TW550556B - Film layer separation apparatus for disk with multi-layer film - Google Patents

Description

550556 ____ 五、發明説明⑴ 【發明之應用領域】 3 本發明係關於一種磷片膜層分離裝置’特別疋一種運 用於多層膜碟片之膜層分離裝置。 【發明背景】 在碟片（disk)的製造技術中，記憶容量朝向f來越大 是目前的趨勢。將碟片犯憶容量加大的方式有0午夕種’例 如，將執道的間隙縮小，或者，以一片多層的方式增加碟 片記憶區塊的面積。

以光碟片來說，為了要達到更高的記憶容量，光碟片 的製造更朝向一片碟片製作成單面雙層的方向發展，甚至 朝向單面多層的方向發展。

其中，製造單面雙層光碟的方法是：首先在已具資料 之資料母版（stamper)上，塗上一層成型膠，甩乾後形成 資料位元（bit)形狀的資料膜，再塗上貼合（通常為UV膠） 膠並與另-已具資料位元之基板（substrate)貼合，送進 紫外線燈將成型膠硬化，最後再將資料母版與基板分離， 使資料母版上所形成之資料膜轉移至基板上，於是此基板 即可成為一片碟片的單面具有雙層資料層的光碟片。多層 資料層的形成過程，同樣是透過此一製程將資料層一層一 層地轉印上去。 在此製程中’資料母版與基板分離之效果，決定了資 料層膜是否能適當地轉移至基板形成雙層資料層。換句話 說，讓資料母版與基板分離的裝置，成為製程中的重要角 色。

第4頁 550556 '口w :知的分離裝置’係採用塑膠基板為資料母板，完成 貼膜後，於撕膜的過程中以直*方— 力以進行撕膜。此直空吸膜的；:H對貧料母版產生吸附 吸附方式，如「第i圖」所示，直 種”夂皿的 圖，在真空吸盤1〇的頂面Γ上其Λ/Λ的上視 =接:ί;的1ί圍、，也就是吸力產生的部分。從圖中 般1月0的TS 。、有％型溝槽1 2的部分會有吸力，而真空°及 ，亦即與資料基板接觸的部分則不會有吸及 吸力將資料母版撕離基板。 產生強大的 不過，真空吸盤雖可以達到較 吸盤係採用環型溝槽的方式製造，因而，真空：般：J ^ 無法均勻分佈到整個資料母版，也就是，二^ ^ y 1 續，隼dii生，此’會造成撕膜時會有應力不連 戸、杲中於真空吸附處的問題產生。 p咬 【發明之目的及概述】 片膜本發明提供-種多層膜碟 七斗 衣置，係配合以金屬母版作為資料母版的制 式，以電磁式撕膜座對資料母版產生士 、衣程 層分離之動作。由於電磁鐵於設計時4::此膜 勻分佈到整個金屬製資料母版上，所以撕膜日士 :计為均 :中的應力不連續現象。可使資料母版上之；u應力 土與基板分離；並且，資料母版可以重複使用。曰付旎平順 依據本發明所揭露的技術，本發。 π 〃、—種多層膜碟 550556 五、發明説明（3) 片膜層分離裝置，包含了··資料母版承載裝置、電磁鐵吸 附裝置與底座固定裝置。 貧料母版承載裳置包含了承載平面，其用來將資料母 版加以固定’如此，資料母版方能準確地以其資料膜與碟 片以f對面的方式對應來達到資料膜的轉移工作。在設計 上’二料母版承載裝置可設計定位機構，將資料母版之位 置固疋’資料母版的一面由電磁鐵吸附裝置吸附，包含資 料膜的另一面則與碟片直接面對面對應。 電磁鐵吸附裝置用於貼膜與撕膜過程中，將資料母版 吸附’其包含了幾個主要的部分，分別為：一個或數個導 磁鐵心與包於其外的導電線圈，導電線圈用以導通電流以 產生電磁力’導磁鐵心則用以增強該導電線圈所產生之電 磁力，底板，用以承載導磁鐵心；以及，導磁外殼，將上 述的多個導電線圈加以包覆，導磁外殼與該底板之周圍接 合並將之固定。

底座固定裝置則用於將整個裝置加以固定，包括資料 母版承載裝置以及電磁鐵吸附裝置，其可包括（但不一定 已括）兩個部分，一固定底座部分以及一推進部分。其 中 固疋底座部分’用以固定整個該分離裝置；推進部分 則直接與該電磁鐵吸附裝置連結，用以於轉移该資料膜時 推進该資料母版承載裝置與該電磁鐵吸附裝置以接近該碟 ^並用以於轉移該資料膜後拉回該資料母版承載裝置與 該電磁鐵吸附裝置以遠離該碟片。 有關本發明的特徵與實作，兹配合圖示作最佳實施例

550556 五、發明說明⑷ 詳細說明如下： 【發明之詳細說明】 本發明在多層膜碟片製程中，將資料母版與基板分離 且將資料母版上之資料膜層轉移至基板上的過程’使用電 磁吸力吸附資料母版，其中，資料母版是由導磁材料所製 成。藉由電磁力均勻分佈之特性，以減少應力分佈不均 勻，影 版的基 環繞於 鐵上蓋 外剝離 移開資 由 依 裝置’ 均分佈 含了·· 資 上’ #科膳Μ 響膜層分 座中，設 電磁鐵鐵 上的資料 即可；完 料母版以 於電磁力 上述的說 透過本發 ，而不會 貢料母版 述如下： 料母版承 固定，如 對面的方 料母版承 ，資料母 另一面則 離之效果。採 計電磁鐵，只 心之線圈通電 母版，然後將 成膜層分離後 用之方 要需進 ，產生 資料母 ，將線 進行下一個製造程序 的均勻分佈，所以資 明’本發明揭露一種 明的裝置，即可讓撕 有應力集中的問題。 承載裝置、電磁鐵吸 载裝置包含了 此’資料母版 式對應來達到 载襞置可設計 版的一面由電 與碟片直接面 式可於吸附 行膜層分離 磁力以吸住 版由外往内 圈斷電，即 〇 料母版可重 多層膜碟片 膜過程當中 本發明的分 附裝置與底 之時，將 置於電磁 或由内往 可順利的 複使用。 膜層分離 的吸力平 離裝置包 座固定裝 承載平面，其用來將資料母 方能準確地以其資料膜與碟 資料膜的轉移工作。在設計 定位機構，將資料母版之位 磁鐵吸附裝置吸附，包含資 對面對應。 »

550556 五、發明說明（5) 電磁鐵吸附裝置則跟資料母版承載裝置相連結，電磁 鐵吸附裝置的作用如上所述。由於其主要目的為將資料母 版吸住，於是，電磁鐵吸附裝置所產生的磁力方向就必須 垂直於資料母版承載裝置的承載平面。如此，在電磁鐵吸 附裝置產生電磁力時，即可將資料母版以磁力吸住，以進 行貼膜與撕膜的工作。 、其中’電磁鐵吸附裝置則包含了幾個主要的部分，分 別為··一個或數個導磁鐵心與包於其外的導電線圈，二 線圈用以導通電流以產生電磁力，導磁鐵心則用以女 導電令圈所產生之電磁力；底板’用以承載導磁鐵：' 及，導磁外殼，將上述的多個導電線圈加以包二 殼與该底板之周圍接合並將之固定。 、外 其中，導電線圈之繞線方式可以軸向繞線方 圈徑向繞線方式。另外，導磁鐵心則可採用低磁;且:f線 導磁材料。而導電線圈與導磁鐵心之數量可 f數之 來設計設計所需的數目，如四個、八個不 力分佈 式可以矩，方式排列所需的數目。主要的目的，排列方 磁鐵吸附I置所產生之電磁力能夠均 =要讓電 版承載裝置。 牙透資料母 + 4 β I 撕膜的工作逛需要底座固定裝置來$ 也就疋，在接近與遠離碟片的 ^朿4成， 以固定、定位蛊技W 土雖戒u 寸上逑兩個骏詈4 -、接近、遠離碟片。所以，底座 〜衣罝加 有兩個功此，其一為固定並承載該版 ^裝置具 電磁鐵吸附裝置，讓其能準確定位H 與該 回該

第8頁 550556 五、發明說明（6) 資料母版承載裝置與該電磁鐵吸附裝置，讓這兩個裝置能 接近碟片以完成貼膜與撕膜的工作。 、 所以，底座固定裝置可以用一固定底座 來中，固定底座部分，用以固定整：該： 離衣置，推進部分則直接與該電磁鐵吸附装置 進該資料母版承载裝置與該；磁鐵吸 ，裝置以接近該碟片，並用以於轉移該資料膜後拉回該資 料母版承載裝置與該電磁鐵吸附裝置以遠離該碟片。 ^透過上述的設計理念，本發明將舉一具體實施例以揭 路本發明的技術，亦即，本發明之多層膜碟片膜層分離裝 置，言青參考「第2圖」。 曰 、 「第2圖」中的多層膜碟片膜層分離裝置2〇，以四個 $磁鐵鐵心與線圈組為例子，包含了幾個部分，電磁鐵上 蓋201 、電磁鐵鐵心2〇2、電磁鐵外殼20 3、電磁鐵底板 2〇4、頂出圓環205、支撐柱2〇6、第一底板2 07、撕膜座外 殼2 08 、第二底板2 0 9、滑塊210、平台21 1、感測器支樓架 212，以及散熱風扇孔213。 首先，在資料母版承載裝置方面，電磁鐵上蓋2 〇 1即 為上述的承載平面，可用來承載資料母版。而感測器支禮 架2 1 2則用以固定資料母版的周圍。 其次，在電磁鐵吸附裝置的設計上，從剖面圖看出此 分離裝置的半面包含了兩個電磁鐵鐵心2 0 2，導電線圈則 未晝出。電磁鐵外殼2 0 3與電磁鐵底板2 0 4的設計均依上述 的設言十理念設計。此四個電磁鐵線圈組的設計，可讓電磁

第9頁 550556 五、發明說明（7) ' --- 鐵所產生的電磁力均勻地分配至電磁鐵上蓋2〇1，亦即資 料母版的承載平面上。其產生的磁路分佈，請參考「第3 圖」丄其為「第2圖」之第一具體實施例之磁路分佈圖。 敢後，即為本發明的第三部份，底座固定裝置。事實 「第2圖」的剩餘部分即為底座固定裝置所包含的部 上 r ▼，…，一叫 且厂] 分’也就疋頂出圓環2〇5、支撐柱206、第一底板2〇7、撕 膜座外殼208、第二底板209、滑塊21〇、平台211、感測器 支撐架2 12，以及散熱風扇孔2 j 3等部分。其中，頂出圓環 205包於電磁鐵外殼203之外，可將電磁鐵外殼2〇3、，也"就'C 是整個電磁鐵吸附裝置與資料母版承載裝置的承載平面頂 出，以作貼膜與撕膜的工作。本發明的具體實施例亦嗖計 了一個散熱風扇孔213，可裝設散熱風扇以降低工作、w 度。第一底板20 7則用來支撐頂出圓環2〇5以及散熱風皿 其下方的滑塊21 0則為推進頂出圓環的部分，推進的羽 來源則可採用氣壓推進或者油壓推進的方式推進。 板209以及支撐柱206則用來支撐電磁鐵底板2〇4以一氏 磁鐵吸附裝置。撕膜座外殼2〇8與平台211則為整個疋電 撕膜的工作平台支撐部分。 石Μ與 請繼續參考「第4Α〜4Β圖」，當可清楚了 m 別。請參考「第4Α圖」，其為習知技？之與直 工吸典之應力分佈圖，從圖中可清楚 之真 均。再請參考「第4Β圖」，其為「_ ///佈不平 體實施例之應力分佈圖，從圖中可看到，應力的分月^具 均勻。 刀师較為

550556 五、發明說明（8) 雖然本發明以前述之較佳實施例揭露如上，然其並非 用以限定本發明，任何熟習相關技藝者，在不脫離本發明 之精神和範圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明 之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定 者為準。

第11頁 550556 圖式簡單說明 第1圖為真空吸盤的上視圖； 第2圖為本發明之電磁基座之具體實施例； 第3圖為第2圖之具體實施例之磁路分佈圖； 第4A圖為習知技術之真空吸盤之應力分佈圖；及 第4B圖為本發明之第二具體實施例之應力分佈圖 【圖>1; 符號說明】 10 真空吸盤 11 頂面 12 環型溝槽 20 多層膜碟片膜層分離裝置 201 電磁鐵上盡 202 電磁鐵鐵心 203 電磁鐵外殼 204 電磁鐵底板 205 頂出圓環 206 支撐柱 207 第一底板 208 撕膜座外殼 209 第二底板 210 滑塊 211 平台 212 感測器支撐架 213 散熱風扇孔

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Claims (1)

1. 550556 j申凊舉利範圍 • — #重多層膜碟片膜層分離裝置，係用於一具資料位元之 碟片之複數層資料膜層之製程中，吸住具導磁性與一資 料辑之一資料母版（stamper)，用以於該資料膜轉移於 該碟片後將該資料母版與該碟片分離，該分離裝置包 含： ^ 一資料母版承載裝置，係包含一承載平面，用以固 < ^^承載該資料母版之頂面； 一電磁鐵吸附裝置，與該資料母版承載裝置相連 矣士 ， 田 、° ’用以產生一垂直於該承載平面之電磁力以吸住該資 料母版；及 、

   :底座固定裝置，係用以承載該資料母版承載裝置 =。亥電磁鐵吸附裝置，並用以推進與拉回該資料母版承 載裝置與該電磁鐵吸附裝置以接近與遠離該碟片。 • 2申j專利範圍第丨項所述之多層膜碟片膜層分離裝 置，该電磁鐵吸附裝置更包含·· 至少一個導電線圈，係個別用以導通電流以產生電 該複數個導電線圈係個別繞於 用以增強該導電線圈所產生之 至少一個導磁鐵心 該複數個導電鐵心之外 電石兹力； 用以承載該至 殼，係包覆於 圍接合，其頂 心；及 電線圈之外並 該資料母版承

   一底板， 一導磁外 與該底板之周 載裝置。 少一個導磁鐵 該至少一個導 面係用以承載

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   六、申請#牙範圍 3·如申請專利範圍第2項所述之多層膜碟片膜層分離裝 置，該至少一個導電線圈之繞線方式係為軸向繞線方式 或多線圈徑向繞線方式。 4 ·如中請專利範圍第2項所述之多層膜碟片膜層分離裝 置，该至少一個導磁鐵心係採用一低磁阻係數之導磁材 料。 5·如中請專利範圍第1或2項所述之多層膜碟片膜層分離裝 置’该至少一個導電線圈與導磁鐵心之數量係依據該資 ，母，承載裝置之面積以矩陣方式排列，以使該電磁鐵 ，附衣置所產生之電磁力均勻垂直穿透該資料母版承載 如_ 置， 如中 置， 吸附 承载 轉移 附裝 如中 置， 請專利 該至少 請專利 該底座 裝置連 裝置與 該資料 置以遠 請專利 該推進 乾圍第5項所述之夕層膜碟片膜層分離裝 一個導電線圈與導磁鐵心係各為四個。 範圍第1項所述之多層臈碟片膜層分離裝 f定裝置更包含一推進部分，其與該電磁姜 結，用以於轉移該資料膜時推進該資料母片 該電磁鐵吸附裝置以接近該碟片，並用以力 f後拉回該資料母版承载裝置與該電磁 離該碟片。 - ，，第7項所述之多層膜碟片膜層分離裝 邛分之推進方式係以油壓與氣壓兩者任選4