TW436855B - Ultraviolet ray irradiator - Google Patents

Description

1 4368 5 5 Α7 Β7 五、發明說明（1 ) 【產業上之利用領域】 f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明是關於由介電勢壘放電燈所放射之紫外線，以 及由該紫外線同時產生之臭氧，來作爲乾式洗淨之紫外線 •照射裝置。 【先行技術】 過去習知之使用紫外線光源之紫外線照射裝置來達成 乾式洗淨技術是眾所皆知，藉由該紫外線照射裝置，得以 在液晶、或半導體產業進行光照去灰（Ashing )或精密光 照洗淨。 在這種紫外線照射裝置’從以往作爲紫外線光源的是 使用具有良好放射之2 53 . 7nm或184 · 9nm波 長之紫外線的低壓水銀燈或中壓水銀燈。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，在處理半導體或液晶裝置時，由於多使用有機 溶劑、酸、鹼液等等之各種藥品，所以會有許多這些藥品 之氣化游離物。在這些藥品中，具有會吸收紫外線，藉由 該光能量而分解，而與其他藥品反應產生反應生成物者， 例如，產生硫氫化氨（N Η 4 ) H ( S 0 4 )或硫酸氨（ Ν Η ,丨）2 S 0 4 » 如此之反應產生物，係成爲細小塵埃而在無塵室內對 流，而當這些細小塵埃集聚時，有時會造成對製造過程有 不良影響之原因。 另一方面，近年來取代前述水銀燈，有趨於利用可以 具有強力光能源’效率良好地放射單一波長之介電勢壘放 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公) -4 - 1J 題 BK, lp 之 決 解 欲 所 明 發 * 4 3 6 8 5 5 A7 ______B7___ 五、發明說明（2 ) 電燈，來作爲紫外線照射裝置之紫外線光源。 以介電勢壘放電燈作爲紫外線光源之紫外線照射裝置 ，其爲了與大氣隔離，而將介電勢壘放電燈置於密閉容器 內，從該介電勢壘放電燈所放射之紫外線，係透過設於容 器之一部的窗構件來作非處理物之照射。 然而，使用介電勢壘放電燈之紫外線照射裝置1由於 有用以透過紫外線之窗構件，導致前述反應生成物對流時 會附著於窗構件上之問題。 反應生成物附著於窗構件之理由，是由於介電勢壘放 電燈在點燈時，燈泡表面溫度約只有7 0 °C左右之低溫| 而藉由從燈泡所放射之輻射熱不能夠充分將窗構件予以加 熱，所以無法藉由來自窗構件的輻射熱，使接近窗構件之 反應生成物予以分解，而造成直接附著於窗構件上之現象 〇 於此結果下，會由於附著於窗構件上的反應生成物， 而使紫外線的透過率降低，造成照射區域內之紫外線強度 不平均之問題。 再者，進而產生非處理物之處理不良、處理不均1而 發生材料利用率（良品率）降低之問題。 並且，當窗構件上所附著之反應生成物堆積較多時， 會使該反應生成物從窗構件上剝離而造成大的塵屑，而造 成污染無塵室之處理環境之問題。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公« ) I------------ 衷--------訂---------1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消貲合作社印製 -5- 經濟郭智慧財產局員工消費合作社印製 4368 5 5 A7 ___B7_ 五、發明說明（3 ) 本發明’乃基於如上所述之情形而發明，其目的便是 使由紫外線而產生之反應生成物不會附著於窗構件，因此 ’本發明之目的是在提供一種防止紫外線放射強度低下， 而能夠防止由該反應生成物造成塵屑產生之紫外線照射裝 置。 【用以解決課題之手段】 爲解決上述之課題，申請專利範圍第1項所記載之紫 外線照射裝置’其特徵爲：對於使介電勢塵放電燈配置於 容器內部’在該容器內形成有讓紫外線從前述介電勢壘放 電燈放射而透出之窗構件之紫外線照射裝置中，設有將前 述窗構件加熱至1 ο 〇 °c以上之加熱手段。 申請專利範圍第2項所記載之紫外線照射裝置，係針 對於申請專利範圍第1項所記載之紫外線照射裝置，尤其 是該加熱手段，係設於紫外線照射裝置內。 申請專利範圍第3項所記載之紫外線照射裝置，係針 對於申請專利範圍第2項所記載之紫外線照射裝置，尤其 是該加熱手段，係爲形成於窗構件之表面的厚膜加熱器。 申請專利範圍第4項所記載之紫外線照射裝置，係針 對於申請專利範圍第2項所記載之紫外線照射裝置，尤其 是該加熱手段，係爲形成於窗構件之表面的線狀加熱器。 申請專利範圍第5項所記載之紫外線照射裝置，係針 對於申請專利範圍第2項所記載之紫外線照射裝置，尤其 是該加熱手段，係爲爲白熱燈泡。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之生意事項再填寫本頁) 展--------訂-------!線 -6- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4368 5 5 A7 ____B7___ 五、發明說明（4 ) 【發明實施形態】 第1圖係本發明之紫外線照射裝置之說明圖。 於不鏽鋼製之容器1的內部，配置有複數個用以放射 紫外線之介電勢壘放電燈2 ，而於容器1的前方則配置有 使紫外線透過之由石英玻璃所成的窗構件3。 並且，該容器1係爲密閉，介電勢壘放電燈2是與大 氣隔離|而容器1內，則充塡有對來自介電勢壘放電燈2 所放射之光線爲透過性之非活性氣體，例如，氮、氬、氣 等氣體。 該介電勢壘放電燈2，係被封入有2 5 0 t 〇 r r之 氣氣作爲其放電用氣體’而每發光部份之表面積1 c m2之 輸入電力爲0.2W，使波長172nm具有最大値之紫 外線作有效率之放射。 符號4 ，係效率良好地將介電勢壘放電燈2所放射之 紫外線朝向窗構件3之方向反射的反射鏡。 其次，對加熱手段作說明。 <加熱手段1 > 如第2圖所顯示，於窗構件3之紫外線照射裝置內側 1具體上是在介電勢壘放電燈之表面形成有厚膜加熱器。 此厚膜加熱器Η 1 ’是將導電性發熱膏以網點印刷印 在窗構件3上，在5 0 0 °C下燒成處理3 0分鐘所成。 又’此厚膜加熱器H1之發熱量爲1.9KW。 <加熱手段2 > 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公茇） l·---.--------^---：-----訂---------線 (請先閱讀背面之主意事項再填寫本頁) H368 5 5 A7 B7 五、發明說明（5 ) 如第2圖所顯示，於窗構件3之紫外線照射裝置內側 ，具體上是在介電勢壘放電燈之表面形成有線狀加熱器之 微細加熱器Η 2。 ' 此微細加熱器，是在不鏽鋼製之細管中，沿其管軸配 置由鎳鉻線所成之發熱體，並在與細管之間充塡以高純度 之鎂粉末而呈線狀而可以彎曲之加熱器。 又，此微細加熱器之外徑爲1.6mm、長度40m ，發熱量約爲4 K W。 將作爲加熱手段之厚膜加熱器或線狀加熱器置於紫外 線照射裝置內，具體而言，是形成在介電勢壘放電燈之表 面，其理由是，防止加熱器直接接觸到非處理物作處理時 所產生之氣體藥物，以防止加熱器之劣化，或是，不會造 成加熱器正下方因加熱器本身所形成之陰影。 又，藉由將厚膜加熱器或線狀加熱器直接形成於窗構 件3之表面，而得以效率良好地將窗構件3予以加熱。 <加熱手段3 > 如第4圖所顯示，於容器1之內部，在鄰接介電勢壘 放電燈2之間配置鹵素白熱燈泡5。 此情形是藉由白熱燈泡所放射之紅外線來將窗構件3 予以加熱。 如此利用白熱燈泡作爲加熱手段時，使得紫外線照射 裝置之製造比起前述之厚膜加熱器或線狀加熱器更爲簡單 之同時，由於完全不存在任何東西會在窗構件3將紫外線 遮蔽，所以所照射之紫外線強度之均一性更佳。 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----·-------- 策--------訂---------線 1 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8- A7 436855 ___B7_____ 五、發明說明（6 ) 又，在本實施例中，白熱燈泡係使用兩端封止型之 500W、25A的鹵素燈泡。 其次，對於第1圖之紫外線照射裝置，實施了當第2 圖所示之將厚膜加熱器形成於窗構件時|附著物受窗構件 溫度影響情況之實驗。其結果如第5圖所示。 第5圖，縱軸係顯示於窗構件之波長1 7 2 nm之光 線透過率，其隨窗構件之溫度上昇而透過率亦變大，由此 可知隨著窗構件的溫度升高|附著於窗構件的反應生成物 便分解而開始從窗構件游離|當窗構件爲1 0 0 °C時，便 沒有反應生成物。又，當窗構件至1 0 0 °c時，反應生成 物在接近窗構件就由於熱輻射而分解，便不會附著於窗構 件。 由此結果可知，藉由將窗構件加熱至1 0 0 °c以上， 可以防止反應生成物對窗構件附著，而防止紫外線放射強 度的低下，因而可防止來自反應生成物之塵屑的產生。 【發明之效果】 如以上所說明，本發明之紫外線照射裝置，因爲藉由 加熱手段將窗構件加熱至1 0 〇 °c以上，所以能夠防止由 有機溶劑、酸、鹼液等之各種藥品生成之反應生成物附著 於窗構件，而防止紫外線放射強度的低下，因而可防止來 自反應生成物之麈屑的產生。 又，因爲加熱手段是設在紫外線照射裝置內，所以不 會因有機溶劑、酸、鹼液等之各種藥品而劣化。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----^---------'机--------訂---------線. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -9 - A7 4368 5 5 ________B7__ 五、發明說明（7 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 作爲加熱手段，乃藉由厚膜加熱器或線狀加熱器而直 接形成於窗構件的表面’利用個別之加熱器所產生的熱直 接使窗構件被加熱，所以能夠效率良好地加熱窗構件。 作爲加熱手段，乃藉由使用白熱燈泡，不但製造簡單 ，並且可以使紫外線強度之均一性更爲良好之同時，將窗 構件予以加熱。 【圖面之簡單說明】 第1圖是本發明之紫外線照射裝置的說明圖。 第2圖是使用厚膜加熱器作爲加熱手段之窗構件的說 明圖。 第3圖是使用微細加熱器作爲加熱手段之窗構件的說 明圖。 第4圖是使用白熱燈泡作爲加熱手段之窗構件的說明 圖。 第5圖是受窗構件之溫度的影響下，反應生成物之附 著對紫外線透過率之變化的實驗資料。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【符號說明】 1 :容器 2 :介電勢壘放電燈 3 :窗構件 4 :反射鏡 5 :白熱燈泡 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（2〗0 X 297公釐） -10- 4368 5 5 A7 _B7 五、發明說明（8 ) 熱熱 D P 力力膜狀厚線 I—I C0 Η Η {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 哀--------訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -11 -

Claims (1)

1. 4368 5 5 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 · 一種紫外線照射裝置，其特徵爲： 使介電勢壘放電燈配置於容器內部，在該容器內形成 有讓紫外線從前述介電勢壘放電燈放射而透出之窗構件， 旦設有將前述窗構件加熱至1 0 〇 °C以上之加熱手段。 2 ‘如申請專利範圍第1項之紫外線照射裝置，其中 前述加熱手段，係設於紫外線照射裝置內。 3 ·如申請專利範圍第2項之紫外線照射裝置，其中 則述加熱手段’爲形成於窗構件之表面的厚膜加熱器。 4，如申_請專利範圍第2項之紫外線照射裝置，其中 前述加熱手段，爲形成於窗構件之表面的線狀加熱器。 5 _如申請專利範圍第2項之紫外線照射裝置，其中 前述加熱手段，係爲白熱燈泡。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Γ 經濟部智慧財產局員工消#合作社印製 本紙張尺度逋用中國國家梂準（CNS ) A4洗格（210X297公釐） -12-