經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 508657 8547pif/013 A7 _____B7 五、發明説明（ί ) 發明所屬的技術領i:或 本發明係有關於一種電子束曝光裝置、照射位置檢測 方法以及電子k測裝置。而且，本發明係與下述之日本專 利相關在参如文獻時請依據指定國家進行參照，且在參 照下述發明中所記載之內容之後，即納入本發明中，爲本 發明之記載的一部份。 特願2000-371622 申請日平成12年12月6曰 習知的技術 使用複數_子束進行晶圓曝光處理的習知電子束曝光 裝置，在對電子束曝光裝置的照射位置進行補正的場合， 對於設置在晶圓或是晶圓平台的照射裝置檢測用標記上， 以全部的電子束依序照射之，以檢測出個別電子束照射位 置而求取補正値。 伴隨著近年來半導體元件的細微化，並朝向利用電子 束曝光裝置的半導體元件的量產化，而期望能夠將曝光處 理以及電子束照射位置的補正處理高速化。 但是’習知的電子束曝光裝置，爲了補正全部電子束 的照射位置，全部的電子束依順序照射標記，由於必須檢 測出個別電子束的照射位置，需要非常長的時間，因而希 望有短時間補正電子束的照射位置的方法。 此處本發明的目的在提出一種電子束曝光裝置、照射 位置檢測方法以及電子檢測裝置，能夠解決上述的課題。 此目的係由申請專利範圍的獨立項所記載的特徵組合所達 4 --------^裝·----—、玎------^9 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） 83. 3. !〇,〇〇〇 508657 8547pif/〇13 八7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 五、發明説明（2 ) 成。而且附屬項規定了本發明有利的具體例。 發明的揭示 爲了達成本發明的目的，依本發明的第一實施例，以 複數電子束對晶圓上的圖案曝光的電子束曝光裝置中，其 具備有：產生複數電子束的電子束發生部、被電子束照射， 以檢測出電子束的照射位置的標記部、設置於複數電子束 之間，檢測出由標記部所放射的電子，並基於所檢測的電 子量輸出檢測信號的第1電子檢測部、基於檢測信號，檢 測出電子束的照射位置的位置檢測部。 複數電子束之中第1電子束的光軸、第2電子束的光 軸與第1電子檢測部，亦可以實質的設置於一直線上。電 子束發生部亦可以略等間隔的產生3個以上的電子束，第 1電子檢測部設置在3個以上的電子束的個別電子束之 間。 第1電子檢測部亦可以複數個設置於複數電子束之中 的2個電子束之間。複數的第1電子檢測部亦可以對應複 數電子束的個別電子束設置。亦可以在複數電子束的個別 電子束周圍更具備第2電子檢測部。 而且，亦可以更具備有獨立切換複數電子束是否照射 到標記部的照射切換裝置，此照射切換裝置於第1時點， 以複數電子束中的第1電子束照射，於第2時點，以鄰接 第1電子束的第2電子束照射。位置檢測部於第1時點， 基於對應第1電子束設置的第1電子檢測部所輸出的檢測 5 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) W -項再填· 裝· 訂 破- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 83. 3.1〇,〇〇〇 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明（3) 信號，檢測出第1電子束的照射位置、於第2時點，基於 對應第2電子束設置的第1檢測部所輸出的檢測信號，檢 測出第2電子束的照射位置。 照射切換裝置亦可以於第1時點，以包含第1電子束 的第1電子束群照射，於第2時點，以第1電子束群以外 的電子束之包含第2電子束的第2電子束群照射。 尙且，亦可以更具備有獨立切換複數電子束是否照射 到標記部的照射切換裝置，此照射切換裝置於第1時點， 以複數電子束中的第1電子束照射，於第2時點，以鄰接 第1電子束的第2電子束照射。位置檢測部於第1時點， 基於第1電子檢測部所輸出的檢測信號，檢測出第1電子 束的照射位置，於第2時點，基於第1電子檢測部所輸出 的檢測信號，檢測出第2電子束的照射位置。 照射切換裝置亦可以於第1時點，以包含第1電子束 的第1電子束群照射，於第2時點，以第1電子束群以外 的電子束之包含第2電子束的第2電子束群照射。 第1電子檢測部係個別設置於：第1電子束群內所包 含的個別電子束與第2電子束群內所包含的個別電子束之 間、位置檢測部係於第1時點，基於此電子束鄰接的第1 電子檢測部所輸出的檢測信號，檢測出包含於第1電子束 群內的電子束的照射位置，於第2時點，基於此電子束鄰 接的第1電子檢測部所輸出的檢測信號，檢測出包含於第 2電子束群內的電子束的照射位置。 電子束發生部亦可以格子狀的產生複數電子束、第1 6 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） " 83. 3.10,000 --------裝 訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明（LV ) 電子檢測部設置於複數電子束的個別電子束之間、位置檢 測部於第1時點，基於第1電子束群內所包含的個別電子 束的周圍所設置的第1電子檢測部所輸出的檢測信號5檢 測出包含於第1電子束群內的電子束的照射位置，於第2 時點，基於第2電子束群內所包含的個別電子束的周圍所 設置的第1電子檢測部所輸出的檢測信號，檢測出包含於 第2電子束群內的電子束的照射位置。 亦可以更具備設置於複數電子束之中的1個電子束與 第1電子檢測部之間的遮蔽板。亦可以更具備設置於複數 電子束之中的第1電子束處的第1電子檢測部，與設置於 鄰接第1電子束照射的第2電子束處的第1電子檢測部之 間的遮蔽板。遮蔽板亦可以設置於第1電子束的晶圓載置 面的照射位置，與設置於第2電子束處的第1電子檢測部 之間。亦可以更具備有設置於複數電子束周圍的第2電子 檢測部周圍的遮蔽板。 亦可以更具備有：使複數電子束獨立偏向的偏向部、 控制偏向部的偏向控制部、對第1電子束，設置於與由第 1電子束向第1電子檢測部的第1方向的第2方向略垂直 的第2電子檢測部，以偏向控制部控制偏向部，以使第1 電子束偏向第2方向，第2電子束偏向第1方向、位置檢 測部基於第2電子檢測部所輸出的檢測信號，檢測出第1 電子束的照射位置，基於第1電子檢測部所輸出的檢測信 號，檢測出第2電子束的照射位置。 亦可以更具備包夾於第1電子束，面向第2電子檢測 7 ------1——^裝.-------1T------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 83. 3. 10,000 508657 8547pif/〇l3 A7 B7 五、發明説明（7) 部的位置設置的第3電子檢測部、包夾於第2電子束，面 向第1電子檢測部的位置設置的第4電子檢測部，位置檢 測部基於第2電子檢測部與第3檢測部所輸出的檢測信 號’檢測出第1電子束的照射位置，基於第1電子檢測部 與第4檢測部所輸出的檢測信號，檢測出第2電子束的照 射位置。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 亦可以更具備包夾於第1電子束，面向第1電子檢測 邰的位置設置的第5電子檢測部、對第2電子束，設置於 第2方向的第6電子檢測部、包夾於第2電子束，面向第 6電子檢測部的位置設置的第7電子檢測部，以偏向控制 部控制偏向部於第1時點，使第1電子束偏向第2方向， 使第2電子束偏向第1方向，於第2時點，使第1電子束 偏向第1方向，使第2電子束偏向第2方向、位置檢測部 基於第1時點中的第2電子檢測部與第3電子檢測部所輸 出的檢測信號，與第2時點中，第1電子檢測部與第5電 子檢測部所輸出的檢測信號，檢測出第1電子束的照射位 置，基於第1時點中，第1電子檢測部與第4電子檢測部 所輸出的檢測信號，與第2時點中，第6電子檢測部與第 7電子檢測部所輸出的檢測信號，檢測出第2電子束的照 射位置。 本發明的其他實施例，係在以複數電子束個別照射標 記部，使用電子檢測器檢測出由標記部放射的電子量，以 檢測出複數電子束的照射位置的檢測方法中具備有：產生 包含第1電子束與第2電子束的複數電子束的電子束產生 83. 3. 10,000 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標率局貝工消費合作社印製 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明（b) 步驟、以第1電子束照射標記部的第1照射步驟、使用設 置於第1電子束與第2電子束之間的第1電子檢測部，檢 測出由標記部放射的電子的第1電子檢測步驟、基於由第 1電子檢測部輸出的檢測信號，檢測出第1電子束的照射 位置的第1位置檢測步驟、以第2電子束照射標記部的第 2照射步驟、使用第1電子檢測部，檢測出由標記部放射 的電子的第2電子檢測步驟、基於由第1電子檢測部輸出 的檢測信號，檢測出第2電子束的照射位置的第2位置檢 測步驟。 並且，亦可以於第1電子檢測步驟使用第1電子檢測 部內所包含的第1電子檢測器，檢測出由標記部放射的電 子、第1位置檢測步驟，基於第1電子檢測器所輸出的檢 測信號，檢測出第1電子束的照射位置、第2電子檢測步 驟使用第1電子檢測部內所包含的第2電子檢測器，檢測 由標記部放射的電子、第2位置檢測步驟，基於第2電子 檢測器所輸出的檢測信號，檢測出第2電子束的照射位置。 亦可以於第1照射步驟，以包含第1電子束的第1電 子群照射、於第2照射步驟，以前述第1電子束群以外的 電子束之包含第2電子束的第2電子群照射。亦可以於第 1照射步驟，以包含於第1電子束群內的複數電子束，略 等間隔的照射、於第2照射步驟，以包含於第2電子束群 的複數電子束，略等間隔的照射。 電子束發生步驟亦可以包含：產生第1電子束群內所 包含的第3電子束與第2電子束群內所包含的第4電子束 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 ------11_^裝——一-----、tr-----耆 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明（η) 的步驟、第1照射步驟包含以第3電子束照射標記部的步 驟、第1電子檢測步驟，包含使用設置於第3電子束與第 4電子束之間的第2電子檢測部，檢測由標記部放射出的 電子的步驟、第1位置檢測步驟，包含基於第2電子檢測 部所輸出的檢測信號，檢測出第3電子束的照射位置的步 驟、第2照射步驟包含以第4電子束照射標記部的步驟、 第2電子檢測步驟，包含使用第2電子檢測部，檢測由標 記部放射出的電子的步驟、第2位置檢測步驟，包含基於 第2電子檢測部所輸出的檢測信號，檢測出第4電子束的 照射位置的步驟。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 依本發明的再另一實施例，以複數電子束個別照射標 記部，使用電子檢測部檢測出由標記部所放射的電子量， 檢測出複數電子束的照射位置檢測方法中，具備有：產生 包含第1電子束與鄰接第1電子束照射的第2電子束的複 數電子束的電子束發生步驟、使第1電子束偏向由第1電 子束朝向第2電子束的方向的第1方向照射標記部，第2 電子束偏向略垂直於第1方向的第2方向照射標記部的第 1照射步驟、基於對第1電子束的第1方向設置的第1電 子檢測部所輸出的檢測信號，檢測出第1電子束的照射位 置，基於對第2電子束的第2方向設置的第2電子檢測部 所輸出的檢測信號，檢測出第2電子束的照射位置的第1 位置檢測步驟。 更具備有第1電子束偏向與第2方向略平行的方向照 射標記部，第2電子束偏向與第1方向略平行的方向照射 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明（8) 標記部的第2照射步驟、基於對第1電子束，設置於與第 2方向略平行的方向第3電子檢測部所輸出的檢測信號， 檢測出第1電子束的照射位置，基於第1電子檢測部所輸 出的檢測信號，檢測出第2電子束的照射位置的第2位置 檢測步驟。 本發明的更另一實施例，藉由以電子束照射用以檢測 出電子束照射位置的標記部，檢測出由標記部放射出的電 子的電子檢測裝置中，具備有：設置複數開口部的基板、 設置於複數開口部中的預定開口部與鄰接預定的開口部的 其他開口部之間的第1電子檢測部。 亦可以將複數開口部以格子狀複數設置，第1電子檢 測部設置於複數開口部的個別開口部之間。亦可以將第1 電子檢測部對應複數開口部的個別開口部設置。亦可以於 複數開口部的個別開口部的周圍更具備有第2電子檢測 部。 亦可以更具備有設置於預定開口部的電子檢測部，與 設置於其他開口部的電子檢測部之間的遮蔽板。亦可以更 具備有設置於複數開口部的周圍所設置的電子檢測部的周 圍的遮蔽板。 尙且上述的發明槪述，並非全部列舉本發明的必要特 徵，此些的特徵群的組合亦能夠構成本發明。 圖式之簡單說明 第1圖所繪示爲本發明的一實施例的電子束曝光裝置 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83.3. 1〇000 --------^ 黎-------、訂------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 508657 8547pif/〇i3 A7 B7 五、發明説明（C| ) 100的構成示意圖； 第2圖所繪示爲本實施例的電子束曝光裝置1〇〇的電 子檢測裝置200的第1實施例示意圖，· 第3A圖至第3B圖所繪示爲依第1實施例的電子束 的照射位置的檢測方法的一例示意圖； 第4圖所繪示爲依第1實施例的電子束的照射位置的 檢測順序的一例示意圖； 第5A圖至第5D圖所繪示爲依第1實施例的電子束 的照射位置的檢測方法的其他例示意圖； 第6圖所繪示爲本實施例的電子束曝光裝置100的電 子檢測裝置200的第2實施例示意圖； 第7A圖至第7B圖所繪示爲依第2實施例的電子束 的照射位置的檢測方法的一例示意圖； 第8圖所繪示爲依第2實施例的電子束的照射位置的 檢測順序的一例示意圖； 第9圖所繪示爲本實施例的電子束曝光裝置100的電 子檢測裝置200的第3實施例示意圖； 第10圖所繪示爲依第3實施例的電子束的照射位置 的檢測方法的一例示意圖；以及 第11圖所繪示爲依第3實施例的電子束檢測裝置200 的其他例示意圖。 圖式之標記說明 8 :外罩 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事_ -裝-- -項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 83.3.10,000 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 508657 8547pif/013 A7 _B7____ 五、發明説明u〇) ίο:電子束發生部 10a、10b、10c、10d :電子束 14 :第1成形構件 16 :第1多軸電子透鏡 18 :第1成形偏向部 20 :第2成形偏向部 22 :第2成形構件 24 :第2多軸電子透鏡 26 :匿影電極陣列 28 :電子束遮蔽構件 34 :第3多軸電子透鏡 36 :第4多軸電子透鏡 38 :偏向部 40、40a、40b、40c、40d、40e、40f、40g、40h、40i、 40j、40k、401、40m、40n、40p、40q、40r、40s、40t、40u : 電子檢測部 42 :基板 44 :晶圓 46 :晶圓載物台 48 :晶圓載物台驅動部 50、50a、50b、50c、50d :標記部 52 :第5多軸電子透鏡 54 :開口部 56、58 :遮蔽板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· ^再填寫太 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印褽 508657 B547pif/〇13 A7 B7 五、發明説明（u) 80 :電子束控制部 82 :多軸電子透鏡控制部 84 :成形偏向控制部 86 :匿影電極陣列控制部 92 :偏向控制部 94 :反射電子處理部 96 :晶圓載物台控制部 100 :電子束曝光裝置 110 :電子束成形裝置 112:照射切換裝置 114 :晶圓用投影系統 120 :各別控制部 130 :總括控制部 132 :位置檢測部 140 :控制系統 150 :曝光部 200 :電子束檢測裝置 A、B、C、D :電子束群 較佳實施例 由以下發明的實施例對本發明加以說明，以下的實施 例並不限定申請專利範圍的發明，尙且，發明所必須的解 決手段，並不限定於實施例中所說明的特徵組合的全部。 第1圖所繪示爲本發明的一實施例的電子束曝光裝置 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 --------^^黎-------tr------ (請先閲讀背面之注意事項存填寫本頁) _ 508657 8547pif/〇i3 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（(2 ) 100的構成示意圖。電子曝光裝置100具備有：以電子束 對晶圓進行預定曝光處理的曝光部150，與控制包含曝光 部15〇的構成的動作的控制系統140。 曝光部150具備有電子光學系統，電子光學系統包含·· 於外罩8的內部發生複數電子束，將電子束的剖面形狀依 所期望的成形的電子束成形裝置110、以複數電子束是否 照射於晶圓44，對個別的電子束獨立的切換照射的照射切 換裝置112、調整轉移於晶圓44的圖案的影像的方向與尺 寸的晶圓用投影系統114。尙且，、曝光部150具備有載物 台系統’載物台系統包括：載置必須曝光圖案的晶圓44 的晶圓載物台46、驅動晶圓載物台46的晶圓載物台驅動 部48。再者，曝光部15〇具備有：以照射於設置於晶圓44 或是晶圓載物台46的標記部50的電子束，檢測出由標記 部50放射的2次電子或反射電子的電子檢測裝置200。電 子檢測裝置200檢測出由標記部50放射的電子，並將檢 測出的電子量所對應的檢測信號輸出至反射電子處理部 94 〇 電子束成形裝置110具備有：發生複數電子束的電子 束發生部10、具有使電子束通過的複數開口部，以使照射 的電子束的剖面形狀成形的第1成形構件14與第2成形 構件22、將複數電子束個別獨立的聚焦，以調整複數電子 束焦點的第1多軸電子透鏡16，使通過第1成形構件14 的複數電子束獨立偏向的第1成形偏向部18與第2成形 偏向部20。 15 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 項再填· 裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公羡） 83. 3. 10,000 508657 547pif/013 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（13 ) 照射切換裝置112具備有：將複數電子束個別獨立的 聚焦，調整複數電子束焦點的第2多軸電子透鏡24、藉由 複數電子束的個別獨立與偏向，以對個別的電子束獨立切 換個別的電子束是否對晶圓44照射的匿影電極陣列26、 包含使電子束通過的複數開口部，並遮蔽以匿影電極陣列 26偏向的電子束的電子束遮蔽構件28。在其他範例中， 匿影電極陣列26亦可以爲匿影隙縫陣列元件（blanket aperture array device) ° 晶圓用投影系統114具備有：將複數電子束個別獨立 的聚焦，縮小電子束的照射徑的第3多軸電子透鏡34、將 複數電子束個別獨立的聚焦，調整複數電子束的焦點的第 4多軸電子透鏡36、使複數電子束對個別的電子束獨立的 偏向至晶圓44的所希望位置的偏向部38、對晶圓44作爲 對物透鏡，將複數電子束個別獨立聚焦的第5多軸電子透 鏡52。 控制系統140具備有個別控制部120與總括控制部 130。個別控制部120具有電子束控制部80、多軸電子透 鏡控制部82、成形偏向控制部84、匿影電極陣列控制部 86、偏向控制部92、反射電子處理部94與晶圓載物台控 制部96。總括控制部130具有基於電子檢測部200所輸出 的檢測信號，檢測出電子束的照射位置的位置檢測部132。 而且，總括控制台Π0例如是工作站，對個別控制部120 所包含的各控制部總括控制。 電子束控制部80,控制電子束發生部10。多軸電子 16 本紙張尺@用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " 83 3.1〇,〇〇〇 ------11-^裝^----.——1T-----喻 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 508657 8547pif/〇i3 A7 B7 五、發明説明（丨IV) (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 透鏡控制部82供給第1多軸電子透鏡16、第2多軸電子 透鏡24、第3多軸電子透鏡34、第4多軸電子透鏡36、 第5多軸電子透鏡52電流並加以控制。成形偏向控制器84 控制第1成形偏向部18與第2成形偏向部20。匿影電極 陣列控制部86對包含於匿影電極內的偏向電極外加電壓 並控制。偏向控制部92對包含於偏向部38內的複數偏向 器具有的偏向電極外加電壓並控制。反射電子處理部94， 對應電子檢測裝置200的電子檢測部輸出的檢測信號，與 輸出此信號的電子檢測部，通知總括控制部130的位置檢 測132。晶圓載物台96以晶圓載物台驅動部48驅動，使 晶圓載物台移動至預定的位置。 本實施例的電子曝光裝置1〇〇如下說明。首先，電子 曝光裝置1〇〇檢測出複數電子束的照射位置，電子束的照 射位置檢測處理，由第2圖至第11圖做詳細的說明。然 後，於總括控制部130，基於電子束的照射位置檢測處理 所檢測出的電子束的照射位置，計算出補正電子束照射位 置的補正値。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 以下，對進行曝光處理的電子束曝光裝置100的動作 做說明，使用上述補正處理所算出的補正値對晶圓44進 行曝光處理。電子束發生部1〇產生複數電子束。第1成 形構件14係使電子束發生部10所產生，並照射至第1成 形構件14的複數電子束，以通過設置於第1成形構件14 的複數開口部而成形爲矩形的電子束。於其他例中，亦$ 以更具有分割電子束發生部1〇所發生的複數電子朿的裝 17 張 紙 本 適
I 笨 公 / y 2 508657 8547pif/〇l3 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 五、發明説明) 置，以產生複數電子束。 第1多軸電子透鏡16，將成形爲矩形的電子束獨立的 聚焦’並每〜電子束的獨立調整對第2成形構件22的電 子束的焦點。第1成形偏向部18，於第1成形構件14形 成矩形形狀的電子束，並照射於第2成形構件22的期望 位置且個別獨立的偏向。第2成形偏向部20，將第1成形 偏向部18所偏向的複數電子束，個別偏向至對第2成形 構件22略垂直的方向而照射至第2成形構件22。然後， 包含具矩形形狀的複數開口部的第2成形構件22，藉由照 射於第2成形構件22，具有矩形剖面形狀的複數電子束， 爲具有對晶圓44照射期望剖面形狀的電子束。 第2多軸電子透鏡24，將複數電子束獨立的聚焦，並 個I另1Η蜀ΪΖ：調整對匿影電極陣列26的電子束的焦點。然後， 以^胃2多軸電子透鏡24個別調整焦點的複數電子束，通 過包δ 运影電極陣列26內的複數隙縫（aperture)。 ®影電極陣列控制部86，控制是否外加電壓至設置於 匿影電極陣列26的各隙縫附近的偏向電極。匿影電極陣 列26基於外加至偏向電極的電壓，切換電子束是否對晶 圓44照射。 不以匿影電極陣列26偏向的電子束，通過第3多軸 電子透鏡34。然後第3多軸電子透鏡34將通過第3多軸 電子透鏡34的電子束的電子束直徑縮小。縮小的電子束 通過包含於電子束遮蔽構件28內的開口部。而且，電子 束遮蔽構件28遮蔽以匿影電極陣列26偏向的電子束。通 18 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐） 83. 3. !〇,〇〇〇 ------11_^裝----^---ir----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明qb) 過電子束遮蔽構件28的電子束，入射至第4多軸電子透 鏡36。然後第4多軸電子透鏡36將入射至第4多軸電子 透鏡36個別獨立的聚焦，個別調整對偏向部38的電子束 的焦點。以第4多軸透鏡36調整焦點的電子束，入射至 偏向部38。 偏向控制部92控制包含於偏向器38內的複數偏向 器，入射至偏向器的個別電子束，對晶圓44所必須照射 位置個別獨立的偏向。第5多軸電子透鏡，係對通過第5 電子透鏡的個別電子束對晶圓的焦點進行調整。然後具有 對晶圓44照射所必須剖面形狀的個別電子束，對晶圓照 射必須所期望的位置進行照射。 曝光處理中，晶圓載物台驅動部48基於晶圓載物台96 的指示，以一'定方向連I買移動晶圓載物台4 6較佳。然後， 符合於晶圓44的移動’電子束的剖面形狀形成照射至晶 圓44必需的形狀，決定對晶圓44照射必需電子束通過的 隙縫，再以偏向部38使個別的電子束偏向對晶圓44照射 必需的位置，能夠於晶圓44曝光所期望的電路圖案。 第2圖所繪示爲本實施例的電子束曝光裝置100的胃 子檢測裝置200的第1實施例示意圖。電子檢測裝置2〇〇 具備有：設置有使複數電子束通過的複數開口部54的基 板42、檢測設置於晶圓44或是晶圓載物台46的標記部5〇 所放射的電子，基於所檢測出電子量輸出檢測信號的電子 檢測部40。本實施例的電子檢測部，設置於基板42上所 設置的複數開口部54之間。亦即是，電子檢測部40設置 19 本紙張尺度適用中國國家檩準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 (請先閲讀背面之注意事 ·· —^裝-- 項再填寫本頁)
、1T 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 83. 3. 10,000 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明（fp 於鄰接的2個開口部54所個別通過的2個電子束之間。 而且，電子檢測部40，與通過鄰接此電子檢測部的2個開 口部54的2個電子束的光軸，較佳爲實質的設置於伺一 直線上。再者，電子束發生部1〇以略等間隔發生3個以 上的電子束，電子檢測部40則能設置於個別使3個以上 的電子束通過的3個以上的開口部54的個別之間較佳。 而且，開口部54較佳以格子狀設置，電子檢測部40設置 於以格子狀設置的開口部54的個別之間較佳。而且，電 子檢測部40亦可以更設置於最外周所設置的開口部54的 外周。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 第3A圖至第3B圖所繪示爲依第1實施例的電子束 的照射位置的檢測方法的一例示意圖。如第3A圖所示的， 照射切換裝置112於第1時點，包含略等間隔照射的電子 束l〇a與l〇c的電子束群的個別電子束，個別照射至包含 標記部50a與50c的標記群。然後，偏向部38將照射的 電子束群的個別電子束群偏向，掃描標記群的個別標記。 其次，電子檢測部40a、40b、40c、40d與40e，檢測出由 標記部50a與50c所放射的電子，基於所檢測出的電子量 輸出檢測信號。其次，反射電子處理部94對應電子檢測 部40a、40b、40c、40d與40e所輸出的檢測信號，與輸 出檢測信號的電子檢測部，通知位置檢測部132。其次， 位置檢測部132基於包含電子檢測部40a與40b且鄰接電 子束l〇a所設置的電子檢測部輸出的檢測信號，檢測出電 子束l〇a的照射位置。而且，位置檢測部132基於包含電 20 83. 3.10,000 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS )八4規格（21〇><297公釐） 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明（丨8) 子檢測部40c與40d、鄰接電子束10c所設置的電子檢測 部輸出的檢測信號，檢測出電子束l〇c的照射位置。 然後，如第3B圖所繪示，照射切換裝置112如第3A 圖所說明的於第1時點與相異的第2時點，包含略等間隔 照射的電子束l〇b與10d的電子束群的個別電子束，個別 照射至包含標記部50b與50d的標記群。然後，偏向部38 將照射的電子束群的個別電子束群偏向，掃描標記群的個 別標記。其次，電子檢測部40a、40b、40c、40d與40e， 檢測出由標記部50b與50d所放射的電子，基於所檢測出 的電子量輸出檢測信號。其次，反射電子處理部94對應 電子檢測部40a、40b、40c、40d與40e所輸出的檢測信 號，與輸出檢測信號的電子檢測部，通知位置檢測部132。 其次，位置檢測部132基於包含電子檢測部40b與40c、 鄰接電子束l〇b所設置的電子檢測部輸出的檢測信號，檢 測出電子束l〇b的照射位置。而且，位置檢測部132基於 包含電子檢測部40d與40e、鄰接電子束10d所設置的電 子檢測部輸出的檢測信號，檢測出電子束l〇d的照射位置。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 第4圖所繪示爲依第1實施例的電子束的照射位置的 檢測順序的一例示意圖。電子束發生部10以格子狀發生 複數電子束。然後，照射切換裝置112將複數電子束分割 成電子束群，每一電子束群以是否照射切換。本實施例以 隔著一個電子束照射的複數電子束作爲一電子束群，複數 電子束分割爲4個電子束群A、B、C與D，以個別相異 的時點照射標記部50。 21 83. 3. 10,000 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 508657 8547pif/〇13 A7 B7 五、發明説明（(〇!) 照射切換裝置112於第1時點以電子束群A照射標記 部50，於第2時點以電子束群B照射標記部50，於第3 時點以電子束群C照射標記部50，於第4時點以電子束 群D照射標記部50。然後，位置檢測部132基於複數電 子檢測部132輸出的檢測信號，檢測出電子束的照射位置。 例如是位置檢測部132,於第1時點基於鄰接電子束l〇a 設置的電子檢測部40a、40b、40f與40h所輸出的檢測信 號，檢測出電子束10a的照射位置。而且，於第2時點基 於鄰接電子束10b設置的電子檢測部40b、40c、40g與40i 所輸出的檢測信號，檢測出電子束10b的照射位置。於第 3時點基於鄰接電子束10e設置的電子檢測部40h、40j、40k 與40m所輸出的檢測信號，檢測出電子束l〇e的照射位置， 而且，於第4時點基於鄰接電子束10f設置的電子檢測部 4(H、40k、401與40ri所輸出的檢測信號，檢測出電子束1 Of 的照射位置。 如上所述，本實施例的電子束曝光裝置100，同時照 射以預定的間隔照射的電子束，而能夠檢測出電子束的照 射位置。因此，照射位置的檢測處理以非常少的回數進行， 而能夠檢測出全部的電子束的照射位置。而且，本實施例 的電子檢測部40設置於2個電子束之間，由於位置檢測 部Π2能夠基於設置於2個電子束的電子檢測部之間所輸 出的檢測信號，檢測出相異時點照射的2個電子束的照射 位置，電子檢測部的數目能夠大幅的減少。 第5A圖至第5D圖所繪示爲依第1實施例的電子束 22 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 ------：——^裝--------、tr----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明czo) 的照射位置的檢測方法的其他例示意圖。第5A圖與第5C 圖爲本實施例的電子束曝光裝置100的剖面圖，而且第5B 圖與第5D圖爲本實施例的電子檢測裝置200的下視圖。 如第5A圖與第5B圖所示，偏向部38於第1時點，電子 束l〇a以略垂直於由電子束10a朝向與電子束i〇a鄰接照 射的電子束l〇b的方向的第1方向的第2方向進行掃瞄而 照射標記部50a。而且，偏向部38，電子束l〇b以第2方 向進行掃瞄而照射標記部50b。然後，複數的電子檢測部 40檢測出複數標記部50所放射的電子，基於所檢測出的 電子量輸出信號。其次，反射電子處理部94，對應複數的 電子檢測部40所輸出的檢測信號與輸出檢測信號的電子 檢測部，通知位置檢測部132。其次，位置檢測部132， 基於由電子束l〇a的第1方向上設置的電子檢測部40f， 與包夾電子束l〇a並與電子檢測部40f相對向設置的電子 檢測部40h所輸出的檢測信號，檢測出電子束l〇a的照射 位置。而且，位置檢測部132，基於由電子束l〇b的第2 方向上設置的電子檢測部40c，與包夾電子束l〇b並與電 子檢測部40c相對向設置的電子檢測部40b所輸出的檢測 信號，檢測出電子束l〇b的照射位置。 然後，如第5B圖與第5D圖所示，偏向部38如第5A 圖與第5B圖所示的於第1時點與相異的第2時點，電子 束l〇b以第1方向掃描而照射標記部50，電子束l〇a以第 2方向掃描而照射標記部50。然後，複數電子檢測部40 檢測出複數標記部50所放射的電子，基於檢測出的電子 23 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事 —裝-- -項再填寫本頁) 訂- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 83.3. 10,000 508657 8547pif/〇ι3 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（¾丨 重輸出檢測信號。其次，反射電子處理部94，對應複數的 電子檢測部40所輸出的檢測信號與輸出檢測信號的電子 檢測邰，通知位置檢測部132。其次，位置檢測部〗32， 基於由電子束l〇a的第2方向上設置的電子檢測部40b， 與包夾電子束l〇a的與電子檢測部4〇b相對向設置的電子 檢測部40a所輸出的檢測信號，檢測出電子束1〇a的照射 位置。而且，位置檢測部132，基於由電子束i〇b的第1 方向上設置的電子檢測部40g，與包夾電子束1 〇b的與電 子檢測部40g相對向設置的電子檢測部40i所輸出的檢測 信號’檢測出電子束10b的照射位置。 依本實施例的曝光裝置100的話，照射位置檢測所必 須的全部電子束同時照射標記邰5 0，能夠同時檢測出全部 電子束的照射位置。 第6圖所繪示爲本實施例的電子束曝光裝置100的電 子檢測裝置200的第2實施例的示意圖。電子檢測裝置200 具備有：設置有使複數電子束通過的複數開口部54的基 板42，檢測設置於晶圓44或是晶圓載物台46的標記部50 所放射的電子，基於所檢測出電子量輸出檢測信號的電子 檢測部40。本實施例的電子檢測部40，複數個設置於基 板42上所設置的複數開口部54之間。亦即是’電子檢測 部40複數個設置於鄰接的2個開口部54所個別通過的2 個電子束之間。而且，電子檢測部40設置於基板42上所 設置的複數開口部的個別周圍。而且，複數電子檢測部40， 與通過鄰接此電子檢測部的2個開口部54的2個電子束 24 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 --------^ 黎--------訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 508657 A7 B7 8547pif/01： 五、發明説明 的光軸，較佳爲實質設置於同一直線上。再者’電子束發 生部10以略等間隔發生3個以上的電子束，電子檢測部 40，則能複數個設置於個別使3個以上的電子束通過的3 個以上的開口部54的個別之間較佳。而且’開口部54較 佳以格子狀設置，電子檢測部40複數個設置於以格子狀 設置的開口部54的個別之間較佳。而且’電子檢測部40 亦可以再者設置於最外周所設置的開口部54的外周。 第7A圖至第7B圖所繪示爲依第2實施例的電子束 的照射位置的檢測方法的一例示意圖。如第7A圖所示的， 照射切換裝置U2於第1時點’包含略等間隔照射的電子 束10a與10c的電子束群的個別電子束，個別照射至包含 標記部50a與50c的標記群。然後，偏向部38將照射的 電子束群的個別電子束群偏向，掃描標記群的個別標記。 其次，電子檢測部40p、40q、40r與40s，檢測出由標記 部50a與50c所放射的電子，並基於所檢測出的電子量輸 出檢測信號。其次，反射電子處理部94對應電子檢測部 40p、40q、40r、與40s所輸出的檢測信號，與輸出檢測信 號的電子檢測部，通知位置檢測部132。其次，位置檢測 部132基於對應電子束10a所設置的電子檢測部40p輸出 的檢測信號，檢測出電子束l〇a的照射位置。而且，位置 檢測部132基於對應電子束10c所設置的電子檢測部4〇r 輸出的檢測信號，檢測出電子束l〇c的照射位置。 然後，如第7B圖所繪示，照射切換裝置112如第3A 圖所說明的於第1時點與相異的第2時點，包含略等間隔 25 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83.3. 10 000 ---------^裝--------訂------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 508657 8547pif/〇13 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（23 ) 照射的電子束10b與10d的電子束群的個別電子束’個別 照射至包含標記部50b與5〇d的標記群。然後，偏向部38 將照射的電子束群的個別電子束群偏向’掃描標記群的個 別標記。其次，電子檢測部40p、40q、40r與40s，檢測 出由標記部50b與50d所放射的電子’基於所檢測出的電 子量輸出檢測信號。其次，反射電子處理部94對應電子 檢測部40p、40q、40r與40s所輸出的檢測信號，與輸出 檢測信號的電子檢測部’通知位置檢測部132。其次’位 置檢測部132對應電子束l〇b所設置的電子檢測部40q輸 出的檢測信號，檢測出電子束l〇b的照射位置。而且，位 置檢測部132對應電子束l〇d所設置的電子檢測部40s輸 出的檢測信號，檢測出電子束l〇d的照射位置。 第8圖所繪示爲依第2實施例的電子束的照射位置的 檢測順序的一例示意圖。電子束發生部10以格子狀發生 複數電子束。然後，照射切換裝置112將複數電子束分割 成電子束群，每一電子束群以是否照射而進行切換。本實 施例以隔著一個電子束照射的複數電子束作爲一電子束 群，複數電子束分割爲4個電子束群A、B、C與D，以 個別相異的時點照射標記部50。 照射切換裝置112於第1時點以電子束群A照射標記 部50，於第2時點以電子束群B照射標記部50，於第3 時點以電子束群C照射標記部50，於第4時點以電子束 群D照射標記部50。然後，位置檢測部132基於複數電 子檢測部132輸出的檢測信號，檢測出電子束的照射位置。 26 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) - 4 項再填 裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2Η)Χ297公釐） 83. 3. 10,000 508657 8547pif/013 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 發明説明（汉p (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 例如是位置檢測部132,於第1時點基於鄰接電子束10a 設置的電子檢測部40p所輸出的檢測信號，檢測出電子束 10a的照射位置。而且，於第2時點基於鄰接電子束10b 設置的電子檢測部40q所輸出的檢測信號，檢測出電子束 l〇b的照射位置。於第3時點基於鄰接電子束l〇e設置的 電子檢測部40t所輸出的檢測信號，檢測出電子束l〇e的 照射位置，而且，於第4時點基於鄰接電子束l〇f設置的 電子檢測部40u所輸出的檢測信號，檢測出電子束l〇f的 照射位置。 如上所述，本實施例的電子束曝光裝置100，同時照 射以預定的間隔照射的電子束，而能夠檢測出電子束的照 射位置。因此，照射位置的檢測處理以非常少的回數進行， 而能夠檢測出全部的電子束的照射位置。而且，本實施例 的電子檢測部40設置於2個電子束之間，由於位置檢測 部132能夠基於設置於2個電子束的電子檢測部之間所輸 出的檢測信號，檢測出相異時點照射的2個電子束的照射 位置，電子檢測部的數目能夠大幅的減少。 第9圖所繪示爲本實施例的電子束曝光裝置1〇〇的電 子檢測裝置200的第3實施例示意圖。電子檢測裝置200 具備有：設置有使複數電子束通過的複數開口部54的基 板42、檢測設置於晶圓44或是晶圓載物台46的標記部50 所放射的電子，基於所檢測出電子量輸出檢測信號的電子 檢測部40、設置於複數開口部54之間的遮蔽板56。於本 實施例中，電子檢測部40複數個設置於基板42上所設置 27 83. 3. !〇,〇〇〇 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（2丨〇><297公嫠） 經濟部中夬樣準局員工消費合作社印装 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明（25 ) 的複數開口部54之間。而且複數電子檢測部40個別對應 複數開口部54設置。再者，電子檢測部40設置於基板42 上所設置的複數開口部的個別周圍。而且，預定的電子束 與鄰接此預定的電子束照射的電子束之間設置遮蔽板56。 亦即是，遮蔽板56係設置於預定的開口部54的周圍所設 置的電子檢測部40，與此欲定開口部54鄰接的開口部54 的周圍所設置的電子檢測部40之間。遮蔽板56亦可以設 置於預定的電子束與電子檢測部之間。而且，遮蔽板56 較佳爲設置於電子束的晶圓載置面的照射位置與設置於第 2電子束的電子檢測部之間。而且，遮蔽板56較佳爲使用 非磁性導體材料形成。再者遮蔽板56於基板42接地較佳。 第10圖所繪示爲依第3實施例的電子束的照射位置 的檢測方法的一例示意圖。照射切換裝置112，將檢測出 照射位置所必須的電子束10a、10b、10c與10d個別照射 至標記部50a、50b、50c與50d。然後，偏向部38將照射 的電子束群的個別電子束群偏向，掃描標記群的個別標 記。其次，以電子檢測部40p、40q、40r與40s，檢測出 由標記部50a、50b、50c與50d所放射的電子，棊於所檢 測出的電子量輸出檢測信號。其次，反射電子處理部94 對應電子檢測部40p、40q、40r、與40s所輸出的檢測信 號，與輸出檢測信號的電子檢測部，通知位置檢測部132。 其次，位置檢測部132基於鄰接電子束l〇a所設置的電子 檢測部40p輸出的檢測信號，檢測出電子束：i〇a的照射位 置，基於鄰接電子束10b所設置的電子檢測部4〇q輸出的 28 --------^裝--------訂------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83.3. 10,000 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明（礼） 檢測信號，檢測出電子束10b的照射位置，基於鄰接電子 束l〇c所設置的電子檢測部40r輸出的檢測信號，檢測出 電子束l〇c的照射位置，基於鄰接電子束i〇d所設置的電 子檢測部40s輸出的檢測信號，檢測出電子束i〇d的照身寸 位置。 本實施例的電子束曝光裝置100 ,以複數電子束的個 別對應設置的電子檢測部40的個別周圍所設置的遮蔽板 56，預定的電子束照射預定的標記部50，使此預定的標記 部放射的電子，不會放射至此預定電子束所對應設置的電 子檢測部40以外的電子檢測部40。因此，本實施例的電 子束曝光裝置1〇〇之間同時照射以預定的間隔照射的電子 束，而能夠檢測出電子束的照射位置。 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第11圖所繪示爲依第3實施例的電子束檢測裝置200 的其他例示意圖。遮蔽板58亦可以設置於格子狀設置的 複數開口部54的個別周圍所設置的電子檢測部40的個別 之間，並以格子狀設置。而且，遮蔽板58，使預定的標記 部50所放射的電子，不會放射至此預定的標記部50對應 設置的預定電子檢測部40以外的電子檢測部40，具有遮 蔽預定電子檢測部40與其他的電子檢測部40的形狀亦 可。 雖然本發明已以一較佳實施例揭露如上，然其本發明 的技術範圍並不限定於上述實施例。而能夠在上述實施做 種種的變更，實施申請專利範圍所記載的發明。此種經由 種種變更的發明，亦屬本發明所相關發明技術範圍，並由 29 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公董) " 83. 3.10,000 508657 8547pif/013 A7 B7 五、發明説明（f)) 申請專利範圍的記載而明確的瞭解與界定。 產業上的利用性 由以上的說明，依本發明的話，能夠提供一種電子束 曝光裝置，於短時間內精確度良好的檢測出複數電子束的 照射位置。 (請先閲讀背面之注意事 —^裝1 ，項再填寫本頁 訂 ·· 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ο 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） 83. 3. 10,000