TW528885B

TW528885B - Micromirror device using interdigitated cantilevers and applications thereof

Info

Publication number: TW528885B
Application number: TW091105976A
Authority: TW
Inventors: Koeng Su Lim; Jun-Bo Yoon; Jin-Wan Jeon
Original assignee: Korea Advanced Inst Sci & Tech
Priority date: 2001-09-13
Filing date: 2002-03-27
Publication date: 2003-04-21
Also published as: DE60212021T2; KR100398310B1; EP1293820A3; EP1293820A2; JP2003098449A; DE60212021D1; US20030048244A1; US7081872B2; EP1293820B1; JP3804050B2; KR20030023300A

Description

528885 五、發明說明（1) 發明背景：發明領域本發明係有關於一種微鏡裝置，並且特別係有關於使用交錯懸臂製作成簡單結構的且具有雙穩定轉動狀態的微鏡裝置及其應用。 ^ 習知技術說明應用於影像顯示裝置的典型微鏡裝置，以二維設置於一基底上，於其上，製造定址電路，並且藉由靜電力驅動以便以一既定角度反射入射光。此等微鏡裝置可應用於光資訊處理、影像顯示裝置，例如投影顯示器、電&影像與圖案監視器、電視或光學掃描裝置，像是複印機。〜種省知被鏡裝置之範例已揭露於美國專利第5 $ 3 5 047號’於1996年7月9日發證予Larry J· Hornbeck。第1 圖係應用於影像顯示器之習知微鏡裝置的組合立體圖式。參考第1圖，於一定址電路上，設置包括一軛型定址電極 10與一著陸部位11的第一層。於第一層上，設置藉由一定址支撐柱12支撐的一第二層，且其具有一鏡面定址電極13 、一扭轉樞紐14及直接與一鏡面17接觸的一軛部15。鏡面 17設置於第二層上，且經由一鏡面支撐柱16與軛部15耦接。因f ’此微鏡裝置包括具有定址電路的四層；及包括用以支擇鏡面定址電極層的支撐柱，用以支撐鏡面的支撐柱 ’與鏡面、扭轉樞紐連接的軛部，用以於輛部定址電極與之間施加電壓的一輛部定址電極，及用以驅動上述鏡面的兩定址電極。

528885 五、發明說明（2) 第2圖係沿著樞紐之長度方向之中央線切割第1圖之微鏡裝置的剖面圖式，並且顯示鏡面1 7、軛部1 5、樞紐1 4及各個層。參考第2圖，鏡面17經由鏡面支撐柱16與軛部15 連接。樞紐1 4設置於輟部1 5之下方，並且當作一旋轉軸。定址電極1 0 電路，其亦第3A圖線切割鏡面，上述習知 3A圖所示，鏡面1 7藉由後，其與著 3B圖所示，鏡面1 7以相並且光的反此，藉由利可以提供光離螢幕。與支撐柱12 與部分塗佈與第3B圖係之轉動狀態技術不相關當一電位差靜電力以一陸部位11碰當一電壓施反方向轉動射角度根據用微鏡改變進入一鏡頭連接’並且經過著一保護氧化薄沿著垂直於樞紐之剖面圖式。於的元件的標示數施加於鏡面1 7與方向轉動；並且觸且隨後停止。加於鏡面1 7與另。因此，鏡面1 7 鏡面之兩種轉動自固定方向入射 (未顯不）及一螢處理後形成一定址膜8的一基底6。之長度方向之中心第3A圖與第3B圖中子在此忽略。如第一電極1 0之間時，於轉動既定角度之另外一方面，如第一電極1 0之間時，具有雙穩定狀態，狀恶變得不同。因的光的行進路徑，幕（未顯示），或偏、q γ讽桃取1巴兮鏡面、鲕却及各個支撐柱，且具有複雜的結構，因此呈 ° 、樞知能製造微鏡裝置之缺點。如此，以固定 ^百太夕步驟才困難，並且製造鏡面的製造成本變得报1高年驅動鏡面相當進-步，於習知微鏡裝置，由於藉：極施加適當的電壓，鏡面總是以左 f =鏡面定址電興右邊方向的兩

5151-4739-PF(N).ptd 第8頁 528885 £、發明說明（3) 動，枢紐總是處於扭曲狀態。由於此種操作藉由主要Ξ i的樞紐實施，樞紐的韌性作為決定鏡面之特性的發明概述：目的2此，本發明係用以解決上述問題，並且本發明之一微鏡裴=利用簡單的結構，提供具有雙穩定轉動狀態的一微鏡ί ΐ 1月ί另一目的在於提供一光切換元件，具有上述規凌置之應用，可以簡單結構實施。發明之再一目的在於提供一影像顯示裝置，具有上裢鏡装置之應用，可顯示高晝質影像。為了達到本發明之上述目的，提供一微鏡裝置，其包 • (a) 一基底；（b)至少兩凸出支撐柱，於基底上以左右二，凸出地設置，且彼此以既定的間距分開；（c)與基底平行形成的許多懸臂，每一懸臂具有一端固定於各個凸出的支撐柱之頂端部位，且製作成具有彈性恢復力之薄片狀’其中彼此相鄰的懸臂係彼此平行且交錯；（d)鏡面支 f柱’搞接於懸臂另一端之之頂端部位；（e) 一鏡面，附著於所有的鏡面支撐柱之頂端且藉由鏡面支撐柱支撐；以及（f)兩個電極’形成於基底上的左右兩側，用以對於鏡面提供靜電力；其中，微鏡裝置藉由利用於電極與鏡面之間施加一電壓的靜電力及懸幣的彈性恢復力，以不同的方向反射入射於鏡面上的光。為了或得本發明之另一目的，提供一光切換裝置，其

5151-4739-PF(N).ptd 第9頁 528885 五、發明說明（4) 包括：光束入裝置；上述微鏡裝置，以不同的兩個方向反射自光輸入裝置輸出的光；以及兩個光輸出裝置，以便輪出藉由微鏡裝置反射的光。 ] 當只有使用一個微鏡裝置時，可以實現1 X 2光切換單元。再者，當使用陣列排列的微鏡裝置時，可以實施一光多重切換裝置。為了達到本發明之其它目的，揭露的影像顯示裝置包括：（a ) —光源；（b)二維陣列排列的微鏡裝置，每一微鏡裝置具有如上所述的微鏡裝置的相同結構；（c) 一驅動電路’用以施加電信號至陣列排列的微鏡裝置之電極，如此入射於陣列排列的微鏡裝置上的光，沿著一第一路徑與一第二路徑選擇性地反射；（d) —彩色濾波片，當沿著第一路從反射的光通過此彩色濾光片後，呈現與像素對應的色彩；（e ) —螢幕，藉由利用通過彩色濾波片之光顯示一影像；以及（d ) —光吸收平板，用以吸收沿著第二路徑反射的光。較佳實施例詳細說明：本發明之較佳實施例將參考附加圖式詳細說明之。在此’相同的元件將標示相同的參考數字且相同的說明將省略。第4圖係根據本發明之實施例，應用於影像顯示器之微鏡裝置之分解立體圖式。參考第4圖，微鏡裝置包括一基底21，於其上形成一定址電路；電極22，形成於基底21 上；三個凸出支撐柱23，附著於基底21上；三個懸臂25 ’

5151-4739-PF(N).ptd 第10頁 528885 發明說明（5) 利用其各自的一端附著於各個凸出支撐柱23且支撐之；三個鏡面支撐柱24，分別附著於各個懸臂25之另一端；以及 /鏡面20 ’附著於鏡面支撐柱24之頂端部位。每一懸臂μ 係製作成薄板狀。三個凸出支撐柱23之設置，係支撐相鄰的懸臂，且與基底21之中心線b-b，相關，於基底21上之對立位置交錯地設置。懸臂2 5係彼此平行且交錯地排列。因此，二個鏡面支撐柱24係適當地設置，使得附著於相鄰懸臂的鏡面支撐柱，交錯地附著於與基底21之中心線b — b，相關，鏡面20之對立位置處。對於排列於基底21上的電極施加電壓，具有鏡面支撐柱24且與凸出支撐柱23連接的薄帶狀懸臂25藉由靜電力而遭受延伸或收縮應力，並且因此朝上或朝下變形，因此而轉動鏡面2〇。此外，由於三個懸臂25係交錯的，且凸出支撐柱23固定於基底以之位置及^ 面支撐柱24之附著位置係交替形成於對立的位置；微鏡裝置具有兩種轉動狀態，其根據靜電力之施加方向鏡面以既定角度朝向左邊方向或右邊方向傾斜。至此，依據施加的靜電力強度可以調整鏡面20的轉動角度。關於施加電壓至鏡面20而驅動鏡面20與懸臂25的此對定址電極22，分形成於基底21表面上的定址電路（未顯示）連接。 ” 顯示於第4圖中的微鏡裝置’考慮藉由電極22與鏡面支撐柱24施加至鏡面的力’居中的懸臂具有較外側的懸臂具有較大尺f。或者，Λ等懸臂可以製作成較小尺寸多^於此範例中，複數懸臂係交錯地排列種轉動狀態。t懸臂數量為偶數時，為了平衡施加至鏡面

5151-4739-PF(N).ptd 528885 五、發明說明（6) 的力I，所有的懸臂最好具有相同的尺寸。當懸臂數量為 · 奇數時’居中的懸臂最好製造地較其餘的懸臂呎吋大，並且其餘的懸臂具有相同的尺寸。第5圖係第4圖之微鏡裝置之平面圖式，其中移除了鏡面且自基底上方觀察。參考第5圖，用以支撐懸臂25之凸出支撐柱23，與用以支撐鏡面的鏡面支撐柱24係以關於基底21之垂直中線a —a’對稱排列。鏡面定址電極22係以關於基底21之中心線b-b’對稱形成。於此平面圖式中，電極22 係不與凸出支撐柱2 3重疊方式形成。藉由上述結構，鏡面 20受到與轉動的兩個方向有關的控制力量，並且因此且有馨兩個轉動狀態。 a 苐6 A圖與第6 B圖係顯示於第4圖中且沿著居中的懸臂之，度方向之中心線，顯示微鏡裝置内的鏡面之轉動驅動狀態之概要剖面圖式。如第6A圖所示，當一既定電壓施加於左侧電極22a與鏡面20之間，並且因此於左側電極22a與鏡面20之間產生靜電力時，鏡面2〇藉由箭號^指示的方向轉，二同時，附著於鏡面之右侧的一鏡面支撐柱於右側向上提南’以及連接的懸臂因此遭受到一彈性恢復力。結果，鏡面變得傾斜於一位置，其中靜電力與彈性恢復力保持平衡狀態。同時，入射光藉由鏡面2〇反射，且經由一鏡馨頭30朝向一螢幕（未顯示）行進。參考第6B圖’當一既定電壓施加於右側電極22b與鏡面20之間時’鏡面2〇藉由箭號『2指示的方向轉動。同時，於支撐鏡面20的鏡面支撐柱24中，位於右侧的一鏡面支撐

528885 五、發明說明（7) 柱往左下方降低，以及位於左側的其餘鏡面升起。由於位於基底2 1上的凸出支擇柱係 ^嫁检於左側藉由上述操作遭受到彈性恢復力。如同第/疋的’懸臂25 ，入射光藉由鏡面20反射，但是並未姐曰中所示範例螢幕（未顯示）行進。、、二一鏡頭30朝向一如上所述，當鏡面20自水平狀態傾斜時，一臂大大地提供彈性恢復力且穩定地支撐鏡面。交錯f 自基底向上凸出的凸出支撐柱製作於假= 樓柱更長，鏡面藉由凸出支撐柱而牴觸支ί =… 無法進一步轉動，因此避免由於鏡面與電極n 鏡面具有精確的轉動角度。觸之缺”沾且第7圖係根據本發明之實施例之微鏡裝置之平面，H除了鏡面且自基底上方觀察。當第7圖與第5y比較時，第7圖之結構的差異在於複數交錯的、小尺寸的懸臂25a與25b支撐此鏡面。此處的參考數字25a與25b係根^康其方向而分類；例如，具有相同方向的懸臂被分類成相同的參考數f。參考第7圖，微鏡裝置具有一基底21，於其上具有一定址電路；形成於基底21上的電極22 ;附著於基底21上的複數凸出支撐柱23 ;複數小尺寸懸臂25，利用其各自的一端附著於各個凸出支撐柱23且藉由其支撐之；鏡面支撑柱24 ’分別附著於各個懸臂25之另一端；以及一鏡面20 ’附著於鏡面支撐柱24之頂端部位。每一懸臂25係製作成一薄板。凸出支揮柱2 3被適當地放置，如此支撐相鄰的懸臂的凸出支撐柱係交替地附著於基底21上，與基底21

5151-4739-PF(N).ptd 第13頁 528885 五、發明說明（8) 之中心線b-b’有關的對立位置。懸臂25係以彼此平行、交錯地4非列。因此，鏡面支撐柱24被適當地放置，如此附著於相鄰懸臂上的鏡面支撐柱係交替地附著於鏡面2 〇上，與基底2 1之中心線b_b’有關的對立位置。當鏡面20自平衡狀態以一既定角度傾斜且具有各種形狀，交錯懸臂2 5對於鏡面2 0提供彈性恢復力。因此，使用複數懸臂可以分散支撐鏡面之負重，加強彈性恢復力，並且亦以兩種轉動狀態驅動此鏡面。第8 A圖與第8 B圖係根據本發明之實施例，使用微鏡裝置之鏡面之剖面圖式。如第8A圖所示，鏡面20可以利用可反射光的金屬製造。或，如第8B圖所示，鏡面20可使用導電材料與具有高反射率的金屬製造一多層結構。例如，一下導電層2〇a與具有鏡面支撐柱24的鏡面支撐結構，懸臂25與凸出支撐柱23 係以導電材料製造，例如鎳（Ni)或多晶矽（Poly-Si)，同時中間層20b與上層20c係以具有高反射率的鋁或銀金屬層至造成一雙層結構。第9 A圖與第9 B圖係根據本發明之實施例，顯示用以降低微鏡裝置内之驅動電壓的一電極結構之平面圖式與剖面圖式。 ^ 參考第9A圖’第9A圖之結構係基本上與第5圖相同，除了形成於基底上的電極22c與22d延伸至鵡臂以之下方的差異。於此結構中丄由於連接於用以支撐鏡面的鏡面支撐柱24的懸臂25可以實現如同電極的功能，延伸的電極22c

528885 發明說明（9) 與22d造成放置產生更精確的靜電力的電極。換言之，由於鏡面與形成於基底上的電極之間的電位差，第5圖之結構產生靜電力·，然而，由於懸臂25與形成於基底上的電°極 2 2c或22d之間的電位差，第9A圖之結構產生靜電力。然後，於具有相同的電位差的結構中，電極之間的間隔越少，產生的靜電力就越大。因此，如同於第9A圖所示，電極與懸臂之間的排列變化可降低驅動電壓。〃第9Β圖係沿著第9 Α圖之c — c，線切割的剖面圖式。此等微鏡裝置可應用於光學網路系統中的光切換單元。於此等應用中，由於關於一個輸入可以形成兩個輸出方向，其可應用當作一1x2光切換單元。第1 0A圖與第1 〇B圖係根據本發明之另一實施例，說明使用Μ鏡農置的ιχ 2光切換單元之操作圖式。此微鏡裝置可以兩個方向轉動’並且具有兩個轉動驅動狀態。參考第 10A圖光自一輸入光纖34入射本發明之微鏡裝置32之鏡面20 ° S 一電壓施加於形成於一基底21上的一電極（未顯不）鏡面2 〇之間時，於其之間藉由電位差產生一靜電力 :此评電力轉動此鏡面20，藉此將入射光傳遞至一第一輸出光纖36a。田+ ^ 一口此，實現此1 X 2光切換單元38。 μ 時’參考第10Β圖，當一電壓施加於形成於一基底 Ζ 1 上的另 * Φ" J.-T1 / _» 〇、 ,ΠΛ㈤晃極（未顯示）與鏡面20之間時，鏡面20以與第 1 ϋ A圖之及士人光纖咖。動’ &且藉此將人射光傳遞至第二輸出 x , j以連接複數1 X 2光切換單元，藉此可增加輸入與輸出之數量。干70

528885 五、發明說明（ίο) 上述微鏡裝置可實現相當於影像顯示裝置中一素之功能。此外，藉由將微鏡裝置以二維排列，可早兀像高畫值影像。』以顯示第11圖係根據本發明之另一實施例，顯示列的微鏡裝置的影像顯示器之概要圖式。用陣列排參考第nffl，自-光源12()發射的光束人射電路（未顯示）的二維鏡面陣列110。藉由驅動電路Π動電極^面之間產生電位差，輸人光束根據、之驅：狀態被反射至—第一光路徑112或一 : 。错由各個微鏡裝置反射至第一光路程112的光束，：1 由“ 1鏡140通過-彩色濾光片15〇，因此顯示片15〇之彩色像素之顏色’並且因此於一榮幕16。上顯^ 影，。/相對地’反射至第二光路徑114的光束並未朝向透鏡140仃進，而是藉由一光吸收板13〇吸收；因此於螢幕透 160上顯不一黑暗影像。因此，微鏡裝置之二維排列以及使二=12〇、透鏡14G及彩色濾光片150，可應用於一種新的:像顯示方法。利用陣列排列的微鏡裝置的此影像顯不方法，與典型的平面顯示器之液晶顯*器比較，可獲得高對此^卜’微鏡裝置之小尺寸可獲得高畫質影像，並且可輕易地獲得一大尺寸的平面顯示器。 :匕外’交錯懸臂支撐結構可應用於各種應用中，例如於超咼頻率電路中的切換單元。如先前所述，根據本發明，可以實現具有簡單結構與低製造成本的一微鏡裝置及其應用。進一步，與習知的技 528885 五、發明說明（π) 術比較，由於微鏡裝置具有穩定的轉動狀態，降低了微鏡裝置之操作錯誤。雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此項技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍内，當可作更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

5151-4739-PF(N).ptd 第17頁 528885

為讓本發明之上述，下文特舉一實施例，下：目的&视並配

顯易懂明如器的一習知微鏡裝置第1圖係關於影像顯示體圖式; 之分解立第2圖係沿著樞紐之長度方向之中鏡裝置的剖面圖式；央線切割第1圖之微第3A圖與第3B圖係沿著垂直於樞紐之長度線切割鏡面之轉動狀態之剖面圖式； u —中- 第4圖係根據本發明之實施例，應用於影像微鏡裝置之分解立體圖式；第5圖係第4圖之微鏡裝置之平面圖式，其中移除了鏡面且自基底上方觀察；、第6 A圖與第6 B圖係根據本發明之實施例，顯示於微鏡裝置内的鏡面之轉動驅動狀態之概要圖式；第7圖係根據本發明之實施例之微鏡裝置之平面圖式，f中移除了鏡面且自基底上方觀察；第8 A圖與第8 B圖係根據本發明之實施例，使用微鏡裝置之鏡面之剖面圖式；第9A圖與第9B圖係根據本發明之實施例，顯示用以降低微鏡裝置内之驅動電壓的一電極結構之平面圖式與剖面圖式；第1 0A圖與第1 0B圖係根據本發明之另一實施例，説明使用微鏡裝置的1 X 2光切換襞置之操作圖式；以及

5151-4739-PF(N).ptd 第18頁 528885 圖式簡單說明第11圖係根據本發明之另一實施例，顯示使用陣列排列的微鏡裝置的影像顯示器之概要圖式。符號說明 1 0〜軛型定址電極； 1 1〜著陸部位； 1 2〜定址支撐柱； 1 3〜鏡面定址電極； 1 4〜旋轉枢紐； 1 5〜輛部； 16〜鏡面支稽柱； 1 7〜鏡面； 2 0〜鏡面； 21〜基底； 22、22c、22d〜電極； 2 3〜凸出支撐柱； 2 4〜鏡面支撐柱； 25〜懸臂； 3 0〜透鏡； 3 4〜輸入光纖； 36a〜第一輸出光纖； 36b〜第二輸出光纖； 1 1 0〜二維鏡面陣列； 1 12〜第一光路徑； 114〜第二光路徑；

5151-4739-PF(N).ptd 第19頁 528885 圖式簡單說明板;收。幕吸片螢光鏡 ^ ~ ~ ο ο ο 2 3 4 linn 第20頁 5151-4739-PF(N).ptd

Claims

528885 六、申請專利範圍包括 1 · 一種微鏡裝置 (a ) —基底；而至丨少兩凸出支撐柱，於該基底上之左右側之兩行而凸出排列，並且藉由一既定間隔彼此分開；附著’形成與上述基底平行，每一懸臂具有有彈料π〆2 f f柱之頂端部位的一端，並且製作成具行且交^设的濤▼狀，其中彼此相鄰的懸臂被排列成平接·（）鏡面支撐柱’肖上述懸臂之另一端的頂端部位耦卄S，附著於所有的鏡面支撐柱之頂端部位上，並且耩由該等鏡面支撐柱支撐；以及 (f )兩電極，形成於上述基底之左右側，用以對於該鏡面提供一靜電力；八中因為忒微鏡裝置藉由於該電極與鏡面之間施加沾：產生的靜電力及懸臂的彈性恢復力，反射入射該鏡面的光至不同的方向。料請專利範圍第1項所述的微鏡裝置，其中上述心’數里為偶數，且彼此尺寸相同。料辟3机t申請專利範圍第11員所述的微鏡裝置，其中上述 ‘必里為可數，排列於中間的懸臂之尺寸較其餘的懸臂更大，並且其餘懸臂具有相同的尺寸。〜 4;如申請專利範圍第1項所述的微鏡裝置，其中上述鏡面係以金屬製造。 5151-4739-PF(N).ptd 第21頁 528885 m _______/ - 六、申請專利範圍 5 ·如申請專利範圍第i項所述的微鏡&裝^置，其中上述整個鏡面係以導電材料製造，真包括鍍著單一層或雙層高反射率金屬的一光反射面。 6·如申請專利範圍第i項所述的微鏡裝置，其中上述電極係沿著上述懸臂下方形成，以便以一低電壓驅動上述微鏡裝置。 7· —種1x2光切換襞置，包栝· (a) 光輸入裝置； (b) —微鏡裝置，以不同的兩個方向反射自上述光輸入裝置輸出的光，該微鏡裝置包栝： (b -1) — 基底； (b-2)至少兩凸出支撐柱，於上述基底上以左右側之兩行凸出排列，且彼此以既定間隔分隔； (b - 3)複數懸臂，平行於該基底而形成，每一懸臂具有一端附著於各個凸出支撐柱之頂端部位，且製作成具有彈性恢復力的薄板，其中與彼此相鄰的該懸臂被排列成平行且交錯的； (b —4)鏡面支撐枉，與上述懸臂之另一端之頂端部位柄接， (b—j) —鏡面，附著於所有的鏡面支撐柱之頂端部位’且藉由該等鏡面支撐柱支撐；以及 (b-6)兩電極，形成於該基底之左右側，用以對於該鏡面提供~靜電力；其中’因為該微鏡裝置藉由於該電極與鏡面之間施加

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電壓產生的靜電力及懸臂的彈性恢復力，反射入射該鏡面的光至不同的方向；以及 (C)兩光輸出裝置，輸出藉由該微鏡裝置反射的光。 8 ·如申請專利範圍第7項所述的1 X 2光切換裝置，其中上述光輸入裝置及光輸出裝置皆以光纖製造。 9· 一種η X 2n光切換裝置，包括： (a) n個光輸入裝置； (b) n個陣列排列的微鏡裝置，每一微鏡裝置以不同的兩個方向反射自上述每一光輸入裝置輸出的光，該微鏡裝置包括： (b-Ι) — 基底； (b-2)至少兩凸出支撐柱，於上述基底上以左右側之兩行凸出排列，且彼此以既定間隔分隔； (b-3)複數懸臂，平行於該基底而形成，每一懸臂具有一端附著於各個凸出支撐柱之頂端部位，且製作成具有彈性恢復力的薄板，其中與彼此相鄰的該懸臂被排列成平行且交錯的； (b-4)鏡面支撐柱’與上述懸臂之另一端之頂端部位耦接； (b-5) —鏡面，附著於所有的鏡面支撐柱之頂端部位，且藉由該等鏡面支撐柱支撐；以及 (b - 6)兩電極，形成於該基底之左右側，用以對於該鏡面提供一靜電力；其中’因為該微鏡裝置藉由於該電極與鏡面之間施加

5151-4739-PF(N).ptd 第23頁 528885 六、申請專利範圍電壓產生的靜電力及懸臂的彈性恢復力，反射入射$鏡面的光至不同的方向；以及 (c)2n個光輸出裝置，輸出藉由每一微鏡裝置反射的光。 1 〇 · —種影像顯示裝置，包括： (a) —光源； (b) 二維陣列排列的微鏡裝置，每一微鏡裝置包括： (b-1) — 基底； (b-2)至少兩凸出支撐柱，於上述基底上以左右側之兩行凸出排列，且彼此以既定間隔分隔； (b-3)複數懸臂，平行於該基底而形成，每一懸臂具有一端附著於各個凸出支撐柱之頂端部位，且製作成具有彈性恢復力的薄板，其中與彼此相鄰的該懸臂被排列成平行且交錯的； (b-4)鏡面支撐柱，與上述懸臂之另一端之頂端部位搞接， (b-5) —鏡面，附著於所有的鏡面支撐柱之頂端部位’且藉由該等鏡面支撐柱支撐；以及 (b-6)兩電極，形成於該基底之左右側，用以對於該鏡面提供一靜電力； &、其中’因為該微鏡裝置藉由於該電極與鏡面之間施加電壓產生的静電力及懸臂的彈性恢復力，反射入射該鏡面的光至不同的方向； (C) 一驅動電路’提供一電子信號至該等陣列排列的

5151-4739-PF(N).ptd 第24頁 528885· 六、申請專利範圍微鏡裝置之電極，使得入射陣列排列的微鏡裝置的光選擇性地沿著一第一路徑及第二路徑反射； (d ) —彩色濾光器，當沿著上述第一路徑反射的上述光通過該彩色濾光器時，其顯示與像素對應的顏色； (e ) —螢幕，用以顯示藉由通過上述彩色濾光器的光的影像；以及 (f ) 一光吸收板，用以吸收沿著第二路徑反射的光。

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