又，無論上述任一形式之乾燥機，為在環形鏈條上直 接安裝基板保持裝置或皮帶扣吊架，而無法因應基板大小 之變更，同時無法簡單地進行其拆卸及清掃等。又，由於 溫度上升所造成之環形鏈條之伸展而產生基板之皮帶扣位 置之位移，由於基板厚度為0.2mm以下而產生基板翹曲、 歪斜等的問題，因此有難以使用於上述厚度以下之薄型基 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -4- 564305 五、 發明説明（2 板之問題產生。 本發明之第1問題係避免使用如環形鏈條等的具有產 生灰塵作用之搬運帶，以控制乾燥室内產生灰塵，且由於 提同其淨度而提南其基板品質；其第2問題係可因應基板大 小、基板厚度及連績搬運之基板間隔等的變更，且可進行 寬基板之乾燥。 用以解決上述問題之申請專利範圍第1項之發明，其 係用以透過吊架懸吊薄型基板並使之乾燥者，且包含以下 裝置： 乾燥機本體’係越全長配設有可在乾燥室内之上部透過 吊架懸吊該基板之一對固定樑者； 一工作樑裝置，係可作正面親察時為矩形運動，使懸吊支 持於該固定樑上之基板以預定間隔前進且搬運者； 一基板搬入裝置’係與前述乾燥機本艘之入口部連接配 设’以使於呈水平狀態搬入該入口部前側之基板上安裝前 述吊架，使呈垂直狀態後，藉該吊架移載該基板，並將之 搬入乾燥室内之一對固定樑上者；及 一基板搬出裝置’係配設於該乾燥機本體之出口部，用以 於該出口部，由乾燥完畢之基板卸下吊架，並將該基板由 垂直狀態調整成水平狀態後，再將之搬出者； 且’前述工作樑裝置之驅動部係配置於該乾燥機本體乾燥 室之外部。 被乾燥物之基板係呈水平狀態被搬入基板搬入裝置 内’吊架藉該基板搬入裝置安裝於形成其上端部之部分， 私衣------訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁〕 經濟部智慈財4局8工消費合作社印製 • 5 - 564305 A7 B7 五、發明説明（3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 而變更成垂直狀態’在吊架安裝於其上端部之狀態下移載 搬入配設於乾燥機本趙之—對固定樑上。在乾燥室内基板 係透過吊架懸吊支持於一對固定樑上，藉工作樑裝置以預 定間隔向前方搬運，並於該期間進行加熱乾燥雙面或單 面。然而，在乾燥室之出口部上吊架係藉基板搬出裝置卸 下，同時乾燥機之基板係由垂直狀態變更為水平狀態，並 以該水平狀態搬出。 如上述般，基板係透過吊架而懸吊支持於乾燥室内之 一對固定樑上，並藉工作樑裝置以預定間隔向前搬運，且 在乾燥室外部配設有工作樑裝置之驅動部及吊架回送帶， 經濟部智总財是^肖工消費合作社印災 因此乾燥室内幾乎不產生灰塵而可提高内部之淨度。又， 懸吊支持基板之吊架由基板搬運裝置之行走裝置分離，因 此其清掃將變得容易且乾燥室内之淨度將提高。又，由於 基板之搬運裝置為行走裝置，因此將形成可調整於一次矩 形運動中之水平前進量（間隔），且可調整連續搬運之基板 之間隔。因此，依基板之大小、厚度等的種類，以適當之 間隔進行乾燥。進而，基板係透過針對行走裝置而分離之 吊架懸吊支持於一對固定樑上，因此依吊架之構造或其大 小等的變更將可形成各種不同大小及厚度之基板之乾燥。 又，申請專利範圍第3項之發明係在該基板搬出裝置 上具有用以將由基板卸下之吊架送回該基板搬入裝置側之 吊架回送帶，因此將形成可反覆使用回送帶同時將可進行 透過吊架懸吊支持基板之乾燥機之全自動化。 又，申請專利範圍第5項之發明係具有一開閉裝置， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6- 564305 經濟部智慧財產^轉工消費合作社印製 A7 _________B7_ 五、發明説明（4 ) 係配設於乾燥機本體乾燥室之入口部或出口部，或二者 上’該開閉裝置係於比乾燥室之底壁低之部分上設捲幕 軸，依基板之有無或基板之大小，可調整幕之捲上上端之 位置，使以堵塞可與外部相通之開口者之。如上述般，其 中該捲幕轴係設於比乾燥室低之位置上，而幕之捲上上端 位置將形成可調整狀態，因此不與行走裝置或吊架回送帶 相干擾，並可對乾燥室之入口部及出口部之開口進行隔 熱’而且依基板之有無或基板之大小可自由地調整幕之捲 上上端之位置，因此亦可因應大小不同之異類基板之混合 搬運，而形成可部分堵塞該開口。 進而’申請專利範圍第6項之發明係用以於乾燥機内 懸吊基板者，且由吊架框體及安裝於該吊架框體之縱方向 構件上之數個皮帶扣所構成。因此，薄型基板亦由於在吊 架框體上透過數個皮帶扣固定而在其搬運途中不因熱風、 晃動而形成前後基板之接觸，同時將可控制基板之翹曲、 鬆弛等之乾燥時的歪斜，而可製造可品質之基板。尤其， 如申請專利範圍第7項之發明般當其中該皮帶扣用以橫向 拉動安裝於該吊架框體上之基板並加以固定者時，將有效 地消除容易沿基板之橫方向產生之鬆弛，而可製造高品質 之基板。 以下，舉實施例以便更詳細地說明本發明。第1圖係省 略本發明之懸吊式乾燥機之中央部之全平面圖，第2囷係同 左側部之部分正面圖，第3囷係同右側部之部分正面圖，第 4圖係行走裝置W之非動作時之第1圖χ-χ線之模式截面 I- -- ml*- - I I m _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -·1 m I— · .裝·
*1T 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公慶） 564305 A7 -------____ 五、發明説明（5 ) —7—1衊丨丨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖。本發明之薄型基板V之懸吊式乾燥機之概略構造，其 中該透過吊架Jl而用以懸吊薄型基板V之對固定樑1係控出 依該吊架Jl之寬之間隔並越長方向而配設於乾燥機本趙D 之乾燥室Ri内，在該乾燥機本體D之入口側上連接配設用 以將被乾燥物之薄型基板V—張一張搬入該乾燥機本體d 之乾燥室Ri内之基板搬入裝置A，在其出口側上連接配設 有用以將乾燥機之薄型基板V由該乾燥室Ri内一張一張搬 出之基板搬出裝置B’在正面觀察時使配設於該乾燥室以 内之一對可動樑2進行矩形運動，用以使懸吊支持於該固定 樑1上之薄型基板以預定間隔前進並搬運之行走裝置w係 安裝於該乾燥機本體D上。 #1 經濟部智总时/i^a:工消资合作社印发 又，如第2或第4圖所示該乾燥機本艘D之内部係具有 三室’該三室係乾燥室Ri、於其正下方隔著底壁而分離之 第1機器收納室R2、於該等乾燥室Rl及第1機器收納室“側 隔内部側壁4而分離之第2機器收納室R3。如第4及第7圖所 示一對固定樑1係配置於一對可動標2之約内側上，且皆配 設於乾燥室Ri之上部。在第1機器收納室内配設有用以將 使用過之吊架Jl由複數熱風加熱器Η及基板搬出裝置B送 回基板搬入裝置Α側之吊架回送帶。複數之熱風加熱器係 沿薄型基板V之搬運方向Q以預定間隔配設，並在複數之熱 風加熱器Η正下方配設有吊架回送帶C。又，在第2機器收 納室R3内配設循環扇F及熱風管5，乾燥室Ri内之熱風係藉 該循環扇F之作用通過設於底壁3之流出孔6而流入該熱風 加熱器Η，並於該部分加熱後通過該熱風管5及連接於其上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 564305 A7 B7 五、發明説明（6 ) 端部之過濾器7，並通過設於該内部側壁4上端部之流入孔8 而流入乾燥室Ri内進行循環。即，在乾燥機本體D之乾燥 室Rl内沿著基板V之搬運方向Q在預定間隔之多處上分別 獨立形成有熱風之循環路徑。如此，在乾燥室Rl内由於熱 風朝下方流動而將防止細微之灰塵飛揚，同時由於在熱風 之循環途中藉過濾器7去除熱風内含有之細微灰塵而乾燥 室内之淨度將可提高，同時循環熱風因在其循環途中藉加 熱器Η加熱而使乾燥室Rl内之溫度保持於預定溫度内。 又，在乾燥室Rl之出口側（基板V之搬出側）由其出口端開始 算起’在預定長之部分上設有用以將已加熱之基板V冷卻 至近常溫之區域，在該冷卻區域中冷卻之空氣不循環。 其次，參照第5或9圊就該工作樑裝置w加以說明。在 本實施例中乾燥機本體D較長，因此形成直列式地連接多 架（實施例中，如第26圖所示之三架）之工作樑裝置。各工 作樑裝置W之驅動部係設置於乾燥機本體d之頂壁9上 面，並配置於乾燥室Rl外部，在該乾燥室内僅配置走插 入該頂壁9之貫通孔之懸吊杆12。在乾燥室Ri上部沿寬方 向以預定間隔而設置之一對可動樑2,係在其前後之各端部 中透過框體58懸吊支持於該懸吊杆12。各工作樑裝置W之 驅動部係由配置於乾燥機本體D之頂壁9上面之驅動單元 部13及沿薄型基板v之搬運方向Q與該驅動單元部13以預 定間隔而配置之從動單元部14所構成。驅動及從動之單元 部13、14中，在15、15,上面透過線性導引裝置16配置可朝 薄型基板V之搬運方向移動之可動板17,在與可動基板i7 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 線 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 564305 經濟部智慧財4^7a:工消費合作社印紫 A 7 B7 五、發明説明（7 ) 之該搬運方向Q垂直之各端部上垂直固定導引筒18,該懸 吊杆12分別插入各導引筒18内，左右一對之懸吊杆12係在 其上端部透過連結板19而一體連結。 又，驅動單元部13係具有用以升降懸吊杆12之升降用 電動機Ml及用以直線移動該懸吊杆12之直線移動用電動 機M2,升降用電動機Ml係安裝於該可動板17上，直線移動 用電動機M2係安裝於基礎板15上。連結杆22係透過轴承21 支持於驅動及從動之各單元部13、14之各可動板17上，在 該連結杆22之兩端部中各連結板19之正下方的部分分別安 裝有偏心凸輪23，在其外周面之圓周溝24内嵌入有固定於 該連結板19下面之凸輪隨動件25。連結杆22係透過多數齒 輪並藉該升降用電動機Ml而旋轉，因此懸吊杆12(而且可 動樑2)藉連結杆22之半旋轉而形成只上升或下降該偏心凸 輪23之偏心量之兩倍。且，該偏心凸輪23之旋轉角度係由 於可動樑2較固定樑1之上升角度足夠，而當不使該偏心凸 輪23連續旋轉時可動樑2之升降量亦可能得到偏心量之兩 倍以下。又，直線移動用電動機M2之正反之旋轉運動變換 為來回直線運動，若驅動部13之可動板17朝正反兩方向直 線移動則透過該連結杆22而連結之從動單元部14之可動板 17亦變成一體進行同方向移動，該水平前進移動量將形成 基板V之搬運間隔。因此，作正面觀察時懸吊杆12(而且可 動樑2)係藉升降用及直線移動用之各電動機Ml、M2進行升 降量（U)及水平移動量（P)之矩形運動（參照第9圊）。即，如 第7及第9圖所示，於工作量裝置W之非動作時可動樑2(之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 螓-----^—訂、-I丨·----#. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -10- 564305 A7 B7 五、發明説明（8 ) 上面）在較固定樑ι(之上面）低之原點位置τ〇上，因此由原 點位置To作正面觀察時可動樑2進行矩形運動，當以該順序 進行上升（位置Tl)、水平前進移動（位置T2)、下降（位置T3) 及水平後退移動（位置To)時，透過吊架Ji而懸吊支持於固定 樑1上之薄型基板V—但交出至可動樑2後再次返回固定樑 1而懸吊支持，只以可動樑2之水平前進移動量（間隔）[P]朝 前方移動。又，如第6或第8圖所示在乾燥機本體D之頂壁9 裡面（乾燥室Rl内部之面）之貫通孔11兩側上固定一對導板 10,在該一對導板10及頂壁9間沿搬運方向Q安裝可移動之 用以堵塞該貫通孔11之開口部之樹脂製堵塞板40，懸吊有 可動樑2之該懸吊杆12係貫通該堵塞板40。因此，當懸吊杆 12進行水平前進移動及水平後退移動時該堵塞板40將為一 對導板10所導引而與該懸吊杆12—體水平移動，同時當該 懸吊杆12進行上升及下降時該懸吊杆12將對停止中之堵塞 板40進行上下方向之移動，而構造成時常堵塞貫通孔丨丨之 殘孔部。儘管懸吊杆12之貫通孔藉該構造而形成長孔狀， 未插有該貫通孔11中之懸吊杆12之殘孔部係經常被堵塞， 乾燥室Rl之内外在貫通孔11之部分上隔絕熱。且，第4囷 係第1圖X-X線截面囷且為模式顯示，因此對懸吊杆12之可 動樑2之安裝構造係與第7及第8圊相異而顯示之圖。 接著，就該基板搬入裝置A並包含及作用加以說明。 該基板搬入裝置A係以待機中之吊架Ji夾住藉基板搬入傳 送帶26而以水平狀態搬入之基板V之前端部，並將該水平 狀態之基板V改為垂直狀態，其後保持垂直狀態稍作水半 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、π 線 經濟部智祛財產局8工消費合作钍印災 -11 · 564305 A 7 B7 經濟部智慧时走苟肖工消費合作社印^ 五、發明説明（9 ) 搬運，以移載至一對固體樑1之端部並懸吊保持，而將基板 移載搬運至乾燥室Ri内者。在此，吊架Ji係如第31圖所示 在垂直配置皮帶扣安裝板部27之兩端部上設平板狀之懸吊 板部28，在該皮帶扣安裝板部27之長方向（水平方向）之兩 端部上朝垂直下方一體安裝洗衣夾狀之一對皮帶扣29,在 近該各懸吊下板部28之外側端部之部分，於基板V之懸吊 搬運時在該吊架回送帶C本身回送時等的情況下設有用以 防止橫向移動之橫移動防止部30。然而，如第31圖所示構 造成藉吊架Jl上所設之一對皮帶扣29夾住基板V之上端兩 角落部等的適當處而懸吊該基板V。又，如第1〇圊之左視 圖所示該基板搬入傳送帶26之各滾筒20係構造成在滾筒軸 20a之兩端部及中央部之數處上安裝有滾筒體2〇b，由基板 V所見只有非印刷部與該滾筒體20b接觸，且該印刷部係配 置於各滾筒鱧20b之間，因此藉搬入傳送帶26搬入時基板V 之印刷部將完全不受損傷。 又，如第10及第16圊所示在基板搬入傳送帶26兩側之 各側壁部56之内側面上相對向配置有一對環形帶3 1，同時 設有進行與該環形帶31之一部分連結之升降體32之上降導 引之導引體33。上述基板搬入裝置A之概略構造係在呈框 狀之基板支持板64之先端部（垂直狀態下係上端部）之寬方 向之兩端部上分別安裝連結體35，如第10圓之左視圖所示 該連結體35係與安裝在相對向之一對環形帶31上之各升降 艎32之内側相連結。另一方面，在該基板支持板34之後端 部（垂直狀態下係下端部）之宽方向之兩端部上，透過轴承 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、π 本纸張尺度適用中國國家標準（〇奶）厶4規格（210、犬297公董） -12- 564305 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 A7 _____B7_五、發明説明（10 ) 架36安裝凸輪隨動件37,該凸輪隨動件37係嵌入配置於該 基板搬入傳送帶26之寬方向之兩端部上之凸輪體38内。該 凸輪體38係在其前端部（近乾燥機本體D側）上設4分之一圓 弧狀之彎曲部，透過該彎曲部34水平部及垂直部係連續之 構造。藉此，基板支持板34在水平狀態下藉一對環形帶31 之驅動，當升降體32上升時如第16圖所示基板支持板34係 其前端部直線上升，同時其下端部被規定為該凸輪體38之 凸輪形狀並移動，因此其傾斜度漸漸變大而最終將變成垂 直。 又，在近基板支持部34之下端部部分之背面側上安裝 有如第10及11圓所示用以將配置於於其前面側（呈垂直狀 態時與乾燥機本體D相對向之側）之基板V之縱方向緣部分 別放置四處以挾持之皮帶扣39。該皮帶扣39係構造成如第 11圖所示鐘錘杆狀之挾持體41之弩曲部以銷42與固定構件 連結，藉配置於基板支持板34兩側緣之背面側上之汽缸43 之作用而以該銷42為中心使該挾持體41旋動，在台座部44 及挾持體41之先端部間挾持基板V之該緣部。又，在基板 支持板34上端部之兩角落安裝有用以夾緊配置於其前面側 之該吊架Jl之懸吊板部28之一對吊架夾具45。 又，該吊架回送帶C係如第10圖所示構造成以比吊架 Jl之皮帶扣安裝板部27之全寬稍小之間隔配置有一對環形 鏈條46，使吊架&兩端之懸吊板部28支持於各環形鏈條46 上以搬運該吊架Ji，在其基板搬入裝置A側之端部上如第10 及12圖所示以後述之間隔於各環形鏈條46之稍外側上分別 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 564305 A7 B7 五、發明説明（11 ) 配置有一對制動用汽缸47。在該制動用汽缸47之杆上安裝 有制動體48 ’杆之下降端上該制動體48係配置於比一對環 形鍵條46稍上方處，朝基板般入裝置a側使回送之吊架以 形成可停止。一對制動用汽缸47之間隔變成比固定於吊架 Jl之各懸吊板部28下面之一對橫移動防止部30之間隔稍 大’則述各制動體48係形成支持各懸吊板部28之外端部。 又’在一對制動用汽缸47之正上方藉旋動執行器51可旋動 地配置一對移載具49，如第12囷所示藉制動用汽缸47抓起 至上升端之吊架Jl之左右之各懸吊板部28係由於該一對移 載具49旋動至垂直下方而進入其保持溝内，其後由於該一 對制動用汽缸47之下降，吊架η如第π囷所示由一對制動 用汽缸47之各制動體48移載至一對移載具49(參照第36 圖,）。且，一對移載具49之間隔變得比一對制動用汽缸47 之間隔小，於上述之移載時形成兩者不相互干擾之關係。 其次，該一對移載具49更藉朝順時鐘方向旋動90。旋動， 吊架Jl之左右之各懸吊板部28係置於下降端由待機中之一 對吊架夾具45之各夾片45a間之開口近如其内部，其後該夾 具45之各夾片45a接近，而如第14圖所示吊架Ji係由一對移 載具49移載至一對吊架夾具45。該一對吊架夾具45與一對 移載具49之各間隔於其移載時形成兩者45、49不相干擾狀 態係如同上述般。 於上述之狀態中’如第15圖所示在一對吊架夾具45之 下降端上有用以按壓配置於其正下方之皮帶扣29之皮帶扣 片29a並開啟之按壓用汽缸52之杆52a突出，在該皮帶扣29 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) «衣· 訂 經濟部智慧財1局DS工消費合泎社印災 •14- 564305 經濟部智慧財/i^7g (工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（12 ) 之皮帶扣片29a被打開之狀態下當基板V由基板搬入傳送 帶26搬入時該基板V之先端部進入開啟狀態之一對皮帶扣 29之各皮帶扣片29a間，其後當拉動該按壓用汽缸52之杆 52a時水平狀態之基板之前端部係為一對皮帶扣29所挾 持。且，安裝於基板支持板34各皮帶扣39係於基板V插入 前開啟並於其插入後關閉，而水平狀態之基板V後部之兩 緣部係置於其四處並藉各皮帶扣39挾持（參照第37及38 圖）。因此，基板V於其前端部之兩處及其後部兩緣之四處 共六處上形成為基板支持板34所支持之狀態。且，基板V 中為各皮帶扣29、39所挾持之部分皆為外周緣部之非印刷 部，因此基板幾乎無損傷。又，對基板支持板34之基板V 之支持位置及其個數並不限於上述之位置及數量。 然而，在水平狀態之基板支持34下面基板V如上述在 被支持之狀態下若使一對環形帶3 1動作並使與此連結之升 降體32上升，則基板支持板34之前端部（上端部.)將透過連 結趙35與該升降體32連結，因此在原地上升同時其後端部 (下端部），係該部分之凸輪隨動件37嵌入凸輪體38而被導 引成該凸輪體38之凸輪形狀並移動。因此，基板支持板34 係如第16圖之假想線所示其前端部漸漸舉起而其傾斜角度 變大，在上升端上形成垂直狀態而基板V配置於其前面（參 照第39及40圖）。 又，如第16及17圖所示配設於乾燥機本體〇之乾燥室 Ri之一對固體樑1與配置於其外側之一對可動樑2，係由該 乾燥室Ri之入口開口 81稍突出於外部，而且一對固定樑1 本紙浪尺度朝中關家料（CNS ) A4規格（21GX297公釐1 --- •15- ---------择------、玎------0 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 564305 經濟部智慧財/1苟肖工消費合作社印^ A7 B7 五、發明説明（13 ) 之左端部係接近位於上升端之吊架夾具45，而在支持於一 對吊架夾具45之狀態下若使懸吊有基板V之吊架Ji水平移 動則將由一對吊架夾具45移載至一對固定樑1上。又，在配 置於垂直狀態之基板支持板34前面之狀態下在位於上升端 之吊架Jl之皮帶扣安裝板部27背面側（安裝有皮帶扣29之 面及相反側之面）上垂直配置有一對按壓板53。該一對按壓 板53之上端部係朝前方曲折成直角而形成水平狀態，該水 平部係與配置於乾燥室Rl之寬方向之連結板69連結，該連 結板69之兩端部係固定於嵌入配置於前後方之導引杆54之 各筒體55。 因此，如上述使呈水平狀態之基板支持板34改為垂直 狀態後解除夾緊吊架Jl兩側之各懸吊板部28之一對吊架夾 具45之夾緊狀態，同時於解除用以支持被該吊架η所懸吊 之基板V之左右兩緣部之皮帶扣39之狀態下，若藉驅動裝 置使該按壓板53朝前方水平移動，則如第17圊所示支持於 一對吊架夾具45之吊架Jl將移載至一對固定樑1之端部上 (參照第41圖）。又，用以使該連結板69前後移動之雜動部 係於作正面觀察時乃配置於較懸吊配置於該連結板69下方 之基板V兩端部還外側處，因此構造成縱然由該驅動部產 生垃圾落下之情形亦不附著於基板V上，藉該構造可提高 乾燥室Rl内之淨度。且’如第17圖所示在固定樑1及可楝 樑2上面以較吊架之懸吊板部28之寬度較寬之間隔分別 設有前後移動防止突起la、2a。 然而，吊架J1移載至一對固定樑1後由於構成工作樑裝 士氏張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公慶） ' ----- ϋϋ n^i n^i in Hi n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) *11 -16 - 564305 A7 -------— Β7__ 五、發明説明（14 ) " " "~ -一 置W之-對可動樑2於作正面觀察時進行上述之矩形運 動使懸吊於吊架。之基板ν一邊僅以該可動樑2之水平前 進移動量（間隔）[Ρ]向前方搬運，—邊在乾燥機本趙〇之乾 燥室Rl内依序搬運至前方。當由乾燥機本趙D之入口開口 連續搬人基板V時，在乾燥㈣内多數基板空出與可動㈣ 之水平前進移動量（間隔）[P]相等之間隔並透過吊架以懸吊 支持於一對固定樑！，藉工作樑裝置w多數基板將形成一體 以前述間隔P朝前方搬運，在這期間基板V由於其雙面與循 環中之熱風接觸而乾燥。然而，在接近乾燥室以之出口側 (基板V之排出側）之部分設有預定長之冷卻區域，而被加熱 乾燥之基板通過該冷卻區域期間將冷卻至近常溫之溫度， 而在該狀態下由乾燥室Rl内排出外部。 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 接著’就與乾燥機本體D之出口側連接之基板搬出裝 置B加以說明。且，基板搬出裝置B之構造係與該基板搬入 裝置A之構造有相似之部分，因此關於與基板搬出裝置b之 構造相同或相等部分將支援使用基板搬入裝置A之說明而 不重覆說明。第18或21囷中在基板搬出裝置B之兩側壁部 61之相對向之内側面上相對向設有一對環形帶62及一對導 轨63，與該兩者62、63連接而進行上下移動之一對升降體 64係以連結體65連結，並在對應於該連結體65中吊架Ji之 左右兩端部之懸吊板部28之位置之部分上分別設有夾具 66。該夾具66由於藉夾板68夾住移載至台座板67上面之吊 架Jl之各懸吊板部28上面，而吊架Ji將藉一對夾具66而保 持0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -17- 564305 A7 B7 經濟部智您財1笱：^工消费合作社印紫 五、發明説明（15 ) 因此，如第19圖所示用以懸吊到達固定樑1之出口側端 部之基板V之吊架Ji由其各懸吊板部28之該出口側所見係 藉垂直配置背側面之各按壓板71朝搬運方向按壓，而由一 對固定樑1移載至配置於其延長線上之該一對夾具66之台 座板67上面（參照第44圖），其後藉各夾具66之挾持板66之 上下移動而由上下方向挾持。於正面觀察時在該一對環形 帶62及一對導軌63稍後方（基板般入裝置A側）上有與基板 般入裝置A之基板支持板34幾乎具相同構造之基板支持板 72處於待機狀態，在垂直狀態之該基板支持板72之前側面 上，於乾燥機之基板V高度方向中央部中分別安裝有用以 在四處挾持其兩側緣之四個皮帶扣73。該皮帶扣73之構造 係與基板般入裝置A之該皮帶扣39相同。該基板支持板72 係形成可以旋動轴74為中心在垂直面内旋動，藉其旋動基 板支持板72將由垂直狀態變成水平狀態或呈相反之狀態。 然而，該升降體64在中間停止位置停止，乾燥機之基 板配置於該基板支持板72前面之後，藉安裝於該支持板72 之多數皮帶扣73以挾持乾燥機之基板V之上述四處，其後 如第20圖所示使設於該升降體64之皮帶扣解除片75前進， 以解除挾持乾燥機之基板V上端兩處之各皮帶扣29之挾 持，並藉該升降體64之上升若使一對夾具66上升則乾燥機 之基板V係形成配置於基板支持板72前面並支持於此之狀 態。且，在該皮帶扣解除片75之前端安裝有滾筒並構造成 儘管對該皮帶扣29摩擦亦不產生垃圾。其次，若在前面以 該旋動轴74為中心使支持乾燥機之基板V之基板支持板72 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18 - 564305 A7 B7 五、發明説明（16 ) ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 朝前方旋動直到形成水平狀態為止，則以垂直狀態配置於 前面側之各皮帶扣73將不與搬出傳送帶76之各滾筒77相干 擾，與搬出傳送帶76之各滾筒77之間空出少許之空隙配置 乾燥機之基板V(參照第45及46圖）。因此，在該狀態下當解 除基板支持板72之各皮帶扣73時支持於該支持板72之乾燥 機之基板V將稍稍掉落而掉落移載至搬出傳送帶76上。 且’搬出傳送帶76之各滾筒77之構造與該搬入傳送帶26之 滾筒相同，因此乾燥機之基板V之印刷部幾乎不受損。 線 經濟部智慧財/i^JM工消費合作社印製 又’將結束乾燥之基板V由基板支持板72移載至搬出 傳送帶76後，該基板支持板72將進行與上述相反方向之旋 動’並於恢復站立狀態後使該升降體下降則以一對夾具66 支持兩端懸吊板部28之吊架Ji將下降至吊架回送帶之上方 行走部之部分，在該吊架Ji之懸吊板部28中不以該夾具66 支持之部分將支持於構成該回送帶C之一對環形鏈條46。 又，構成吊架回送帶C之一對環形鏈條46之間係由載置於 該回送帶C之吊架Ji位於搬出傳送帶76側之部分將載置於 回送帶C而支持之吊架Ji朝基板搬入裝置A拉近，並配置有 用以使吊架Jl兩端之各懸吊板部28由一對夾具66分離之拉 引具78。因此，在回送帶C上載置吊架Ji後若藉該拉引具78 將吊架Jl拉近基板搬入裝置A側，則該吊架Ji將由一對失具 66分離而移載至回送帶C，再藉該回送帶C回送至基板搬入 裝置A側（參照第47圖）。如此，吊架Ji將通過矩形（方形）之 循環路徑反覆使用（參照第48圖）。 接著，就開閉裝置加以說明，而該裝置係配設於乾燥 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19- 564305 A7 B7 五、發明説明（Γ7 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 室Ri之入口部、或乾燥室以之出口部上之冷卻區域及加熱 區域之界面部者。一般而言，為防止基板之乾燥機產生加 熱環境不均、熱氣之外漏、或干擾之影響等，而在乾燥室 Ri之上述部分配設開閉裝置，如本發明之懸吊式乾燥機般 在乾燥機本體上配設有工作樑裝置W及吊架回送帶C時必 須避免與該等裝置相干擾，因此在一般構造之開閉裝置中 與該各裝置相干擾且不可使用。又，不使用開閉裝置時為 避免干擾之影響必須在乾燥室之入口側及出口側上分別設 延長部，因此乾燥機全體之長度將變長。進而，連續將基 板搬入乾燥室時該基板本身為進行開閉即使不設開閉裝置 問題亦少，當基板斷斷續續地搬入時在入口部及出口部上 只在預定時間内全開，因此為避免此種情形產生而使正規 基板與空基板混合以確保連續搬送狀態。 經濟部智慧財凌局S工消費合作社印焚 又，第22圓係安裝於乾燥室Ri之入口開口 81上之本發 明開閉裝置Si之使用狀態透視囷，第23圓係相同之正面 圖，第24圖係相同之側視囷，第25囷係開閉裝置Si之非使 用狀態側視圖。如第22或第25囷所示在乾燥機本鱧D之入 口開口 81之上下各端部上分別水平支持驅動轴82及被動轴 83，各轴82、83之兩端部上分別安裝鏈齒輪84,在安裝於 各轴82、83—側之端部上之各鏈齒輪84間分別掛裝有環形 鍵條85。又，該驅動轴82係配設於由該入口開口 81之下端 部近預定長下方，特氟隆製之幕86之捲幕轴87係水平支持 於該驅動轴82及該入口開口 81間。 又，前述捲幕軸87之兩端部支持於各轴承架上，而各 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •20- 564305 A7 B7 五、發明説明（18 經濟部智慧財產苟S工消費合作社印製 軸承架係支持於乾燥機本體D之入口面上。捲回捲幕轴轴 87之幕86捲上側之端部（使用狀態中之上端部）係與具有對 應於左右一對環形鏈條85間隔之長度之連結板89連結，而 該連結板89之兩端部係連結於左右一對各環形鏈條85之裏 側行走部。又，用以補充幕86捲上時之動力之重物91係連 結於各環形鏈條85之前側行走部。又，使左右一對各鏈條 85驅動之驅動軸82、使捲幕軸87驅動旋轉之電動機及其動 力傳動機構（囷中皆未示），係收納於安裝在一側之該軸承 架88a内側之驅動單元箱92内。且，在捲幕轴87之斜前上方 以自由旋轉狀態配置有用以進行幕之捲上及其捲幕之導引 之導引轴93。 因此，若使收納於驅動單元箱92内之電動機正旋轉， 則一對環形鏈條85及捲幕轴87兩者將正向旋轉，該重物91 將形成輔助動力，而捲回幕捲軸87之幕將捲上，該整個入 口開口部或其中一部分將堵塞，將區隔乾燥室Ri之内部及 其外部。在此，第22或第24圊係入口開口 81中基板V通過 之基板通過開口部81a幾乎處於堵塞狀態，殘留於入口開口 81中該基板通過開口部81a上方之開口部係用以確保該工 作樑裝置W配設空間之工作樑裝置配設用開口部8 lb。又， 該吊架回送帶C係配設於在乾燥室Ri下方透過底壁3而配 置之第1機器收納室R2内部，構成開閉裝置Si最下端部之該 驅動軸82係配置於較該第1機器收納室上方處。藉此，在本 發明基板V之懸吊式乾燥機中使用工作樑裝置W以進行該 基板V之搬運，同時儘管使用用以反覆使用之將基板懸吊 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· -訂 線 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） -21· 564305 A7 B7 五、發明説明（19 ) 於一對固定樑1上之吊架Jl之吊架回送帶C，該開閉裝置Si 係形成不與該工作樑裝置W及吊架回送帶C相干擾之配置。 因此，如第26圖所示在基板搬入傳送帶26之正下方設 置有基板檢測傳感器94，藉該傳感器94當通過之基板於每 一預定時間進行檢測時基板V將被連續搬入，於該狀態下 連續搬入之基板V本身將發揮作為幕之作用，幕86之最大 幅捲取係入口開口 81之開口尺寸。又，藉該基板檢測傳感 器94在預定時間内當基板V無法檢測出時，内裝於驅動單 元箱92之電動機將啟動而幕86將由捲幕轴87拉出，在整個 入口開口 81之基板通過開口部81 a上藉捲至最上端之幕86 堵塞，乾燥室Rl及外部將藉幕86隔熱（參照第27圖）。 另一方面，亦可對一台乾燥機混合搬入大小（尤其，懸 吊狀態下之上下方向長度）不同之數種基板。然而，如第28 圖所示當與平常之基板混合且混合搬運小號之基板V並乾 燥時，只於搬入小號基板時在比該基板V之下端下方處形 成開口。在該狀態下預先藉其他傳感器（圊中未示）檢測搬 入基板之大小（懸吊狀態下之上下方向長度），使該驅動軸 82之電動機（囷中未示）旋轉，且其旋轉數為對應其檢測值 之旋轉數，因此若控制幕86之捲上長度則當混合搬運大小 不同之數種基板時亦可自動控制乾燥室Rl之入口開口 81 之開口尺寸並可形成入口開口 81之部分堵塞。 又，如第26及第29圖所示在設於近乾燥室Ri出口部部 分之加熱區域及冷卻區域之界面部上配設該開閉裝置Sl及 幾乎為相同構造之開閉裝置S2，而可在乾燥室Rl之出口側 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T #· 經濟部智慧財/1¾員工消費合作社印¾ -22· 經濟部智慧財4局：^工消費合作社印製 564305 A7 -----------B7 五、發弭説明（2〇 ) 與外邛進行隔熱。於該狀態下，在乾燥室Ri之底壁3下方 配叹開閉裝置S2之驅動部，同時在乾燥室Rl之兩側壁部上 相對向配設包含該環形鏈條85之環形鏈條裝置，透過設於 該底壁3之貫通孔95(參照第29圖）幕86將構造成進入乾燥 室Ri内。 又’檢測基板V存在與否之基板檢測傳感器96係如第 30圖所示在基板v之懸吊上端部上對乾燥室Rl之寬方向稍 稍傾斜配置一對。藉此，將可進行通過基板V之檢測。因 此’超過預定時間而該基板檢測傳感器96不檢測通過基板 V時，如第26圖所示開閉裝置S2將進行動作而在該界面部 上幕86將捲上至最上端位置，在乾燥室之出口側進行與 外部隔熱。又，如第29囷所示儘管搬運大小不同之多種基 板，如上述其他之傳感器（圊中未示）將檢測基板之大小， 由於將幕86上捲至對應於該檢出值之捲上高度，即使在界 面部於基板之混合搬運時可部分堵塞比基板下端還下方之 開口部。 當使用上述之開閉裝置Si、S2時工作樑裝置W及吊架 回宋帶不相干擾，可設置在乾燥室Ri之入口側及出口側， 使用空基板將不使乾燥機之長度變長，在其入口部及出口 部進行隔熱。又，對應於基板大小而可調整開閉裝置Si、 S2之幕86之捲上上端之位置，因此形成可進行大小不同之 異種基板之混合搬運。 接著，說明用以對一對固定樑1懸吊保持基板V之其他 吊架J2。上述吊架Ji係構造成以皮帶扣29挾持基板V之上端 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格7 210X297公釐） ~ ---------裝------、玎------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 564305 經濟部智慧財/ialra(工消費合作fi印¾ A7 B7五、發明説明（21 ) 兩角落部之兩處以懸整個吊基板V並搬運，基板厚度若不 為0.2mm以上者將形成由搬運時作用之熱風所產生之搖 晃、歪斜、基板及塗膜之熱膨脹差而產生之翹曲等，且有 前後搬運之基板互相接觸之憂慮。在未乾燥之狀態下若基 板互相接觸則其基板將成為不良品且良率將降低。 因此，基板之厚度為〇.2mm以下者若使用如第32圖所 示之吊架J2則可解決上述之問題。該吊架J2係由方形框狀 之吊架框體101及安裝於構成該框體1〇1縱邊之兩條各縱框 材101a上之數個（實施例中為四個）皮帶扣102所構成。在吊 架框體101之上端部一體設有懸吊支持部103，在構成吊架 框體101縱編織左右各兩條之各縱框體101 a上透過安裝軸 承架104分別安裝有該皮帶扣102。又，在吊架框體101縱邊 之下端部設有用以使支持之基板V下端稍微接觸支持之接 觸板部100。若使用該吊架J2則被支持之基板V之縱方向兩 邊係以該皮帶扣102支持四處，在該狀態下為懸吊搬運而極 為薄型之基板V之縱方向兩邊將固定於吊架框體101上。其 結果，將對基板V進行不翹曲、不彎曲、品質提昇之計劃。 又，如上述以皮帶扣挾持基板V之縱方向兩邊之狀態 下儘管完成其挾持，在使基板呈垂直之狀態下上下方向之 翹曲係可藉重力作用而解除，但卻殘留左右方向（橫方向） 之翹曲，為提高基板品質以在乾燥前完全去除基板之左右 方向之翹曲為理想。如第33或第35圊所示之皮帶扣105,於 其挾持時挾持爪部106係構造成朝支點銷107移動者，在台 座部108及該挾持爪部106間不僅挾持基板V至邊緣，還有 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24- 564305 經濟部智慧財4工消资合作钍印製 A7 B7五、發明説明（22 ) 將挾持之基板V拉近支點銷1〇7側之作用，因此對於基板v 左右方向之張力將作用而解除同方向之翹曲。最有效地使 該皮帶扣105發揮上述作用，係以皮帶扣105在縱方向之兩 邊部分挾持基板V使成垂直狀態後，一但方開縱方向兩邊 之其中一邊之皮帶扣105，並再次挾持而拉近其支點銷1〇7 側時，則可解決大部分殘留於基板V上之翹曲。又，若在 台座部108表面貼摩擦係數大之樹脂則藉作用於基板v之 張力且挾持部位移而可防止其張力變小。 依申請專利範圍第1及2項之發明，使連續搬入乾燥室 内之基板搬運之裝置係以工作樑構成，而且其驅動部係配 設於乾燥室之外部且完全無環形鏈條類之產生灰塵作用， 因此長期間可維持乾燥室内之高淨度，並可提高所製造之 基板品質及其良率。又，基板之搬運裝置為工作裝置而可 輕易進行一次搬運中水平前進移動量（間隔）之調整，因此 依乾燥對象之基板種類可輕易地調整連續搬入並懸吊保持 於一對固定樑上之多數基板之間隔。進而，懸吊保持基板 之吊架係以搬運裝置與工作裝置分離，每次完成一張基板 之乾燥時構造成對工作裝置及基板之雙面分離，該吊架之 清潔係相當容易，使乾燥室内之淨度提昇同時藉改變吊架 之大小而形成可進行大小不同之異種基板之搬運。 又，依申請專利範圍第3及4項之發明，在基板搬出裝 置側上具有用以使卸下之吊架自動回送至基板搬入側之吊 架回送帶，由於對於基板之吊架裝卸係自動進行，因此將 形成可反覆使用該吊架及可進行全自動乾燥基板。 ---------批衣------，玎------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（21〇><297公釐） -25· 564305 經濟部智楚財4^肖工消費合作钍印^ A7 ____B7_五、發明説明（23 ) 又，依申請專利範圍第5項之發明，具有依基板大小可 調整捲上上端位置之開閉裝置，因此安裝於乾燥機本體之 工作樑裝置及吊架回送帶不相干擾地安裝於乾燥機上同時 可部分堵塞乾燥室之開口，因此對於大小不同之異種基板 之混合搬運形成可對應。 進而，依申請專利範圍第6項之發明，搬運基板係在其 兩縱邊緣部之數處上被挾持，因此可進行極薄基板之支 持。尤其，如申請專利範圍第7項之發明，將吊架框鱧上安 裝有皮帶扣之基板橫向拉引，則完全去除易產生於基板上 之橫向鬆弛並使之乾燥。 (圖示之簡單說明） 第1圊係省略本發明之懸吊式乾燥機中央部之全平面圖。 第2圖係相同之左側部之部分正面圖。 第3圖係相同之右側部之部分正面圖。 第4圖係工作樑裝置W非動作時第1圖之X-X線之模式截面 圖。 第5圖係工作樑裝置W之擴大平面囷。 第6圖係相同之擴大側面圖。 第7圖係工作樑裝置W非動作時之橫載面圊。 第8圖係相同之作用時之橫截面囷。 第9圖係顯示工作樑裝置W之矩形運動之模式圖。 第10圖係基板搬入裝置A之擴大側面圖。 ! 4—, (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -· 衣纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26- 564305 A7 B7 經濟部智慈財4场a(工消費合作社印製 五、發明説明 第11圖係安裝於基板支持板34上之皮帶扣39之平面圖。 第12圖係顯示藉吊架回送帶C而回送至基板搬入裝置a側 之吊架被一對制動用汽缸47所舉起之狀態之擴大 側面圖。 第13圖係顯示吊架Jl由一對制動體48移載至一對移載具49 上之狀態之擴大側面圖。 第14圖係顯示吊架Jl由一對移載具49移載至一對吊架夾具 45上之狀態之擴大側面圓。 第15圖係顯示吊架Ji之皮帶扣39藉按壓用汽缸52而打開， 於該期間基板V之前端部插入之狀態之擴大側面 圖。 第16圖係顯示支持於基板支持板34前面之基板由水平狀態 改為垂直狀態之擴大側面囷。 第Π圖係顯示基板V透過吊架Jl由吊架夾具45移載至一對 固定樑1上之狀態之擴大側面圖。 第18圖係顯示結束乾燥之基板V配置於基板支持板72前面 之狀態之基板搬出裝置B之全側面圖。 第19圖係顯示結束乾燥之基板V透過吊架Jl由一對固定樑1 移載至一對夾具66上之狀態之擴大側面圊。 第20圖係顯示為夾具66所挾持之吊架Jl之皮帶扣73藉皮帶 扣解除片75而打開之狀態之擴大側面圊。 第2 1圖係顯示結束乾燥之基板v藉基板支持板72之旋動而 移載至搬出傳送帶76上之狀態之擴大側面囷。 第22圖係乾燥室Rl之入口開口 81藉幕86而堵塞之狀態之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，11 丨— j 衣纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •27· 564305 經濟部智慧时產笱員工消費合作社印髮 A7 __B7_五、發明説明（25 ) 開閉裝置Si之透視圖。 第23圖係相同之正面圖。 第24圖係相同之側面圖。 第25圖係幕86被捲取而入口開口全開之狀態之開閉裝置Sl 之側面圖。 第26圖係顯示兩架之各開閉裝置Si、S2之使用狀態之正面 模式圖。 第27圖係顯示由於基板V1不被搬入而入口開口 81藉開閉 裝置Si堵塞之狀態之正面模式圖。 第28圖係顯示於大小不同之異種基板V、V’之混合搬運時 只有一部分之入口開口 81藉開閉裝置Si堵塞之狀 態之正面模式圊。 第29圖係顯示於大小不同之異種基板V、V’之混合搬運時 一部分之入口開口 81之内側藉開閉裝置S2堵塞之 狀態之正面模式圖。 第30圖係顯示配置於出口開口内側之一對基板檢測傳感器 96之配置之平面圖。 第31圖係吊架Jl之透視圖。 第32圖係吊架J2之透視圖。 第33圖係皮帶扣105於非使用時之側面模式圖。 第34圖係皮帶扣105於挾持途中之側面模式圖。 第35圖係藉皮帶扣105挾持基板V之狀態之側面模式圖。 第36圖係回送之吊架Ji被舉起至回送帶C上方之狀態之作 用說明圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " 一 -28 - —— IT----·II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 564305 經濟部智悠財1笱資工消費合作社印製 A7 B7五、發明.説明（26 ) 第37圖係吊架Ji形成水平狀態而基板V進入其皮帶扣29間 前之狀態之作用說明囷。 第38圖係基板V進入水平狀態吊架】丨之皮帶扣29間之狀態 之作用說明圖。 第39圖係顯示保持於基板支持板34上之基板V由水平狀態 到達垂直狀態之途中之傾斜狀態之作用說明囷。 第40圖係顯示保持於基板支持板34上之基板V由水平狀態 變為垂直狀態作用說明囷。 第41圖係顯示基板V藉工作樑裝置W之作用透過吊架Ji移 載至一對固定樑1上之狀態之作用說明圖。 第42圖係工作樑裝置W之上升狀態之作用說明圓。 第43圖係工作樑裝置W於上升後進行水平前進移動之狀態 之作用說明圊。 第44圖係最前部之基板V藉工作樑裝置W之矩形運動由一 對固定樑1移載至基板搬出裝置B側之狀態之作用 說明囷。 第45圖係移載至基板搬出裝置B側之基板V移載至搬出傳 送帶76前之傾斜狀態之作用說明囷。 第46圖係移載至基板搬出裝置B側之基板V移載至搬出傳 送帶76而其吊架Ji載至於回送帶C上之狀態之作用 說明囷。 第47圖係吊架Ji藉吊架回送帶c而回送至基板搬入裝置A 側之途中狀態之作用說明囷。 第48圖係排出搬出傳送帶76上之基板V而新的基板V搬入 ^------II------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 564305 A7 B7 五、發明説明（27 ) 搬入傳送帶26之狀態之作用說明圖。 元件標號對照表 經濟部智.«;?財1局肖工消骨合作社印製 A 基板搬入裝置 U 下降 B 基板搬出裝置 V 薄型基板 C 吊架回送帶 V， 薄型基板 D 乾燥機本體 W 工作樑裝置 F 循環扇 la 前後移動防止突起 Η 加熱器 2a 前後移動防止突起 J1 吊架 1 固定樑 J2 吊架 2 可動樑 Ml 電動機 3 乾燥基本體之底壁 M2 電動機 4 内部側壁 P 間隔 5 熱風管 Q 基板V之搬運方向 6 流出孑L R1 乾燥室 7 過濾器 R2 第1機器收納室 8 流入孔 R3 第2機器收納室 9 頂壁 SI 開閉裝置 10 導板 S2 開閉裝置 11 貫通孔 TO 原點位置 12 懸吊杆 T1 上升 13 媒動單元部 T2 水平前進移動 14 從動單元部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -30 - 564305 A7 B7 五、發明説明（28 ) 經濟部智慧財是局工消費合作fi印^ 15基礎板 35 連結體 15 ’基礎板 36 轴承架 16線性導引裝置 37 凸輪隨動件 17可動板 38 凸輪體 18導筒 39 皮帶扣 19連結板 40 堵塞板 20滾筒 41 挾持體 20a滾筒轴 42 銷 20b滾筒體 43 汽缸 21軸承 44 台座部 22連結杆 45 吊架夾具 23偏心凸輪 45a夾片 24圓周溝 46 環形鏈條 25凸輪隨動件 47 汽缸 26基板搬入傳送帶 48 制動艘 27皮帶扣安裝板 49 移載具 28懸吊板部 51 旋動執行器 29皮帶扣 52 汽缸 29a皮帶扣片 52a汽缸杆 30橫移動防止部 53 按壓板 31環形帶 54 導引杆 32升降體 55 筒體 33導體 56 側壁部 34基板支持板34 58 框體 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 - 564305 A7 B7 五、發明説明（29 ) 61兩側壁部 62環形帶 63導軌 64升降體 65連結體 66夾具 67台座板 68夾板 69連結板 71壓板 72基板支持板 73皮帶扣 74旋動轴 75皮帶扣解除片 76搬出傳送帶 77滾筒 78拉引具 經濟部智^財凌局資工消費合作社印^ 81入口開口 81a基板通過開口部 8ib工作樑裝置配設用開口部 82驅動軸 83被動轴 84鏈齒輪 85環形鏈條 86幕 87幕捲軸 88a轴承架 88b轴承架 89連結板 91重物 92驅動單元箱 93導引轴 94基板檢測傳感器 95貫通孔 96基板檢測傳感器 100接觸板部 101吊架框體 101a縱框材 102皮帶扣 103懸吊支持部 104安裝轴承架 105皮帶扣 106挾持爪部 107支點銷 108台座部 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32-