TW548644B - Optical information record medium, stamper, exposure apparatus, and method for manufacturing stamper - Google Patents

Description

548644 A7 _____ B7__ 五、發明說明（I ) 【發明之詳細說明】 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 【發明所屬之技術範疇】 本發明係有關於由光碟、DVD-R、DVD-RW等所代表 之光資訊記錄裝置、用來製造該光資訊記錄裝置之模具 (stamper)、用來製造該模具之曝光裝置、及利用該曝光裝 置之模具製造方法。 【習知技術】 光碟、光磁碟等光資訊記錄裝置以往雖廣泛地使用於 資料記錄媒體、聲音資訊記錄媒體，但最近亦開始使用於 CD-R、CD-RW、DVD-R、DVD-RW等。該等光資訊記錄 裝置，係均利用光學方法來記錄資訊，其將圓盤狀記錄媒 體表面上設有之細微坑等記號所造成之反射率變化做成資 訊、或將圓盤狀記錄媒體表面上設有之皮膜之磁性所產生 之性質變化做成資訊。 --線· 有關這種光資訊記錄裝置之用語的意義，有一部分係 記載在JISX6261「130mm單次覆寫型光碟匣(cartridge)」 、JISX6271「130mm多次覆寫型光碟匣」，因此本說明書 中之用語若無特別限定，都使用上述內容內所記載之意義 〇 上述光資訊記錄裝置中，蛇行溝與島設置成交替螺旋 狀，平常溝上有資訊寫入。又，溝及島，係用於位置控制( 追蹤，tracking)上之位置檢測，其讓記錄裝置或再生裝置所 具有之檢測器(pick-up)沿著有資訊寫入之區域行走。亦即 ，反射光之強度由於受光照射之位置是位於溝或島而有所 _,_ 衣纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548644 A7 ___ B7_______ 五、發明說明（7 ) 差異，記錄裝置或再生裝置收到該訊號後’會控制檢測器 之位置，使光照射在有資訊寫入之位置上。 又，該等光資訊記錄裝置中’對於可記錄之 DVD(DVD-R、DVD-RW)制定有DVD規格書’根據此規格 ，與圓盤狀光資訊記錄媒體（以下，有時簡稱爲「光碟」） 螺旋狀蛇行溝相鄰之島部上規則排列有稱爲島預坑(LPP)之 預浮雕坑(pre-embossed-pit)。 於島預坑群預先埋進著控制資訊等，該控制資訊等， 係當把光碟之製造者資訊、光碟寫入資訊等記錄在光資訊 記錄媒體內，或者是當從光資訊記錄媒體讀取資訊時，給 與記錄裝置或記錄再生裝置等。 記錄再生裝置，係利用一個光點邊追蹤DVD-R光碟或 DVD-RW光碟的溝區域，邊於溝區域把資訊予以記錄或再 生，同時將相鄰的島預坑訊號予以再生並讀取需要之資訊 。例如在DVD-R光碟之情形，紀錄時是邊追蹤溝邊利用光 點寫入記錄記號(mark)，同時將島預坑之位址(address)資訊 等予以再生。又’當利用記錄再生裝置將記錄完成之 DVD-R光碟予以再生時，邊將記錄在溝區域之記錄位元 (bit)予以再生邊再生相鄰的島預坑。 【發明欲解決之課題】 所形成之島預坑之長度本身雖在規格上並無規定，但 一般來說在再生時的訊號強度規格上須有一定以上的強度 。另外，於DVD-R與DVD_RW光碟中，根據DVD規格書 ，所記錄之§2錄記號長度之最小記號爲〇.4 # m。但是 ____5____ 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " 一 (請先閱讀背面之注意事項再 --- 本頁) 訂·- 548644 A7 ___B7 _ 五、發明說明（>]) DVD-R與DVD-RW光碟因採用了邊再生寫在溝上之記錄 記號，邊再生島預坑之位址資訊，因此，當將寫有〇.4/zm 最小記號之區域予以再生時，島預坑訊號之長度若在〇.4g m以上，最小記號的再生訊號與島預坑的再生訊號有相干 涉之虞，而引起記錄記號不確定性(jitter)之增加與錯誤率 (error rate)之增加之問題。 又，當再生比最小記號爲長的記號時，由於島預坑訊 號之干涉，也使得辨識成比實際上所寫入之訊號爲長，進 而引起不確定性之增加與錯誤率之增加之問題。 如上所述，就DVD-R與DVD-RW光碟而言，把島預 坑做成最佳的長度、形狀的這件事，對於將這些島預坑利 用記錄再生裝置予以再生時是非常重要的。 另外，若考慮島預坑再生訊號品質的穩定性，各島預. 坑係把島的寬度方向完全塡滿，而且其長度的最小値與最 大値之比在既定値以上爲佳。島的寬度方向上若有未形成 島預坑之部分，則因島預坑讀取訊號之強度不均勻’而降 低訊號品質。 然而，爲防止記錄記號不確定性之增加及錯誤率之增 加而須縮短島預坑的長度，又，爲謀求島預坑訊號之穩定 性而各島預坑須將島之寬度方向完全塡滿，而且其長度的 最小値與最大値的比在既定値以上。只要是使用習知的技 術，會有使用一方法，便對另一方法造成不利之情形。 亦即，DVD-R與DVD-RW等光碟，係從稱爲模具之 型’經由射出成形製程而複製出基板。島預坑也是在製造 _____6 ------- 拿、纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再本頁) *treJ· 線 548644 B7 五、發明說明（4 ) 出該模具當中，經模具原盤之曝光製程而形成。 該原盤的曝光製程中，雷射切割機的光點爲圓形’故 島預坑的形狀也呈圓形。因此，若爲提高島預坑的訊號強 度而增加直徑，則島預坑會塡滿島的寬度方向，而且由於 長度的最小値與最大値之比變大，島預坑的訊號品質會提 高，但因島預坑的長度也隨此變化而變長，使島預坑的訊 號和記錄於溝的記錄符號相干涉，而降低記錄記號再生訊 號之品質。 相反地，若爲提高記錄記號再生訊號品質而縮短島預 坑的長度，則用來形成島預坑的光點因爲是圓形，故各島 預坑無法涵蓋整個島之寬度方向，且長度的最小値與最大 値之比會變小，而降低島預坑訊號之強度。 本發明係有鑑於以上問題而開發出來，故課題爲提供 一種不會降低所記錄之記號的再生訊號品質，並可維持島 預坑的再生訊號於高強度而可確實地檢測島預坑的光資訊 記錄媒體；一種用來製造光資訊記錄媒體之模具；適合製 造該模具之曝光裝置；及一種使用該曝光裝置之模具的製 造方法。 【解決課題的手段】 用以解決前述課題之第1手段，係一種光資訊記錄媒 體（申請專利範圍第1項），其呈圓盤狀，有蛇行溝及島並 且利用循著前述溝之光束來進行資訊之記錄、再生，其特 徵在於：具有設於島上之浮雕坑（島預坑），該島預坑的最 大長度a在0.4/zm以下，而與最小長度b之關係爲b> (請先閲讀背面之注意事項再 --- 本頁) 訂· •線- 參纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 548644 ___B7__ 五、發明說明（夕） 0.5xa ° (請先閱讀背面之注意事項再9本頁) 根據發明者們的實驗，當對應DVD規格書之0·4 A m 之最小記號時，爲防止記錄於溝的訊號之不確定性或錯誤 率的增加，島預坑的最大長度在〇.4^m以下爲佳’故將本 手段中島預坑之長度限定在此範圍內。 亦即，若島預坑的最大長度超過0.4/zm’當將記錄在 溝中的最小記號（0.4//m)予以再生時，記號再生訊號與島 預坑的再生訊號會相干涉’而有增加記錄記號之不確定性 或增加錯誤率之虞。島預坑最大長度之下限雖無特別規定 ，但過小的話，島預坑訊號會變小，而且伴隨錯誤率之增 加，利用微影成像的製造上會變困難’所以依目前的技術 爲前題的情況下，下限以爲佳。根據發明者們之實 驗，島預坑之最大長度尤其以〇·3土ο·05#111爲佳。 線· 另外如前述，島預坑雖最好塡滿島之寬度方向，但如 後面實施例之說明所顯示，只有塡滿並不足夠’若最短的 長度b (通常在島端部發生）比最長的長a(通常在島中央部 附近發生)的一半爲小的話，便無法穩定地讀取島預坑訊號 ，使讀取錯誤率增加。因此，本手段中將前述a與b之關 係限定如前述不等式。 利用以上的形狀，使島預坑的訊號強度輸出增加，可 減少預坑錯誤率，而且可減少和媒體記錄後的記錄記號間 之干涉所造成之錯誤及不確定性。 爲解決前述課題的第2手段是一種模具（申請專利範圍 第2項），其用來製造有蛇行溝及島之光資訊記錄媒體，其 __________8_____ 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548644 A7 ______B7_____ 五、發明說明（b ) 特徵在於：用來形成島之凹部上，具有用來形成先決定好 之浮雕坑(島預坑)之凸部，該凸部的最大長度a在0.4/zm 以下，而與最小長度b之關係爲b>0.5xa。 本手段是一種模具，用來製造前述第1手段之光資訊 記錄媒體。因此’爲得出在第1手段之光資訊記錄媒體所 規定之各部分形狀，而如前述一般須規定用來形成島預坑 之凸部大小。根據本手段，可大量生產前述第1手段之優 良之光資訊記錄媒體。 爲解決前述課題的第3手段是一種曝光裝置（申請專利 範圍第3項），係爲製造出製造光資訊記錄媒體之模具，其 特徵在於：對與島預坑相對應之部分進行曝光所用之曝光 點的形狀，係在光資訊記錄媒體的半徑方向上長，而在成 直角之方向上短。 習知技術上，爲形成島預坑部分而進行曝光時，因使 用圓形之曝光光點，所以無法製造出一種不會降低有記錄 之記號之再生訊號品質、維持島預坑之再生訊號於高強度 ，而能確實檢測島預坑的光資訊記錄媒體；又，習知技術 也當然無法製造出如前述第2手段之模具，所以無法製造 出前述第1手段之光資訊記錄媒體。 本手段中，該曝光光點的形狀在光資訊記錄媒體的半 徑方向上爲長而和半徑方向成直角的方向上爲短，故能製 造一種島預坑，其長度短而且將島的寬度方向都塡滿，最 小長度與最大長度之比大於0.5。因此，藉著將此曝光光點 形狀之各種尺寸予以調整，而可製造出前述第2手段的模 (請先閱讀背面之注意事項再#本頁) 訂·· --線- 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548644 A7 ______B7__—____ 五、發明說明（1 ) (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 具或則述第1手段的光資訊記錄媒體。追種曝先光點之形 狀可以採用橢圓形、長方形等各種形狀。 解決前述課題之第4手段是一種模具之製造方法（申請 專利範圍第4項），係有一使用申請專利範圍第3項之曝光 裝置來對與島預坑相對應之部分進行曝光之製程。 本手段中如前所述，可製造出一種島預坑，其長度短 而且將島之寬度方向整個塡滿，並最大長度與最小長度有 前述關係。因此，藉著調整該曝光光點的尺寸，可製造出 一種前述第2手段之模具或前述第1手段之光資訊記錄媒 體。 【發明的實施形態】 線 以下以圖式說明本發明的實施形態。圖1爲本發明實 施形態中DVD-R光碟的島預坑之放大圖，1是島，2是溝 ’ 3是島預坑。DVD-R上以交互螺旋狀形成島1與溝2。 島1呈凸部，溝2呈凹部。溝2上有記錄資訊寫入，島1 的一部分上形成扮演前述角色的島預坑3。 島預坑3形成凹部，各島預坑3如1圖所示將島1的 寬度方向完全蓋住。假設島預坑的最大長度爲a，最小長 度爲b時(通常最大長度出現於島中央部附近而最小長度則 爲島周緣部（島預坑和溝間的境界部)上島預坑的長度bl、 b2中較短者），則b>〇.5xa。 又，a値在0.2//m〜0.4//m。因此如前所述能做出一 種光資訊記錄媒體，其不會降低有記錄之記號之再生訊號 品質，可維持島預坑再生訊號於高強度，並確實地檢測島 >纸張尺度iif中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公爱1 ' 548644 A7 _____B7_ 五、發明說明（β ) 預坑。 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 以下說明本發明實施形態的模具原盤的製造方法之一 例。光資訊記錄媒體，一般係首先製造有該媒體形狀之模 具，使用該模具來把聚碳酸酯射出成形而製造出來。圖2 爲顯示模具製造方法之周知例。圖2中4爲基板5爲光阻 層，6爲鍍鎳層，7爲模具。 基板材料有青板玻璃、石英、銅、Si基板等，將此基 板加工成甜甜圏狀圓板來製成基板4。之後，把基板表面 精密硏磨成粗糙度爲Ra= lnm以下。洗淨後把底層塗料 (primer)及光阻層5依序自旋塗佈(spin-coat)於基板表面。 預烘烤(pre-bake)後，厚度約lOOnm〜800nm的光阻層5开多 成在基板4上(a)。 接著利用雷射切割機(相當於申請專利範圍第3、4項 中所記載的曝光裝置），對基板4上的光阻層5進行曝光。 曝光圖案，係按照光資訊記錄媒體的溝與島預坑所做成的 圖案。 將完成曝光之基板4上之光阻層5，分別用無機鹼性 顯像液予以顯像。將光阻表面予以旋轉洗淨後再預烘烤。 藉此形成光阻圖案並獲得模具原盤(b)。 接著在原盤表面形成Ni層(導電層)而完成導電處理。 又’藉由通電進行Ni電鑄來獲得既定厚度之鍍Ni層6(c) 。又，將此鍍Ni層6從原盤上剝離下來而獲得模具7(d)。 模具的製造方法中，另外可使用日本專利之特開平11-333884號公報、特開平U-333885號公報、特開平11- -----—— 11 ___ 幸、纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（.210 X 297公釐） 548644 A7 ___B7 _ 五、發明說明（1 ) 333886號公報中所記載者。 本實施形態中，利用上述微影成像製程中之雷射切割 機來曝光時，使用具有異於習知曝光點的雷射切割機。亦 即，該雷射切割機曝光光點之形狀，係在光資訊記錄媒體 的寬度方向上長而在與寬度方向成直角之方向上(溝與島的 長度方向)短。 圖3顯示本發明實施形態曝光裝置之一例，亦即雷射 切割機的構成。圖3中，11是雷射管，12是A0調變器， 13是1/2波長板，14是偏光分束器，15是A0調變器16 是光束擴展器(beam expander)，17是E0偏向器，18是偏 光分束器，19是A0調變器，20是光束擴展器，21狹縫 孔徑(slit aperture)，22是對物透鏡，23是基板，24是旋轉 台。 由雷射管11所放出的雷射光之強度是藉由AO調變器 12來調整，該雷射光透過1/2波長板13進入偏光分束器 14，並分割成雷射路徑A與雷射路徑B。 雷射路徑A的雷射光被調變器15所調變，以使光只 在形成溝時才會通過，並透過光束擴展器16而射入EO偏 向器17。EO偏向器17讓通過雷射路徑A的雷射光產生偏 向，以賦予雷射光蛇行(wobble)而使幀（frame)資訊等記錄 於溝上。 雷射路徑B的雷射光被AO調變器19所調變，使光只 在形成島預坑時才會通過，並透過光束擴展器20而射入狹 縫孔徑21。該狹縫孔徑21是本發明實施形態中特有之構 ___12 ____ ί、紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再本頁) ·' •線 548644 A7 ___B7___ 五、發明說明（β ) 件，讓圓形雷射光變換成其形狀在光資訊記錄媒體半徑方 向上變長，而與半徑方向成直角之方向上變短。例如在習 知雷射切割機的情形，雷射路徑B上使用大約2mm0的光 點，將這種光藉由圓形狹縫孔徑來形成1.2mm0的形狀並 加以照射，而本實施形態則是使用長方形狹縫孔徑21，該 長方形在對應於島長邊方向上的邊長爲1.2mm0，而對應 於島寬度方向上的邊長爲2mm以上。 又，將通過狹縫孔徑21的光藉由對物透鏡22予以聚 焦並對島預坑部分曝光。又，對島預坑部分曝光時，島預 坑之島之長邊方向上尺寸會隨雷射光的強度、受曝光基板 之旋轉速度、及曝光時間而改變，故須決定可達到適當尺 寸(長度)之曝光時間並控制A0調變器19。 又，若將通過長方形狹縫孔徑21之光予以聚焦來曝光 ，即使將雷射光強度提高到可對島1的寬度方向整個曝光 之程度，光點有效徑在溝的長度方向上也不會變大。因此 ，可防止島預坑在長度方向上最長之部分和最短之部分間 之比率被曝光成過長。 藉此，可將所形成的島預坑做成把島的寬度方向完全 覆蓋，而且島預坑的最大長度a會在0.4//m以下，最大長 度a與最小長度b的關係則會爲b > 0.5 X a。 將雷射路徑A之雷射光與雷射路徑B之雷射光藉由偏 光分束器18合而爲一，並經由對物透鏡22而聚焦至放在 旋轉台23上之旋轉著的基板22表面上，如前述般使光阻 感光。此時，讓通過雷射路徑A的雷射光與通過雷射路徑 ___ 13__ 幸、纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 士 訂. .線 548644 A7 ____B7____ 五、發明說明（l\) B的雷射光，以與圖3的紙面成平行之方向，在偏光分束 器18的位置上移動，因兩雷射光之位置被調整成彼此稍微 分開，故讓前者形成溝而後者形成島預坑之部分均感光。 (實施例） (實施例1) 我們製造了有關本發明的DVD-R光碟。首先準備外徑 200mm且厚度爲6mm經精密洗淨之玻璃原盤，於其表面 塗佈上底層塗料後，自旋塗佈正型光阻(SHIPLEY公司製 的S1818)，並在100°C的熱板(hot plate)上預烘烤10分鐘 。經由此步驟便做出有厚度180nm塗層之原盤。 接著，塗層原盤經由搭載有Kr雷射的雷射切割機而形 成蛇行(wobbled)溝及島預坑。在本實施例的場合，使用如 圖3所示之2光束光路系統，溝是用雷射路徑A來曝光而 島預坑則是用雷射路徑B來曝光。又，爲使圓形光束在聚 焦面上變成光碟半徑方向爲長軸之橢圓形光束，故在對島 預坑曝光之雷射路徑B之光路系統途中置入狹縫孔徑。 曝光時，以 3.49m/sec 的 CLV 速度（constant linear velocity)、0·74#πι之軌距(track pitch)來進行切割，並設 定一曝光能量(power)，使得島的半値寬爲300nm，島預坑 的長度爲圖1中之a=0.3/zm、b=0.2#m的値。 然後用無機鹼顯像液(SHIPLEY製顯影劑)與超純水之 濃度20%之希釋液予以顯像而完成母(master)原盤。接著施 以導電化處理，再利用TECHNOTRANS公司製的鎳電鑄裝 置來進行電鑄(electro-forming)後，從玻璃原盤上剝離下來 ___14____— 衣纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再一?^本頁) ·. -•線- 548644 A7 ___B7_ 五、發明說明（vv) ，再衝切(blanking)成內徑22.0mm、外徑爲138mm的形狀 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 而完成鎳模具。 將此模具安裝在住友重機械工業公司製的射出成形裝 置上並做出厚度〇.6mm的聚碳酸酯基板，藉由DVD-R生 產線對於本發明的模具，自旋塗佈花青染料(cyanine)、濺 鍍反射膜、貼合厚度0.6mm之保護基板、塗佈漆，而完成 空白光碟。 本實施例中雖使用了花青系的有機色素但當然並非限 定於此，也可應用於使用相變化式金屬薄膜之DVD-RW的 場合。 將該空白光碟放在PULSTEC公司製光碟測試裝置 DDU-1000上，把未記錄再生的推挽(push-pull)訊號輸入 KENWOOD製LPP(島預坑)錯誤計數器DMR-3330來測定 LPP錯誤率。結果，LPP錯誤率爲1.8%。 •線- 接著把影像資料轉換成形式（format)訊號，以波長 650nm之雷射光紀錄於該空白光碟。然後同樣地將空白光 碟放在PULSTEC公司製的光碟測試裝置DDU-1000上， 由再生推挽訊號用示波器測定出LPP強度。結果由電壓値 得知，孔徑率(aperture ratio)爲20%。記錄後對整面加以測 疋之結果’區塊錯誤率(block-error_rate)爲2%。又，記錄 記號之不確定性爲7.2%。 (實施例2) 利用與實施例1同樣的方法製造了 DVD-R光碟。其中 ’設定一曝光能量，使得島預坑的長度爲圖1中的a=〇.28 T、紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 548644 A7 B7 __ — - -- 1 ' --- " ' —* 1,1 五、發明說明（ή) // m、b = 0.2 // m 〇 將這種空白光碟放在PULSTEC公司製的光碟測試裝 置DDU-1000上，把未記錄的再生推挽訊號輸入 KENWOOD製LPP錯誤計數器DMR-3330來測定LPP錯誤 率。結果，LPP錯誤率爲2.1%。 接著，把影像資料轉換成形式訊號，並以波長65〇nm 的雷射光記錄於該空白光碟。又，將該空白光碟放在 PULSTEC公司製的光碟測試裝置DDU-1000上，並由再生 推挽訊號用示波器測定LPP強度，結果由電壓値得知，孔 徑率爲20%。又，記錄後對整面測定區塊錯誤率之結果爲 2.5%。又，記錄記號之不確定性爲7.0%。 (比較例1) 利用與實施例1相同的方法做出了 DVD-R光碟。其中 在雷射切割機中，不把狹縫孔徑置入對島預坑曝光之雷射 路徑B，而對曝光面照射圓形光束。又，設定一曝光能量 ，使得島預坑的長度爲圖1中的a = 0.3 /z m、b = 0.1 // m。 將該空白光碟置於PULSTEC公司製的光碟測試裝置 DDU-1000上，把未記錄再生推挽訊號輸入KENWOOD製 LPP錯誤計數器DMR-3330來測定LPP錯誤率。結果， LPP錯誤率爲2.5%。 接著把影像資料轉換成形式訊號，並以波長650nm的 雷射光記錄於該空白光碟。將該空白光碟置於PULSTEC 公司製的光碟測試裝置DDU-1000上，由再生推挽訊號用 示波器測定LPP強度，結果由電壓値得知孔徑率爲14.2% _ 16 _____ 拿、纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再9本頁) 訂· •丨線. 548644 A7 ___JB7_ 五、發明說明（A) ，這個數値稍微比DVD規格書的數値爲低。 (請先閱讀背面之注意事項再9本頁) 記錄後，對整面測定區塊錯誤率之結果爲3.2%，這個 數値比本實施例1與2中的數値還差。又，記錄記號之不 確定性爲7.2%，這個値與實施例相同，推測這是因爲LPP 的大小比實施例之LPP爲小，使記錄記號與坑間之干涉未 發生。 (比較例2) 利用與實施例1相同的方法做出了 DVD-R光碟。其中 在對島預坑曝光之雷射路徑B放入狹縫孔徑，並設定一曝 光目旨星’使得島預坑的長度爲圖1中a=0.45//in、b=0.25 // m 〇 線· 將該空白光碟置於PULSTEC公司製的光碟測試裝置 DDU-1000上，再把未記錄再生推挽訊號輸入KENWOOD 製LPP錯誤計數器DMR-3330來測定LPP錯誤率。結果， LPP錯誤率爲1.8%。 接著把影像資料轉換成形式訊號，並以波長650nm的 雷射光記錄於該空白光碟。又將該空白光碟置於PULSTEC 公司製的光碟測試裝置DDU-1000上，再由再生推挽訊號 測定LPP強度。結果由電壓値得知，孔徑率爲17%。 記錄後測定整面之區塊錯誤率之結果爲2.5%。又，記 錄記號之不確定性爲8.5%，這個數値偏離了 DVD規格書 內之數値。推測其原因是LPP的大小和最小記號相干涉以 致不確定性增加。 【發明的效果】 _ 17 ___ 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548644 A7 _B7_ 五、發明說明) 如以上說明，若利用本發明，則不僅可增強島預坑的 訊號強度，也可減少島預坑之錯誤，並且島預坑和媒體記 錄後之記錄記號間之干涉所造成之錯誤少，而可獲得小的 光資訊記錄媒體。 【圖面的簡單說明】 圖1係本發明實施形態DVD-R光碟之溝及島之放大圖 〇 圖2係模具製造方法之例子。 圖3係本發明實施形態雷射切割機的構成例。 【符號說明】 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) -裝 1 島 2 溝 3 島預坑 4 基板 5 光阻層 6 鍍鎳層 7 模具 11 雷射管 12 AO調變器 13 1/2波長板 14 偏光分束器 15 AO調變器 16 光束擴展器 17 EO偏向器 _18 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ir°J· 線 548644 A7 _ B7 五、發明說明（4 ) 18 偏光分束器 19 AO調變器 20 光束擴展器 21 狹縫孔徑 22 對物透鏡 23 基板 24 旋轉台 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) .. -丨線· _19 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐了

Claims (1)

1. 548644 A8B8C8D8 六、申請專利範圍 1. 一種光資訊記錄媒體，係呈圓盤狀，有蛇行溝及島 並且利用追蹤前述溝之光束來進行資訊之記錄、再生，其 特徵在於：具有設於島上之浮雕坑（島預坑），該島預坑的 最大長度a在0.4/zm以下，而與最小長度b之關係爲b> 0.5><a 〇 2. —種模具，係用來製造有蛇行溝及島之光資訊記錄 媒體，其特徵在於：用來形成島之凹部上，具有用來形成 先決定好之浮雕坑（島預坑）之凸部，該凸部的最大長度^ 在0.4/z m以下，而與最小長度b之關係爲b> 0.5xa。 3. —種曝光裝置，係爲製造出製造光資訊記錄媒體之 模具，其特徵在於：對與島預坑相對應之部分進行曝光所 ，用之曝光點的形狀，係在光資訊記錄媒體的半徑方向上長 ，而在成直角之方向上短。 4. 一種模具之製造方法，係有一使用申請專利範圍第3 項之曝光裝置來對與島預坑相對應之部分進行曝光之製程 -裝·…… (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 、言 1 < &張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格(210 X 297公釐)