TW451333B - Equipment to process the wafers - Google Patents

Description

經濟部智慧財產局貝工消費合作杜印製 颶淨水便潦不 生由 逋 產，之 Κ 要種 之. 0 生如鲔料需各 元器 中 之例最原 •行 單存 暦 式<和產後進 埴貯 觸 形程水生最便 製 flc 多 H製盹之。Μ 此多中或 氣多之式卻爾 至置器暦 或許霈形冷學 _ 設存一 式指所«備化 供，貯之 形是 >潦投之 ，外至樓 黼別程為和同 器此送大 流特*I 作器不 存。_在 指料散水 _韈 貯中料佈 是原禳卻使各 僱器原分 別產或冷中之 多存康器 特生程種元隳 有貯生存 料之過 一擊狀 具此之貯 〇 原式刻饔造 _ 妹在出之 料衋形触需製氣。系存發統 原生 Μ 之或程應赌元系 產種流法外別式製供料單驩 生此。方 42 各形之該原進供 其 料化。在 _ 阍 產製 4 5 彳 3 3 3 A7 _____B7_____ 五、發明說明（1 ) 本發明係醐於一種依據申_専利範_第1項前言部份 之半導讎龕品製造用之設供。 此種設備可特別用來作為晶圜加工用之设備。 此種設供包括許多製造犟元，其可用來逢行各種不同 之製程Μ便對晶圓嫌行加工。埴些製程特別蕞相ttM繾 程，藹式化學製程敝遢程以及各種不网之淨化方法 (例如，化畢櫬緘式拋光（CHP>&> ◊耽毎一此種製程而 言須設置一個或多儀製埴單元。 晶圓之整儀加工蟻程鬌饔K格之ft淨空間，製埴簞元 因此是£置於無藤室中或由無塵室所姐成之系嫌中。 無塵室成無騮室糸统通常是配置在大腹之一髑樓賺中° 謾置一種供應条統Μ便》各別之褽埴犟元供應成移除 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSXA4規格（210 X 297公釐） !Ί I Μ ! !11 磨！^Γ_! <請先IU讀背面之注意事項再填寫本買) ^ 45 13 33 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（） 些雇位於無豳室所在之麕之下方。 為了以流體式生產厭料供蠹至製埴犟元，則供應管鑲 由貯存器延伸至各別之褽造單元。埴些供應管»是由貯 存器往上延伸至無應室樓躕之底部且最後匯集成由底部 嫌由各终跚而延伸至製造單元。 tt種方式之缺貼是：流鼸形式之生衋原料必鑕»由泵 (PU1P)而向上送至各供應管嬢中，Μ «可输送至各II造 轚元。瘇一方面鬌要很多之投備費用，另一方面因此會 消耗較大之能最。 供應管鑲中之流«典型上需克齦2公尺至10公尺之高 度差。為了大最地泵疽些流«,因此須克觳此 供應管嬢中之諍水懕。此外，供應管嫁内部邊缘上之摩 擦損耗在潦體流過時會大最消耗摧嫌。 在晶圓加工時在一些製造單元中會產生β氣，此種》 氣一方面會造成Β染且另一方面成多或少舍》加热。此 稽_氣須Μ送鼷蠼或顬似之機器而由製埴犟元抽出且經 由去除管鑲而傅送至貯存器中，貯存器是在無塵室下方 之»隱中。 由於R埴翬元中已加热之廢氣由於對流（convection) 而向上升，酣爾要較大之能最· K便經由去除管嬝將廢 氣抽出而送至製造犟元下方之貯存器中。 本發明之目的是提供一種上逑形式之設儀用之供應条 铳，其能儘可能省齙ft和省成本地供應或去除此種設儀 之製造單元所用之生豪原料。 ,---------c\,裝---- 入請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) tr----- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） 451333 A7 B7 玉、發明說明（ 用有醒 利明範 發利 發和 本鐮 管 _ 之附之除 申利各明去 1 _ 第和 _ 式。 繾形中 利！I 瑱 專實 _ 種生 1 中 有其 具， 供鐮 设管 送下 _ 由 下科 注原 上豪 由生 是之 ))_ vy較 ea中 (« 經濟部智慧財產局員工消费合作社印繫 之之 應鱖第上顴邐別«1犟於 IIR是朗 項當 供產；往豪氣特}迪位第流 式· 本専 。 請 的申 目在 述逋 上描 成則 連式 來形 黴它 特其 « S 氣 大 之 _ 0 較I其 0 ( 糸料 括 包 其 第 應 供 鑲 管 除 去 和 0 管 應。 供送 二 _ 0 生 式 0 流 是 別 特 生大。 • _ 中 中阃鑲 統較管 系。應 應行供 供遒一 種來第 此理至 在原送 力 _ 水製 卻各 冷於 ,* 水 £ 之是 鏽器 最存 ，貯 水 * 0元 中中 樓器 大存 在貯 置之 須設中 器拥) 存備禳 貯设方 0 種下 重下 據往 依上 長由科 除是厚 去料 和原 應瘇 供生 之之 料鼉 如 例 單 進 製 至 應 供 外 往 0 存 貯 方 上 元 迪 是 式 方 之 當 癩 <請先明讀背面之注意事項再填寫本頁〉 室 塵 0 於 位 之 樓 大 在 置 配 方 之 用 所 畤 除 去 。 和 中應 器供 存 重 邐 氣 大 之 此室貯 •藤至 中無而 *至出 樓蠊嫌 之缠元 方亦犟 上蠊進 管製 除由 去是 由 ο 行 進 來 量 0 之 小 最 Μ 由 由績之 之繼薩 髗中流 流鐮成 使管建 最除便 重去鉍 身和丨 本嬝统 於管系 應泵 供之 1 少 第很 在霱 可只 象或 規«» _ 不 颺流此 較之因 _ 下 潦往行 於上缠 供 二 第 至 送 _ 上 注 下 由 朗 料 原 產 生 之 輕 0 氣 大 _ ο 0 送較 Μ 上 向 0 管 除 去 二 第 由 0 氣 0 之 I 染-5 。 污 中受 鐮旦 管熱 除加 去已 和 丨 嬢如 管例 應 本紙張尺度適用中0國家棵準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 政--------tr-----

I I 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 4 0 1 3 33 A7 ________ B7 五、發明說明（> 由製造犟元排出。瓛當之方式是此種醆氣須容納於貯存 器中，貯存器是在無鼸室上方之樓鼸中。 由於巳加热且受污染之«氣_由對流而在製埴車元之 外軍之方向中流則鼷氣可由該處不欝银大之能量和 材料耗費®坷由製造軍元抽出而至各去除管籙中。 本發明Μ下將依據式來詳逋式餹單晚明如下： 第1 _係晶鼷加工用之投嫌之_解，其在無驅室中具 有多僱褽缠單元° 第2 _係大櫻之横切面，其具有一種配置在禳蘑上之 第1 _所示之無塵室Μ及一種分佈在其它樓磨中之供應 条統。 第1_示晶園加工用之設僱之製邊犟元1 «製埴犟 元1 «置在餺藤室2中且用來進行晶画加工時所爾之製 程〇瘇些製程特別是包括鍤刻邊程，灞式化學方法，攘 散過程W及淨化方法。躭轚«製程而言須设置一傾或多 個製造單元1 ° 逋些褽埴蕈元择由一種_送条被而缠接，一些装有矗藝 之小箱3»由輸送雋味而傳送至製造單元1 。输送条統 具有一種H送糸統4,例如，滾輸傅送檐或猗鑛式傳送 機，上述之小箱3是在躔些傅送截上輪送。此外•此種 _送条統具有一種預定_目之未顏示之貯存器暂時 鶼存晶Η » 由第2鼸可知，»缠單元1存在於大樓5中·其中此 麵驅室2 Κ及逋些»埴單元1是位於大樓5之樓*6中。 -6 ' 本紙張尺度適用中國0家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 裝--------訂----- <請先«婧背面之注意事項再填寫本頁)

I I I ο 4 5^333 A7 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 __B7__五、發明說明（5 ) 此種设供男外具有一種供應条統Μ便供應成去餘上述 之生豪原料•逋些生豪原料對逋些在製造單元1中4行 之製程而言是需竇的。 此種供廳系統具有多麵貯存器，其中存放瞢生產屎科 ,生產原料經由供廛管鐮7a,7b而傳送至製遒單元1 ° 此外，設有貯存器，生豪原料由製進單元1®由去除管 »8a,8b而傅送至貯存器。逋些貯存器在本實嫌例中配 置在大檑5之二個不同之樓雇9,10。樓*9因此是在無 騸莖2此一樓*6之上方，而另一禳曆則在無臞室2 tt —樓鼸6之下方。 依搣本發明•各別之貯存器播K置在二個樓蹰9·10中 ，使缠些較网_大氣雄簠之生*原科«由第一供應管繍 7a而傅送至製埴犟元1 ,而第一供應管鐮7a是由無應宽 2上方之樓*9經由無塵室2之外罩11而延伸至各別之 褽埴單元1 。較周圈大氣«簠之生麄蹶料則經由第一供 應管嬝8a由製造羣元1向下排出◊瘇些去除管鐮8a經由 無鼴室2之底部12而延伸且延伸至無塵室2下方播靥10 中之貯存器中。在室溫Μ及常懕時周圃之大氣_常由空 氣所形成。 反之，較两_大氣*輕之生豪原科《由貯存器（其S 置於無應室2下方之樓雇10中）之第二供應管》71>两_ 送至褽造單元〗。第二供應管嬢7b有一部份是在無鱷室 2之底部12中延伸且然後使生產應料由下往上而供應至 製造覃元〗。較两麵大氣«輕之生產原科鋟由第二去除 -----— !,';/裝 ---II 訂ill — <請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) ΑΧ 本紙張尺度適用t國困家楳準（CNSM4規格（210 * 297公釐〉 451333 69 7 〇5 4 5$ A7 B7

五、發明說明（

縯請委員明 .Μ 〔if内容 經濟部智懸財產局貝工消費合作社印製 管掠8b而由製造單元1傳送至貯存器，其配置在無塵室 2上方之樓層9中。一部份往上延伸之去除管線因此會 貫穿無塵室2之外mu» 瘡些較周圍大氣堪重之生產原料特別是指流體。此外 .瑄些牛.產原料亦可由適當密度和溫度之氣體所肜成。 典型上是使用純水，最純之水和冷卻水作為流體式生 產原料。純水和最純之水是許多製造過程（例如，淨化 過程和擴敗過程）所褥要的。冷卻水是用來冷卻各製造 堪元〗中之機器和設備。此外，使用不同之流體式化學 劑於不同之製程中。此種流體式化學劑例如是—種蝕刻 溶液（例如，KOH和NaOH)M便進行蝕刻過程或一種鹼性 溶液或酸性溶液以便淨化晶圓。 例如就氣體形式之生產原料而言，’蝕刻氣體是用來進 行触刻過程。轴刻氣體例如何由鹵素化合物所構成。此 外，可使用氧來淨化晶圓Μ及隨後使用較熱之氮使晶圓 乾換。 晶圓加工用之設備通常包含許多製造單元1以及許多 貯存器Μ便供應一些生產原料至製造單元1或由製造單 元1中排除一些生產原料。 第2圖中顯示此種晶圓加工用之設備之較小之一部份 在第g阃所示之大樓5之一部份中，無屋室2中之中 央樓層6中顯示三個製造簞元1 ° 在上方之樓層9中設置一傾構成水庫13之貯存器，其 中存放著最純之水。在水庫13之底部區域中引出第一供 -8 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀 面 之 注 意 事 項 再 訂 線

U 4 5 13 3 3 ^ A7 ____^B7_ 五、發明說明（7 ) 應管鐮7a，其可供應此三籲製埴臞元1 *純之水。 供應管鐮7a首先在水平方向中在無塞室2之外軍11中 延伸且然後垂直向下鷲伸至製堆單元1中。供應管繚7a 經由未頤示之终繡而導入》造單元1中。因此須麵取« 些製造翬元1上之各別终靖所需之梅成«度，使最鏵# 之水在各別之製缠犟元1中可處於無醞室2之底播12上 方所II之高度中。由於供應管蠊7a使最《之水只在水平 方向中或垂亶注下而裱_送，脚使最«之水鎗迸至製埴 簞元1時不鬌成只需根小之泵（ρ«ι·ρ)功率。 此稽最鼸之水蠼常俞由於褽埴覃元1中之製程而受到 污染，使其必須在一預定之畤W之後由»«軍元1中去 除而成為鼷水。在本實旛侧中此種_水ft由第一去除管 孅8a而由SR進章元1引導至二«Μ接收式容器14構成之 貯存器中。此種接收式容器14fi置在無襄室2下方之» 暦10中。缠些去除管鑲8a _入至製進犟元1上之未鼷示 之各终鳙，有一部份是在水平方向中在無應簋2之底部 本紙張尺度適用中國a家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） n — ml— --------^illm ! *^~」， <請先Μ讀背面之注項再填寫本頁> 由由14U 此傳或 而«器yc下下霣 中8a容ec況往不 向》 式 U 情上言 方管收瑷種由而 之除癢«此線中 14去。再在管14 器些中之。除器 容逋14示水去容 式，器顯之由式 收後容未»» 收 接最式種最)接 於。收一 slfl至 伸出接至得ικ!ι除 逋導妹送又Μ嫌 下引入傅水 Θ 水 〇 往12導可廢Μ釀率 直» 而水由ia種功 垂底皤_可K1此栗 且之终之中Μ躭之 伸2 之染其ϊ此小 Κ 室示污，水因银 中 _ 釀受儺 _ ，番 12無未中投種送 Ρ、 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 451333 A7 B7 五、發明說明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 去體氣1516所中。2 過由中第 9 刻此元 單製保貯 二氣空庫爾sl8b室 刻經 1 至曆触以單 造此量之 第以之體井周元線鼷 蝕器元放樓使。造泵 製至能體 ，之热氣氣較單管無 行存單排之 •動製用 涸送之氣 始中加至廢氣造除由 進貯造而方中流由使 一傳需有 開 9 被送由空製去可 來之製8a上10下或SI)示B)所具 罩圃已傅經之在至置 用成在線 2 層往 10 顯 Ml 之 外樓且部且染氣送裝 可形。管室樓上元fT緣 W 元成 之方染内化污空傳吸 別所 1 除鼷之由單 Η 邊 U 單構 1 上污之淨受之且抽 特17元去無方中造 Η 造式 元於受 1 被之熱出之 1 槽單一於下8a製(3S右H2製方 單置已元中热加吸示。元 一 造第置 2 線至需 之 至之 造配。單庫加已被顒氣單第製由配室管液不 應19 製種中造II已種最未空造 _ 至經此臛除溶而 元(«|供庫 之一器製氣於 fc 能中之製 一送液因無去刻液 單(iieH 緣至存由在由則之擊過之由傳溶17於和鈾溶 造 «氯氣 邊伸貯而氣。 ，少之用示處而刻播置7ai一刻 製氣使 K 方延之8b空出輕較 1使所此78抽 j 配線埴蝕 示之了種 左上成媒之排 元未央液線此第18管應些 所热為一 M往構蕾染 5 氣能犟 _ 中溶管.。樓應供瑄 中加。刖 28b式除污檷大而造一圃刻應後中二供可除。_已1 · 第媒形去受大之升骋)«2触供之18第在式排p)2 ，元小 由管15由。由成 h 由供第。一用榷目液方由UM第 1 單很 除庫姅中而形件铧中 稈第使二中溶種 1(p元造持 ----：---------"裝--------訂--------- 乂請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國困家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） 4 5 13 33 A7 B7 五、發明說明（ 存器直接 燦7b由氣 應室2之 垂竄往上 用。 同理， 存器，其 於相對應 9上，因 上之终鏽 黼癉20中 參考符諕 S置於無龐室2下方之樓 艚庫19往上籤伸至II造覃 底部12。供應管嬢7b因此 地鏟伸，使氣β之對流式 第二去除管嬢8b由製造犟 是由第二氣鱷庫20所構成 之製造臞元1上方之位於 此在此種情況下此去除管 垂亶地向上S伸旦經由未 〇 銳明 曆10中。第二供應管 元1且因此舍貫穿無 ϋ乎歸由轚個ft度而 移動可最佳化地被利 元1之外覃薙伸至貯 。氣艚庫20直接配置 無騮室2上方之樓ϋ 線8b亦由褽埴單元1 顏示之终孃而等入氣 經濟部暫慧財產局貝工消费合作社印製 1____ .製港單元 2.… .無塵室 3 ·… .小箱 4____ .傅送糸统 5.… .大樓 6 .… .樓蹰 7a ( 7b .....供》 8a , 8b .....去除 9.10. 檐 η… ..外罩 12... ..底都 13… ..水癉 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t) il.—Λι^裝--------訂·—-ML:- <請先《讀背面之注f項再填寫本頁> 4 5 13 33 A7 _B7 五、發明說明（]ί>) 式 收 接 井 氣 0 癉 器體 容氣筒 榷 <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .vr# 裝--------訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標竿（CNS>A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 埼縫委Η(Γ".:':·:尽案修正後是否變£原實質内容 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 451333 六、申請專利範圍 第89 105 45 8號「晶圓加工用之設備」專利案 (89年10月修正） A申請專利範圍： 1. 一種半導體產品製造用之設備，特別是晶圜加工用之設 備，其具有：一種在至少一個無塵室中由多個製造單 元所形成之配置；一種供應系統，以便供應或排除這 些製造單元所用之生產原料，其特徵爲： 此種供應系統具有第一供應管線（7a)和去除管線（8a), 較周圍大氣邇重之生產原料由上向下傳送至這些管線 (7a,8a)中；另具有第二供應管線（7b)和去除管線（8b), 較周圍大氣還輕之生產原料由下往上供應至這些管線 (7b,8b)中》 2如申請專利範圍第1項之設備，其中無塵室（2)位於大 樓（5)之樓餍（6)中，至少在此大樓（5)之分別位於無塵室 (2)上方和下方之樓層（9,10)存在一些貯存器以便容納此 生產原料· 3. 如申請專利範圍第1或第2項之設備，其中流體式生 產原料或氣體形式之生產原料（其較周圍之大氣還重且 可經由第一供應管線（7a)而供應至製造單元（1))用之貯 存器是配置在無塵室（2)上方之樓.層（9)中。 4. 如申請專利範園第3項之設備，其中接收流體式或氣 體式生產原料（其較周圍大氣還重）所用之貯存器是配置 在無塵室（2)下方之樓屠（10)中，生產原料可經由第一 去除管線（8a)而供應至此貯存器中。 本紙張尺度適用+國國家標準（CNSU4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注$項再填窝本頁) 1451333 六、申請專利範圍 (諳先明讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 5. 如申請專利範圍第1或第2項之設備，其中氣體式生產 原料（其較周園大氣還輕且可經由第二供應管線（7b)而 供應至製造單元（1))用之貯存器配置在無塵室（2)下方之 樓暦（10)中· 6. 如申請專利範圍第5項之設備，其中接收氣體式生產 原料（其較周圍大氣還輕）所用之貯存器配置在無塵室（2) 上方之樓層（9)中，生產原料可經由第二去除管線（8b) 而供應至此貯存器中。 7. 如申請專利範圔第6項之設備，其中接收這些由製造 單元（1)所排出之流懂式生產原料所用之貯存器是以接 收式容器（14)構成》 8. 如申請專利範圍第1或第2項之設備，其中第一供應管 線（7 a)和第二去除管線（8b)經由無塵室（2)之外罩（11)而 延伸· 9. 如申請專利範圍第1或第2項之設備，其中第二供應管 線（7 b)和第一去除管線（8a)經由無塵室（2)之底部（12)而 延伸· ία如申請專利範園第1項之設備，其中設有最純之水，純 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 水或冷卻水以作爲流體式生產原料。 1L申請專利範圍第3之設備，其中設有最純之水，純水或 冷卻水以作爲流體式生產原料。 12·如申請專利範圍第1或第10項之設備，其中設有流體 式化學劑以作爲流體式生產原料。 如申請專利範圍第12之設備，其中流體式化學劑是由 本紙張尺度適用中國闺家標準（CNS>A4規格（210 * 297公釐） 3 3 3 Λί 5 4 S8B8 ABaD 六、申請專利範園 蝕刻溶液（特別KOH或NaOH)所形成以便進行各蝕刻過 程。 K如申請專利範圍第12項之設備，其中流髏式化學劑是 由鹼性或酸性溶液所形成以便使晶園淨化· 1&申請專利範圔第13之設備，其中流值式化學劑是由鹼 性或酸性溶液所形成以便使晶園淨化。 如申請專利範醑第1或第2項之設備，其中製造單元（1) 上方之貯存器中先前作爲氣體形式之生產原料用之已 加熱且受污染之廢氣被去除 17如申請專利範圃第〗或第2項之設備，其中蝕刻氣體作 爲氣體形式之生產原料以便進行各蝕刻過程》 徂如申請專利範圍第17項之設備，其中蝕刻氣體是由豳 素化合物所形成》 B如申請專利範園第1或第2項之設備，其中氧氣作爲氣 體形式之生產原料以便在淨化過程中使晶豳淨化且氮 是用來使晶画乾燥。 20.如申請專利範園第17項之設備，其中氧氣作爲氣髖形 式之生產原料以便在淨化過程中使晶圖淨化且氮是用 來使晶圓乾燥· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公髮） 請 先 閲 讀* 背 面 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 I I I I I 訂 線 經濟部智慧財產局員工消费合作社印紫