TW491718B - Disposable syringe dispenser system - Google Patents

Description

五、發明說明（l) 發明範 本發 施裝置 重覆配 發明及 括一可 控制組 壓擠出 在端頭 既往技 積體 上，該 原料價 需目的 此種特 可置換 出口管 注射器 舉例 號，及 控制器 壓擠出 件。該 圍 明概括性 及方法。 施，同時 方法的具 壓擠出口 合，其係 口管，以 之流動性 藝敘述 電路生產 晶圓經旋 格極昂貴 。在實務 性原料。 注射器， 。多種控 之原料流 而言，美 第 5, 〇33, 。該’ 724 口管。同 156號專

發明背景 ^ ^ 種精確配施黏性，流動性原料之配 诗$言之’本發明包含能夠使正確原料量 _ ^對近配施出口原料空氣乾燥可能性之 =只例。在較佳操作本發明配施器中，包 g ’具有含管接及元件（例如滾輪）之流動 由推動器聯接器支撐，以選擇性移動元件 元件連續動作在近管出口端產生吸力，使 原料吸入管中。 日可’如光感樹脂（抗光物）原料施佈在晶圓 轉以均勻散佈該原料。多數抗光物及類似 ’故必須小心使用最少該組合物量達到所 上’以電腦控制注射杰類配施器去配施呈 此類配施器包括支撐在一推動器外蓋上之 注射器包括一原料貯器及一伸長之可壓擠 制器種類已用來選擇性束緊出口管以停止 動。 國專利字號第4，030，640號，第3，982，724 6 5 6號敘述各種配施器，包括束緊性流動 號專利使用一種微計量止器，以束緊一可 樣的，該’ 6 4 0號專利利用一種用轴束緊元 利利用、對之束緊元件。 111 111 11 11 11 1 il 第6頁 491718

五、 成 管 器 器 間 法 在 内 動 注 將 真 流 發明說明（2) 然而由於許多原料黏性，尤其電子工業所用者， & 一端部滴在原料配施官出口端形成。該原料可能因吊= 端乾燥，需要清理而浪費原料，因此簡單之束:在 丁 4 β。 ”八配施 此外，卞售系統亦有以機械裝置控制輸送注射器之关 然而此類裝置大且頗貴’通常且f用額外流體f 裝置於流體配施點。此點在該配施作業暫止或相者_ : 停止時造成問題，原料可能傾向在管内變乾。另外广: 造成原料額外浪費，因該額外流體接管及配合管件必 使用前填滿流體。 氣動式用點注射器系統亦存在，其利用各種對注射器 壓力或真空的控制方法，以控制配施周期。當使用^泣 原料（與糊漿相反），胃原料係避免在真空施佈時滴 射器上部。真空度必須夠高以避免滴|，但又不可太： 空氣自配施器端吸入而進入注射器桶纟。遺憾的，所； 空度隨流體及配施器端特性，以及遺留在注射器桶身之 ^明摘要 改 點 合 管 在 本發明提供一種具緊緻簡化 良配施器，其可克服多種既 ，本發明配施器包含一貯存 貯器之可壓擠出口管，並提 接觸束緊元件之流動控制組 介於近管處流動允許位置及 設計供黏性可流體原料用之 往技藝配施器問題。針對此 f配施原料之貯器，以及結 仏 出口端。使用一組包含 合=及一推動器，以選擇性 机動阻止，管擠壓接觸該 491718

管間移動該元件。針對此點，該束一 背表面作動，亦即，該出口管係位在凡=抵住一相反側靠 之間。此外，甚重要一點，該元件$束緊^件及靠背表面 方向沿管移動，以產生抽吸，將在:器朝遠離出口端 如此可有效消除因滴出及/或原料 口端原料拉回管中。 題。 S出口端乾燥所生問 奉發明較佳形式中 ^ &何— 接受標準，可移動之配施注射器π哕^，筆直外蓋，用以 器本體，而該濾出注射器出口管伸^夕^構成可接受注射 控制組合位於外蓋内，包含滾輪外蓋下方。一只流動 -弧形聯接組合，•可為氣動或：：：：接觸元件，配合 滾輪沿弧狀路徑移動，首先接j出”呆：。較佳者，該 度移動，以在出口管端產生所由：：：$向亡沿其長 正確流動控制’該束緊外封在束緊 ：^取佳及最 彈回性獲得。彳式了'曰束“件或該靠背表面之—之 般置

為較佳配施器外蓋透視剖開圖，A 丨I由外盍支撐之可更換注射器组人· 圖2為本發明彰^ # 妳 ，、 、· 口 ’ 圖3為沿圖2之ϋ 中置有一注射器； 開放，允許流動位置 直剖面，顯示該配施器在其 491718 玉、發明說明（4) 圖5為一部份垂直剖面圖，說明該配施器在其制止流動 置，並且在注射為出口產生一負壓， 圖6為一放大部份剖面透視圖，說明該配施器較佳流動 控制組合之組件； 圖7 a為另一種流動控制組合之側視圖，其利用機械式聯 結及配合之彈回軸承塊，如該組合所示開放，允許流動位 釁； 圖7 b與圖7 a類似，唯所示為該流動控制組合在其另_流 勳受阻位置； 圖8a為另一種流動控制組合之側視圖，其利用彈簧壓载 機械聯接，並說明該流量控制組合在開放，允許滾動位置 f 圖8b與圖8a類似，唯所示為該流動控制組合在其另_节 動受阻位置； ~ 圖9 a仍為另一種流動控制組合之側視圖，其利用彈馨力 壓犬足聯接，且顯示在其開放位置；而 ' σ 圖9b與圖9b類似，唯說明該流動控制組合在其封密之、、☆ 動阻止位置。 1 較佳具體實例詳細敘述 參考附圖，圖1 - 3說明一種根據本發明之配施哭1 〇。大 致而言，該配施器1 0包括外蓋1 2，可置換貯哭丨4，以及 樓在外蓋12内之流動控制組合16 ’可操作精^控制來自^ 器1 4之原料流動。 'τ 較細言之，該外盍1 2包含具以绞鍵固定門2 〇之主㉝1 8 五、發明說明（5) 主體18提供-上方支撐％ r匕該主體具有自架24向；i:，，另具有底架“。 在主體底部’為最下方 k伸之半柱形開口26， 體18之架24下方形成一具=開口28。如圖3所示二及 時：有在凹部22邊形成之階梯垂：二端之室30。主體。同 此外，主體上具有氣壓彎頭 開孔32，與塞30相通。 3 3 a接到管件3 3。 ’與孔3 2相通，空气# 該門20亦具有上方凹部以， 1官 伸半柱形開口38，及—較小半柱：：方架36 ’以及向下延 另具有一靠背表面41(¾^)， 展汗D 4 〇在門底部。門2 〇 當門20抵住主體18關閉時，凹、要性後述。如圖3所示， ，38及28，40相互靠近。在門=上报34架24，36及開口26 ，由門上邊向下延伸到約架3 6高产。7」有垂直觀察縫4 1 a 42以可移動安裝在門2〇，可由=二° 一具頭部44之鎖螺絲 46接受。依此方式，*門20關閉日；，$形成之配合鎖開口 置。 可鎖在相對主體1 8位 5亥貝丁器1 4形式為長的，一般為— 狀貯器本體5。以留住黏性，可器48形式，具管 、工杂^丄 上方可在貯器主體滑動。哕 =54在正空氣壓力影響下可移動。針對於此，該貯心 :50具有上盍56，具有向上伸出管接頭58，其提供與自原 料52遠離之活塞54上表面相通之内部通路6〇。該蓋56以一 〇型環6 2封在主體5 0上端。如圖2所示，該接頭5 8接到連 在一空氣管66之空氣管件64。注射器48下端包含一管狀連

第10頁 W18 五、發明說明（6) 接管件6 8，其接受一環妝、声 管件68包括内管段72，以2 :=上端。如圖3所示，該 外管俨7 4 接叉濾器7 0上端，並以環繞其軸 7 i在叙；，50内部相通。該遽器7◦具有沿徑向放段 3鄰；架24’36上方，提供階段的管式下段78。 78。：岡：3成樹脂，可擠壓出口管80固定於濾器70下段 78 :圖3所示，管8。向下延伸，通過由配合開口28，4。 。 柱狀開口 ’終止於主體18及/或2〇下方之出口端82 控制組合16包含束緊元件，此處型式為滾輪84， ;用上接觸可擠壓出口管8〇以控制注射器48原料52流動。 ^袞輪84由兩只軸承83支持在氣動聯接組合86。詳細言之 忒組合8 6包含具分枝端9 〇之下方柩轉臂8 8 (圖6 )，以滾 _針“支樓滾輪84。該臂88於遠離滾輪84端有開孔94，以 及長模開孔96。彈簧98位於開孔94内，由一栓塞丨〇〇抵住 ，而肩螺絲102通過孔96，以墊片1〇4安於此處。 ，聯接組合86亦具柱體連接1〇6，其以樞轉方式固定在 其靠近外端之臂88，以針1〇8方式固定。聯接1〇6上端由針 112以樞轉固定到活塞桿U0下端。如圖5所示’該活塞桿 110以針115固定在氣動活塞114，且可在外蓋主體18階梯 開孔32内垂直移動。如圖3所示，該活塞114附有"〇,|型環 封116，以及彈回彈簧118。該桿11〇自活塞114通過一氣動 封蓋120向上延伸。該封蓋120具有内及外"〇”型環封122， 124，以及固定環126。該桿11〇具有最上方柄128固定在封 蓋120上方。該外蓋主體18氣動管件33在活塞114上方與孔

491718 五、發明說明（7) 3 2相通。 在管線3 3 a及6 6到位與配施器1 〇使用時，門2 〇首先由鬆 開螺絲4 2，而如圖1所示開啟，以一組合注射器4 8置於外 蓋門2 0内，滤器7 0下方表面位在架3 6。其後將柄1 2 8完全 壓下，使流動控制組合1 6在開放位置。門2 〇 (置有注射器 4 8 )此時抵住主體1 8關上’並鎖上螺絲4 2。將門2 〇鎖上主 體1 8後，釋放柄1 2 8，由此將組合1 6及束緊管8 〇關在滾輪 8 4及門表面4 1之間。開始時壓力及釋放柄丨2 8動作，右H 的使管8。定位，且確保當組合16在其流動停止力位作置時有:正 束緊封閉。 —在圖5的配施器1 〇停止位置或休止狀態，正壓力持續經 管66送到注射器主體5〇，特別抵住注射器活塞54上表面^ 當需要自配施器1 〇配施選用量原料52時，正壓* 3:送到在活塞i 14上方階梯孔32。如此使活塞：向下：

弹^幵《\士管80。此種向下移動係抵住偏移之活J 、、主:哭加壓空氣由管66送到注射器本體50，壓動 :身卜活基54上表面，使產生來自管8〇出口端82 動 ;〜52 ’如圖3所示。當配施所需原料量後，由管3二？ 之正壓釋出，斗n 士、、i — 欠 田d 3 a送3 淨塞桿11G使彳造成活塞114向上移動，f 鄰近出Π管80 /H8 ^輪84向上框轉，使滾她接觸 該管靠背），以先管m以明相反表面41作為 无限制住再完全制止原料52流動。然而， ^1/18

動到如圖5所示全關位置， 力’尤其是在出口端82。此 處拉回，使該原料完全進入 靠在出口端8 2之原料滴落， 可見到彈簧98產生管80之回 滚輪84持續沿管80長度向上移 產生在滾輪84下方管8〇内部吸 吸力將管8 0下端原料5 2自端8 2 管8 0内。如此可完全消除任何 原曾由空氣乾無。此處同時 復封閉。

、自然，當需要再度配施原料時，正壓空氣自管33a送到 活塞114上方階梯孔32，使活塞114及桿11〇向下移動，使 臂88及滾輪84極轉遠離管8Q。經由管⑽穩定供應之正壓抵 住注射器活塞54上表面，強制出口端82之原料52。感應認 =此處，聯結88，&塞1QQ，彈簣98，及樞轉螺絲1Q2產生 二自我調整回復，彈簧偏壓之束緊機轉。當桿11 〇產生之 移動力1用於流動控制組合16，聯結106及88藉彈簧98壓 '而/持續在徑向沿樞轉螺絲丨〇 2調整。此徑向動作為„無 才六-系統並消除了黏結。此"無楔π系統同時自動調整適應 不同β ^寸及厚度。回復壓縮力由滾輪8 4施力者’亦可由更 改=貫9 8為較小或較大值者調整，以配合若至更大的管形 ^範^ 士此無模系統亦減少管8 0之磨損及不當應力’可 增加官哥命。配施器1 〇之鉸鏈門設計另項優點在於貯器1 4 之正，^側面盛放方法。此盛放及取出方法（與直通或頂部 盛放財為1 4方法相反）可消除在盛放及取出時，管8 〇對内 部機轉之污染。該污染主要來自管80内之原料，其未能由 流動控制組合1 6保持在内部。如此可增加配施器丨〇之穩定 性及可用性。同時’該手動柄1 28可作為自注射器移出空

第13頁 五、發明說明（9) 氣5驅氣機轉，且作為手動取代配施 哭。 本發明雖以氣動聯結組合86為佳，铁、，=、 例而言，參考圖7a及7b，機械式聯^ϋ \此為限。舉 撐壓擠管滾輪132。此例中，該組合。係J :可作為支 136組成。圖7a中，該滾輪132 “外、、…桿134及 •y. N ij^r τ〇7 ，、:六壬,. 。§舄要依本發明停止流體流動，— ;,L 允許位置 結桿134，產生滾輪132樞轉動 二j上方力量作用在聯 管8〇，其後持續向上動作，在滾輪觸並壓擠 力。此項具體實例中，一呈 & 產生所需吸 peon ^ + ^ #背塊138位於管8〇徭方 二：合130之束緊封閉可保持回復。 組：包含一㈡匕種型式機械聯結144。此例中，該 者呈右、、…:。百 以樞轉式支撐-樞轉臂148，後 者八有滾輪1 5 0於盆外相|丨诚。古Λ 148,, 〇 ,8； t ^ _ ,,,., 〜/袞輪1 5 0係在其流動允許位置； 田° 用到桿152 (圖8b)，該臂148抵住葉狀彈簧 山區，直到滾輪1 5〇停止通過管80之原料滾動，並 在出口端8 2產生吸六。prj样认 — 片及力。同樣的，茱狀彈簧146的提供，產 生對g 8 0之回设封閉。 圖9a及9b所不為最後一種具體實例。此處該聯結組合 包含一犬足聯結156，以其支撐滾輪158。該聯結156具 :、、、例^型構造，以樞轉固定之彈簧聯結1 6 0。該聯結 1 6 〇具向伋方延伸臂1 6 2，而在臂1 6 2及犬足聯結1 5 6端間， 遠離滾輪158之圈彈簧164。在圖9a之流動允許位置，該犬 足聯結1 5 6退端接鄰_固定模針} 6 6。然而在需要停止管8 〇

491718 五、發明說明（ίο) 流動時，一向上方作用此聯結1 6 0 (圖9 b )，移動整個組合 1 5 4遠離模針1 6 6。因此，彈簀1 6 4作用使犬足聯結1 5 6樞轉 ，而滾輪1 5 8朝向並接觸出口端8 0。同樣的，如此終止管 8 0之流動，且同樣的，由於滾輪1 5 8沿管8 0長度之向上移 動，在滾輪下方因彈簧1 6 4回復封閉而產生所需吸力。

第15頁 491718 圖式簡單說明

第16頁

Claims (1)

1. 491718 六 、申請專利範圍 1 · 一種配施 一裝有欲 一與該貯 流動控 動器， 原料流 離該出 管内， 元件在 管。 申請專 該元件 中請專 滾輪。 申請專 性支撐 元件進 力。 申請專 接之推 位置到 朝向遠 料汲回 當該 接觸·該 2 ·如 覆移動 3 ·如 管接觸 4 ·如 可操作 移動該 生該吸 5.如 壓推動 6 ·如 作移動 Ί ·如 簧壓向 申請專 該元件 申請專 该管。 器，其包含： 配施黏性原料之貯器； 器相接，並具有出口端之可壓擠出口管； 弗J、’且合’其包含一管接觸元件及與該元件相 以·選擇性令該元件自與該管間隔之流動允許 動停止，管擠壓接合該管，在令該元件沿管 口端方向移動，以在該出口端產生吸力將原 其原料流動允許位置時，該組合可操作回復 利範圍第1項之配施器，該推動器可操作重 方；士流動允許位置及該接觸該管之間。 利範圍第1項之配施器，其中該元件包含一 in第1項之配施11 ’其中該推動器包含 Λ凡牛之聯結，該聯結為可選擇 入與該管之接觸…該元件移管::二 利範圍第4項之配施器’其中該聯結係以氣 =範圍第1項之配施器，其中該 於弧形路徑。 推動裔可私 11釦圍第1項之配施器’其中該元件為受彈 491718 六、申請專利範圍 8 ·如申請專利範圍第1項之配施器，其中該貯器包含一 · 注射器本體，含有可移動活塞位在本體内原料高度面上方 ，該活塞在氣壓力施加在遠離該原料之活塞表面之影響下 可移動。 ' 9 ·如申請專利範圍第1項之配施器，其中該推動器包含 一機械聯結。 1 0.如申請專利範圍第1項之配施器，其中該配施器包含 一外蓋以支撐該流量控制組合，該貯器及管均置於該外蓋 内部。 1 1 ·如申請專利範圍第1項之配施器，其包含一彈簧於該 ® 元件在該流動停止位置上時，可施壓該元件抵住該管。 1 2 ·如申請專利範圍第1項之配施器，其包含一靠背元件 與該元件成相對關係，而當該管位在該元件與該靠背元件 間，該靠背元件能在該元件移向該流動停止位置時回復並 可壓擠。 1 3. —種由裝有可流動原料貯器中配施該原料之方法， 其包含可操作而結合該貯器之一可擠壓並具出口端之出口 管，該方法包含步驟為： 允許選擇定量之該原料自貯器流出，通過該管並自該 φ 出口端而出； 其後藉壓擠該出口管制止原料流動；及 於靠近該出口端產生一吸力，以將靠近出口端原料汲 回管内， 該擠壓步驟包括產生作用於該管之可回復力步驟。 -

   第18頁 491718 六、申請專利範圍 1 4.如申請專利範圍第1 3項之方法，其中該流動停止及 產生吸力步驟中，包含令一管擠壓元件在該貯器及該出口 端之間接觸該管之步驟，並令該元件沿該管朝遠離該出口 端方向移動。 1 5 ·如申請專利範圍第1 4項之方法，其中以一聯結組合 支撐該元件，並包含藉正壓力作用於該聯結組合而移動該 元件之步驟。

   1 6.如申請專利範圍第1 4項之方法，其中以一機械聯結 組合支撐該元件，並包含令該聯結組合動作，以使該元件 與該管接觸，以沿該管移動該元件步驟。 1 7.如申請專利範圍第1 3項之方法，其中包含於該貯器 内產生正壓，以令該原料自貯器流出之步驟。 1 8.如申請專利範圍第1 3項之方法，其中包含令一彈簧 壓動管擠壓元件與該管接觸，以產生該回復作用力之步驟 〇

   1 9.如申請專利範圍第1 3項之方法，其中包含提供一管 擠壓元件及一相對靠背元件，及該管置於該元件及該元件 之間步驟，該元件為具回復性且可擠壓該管擠壓步驟包含 令該元件移動與該管成流動停止關係，並擠壓該元件，由 此產生該回復作用力之步驟。

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