TW451111B - Photosensitive paste, plasma display, and process for the production thereof - Google Patents

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451111 Α7 Β7 五、發明説明（1 ) 〔技術領域〕 本發明係關於新穎感光性糊料及使用其糊料之電漿顯 示器及其製法。 本發明之感光性糊料係用於以電漿顯示器、電漿陣列 液晶顯示器爲始之各種顯示器、電路材料等之圖案加工。 又、電漿顯示器可用於大型電視或電腦。 〔背攀技術〕 近年來、在顯示器或電路材料領域、高精度圖案加工 無機材料之技術爲所期盼。尤其在顯示器領域、愈來愈小 型、高精細化、伴隨於此、圖案加工技術之提高亦爲所期 望。例如在電漿顯示器面板之各繪素隔件之隔壁的形成、 ' 係使隔壁等之無機材料可在高精度且高長寬比下圖案加工 之材料爲所望。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事頃再填寫本頁) —方面、在電路材料領域、雖對封裝IC之陶瓷基板 予以精密加工之技術爲必要、在目前主要進行網版印刷或 沖孔之圖案加工、故伴隨電路材料小型化、對應於髙精度 圓案之要求爲所望。 習知之進行無機材料圖案加工之場合、將無機微粒子 與有機粘合劑所成之糊料網版印刷後、多用燒成方法。但 是網版印刷有無法形成高精度圖案的缺點。又在形成高長 寬比圖案之場合、有必要進行多層印刷、故製程多。 改良此問題的方法在美國專利第4 8 8 5 9 6 3號、 美國專利第5209688號、日本特開平第5 — 本紙張尺度適用中國國家標準（<^5)八4規格（210父297公釐）_4- 4St ί 1 Α7 Β7 五、發明説明ί： 2 ) 3 4 2 9 9 2號公報、有提案使用感光性糊料以光致蝕刻 技術形成之方法。但是因感光性糊料之感度或解像度低無 法得到髙長寬比、高精細的隔壁、故在圖案工例如超過 8 0 厚度之場合、多次加工工程（塗佈、曝光、影像 工程）爲必要、使製程變長。 又、在美國專利第5 2 0 9 6 8 8號、提案將感光性 糊料塗覆於轉印紙後、將轉印薄膜轉印至玻璃基板而形成 隔壁之方法。而在日本特開平3—57138號公報、提 案在光致蝕刻層之溝充填電介質糊劑而形成隔壁之方法》 在美國專利第5 16 2 7 1號提案使用感光性有機薄膜形 成隔壁之方法。但是此等方法中轉印薄膜或光致蝕刻劑或 有機薄膜爲必要、會增加製程。又、亦無法得到具高精度 或高長寬比之隔壁。 再者在電漿顯示器中、不僅隔壁、亦有絕緣體層或電 介質之圖案加工爲必要之場合、故有和隔壁同樣的問題。 〔發明之揭示〕 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 (請先閲讀背面之注意事頃再填寫本頁) 本發明係提供一種感光性糊料、進行感光性糊料中有 機成分及無機成分之折射率控制、藉以削減有機成分及無 機成分之界面反射、散亂、可達成高長寬比且高精度之圖 案加工之目的。又、亦提供高精細電漿顯示器及其製法。 本發明之目的其特徵爲、係含有無機微粒子及感光性化合 物之有機分爲必須成分之感光性糊料、無機微粒子之平均 折射率N 1及感光性有機成分之平均折射率N 2滿足次式 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）-5 — 451 1 1 1 A7 B7 五、發明説明ί： 3 ) 之感光性糊料而達成。 -0 . 1SN1-N2S0. 2 又，本發明之目的係含無機微粒子及感光性化合物之 有機成分爲必須成分之感光性糊料、使用平均折射率 1. 5〜1. 7範圍之無機微粒子爲其特徵之感光性糊料 而達成。 再者、使該糊料塗佈於玻璃基板後、經過曝光、顯像 、燒成之各工程、形成隔壁爲其特徵之電漿顯示器及其製 法來達成。 〔實施發明之最佳形態〕 本發明之感光性糊料、係由含無機粒子與感光性化合 物之有機成分所成、在使用感光性有機成分之光致蝕刻之 圖案形成後進行燒成、以製成無機物之圖案。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 糊料中無機微粒子之含有率爲5 0〜9 5重量％、再者、 在7 0〜9 5重量％燒成時之收縮率小、燒成之形狀變化 變小較佳。 本發明人等經刻意檢討、結果發現使該有機成分之平 均折射率與無機微粒子之平均折射率之差爲〇. 1以下’ 較佳爲0· 07以下、可簡便得到髙長寬比之圖案。 再者、感光性糊料中無機微粒子之平均折射率N 1與 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公董）-6 - 4fl 1 1 1 A7 B7 五、發明説明ί： 4 ) 感光性有機成分之平均折射率N 2滿足次式、使高長寬比 之圖案可髙精度形成。 -0 . 05^N1-N2^0. 1 較佳爲-0. 0 1SN1— N2S0. 0 7 再者，考慮到有機成分藉聚合而提髙折射率之情形， 可滿足次式，以彤成更高長寬比之圖案。 0<N1-N2<0. 07 / 又、有機成分藉光照射之聚合後之折射率N 3與無機 微粒子之平均折射率N1、可滿足次式、以形成高寬比之 圖案。 -0 . 03 客 N1-N3 客 0. 03 經濟部十央標準局員工消費合作社印製 (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 無機微粒子若爲一般者並無特別限定*可使用玻璃、 陶瓷（氧化鋁、蓳青石等）、金屬（金、白金、銀、銅、 鎳、鈀、鎢、氧化釕或該等合金）等、而以矽氧化物、硼 氧化物或鋁氧化物爲必須成分之玻璃或陶瓷較佳。該等爲 絕緣體、絕緣圖案之形成、可使用於尤其是電槳顯示器或 電漿陣列液晶顯示器隔壁之形成。 無機微粒子之粒徑、可考慮欲製作之圖案形狀加以選 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-7- 45 f \ \ A7 B7 五、發明説明（5 ) 擇、有50重量％粒徑爲0. 1〜10jum、10重量％ 粒徑爲0 . 4〜2 itzm、9 0重量％粒徑爲4〜1 0仁m 大小、比表面積0. 2〜3m 2/ g之無機微粒子、在圖 案形成上較佳* 又，無機微粒子可使用形狀爲球狀之無機微粒子、以 得到高長寬比之圖型。具體而言、球形率8 0個數％以上 較隹《更佳是平均粒徑1. 5〜4βιη、比表面積0. 5 〜1. 5m 2/ g、球形率90個數％以上。 球形率係在顯微鏡觀察時、具有球形或橢圓球形狀之 粒子比率、而在光學顯微鏡係觀察圓形、橢圓形》 使用4 8 6 nm波長下粉碎全光線透過率（3mm厚 )爲5 0%以上玻璃所得之玻璃微粒子、可得到更正確形 狀之圖案。’ 用於電漿顯示器或電漿陣列液晶顯示器之隔壁時、因 圖案形成於熱軟化點低的玻璃基板上、故無機微粒子係俾 用熱軟化溫度（Ts) 3 5 0〜600 °C之玻璃微粒子 6 0重量％以上較佳。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁} 又、爲在燒成時不產生基板玻璃之凹凸（camben )故 使用線熱膨脹係數5 0〜9 0 X 1 0_7再者、使用6 0〜 90xl0_7之玻璃微粒子較佳》 玻璃微粒子之組成以配合氧化矽3〜6 0重量％之範 團較佳、未滿3重量％ •時 '玻璃層之緻密性、強度或安定 性低、又偏熱膨脹係數所望之值、易產生與玻璃基板之配 合不準。又、在6 0重量％以下時有熱軟化點低、對玻璃 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐> -8 — 4S1 1 1 1 A7 B7 五、發明説明ΐ： 6 ) 基板之烘烤（baking)爲可能之優點。. 氧化硼以5〜50重量％之範圍配合、可提高電絕緣 性、強度、熱膨脹係數、絕緣層之緻密性等電、機械及熱 特性》超過5 0重量％時會使玻璃安定性降低。 使用含5〜5 0重量％氧化鉍、氧化鉛、氧化鋰、氧 化鈉、氧化鉀中至少一種的玻璃微粒子、以得到玻璃基板 上具有可圖案加工之溫度特性的玻璃糊料。 超過5 0重量％時、玻璃之耐熱溫度變得過低造成玻 璃基板上之烘烤變難。尤其是使用含有5〜5 0重量％氧 化鉍之玻璃、有糊料之適用期（pot lide)長的優點。 含有氧化鉍之玻璃組成、含有5 0重量％以上以氧化 物換算列表爲： 氣化鉍 5〜50重量％ 氧化矽 3〜60重量％ 氧化硼 5〜50重量％ 之組成較佳。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 I-I _— I 1 — I, /裝-- {請先閲绩背面之注意事項再填寫本頁) -h 但是，一般作爲絕緣體之玻璃具有1. 5〜1. 9左 右之折射率。有機成分之平均折射率與無機微粒子之平均 折射率大不同時、無機微粒子與感光性有機成分之界面反 射、散亂變大、無法得到精細圖案。一般有機成分之折射 率爲1. 45〜1. 7、故無機微粒子之平均折射率爲 1. 5〜1. 7、可整合無機微粒子與有機成分之折射率 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2!0X297公釐）-9 - ^51 1 1 1 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明ί： 7 ) 。較佳是、折射率是1. 55〜1. 65、有機成分選擇 範圍廣之優點。 使用含合計3〜2 0重量％氧化鋰、氧化鈉、氧化鉀 等鹼金靥氧化物之玻璃微粒子、不僅可使熱軟化溫度、熱 膨脹係數之控制容易、亦可降低玻璃之平均折射率、易使 有機物之折射率差變小。鹼金靥氧化物之添加量爲使糊料 之安定性提高、以2 0重量％以下爲佳、更佳爲1 5重量 %以下。 尤其是鹼金靥中使用氧化鋰可較爲提高糊料的安定性 、又、使用氧化鉀時、即使添加較少量亦有可控制折射率 之優點、在鹼金靥氧化物中、氧化鋰與氧化鉀之添加爲有 效。 此結果、具有在玻璃;基板上可烘烤之熱軟化溫度、可 使平.均折射率成爲1 . 5〜1 . 7、易與有機成分之折射 率差變小。 含氧化鉛或氧化鉍之玻璃、在熱軟化溫度或耐水性之 提高方面較佳、而含氧化鉛或氧化鉍1 0重量％以上之玻 璃微粒子、折射率1. 6以上極多。因此、併用氧化鋰、 氧化鈉、氧化鉍等鹼金屬氧化物與氧化鉛或氧化鉍、可易 於控制熱軟化溫度、熱膨脹係數、耐水性、折射率。 又，在玻璃微粒子中添加氣化鋁、氧化鋇、氧化鈣、 氧化鎂、氧化鈦、氧化·鋅 '氧化鉻等、尤其是氧化鋁、氧 化鋇、氧化鋅、可改良高度或加工性、而以控制熱軟化溫 度、熱膨脹係數、折射率而言、其含量4 0重量％以下較 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210X297公釐）-10 - ---------^i 裝— (請先閲绩背面之注意事項再填窝本頁) 訂- ^51 1 1 1 Α7 Β7 五、發明説明ί： 8 ) 佳、更佳爲3 0重量％以下、且該等含量之合計爲5 0重 量％以下。 又、在本發明所用之糊料中，添加熱軟化點6 0 0〜 9 0 0 °C之玻璃微粒子或陶瓷微粒子在4 0重量％以下範 圍，可控制燒成時之收縮率。但是，此時所用無機微粒子 之折射率爲0.1以下、再者，0. 05以下在精度良好 的形成圖案上爲重要。 一方面，電路材料，尤其多層基板所用之玻璃材料， 由於可使用玻璃以外之陶瓷作爲基板，故無必要使熱軟化 溫度在6 0 0 °C以下，使材料之氧化鋁含量爲2 5〜7 5 重量％左右，可形成強度更高之基板。 本發明中無機微粒子之折射率測定可依貝克法行之6 測定之光波係在塗佈糊料後，以曝光之光波長測定在效果 之確認上爲正確。尤其是以3 5 0〜6 5 0 nm範圍之波 長光所測定者較佳。再者在i線（3 6 5 n m )或g線（ 4 3 6 nm)之折射率測定較隹。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事頃再填寫本頁) 添加各種金屬氧化物、可在燒成後之圖案著色。例如 在感光性糊料中含1〜1 0重量％黑色金屬氧化物，可形 成黑色圖案。 此時所用之.黑色金屬氧化物，係含有C r、F e·、 C ο、Μη、C u氧化物內至少一種，較佳是三種以上， 可呈黑色化。尤其是分別含有Fe及Μη之氧化物〇. 5 重量％以上，可形成較黑色之圖案* 再者，在黑色以外，使用添加發色爲紅 '藍、綠等無 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2!〇Χ297公釐）-11 - 451111 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9 ). 機顏料之糊料，可形成各色圖案β該等之著色圖案可適當 使用於電漿顯示器之濾色器。 又，本發明所用之無機微粒子可組合成分不同之微粒 子使用。尤其是熱軟化點不同之玻璃微粒子或陶瓷微粒子 、可抑制燒成時之收縮率。 但是，此峙所用成分不同之無機微粒子，其折射率差 在0.1以下，再者，在0. 05以下，在精度良好的形 成圖案爲重要。 本發明所使用之有機成分，係含有感光性有機物之糊 料中有機成分（自糊料除去無機成分之部分）。 本發明所用感光性糊料、感光性成分之含有率在有機 成分中1 0重量％以上，再者3 0重量％以上對光之感度 較好》 ' 有機成分含有至少一種選自感光性單體、感光性低聚 物、感光性聚合體中之感光性成分、再者，可因應需要， 添加粘合劑、光聚合引發劑、紫外線吸收劑、增感劑、增 感助劑、聚合禁止劑、可塑劑、增粘劑、有機溶媒、防氧 化劑、分散劑、有機或無機之沈澱防止劑或均平劑等之添 加劑成分。 感光性成分有光不溶化型及光可溶化型者，光不溶化 型者有： (A )分子內有一個以上不飽和基等官能性之單體， 低聚物，聚合物者， 本紙張尺度適用中國國家襟準（CNS)A4規格（210X297公釐）-12- (請先閲請背面之注意事項再填寫本頁)

4 51111 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（10), (B )含芳香族重氮化合物、芳香族選氨基化合物、 有機鹵化合物等之感光性化合物， (C )重氮系胺及甲醛之縮合物等，即所謂重氮樹脂 等物。 又，光可溶性者有： (D )含重氮化合物之無機鹽或有機酸之絡合物、苯 酮重氮類， (E )使苯酮重氮類與適當聚合物粘合劑鍵結之，’例 如酚，酚醛清漆樹脂之某醌—1，2 —二選氮基—5 —磺 酸酯等ά 本發明所用感光性成分，可使用上述所有之物。感光 性糊料方面，與無機微粒子混合、可簡便使用之感光性成 分之（A )較佳。 感光性單體，係含有碳一碳不飽和鍵結之化合物，其 具體例有：甲基丙烯酸酯、乙基丙烯酸酯、正丙基丙烯酸 酯、異丙基丙烯酸酯、正丁基丙烯酸酯、第二丁基丙烯酸 酯、第二丁基丙烯酸酯、異丁基丙烯酸酯、特丁基丙烯酸 酯、正戊基丙烯酸酯、烯丙基丙烯酸酯、苄基丙烯酸酯、 丁氧基乙基丙烯酸酯、丁氧基三乙二醇碁丙烯酸酯、環己 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-1含_ —. (請先閎讀背面之注意事項再填寫本J) >· r· 訂 45t 1 1 1 A7 _____B7___ 五、發明説明（11) 經濟部中央標準局貝' 工消費合作社印製 (請先閲绩背面之注意事項再填寫本頁) 基丙儲酸酯、二環戊烯基丙烯酸酯、二環戊烯基丙烯酸酯 、2 —乙基Q基丙烯酸酯、甘油基丙烯酸酯、縮水甘油基 丙烯酸酯、十七基十一基丙烯酸酯、2 -羥基乙基丙烯酸 酯、異冰片（isobornyl )基丙烯酸酯、2-羥基丙基丙 烯酸酯 '異癸基丙烯酸酯、十六基丙烯酸酯、月桂基丙烯 酸酯、2 —甲氧基乙基丙烯酸酯 '甲氧基乙二醇基丙烯酸 酯、甲氧基二乙二醇基丙烯酸酯、八氟戊基丙烯酸酯、酣 氧基乙基丙烯酸酯、硬脂醯基丙烯酸酯、三氟乙基丙烯酸 酯、烯丙基化環己基二丙烯酸酯、1，4 -異丁二醇胺二 丙烯酸酯、1，3 —丙二醇基丙烯酸酯、乙二醇基二丙烯 酸酯、二乙二醇基二丙烯酸酯、三乙二醇基二柯烯酸酯、 聚乙二醇基二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊 四醇單羥基五丙烯酸酯、二三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、甘 油基二丙烯酸酯、甲氧基化環己基二丙烯酸酯、新戊二醇 二芮烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、 三甘油二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、Η烯醯胺 、氨乙基丙烯酸酯、苯基丙烯酸酯、酚氧基乙基丙烯酸酯 、苄基丙烯酸酯、1 一某基丙烯酸酯、2 —綦基丙烯酸酯 、雙酚Α二丙烯酸酯、雙酚Α —環氧乙烷加成物之二丙烯 酸酯、雙酚A環氧丙烷加成物之二丙烯酸酯、苯硫酚基丙 烯酸酯 '笮基硫醇基丙烯酸酯、或該等芳香環之氫原子中 ，取代1〜5個氯或溴原子之單體、或苯乙烯、對甲基苯 烯、鄰甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、氯化苯乙烯、溴化苯 乙烯、α —甲基苯乙烯、氯化α_甲基苯乙烯、溴化α-本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4规格（210X297公釐）_ 14 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 451111 A7 _B7___ 五、發明説明（12 ) 甲基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、羥基甲基苯乙烯、羧基甲基 苯乙烯、乙烯基棻、乙烯Μ、乙烯基叶唑及將上述化合物 分子內之丙烯酸酯一部分或全部變成甲基丙烯酸酯者、有 r 一甲基丙烯氧丙基三甲氧基矽烷| 1-乙烯基—2 —吡 咯烷》本發明可使用該等之一種或二種以上r 除此之外|添加不飽和羧酸等之不飽和酸，可提高感 光後之顯像性。不飽和羧酸之具體例有丙烯酸、甲基丙烯 酸、衣康酸、巴豆酸、馬來酸、反式丁烯二酸、乙烯乙酸 酯或該等之酸酐。 粘合劑有聚乙烯醇、聚乙烯丁縮醛、甲基丙烯酸酯聚 合物、丙烯酸酯聚合物、丙烯酸酯-甲基丙烯酸酯共聚物 、α —甲基苯乙烯聚合物、丁基甲基丙烯酸酯樹脂等》 又，亦可用具有前述碳_碳雙鍵結之化合物中至少一 種加以聚合所得之低聚物或聚合物》 在聚合時，使該等單體之含有率爲1 0重量％以上， 更佳爲3 5重量％以上，而可與其他感光性單體共聚合。 共聚合之單體係藉使不飽和羧酸等之不飽和酸共聚合 ，可提高感光後的顯像性*不飽和羧酸之具體例有，丙烯 酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、馬來酸、反式丁烯二 酸、乙烯乙酸酯或該等之酸酐。 如此所得在側鏈具有羧基等酸性基之聚合物或低聚物 之酸值（AV)爲50〜180，進而70〜140範圍 較佳。酸值不滿5 0時，顯像容許幅度變窄。又，酸值超 過1 8 0時，相對於未曝光部之顯像液之溶解性會降低， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）-15 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁〕 裝· -訂· 451 1 1 1 A7 _B7_ 五、發明説明（l3 ). 故顯像液濃度變濃時會連曝光部都剝落，難以得到高精細 圖案。 如上述對聚合物或低聚物，添加光反應性基於側鏈或 分子末端，可使用具感光性之感光性聚合物或感光性低聚 物。 較佳之光反應性基係具有乙烯性不飽和基者。乙烯性 不飽和基有乙烯基、烯丙基、丙烯基、甲基丙烯基等。 使此等側鏈附加於聚合物或低聚物之方法，係相對於 聚合物中之氫硫基、氨基、羥基或羧基使具有縮水甘油基 或異氰酸酯基之乙烯性不飽和化合物或丙烯酸氯化物、甲 基丙烯酸氯化物或烯Η基氯進行加成反應而製成之方法。 具有縮水甘油基之乙烯性不飽和化合物有，丙烯酸縮 水甘油酯、甲基丙烯酸水甘油酯、烯丙基縮水甘油醚、乙 基丙烯酸縮水甘油酯、巴豆醯基縮水甘油醆、巴苴酸縮水 甘油醚、異巴豆酸縮水甘油醚等。 .具有異氰酸酯基之乙烯性不飽和化合物有甲基丙烯醯 基異氤酸酯、甲基丙烯醯基乙基異氰酸酯等》 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，具有縮水甘油基或異氰酸酯基之乙烯性不飽和化 合物或丙烯酸氯化物，甲基丙烯酸氯化物或烯丙基氯化物 ，相對於聚合物中之氬硫基、氨基、羥基或銨基，添加 〇 〇 5〜1莫耳當量較佳。 光聚合引發劑之具體例有二苯甲酮，鄰苯醯基苯甲酸 甲酯、4，4_雙（二甲基胺）二苯甲酮、4，4 一雙（ 二乙基胺）二苯甲酮、4，4 一二氯二苯甲酮、4 一苯醯 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS)A4規格（210X297公釐> -16 - 5 4 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 "" A7 ___B7____ 五、發明説明_( 14) 基一4 一甲基二苯酮、苯酮、芴酮、2，2 —二乙氧基苯 乙酮、2 ，2 —二甲氧基一 2 —苯基一2 —苯基苯乙酮、 2 —羥基一2 —甲基苯丙酮、對特丁基二氯苯乙酮、睡噸 酮、2 —甲基_噸酮、2 —氯噻噸酮、2 —異丙基_噸酮 、二乙基_噸酮、苄基、笮基二甲基酮醇、苄基甲氧基乙 基縮醛、苯偶因 '苯偶因甲基醚、苯偶因丁基醚、蒽餛、 2 -特丁基Μ醌、2 -戊基蒽醌、石一氯代Μ醌、Μ酮、 苯并葸酮、苯幷環庚酮、亞甲基蒽酮、4 -迭氮基书叉基 苯乙酮、2，6 —雙（對迭氮苯亞甲基）環己酮、2，6 —雙（對迭氮苯亞甲基）一 4 一甲基環肟、2 —苯基一 1 ，2 — 丁二酮一2 —（鄰一甲氧基鐵基）后、1—苯基一 丙烷二酮—2—(鄰-乙氧基羰基）肟、1，3-二苯基 —丙燒三酮一 2 —(鄰乙氧基羰基）Β、1 一苯基—3 — 乙氧基一丙烷三酮一 2—(鄰苯醯）肟 '米希勒酮（ Michler’s Ketone) 、2—甲基一〔4 —(甲基硫）苯基 〕-2 —嗎啉代—1 —丙酮、某磺醯氯、喹啉磺醯氯、N 一苯基硫代吖啶酮、4，4 一偶氮二異丁睛、二苯基二硫 化物、苯并瞎唑二硫化物、三苯基卩卜吩、樟腦醌、四溴化 碳、三溴苯基II卜吩、過氧化苯偶因及伊紅、亞甲藍等之光 還原性之色素及抗壞血酸、三乙醇胺等之還原劑之組合等 。本發明可使用該等一種或二種以上。光聚合引發劑相對 於感光性成分可在0 . 0 5〜1 0重量％之範圍添加，較 佳是0. 1〜5重量％。聚合引發劑之量過少光感度會不 良，而光聚合引發劑之量過多，則有曝光部殘存率變小之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐）-Π - (請先閲讀背面之注ί項再填寫本頁)

經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 Α7 Β7 五、發明説明（15 ) 虞。 添加紫外線吸收劑亦有效。添加紫外線吸收效果高之 化合物可得高長寬比，高精細，高解像度。紫外線吸收劑 可使用有機染料或有機顏料，其中以使用波長範圍3 5 0 〜4 5 0 nm具有高UV吸收係數之紅色有機染料。具體 而言，可使用偶氮染料、氨基酮系染料、咕噸系染料、睦 啉系染料、氨基酮系染料、Μ醌系、二苯甲酮系、二苯基 氰基丙烯酸酯系、三嗪系、對氨基苯甲酸系染料等。有機 染料在作爲吸光劑添加時，不殘存於燒成後之絕緣膜中， 可使吸光劑之絕緣膜特性之降低減少較佳。該等之中，以 偶氮系及二苯甲酮染料較佳。有機染料之添加量以 0. 05〜5重量份較佳》在0. 05重量％以下會使紫 外線吸光劑之添加效果減少，超過5重量％時燒成後之絕 綠膜特性降低故不佳。較佳爲0. 05〜1重量％»以有 機染料所成之紫外線吸光劑之添加方法試舉一例，係製作 使有機染料預先溶解於有機溶媒之溶液，使其在製作糊料 時混練之方法，除此以外，在該有機溶媒中混合無機微粒 于後，予以乾燥之方法。藉此法可在無機微粒子之各粒子 表面塗覆有機之膜的所請膠囊狀的微粒子。 在本發明，無機微粒子所含Pb、Fe、Cd、. Μη 、C ο、Mg等之金屬及氧化物與糊劑中所含之感光性成 分反應*使糊料在短時間膠化，而有無法塗佈之情形。爲 防止此反應，添加安定化劑防止凝膠化較佳。所用之安定 化劑較佳爲三氮雜茂化合物》三氮雜茂化合物可用苯并三 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-18- - ί \ --------V.裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ Α7 Β7 五、發明説明（〗6) 氮雜茂衍生物》其中尤以苯并三氮雜茂衍生物可有效作用 。本發明所使用苯并三氮雜茂之玻璃微粒子表面處理試舉 一例，相對於無機微粒子，將所定量之苯并三氮雜茂溶解 於乙基乙酸酯、甲基乙酸酯、乙基醇、甲基醇等之有機溶 媒後，該等微粒子可充分浸漬，而在溶液中浸漬1〜2 4 小時。浸漬後較佳是在2 0〜3 0°C下自然乾燥，使溶媒 蒸發進行三氮雜茂處理，以製作微粒子》所使用安定化劑 之比率（安定化劑/無機微粒子）以0. 05〜5重量％ 較佳。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 增感劑係爲提高感度而添加。增感劑之具體例有，2 ，4 —二乙基_噸酮、異丙基雎噸酮、2，3-雙（4 一 二乙胺基苄叉基）環戊酮、2，6-雙（4-二甲胺基书 叉基）環己酮、2，6~雙（4 —二甲胺基笮叉基）一 4 一甲基環己酮、米希勒酮、4，4 一雙（二乙胺基）一二 苯甲酮、4，4-雙（二甲胺基）芳基丙烯醯芳烴（ chalcone) 、4，4 —雙（二甲胺基）芳基丙嫌醯芳烴、 對二甲胺基肉桂叉喆滿酮、對二甲胺基苄叉喆滿酮、2 — (對二甲胺基苯基乙烯撐）一異某_唑、1 ，3 —雙（4 一二甲胺基笮叉基）丙酮、1 ，3_羰基一雙（4 一二乙 胺基苄叉基）丙酮、3 * 3 —羰基—雙（7 —二乙胺基香 豆素）、N —苯基一N —乙基乙醇胺、N —苯基乙醇胺、 N_甲苯基二乙醇胺、N —苯基乙醇胺、二甲胺基苯甲酸 異戊酯、二乙胺基苯甲酸異戊酯、3 —苯基_5—苯醯基 硫代四唑、1 _苯基-5 —乙氧基羰基硫代四唑。本發明 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-19 - 45 it 1 A7 B7 五、發明説明（17). 可使用該等之一種或二種以上。又，在增感劑中，亦可作 爲光聚合引發劑使用。添加增感劑於本發明之感光性糊料 時，其添加量相對於感光性成分爲通常的〇. 05〜10 重量％，更佳爲0. 1〜1 0重量％。增感劑之量適少時 無法發揮提髙光感度之效果，若增感劑之量適多時，會有 曝光部之殘存率過小之虞。 聚合禁止劑係爲提高保存時之熱安定性而添加。聚合 禁止劑之具體例有氫醌' 氫醌之單酯化合物、N-對亞硝 二苯胺、吩皞嗪、對特丁基鄰苯二酚、N-苯基棻胺、2 ，6—二-特丁基對甲基酚、氯醌、焦掊酚等。添加聚合 禁止劑時，其添加量在感光性糊料中，通常爲0. 001 〜1重量％。 可塑劑'之具體例有鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯二甲酸二 辛酯、聚乙二醇、甘油等。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 防氧化劑係爲防止保存時之丙烯系共聚合物之氧化而 添加者。防氧化劑之具體例有2 * 6 —二一特丁基對甲酚 、丁基化羥基茴香醚、2，6 —二一 t 一 4一乙基苯酚、 2 ’ 2 —亞甲基一雙（4 一甲基—6 —特丁基苯酚）、2 ’ 2 —亞甲基一雙一（4 一乙基—6 —特丁基苯酚）、4 ’ 4 一雙一（3 —甲基一6 —特丁基苯酚）、1 ，1，3 —參一（2 —甲基—6 —特丁基苯酚）、1 ，1 ，3 —參 —(2-甲基-4-羥基-特丁基苯基）丁烷、雙-〔3 ’ 3 —雙—（4 一羥基一 3 —特丁基苯基）丁酸〕乙二醇 酯 '二月桂基硫代二丙酸酯，二苯基磷酸酯等。添加防氧 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297)^·釐）_ 20 - 451 1 1 A7 B7 五、發明説明丨is ) 化劑時，其添加量通常在糊料中爲0. 001〜1重量％ 〇 在本發明之感光性糊料中，欲調整溶液粘度之場合， 可添加有機溶媒。此時所用之有機溶媒可使用含有甲基溶 纖劑、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、甲基乙基酮、二噁烷、 丙酮、環己酮、環戊酮、異丁醇、異丙醇、四氫呋喃、二 甲基亞砚、r-丁丙酯、溴苯、氯苯、二溴苯、二氯苯、 溴苯甲酸、氯苯甲酸等或該等中之一種以上之有機溶媒混 合物。 有機成分之折射率係藉曝光使感光性成分感光之時點 ，糊料中有機成分之折射率。亦即塗佈糊料、在乾燥過程 後曝光之場合，則係乾燥過程後糊料中有機成分之折射率 夂例如使糊料塗佈於玻璃基板後，在5 0〜1 0 0°C乾燥 1〜3 0分，而測定折射率之方法。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之折射率的測定以一般行之的橢圓對稱法或V 塊狀法較佳，測定以曝光之光波長進行在效果確認上爲正 確》尤其是以3 5 0〜6 5 Onm範圍中波長的光測定較 佳》再者，以i線（365nm)或g線（436nm) 之折射率測定較佳。 文，爲測定有機成分藉光照射而聚合後之折射率、可 與對糊料中光照射之場合同樣之光，僅照射於有機成分來 測定。 含有可於玻璃基板上烘烤氧化鉍或氧化鉛10重量％ 以上之玻璃微粒子、會有折射率1. 6以上之情形、此時 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-21 - 45ί ί " Α7 __ _^_Β7___ 五、發明説明ί； 19 ) 有必要提高有機物之折射率。 此時，在有機成分中有必要導入高折射率成分，在有 機成分中使用具硫原子，溴原子、捵原子、某環、二苯環 、蒽環、忭唑環之化合物1 0重量％以上，對髙折射率化 爲有效。又，含有苯環2 0重量％以上，亦可髙折射率化 〇 尤其是硫原子或菓環含1 0重量％以上，可更簡便的 使有機成分高折射率化。但是含量6 0重量％以上時，光 感度降低，故硫原子與棻環之合計含量在1 0〜6 0重量 %之範團較佳》 在有機成分中導入硫原子、溴原子、某環之方法、係 在感光性單體或粘合劑中，使用具硫原子，菓環之化合·物 爲有效。分子內含硫原子之單體，有次式（a ) 、( b ) 、（c)所示之化合物。構造式中之R示氫原子或甲基。 (請先閱讀背面之注項再填寫本頁) 經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4说格（ 210X297公釐）-22 - 1111 A7 B7 五、發明説明丨20) 又，增感劑係用於在曝光波長上具有吸收者，此時在 吸收波長近傍折射率極髙，藉多量添加增感劑可提高有機 成分之折射率。此時增感劑之添加量，可在糊劑中添加 0. 5〜10重量％。更佳爲1〜6重量％» 感光性糊料適常係將無機微粒子、紫外輝吸光劑、感 光性、聚合物、感光性單體、光聚合引發劑、玻璃填料及 溶媒等之各種成分調和所定組成後，以三輥機或混練機混 合分散成均質而製造β 糊料之粘度可依無機微粒子、增粘劑、有機溶媒、可 塑劑及沈澱防止劑等之添加此率而適宜調整，其範圍在 2000〜20萬CPS (厘泊）。 例如以旋轉塗覆法進行對玻璃基扳塗佈時，200〜 5 0 0 0 p c s較佳。以網版印刷法塗佈爲一次得到膜厚 10〜20卩m上、以5萬〜20萬cp s較佳、而使用 刀塗覆法或模塗覆法則以1000〜2000cps較佳 〇 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 (請先閲讀背面之注意事頃再填寫各頁) 其次，使用感光性糊料進行圖案加工之一例予以說明 ，但本發明並不限於此。 在玻璃基板或陶瓷基板或聚合物製薄膜上，全面塗佈 或部份塗佈感光性糊料。塗佈方法可用網版印刷，棒塗法 、輥塗法、模塗法、刀塗法等一般方法，塗佈厚度可依塗 布次數，塗料器之間隔·，網版之篩孔，糊劑之粘度而調整 之。 在此，塗佈糊料於基板時，爲提高基板與塗佈膜之密 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0X297公釐）-23 - A7 B7 五、發明説明（21) 接性，可進行基板之表面處理，表面處理液有：有機矽烷 偶合劑，例如乙烯基三氮矽烷、乙烯基三甲基氧基矽烷、 乙烯基三乙氧基矽烷、參（2 —甲氧基乙氧基）乙烯基矽 烷、r —環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷、(甲基丙烯 酸基〔代〕丙基）三甲基矽烷、τ* (2_氨基乙基）氨基 丙基三甲氧基矽烷、r -氯丙基三甲氧基矽烷、r 一氫硫 基丙基三甲氧基矽烷、r_氨基丙基三乙氧基矽烷等或有 機金屬，例如有機鈦 '有機鋁、有機鉻等。有機矽烷偶合 劑或有機金屬係使用例如乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基 醚、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等之有機溶媒，而稀釋成濃 度0.1〜5%者其次以旋轉器將此表面處理液均勻塗佈 於基板後，在80〜140 °C乾燥10〜60分，可進行 表面處理β 又，在塗佈於薄膜時，在薄膜上進行乾燥後，進行其 次之曝光工程時，在玻璃或陶瓷基板上貼上後，進行曝光 工程之方法》 經濟部中央標準局男工消費合作杜印製 (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 將本發明之感光性糊料塗佈於聚酯薄膜等上，可得到 用於電路材料或顯示器之感光性綠色片（green sheet) 。使此綠色片轉印於玻璃基板上，可形成均勻厚度之感光 性糊料層。 塗佈後，使用曝光裝置進行曝光。曝光係如通常光致 蝕刻進行，使用光罩來光罩曝光之方法爲一般。使用之罩 可依感光性有機成分之種類而選定負型或正型之任一種。 或者，不用光罩而以紅色或藍色之可視光雷射光， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐 A7 B7 五、發明説明'（22)

Ar離子雷射等直接描畫之方法亦可。 曝光裝置可使用階段（stepper)曝光機，近似（ proximity)曝光機等。 又進行大面積曝光時，在玻璃基板等基板上塗佈感光 性糊料後，一面搬送，一面曝光，可以小曝光面積之曝光 機，進行大面積之曝光。 此時所使用之活性光源有例如可視光，近紫外線、電， 子線、X射線、雷射光等，而該等中以紫外線較佳，其光 源可使用例如低壓水銀燈、高壓水銀燈、超髙壓水銀燈、 鹵素燈、殺菌燈等。在該等中以超高壓水銀燈較佳》曝光 條件因塗佈厚度而不同，但使用1〜1 0 OmW/cm2 輸出之超高壓水銀燈進行0. 5〜30分鐘之曝光。 在塗佈之感光性糊料表面設置氧遮蔽膜，可提高圖案 形狀。氧遮蔽膜之一例有P VA或纖維素等膜，或聚酯等 薄朕。 PVA膜之形成方法係以旋轉器等之方法將〇. 5〜 5重量％之水溶液均勻地塗佈於基板上，之後以7 0〜 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 0°C乾燥1 0〜6 0分鐘，使水分蒸發。又在水溶液中 少量添加醇時，與絕緣膜之塗覆性變好，使蒸發容易較佳 。更好之PVA溶液濃度爲1〜3重量％。在此範圍感度 會更爲提髙。藉P VA塗佈以提高感度之理由，推定如下 。亦即感光性成分在光反應之際，空氣中有氧時，會妨礙 光硬化之感度，而有P VA膜時可遮斷多餘之氧，放在曝 光時可提高感度。 本A張^適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-沾- Α7 Β7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明'（23) 使用聚酯或聚丙烯，聚乙烯等之透明薄膜時，在塗巧 後之感光性糊料上，亦有貼合該等薄膜之方法。 曝光後，利用對感光部份及非感光部份顯像液之溶解 度差進行顯像，此時以浸漬法或噴霧法，毛刷法進行。 所使用之顯像液，可使用感光性糊料中有機成分爲可 溶解之有機溶媒。又在該有機溶媒在不失去其溶解力之範 圍內添加水亦可。在感光性糊料中具有羧基等酸性基之化 合物存在之場合，可以鹸性水溶液顯像。可使用氫氧化鈉 或碳酸鈉，氫氧化銬水溶液等之金屬鹸性水溶液作爲鹼性 水溶液，使用有機鹼性水溶液者在燒成時易於除去鹼性成 分，故較佳。 有機鹼一般可使用氨化合物。具體而言有四甲基銨氣 氧化物、三甲基苄基銨氫氧化物單乙醇胺、二乙醇胺等、 鹼性水溶液之濃度通常爲0. 01〜10重量％，較佳爲 0. 1〜5重量％。鹼濃度過低時無法除去可溶部份，鹼 濃度過高時使圖案部分剝離、或有腐蝕可溶部份之虞，並 不佳。. 又，顯像時之顯像溫度在2 0〜50 °C進行時，工程 管理上較佳。 其次以燒成爐進行燒成。燒成雰圍或溫度依糊料或基 板種類而異，可在空氣中，氮、氫等之雰圍中燒成。燒成 爐可使用分批式（batch)燒成爐或帶式之連續型燒成爐 〇 燒成溫度以4 0 0〜1 0 0 0 °C進行。在玻璃基板上 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-26 - ----------^叙— (請先聞讀背面之注意事項再填窝本頁)

I 訂 r 451 1 1 1 A7 B7 五、發明説明（24) 圓案加工之場合，於5 2 0〜6 1 0°C之溫度下保持10 〜60分鐘而進行燒成。 又，在以上之塗佈或曝光、顯像、燒成之各工程中， 以乾燥，預備反應之目的，可導入5 0〜3 0 0°C之加熱 工程。 由上述工程所得具有隔壁層之玻璃基板可用於電漿顯 示器之前面側或背面側。又，亦可做爲進行電漿陣列液晶 顯示器之陣列部份#放電的基板使用。 在所形成之隔壁層間塗佈螢光體後，符合前背面之玻 璃基板而封固，藉封入氦、氖、氙等之稀有氣體，可製造 電漿顯示器之面板部份。 再者，藉封裝驅動用之驅動器I C，可製造電漿顯'示 an 器。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項异填寫本頁) 又，爲使電漿顯示器高精細化，亦即，爲在一定之畫 面大小增加繪素數目，有必要使一繪素之大小變小。此時 ，有必要使隔壁間之間距變小，而使間距變小時，放電空 間亦變小*又，由於螢光體之塗佈面積會變小，故會降低 亮度。具體而言，爲實現4 2吋之高傳真電視（1 9 2 0 X1035繪素）或23吋之OA監視器（XGA : 1024X768繪素），必須使繪素大小成爲450 iam角，而隔開各色之隔壁爲以1 50iim間距形成》此 時，隔壁之線寬大時無法確保放電用之空間，或螢光體之 塗佈面積會變小，故提髙亮度有所困難。 本發明人等發現使用本發明之技術，可使隔壁之寬度 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐）-27 ― 4511 A7 B7 五、發明説明ί25) 變小。 . 尤其是可得到形成隔壁寬度2 0〜4 0 之條狀隔 壁之電漿顯示器，故可有效提高高精細化時之亮度。 又，可形成高度1 00〜1 70/im，間距1 00〜 1 6 〇 # m之高精細隔壁，故可提供一種使用於高傳真電 視或電腦監視器之高精細電漿顯示器* 以下，使用實施例具體說明本發明。但本發明並非限 定於此。又，實施例，比較例中之濃度（％)並非特別支 持之外的重量％。 實施例係製成無機微粒子及有機成分所成之感光性糊 料。作成順序係首先將有機成分之各成分與r - 丁內酯加 熱至8 0°C並溶解之，其後添加無機微粒子，以混練機混 練以製成糊料。粘度可依溶媒量調整。溶媒量（r 一丁內 酯）在糊料中調整成1 0〜40%。 其次在3 0 c m角之鈉玻璃基板或石英玻璃基板’以 網版印刷法塗佈多次，進行塗佈以進行1 〇 〇 ’ 150仁m，200卩m厚度塗佈後，以80 °C乾燥30 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事頃再填寫本頁) 分。 其次透過光罩進行曝光。罩係使用其次之二種類。 (1 )間距2 2 0卩m，綠寬5 0 Am之Chrora製負 罩。 (2)間距1 50卩m，綠寬20仁m之Chrom製負 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-28 ― £ 4 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 nil A7 ____B7_ 五、發明説明I： 26 ) 罩。 曝光係以5 OmW/cm2輸出之超高壓水銀燈，以 2〜1 OJ/cm2之光量進行紫外線曝光。 其後浸漬於單乙醇胺之0. 5%水溶液，使之顯像。 再者，將所得之玻璃基板以8 0 °C乾燥1小時後，進 行以最高溫度5 6 0 °C或8 5 0°C (最高溫度保持時間 3 0分）之燒成。 將所得試料切斷，以掃描式電子顯微鏡觀察剖面，結 果形成良好隔壁圖案之場合爲0，圖案之缺落，斷絕，顯 像不良所致未曝光部份之不良因而形成良好隔壁之場合爲 X。結果如表3所示。’ ' 又，有機成分之折射率可僅調整糊劑中之有機成分， 而在塗佈及乾燥工程後•藉橢圓對稱法在2 5 °C中4 3 6 nm之波長先進行_測定· 眚施例1 使用表1之A 1玻璃粉末7 5克及B 3之有機成分 25克，製作糊料。使用之溶媒爲10克* 圖案形成，進行5 6 0 °C，30分燒成之結果如表3 所示。 又，在3 6 Ο X 5 0 Omm大小之鈉玻璃基板（厚 2 . 8mm)上，使用感光性銀糊料，形成3072條線 寬40"m ’間距1 SOjam，厚度lOem之條狀銀配 本紙張尺度適用中國國家標準（匸飑）八4規格（210乂297公釐）-29- (請先閎讀背面之注Ϊ頃再填寫本頁)

451 1 1 A7 B7 五、發明説明ί 27). 線後，使用上述糊劑’在全面進行厚度2 0 0 之塗佈 ，使用間距150烊111’線寬20仁111’線數3 080條 ，線長3 5 0 m m之光罩，曝光後進行顯像，燒成形成隔 壁層。再者，將RG B之螢光體糊料藉網版印刷塗佈後， 進行4 5 0 °C 2 0分之燒成’製作2 3吋用霉漿顯示器背 面板。將此背面板與前面板粘合，封入氣體，可製作2 3 吋XGA (1024x7 68繪素）之監視器。 管施例2 使用表1 A 2之玻璃粉末7 5克及B 3之有機成分 25克、製作糊料。使用之溶媒爲15克。 圖案形成，5 6 0°C，1 0分鐘燒成之結果如表3所 示。 會施例3 使用表1 A 3之玻璃粉末7 0克及B 4之有機成分-30克、製作糊料。使用之溶媒爲15克。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖案形成’ 5 6 0 °C，1 0分鐘燒成之結果如表3所 示。 r < 窗施例4 使用表1 A 4之玻璃粉末8 0克及B 4之有機成分 2 0克、製作糊料。使用之溶媒爲7克。 圖案形成’ 5 8 0 °C，1 5分鐘燒成之結果如表3所· 本紙張尺度適用中國國家標準Α4·_ ( 210X297公澄）-30 - 45 J 1 1 , A7 B7 五、發明説明（28 示。 眚施例5 A 4之玻璃粉末8 〇克及b 2之有機成分 2 0克、製作糊料。使用之溶媒爲1 1克。 圖案形成’ 5 8 0 Ϊ，1 5分鐘燒成之結果如表3所 示。 眚施例β 使用表1 A 5之玻璃粉末7 5克及Β 1之有機成分 25克、製作糊料。使用之溶媒爲12克。 圖案形成’ 5 8 0°C，1 5分鐘燒成之結果如表3所

' V 示"> 眚施例7 使用表1 A 6之玻璃粉末7 5克及B 3之有機成分 2 5克、製作糊料。使用之溶媒爲1 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖案形成，580 ΐ；，1 5分鐘燒成之結果如表3所 示。 奮施例8 使用表1 A 1之玻璃粉末60克及A 6之玻璃粉末 1 5克’使用B 3之有機成分2 5克，製作糊料》使用之 溶媒爲1 0克。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐）- 31 - 4 51 π ΐ Α7 I--^_Β7___ 五、發明説明（29) 圖案形成，5 8 Ο ΐ，3 Ο分鐘燒成之結果如表3所 示。 比鉸例1 使用表1 Α 3之玻璃粉末7 5克及Β 2之有機成分 25克、製作糊料β使用之溶媒爲10克。 圖案形成’ 5 6 0 °C，1 〇分鐘燒成之結果如表3所 示。 比鉸例2 使胃@1 A4之玻璃粉末7 5克及B 4之有機成分 25克、製作糊料。使用之溶媒爲克。 圖案形成’ 5 8 0°C，15分鐘燒成之結果如表3所 .示。' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 -紙 本 準 標 家 國 國 中 用 適 格 規 A4 |讀 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3〇 ) ' 表 1 所用玻璃微粒子之各組成 成分 A1 A2 A3 Α4 Α5 Α6 Li20 9 . 13 2 0 3 3 K2〇 0 0 11 0 0 0 Si〇2 22 47 47 13 7 38 B 2 0 3 33 21 21 18 44 10 B i 2 0 3 0 0 0 26 26 0 BaO 4 5 5 14 17 5 A 1 2 0 3 23 δ 8 4 3 35 ZnO 2 6 6 21 0 5 MgO 7 0 0 0 0 0 CaO 0 0 0 0 0 4 玻璃轉移 溫度Tg(°C ) 484 469 473 486 492 656 熱軟化溫 度 Ts(°C ) 524 511. 520 538 533 800 球形率（¾) 93 98 94 92 90 90 D50平均粒徑（# m) 3. 5 3.6 4. 0 3.5 4. 9 4.9 線熱膨張係數X 107 (0 〜400〇C ) 78 82 80 75 75 43 折射率（ng) 1.5 8 1. 58 1.53 1. 73 1. 68 1. 58 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 袭- 訂 (CNS )八4夫胁（210X297公釐）-33 - Γ A7 B7 五、發明説明丨31) 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 表 2 所用有機成分之各組成 成分 B1 B2 B3 B4 感光性單體 BMEXS-MA 48¾ MPS-MA TMPTA 28% TMPTA 28% 感光性聚合物 聚合物-2 24% 聚合物 m 聚合物-1 M% 聚合物-2 44¾ 光聚合引放劑 MTPMP 10% HTPHP 10% MTPHP 10% MTPMP 10% EPA 6¾ EPA 6H6 EPA 6% EPA 6¾ 紫外線吸光劑 蘇丹 2% 蘇丹 2% 蘇丹 2% 寐丹 2% 增感劑 DET 10¾ DET 10¾ DET 10¾ J)ET m 折射率（ng)* 1,64 1. 65 1. 56 1· 52 *塗佈於玻琯基板上，80°C40分乾燥後之有機成分折射率。 ----------C裝—(請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) .1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐）-34 - A7B7

五、發明説明（ϊ)3層壁形成結果 間距·線寬 22 0 “ m · 4G U m 50 ju m . 3 〇 j£i i 1 塗布厚度 100 Χί m 1 5 0 ίί m 200 μ id 100 m 1 50 Xi m 20 0 μ n 實施例1 〇 〇 〇 〇 〇 〇 實施例2 〇 〇 〇 〇 〇 X 實施例3 〇 0 X 〇 〇 X 實施例4 〇 〇 X 〇 〇 X 實施例5 〇 〇 〇 〇 〇 X 寅施例6 〇 〇 〇 〇 〇 〇 實施例7 〇 〇 〇 〇 〇 〇 比較例1 X X X X X X 比較例2 X X X X X X — II-----?丨~(請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-35 - A7 B7 五、發明説明（33 ) 關於表中之略稱係如下式所示。 (聚合物—1〜3構造中之數字，各別表示單體構成 莫耳比） TMPTA :三羥甲基丙烷三丙烯酸酯 TBPMA :三溴苯基甲基丙烯酸酯 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 :聚乙烯醇 :偶氮系紅色染料、c24h20n4o Upinal D — 50 :二苯甲酮系染料（Upinal D — 5 0 ) C13H10O5 P V A 蘇丹（Sudam)

Μ Τ Ρ Μ P

E P A D Ε Τ Τ - Β L 聚合物~ :2 —甲基一1 一〔4 一（甲硫基 )苯基〕—2-嗎啉代丙烷 :對二甲基氨基苯甲酸乙基酯 :2，4 —二乙基瞎噸酮 :r 一 丁丙酯 TBB — ADA :四溴雙酚A二丙烯酸酯 BMEXS-MA ：

本纸張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐> _ 36 - A7 B7 五 '發明説明（34 ) 'CHr ch3 ch3 CHa c- -CH,—CH-

〇H ό ch2- -CH〇 C=0 I i och3

I /20 OCH2<j；HCH2〇-OH ch3 -c—o*ch2 (重量平均分子量：43000、酸值：90) 聚合物一 2 : ch3 -ch2—9h CH： -CH29

20

30 Br 30 C=*0 1 o

Br

Br、入一Br c=o /2〇 ch3 〇CH2CHCH20一C—C^CHa (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}

經濟部中央標準局員工消費合作社印I (重量平均分子量：3200、酸值：95) 聚合物3 : Λ

十CH (重量平均分子量：30000、酸值：101) 產業上利用之可能性： 本發明之感光性糊料使高長寬比且高精度之圖案加工 成爲可行》藉此可進行顯衆器、電路衬料等厚膜、高精度 之圖案加工，可提高精細性，使工程簡略化。尤其是可簡 便的製作電漿顯示器面板* 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ π _

Claims (1)

1. 45ί 1 1 1 Λ f年? 、 f Ύ'Ίτι "TV A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 附件la :第85111861號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國8 9年7月修正 1.—種感光性糊料，其特徵係以含有無機微粒子及 感光性化合物之有機成分爲必須成分之用於形成電漿顯示 器或電漿陣列液晶顯示器之隔壁的感光性糊料、其中無機 微粒子之平均折射率N 1及有機成分之平均折射率N 2滿 足次式 -0. 05SN1-N2S0. 1 請· 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 禽、 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 如 含有無機微 感光性糊料 無機微粒子 3 .如 平均折射率 4 .如 微粒子含有 5 .如 5 0 〜9 5 成分所成者 6 如 微粒子係使 申請專利範圍第1項之感光性糊料，其特徴爲 粒子及感光性化合物之有機成分爲必須成分之 ，其中使用平均折射率1. 5〜1. 7範圍之 〇 申請專利範圍第2項之感光性糊料，其中使用 1_ 55〜1. 65範圍之無機微粒子。 申請專利範圍第1項之感光性糊料，其中無機 玻璃微粒子6 0重量％以上。 申請專利範圍第1項之感光性糊料，其爲由 重量分之無機微粒子與5〜5 0重量分之有機 〇 申請專利範圍第4項之感光性糊料，其中玻璃 用熱軟化溫度（Ts) 350〜600 °C之玻 。-訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐）_ 1 - Α8 BS C8 D8 六、申請專利範圍 璃微粒子。 7 .如申請專利範圍第4項之感光性糊料.，其中玻璃 微粒子係使用線熱膨脹係數5 0〜9 Ο X 1 Ο—之玻璃微 粒子。 8.如申請專利範圍第4項之感光性糊料，其中玻璃 微粒子孫使用球形率8 0個數％以上之玻璃微粒子。 9 .如申請專利範圍第4項之感光性糊料，其中玻璃 微粒子係使用含有氧化鋰、氧化鈉、氧化鉀中至少一種， 其含有率合計爲3〜2 0重量％之玻璃微粒子。 1 0 .如申請專利範圍第5項之感光性糊料，其中玻 璃微粒子係使用含有氧化鋰3〜2 0重量％之玻璃微粒子 0 ' 1 1 .如申請專利範圍第5項之感光性糊料，其中玻 璃微粒子係使用含有氧化鉍、氧化鉛中至少一種、其含有 率合計爲5〜5 0重量％之玻璃微粒子》 12.如申請専利範圍第5項之感光性糊料，其中玻 璃微粒子係使用氧化鉍或氧化鉛含有合計爲5〜3 0重量 %，且含有3〜1 5重量％氧化鋰、氧化鈉、氧化鉀中至 少一種之玻璃微粒子。 1 3 .如申請專利範圍第5項之感光性糊料，其中玻 璃微粒子係使用含氧化矽3〜6 0重量％、氧化硼5〜 5 0重量％之玻璃微粒子。 1 4 .如申請專利範圍第5項之感光性糊料，其中玻 璃微粒子係使用含氧化矽3〜6 0重量％、氧化硼5〜 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再會备本頁) ^30 . •線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印則^ -2 - 54 A8B8C8D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 5 0重量％、氧化鋇1〜3 0重量％重量％ '氧化鋁1〜 3 0重量％之玻璃微粒子。 1 5 ·如申請專利範圍第1項之感光性糊料，其在有 機成分中含有1 〇〜9 0重量％分子內含羧基之重量平均 分子量5 0 〇〜1 0萬之低聚物或聚合物》 1 6 .如申請專利範圍第1項之感光性糊料，其在有 機成分中含有1 〇〜9 0重量％分子內具不飽和雙鍵之重 量平均分子量.5 0 0〜1 0萬之低聚物或聚合物。 1 7 .如申請專利範圍第1項之感光性糊料，其在有 機成分中含有1 〇〜9 0重量％分子內含有羧基與不飽和 雙鍵之重量平均分子量5 0 0〜1 0萬之低聚物或聚合物 〇 - ·. 1 8 .如申請專利範圍第1項之感光性糊料，其在有 機成分中含有1 〇〜8 0重量％多官能丙烯酸化合物及/ 或甲基丙烯酸化合物。 1 9 .如申請專利範圍第1項之感光性糊料，其在有 機成分中含有合計含量1 〇〜6 0重量％之至少一種選自 苯環、棻環、硫原子者。 20.如申請專利範圍第1項之感光性糊料，其在有 機成分中含有〇· 05〜5重量％之具紫外線吸收特性之 化合物。 2 1 .如申請專利範圍第2 0項之感光性糊料，其使 用有機染料或有機顏料作爲具紫外線吸收特性之化合物。 2 2 .如申請專利範圍第2 1項之感光性糊料，其中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐）-3 - ---------------- <請先閱讀背面之注意事項再ilk·^··本頁) >s- --線. 1 ί f s 4 A8B8C8D8 六、申請專利範圍 有機染料或有機顏料爲紅色染料或紅色顏料。 2 3 .如申請專利範圍第1項之感光性糊料，其係用 於電漿顯示器或電漿陣列液晶顯示器中之圖案形成。 24.如申請專利範圍第1項之感光性糊料’其係用 於電發顯示器或電漿陣列液晶顯示器中隔壁之形成。 2 5 .—種電漿顯示器之製造方法，其係在玻璃基板 上經塗佈申請專利範圍第1項之感光性糊料之塗 佈工程、曝光工程、顯像工程、燒成工程、以形成隔壁者 〇 2 6 .如申請專利範圍第2 5項之電漿顯示器之製造 方法，其係在曝光工程中，進行一次曝光者。 2 7 . —種電漿顯示器·其特徵爲在玻璃基板上形成 隔壁層之電漿顯示器，其中該隔壁餍爲由折射率1. 5〜 1. 7無機成分所成者。 2 8 .如申請專利範圍第2 7項之電漿顯示器，其中 所形成之隔壁層爲線寬20〜35tfm之條狀》 2 9.如申請專利範圍第2 7項之電漿顯示器，.其中 所形成之隔壁層爲線寬2 0〜4 0 4m、高度10 0〜 1 7.0ym、間距1 〇〇〜1 60"m之條狀。 3 0 . —種電漿顯示器，其特徵爲在玻璃基板上形成 隔壁層之電漿顯示器，其中該隔壁層爲由平均折射率 1 5〜1 · 7之無‘機成分所成，並由申請專利範圍第 25項之方法所製成者。 本紙張尺廋適用中國固家標準_ (CNS)A4規格（2】0 X 297公釐）_ 4 ' ! (請先閱讀背面之注意事項再廣貧本頁) 訂： 線. 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 45ί 1 1 1 Λ f年? 、 f Ύ'Ίτι "TV A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 附件la :第85111861號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國8 9年7月修正 1.—種感光性糊料，其特徵係以含有無機微粒子及 感光性化合物之有機成分爲必須成分之用於形成電漿顯示 器或電漿陣列液晶顯示器之隔壁的感光性糊料、其中無機 微粒子之平均折射率N 1及有機成分之平均折射率N 2滿 足次式 -0. 05SN1-N2S0. 1 請· 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 禽、 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 如 含有無機微 感光性糊料 無機微粒子 3 .如 平均折射率 4 .如 微粒子含有 5 .如 5 0 〜9 5 成分所成者 6 如 微粒子係使 申請專利範圍第1項之感光性糊料，其特徴爲 粒子及感光性化合物之有機成分爲必須成分之 ，其中使用平均折射率1. 5〜1. 7範圍之 〇 申請專利範圍第2項之感光性糊料，其中使用 1_ 55〜1. 65範圍之無機微粒子。 申請專利範圍第1項之感光性糊料，其中無機 玻璃微粒子6 0重量％以上。 申請專利範圍第1項之感光性糊料，其爲由 重量分之無機微粒子與5〜5 0重量分之有機 〇 申請專利範圍第4項之感光性糊料，其中玻璃 用熱軟化溫度（Ts) 350〜600 °C之玻 。-訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐）_ 1 -