TW461871B - Lifting device for substrates - Google Patents

Description

A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 e ^871 五、發明説明（1_ 本發明係關於-種具固持件之基板用升降裝置。 此類之升降裝置應職例如料狀基板，例如CD或 <製造時，將基板在-軸上導引至不同之高度。在此 叙裝置’通常在-轉台上設置多_，用以存放基板。 =_具有—所謂之間隔片’其包圍轴且各薄片狀基板係 置於此間隔片上。在軸的工作位置中，此升降裝置之固持 件’、藉由整個升降裝置之侧向軸，與此_片接合。在 此接合位置，間隔片可藉升降裝置被提升及/鱗下，而且 係根據基板是否柿上，且間隔片是否有堆放物品或物品 已從間隔片取走而定。 為將一新的軸送至工作位置’以存放或取出基板，此 •升降裝置必彡貞首先離職固持件接合_或間隔片。然後 另一新的軸運動進入工作位置，而升降裝置係退回至接合 位置。此時係需要一裝置，使升降裝置及感測器作側向運 動，此感測器用來感測此升降裝置之侧向運動，以減少此 升降裝置之故障率。除此之外，由於升降裝置之側向運動， 需要有較大之安裝空間。 從US-A 2 919 010可知一升降裝置，其具一裝有固持 件之手臂，移動著驅動器而與要存放之基板相接觸，其驅 動器例如是—活塞。其中，固持件直接抓取基板，此在特 別敏感之基板上可能造成基板之傷害。為將基板送至升降 裝置範圍内’除了用於擺動運動之驅動器外，另外設有一 驅動器用於驅動基板運動。 從DE-A-196 06 763可知一輸送裝置，其具一爪手， μΛ乐尺度迫用中國®家揉率（cys > A4规格（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}

-4 五、發明説明（2.) kl B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 用以固持及運送基板’其爪手可對-轉軸轉動。為與基板 接觸’爪手首先在基板上轉動，然後作線性運動，其中， 爪手不僅可主動轉動，也可線性驅動。 在DE-A-36 28 544顯示一種磁性固持裝置，其具可相 互移動、魏之糾，其树销鱗稍而處於適應工 件表面狀態。為抓取1件，其可魏之元件漏化，並相 互互鎖，以防止加上磁力後，元件間互相產生相對移動β 基於上述之技術現況，本發明之任務係提出一成本低 之裝置，其以簡單及可靠之方式進行軸交換。 根據本發明’其任務以下述方式解決：基板固持件藉 其自身之轉動或擺動，與基板或一基板載體接合，且此固 •持件之轉動或擺動係藉基板載體之運動所達成。藉此可有 簡單之軸交換，而升降裝置不需有侧向運動。因而省去用 於侧向運動之驅動器，及用以感測側向位置之感測器，則 廣去這些裝置之費用。此裝置整體而言具較少之元件，因 而有較高之可靠性。藉固持件被動之轉動或擺動，係產生 一種特別簡單之裝置控制，因其只須準確控制基板載體之 運動。 根據一較佳之發明實施形式，此固持件可對中心軸轉 動。 為確保固持件與基板載體不在接合狀態時係位於一預 疋之位置’此固持件在靜止位置受到預力。如此，在固持 件及基板載體間各具有均勻之接合。 其預力最好係藉至少一個磁鐵實現。藉使用至少一個 、紙張尺度適用中國囷家標準（CpS ) Α4規*格< 2丨0X297公釐） (諳先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線- .--. -5- 4 6 1 871 A7 __ B7 ( 3.) ~-——— 磁鐵’以簡單及可靠之方式實現預力，並可避免機械裝置 之缺點，例如老化及/或機械元件破壞。根據—較佳之發明 實施形式’在升降裝置之支持臂上至少裝有—磁鐵，及/或 在固持件上裝有多個磁鐵，尤其是四個磁鐵。 為了在固持件及基板載體間得到良好之接合，並造成 固持件之轉動或擺動，其固持件最好主要係具徑向伸出之 股。 根據目前較佳之發明實施形式，其固持件具有一四股 或五股之星形形狀^ 此升降裝置最好另外有感測裝置，用以感測基板載體 之升降高度。 . 以下藉一較佳之發明實施形式’以圖式更進—步說明 本發明’各圖所顯示之内容如下： 圖一本發明升降裝置之示意側視圖； 圖二本發明升降裝置在接合位置之上視圖； 圖三本發明升降裝置在中間位置之上視圖。 圖一顯示基板操作裝置丨之侧視圖，其具一升降裝置 2及一基板存放裝置3 ^ 升降裝置2具一主要係垂直設置之導轨5，及一在導 軌上線性運動之導引滑座8〇，其具—支持臂7。此具支持 臂7之導引滑座8〇係以習知之方式，可沿導軌越過相應之 驅動單元6移動至特定位置。 在支持臂與導引滑座80隔一距離之末端設有—星形 10、可轉動之固持件，最佳為如圖二及圖三之上視圖中可 本紙張尺度適用中國國家揉率（CNS }八4規格（210 X 297公ft ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本莧) 訂.· 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -1/ i -6 - B7 五、發明説明（4·) 見者。另外’在此上姻中亦可看到，此星形Μ具有 股12。在各股12間係定義出—弧形之接合面13。在股η 上或者末端附近設有磁鐵15 β星形1〇係以可對中心軸自 由地轉動來設置。所有的磁鐵15與中心轴均有相同=離 在導引滑座80之支持臂7上設置一磁鐵16，其係與 星形ίο之中心軸有相同距離，如磁鐵15。磁鐵16之指向 為，在磁鐵15上產生磁性吸引力。藉磁鐵16及磁鐵15間 之磁性吸引力，星形10只要不被外力轉動，即會運動至圖 三所示之位置，並停留在此。 基板存放裝置3係與升降裝置2相鄰設置。此基板存 放裝置3具一轉動平台20，其可對中心軸a轉動。在轉動 *平台20上設置多個(此處是四個)基板存放裝置22，各基板 存放裝置具有一底座23、一延伸、棒形之軸24，友一包圍 軸24之間隔片25。 各基板存放裝置22之底座23位於轉動平台20之表面 上’且以閉合形式與之相連。各基板存放裝置22之轴24， 藉由底座23垂直固定在轉動平台20之表茴上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 各基板存放裝置22之間隔片25為一基本上具中央開 孔之圓柱體26。此圓柱體26包圍各軸24，並沿著軸24上 下移動。圓柱體之外周係設計成如此之階梯形，使其可在 上及下末端間固定。則在上及下末端各形成一環形之凸緣 27。 基板存放裝置22係平均設置在以轉動平台20中心軸 A為中心之圓周上。 本纸張尺度適用中國國家橾率（qgS) A4規格（2i〇x297公瘦) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^87 1 A7 ----~~~~ B7 五、發明説明（5·^ ' -------- ^田轉動平台20轉動時’則基板存放裝置22亦隨同平 ° 2〇轉動。藉此轉動、基板存放裝置22間隔片25退出之 =周’s輿星形10之股12接合。再繼續轉動時，星形10藉 與間隔片25之接觸，轉進圖二所示之位置。在此位置接合 面13與間隔片25退出之外周接觸。藉導引滑座SO沿導軌 5之垂直運動，星形從下與間隔片上凸緣27接觸。再繼續 向上做垂直運動，間隔片25係沿著軸24舉升。圖一中以 虛線示意出間隔片25所舉升之位置。在此舉升之位置，係 可將基板’例如CD或DVD ’放置於間隔片25上。然後 導引滑座80下降至放置(：0之厚度，使新的cd可以疊置 在則一片CD上。此過程一直繼續，直到間隔片到達最低 •位置，其係表示軸已滿載。 為將另外的基板放置在基板存放裝置22上，將轉動平 台20轉動’使一新的基板存放裝置22與轉動星形1〇接觸， 並重複上述過程。 此裝置亦可以相反順序，將基板從軸24上取出應用。 此時，驅動滿載基板之軸24之間隔片2纟與星形1〇接觸。 最後間隔片25係逐步地沿軸24舉升，用以能將基板取出。 當最後一片基板取出後，升降裝置驅動間隔片25降下。然 後此空載之麵24繼續運動’且再驅動新的、滿載的抽與星 形10接合。 雖然上述藉一較佳之實施例說明了本發明，欲指出的 是’本發明並不只限制於此特別顯示之實施形式。尤其是 此可轉動之星形具有其他之形式。除此可轉動之星形外， 本紙珉尺变適用tg®家襟準（cys Μ4規格（2ί〇Χ297公嫠） —-I.!----------裝------訂-I!---線—---- (請先聞讀背面之注項再填寫本頁) /^61871 A7 B7 五、發明説明（6·) 亦可使用可擺動之元件，藉一軸之運動，將此元件從靜止 .位置擺動至接合位置。在軸繼續運動後，係解除此接合， 而可擺動之元件則藉例如一彈簧回到靜止位置。 I—.—----------¥-------.ΤΓ.ί---φ·— i (請先«讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（C>S ) A4規格（210X297公釐） 4 6 187 A7 B7 五、發明說明（ 元件符號說明 η 是月Φ 0, 准5 φ Π 修所 正提 。之 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 基板操作裝置 2 升降裝置 3 基板存放裝置 5 導軌 6 驅動單元 7 支持臂 10 固持件 12 股 13 接合面 15 磁鐵 16 磁鐵 20 轉動平台 22 基板存放裝置 23 底座 24 軸 25 基板載體 26 圓柱體 27 凸緣 8〇 導引滑座 I -----裝 ---- If — 訂 if------線 (請先閱讀背面之;i意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9-1 -

Claims (1)

1. 8 OQ889S ABCS \ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制取 申請專利範圍 第89101792號專利案申請專利範圍修正本 1· 一種基板用升降裝置⑵，其具一固持件(1〇)，其特徵為， 固持件(10)係藉其本身之轉動或擺動與一基板载體(25) 接合’且固持件(10)之轉動或擺動係藉基板載體(25)之 運動而造成。 2.根據申請專利範圍第1項所述之升降裝置(2)，其特徵 為，固持件(10)可對一中心軸轉動。 3，根據申請專利範圍第1項所述之升降裝置(2)，其特徵 為，固持件(10)可對一擺動點擺動。 4. 根據申請專利範圍第1項所述之升降裝置(2)，其特徵 為’固持件(10)在靜止位置施加預力。 5. 根據申請專利範圍第4項所述之升降裝置(2)，其特徵 為’固持件(10)係藉至少一磁鐵(15 ; 16)在靜止位置施 加預力。 6. 根據申請專利範圍第5項所述之升降裝置(2)，其特徵 為’在升降裝置(2)之支持臂(7)上至少有一磁鐵(16)。 7. 根據申請專利範園第5項所述之升降裝置(2)，其特徵 為，在固持件(10)上有多個磁鐵(15)。 8. 根據申請專利範園第7項所述之升降裂置(2)，其特徵 為，在固持件(10)上有四個磁鐵(16)。 9. 根據申請專利範圍第1項所述之升降裝置(2)，其特徵 為，固持件(10)主要係具徑向伸出之股(12)。 10. 根據_請專利範圍第9項所述之升降裳置(?），其特徵 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -1 --------!1·!----I ---訂----I----線 <請先閲讀背面之注意事項再填寫本1) ' 10 - τ Β QQ 0〇 0〇 ΰ ABCS 申請專利範圍 為，固持件(10)具一個四股或五股之星形形狀。 H.根據申請專利範圍第1項所述之升降裝置(2)，其特徵 為，感測裝置用以感測基板之升降高度。 n n n I I— I I _ 1 n —I. n 一3、I n n n n I I, (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -11 -