TW440721B - M x N optical cross-connect - Google Patents

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TW089109727A
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Mee Koy Chin
Seng-Tiong Ho
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Nanovation Tech Inc
Univ Northwestern
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Description

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
44072J A7 ________B7________ 五、發明說明() 發明領域: 本發明係有關於一種毫微光元件(nan〇Photonic device),特別與一種光跨接裝置有關。 發明背景: 光學切換(亦即縱橫交換、跨接等)可應用於解決在光 學網路上傳輸光學訊號之不同波長的切換、路由(r 〇 u t i n g) 及交互相連等問題。在箪一光學訊號中的波長數目已增 加,且隨者高密度波分離多工通訊系統、網路及方法論的 廣泛使用而持續增加。 跨接(cr〇 s s - c 〇nnec t)為一習知技術。此外,在光纖應 用上·利用跨接亦為習知技術,如波分離多工處理(wave division multiplexing, WDM)及高密度波分離多工處理 (dense wave division multiplexing, DWDM)。然而,在光 跨接技術上仍需進行改進’以減低相鄰訊號之間的線路 (串話)干擾,並減少訊號在切換當中的損失。線路(串話) 干擾為一訊號與非計劃中的路徑耦合,而非吾人所希望 者。 因此’吾人需要一種能夠克服上述習知技術之缺陷的 光學元件。 發明B的及概述: 上述目的係藉由一種包含Μ個第一波導管與n個第 二波導管的光學跨接裝置來達成,且第二波導管與第一波 第2頁 表紙張尺度適用中®國家標準(cnS)A4規格(210 * 297公笼) --------- ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 44 〇7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 B7 五、發明說明() 導管相交。每一個第-波導管與第二波導管的相交點皆定 義一個節點,且最好具有複數個光學切換元件被置於節點 的鄰近位置。上述之切換元件最好為可選擇性地在定義節 點之波導管間控制訊號傳輸的光學裝置,而不需要將光學 訊號轉換為電子訊號來達成此目的。切換元件以共振器為 較佳,且以卵形共振器更佳。切換元件亦可為指向性聯結 器(directional coupler)的形式卫·頻率的選擇性並不重要, 或具有面鏡的微電子機械系統(micro-electromechanical system,MEMS)切換器。 在實施本發明當中,每一個第一與第二波導管皆承載 至少包含一或多個波長的光訊號。藉由操作切換元件,所 有或’部分的光訊號可從一波導管被切換至另一波導管。例 如,在一較佳實施例中,共振器被調整以便耦合特定波長 之訊號的各個部分。調整係利用習知技術經由控制施加電 壓來完成。同樣地,指向性聯結器亦可被控制。然而,於 控制指向性聯結器當中,在非啟動狀態時,所有或幾乎戶斤 有的光訊號皆被耦合,而在啟動狀態時,所有或幾乎所有 的光訊號皆繞過指向性聯結器而未耦合。施加電壓會使指 向性聯結器啟動。 在本發明的另一面向,節點的面積會增加以便減低訊 號之間的線路(串話)干缦,並減少訊號的損失°波導管特 別在節點與附近的面積被加大,而加大的面積可減少訊號 的繞射,並從而降低損失,因此訊號即能夠在極少的線路 (串話)干擾下通過節點。 第3頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 * 297公爱) V---展---- I----訂-----------線 (锖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 44 07 2 1 A7 B7 五、發明說明( 本發明有助於在訊號損失最少的情況了,在複數個波 導管之間提供訊號切換,並可應用於多工與分離多工系統 (WDM # DWDM)。再者,本發明之跨接裝置可形成為半 導體封包(package) ’並可與其它半導體元件组裝在一起 以構成一元件及/或系統》 因此本發明至少包含在此揭露中所例示的 徵、元件組合以及零件的配置,而本發明的範圍特 專利範圍中指明。 、甲請 圖式簡單說明: 在圖式當中’並非以實際比例續製,且僅用以例示 不以所示者為限。相同的圖號在不同的视圏中 的元件,#中·· 、相同 第1圖為具有一個第一波導管與一個第二波導管之 係插述相 接裝置的上視平面圖; 光學跨 第 第 圖為第1圖中之光學跨接裝置沿著第〗 考弟1圖中線筏, 之部分剖面的視圖; β 圖為具有兩個切換元件之光學跨接裝置的 '上祝平 -------1 I--·'I--農 -----訂---III---線 f靖先閱讀背面之注意寧項再填'鸾本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 1st , 圖» 面 第4圖為具有兩個第一波導管與兩個第二波導管之^ 接裝置的上視平面圖; 學跨 第5圖為具有四個配置於單一節點附近之切換元件 跨接裝置的上視平面圖; & 第6圖為一橢圓形共振器的上視圖; 學 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐〉 44 07 2 ί Λ7 B7_五、發明說明() 第7圖為一圓形共振器的上視圖: 第8圖為利用指向性聯結器作為切換元件之光學跨接裝置 的上視平面圖; 第9A圖與第9B圖顯示兩種具有加大面積之節點的不同實 施例; 第10圖為具有相互平行部分之第一與第二波導管的光學 跨接裝置的上視平面圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖號對照說明: 10 光學跨接裝置 20 第一波導管 20A 第一波導管 20B 第一波導管 30 . 第二波導管 30A 第二波導管 30B 第二波導管 40 節點 40A- D 節點 50 光學切換元件(共振器) 50A 、50B 、 50A-H ' 50I-L 光學切換元件(共振器) 5 1 拱形端 52 平直部分 60 基材 70 核心 80 包覆層 90 錐形部分 110 平直部分 120 平直部分 500 橢圓形共振器 502 指向性聯結器 503 平直部分 504 彎曲部分 發明 詳細說明: 請參閱第1圖, 圖中顯 示一 光學跨接裝置’並以圖號 第5頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) ----------^-----------訂.------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B? 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明( 1 0來代表。光學跨接裝置丨〇係以Μ個第一波唪管2 0及n 個第一波導管J 〇構成。第二波導管3 〇與第一波導管2 〇 相交於節點4 0,且定義於每一個第—波導管2 0與第二波 導管3 0的相交處。此外,光學跨接裝置丨〇包含至少—個 與每一個節點40結合的光學切換元件5〇 ,且光學切換元 件50被置於與其結合的節點4〇附近3在一較佳實施例 中,光學切換7L件50為—種能夠將光訊號(整體或其部分 波長)耦合而不需將訊號轉換為電子訊號的光學元件。以 較佳的情況而了,光學切換元件5 〇為卵形共振器’並具 有兩個拱形端51與兩個從拱形端之間延伸且大致平行的 平直部分52。與本發明具有相同發明人與受讓人之另一申 請案·,詳細描述了可應用於本發明的卵形共振器’而上述 未定案係併入作為參考。 光學跨接裝置10可分別以任何數量的Μ與Ν個第一 與第二波導管20及30來構成。以非用於限定的實例而 言’參考"圖所示者。在一較佳實施例中,光學跨接裝 置1 0的所有元件係形成為半導體封包。如 〜圓所示, 元件可由基材60中延展出來,並與基材整體利用習知的 蝕刻技術而形成。因此’光學跨接裝置1 〇可 J t成為半導 體封包,並在形成一系統當中作為與其它丰壤w _ 丁子艰7C件結合 的「建構基塊」。應注意的是,第一波導管20虛〜 與^弟波 導管3 0僅圖示有限的長度,以例示本發明的荷& ▽峻作方式。 光學跨接裝置10可以不同長度的第一波導管2〇 弟一'波 導管30形成不同的尺寸。通常,第一波導管t T d與第二波
Iff 61- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公麓〉 ----------;---米衣·-------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填冩本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4407 2 1 A? _B7_五、發明說明() 導管3 0會整合形成或熔接於延伸至其它系統及/或元件的 波導管°此外’光學源(0 P t丨c a丨s 0 u r c e) L會產生一或多個 波長的光訊號,並通過第一波導管20與第二波導管30傳 遞。光學源L可位於相距第一波導管2 0與第二波導管3 0 一段距離以外,並在訊號進入第一波導管20與第二波導 管30之前,先通過其它波導管及/或光學元件及(或光電元 件。應注意的是,第一波導管2 0與第二波導管3 0係被動 式元件,因此光訊號可在任何一方傳遞通過°此外,光學 源L可設置於使在任一方與在一或多個第一波導管20及 第二波導管30中導引光訊號。 第一波導管20、第二波導管30及光學切換元件50, 係形·成為光纜(photonic wire)波導管或光丼(photonic well) 波導管,即如美國專利第5,790,583號與美國專利第 5,8 7 8,5 8 3號所顯示及/或描述者。為例示上述設計的一般 構型,第2圖描述具代表性之第一波導管20及光學切換 元件5 0的剖面,且第二波導管3 0也以類似的方式形成。 如第2圖所示,核心7 〇係由包覆層8 0環繞所構成。核心 7 0為主動光承載介質,而光可透過此介質進行傳遞。 在一較佳實施例中,光學切換元件(卵形共振器)5 〇的 平直部分5 2係以平行於第一波導管2 0的方式排列。如上 述之平直聯結部分係用於在光學切換元件(卵形共振器)5 0 與第一波導管20之間定義光訊號之一部份的耦合。 請繼續參間第1圖,在使用當中,一光訊號係經由至 少一個第一波導管2 0傳遞|但第二個光訊號亦可經由第 第7頁 ----------;---農---------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 4407 2 1 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明( 二波導管30傳遞。每一個光訊號接包含一波長範圍,且 光訊號可被解析為個別的波長部分1 了從光訊號中解析 出特足波長的訊號’需由-可控制式電源v施加電壓於光 學切換元件(卵形共振器)5〇a在此較佳,施例中,電壓值 將光學切換元件(印形共振器)5〇調整為所需的波長。當光 訊號如箭號所示通過第一波導管2〇時,一部份具有特定 波長的光訊號將會與光學切換元件(卵形共振器)5〇耦 合’而後該部分的光訊號與第二波導f 3〇帛合。利用習 知技術,光學切換元件(卵形共振器〇被形成並置於完成 所需耦合的位置。光訊號被耦合的部分將繼續以箭號所示 的方向傳遞通過第二波導管3〇。如吾人所知’快速調整光 學切·換元件(卵形共振器)5〇能夠使特定波長的訊號傳輸 有選擇性並非常精確。以第二個光訊號傳遞通過第二波導 管30,光訊號被耦合的部分將成為整個訊號的一部分。如 吾人所知,在此所指定的光傳遞方向僅為了便於說明本發 明的運作方式,而訊號可向其它符合在此揭露的方向傳 遞。 亦應注意的是,不一定要調整光學切換元件5〇,因此 光學切換元件50即成為被動式元件,而不能夠傳輸通過 第一波導管2 0之光訊號的任何部分。所以,整體光訊號 將會直接通過第一波導管20。
以較佳的情泥而言,至少兩個光學切換元件5 〇 A與 5 0 B被配置於每一個節點4 0的附近區域,即如第3圖所 示者。光學切換元件50A與50B係被配置於不同的區域X 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4说格(21〇 X 297公釐) ----------;---震--------訂---------線 (請先閱讀背面之'*〗意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 44 ⑽ 2t A7 _07_ 五、發明說明() 及Y,而區域X及Y則定義於第一波導管20與第二波導 管3 0部分之間,並定義相關的節點4 0。此外,光學切換 元件5 0 A與5 0 B係分別位於節點4 0的相反位置,即成對 角線的(“catty-corner”)排列 ° 個別的電壓施加於每一個光學切換元件5〇A與50B ; 如此,光學切換元件50 A與50B能夠「加入」(“add”)或 「丢棄」(“drop”)部分通過第一波導管20與第二波導管30 的訊號。例如,如上所述’光學切換元件5 0 A可以傳遞一 部分從第一波導管2 0傳輸至第二波導管3 0的光訊號。以 同樣的方式,光學切換元件5 0 B可以傳遞一部分從第二波 導管30傳輸至第一波導管20的光訊號。透過結合兩個光 學切‘換元件5 0 A與5 0B,光訊號的各個部分即可在第一波 導管20與第二波導管30之間加入或丟棄。再者,光學切 換元件5 0A與5 0B兩者或其中之一不需個別或一起調整直 接通過節點4 0並分別穿過個別的第一波導管2 0與第二波 導管3 0的訊號。 為了進一步說明本發明的運作方式,請參閲第4圖, 其中數量Μ與N皆為2。具體而言,兩個第一波導管20A 及20Β係與兩個第二波導管30Α及30Β相交,且定義了 四個節點40A-D。此外,個別的兩個光學切換元件50A-H 被配置於每一個節點4 0 A - D的附近。如上所述以同樣的方 式,先訊號的各個部分可在第一波導管20A及20B與第二 波導管30A及30B之間加入或丟棄。表一提出第4圖所示 之光跨接裝置的可能運作方式,其中可調整光學切換元件 第9頁 本紙張尺度適用尹國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) --------------货衣 *-------訂·--------1 (請先閱讀背面之孓意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^4 07 2 1 Λ7 _B7__ 五、發明說明() 5 0A-H或不調整。(若選擇調整,則所有的光學切換元件 5 0A-H皆被調整為相同的波長,以便例示於表一。) 表一
光學切換元件 50A-H(調整=Y; 不調整=Ν) 輸入訊號 Α之輸出 輸入訊號 B之輸出 輸入訊號 C之輸出 輸入訊號 D之輸出 Υ Υ Υ Υ Ν Ν Ν Ν TB SA TA SB Ν Ν Ν Ν Υ Υ Υ Υ TB SB SA ΤΑ Ν Ν Υ Υ Ν Ν Υ Υ TA SA SB TB *很顯然的,任何數量Μ與N的第一波導管2 0與第二 波導管3 0,皆可以相似的方式使用於訊號與部分的訊號在 波導管之間傳遞而到達所需的目的地。此外,藉由調整切 換元件,可以控制光訊號之不同部分的傳遞》 請繼續參閱第4圖i不以所示者為限,本發明之光學 跨接裝置1 〇將詳細說明如下。四個光學源L1至L4產生 輸入訊號,並分別以A,B、C及D表示,而輸入訊號會 個別經由波導管20A、20B、30A及30B傳遞。每一個輸 入訊號A至D皆可為由複數個或單一波長所組成的光訊 號,其係有關於設計的選擇。例如*光學源L1可提供由 λ,至λΝ波長所組成的光訊號A給波導管20A。若共振器 5 0 A被調整為λ!波長,則λ 1波長會藉由共振器5 0 A從傳 遞通過波導管20A的光訊號耦合,並進入波導管30A;亦 第10肓 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) ----------:---裝--------訂---------線 (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 4407 Α7 137 五、發明說明() 即’ λ,波長會從;皮導管2 〇 a的光訊號中被丢棄,並經由波 導管3 0 A從光學跨接裝置1 〇輸出。在訊號A中的剩餘波 長則繼績透過波導管2 Ο A傳遞(亦即無耦合的波長)且通過 節點40 A,並經由波導管2Ο A離開光學跨接裝置1 〇。光學 源L 3亦可提供多重或單一波長的光學訊號,以作為進入 波導管3 0 A的輸入訊號,而此輸入訊號可選擇性地與波導 管20A、20B及30B耦合,且此輸入訊號亦可通過波導管 30A’以上需視選擇性調整提供為光學跨接裝置丨〇之一部 分的共振器50A-H而定。例如’若由光學源L3所提供的 輸入訊號C中包含λ!波長,則此波長會藉由共振器5 0 A 從波導管30A至波導管20A被耦合,而共振器50A則已 被调'整為λ】波長。根據本發明可提供其它不同的耦合構 型’並取決於傳遞通過不同的波導管20A、20Β、30Α及 3 0B之光訊號的組成成分,而更進一步取決於共振器 5 0A-H的選擇性調整。 在另一實拖例中,請參閱第5圖,其中四個光學切換 元件5 01 - L被配置於節點4 0的附近。以較有利的情況而 言,利用四個光學切換元件5 01 - L,光訊號可通過波導管 20及波導管30當中的任一個,並切換至任一方向。換言 之,藉由在每一對波導管20及波導管30的相鄰部分 20 卜3 01、30 1 -202、202-302 及 3 02-20 1 之間的切換元件 50,訊號或其部分訊號可在相鄰的波導管20及波導管30 之間切換。例如,與第3圖對照之下,光訊號可在區域a 與區域B附近被切換。因此,向右方傳遞通過波導管20 第11頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -----------:---裝—— (請先閒讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂. -線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ 4407 2 ] A7 _B7_ 五、發明說明() 的訊號無法向上方切換傳遞通過波導管3 0,且反之亦然。 除了使用卵形共振器作為切換元件5 0之外,亦可使 用如第6圖所示之橢圓形共振器5 00,或使用如第7圖所 示之圓形共振器。使用橢圓形共振器5 0 0時,共振器的長 轴(major axis)最好大致平行於第一波導管 20,而短轴 (m i η 〇 r a X i s)則大致平行於第二波導管3 0。再者,切換元 件5 0可為具有面鏡的微電子機械系統切換器。 此外,切換元件5 0可為指向性聯結器且頻率的選擇 性並不重要,如第8圖中圖號5 0 2所指明者,而指向性聯 結器為習知元件。與本發明具有相同發明人與受讓人之另 一申請案,揭露了可應用於本發明的指向性聯結器,而上 述未_定案係併入作為參考。 指向性聯結器502包含平直部分503與面向節點40 的寶曲部分5 0 4。平直部分5 0 3大致分別平行於第一波導 管20與第二波導管3 0的部分。使用時,指向性聯結器5 02 在非啟動狀態(亦即無施加電壓)會引起從第一波導管20 通過第二波導管30之整體光訊號的耦合。當施加電壓時, 指向性聯結器5 02會被啟動,且整體通過第一波導管2 0 的光訊號將繞過指向性聯結器,而無任何訊號與第二波導 管3 0耦合。指向性聯結器5 0 2係被形成與配置以便在非 啟動狀態下(亦即提供適當的耦合長度與在指向性聯結器 與波導管之間的間隔寬度)完成必要的耦合。 在本發明的另一面向,請參閱第9A圖與第9B圖,在 節點4 0上與節點4 0之附近區域的波導管2 0及3 0的部分 第12頁 本紙張尺度適用_國國家標準(CNS)A4規格(210 * 297公釐) (請先閱讀背面之注音?事項再填寫本頁) 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 44 07 2 1 A7 _B7_ 五、發明說明() 被加大,以增加節點4 0的面積°因此,波導管2 0及3 0 兩者皆以寬度w形成在節點4 0上與節點4 0的附近,且大 於波導管20及3 0之剩餘部分的寬度h。波導管20及3 0 不需要有相同的寬度w或寬度h。此外,波導管2 0及3 0 被加大的部分可利用錐形部分9 0 (第9 A圖)或拱形部分 1 00 (第9 B圖)而與波導管2 0及3 0的剩餘部分連接。面積 加大之後,在節點4 0的繞射會減少,因而減低訊號在通 過節點40時所產生的線路(串話)干擾。 如第4圖所示,第一與第二波導管20及30可以垂直 矩陣的方式排列。請參閱第1 0圖,第一與第二波導管20 及3 0可以另一種相互平行的方式排列。如第1 0圖所示, 第一·波導管2 0的平直部分11 0大致平行於第二波導管3 0 的平直部分1 20。此外,參考上述之最佳實施例,卵形共 振器5 0的平直部分5 2係以平行於平直部分1 1 0及1 2 0的 方式排列以此排列方式,卵形共振器5 0具有與平直部 分1 1 0及1 20耦合的平直部分5 2,從而增加了訊號傳遞的 功效。再者,卵形共振器5 0可用於傳遞在第一波導管2 0 與第二波導管3 0兩者之間的訊號。 儘管本發明係以特定之實施例加以說明新穎的特 徵,各種針對本發明之形式與細節所進行的刪除、替換與 改變皆可為熟習此項技藝人士達成,卻仍不脫離本發明之 範圍與精神。因此,本發明之範圍僅以所附之申請專利範 圍所述者為限。 第13頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) ' -------- 1 ---- I - I I (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂: -線_

Claims (1)

  1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 HA 01 c: i AS B8 C8 D8 t、申請專利範圍 ί . 一種光跨接裝置,該光跨接裝置至少包含: 一第一波.導管; 一第二波導管,與該第一波導管相交,且相交處定 義為一印點,以及 一第一切換元件,配置於該節點的鄰近區域,以選 擇性地傳遞至少一通過該第一波導管至該第二波導管 之光訊號的一部份。 2. 如申請專利範圍第1項所述之光跨接裝置,其中上述之 第一切換元件為一共振器。 3. 如申請專利範圍第2項所述之光跨接裝置,其中上述之 共振杰·為卵形。 4. 如申請專利範圍第2項所述之光跨接裝置,其中上述之 共振器被電子式調整以控制選擇性傳遞至少該光訊號 之一部分。 5. 如申請專利範圍第1項所述之光跨接裝置,其中上述之 第一切換元件為一指向性聯結器。 6. 如申請專利範圍第1項所述之光跨接裝置,更包含一第 '三波導管與一第四波導管,其中該第二波導管與該第三 波導管相交,該第四波導管與該第一波導管與該第二波 第UI 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A.l規格(210 X 297公釐) t--------r---訂--------I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ο d d 2 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 t、申請專利範圍 導管兩者相交,且其中每一個相交處皆定義為一節點。 7. 如申請專利範圍第1項所述之光跨接裝置,其中上述之 第一波導管與該第二波導管各包含該節點附近之第一 部分以及距離該節點較遠的第二部分,且該第一部分與 該第二部分各有一寬度,而該第二部分之寬度大於該第 一部分之寬度。 8. 如申請專利範圍第7項所述之光跨接裝置,其中上述之 第一波導管與該第二波導管各具有第三部份,用以連接 個別該第一部份與該第二部份,且該第三部份為錐形。 9. 如申請專利範圍第7項所述之光跨接裝置,其中上述之 第一波導管與該第二波導管各具有第三部份,用以連接 個別該第一部份與該第二部份,且該第三部份為拱形。 1 0.如申請專利範圍第1項所述之光跨接裝置,更至少包含 一第二切換元件,配置於該節點的鄰近區域,以選擇性 地傳遞至少一通過該第二波導管至該第一波導管之光 訊號的一部份,其中該第一切換元件置於定義在該第一 波導管與該第二波導管部分之間的第一區域,且該第二 切換元件置於定義在該第一波導管與該第二波導管部 ’分之間的第二區域,至少該第一波導管與該第二波導管 之一被配置於該第一切換元件與該第二切換元件之 第15頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格mo X 297公S ) ----------·---裝-----r---訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 糾(Π 溢 cs na 六、申請專利範圍 間。 1 1 .如_請專利範圍第1 0項所述之光跨接裝置1更包含一 切換元件,置於該第一波導管與該第二波導管之每一對 相鄰的部分之間。 1 2.如申請專利範圍第1項所述之光跨接裝置,其中上述之 第一波導管、該第二波導管及該第一切換元件整體形成 於一半導體封包。 1 3,如申請專利範圍第1項所述之光跨接裝置,其中上述之 第一波導管之一部分被配置成大致平行於該第二波導 管之一部分。 1 4 .如申請專利範圍第1 2項所述之光跨接裝置,其中上述 之第一切換元件被配置在該第一波導管與該第二波導 管的平行部分之間。 -------------^ 1---r---^ , ------- I 彳-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格mo X 297公釐)
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