482872 A7 B7 五、發明說明（1 ) 〔產業上之利用領域〕 本發明係關於具有伸縮管的流體機器，尤其是關於由 伸縮管式的泵及供減低此泵的脈動用的蓄壓器等所代表的 具有伸縮管的流體機器。 〔先前之技術〕 例如：半導體製造裝置之I C或液晶表面洗淨等的各 種處理時使用於藥液的循環輸送等之泵，係使用：不因泵 的動作使粒子發生之伸縮管式的泵（例如：特開平 3 — 179 184號公報）。且，這種泵因爲藉由因伸縮 管的伸縮之往復運動而發生脈動，所以爲了減低此脈動而 倂用蓄壓器（例如：特開平6 — 1 7 7 5 2號公報）。 然而，具有伸縮管之上述泵或蓄壓器，使用於藥液或 純水的移送液的情況下不會發生問題，但是，使用於作爲 半導體的晶圓或電腦內藏的硬碟等的化學性機械硏磨〔 Chemical Mechanical Polishing(CMP)〕的硏磨液之含有氧化 硅等的泥漿之硏磨液的情況下就有問題。也就是說，使用 於含有泥漿等的沈澱物質之液的情況下，會產生其沈澱物 質停留凝固在伸縮管內的液室的內底，特別是內底的吐出 口或流出口附近之問題。 本發明的目的，係是爲了消解這種問題的，並在於提 供由：在使用含有泥漿等的沈澱物質之移送液的情況下’ 其沈澱物質也不會停留在伸縮管內的液室的內底 '，隨時可 以圓滑地吐出之泵及蓄壓器等所構成之具有伸縮管的流體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 7Γ! " ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 482872 A7 _____ B7 五、發明說明（2 ) 機器。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔發明的揭示〕 本發明的伸縮管的流體機器，係由：在泵本體的內部 ，具有將沿著軸線方向可伸縮變形的伸縮管使其軸線呈縱 方向驅動伸縮變形運動且在該伸縮管的內側形成液室，並 且，在面臨泵本體的前述液室之內底面設有吸入口及吸出 口，藉由前述伸縮管的伸長動作從前述吸入口將液體吸入 前述液室內，並藉由前述伸縮管的收縮動作將前述液室內 的液體從吐出口吐出之泵所構成之流體機器，其特徵爲： 在前述液室的內底面，形成朝向前述吐出口往下傾斜。 依據這種構成的泵，因爲將泵本體內的伸縮的軸線呈 縱方向，並且，將該伸縮管內的液室的內底面形成朝向吐 出口往下傾斜的形狀，所以含有泥漿等的沈澱物質之液也 不會使沈澱物質停留在液室的內底面，成爲可以隨時地沿 著內底面的往下傾斜面平滑地朝向吐出口吐出。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 關於其他的本發明之具有伸縮管的流體機器，係由： 在蓄壓器本體的內部，具有將沿著軸線方向可伸縮變形的 伸縮管使其軸線呈縱方向分別在該伸縮管的內側形成液室 及在外側形成空氣室，並且，在面臨蓄壓自本體的前述液 室之內底面設有流入口及流出口’對於前述液室內的液壓 藉由空氣室內的空氣壓而平衡之蓄壓器所構成之流體機器 ，其特徵爲：在前述液室的內底面’形成朝向前述吐出口 往下傾斜。 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482872 A7 B7 五、發明說明（3 ) 依據這種構成的蓄壓器，與上述泵的情況相同，因爲 將蓄壓器本體內的伸縮的軸線呈縱方向，並且，將該伸縮 管內的液室的內底面形成朝向吐出口往下傾斜的形狀，所 以含有泥漿等的沈澱物質之液也不會使沈澱物質停留在液 室的內底面，成爲可以隨時地沿著內底面的往下傾斜面平 滑地朝向吐出口吐出。 〔實施例〕 茲佐以圖面說明本發明之具有伸縮管的流體機器。 將在適用於有關本發明之具有伸縮管的流體機器之泵 的情況下之第1實施例依據第1〜5圖說明之。 第1圖中，符號1爲泵本體，具有：其上端以上壁2 堵塞之筒狀的外殼3、及將此外殻3的開放下端呈氣密狀 地堵塞之底壁4。在其底壁4形成液體的流入管路5及流 請 先 閱 讀 背 意 事 項 再 填 狀 筒 底 有 之 形 變 縮 伸 可 向 方 B 線 軸 其 著 沿 內 3 。 殼 6 外 路在 管 出 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 耐成 :形 由所 係脂 7 樹 管氟 縮的 伸等 此 A 〇 F 設 P 配、 向 E 方 F 縱 T 呈 P B 之 線佳 軸性 將品 7 藥 管耐 縮、 伸性 的熱 4 被 壁間 底空 在部 8 內 部的 定 1 固體 狀本 環泵 用使 利， 由定 藉固 β 壓 7 緊 部地側 緣狀內 周密 7 口 氣管 開呈縮 端面伸 下側成 其 上 離 ，的隔 室 氣 空 的 側 外 7 管 縮 伸 及 9 室 液 的 動的 驅 2 復壁 往上 之的 τηπτν 運體 縮本 伸泵 動在 驅， 7 2 管 2 縮置 伸裝 將動 有驅 具復 1 往 體此 本。 泵 2 在 CXI 置 裝 -6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482872 Α7 Β7 五、發明說明（4 ) 上面側使氣缸1 1的軸線形成與伸縮管7的軸線B —致， 將在氣缸1 1內往復運動之活塞1 2以貫通上壁2之活塞 負荷部1 3連結伸縮管7的閉鎖上端部7 b的中央部。由 壓縮機等的加壓空氣供給裝置（圖示省略）送來之加壓空 氣隔著氣缸1 1及分別形成於上壁2的空氣孔1 4、1 5 而交互供給至氣缸1 1的內部及空氣室1 〇。也就是說， 其結構爲：在氣缸1 1安裝有近程探測器1 6 a 、1 6 b ’一方面’在活塞1 2安裝有探測器檢測構件1 7，藉由 隨著活塞1 2的往復運動令探測器檢測構件1 7交互近接 近程探測器1 6 a、1 6 b而使從加壓空氣供給裝置送來 的朝加壓空氣的氣缸1 1內供給及朝空氣室1 〇供給自動 地交互切替。 在面臨上述液室9之底壁4的內底面4 a上之吸入口 1 8及吐出口 1 9分別連通上述流入管路5及流出管路6 而開口。分別在吸入口 1 8設有吸入用止回閥2 0，在流 出管路6設有吐出用止回閥2 1。 如第2圖所示，吸入用止回閥2 0由筒狀的閥外殼 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 0 1及球所構成之閥體2 0 2所構成，閥外殼2 0 1 ， 令此軸線D呈縱方向並藉由螺固及卡合手段堅固地固定在 吸入口 1 8上。圖示例的吸入用止回閥2 0令閥體2 0 2 具有上下二段之結構。閥外殼2 0 1被二分割而成爲第1 閥外殼2 0 1 a及第2閥外殻2 0 1 b，在第1閥外殼 2 0 1 a及第2閥外殼2 0 1 b分別內裝有第1閥體 202a、第 2 閥體 202b。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Ί · 482872 A7 B7 五、發明說明（5 ) 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 第1閥外殼2 0 1 a形成筒狀並在下端開口有入口 2 0 3，藉由將設在外周之螺公2 0 4螺固在設在底壁4 的吸入口 1 8的內周下段側之螺母2 0 5上並令其軸線D 呈縱方向而固定在底壁4上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第2閥外殻2 0 1 b形成比第1閥外殻2 0 1 a大徑 的筒狀且在上端開口有出口 2 0 6 ’將設在其下端外周之 螺公2 0 7螺固在在底壁4的吸入口 1 8的內周上段側設 置比前述螺母2 0 5的內徑要大徑之螺母2 0 8 ’並且’ 藉由將設在其下端內周之螺母2 0 9螺固在第1閥外殼 2 0 1 a的外周上端的螺公2 1 0而與第1閥外殼2 0 1 a呈同心狀且在底壁4的液室9內突出地被固定。那時’ 第1閥外殼2 0 1 a的上端及第2閥外殼2 0 1 b的內周 下端之間，組合有具有閥座2 1 1之閥座體。且’在面臨 第1閥外殼2 0 1 a下端的入口 2 0 3之流入管路5的開 口端設有閥座2 1 3。然而，第1、2閥外殼2 0 1 a、 201b及第1、2閥體202a、202b ，與伸縮管 7的材質同樣地，係由：耐熱性、耐藥品性佳的p T F E 、P F A等的氟樹脂所成形。 然而，第1閥體2 0 2 a藉由自重緊密貼合在第1閥 外殼20 1 a內的閥座2 1 3上，第2閥體20 2b藉由 自重緊密貼合在第2閥外殼2 0 1 b內的閥座2 1 1上來 防止液體的逆流。在液體吸入時，第1、2閥體2 0 2 a 、2 0 2 b從閥座2 1 3、2 1 1分別朝上方遠離而打開 閥，來自於流入管路5的液體通過設在第1閥外殼2 0 1 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482872 A7 B7 五、發明說明（6 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) a的內周之縱溝2 1 4及第1閥體2 0 2 a之間、及設在 第2閥外殼2 0 1 b的內周之縱溝2 1 5及第2閥體 2〇2 b之間從第2閥外殼2 0 1 b的出口 2 0 6被吸入 液室9內。且，對於吐出用止回閥2 1 ，也與吸入用止回 閥2 0的構造同樣地在可朝上下二分割之閥外殼內將閥體 組合成上下2段的。若這種吸入用止回閥2 0及吐出用止 回閥2 1分別在上下2段具有閥體而形成二重閉止構造時 ，是有利於可以保證將移送液的確實地定量送。但是，並 不限疋迨種一重閉止構造。也可以爲如第3圖所示之吸入 用止回閥2 0及吐出用止回閥2 1的兩方，或其中任一方 構成單一的閥體的。且，代替上述自重式球之閥構造，如 第4圖所示，也可以採用由：閥體2 0、及將閥座緊壓在 此閥體2 0 2之彈簧3 0 0組合在閥外殻2 0 1之閥構造 所組成的吸入用止回閥2 0及吐出用止回閥2 1。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 現在，若令來自於壓縮機等的加壓空氣供給裝置（圖 示省略）之加壓空氣通過空氣孔1 4並供給至氣缸1 1的 內部的話，活塞1 2會朝第1圖的X方向上昇，伸縮管7 也會朝同一方向伸長動作而將流入管路5內的移送液經由 吸入用止回閥2 0吸入液室9內。若令上述加壓空氣通過 空氣孔1 5供給至空氣室1 0內的話，活塞1 2會朝第1 圖的y方向下降，伸縮管7也會朝同一方向收縮動作而將 液室9內的移送液經由吐出用止回閥2 1吐出。如此，藉 由氣缸1 1內的活塞1 2的往復運動令伸縮管7驅動伸縮 變形運動，令吸入用止回閥2 〇及吐出用止回閥2 1交互 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482872 A7 _________ B7 五、發明說明（7 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 地開閉作動而使從流入管路5朝液室9的移送液的吸入、 及從液室9內朝流出管路6的移送液的吐出交互地返復地 進行預定的泵作用。 對於上述構成的泵，在本發明之上述液室9的內底面 4 a ，朝向吐出口 1 9形成往下傾斜的形狀，但在形成圓 錐狀之內底面4 a的最低位置形成吐出口 1 9的較佳。但 是，吐出口 1 9 ，不限定位在伸縮管7的軸線B上，或偏 離軸線B的位置。上述內底面4 a的往下傾斜角度爲1〜 45° ，但5〜15°較佳。 然而，移送液使用含有泥漿等的沈澱物質時，此液沿 著內底面4 a的往下傾斜面平滑地朝向吐出口 1 9吐出， 而可以消解沈澱物質停留在內底面4 a而凝固之問題。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 且，如第5圖所示，上述伸縮管7的山部7 1及谷部 7 2上下交互地連續形成之伸縮部分呈伸長狀態時，不用 說，呈收縮狀態時各山部7 1的上下的折線狀部7 1 a、 7 1 b中的下側的折線狀部7 1 b形成朝向前述軸線B往 下傾斜的形狀，即可有效地防止在伸縮管7的伸縮部分的 沈澱物質的停留。與在前述內底面4 a的沈澱物的滯留防 止相輔，可以更有效果地防止在泵內的沈澱物的沈澱或凝 集的較佳。上述折線狀部7 1 b的往下傾斜角度爲1〜 4 5。，但5〜1 5 °較佳。 接著，有關本發明之具有伸縮管的流體機器適用於蓄 壓器A時的第2實施例依據第6至8圖說明之。 第6圖中，符號2 5爲蓄壓器本體，具有：其上端堵 本紙張尺度適用+國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱)-10: 482872 A7 B7 五、發明說明（8 ) 塞有上壁2 6之筒狀的外殼2 7、及將此外殼2 7的開放 下端氣密地堵塞之底壁2 8。 在外殼2 7內沿著其軸線C方向可伸縮變形的有底筒 狀的伸縮管2 9將軸線C呈縱方向配設。此伸縮管2 9， 係由：耐熱性、耐藥品性佳的P T F E、P F A等的氟樹 脂所構成形，其下端開口周緣部2 9 a藉由從環狀固定板 3 0氣密狀地緊壓在底壁2 8的上側面而固定，而令蓄壓 器本體2 5的內部空間隔離成伸縮管2 9的內側的液室 3 1及伸縮管2 9的外側的空氣室3 2。在蓄壓器本體 2 5的底壁2 8形成液體的流入管路3 3及流出管路3 4 ，面臨底壁2 8的液室3 1之內底面2 8 a其流入口 2 3 及流出口 2 4分別連通流入管路3 3及流出管路3 4而開 □。 此蓄壓器.A，例如：爲了減低上述第1實施例的泵P 的脈動而配置在該泵P的移送液配管路內來使用。這種情 況，流入管路3 3連接在上述泵P的流出管路6的下流端 側通過泵P的吐出用止回閥2 1而被吐出使移送液暫時地 被貯存在液室3 1內，在空氣室3 2內作成封入有泵P的 脈動減低用的空氣。所以，係爲：利用隨著伸縮管2 9的 伸縮變形之液室3 1的容量變化來吸收減弱因從泵P的液 室9吐出的移送液的吐出壓之結構。 如第7圖所示，在蓄壓器A的上述外殻2 7的上壁 2 6的外面中央附近形成開口 3 5，在此開口 3 5內嵌合 附凸緣3 6之閥殼3 7 ，並且，將凸緣3 6以螺絲3 8等 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · --線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -11 - 482872 A7 --___B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（9 ) 可裝卸地緊密固定在上壁2 6的外側。 在閥殻3 7給氣口 3 9及排氣口 4 0平行地並列形成 。在給氣口 3 9 ，上述的液室3 1的容量越過預定範圍而 增大時，設有：朝上述空氣室3 2內供給移送液的最大壓 力値以上的壓力的空氣而令空氣室3 2內的封入壓力上昇 之自動供氣閥機構4 1。在排氣口 4 0，液室3 1的容量 越過預定範圍而減少時，設有：從空氣室3 2內排氣而令 該空氣室3 2內的封入壓力下降之自動排氣閥機構4 2。 自動供氣閥機構4 1 ’具有：在閥殼3 7與給氣口 3 9形成連通狀之給氣閥室4 3、此閥室4 3內沿著其軸 線方向可滑動自如地將給氣口 3 9開閉作動之給氣閥體 4 4、隨時將此閥體4 4推迫成閉位置之彈簧4 5、在內 端部之給氣閥體4 4的閥座4 6 ，並且，具有：螺固在具 有連通給氣閥室4 3及空氣室3 2之貫通孔4 7之閥殼 3 7之導引構件4 8、在此導引構件4 8的貫通孔4 7內 可滑動自如地插通之閥壓棒4 9。液室3 1內的液壓在平 均狀態下且伸縮管2 9爲基準位置S之狀態下，給氣閥體 4 4密接導引構件4 8的閥座4 6而封閉給氣口 3 9 ，並 且，面臨閥壓棒4 9的空氣室3 2內之端部4 9 a與伸縮 管2 9的閉鎖上端部2 9 b只距離有行程E。 一方面，自動排氣閥機構4 2，具有··在閥殼3 7形 成與排氣口 4 0呈連通狀之排氣閥室5 0、及在此閥室 5 0內沿著其軸方向可滑動自如地開閉作動排氣口 4 0之 排氣閥體5 1、及分別令閥體5 1具有先端且令鍔部5 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-νό Γ 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482872 Α7 _ Β7 五、發明說明（10 ) 固在排氣閥室5 〇內 之彈簧支撐體5 5、 的後端側且可利用鳄 配設在排氣閥體5 1 5 7、及配設在彈簧 用彈簧5 8。彈簧支 排氣閥棒5 3的軸徑 過此間隙5 9連通排 9在基準位置S之狀 並且，排氣閥棒 的閉鎖端部5 6 a的 之假想線6 0所示之 長端，設有：當伸縮 預定的行程E並移動 2 9的更進一步的移 構成的蓄壓器的動作 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 填
具有後端之排氣閥棒5 3、及具有螺 且插通有排氣閥棒5 3之貫通孔5 4 及可滑動自如地插通在排氣閥棒5 3 部5 2拔出之筒形的滑行體5 6、及 及彈簧支撐體5 5之間之封閉用彈簧 支撐體5 5及滑行體5 6之間之打開 撐體5 5的貫通孔5 4的內徑作成比 要大而在兩者之間形成間隙5 9 ，通 氣閥室5 0及空氣室3 2。伸縮管2 態下，排氣閥體5 1封閉排氣口 4 0， 5 3的後端的鍔部5 2與滑行體5 6 內面只距離有行程F。 閥殼3 7的空氣室側端如第8圖 朝空氣室3 2內的方向延長，在此延 管2 9朝令液室3 1擴大的方向越過 至令閥壓棒4 9動作時供限制伸縮管 動用的停止器6 1。接著，說明上述 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 例如：藉由上述泵P的作動將移送液朝向預定的部位 送給的話，泵吐出壓力因在山部及谷部之間的返復移動而 發生脈動。 在此，從上述泵P之液室9經由吐出用止回閥2 1而 吐出之移送液，經由蓄壓器的流入管路3 3及流入口 2 3 被送到液室3 1內，在此液室3 1暫時貯存後從流出口 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482872 A7 _ B7 五、發明說明（11 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 4朝流出管路3 4流出。這時，當移送液的吐出壓力在 吐出壓力曲線的山部時，移送液因爲爲了使液室3 1的容 量增大而將伸縮管2 9伸長變形，所以其壓力被吸收。這 時’從液室3 1流出的移送液的流量變得比從泵P送給來 的流量少。 且，當上述移送液的吐出壓力在吐出壓力曲線的谷部 時，因爲比藉由隨著蓄壓器的伸縮管2 9的伸長變形之空 氣室3 2內的封入壓力要低，所以伸縮管2 9收縮變形。 這時，從液室3 1流出的流量變得比從泵P朝液室3 1內 流入之移送液的流量要多。藉由這返復動作，也就是液室 3 1的容量變化使上述脈動被吸收減低。 但是，對於如上述的動作中，來自於泵P的吐出壓力 上昇變動的話，因移送液使液室3 1的容量增大，且使得 伸縮管2 9大大地伸長變形。此伸縮管2 9的伸長變形量 越過預定範圍E的話，伸縮管2 9的閉鎖上端部2 9 b將 閥壓棒4 9朝閥室內方向壓。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由此，自動供氣閥機構4 1之閥體4 4抵抗彈簧4 5 而打開並通過給氣口 3 9令高空氣壓力朝空氣室3 2內供 給，使該空氣室3 2內的封入壓力上昇。所以，可限制越 過伸縮管2 9的行程E的伸長變形量，而抑制液室3 1的 容量過度增大。並且，在閥殼3 7的空氣室側端設有上述 停止器6 1的話，因爲伸縮管2 9的閉鎖上端部2 9 b抵 接該停止器6 1 ，可以確實地防止伸縮管2 9過度地伸長 變形，所以對於其破損予防是有利的。而且，隨著空氣室 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482872 A7 B7 五、發明說明（12 ) 3 2內的封入壓力的上昇伸縮管2 9朝向基準位置S收縮 ，所以閥壓棒4 9從伸縮管2 9的閉鎖上端部2 9 b離開 ，閥體4 4再回到關閉位置使空氣室3 2內的封入壓力固 定於調整狀態。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一方面，來自於泵P的吐出壓力呈下降變動的話，因 移送液使液室3 1的容量減少，而使得伸縮管2 9大大地 收縮變形。此伸縮管2 9的收縮變形量越過預定範圍F的 話，隨著朝伸縮管2 9的閉鎖上端部2 9 b的收縮方向b 的移動使自動排氣閥機構4 2的滑行體5 6利用打開用彈 簧5 8的推迫作用而使伸縮管2 9朝收縮方向b移動，並 使滑行體5 6的閉鎖端部5 6 a的內面卡合在排氣閥棒 5 3的鍔部5 2。由此，因爲排氣閥棒5 3朝b方向移動 且排氣閥體5 1打開排氣口 4 0，所以空氣室3 2內的封 入空氣從排氣口 4 0朝大氣中排出而使空氣室3 2內的封 入壓力低下。所以，越過伸縮管2 9的行程F的收縮變形 量被限制，而抑制液室3 1的容量過度減少。而且，因爲 隨著空氣室3 2內的封入壓力的減少伸縮管2 9朝向基準 位置S伸長，所以滑行體5 6被伸縮管2 9的閉鎖上端部 2 9 b壓而一邊朝a方向移動一邊壓縮打開用彈簧5 8， 排氣閥體5 1利用關閉用彈簧5 7的推迫作用再關閉排氣 口 4 0。由此，空氣室3 2內的封入壓力被固定於調整狀 態。其結果，無關來自於泵P的液室9的吐出壓力的變動 ，可有效率地吸收脈動而抑制脈動幅度使其變小。 對於上述構成的蓄壓器A，本發明之上述液室3 1的 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482872 A7
五、發明說明（13 ) 內底面2 8 a形成朝向流出口 2 4呈朝下傾斜的形狀，以 在形成圓錐狀的內底面2 8 a的最低位置形成流出口 2 4 的較佳。但是’無關於流出口 2 4是在伸縮管2 9的軸線 c上’或是在偏離該軸線C的位置。上述內底面2 8 a的 朝下傾斜角度爲1〜4 5。 ，5〜4 5。較佳。 然而，與上述泵P的情況相同地當移送液使用含有泥 漿等的沈澱物質之液時，此液沿著內底面2 8 a的朝下傾 斜面平滑地朝向流出口 2 4流出，而使沈澱物質變得不會 停留在內底面2 8 a而凝固。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 且，如第8圖所示，上述伸縮管2 9的山部2 9 1及 谷部2 9 2上下相互連續形成而成的伸縮部分呈伸長狀態 時，不用說，呈收縮狀態時各山部2 9 1的上下的折線部 2 9 1 a 、2 9 1 b中下側的折線部2 9 1 b形成朝向前 述軸線C呈朝下傾斜的形狀，也可以有效地防止在伸縮管 2 9的伸縮部分的沈澱物的停留，且與在前述內底面2 9 a的沈澱物的滯留防止相輔使更進一步有效地防止在蓄壓 器內的沈澱物的沈澱或凝集較佳。上述山部2 9 1的朝下 傾斜角度爲1〜4 5 ° ，. 5〜4 5 °較佳。 上述實施例的蓄壓器，在空氣室3 2附有由自動供氣 閥機構4 1及自動排氣閥機構4 2所構成之壓力自動調整 機構。此壓力自動調整機構係採用如以下結構的。 也就是說，壓力自動調整機構，如第9圖所示’在蓄 壓器的外殼2 7的上壁2 6的中央附近形成開口 3 5 ’此 開口 3 5內嵌合給排氣閥內藏的閥殼3 7 ’並且’將附在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X297公釐） ~|6^ 482872 A7
五、發明說明（14 ) 此閥殼3 7的後端外周之凸緣3 6以螺絲等可裝卸地緊密 固疋在上壁2 6上’一方面，在面向伸縮管2 9的空氣室 3 2之閉鎖上端部2 9 b的中心部將給排氣閥控制盤體 7 ◦與前述閥殼3 7相對向地抵接配置。 如第1 0圖所示，在閥殼3 7的前端面給氣口 3 9及 排氣口 4 0並列形成。在給氣口 3 9 ，上述的液室3 1的 谷量越過預定範圍而增大時，設有：朝上述空氣室3 2內 供給移送液的最大壓力値以上的壓力的空氣而令空氣室 3 2內的封入壓力上昇之自動供氣閥機構4 1。在排氣口 4 0 ’液室3 1的容量越過預定範圍而減少時，設有：從 空氣室3 2內排氣而令該空氣室3 2內的封入壓力下降之 自動排氣閥機構4 2。 自動供氣閥機構4 1 ，如第9圖所示，在閥殻3 7的 後端面將螺母孔部1 7 1連通給氣口 3 9而形成，在此螺 母孔部1 7 1 ，將給氣閥體4 4及保持與此一體的閥壓棒 4 9之給氣閥柄1 7 2隔著〇形環7 3而螺固。給氣閥柄 1 7 2在螺固在螺母孔部1 7 1之前側端部形成閥室4 3 ，並且，在給氣閥室4 3的內底形成閥座4 6 ，在後側端 部將閥棒插通孔7 4形成與給氣閥室4 3連通在同軸心上 。進一步在給氣閥柄1 7 2的後側端部的外周設有複數個 將給氣閥室4 3及空氣室3 2隔著閥棒插通孔7 4而連通 之連通孔7 5。藉由設有這種連通孔7 5 ’可以提高朝空 氣室3 2的壓力變化的應答性。 給氣閥柄1 7 2在給氣閥室4 3內藏有沿著軸線方向 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公ίΐ . Τ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 482872 A7 B7 五、發明說明（15 ) 可移動自如的給氣閥3 6，並且，在閥棒插通孔7 4插通 閥壓棒4 9。閥壓棒4 9的後端部朝給氣閥柄1 7 2的後 方突出。閥棒插通孔7 4 ’呈階段狀地形成具有在比閥壓 棒4 9的外徑大之內徑及閥壓棒4 9之間形成連通間隙之 徑大孔部7 4 a 、及比閥壓棒4 9的外徑略大一些之閥壓 棒4 9幾無隙間地滑動接合之案內孔部7 4 b。給氣閥體 4 4之閥壓棒4 9藉由被案內孔部7 4 b滑動導引而可以 將給氣閥室4 3內朝其軸線方向正直地移動。 對於閥室4 3內給氣閥體4 4藉由彈簧4 5隨時地被 推迫在閥座4 6上而成緊密貼合之關閉位置。閥體4 4對 於閥座4 6隔著〇形環7 6呈氣密狀地接觸。其〇形環 7 6 ，如第1 2圖所示，藉由嵌入在給氣閥體4 4的後端 面的角部形成之圓弧溝7 7防止脫落地被安裝著。 液室3 1內的液壓在平均壓力的狀態下且伸縮管2 9 在基準位置之狀態下，閥體4 4緊密貼合在給氣閥柄 1 7 2的閥座4 6而關閉給氣口 3 9 ，並且，面臨閥壓棒 4 9的空氣室3 2內之端部4 9 a與伸縮管2 9的閉鎖上 端部2 9 b只距離有預定行程。 一方面，自動排氣閥機構4 2，如第9圖所示’在閥 殼3 7的後端面使斷面圓形的排氣閥室5 〇及比排氣閥室 5 0的內徑大的內徑之螺母孔部7 8及閥壓棒4 9連通在 同軸心上而形成。在排氣閥室5 0，如第1 4圖所示，在 圓周上的相對向部將形成平面5 1 a之形狀的排氣閥體 5 1沿著其軸線方向可移動自如地內藏。在排氣閥體5 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -18 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 482872 A7 _ B7 五、發明說明（16 ) 排氣閥棒5 3被一體地結合，此排氣閥棒5 3在螺固於前 $螺公部7 8之排氣閥棒柄7 9的中心的閥棒導引孔部 7 9 a沿著其軸線方向可滑動自如地插通保持。排氣閥棒 9將爲了連通排氣閥室5 0及空氣室3 2用的複數個 連通孔8 0設在以閥棒導引孔部7 9 a爲中心之圓上。在 @氣閥體5 1及排氣閥棒柄7 9之間隔著插通在排氣閥棒 5 3的彈簧8 1 ，並藉由此彈簧8 1隨時地推迫排氣閥室 5 0的閥座5 0 a而成緊密貼合的關閉位置。排氣閥體 5 1隔著〇形環8 2呈氣密狀地接觸閥座5 0 a 。其〇形 環8 2，如第1 3圖所示，藉由嵌入形成在排氣閥體5 1 的前端面的角部之圓弧溝8 3而呈防止脫落狀地被安裝著 〇 · 對於上述伸縮管2 9在基準位置的狀態下，排氣閥體 5 1關閉排氣口 4 Q，並且，排氣閥棒5 3的後端的鳄部 5 3 a從軸套8 4的導引孔部8 4 a的內面只距離預定的 行程。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 部其棒合僅孔狀結 心在閥嵌徑引落連 中，氣而外導脫而 的狀排排的之止部 b 形成並 3 合防端 9 盤構 55 結且後 2 圓將 8 棒動如之 部成，部閥滑自 a 端形且壓氣地動 3 上 ο 並緊排隙滑 5 鎖 7 ， 棒述間可部 閉體 5 閥上無 a 鍔 的盤 8 氣比乎 4 附 9 制部給部幾 8 的 2 控壓與端 3 部 3 管閥緊 4 前 5 孔 5 縮氣棒 8 的棒引棒 伸排閥套 4 閥導閥 在給氣軸 8 該此氣 ， 之給之套與在排 面置有 6 軸成，述 方配設 8 在形 a 上 一 接凹部。而 4 通 抵面引定大 8 插 被前牽固略部地 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •19- 482872 A7 _ B7 五、發明說明（17 ) 。排氣閥棒5 3藉由導引孔部8 4 a被滑動導引，使可以 朝其軸線方向正直地移動。然而，軸套8 4也可以一體地 形成在給排氣閥控制盤體7 0上。 此給排氣閥控制盤體7 0的給氣閥棒緊壓部8 5及給 氣閥柄1 7 2的後端部之間，以及軸套8 4及排氣閥棒柄 7 9的後端面之間分別由壓縮螺旋彈簧所構成的彈簧8 7 藉由分別被包圍在閥壓棒4 9及排氣閥棒5 3的外周隔開 ’藉由此彈簧8 7、8 7使給排氣閥控制盤體7 0朝向伸 縮管2 9的閉鎖上端部2 9 b的中心部緊壓而推迫。 且，如第1 1圖所示，給排氣閥控制盤體7 0與閥殼 3 7以與伸縮管2 9的伸縮方向平行的1支，但複數支較 佳的導引軸心8 8連結。導引軸心8 8將其前端部在閥殼 3 7的後端面隔著墊片8 9 a以螺帽8 9螺緊固定，附鍔 部8 8 a的後端部埋設固定在給排氣閥控制盤體7 0的後 端通之導引軸套9 0中呈防止脫落狀且在其軸線方向可滑 動自如地插通而連結。在導引軸套9 0的前端部形成與導 引軸心8 8幾乎無間隙地滑動結合之導引孔部9 0 a ，藉 由在此導引孔部9 0 a插通導引軸心8 8的後端部，使給 排氣閥控制盤體7 0可以在導引軸心8 8的導引下朝與伸 縮管2 9的伸縮方向平行地正直地移動。然而，導引軸套 9 0也可以一體地形成在給排氣閥控制盤體7 0上。 接著，說明上述構成的自動供氣閥機構4 1、4 2。 來自於上述往復運動泵P的吐出壓呈上昇變動的話， 藉由移送液液室3 1的容量增大，使液室3 1內的流體壓 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . i線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -20- 482872 A7 _ B7 五、發明說明（18 ) 力勝過空氣室3 2內的壓力而令伸縮管2 9伸長變形。隨 著此伸縮管2 9的伸長變形，如第1 5圖所示，在伸縮管 2 9的閉鎖上端部2 9 b的中心部將給排氣閥控制盤體 7 〇朝閥殼3 7的方向壓。由此，到其爲止用彈簧4 5使 呈閉狀態之給氣閥體4 4藉由用給排氣閥控制盤體7 0的 給氣閥棒緊壓部8 5壓給氣閥棒4 9的後端部而變成開狀 態，使壓縮空氣通過給氣口 3 9朝空氣室3 2供給來使空 氣室3 2內的封入壓力上昇。而且，隨著封入空氣壓的上 昇使伸縮管2 9收縮。如此的話，給排氣閥控制盤體7 0 的給氣閥棒緊壓部8 5變得不壓給氣閥壓棒4 9的後端部 ，藉由彈簧4 5、空氣室3 2內的壓縮空氣使給氣閥體 4 4變成閉狀態，而與液室3 1內的流體壓平衡。然而， 伸縮管2 9伸長預定的行程以上的話’其閉鎖上端部2 9 b抵接伸出於蓄壓器A的外殼2 7的空氣室3 2內之停止 器壁2 7 a ，由此限制伸縮管2 9的過剩地伸長變形，可 以防止其破損。 一方面，來自於往復動泵p的吐出壓呈下降變動的話 ，藉由移送液使液室3 1的容量減少’空氣室3 2內的壓 力勝過液室3 1內的流體壓力而使伸縮管2 9收縮變形。 因爲隨著此伸縮管2 9的收縮變形’如第1 6圖所示，隨 著朝伸縮管2 9的閉鎖上端部2 9 b的收縮方向的移動之 給排氣閥控制盤體7 0 —邊接受由彈簧8 7之推迫力一邊 朝同一方向移動，並與給排氣閥控制盤體7 〇的排氣閥棒 牽引部8 6連結之排氣閥棒5 3朝同方向被牽引，使排氣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）.21 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . .線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 482872 A7 B7 五、發明說明（19 ) 閥體5 1變成開狀態，所以將空氣室3 2內的壓縮空氣從 排氣口 4 0朝大氣中排出使空氣室3 2內的封入壓力低下 。而且，隨著空氣室3 2內的封入壓力的減少使伸縮管 2 9伸長。如此的話，給排氣閥控制盤體7 0被壓在伸縮 管2 9的閉鎖上端部2 9 b的中心部，排氣閥體5 1以彈 簧8 1的推迫作用關閉排氣口 4 〇。由此，空氣室3 2內 的封入壓力被固定在調整狀態下。 如此，流體壓力施加於伸縮管2 9內時，至與其壓力 平衡爲止藉由吸入、排出壓縮空氣，無關來自於往復運動 泵P的吐出壓的變動，有效率地吸收脈動而抑制脈動幅變 小。 如上述之在閥殼3 7內具有分離獨立之給氣閥體4 4 及排氣閥體5 1 ，相對應於伸縮管2 9的伸縮隔著給排氣 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 閥控制盤體7 0上的給氣閥棒緊壓部8 5及排氣閥棒牽引 部8 6被開閥控制。其給排氣閥控制盤體7 0因爲在伸縮 管2 9的閉鎖上端部2 9 b的中心部隨時地被抵接配置， 所以即使給氣閥體4 4及排氣閥體5 1在閥殻3 7內分離 獨立且被並列配置也不會.施加偏負荷於伸縮管2 9上，伸 縮管2 9隨時朝閥殼3 7的軸線X — X方向正直地伸縮變 形，提高給排氣閥體4 4、5 1的開閉作動的應答性，可 以確保脈動低減性能。且，因爲藉由導引軸心8 8的導引 作用可以使給排氣閥控制盤體7 0隨時地安定確實地平行 移動，所以給排氣閥體4 4、5 1變成隔著該給排氣閥控 制盤體7 0相對應於伸縮管2 9的伸縮而忠實地進行開閉 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）_ 22 _ 482872 A7 _____________ B7 五、發明說明（20 ) 作動。 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫Α頁) 上述實施例的蓄壓器A中，附有在空氣室3 2內由： 自動供氣閥機構4 1及自動排氣閥機構4 2所構成之壓力 自動調整機構，但空氣室3 2只要有空氣出入用的開口 3 5即可’不一定要壓力自動調整機構。其壓力調整也可 以以手動進行。 〔產業上之利用可能性〕 依據本發明，使用含有泥漿等的沈澱物質之液的情況 ’也可以有效地防止泵內及蓄壓器內引起沈澱或凝集。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係爲有關本發明的第1實施例的泵之全體縱斷 正面圖。 --線· 第2圖係顯示組合有第1實施例的泵的吸入用止回閥 之斷面圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第3圖係顯示第1實施例的泵的其他的變形例之全體 縱斷正面圖。 第4圖係顯示組合有第1實施例的泵的吸入用止回閥 的其他的變形例之斷面圖。 第5圖係顯示第1實施例的栗的另外的變形例之全體 縱斷正面圖。 第6圖係顯示第2實施例的蓄壓器之全體縱斷正面圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 23- 482872 A7 _______B7 __五、發明說明（21 ) 第7圖係顯示第2實施例的蓄壓器的壓力自動調整機 構之放大縱斷正面圖。 第8圖係顯示第2實施例的蓄壓器的其他的變形例之 全體縱斷正面圖。 第9圖係顯示第2實施例的蓄壓器的壓力自動調整機 構的其他的變形例之放大縱斷正面圖。 第1 0圖係顯示第9圖所示的壓力自動調整機構之平 面圖。 弟11圖係顯不第1 〇圖的F — F線斷面圖。 第1 2圖係顯示第9圖所示的壓力自動調整機構的給 氣閥之斷面圖。 第1 3圖係顯示第9圖所示的壓力自動調整機構的排 氣閥之斷面圖。 弟1 4圖係顯不第9圖的G — G線斷面®。 第1 5圖係顯示蓄壓器的伸縮管內的流體壓上昇時之 動作圖。 第1 6圖係顯示蓄壓器的伸縮管內的流體壓下降時之 動作圖。 先 閱 讀 背 © 之 注 意 項 再 填 ¥ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖號說明 4 泵本體 上壁 外殼 底壁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 之4 - 482872 A7 B7 五、發明說明（22 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 a 內 底 面 5 流 入 管 路 6 流 出 管 路 7 伸 縮 管 7 a 下 端 開 □ 周 緣 部 7 b 閉 鎖 上 端 部 8 環 狀 固 定 部 9 液 室 1 〇 空 氣 室 1 1 氣 缸 1 2 活 塞 1 3 活 塞 負 -r f- 何 部 1 4 空 氣 孔 1 5 空 氣 孔 1 6 a 近 程 探 測 器 1 6 b 近 程 探 測 器 1 7 探 測 器 檢 測 構 件 1 8 吸 入 □ 1 9 吐 出 □ 2 0 吸 入 用 止 回 閥 2 1 吐 出 用 止 回 閥 2 2 往 復 驅 動 裝 置 2 3 流 入 □ 2 4 流 出 □ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
. -丨線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -25- 482872 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（23 2 7 2 7 2 8 2 8 b 〇 2 4 3 7 3 8 3 9 4〇 4 1 4 2 4 3 4 4 蓄壓器本體 上壁 外殼 停止器壁 底壁 內底面 伸縮管 下端開口周緣部 閉鎖上端部 環狀固定板 液室 空氣室 流入路 流出路 開口 凸緣 閥殼 螺絲 給氣口 排氣口 自動給氣閥機構 自動排氣閥機構 閥室 閥體 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -26- 482872 A7 B7 五、發明說明（24 4 5 4 6 4 7 4 8 4 9 4 9a 4 9b ) 彈簧 閥座 貫通孔 導引構件 閥壓棒、閥棒 端部 上端部 排氣閥室 排氣閥體 平面 鍔部 排氣閥棒 鍔部 貫通孔 彈簧支撐體 滑行體 彈簧 彈簧 間隙 假想線 停止器 給排氣閥控制盤體 山部 谷部 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -_線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
6〇 6 1 7〇 7 1 7 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -27- 482872 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、 發明說明（25 ) 7 1 a 折線狀部 7 lb 折線狀部 7 4 閥棒插通孔 7 4 a 徑大孔部 7 5 連通孔 7 6 〇形環 7 7 圓弧溝 7 8 螺母孔部 7 9 排氣閥棒柄 7 9 a 閥棒導引孔部 8 〇 連通孔 8 1 彈簧 8 2 〇形環 8 3 圓弧溝 8 4 軸套 8 4 a 導引孔部 8 5 給氣閥棒緊壓部 8 6 排氣閥棒牽引部 8 7 彈簧 8 8 導引軸心 8 8 a 鍔部 8 9 墊片 8 9 a 螺帽 9 〇 導引軸套 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） _ _ 482872 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（26 ) 9〇a 17 1 17 2 17 3 2〇1 2 0 1a 2 0 1b 2 0 2 2 0 2 a 2 0 2 b 2 0 3 2 0 4 2 0 5 2 0 6 2 0 7 2 0 8 2 9 1 2 9 2 3 0 0 b 導引孔部 螺母孔部 給氣閥柄 〇形環 閥外殼 第1閥外殼 第2閥外殼 閥體 第1閥體 第2閥體 入口 螺公 螺母 出口 螺公 螺母 閥座 閥座體 閥座 山部 折線部 折線部 谷部 彈簧 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 丨線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -29-