504625 A7 五、發明說明（ί ) I本發明係有關於—制以形成半導體積體電路之佈線圖 ㈣方法，更特騎，係錢於—制以形成包括數個電 路模組之半導體積體電路之佈線圖型的方法。 § δ又计半導體積體電路元件時，數個安排有模組的模組 | 5 段係首先被限定於半導體基體上。錢，數個電路元件 係被配置於每-模組區段以形成每一模組區段中的模組。 其後，用以傳輸資料之訊號線及用以供應電力至每一模組 之電源線的佈局被設計。 該等訊號和電源線的佈線係被設計給每一電路網，其係 1〇被供應有相同的訊號及/或電力。藉此，當兩個電路網係位 於=同的佈線層時，其中一個電路網的訊號和電源供應線 可旎會與另一電路網的訊號和電源供應線干擾。第丄圖顯 示電源供應線連接的例子。一第一中間線71，其供應電力 VDD，和一第二中間線π，其供應電力vss，係被配置於 工5 —低佈線層LB上，該電力vss的電位係與電力卿的電 位不同。用以供應電力的左線73和右線74係被配置於一 上佈線層LC上。當把左線73與第一中間線71連接及右 線74與第—中間線72連接時’該等左和右線電源供應線 73,74於上佈線層LC上彼此干擾。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2〇 因此，在一第一習知佈線方法中，右彎折線係被 配置於上佈線層LC上以避開左線73，如在第2圖中所顯 示般。這致使該左電源供應線73至該第一中間線71的連 接及該等右彎折線74a至該第二中間線72的連接。或者 ，如在第3圖中所顯示般，左彎折線73a可以被配置於該 第4頁 A7 A7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
上佈線層LC上以避開該等右線74。 一第二習知佈線方法係被顯示於第4圖中。右線 74b，74c,74d係分別被配置於佈線層lc,lb,la上。該 線74d在該第一中間線71下面延伸並且被連接至該第二 中間線72。 或者，如在第5圖中所顯示般，左線73b,73c,73d 可以分別被配置於佈線層LC,LB,LA。該線73d在該第二 中間線72下面延伸並且被連接至該第一中間線71。 該第一和第二佈線方法在習知技術中亦被結合使用。 然而，在该等習知方法中，例如，一間隙必須被提供在 :線的四周，即使該線的寬度和容量係比需要的大。這減 J 了其他、線可利用的面積。雖然，如果該半導體基體具有 足夠的空間的話’這不是問題，但，如果其他的電力和訊 號線或細胞圖型業已佔用該基體的話，這會產生問題。在 如此的情況下，用以避開其他線的空間係不足夠的。再者 ，由於線黏接係被妨礙，週邊電路的佈局必須被重新設計 。這會延長設計時間並且增加電路面積和晶片尺寸。 本發明之目的是為提供一種用以設計半導體積體電路之 佈線圖型的方法，其在一細小面積内連接數條具有不同電 位的線。 為了達成以上之目的，本發明提供一種用以形成包括一 用以連接至一第一電位之第一線與一用以連接至一第二電 位之第二線之半導體積體電路之佈線圖型的方法。該方法 包括偵測該第一線之遠側末端之與該第二線之遠側末端重 第5頁 ^--------t---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺錢巾關家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） A7 B7 五、發明說明（3 ) 5 10 15 20 圖:藉著把該重疊部份自該第-線消除來產生- -笛明之再—特徵提供—制以形成包括-用以連接至 位之第一線與一用以連接至一第二電位之第二線 之半導體積體電路之佈線圖型的裝置。該裝置包括一用以=!二之遠側末端之與該第二線之遠側末端重疊之 該；疊部：理器，該處理器包括-用以藉著把 圖型:生"弟一線消除來產生-第-回避圖型的回避 存媒t發:Γ式:：提二一：存-程式的電腦可讀取儲 之第-線與-用=:二包括;第一電位 ^ φ ^ ^^ 第一電位之第二線之半導體積 .,型的方法。該程式包括偵測該第一線之遠 著把：ϋ亥第二線之遠側末端重疊之部份的步驟，及藉 步驟Γ “份自該第-線消除來產生-第-回避圖型的 導###'"種半導體積體電路元件，該半 線、用以傳導一第一電位的第一電源 、¥一弟二電位的第二電源線，該第二電位與 爛-電1二==，地延伸並且連接 地延伸並且連接至^ 與該第一電源線橫向 〜弟一電源線的第四電源線。該第三電 側部份和—第二遠側部份的數個遠 側箱’㈣弟四電源線具有一被配置於該第一與第二遠 ? 訂 線 第6頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公爱· A7 B7 5 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、發明說明（4) 側部份之間的遠側部份。 本發明之另―特徵提供_種用以連接包括—用於傳導一 於值^之帛線、—用於傳導—第二電位之第二線、一用 莖傳$該第-電位之第三線、及一用於傳導該第二電位之 體:體電路中之線的方法。該第-和第二緯 笙一-;弟層上，而該第三和第四線係被配置於一 =層上。該第-線係連接至該第三線，而該第二線係連 該第四線。該方法包_測該第三線之遠側末端之與 ，第四線之遠側末端重疊的部份、藉著把該重疊部份自該 二線消除來產生-第_回避圖型、暫時地把該第一回避 圖型的資料儲存於一記憶體、決定該第一回避圖型是否滿 足:預定的佈線要求、t該佈線要求被滿足時，形成一具 有違第-回避圖型之新的第三線、及形成把該第—線連接 至4新之第—線及把4第二線連接至該第四線的介層洞。 本發明之其他的特徵和優點將會由於後面配合附圖之描 緣本發明之原理之例子的描述而變得更明顯。 本發明，與其之目的和優點一起，藉著參考後面與該等 附圖一起之目前較佳實施例的描述而可以最佳地被了解， 其中： 第1圖疋為顯示被連接之電源線對的示意立體圖； 第2至5圖是為顯示根據習知佈線方法所佈局之佈線 圖型的示意圖； 第6圖是為本發明較佳實施例之佈線圖型形成過程的 流程圖； 第7頁 本紙張尺度㈣醜鮮(CNS)A4規格（210 X 297公爱） 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7
一第7圖疋為本發明較佳實施例之佈線圖型形成裝置 不意方塊圖； 第8圖疋為顯示—佈線圖型之重叠部份的示意圖； 5 第9圖是為顯示回避線重疊之一線之遠側形狀的示竞 圖； u =0圖是為顯示一條具有一以與第9圖之線末端相同 形式形成之遠側末端之線的示意圖； 第11圖是胃為顯示一條回避線重疊之線的示意圖； 10 一第I2圖是為顯示本發明較佳實施例之半導體積體電路 元件的示意平面圖； 第I3圖是為第圖之半導體積體電路元件的放大部 份圖示； 第14圖是為顯示利用習知佈線方法形成之干擾回避圖 型的示意圖；及 15 第15至18圖是為顯示本發明具有重疊回避線之佈線 圖型之進一步之實施例的示意圖。 20 第7圖是為顯示本發明較佳實施例之佈線圖型形成裝 置的示意方塊圖。該佈線圖型形成裝£丄包括—中央處理 早疋⑴叩）2、— 1/〇元件3、-輔助記憶體4、及一主記 隐體:5。5亥工/〇凡件3和記憶體4, $係連接至該2。 該工/〇7L件3包括被用來輸入參數和命令的一鍵盤和 一滑鼠、像VDT般的監視器、及一印表機（皆未被顯示）， 該印表機顯示佈線圖型影像和處理結果。 該輔助記憶體4是為，例如，用來儲存程式與在佈線 第8買 504625 A7 B7 五、發明說明（6 = 程中使用之資料的磁性記憶體、光學記憶體、 於來自j體’其係被描緣於第6圖中。該CPU 2係響應 圖的令來被作動俾執行“圖之流程 5 # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 度來==體記憶體4之速度高的速 暫時資料儲存於該主記憶體5。目^里的料和經歷處理的 上。形成過程的程式資料係被儲存於—健存媒體6 η 存媒體6是為-電腦可讀取媒體，像軟碟、CD· R=、記憶卡，、打孔卡、或磁帶j碑 體提Π二體6亦可以是為另—電腦儲存經由-通訊媒 體6不必跑接由電腦執行的程式。例如，該儲= ur::子安裝於其他儲存媒體(例如，硬碟)的程式或者 儲存編碼或壓縮程式。 < 該CPU 2首先把儲存媒體 於輔助_ 4，而該輔助記二 ==者安裝 該主_5。或者，該cp:2體可 的程式資料載人至該主記龍。^直接把該儲存媒體6 如果該程式資料係經由—通訊媒體儲存於連接至 圖型形成裝置1的電腦的話’透過該通訊媒體接收二； 資料係被複製或者安裝至該輔助記憶體4，而然 二 該主記憶體5並且被執行。 該佈線圖型形成過程現在將會配合第6 _流程圖來 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公复 504625 A7 ____B7 P、發明說明（1 ) I 作討論。 | 於步驟11，一佈線圖型形成過程係被執行。該cPU 2 根據邏輯設計資料和模組配置資料來形成所有電源供應線 | 與訊號線的佈線圖型，並且把佈線圖型資料儲存於輔助記 5 憶體4的初始檔案2 1。 於步驟12, 一重疊圖型偵測過程係被執行。根據儲存 於初始檔案21的佈線圖型資料，該cpu 2偵測其中一條 線的遠側末端是為與另一條線（不同電位的線）的遠側末端 重疊。該不同電位的線可以是為一用於提供不同之電位的 10電源線或一用於提供不同之訊號的訊號線。 於步驟I3，一回避圖型形成過程被執行。要消除被偵 /貝J到的重$ σ卩伤，该CPU 2把兩（或更多）重疊線中之較寬 之一者的重璧部份消除來形成一重疊回避圖型並且把該回 避資料圖型儲存於該主記憶體5的回避圖型檔案22。該回 15避圖型檔案22亦可以被儲存於該輔助記憶體4。 於γ驟14，一佈線狀態檢核過程被執行。該cpu 2檢 核具有回避圖型的線是否滿足在其相關位置的預定要求。 該等狀態包括電流密度、電壓降、介層窗面積、電容、電 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 阻、電流量、及訊號速度。當該等要求被滿足時，該cpu 20 2前進至步驟a。 、σ於步驟15，一回避圖型應用過程，或者一線資料改變 過私γ被執行。根據該回避圖型檔案22的資料，該cpu 2 違初始檔度21中的佈線圖型資料、產生最後的佈線 圖型貝料、並且把該資料儲存於一最後佈線圖型檔案23。 第10頁 本紙張5適用規格- 504625 A7
表好的疋，在该初始播案21中之盘最 步驟15中由_0擗R荆## ”重且線相關的資料係在 甲由°玄回避圖型檔案22的資料取代。 5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 回避圖型播案22中的資料是為用於檢 要求疋否被滿足的㈣。如果該 2佈線 滿足該等佈線要求的話，該CPU 2❹料= 料並且重新產生新的 地、線圖型身 於步驟14中不祐心二 別地，如果佈線狀態 ^中不被敲的#，該咖2前進至步驟16。 步驟16是為—決定過程，在其中，該咖 ==圖型的形成是否有可能。-用以形成該第二:避 “ 方法現在將會被討論。如果在兩相關之線之間 2度差疋微小的話且如果—第—線在該第—線之重叠部 伤被消除時不滿足其之要求的話，_第二線㈣先被糾 成數條窄線。然後，該第_線重疊—f線的部份被消除°。 餘下的窄線被彎折俾避開該第-線。最好的是，該數條窄 線的總寬度係實質上與該第二線被分割之前的寬度相同。 據此，在該第二方法中，該等要求係被滿足，即使該重疊 部份被消除。 只要邊第二線的佈線要求被滿足，該等窄線的寬度可以 是相同或不同。例如，該第二線可以被分割成數條具有相 同寬度的窄線。或者，當把該第二線分割成數條窄線時， 忒第二線可以被分割以致於重疊該第一線的窄線係比其他 的窄線較窄或較寬。 於步驟16，如果該CPU 2決定該第二回避圖型能夠透 過該第二方法形成的話，該處理回返至步驟17。根據習知 第11頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 A7 B7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
方法的回避過程係於步 2至5圖中所顯亍的^ 17被執行。該CPU 2根據在第 m "、、勺方法形成該佈線圖型。然後，該CPU 把該佈線圖型資料儲存於該最後檔荦23。 將會配合第8至14=:所執行之第6圖的處理現在 於步驟11，A $ 第8圖的佈線圖型中8圖中=貝示的佈線圖型被產生。在 ;rr^ 係被用來供上線層LC上。料電源線3i'33 用來供應而該等電源線32'34係被 在第8圖的狀態中’該咖2偵測該電源線Μ之與 :厂源線33 =疊的遠側末端（步驟12)。請參閱第9圖所 =，2避開重疊，胃CPU 2決定-消除區域35以致於滿 足預定設計標準的-間隙被界定於兩線33,34之間。 該消除區域35然後係從該上左電源線33消除，以形 成該回：圖型’該上左電源線33的寬度係比該上右電源線 34的見度大。請參閱帛1〇圖所示，這樣形成一主體仏 和兩從該上左電源線33之主體33a延伸出來的遠側部份 33b,33C。該主體33a的寬度係與原來電源線33的寬度 相同。該回避圖型包括數個把該兩遠側部份33b,33c連^ 至5亥下右電源線3 1的介層洞v 1。 該CPU 2然後利用一預定的檢核方法檢核該兩遠側部 份33b, 33c是否滿足預定的電源線要求（步驟I"。該等 第12頁
. · .線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) % 本紙張尺度過用中國國家標準（CNS)A4規格（210 : 504625 A7 五、發明說明（/〇 ) 5 10 15 20 消 電源線要求包括該兩遠側部份的電流密度比一預定值大， 及該等介層洞VI的總面積比一預定介層窗面積大。 、當該兩遠側部份33b,33c #電源線要求被滿足時，該 電源線33和該等介層洞V1的形狀被完成。在這情況中， 該等遠側部份33b, 33g經由該等介層洞V1被連接至該下 線31。然後，如在第u圖中所顯示般，該線34係經由一 介層洞V2連接至該下線π。即，在步驟is中，具有於步 驟13所產生之重疊回避圖型的新佈線圖型係被產生，而包 括該新佈線資料的最後佈線圖型資料係被儲存於該最後樓 案23 〇 田 如果該兩遠側部份和該數個介層洞νι不滿 足該等預定的電源線要求的話，該cpu 2決定一第二回避 圖型是否能夠被形成（步驟16)。如果該第二回避圖型能夠 被形成的話，該回避圖型係被產生（步驟13)。然後，該 cpu 2檢核該回避圖型是否滿足該等電源線要求（步驟工4) 如果一第二回避圖型無法被形成的話，如在第14圖中 所顯示般，例如，該上右電源線34係根據該第—習知方法 來被膏折以形成-彎’折線34a且該弯折線34a係經由一介 層洞V2連接至該下左電源線32 (步驟17)。然後，例如， 該介層窗面積，或者介層洞V1的數目，係被增加來滿足該 等電源線要求並且把該上左電源線33連接至該下右電源線 31。這樣防止違反電源線要求和電源線的不連接。在步驟 17中’該第二習知方法或該第—和第二習知方法的組合亦 線 第13頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 A7 五、發明說明（il ) 可以被執行。 〇第12圖疋為顯示具有透過該較佳實施例之處理方法所 設計之電源線之半導體積體電路40的平面圖。第13圖是 為第12圖的部份放大圖示。 數個：[/〇細胞41 ’其作用為外部訊號介面（工，係 沿著該半導體積體電路4〇的週邊配置。一大細胞仏和一 内^細胞（圖中未不）係被配置於該等工/〇細胞41的内側 1數條電源線以縱向和橫向方向延伸，如在第13圖中所顯 f般，俾把電源從該等工/〇細胞供應至該大細胞42和 ”玄内細胞。该等電源線係形成於數個佈線層上。介層洞（圖 中未不）把配置於不同佈線層的電源線連接。在第12和工3 圖中’該等電源線係由不同的陰影線表示，而訊號線未被 顯示。 在第13圖中，由虛線C1圍起來的電源線係經由佈線 圖型形成過程形成。更特別地，-第-電源線43與-第二 電源線44係被形成俾在第13圖的縱向方向上延伸。一第 電源線45與该第二電源線44橫向地延伸並且係經由一 ;1層〆同（圖中未示）連接至該第一電源線43。-帛四電源線 4 6與該第電源線43橫向地延伸並且係經由一介層洞（圖 中未示）連接至該第二電源線44。 & 。亥第四電源線46具有兩個從其之主體延伸出來的遠側 部份。該兩遠側部份係連接至該第二電源線44。該第三電 源線延伸穿過被限定於該兩遠側部份之間的空間並且係 連接至該第一電源線43。 第14頁 1 X 297公釐） '丨¾ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線 丨Λ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（〇 B7 5 在第13圖中，由虛線C2圍起來的電源線係經由佈線 成過程形成。更特別地，一第五電源線47與該第二 4/、| 44平仃地延伸。—第六電源線48與該第二電源線 向地延伸亚且係經由一介層、洞（圖中未示）連接至該第 Μ拙源線47。一第七電源線49與該第五電源線47橫向地 並且係、、、二由一介層洞（圖中未示）連接至該第二電源 4 4 〇 # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 立七電源線49具有兩個從其之主體延伸出來的遠側 =該兩賴部份係連接至該帛二電源線44。該第六電 、查、拉48 L伸牙過被限定於該兩遠側部份之間的空間並 連接至該第五電源線47。 該坌在：幵:式下’该第四與第七電源線46,49係連接至在 二：；電源線46,49之寬度之内的該第二電源線 弟二與弟六電源'線45,48係分別連接至該第一與 :、源線43,47。據此，半導體積體電路元件4〇之面 積的增加被防止。 之蚀!I上所述’料導體積體電路元件4Q與該較佳實施例 之佈線過程的優點具有如下所述的好處。 =步驟12的重疊偵測和在步驟13之重疊部份 =形成回避圖型（33a,33b,33c)致使具有不同電位之電 源線33,34至對應之電源線S2的連接。 ⑵由於該等回避圖型33a_33c係於步驟η中被檢 且亥寻預定之要求之回避圖型的形成不被形成而 且該專圖型的校正係因此不需要。這樣防止電源線之設計 ^--------t---------Μ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第15頁
本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） A7五、發明說明（Λ!)) 5 10 15 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 20 時間的增加。 ()田°亥第—回避圖型的形成係不可能時，該等習知方 法係用來形成電源供應線的㈣圖型（步驟17)。㈣防止 電源線的不連接。 ()該4除區域35係被形成以致於由預定之設計標 所決定的線間隙被保證。這樣防止相關線33,34之違反設 什的出現。 對於熟知此項技術的人仕來說，驗賴的是，在沒有 離開本發明的精神或範圍下，本發明可以魏乡其他的特 定形式來被實施。 ⑷該消除區域35的位置可以被改變。例如，如在第 ^5圖中所顯示般，僅具有—遠側部份的回避圖型可以 藉由把該左電源線33的上角落來被形成。該右電源線⑽ 被·資折來避開該遠側部份33d。在這情況中，第i5圖之遠 側邛伤33d的覓度係比該兩遠側部份33b,3；3c之寬度的 總量大了該預定的標準間隙。換句話說，即使第iq圖的回 避圖型不滿足該等電源線狀態，第15圖的電路圖型滿足該 等電源線要求。據此，第15圖的例子致使回避圖型的撓性 設計。 (b)該回避圖型可以被設計給兩或更多條線。例如，如 在第16圖中所顯示般，本發明的方法可以應用於三條線 51，52,53。在第is圖的例子中，該兩右電源線52,53係 與該左寬電源線51重疊。兩重疊部份係從該左寬電源線 5工消除俾限定三個遠側部份51a,51b,51c。 第16頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： --線* 504625 A7 B7 五、發明說明（f4 ) 5 4 10 15 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 20 如果該回顧料滿足該㈣線要求的話， 。例如，與該兩條線中之一者(在這情況中，為 線52)重蟹之寬電源線51的—部份係被消除以形成一 =側部份的回避圖型。如果這回避圖型滿足該等佈線要 4另-線53係利用習知方法連接至該電源線K ^樣致使在-個比於f知技射使狀面積小之面積之 内之不同電源線的連接。 (C)數條叉狀線可以被使用作為第二回避圖型。如 大線與：電源線重疊的話，該等又狀線與該電源線重x :小：份：Γ:皮:除。當在該兩重疊線之寬度之間的差係 一更特別地’如在第17圖中所顯示般，一下右線6工和 一下左線65係被形成於該下層lb。三條上左線 62 ’ 63,64係連接至該下右線61。該中線63與一右上線 %至-左下、線65白勺連接干涉。如果一回避圖型被形成於 A中線63上的話，該回避圖型不滿足該等預定的佈線要求 。再者，在這情況中，兩佈線禁止區域6乃Μ限制該上右 ^ 66的配置。在這情況中，—第二回避圖型係被形成如在 少18圖中所顯示般。更特別地，三遠側線66a, 66b, 66c 係分別從該右線66向該三左線62,63,64延伸。該等線 與該等遠側線ssa —66c重疊的部份係被消除。結果 ，，等線62-S4滿足該等預定的佈線要求。本發明的方法 在沒有如第4和5圖之習知方法般利用另一佈線層下把 4 4線6 6和6 5連接。 第17頁 訂 本紙張尺度適用中_家標準（CNS)A4規格⑽χ撕公髮 (d) 除了忒上佈線層Lc之外，本發明的方法係可以應 用於任何佈線層（即，該㈣線層la,lb和在該上佈線層 LC之上的層）。 (e) 當連接具有某寬度之不同的線時，像當連接電源線 至訊號線或當把訊號線彼此連接時般，本#明係可以被應 10 15 71第一中間線 VDD電力 LB 下佈線層 74 右線 74a右彎折線 20 74b右線 74d右線 73b左線 73d左線 2 中央處理器 五、發明說明（6 ) 5 用 (幻在第6圖的步驟中，取代形成一佈線圖型，預 先儲存於έ己憶體4,5的佈線圖型21係可以被使用。 (g)雖然本發明係經由一個由電腦執行的程式來被實現 ，硬體亦可以被使用來實現本發明。 本發明的例子和實施例係要被考慮為舉例說明而非限制 且本發明並不受限於於此中所提供的細節，而係可以在 後附之申請專利範圍的範圍與等效之内被變化。 元件標號對照表 72 第二中間線 VSS電力 73 左線 LC 上佈線層 73a左彎折線 74c右線 LA 佈線層 73c左線 1 佈線圖型形成裝置 3 工/〇元件 第18頁 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐
504625 五 ♦ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 發明說明（A) 5 4 輔助記憶體 5 主記憶體 6 儲存媒體 21 初始檔案 22 回避圖型檔案 23 最後佈線圖型檔案 31 下右電源線 32 下左電源線 33 上左電源線 34 上右電源線 35 消除區域 33a 主體 33b 遠側部份 33c 遠側部份 VI 介層洞 V2 介層洞 40 半導體積體電路 41 I/O細胞 42 大細胞 43 第一電源線 Cl 虛線 44 第二電源線 45 第三電源線 46 第四電源線 C2 虛線 47 第五電源線 48 第六電源線 49 第七電源線 33d 遠側部份 51 線 52 線 53 線 51a 遠側部份 51b 遠側部份 51c 遠側部份 61 線 65 線 62 線 63 線 64 線 66 線 67 佈線禁止區域 68 佈線禁止區域 6 6 a. 遠側線 66b 遠側線 66c 遠側線 第19頁 -------------裝--------訂.-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）