TW541290B - Porous body infiltrating method - Google Patents

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541290 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7_____ 五、發明說明（1 ) 發明背景 本發明係能源部所授與的契約第D E F C 02-9 2 - CE 4 1 0 0 0下由政府支持而完成的。政府對於 本發明有某些權利。 本發明關於一種將矽滲入多孔物體之方法。 常常藉熔融滲入法將層狀或原纖材料當作塡料及補強 物導入各種複合材料中。將矽熔融滲入一含有碳化矽（ S 1 C )及/或碳（C )的多孔物體內係一常用於製造經 反應黏合的碳化矽或、'矽化的〃的碳化矽複合產品之方法 。該複合產品之例子包括矽/碳化矽（S i / S i C )陶 瓷和韌性陶瓷基質複合物。矽熔融滲入法的優點爲其產生 一種接近完成形狀（net shape )的產品，此意味預製品的 尺寸在滲入/增稠法期間很少或沒有變化。接近完成形狀 的方法使得產品在製造時需要最少的機器加工。 熔融滲入法的一重要觀點係在於該方法使矽與多孔預 製品物體接觸。矽可直接與預製品接觸。在另一方法中， 使用碳纖維芯藉毛細管作用將液態矽由一貯槽送至欲滲入 的材料。此種過程具有許多缺點。在預製品和矽之直接接 觸的情況中，必須非常精確地計量矽量以便完成物體的滲 入而不留下過量的砂。由不同技術或不同比率的起始材料 所製備的物體係需要不同量的矽以便充分滲入。各製程變 化需要藉試誤法調整矽量。若於滲入時用矽一硼合金，則 在熔融期間會形成硼的矽化物（如B 3 s 1 、B 4 s 1及 B 6 s i )。這些硼的矽化物在滲入過程中並不會完全溶解 -T > I I ϋ ϋ ^ ^ atmw 1 ϋ (請先閱讀背面之注意事項再填寫ίί頁) ⑺再填寫 541290 A7 B7 五、發明說明（2) 於合金中。因此，這些硼化物的黏附殘渣（及其它雜質） 係留在物體表面上，而必須藉機器加工來移除。若使用芯 時，殘渣係留在芯上而非滲入物體上。然而，芯對於滲入 體係有強黏附性的，而需要機械加工來移除。而且，與矽 量之調整有關的問題會變得更差，因爲現必須將芯本身的 任何尺寸變化列入考慮。芯的使用亦限制矽可導入物體的 位置之數目。若物體大或形狀複雜時，矽可能以非均勻的 方式滲入，導致組成及性質的改變。 矽熔融滲入的另一問題係由於矽冷卻時矽發生膨脹所 產生的。當矽膨脹時，過量的矽向外推至物體表面而形成 矽金屬凸塊。該矽凸塊使得物體變成不能被接受的，而在 滲入後需要昂貴的機器加工。 因此，有需要提供一種矽熔融滲入法，其不會使組成 和性質發生變化，且不需要對滲入後的複合產品作昂貴的 機器加工。 發明槪述 本發明係一種將矽滲入物體之方法。形成一種混合物 ，包括矽及至少部分至約1 0重量％的六方晶系氮化硼。 一種含有經濕化或與矽反應的成分之物體係與粉末混合物 接觸，及用來自於混合物的矽滲入該經接觸後的物體。措 辭"至少部分至約1 〇重量％ "係包括與約0 · 1重量％的 六方晶系氮化硼同樣少，更包括約1 · 0重量％至約1 〇 重量％的六方晶系氮化硼，以及包括約4重量％至約1 ◦ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫

------^訂 L I 着· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 - 5- 541290 A7 B7 五、發明說明（3) 重量％的六方晶系氮化硼。 在另一觀點中，本發明關於一種將矽滲入物體之方法 ，包括用六方晶系氮化硼和矽的漿體塗覆一物體，該物體 含有經濕化或與矽反應的成分。然後將來自於漿體的矽滲 入該經塗覆後的物體。 發明之詳細說明 可將矽滲入多孔物體內，其係藉由將物體埋置於一由 矽粉和經控制量的六方晶系氮化硼粉所構成之混合物中。 Morelock的美國專利第4，7 3 7，3 2 8號揭示一種製 造複合物之方法，其係藉由將一種含有與矽反應之物質的 多孔物體埋置於一由矽和六方晶系氮化硼粉所構成的粉末 混合物中。Μ 〇 r e 1 〇 c k專利所教導的ίί夕一氮化硼（S i / B N )混合物之限制爲1 〇 %至9 0 %以體積計的矽（等 於90 · 6重量％至9 · 6重量％氮化硼（BN))。目 前已發現若矽-氮化硼S i /BN混合物含有5 0重量％ 至1 0重量％氮化硼（B N )時，矽（S i )將不滲入碳 化矽/碳（S 1 C / C )物體內。矽的滲入僅在將氮化硼 (B N )量控制在約1 〇 %以下的含量才行。 此外，Μ 〇 r e 1 〇 c k專利詳細記載一*種接觸多孔預製品的 方法，其使用一種在模具或塑模內的乾壓實物。根據本發 明，可用一種矽一氮化硼（S i - B N )的水性漿體來塗 覆預製品以完成滲入。 本發明提供一種執行矽熔融滲入的改良方法’其提供 (請先閱讀背面之注意事項再填寫^頁) 再填寫: 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -6- 541290 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（4) 一種乾淨的物體表面，沒有過量的矽金屬。粉狀的矽滲入 物係與至少部分到少於約約1 0重量％的氮化硼粉混合。 六方晶系氮化硼（B N )的存在量可爲少於約9 . 6重量 %。在一較佳實施例中，氮化硼粉的存在量可爲佔混合物 的約1重量％至約9 · 5重量％，且最佳之量爲約5重量 %至約9 . 0重量％。矽可包含其它合金用添加物，如硼 (B )，但應以混末混合物存在，量爲至少足以產生所欲 的複合物。矽（S 1 )的存在範圍較佳係佔總混合物的約 9 9重量％至約8 0重量％。 可用許多技術來形成混合物。例如，可簡單地將兩種 粉末混合一起。形成至少一種由兩種粉末所構成的顯著均 勻之混合物，且較佳爲均勻或實質均勻的混合物。然後將 混合物用當作熔融滲入法的矽源。在本發明另一觀點中， 混合物與水混合以形成一種漿體，其浸塗或噴灑塗覆在預 製品上。然後使物體接受滲入加熱處理，其中矽熔融及滲 入多孔物體內。真空壓力、爐溫及在滲入溫度的時間係相 同的或實質相同的，如Morelock專利中所用的，其之全部 倂於本文中作參考。 在本發明所有的觀點中，滲入物混合物中的過量矽或 在冷卻期間會被向外推向物體表面的矽係留在混有氮化硼 (B N )粉的表面上。在滲入後，留在物體表面上的任何 材料係一種脆性氮化硼（B N )混合物，其能被容易地刮 除。此外，塗覆預製品的噴灑或浸塗體系係有助於將矽導 引至預製品的整個表面上以形成一種均勻且較快速的滲入 (請先閱讀背面之注意事項再填寫今頁) 再填寫 >ϋ ϋ ϋ ϋ 1_1 ^OJ ·ϋ ϋ 4. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 541290 A7 B7 五、發明說明（5 ) 〇 砂粉之大小可在寬廣的範圍內，但是較佳應不大於約 1 0網目，即不大於約1 5 〇微米。此處的網目係意味美 國篩網尺寸。較大的粒子具有聚結的傾向而不滲入物體。 砂粉之粒子大小較佳係約2 〇 〇網目，即不大於約7 5微 米。六方晶系氮化硼（B N )粉的粒子大小較佳係不大於 約1 0 0網目，即不大於約1 5 〇微米。較大的粒子尺寸 可能使得矽聚結而防止滲入物體內。六方晶系氮化硼（ B N )粉的粒子大小較佳係約3 2 5網目，即不大於約 4 5微米。 在一實施例中，所欲滲入的材料之體積的至少約5 % 係包括一種經濕化或與矽反應的成分。矽對於一種物質具 有親和力，該物質與其反應，及將遷移朝向該成分。該反 應丨生成分係必需的’俾砂能滲入多孔物體內。代表性的反 應性成分包括元素碳及金屬如鉬、鈦、鉻、鎢、銀及鋁。 本文中所用的術語，，元素碳，，係包括所有形式的元素（非鑽 石）碳，含石墨。 該經濕化或與矽反應的成分之存在量範圍係佔所欲滲 入的材料之體積的約5 %至約1 〇 〇 %。該成分的特定量 將取決於所欲的特定複合物。典型地，該經濕化或與砂反 應的成分之存在量範圍係佔所欲滲入的材料之體積的至少 約1 0 %，或至少約2 0 %，或至少約5 〇 %。 不與矽反應的材料部分可包括一種陶瓷材料如碳化砂 、氮化矽、硼化矽（B N )及氮化鋁。鑽石可當作不反應 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫 再填寫; 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8 - 541290 Α7 Β7 五、發明說明（6 ) 性成分存在，視其粒子大小而定。細的粒子大小可與砂反 應以形成碳化矽。 (請先閱讀背面之注咅心事項再填寫^0〇 所欲滲入的材料可爲各式各樣的形式。例如，其可爲 粒狀、纖絲狀、布狀及其混合物。術語纖絲包括纖維和晶 鬚。 可藉δ午多技術將所欲渗入的材料形成爲一種多孔物體 。多孔物體較佳係屬於複合物之所欲大小及形狀。例如， 物體可經擠製、射出成形、模沖、各向等壓壓塑或滑鑄以 產生一種所欲大小和形狀的物體。物體可與潤滑劑、黏合 劑或類似材料一起使用於成形。該材料應爲在低於滲入溫 度之下的溫度經加熱可蒸發的型態，較佳低於5 〇 〇 C， 而不會留下有害的殘渣。另外，可將欲被滲入的材料塡充 在粉末混合物之模具的空穴內以形成一種塡充的或拘束材 料。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 多孔物體或塡充材料之開口孔隙率範圍係爲佔物體之 體積的約1 0 %至約9 0 %。視所欲的複合物來決定個別 孔隙率。具體言之，孔隙率範圍係約1 5體積％至約8〇 體積％ ’或約3 0體積％至約6 0體積％。物體的開口孑匕 隙率意味向物體之表面打開而使得內部表面可接近周圍氣 氛的孔隙或空隙。可藉標準金相技術測量開口孔隙率。較 宜上，所欲滲入的塡充材料或多孔物體係不具有任何閉口 孔隙率或不具有任何有意義量的閉口孔隙率。多孔物體或 塡充材料之孔隙應均勻分佈著或至少顯著地均勻分佈著， 俾防止形成大的矽口袋。大的矽口袋可能降低滲入後的物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9- 541290 A7 B7 五、發明說明（7 ) 體或複合物之機械性質。孔隙的大小範圍最高可爲約 2〇0 〇微米。爲了有較佳的結果，孔隙的大小係次微米 0 可用各種形式的六方晶系氮化硼（B N )和矽粉之混 合物，且可藉由許多技術來使混合物接觸所欲滲入的材料 。例如如上述，粉末混合物可爲受加壓的粉末形式或在一 具有空穴的模具內之形式，該空穴之大小和形狀係爲所欲 之最終滲入體或複合物的大小和形狀。在滲入之前，當與 多孔物體或壓實材料接觸時，混合物之孔隙率較佳爲少於 粉末混合物之體積的約5 0 %，更佳少於約4 0 %，且最 佳少於約3 0 %。 因此在一實施例中，本發明之將矽滲入多孔物體以提 供複合物之方法係包括：提供一種材料，其中至少約5體 積％的材料包括一經濕化或與矽反應的成分。該材料之熔 點係高於矽。由具有開口孔隙率範圍爲大於約1 〇體積％ 至約9 0體積％的該材料來形成一種多孔物體。物體接觸 一種含有矽和六方晶系氮化硼的粉末混合物，其中六方晶 系氮化硼的量之範圍係佔混合物的至少部分至約1 〇重量 %。然後在非不氧化性部分真空下，將接觸後的物體加熱 至一溫度，該溫度使得矽能流動但是低於物體之材料的熔 點。然後，在部分真空下（其至少足以由多孔物體移出閉 塞的氣體）將流體矽滲入物體內以形成複合物。 在另一實施例中，使混末混合物成爲具有空穴的模具 之形狀’該空穴之大小和形狀係爲所欲之複合產品的大小 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫4頁) - l· #填 ------訂---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 541290 A7 B7 五、發明說明（8) (請先閱讀背面之注音？事項再填寫 和形狀。提供一種材料，其中至少5體積的材料包括一種 經濕化或與矽反應的成分，該材料係爲粒狀、纖絲狀、布 狀及其混合物，且具有熔點高於矽。將材料塡入空穴內以 產生一種塡充材料或多孔物體，其之開口孔隙率範圍爲大 於約1 0體積％至約9 0體積％。然後在非氧化性部分真 空下加熱該物體至一溫度，該溫度使得矽能流動但是低於 材料的熔點，如同上述形成複合物的實施例所述者。 在方法的進行中，形成六方晶系氮化硼（B N )與元 素矽粉之混合物，且該混合物與多孔物體之表面接觸或與 塡充材料之表面接觸。因爲在此方法所用的溫度中，熔化 的砂並不會濕化六方晶系氮化硼（B N )的表面。砂不會 聚結且可容易地被蒸氣所移動，而液體流至多孔物體的或 拘束材料之表面，其中它與材料表面反應及/或將其濕化 。氮化硼（B N )使得矽能均勻地滲入物體內而不形成表 面液滴。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在另一實施例中，一支撐裝置，較佳爲石墨或其它元 件碳，係用於支撐多孔物體，及用粉末混合物塗覆多孔物 體。然後將所獲得的總成加熱至滲入溫度。可用脫模劑如 六方晶系氮化硼（B N )來預塗覆撐體以防止黏著。 在執行本發明的另一實施例中，將多孔物體浸於粉末 混合物中或用粉末混合物包封它，而使其表面完全沒有暴 露。在另一實施例中，多孔物體塡充在粉末組成物的模具 有中，及將全部總成置於真空爐中，抽真空至約0 · 1托 及加熱。當冷卻及回復到大氣壓力時，由爐中移出總成， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） _ ι ι _ 541290 A7 _ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（9 ) 拆卸及由粉末混合物中移出經矽滲入的部分。 製程中所用的爐可爲一種由元素碳所製造的碳爐。於 氧的存在下不能進行滲入法，因爲液態矽會氧化而形成固 態氧化矽。碳爐充當作淸除劑，其藉與氧反應而產生一氧 化碳（C 0 )或二氧化碳（C〇2 )以提供一種非氧化性氣 氛。此外，一種氧淸除劑如元素碳可加到爐中以確保非氧 化性氣氛。 以下實例用以說明本發明。 實例1 製備S i - BN九粒，其係藉由乾燥摻合一 3 2 5網 目的矽（S i )粉及一 3 2 5網目的氮化硼（b N )粉， 以 5〇Si/50BN、 60Si/40BN、 70Si /30BN、 8〇Si/2〇BN、 9〇Si/l〇BN 及95S i/5BN的重量比。在i〇，〇〇〇ps i壓 力下於1 / 4 ” -鋼模中乾壓該混合的粉末。將九粒置於碳 氈物件上（W D F 型碳氈，Natlonal Eiectric Carbon Co.) ’及於真空爐中加熱至1 4 3 0 t：。冷卻後，測量碳氈物 件的質量。然後計算最初九粒中所存在的矽之百分率（其 實際滲入碳氈內）。以下表1中顯示結果。在5 0、4 0 及3 0%氮化硼（BN)時’實際上沒有3丨芯進入碳氈 內’即沒有滲入氈內。在20%及1 〇%氮化硼（BN) 時’僅約2 0 %的矽（S i )滲入氈內。在5 %氮化硼（ B N )時，由九粒所獲得的S i之將近7 〇 %係滲入碳賣毛 (請先閱讀背面之注意事項再填寫· ：再填寫 >^1 I ϋ ϋ ϋ JrJ n I ϋ ϋ Ύό 華. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -12- 541290 A7 B7 五、發明說明（10) 內。砂一氮化棚（S i - B N )混合物之九粒的殘餘物係 脆的。 表1

Si/BN 比例 50/50 60/40 70/30 80/20 90/1 0 95/5 所滲入的 Si2% 0.6 0.7 0.9 1 8.8 20.3 69.9 此實例證明少於重量％ B的粉末混合物係對滲入陶瓷 的結果提供改良。 實例2 將94克砂（Si)粉（―100網目）、6克氮化 硼（B N )粉（一 3 2 5網目）與6 0克水混合以製備一 種發體。於其中加入0 · 8 4克Rohm&Haas Duramax D-3019 分散劑及 1 · 6 克 Rohm & Haas Duramax B-1035 丙烯 酸乳液黏合劑。用磁攪拌器混合這些成分直到均勻爲止。 然後將多孔複合物預製品棒浸入漿體內以使矽-氮化硼（ S i - B N )混合物塗覆在該棒，及讓其乾燥。重複該浸 漬直到所獲得的矽-氮化硼（S i - B N )混合物之水平 能提供0 · 8至1 · 4的質量比（砂一氮化硼（s i — B N )混合物相對於多孔預製品的質量比）。然後將塗覆 後的τ頁製品徐徐加熱（5 °C /分鐘）至1 4 3 〇。(3，於該 溫度保持2 0分鐘，然後冷卻（5 °C /分鐘）至室溫。藉 刮除可容易地移除棒表面上的殘餘物而留下精整的表面， 類似最初的多孔預製品。以下表2中顯示滲入後的棒之密 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫 再填寫 I 1 i^i 一 口、_ ^1 ^1 11 ·ϋ ϋ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13- 541290 A7 _______ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（n) 度和開口孔隙率。 表2 Si-Bn:預製品 滲入後密度 開口孔隙 質量比 (glee) (%) 0.8 2.63 6.79 1.0 2.71 1.75 1.2 2.71 1.00 1.4 2.76 1.50 數據顯示滲入物混合物對預製品之質量比爲1至 1 · 4時’獲得一種稠密的、低孔隙率物體。僅當質量比 落於1以下時’滲入後的物體之密度才會降低而開口密度 才會增加。結果證明精確地控制滲入物混合物之用量未必 然能獲得一種具有乾淨表面的稠密經滲入之物體。 當單獨用S i進行滲入時，必須準確控制S i /預製 品的質量比’因爲低的質量比會導致高的孔隙率，而太高 的質量比會使物體具有過量的表面S 1 ，此需要機器加工 。此實例顯示本發明方法可在寬廣的質量比範圍中操作， 而提供具有乾淨表面的高密度部分。因此，若單獨使用砂 (S 1 )時，本發明的滲入方法能容忍質量比之微小的誤 差。矽一氮化硼（S i / B N )混合物容許使用高的S i /預製品重量比以確保高密度。殘餘的表面沈積物係實質 上爲氮化硼（B N )，其係脆的且容易被移除。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -14- (請先閱讀背面之注意事項再填寫巧頁) 再填寫 ------訂---- 4, 541290 A7 ___________ B7 五、發明說明（]2) 實例3 將9 1克Si粉（ — 325網目）、6克BN粉（一 3 2 5網目）、3克硼粉（<ι微米）與7〇克水及1克 Rohm & Haas Duramax D-3019分散劑混合以製備一種槳體。 用磁攪拌器混合這些成分直到均勻爲止。然後將多孔複合 物預製品棒浸入獎體內以使S i - B N混合物塗覆在該棒 ’及讓其乾燥。重複該浸漬直到獲得所欲程度的矽一氮化 硼（S i - BN)爲止。將s i —BN混合物之質量對多 孔預製品之質量的比率調整至丨· 〇 一 1 · 5。然後如上 述加熱塗棒以讓砂丨谷融滲入。再者，在滲入後，容易地移 除棒表面上所有的殘餘物質，且棒係被良好地滲入（二棒 皆具有高於2 · 7 g / c c的密度及低於3 %的開口孔隙 率値）。這些結果證明該技術可用不同的起始粉末操作及 在添加B以形成用於滲入的s i - B合金時。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫 再填寫 ------^訂— l·-- 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公璧） -15-

Claims (1)

1. 541290

   申請專利範圍 附件2at : 第8 8 1 1 8 7 0 5號專利申請案(修正後無劃線) 〆欧瓜 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 中文申請專利範圍替換本/ 民國卜2年％月14曰_正 1 . 一種將矽滲入物體之方法，包括： 形成一種混合物，包括矽及至少部分至1 0重量％的 六方晶系氮化硼， 使該混合物接觸物體，該物體包含一經濕化或與矽反 應的成分；及 用來自於該混合物的矽滲入該接觸後的物體。 2 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中接觸該物體 係包括將該混合物之漿體浸塗或噴灑塗覆在該物體上。 3 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中接觸該物體 係包括將物體埋置於該矽和氮化硼之粉末混合物中。 4 .如申請專利範圍第3項之方法，其更包括在滲入 後由該物體刮除脆的氮化硼（B N )表面塗層。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 .如申請專利範圍第1項之方法，其中接觸該物·體. 係包括將物體埋置於該矽和氮化硼之粉末混合物中。 6 .如申請專利範圍第1項之方法，其中該物體包括 至少5體積％的該經濕化或與矽反應的成分。. 7 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中該經濕化或 與矽反應的成分係選自於元素碳、金屬及其混合物。 8 ·如申請專利範圍第7項之方法，其中該金屬係選 自於鉬、鈦、鉻、鎢、銀及鋁。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 541290 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 9 .如申請專利範圍第1項之方法，其中該物體之開 口孔隙率範圍係佔該物體的大於1 0體積％至9 0 % ° (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 〇 ·如申請專利範圍第i項之方法，其中用來自於 該混合物的矽滲入該接觸後的物體係藉由：在非氧化性部 分真空下加熱至滲入溫度，在該溫度矽係爲流體但低於該 物體的熔點。 i 1 .如申請專利範圍第i 〇項之方法，其中該部分 真空係至少足以由該物體移除氣體，該氣體會閉塞該滲入 的流體矽。 1 2 .如申請專利範圍第1 0項之方法，其中該物體 與在支撐裝置中的該混合物接觸。 1 3 .如申請專利範圍第1 0項之方法，其中該物體 係被石墨物件之空穴中的該混合物所包封。 1 4 ·如申請專利範圍第1項之方法，其包括用來自 於該混合物的矽滲入該接觸後的物體，而在該物體上留下 氮化硼的多孔沈積物。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 5 .如申請專利範圍第1項之方法，其中該砂之粒 子大小範圍至1 5 0微米，且該六方晶系氮化硼之粒子大 小範圍至1 5 0微米。 1 6 .如申請專利範圍第1項‘之方法，其中該混合物 包括少於9 . 6重量％的氮化硼。 1 7 _如申請專利範圍第1項之方法，其中該混合物 包括1重量％至少於9 . 5重量％的氮化硼。 ’ 1 8 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中該混合物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210x297公釐） - 541290 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍 包括5重量％至少於9重量％的氮化硼。 1 9 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中該混合物 包括9 9重量％至8 0重量％的8 i。 2 0 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中該物體之 開口孔隙率範圍係佔該物體的1 5體積％至8 0體積％。 2 1 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中至少1 〇 體積％的該物體包括一經濕化或與矽反應的成分。 2 2 ·如申請專利範圍第2 1項之方法，其中該物體 的其蹄部分包括一種陶瓷材料，選自於碳化砂、氮化5夕、 氮化硼及氮化銘。 2 3 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中該物體包 括矽/碳化矽（S i / S i C )複合物。 2 4 · —種將矽滲入物體之方法，包括： 用六方晶系氮化硼和矽的漿體塗覆一物體，該物體含 有一經濕化或與砂反應的成分；及 將來自於該漿體的矽滲入該經塗覆後的物體。 2 5 ·如申請專利範圍第2 4項之方法，包括由一種 粉末混合物形成該漿體，該粉末混合物包括砂粉和至少部 分至1 0重量％的六方晶系氮化硼粉。 2 6 ·如申請專利範圍第2 4項之方法.，其中該物體 經浸塗法或噴灑塗覆法所塗覆。 2 7 · —種將矽滲入物體之方法，包括： 形成一種漿體，其包括分散於液體中的矽粉和六方晶 系氮化硼粉； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   -3- 541290 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 使一含有經濕化或與矽反應的成分之物體接觸該漿體 •，及 用來自於該混合物的矽滲入該接觸後的物體。 2 8 .如申請專利範圍第2 7項之方法，其中該漿體 包含水和分散劑。 2 9 .如申請專利範圍第2 7項之方法，其更包括將 一種多孔物體浸入該漿體內以便使S i - B N混合物塗覆 該物體，及乾燥該物體。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4-