434100 A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印^
五、發明説明（ !) 1 1 1 發 明 之 背 景 1 ί I 發 明 之 領 域 1 I 本 發 明 係 有 關 於 — 種 研 削 装 置 及 研 削 方 法 用 以 精 良 的 請 先 1 1 閲 1 準 確 研 削 -* 堅 硬 且 薄 的 工 件 之 至 少 — 側 邊 例 如 為 供 _- 半 讀 背 | 1¾ 1 導 體 設 備 使 用 之 晶 圓 0 冬 Ί 習 知 技 術 之 說 明 意 事 項 1 再 1 一 般 而 言 ~~* 傳 統 研 削 装 置 具 有 由 心 軸 頭 轉 動 的 支 撐 之 本 裝 -- 心 軸 以 此 方 式 —. 磨 輪 被 固 定 至 每 — 心 蚰 之 前 導 末 V··» 端 頁 1 1 〇 此 外 包 含 有 一 馬 達 與 —. 滾 珠 螺 钉 的 — 進 給 單 位 被 連 1 1 接 至 該 心 軸 頭 0 當 該 心 軸 頭 被 進 給 且 由 該 進 給 單 位 移 動 於 1 I 軸 向 方 向 時 該 磨 輪 由 該 旋 轉 馬 達 所 轉 動 且 該 工 件 之 外 1 訂 部 表 面 被 研 削 0 1 I 該 傳 統 研 削 裝 置 具 有 之 結 構 中 用 K 進 給 該 磨 輪 的 每 一 1 1 1 進 給 單 位 均 包 含 了 馬 達 與 滾 珠 螺 訂 〇 當 該 滾 珠 螺 釕 由 該 1 1 馬 達 轉 動 時 進 行 進 給 該 心 軸 頭 的 作 業 0 但 是 當 該 進 給 1 Λ 作 業 必 須 準 確 的 Μ 微 米 或 次 微 米 的 量 來 進 行 時 因 為 該 t«fr m 1 1 r 器 不 充 足 之 剛 性 與 滑 Jtl. 動 部 份 之 摩 擦 阻 力 該 磨 輪 不 能 被 準 1 1 確 的 進 給 0 因 此 造 成 無 法 進 行 一 精 確 研 削 作 業 的 問 題 〇 I 1 I 例 如 於 曰 本 專 利 號 碼 He i 1 -8282 Φ 所 揭 示 的 — 傳 統 雙 頭 1 1 研 削 裝 置 中 一 研 削 裝 置 可 研 削 該 工 件 之 二 側 邊 表 面 α 該 1 1 揭 示 的 研 削 装 置 之 結 構 中 經 由 一 m 臂 方 法 允 許 —- c型 1 1 柱 框 架 突 出 超 過 該 研 削 裝 置 的 框 架 肜 成 供 支 撐 該 頂 部 磨 1 1 輪 的 研 削 頭 0 由 研 削 作 業 的 反 作 用 而 作 用 在 該 柱 上 的 彎 曲 1 1 I 力 矩 1 因 為 在 切 削 作 業 中 產 生 一 研 削 阻 力 而 作 用 在 磨 輪 ί I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨OX 297公处） 4 - 4341 Ο Ο Α7 Β7 五、發明説明（1) 發明之背景 發明之領域 本發明係有關於一種研削裝置及研削方法|用以精良的 準確研削一堅硬且薄的工件之至少一側邊，例如為供一半 導體設備使用之晶圓。 習知技術之說明 經濟部中夬標隼局員工消費合作社印製 一般而言 一心軸，Μ 。此外，包 接至該心軸 軸向方尚時 部表面被研 該傳铳研 進給單位· 馬達轉動時 作業必須準 器不充足之 確的進給。 例如於日 此方式 傳統研削裝置具有由心軸頭轉動的支撐之 磨輪被固定至每一心铀之前導末端 與一滾珠螺奵的一進給單位，被連 含有一馬達 頭。當該心 |該磨輪由 削。 削裝置具有 均包含了馬 ，進行進給 確的以微米 剛性與滑動 因此，造成 本專利號碼 軸頭被進給且由該進給單位移動於 該旋轉禹達所轉動，且該工件之外 之結構中，用 達與滾珠螺訂 該心軸頭的作 或次微米的量 部份之摩擦阻 無法進行一精 He i 卜 8 2 8 2 中 (讀先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) 研削裝置中，一研削裝 揭示的研削裝置之結構 柱框架突出超過該研削 輪的研削頭。由研削作 力矩，因為在切削作業 Μ進給該磨輪的毎一 。當該滾珠螺釘由該 業。但是*當該進給 來進行時，因為該機 力，該磨輪不能被準 確研削作業的問題。 所揭示的一傳統雙頭 件之二側邊表面。該 置可研削該工 中，經由一懸臂方法，允許一 C型 装置的框架，形成供支撐該頂部磨 業的反作用而作用在該柱上的彎曲 中產生一研削阻力*而作用在磨輪 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規枱（2丨0X 297公犛） 4 434100 經濟部中央標隼局員工消費合作社印^ A7 B7五、發明説明（2) 上。此外*發生一熱位移，導致無法進行準確的研削作業 。因而，揭示了一種具有一置於底部底座上方之頂部底座 的一框架。此外，提供給前述框架之頂部與底部磨輪，被 裝配至頂部與底部心軸。該心軸由置於該心軸之側邊上的 馬達與皮帶所轉動。該頂部心軸係由一進給機構所垂直的 移動*該一進給機構包含了由液壓或氣壓所操作的一齒條。 例如於日本專利號碼sho.61-270043中所掲示的一種结 構中，具有供垂直移動該頂部磨輪之一機構。該機構包含 一提供姶該心軸頭的進給機構 > 以使經由馬達*滾珠螺訂 與嫘作，垂直的移動該心軸頭《在該心軸頭内之主要心軸 ，係由一疲體靜力軸承所支撐。此外|每一磨輪係由一内 裝式馬達所轉動。 如前所逑之日本專利號碼sho.6卜270043中所揭示的傳 统研削装置，其已達成不會產生熱位移的框架•及一使該 主要心軸不寺熱擴展之旋轉支撐機構。另一方面 > 此一傳統 研削裝置具有的進給機構，包含了該蠢條或滾珠螺釘，其 係由作用為驅動源的馬達所操作，且具有一種結構•使其 研削頡沾著滑動表面而被垂直的導引，因此，存在的問題係 為該傳統的研削裝置，由於一滑動姐力或類似物，使得不 能進行準確的進給。 進一步的•於傳铳的研削装置中，作為驅動源的馬達（ 像供垂直的移動該研削頭）與該滾珠螺奵係被置於該心軸 的側邊上，以轉動該磨輪，因此，一橫向負載被施加至該 心軸。依此•有極大的可能使得平順與正確的進給，不能 (讀先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（匚~5)六4現格（210乂297公釐） 5 4341〇〇 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印狀 五、發明説明（ ; 1 1 1 被 進 行 且 被 中 斷 0 1 1 | 發 明 之 概 要 說 明 •«—X 1 I 本 發 明 已 發 Μ 可 ΥΧ 克 服 傳 統 技 術 中 所 經 驗 到 的 問 題 〇 請 先 1 1 閱 1 本 發 明 之 -~* 巨 的 係 提 供 一 種 研 削 裝 置 及 研 削 方 法 其 可 讀 背 1 面 I 準 確 的 進 給 且 移 動 磨 击么 至 預 定 的 研 削 位 置 以 研 削 例 冬 1 如 為 半 導 體 晶 圓 的 堅 硬 材 料 〇 意 事 ΧΈ 1 再 I 此 外 亦 為 本 發 明 之 一 巨 的 } 偽 提 供 _*. 種 研 削 装 置 及 研 填 t 剛 削 作 業。 寫 本 削 方 法 其 可 Μ 展 現 充 足 的 性 t 且 進 行 準 確 的 研 頁 ^ I 1 進 一 步 的 本 發 明 之 一 0 的 提 供 雙 頭 式 的 研 削 裝 置 % 1 1 其 可 調 該 磨 輪 的 水 平 度 (水平傾斜度） Μ 使 準 確 的 研 削 1 1 該 工 件 的 二 側 面 表 面 Μ 將 之 製 成 平 行 〇 ί 訂 本 發 明 之 目 的 可 由 — 研 削 裝 置 所 達 成 包 含 了 1 1 —1f 第 一 磨 輪 驅 動 單 位 ’， 直 立 的 站 立 於 垂 直 方 向 上 該 第 1 ! ! 一 磨 m 驅 動 單 位 包 含 了 可 轉 動 之 第 一 心 軸 及 供 可 轉 動 地 1 1 支 撐 該 第 _^- 心 軸 之 第 一 外 罩 1 Λ 被 維 持 在 該 第 一 心 軸 的 一 末 端 之 第 __ 磨 輪 I 供 移 動 第 一 外 罩 於 垂 直 方 向 中 之 第 一 進 給 機 構 該 第 1 I —- 進 給 伸 減 構 具 有 烘 將 轉 動 移 動 轉 換 成 為 線 性 移 動 的 一 m 構 1 1 1 及 1 1 供 可 移 動 的 支 撐 該 第 一 外 罩 之 第 一 液 體 靜 力 徑 向 軸 承 0 1 1 如 前迮乙依 據 本 發 明 之 該 研 削 裝 置 的 構 造 中 » 有 益 的 該 i I 第 — 進 給 機 構 包 含 了 互 相 聯 結 之 一 馬 達 滾 珠 m 釘 及 一 1 I 螺 部 份 1 且 該 滾 珠 螺 奵 係 與 第 一 外 罩 同 軸 的 放 置 0 1 1 I 如 前 述 之 依 據 本 發 明 之 該 研 削 装 置 的 構 造 中 有 益 的 ， 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規輅（210X297公楚 434100 A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（ r ) 1 1 該 第 二 進 給 m 構 包 含 了 互 相 聯 结 之 — 馬 達 > 滾 珠 螺 钉 及一 1 1 I 螺f i部份 且 該 滾 珠 螺 钉 係 與 第 二 外 罩 同 軸 的 放 置 0 1 1 I 如 前 述 之 依 據 本 發 明 之 該 研 削 裝 置 的 構 造 中 r 有 益 的 1 請 1 1 閱 I 該 第 二 外 罩 包 含 了 讀 背 I 面 1 I 供 轉 動 的 支 撐 第 二 心 軸 之 第 四 液 體 靜 力 徑 向 軸 承 及 冬 I 意 1 I 供 轉 動 的 支 撐 第 二 心 軸 之 第 一 液 體 靜 力 止 推 軸 承 〇 事 項 再 填 1 如 前 述 之 依 據 本 發 明 之 該 研 削 装 置 的 構 造 中 有 益 的 進 一 步 包 含 了 寫 本 Έ 裝 i 供 移 動 該 第 二 心 軸 於 垂 直 方 向 的 第 二 輔 肋 進 給 ί¥Ά m 構 該 1 i 第 二 輔 助 進 給 m 構 具 有 第 二 壓 力 調 節 構 可 調 節 轉 動 的 1 1 支 撐 第 二 心 軸 之 第 二 液 體 靜 力 止 推 軸 承 内 的 液 體 之 壓 力 0 1 訂 如 前 述 之 依 據 本 發 明 之 該 研 削 裝 置 的 構 造 中 有 A-»· 的 ϊ 1 1 該 第 液 體 靜 力 徑 商 軸 承 包 含 了 多 數 的 在 垂 直 方 向 中 互 相 1 1 分離之液體靜力毪间軸承部份 0 1 1 必 須 注 思 前 逑 之 百 的 可 由 研 削 装 置 所 達 成 依 據 本 發 1 Λ 明 包 含 了 I i· 1 I 一 第 一 磨 輪 驅 動 單 位 直 -JL-. 的 站 t - \L 於 垂 直 方 向 中 且 具 有 可 轉 動 之 第 - 心 軸 及 供 可 轉 £1, 動 的 支 撐 該 第 心 軸 之 第 1 1 一 外 罩 1 1 被 維 持 在 該 第 一 心 軸 的 j~- 末 端 之 第 一 磨 輪 1 1 供 移 動 該 支 撐 構 件 於 垂 直 方 向 中 之 第 一 進 給 ti|6 m 構 該 第 1 1 一 進 給 機 構 具 有 供 將 轉 動 移 動 轉 換 成 為 線 性 移 動 的 一 機 構； 1 1 I 供 可 轉 動 的 支 撐 該 第 一 心 袖 之 第 液 «ΙΜ 體 靜 力 止 推 抽 承 I 1 及 1 ί 本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4坭枱（2丨OX297公釐） 經濟部中央標隼局員工消资合作社印製 ' 434100五、發明説明（ΰ) 供移動該第一磨 二進給機構具有可 之壓力的第一壓力 A7 B7 如前述 在該第一 改變該液 如前述 該第一壓 一液體 二液體 一液體靜 被提烘 力調節機 如前述 該供應壓 如前述 該第一心 力止推軸 路的其中 之依據本 疲體靜力 體靜力止 之依據本 力調節機 壓力產生 供應管通 力止推軸 在二液體 構。 之依據本 力調節機 之依據本 袖具有徑 承可轉動 輪於垂直方向中的第二進給機構，該第 調節在第一液體靜力止推軸承内的液體 調節機構， 發明之該研削裝置的構造中，有益的， 止推軸承内的液體之壓力的調節*係由 推軸承的反壓所進行。 發明之該研削装置的構造中*有益的， 構，包含了： 設備； 路，以允許該液體壓力產生設備與該第 承連通，Μ供應該疲體至其内；及 供應管通路的至少一通路中之一供應壓 發明之 構具有 發明之 向的突出之一凸緣部份，該第一液體靜 的支撐該凸緣部份，該二液體供應管通 該研削裝置的構造中|有益的 供調整該液體之限制的設備。 該研削裝置的構造中，有益的 (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) 之 具有面向該凸緣部份之頂部表面的一開口 •且另一液體供應管通路，具有面向該凸緣部份之底部表 面的一開口。 如前述之依據本發明之該研削装置的構造中，有益的，每 一該液體供應管通路，係個別的具有供調整該液體之限制 的設爾 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規核（210X 297公釐） 9 434100 經濟部中央標隼局員工消費合作社印策 A7 B7 五、發明説明（7 ) 如前述之依據本發明之該研削裝置的構造中，有益的， 進一步包含了 = 直立站立於垂直方向且與該第一磨輪驅動單位相對的放 置之一第二磨輪驅動單位，該第二磨輪驅動單位包含了一 可轉動之第二心軸，及供可轉動的支撐該第一心軸之第二 支撐構件； 在該第二磨輪被維持實質上平行於且相對於該第一磨輪 的狀態下，該第二磨輪被維持在該第二心軸的一末端處； 及 供移動該第二支撐構件於垂直方向的第三進給機構，該 第三進給機構具有將轉動移動轉換成為線性移動的一機構。 如前述之依據本發明之該研削装置的構造中•有益的， 進一步的包含了： 供轉動的支擋該第二心軸之第二液體靜力止推軸承；及 供移動該第二心軸於垂直方向中之第四進給機構，該第 四進給機構具有一第二壓力調節機構，可調節在該第二菽 體靜力止推軸承內之液體的壓力。 如前述之依據本發明之該研削装置的構造中•有益的， 該第一磨輪驅動單位具有供轉動該第一心軸之一驅動禹達 •該第一進給機構具有互相聯结之一馬達、一滾珠嫘訂與 一螺tl部份，及該滾珠軸承之軸向線、該驅動馬達之旋轉 軸、及第一心軸的袖向線，均為互相成列的對準。 如前述之依據本發明之該研削裝置的構造中*更有益的 ，該第一磨輪驅動單位具有供轉動該第一心軸之第一驅動 本紙張尺度適用中國國家標準（0奶）/\4規格（210><297公犛） (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-β 4341〇〇 A7 B7五、發明説明（b) 經濟部中央標孪局員工消費合作社印製 二 第相該第珠對 -壓所之承 的一釘一的液 的，該 第，互且該滾列 的的壓内軸 益第螺第軸二 益_與 之達有， ，二成 益體反承推 有及珠該心第。有設備 軸馬具份軸第的 有疲的軸止 更-滾，二該準更生設 心一構部轉該相 ，之承推力 ，訂 二線第及對，產生 二 第機帽旋，互 中内軸止靜 中螺第向該，的中力產 第 之給螺的線為 造承推力體 造珠-軸，線列造壓力 該结進二 達向均 構軸止靜液 構滾達的線向成構體壓 動聯三 第馬軸， 的推力體二 的一馬訂向軸相的疲體 轉相第及動的線 置止靜液第 置第二嫘軸的互置一液 供互該 * 驅軸向 裝力體二該 裝，第珠的承為装第一 有有，釘二心軸 削靜液第變 削達有滾訂軸均削一¾ 具具份螺第一的 研體一的改 研馬具一螺推係研了該 位構部珠該第軸 該菠第構由 該一構第珠止，該含許 單機tf滾，該心 之一該機經 之第機該滾力線 之包允 動給螺二軸，二 明第變給慑 明有給 且二靜向明構 Μ 驅進一第轉線第 發的改進 * 發具進，第體軸發機 -輪一第，旋向該 本構 由四節。本構 三份該液的本 節路 磨第及達的軸， 據機經第調行據機第部， 一承據調通 二該，馬達的線 依給係 該之進依給該tl線第軸 依力管 第，釘二 馬釘向 之進，在力所之進，螺向該推 之壓應 該達螺第動螺軸 述 二節且壓力述一份 二軸-止述一 供 f 馬珠的驅珠的 前第調-的壓前第部第的線力前第體 達動滾结一滾钉。如該之行體反如該Ϊ1及軸向靜如該液 馬驅一聪第一螺準 在力進液的 ，螺，心軸體 -二 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現格（210X297公釐） 434100 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、發明説明（ 3 ) 1 1 1 第 液 體 靜 力 止 推 軸 承 連 通 9 及 被 提 供 在 二 液 體 供 懕 管 通 ! ! i 路 的 至 少 一 通 路 中 之 第 一 供 應 壓 力 調 節 iMfc m 構 1 且 該 第 二 壓 1 I 力 調 節 機 構 包 含 一 第 二 液 體 壓 力 產 生 設 備 二 液 體 供 應 請 先 Μ 1 1 1 管 通 路 f 以 允 許 該 第 二 液 體 壓 力 產 生 設 備 與 該 第 二 液 體 靜 讀 背 1 1 力 止 推 軸 承 連 通 I 及 被 提 供 在 二 液 體 供 應 Ή 通 路 的 至 少 一 之 注 1 意 i 1 通 路 中 之 第 二 供 應 壓 力 調 節 機 構 〇 事 項 ! 再 1 如 前 述 之 依 據 本 發 明 之 該 研 削 装 置 的 構 造 中 更 有 益 的 填 i 第 部 本 裝 * 該 第 —- 心 軸 具 有 於 __· 末 端 處 徑 向 的 突 出 之 凸 緣 份 頁 1 1 7 該 第 一 液 體 靜 力 止 推 軸 承 可 轉 動 的 支 撐 該 凸 緣 部 份 該 1 1 二 液 體 供 應 管 通 路 的 其 中 之 一 具 有 面 向 該 第 —- 凸 緣 部 份 1 1 的 頂 部 表 面 之 開 □ 且 鄰 近 於 該弟-疲 體 靜 力 止 推 軸 承 之 1 訂 另 一 液 體 供 應 管 通 路 具 有 面 向 該 凸 緣 部 份 之 底 部 表 面 的 1 丨 一 開 口 該 第 — 心 釉 具 有 於 -- 末 端 處 徑 向 的 突 出 之 第 二 凸 \ 1 | 緣 部 份 該 第 二 液 體 靜 力 止 推 軸 承 可 轉 動 的 支 撐 該 第 二 凸 1 1 緣 部 份 且 該 二 液 體 供 歷 管 通 路 的 其 中 之 一 具 有 面 向 該 1 第 — 凸 緣 部 份 的 頂 部 表 面 之 一 開 D 且 另 一 液 體 供 應 管 通 1 [ 路 > 具 有 面 向 該 第 一 凸 緣 部 份 之 底 部 表 面 之 —_ 開 □ 0 1 I 進 一 步 的 必 須 注 意 到 » 前 述 之 百 的 可 經 由 依 據 本 發 明 之 1 1 I 研 削 方 法 所 達 成 i 包 含 了 1 1 當 將 轉 動 移 動 轉 換 成 為 線 性 移 動 的 運 動 時 i 在 垂 直 方 向 1 1 中 進 給 一 磨 輪 以 装 配 在 一 心 軸 上 的 第 一 進 給 步 驟 及 ! 1 當 調 節 該 轉 動 的 支 撐 該 心 軸 之 一 液 體 靜 力 止 推 軸 承 内 的 1 I 液 體 之 壓 力 時 T 在 垂 直 方 向 上 進 給 該 磨 輪 的 第 二 進 給 步 驟： 1 1 I 如 前 述 之 依 據 本 發 明 之 該 研 削 方 法 中 * 有 益 的 * 該 第 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 12 4341〇〇 A7 B7 經濟部中央標準局員工消贽合作社印製 五、發明説明（U)) \ \ 1 進 給 步 驟 具 有 一 高 速 進 給 步 驟 > Μ 高 速 率 進 給 該 磨 Www ΤτιΗ 至 接 1 ! | 近 將 被 磨 輪 所 研 削 之 一 工 件 的 位 置 t 及 一 低 速 率 進 給 步 驟 1 I 9 在 進 行 高 速 率 進 給 之 後 >λ 低 速 率 進 給 該 磨 輪 9 並 將 該 請 先 1 1 間 I 磨 輪 進 給 至 與 該 工 件 接 觸 〇 讀 背 I I 如 前 述 之 依 據 本 發 明 之 該 研 削 方 法 中 Ϊ 有 益 的 該 第 二 今 I t 1 I 進 給 步 驟 包 含 了 一 準 確 進 給 步 驟 9 且 於 其 中 » 可 進 行 與 該 事 項 1 再 1 低 速 率 進 給 步 比 較 更 為 準 確 的 進 給 間 隔 0 填 1 中 有 Μ 在 該 第 寫 本 裝 如 前 述 之 依 據 本 發 明 之 該 研 削 方 法 的 頁 i | 二 進 姶 步 驟 中 的 進 給 數 量 可 持 缰 的 改變 0 1 1 如 前 述 之 依 據 本 發 明 之 該 研 削 方 法 中 有 w 的 該 第 — 1 1 進 給 步 驟 包 含 了 1 訂 -- 準 確 進 給 歩 驟 其 中 可 進 行 與 該 低 速 率 進 給 步 驟 相 1 I 比 較 係 更 為 準 確 的 進 給 間 隔 及 1 1 I 一 進 給 該 工 件 的 精 製 完 工 步 驟 ί 其 中 可 進 行 與 該 準 確 1 ! 進 給 步 驟 相 比 較 係 更 為 準 確 的 進 給 間 隔 0 1 Λ 進 一 步 的 必 須 注 意 月ti 述 之 i 的 可 經 由 研 削 方 法 所 達 成 1 ， 依 據 本 發 明 包 含 了 下 述 步 驟 1 I 當 該 外 罩 係 由 一 液 體 靜 力 徑 向 軸 承 所 固 持 時 在 垂 直 方 1 1 1 向 上 進 給 該 可 轉 動 的 支 撐 一 心 軸 之 外 罩 0 1 1 進 一 步 的 必 須 注 意 前 述 之 g 的 亦 可 經 由 一 研 削 装 置 達 成 1 1 依 據 本 發 明 1 包 含 了 ； 1 1 一 直 —1-> 的 站 —L. 於 垂 直 方 向 中 的 頂 部 磨 輪 驅 動 單 位 * i I 頂 部 心 軸 可 轉 動 的 置 於 頂 部 磨 輪 驅 動 單 位 内 * i 1 I 供 轉 動 該 頂 部 心 蚰 的 頂 部 馬 達 * 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規輅（210X 297公釐） 4 3 4-100 A7 H7 五、發明説明（i 1 ) 被維持在該頂部心袖的一末端之一頂部磨輪； 具有供將轉動移動轉換成為線性移動之一機構的一頂部 進給機構•且被安排在垂直方向移動該頂部磨輪，其中， 該頂部馬達的旋轉軸，該頂部心軸的旋轉軸，該底部心 軸的旋轉軸，及該頂部進給機構之軸向線·像均互相成列 的對準。 如前述之依據本發明之該研削裝置的结構中，有益的， 進一步包含了準確的進給機構，其具有可以調節在第一液 體靜力止推軸承內的液體之壓力的第一壓力調節襪構，Μ 供轉動的支撐該第一心軸，且被安排以垂直方向移動該第一 磨輪，其中，該準確進給機構的軸向線，孫與頂部進給機 構的軸向線為成列對準的。 此外，必須注意前逑之目的，亦可由一雙頭研削裝置達 成，依據本發明，包含了： 直立的站立於垂直方向中的頂部磨輪驅動單位； 一頂部心軸可轉動的置於頂部磨輪驅動單位內； 供轉動該頂部心軸的一頂部馬達； 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 被維持在該頂部心軸的一末端之一頂部磨輪； 具有供將轉動移動轉換成為線性移動之一機構的一頂部 進給機構*且被安排在垂直方向移動該第一磨輪； 頂部準確進給機構，其具有可Κ調節在頂部液體靜力止 推軸承内的液體之壓力的頂部壓力調節機構，以供轉動的 支撐該頂部心軸，且被安排Μ垂直方向移動該頂部磨輪； 一底部磨輪驅動單位被置於相對於該頂部磨輪驅動單位 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規掐（210X 297公釐) -1 4 - 434100 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説印 (12 ) i 1 1 處 且 直 立 的 站 於 垂 直 方 向 中 > 1 1 1 一 底 部 心 軸 可 轉 動 的 置 於 底 部 磨 輪 驅 動 單 位 内 t 1 I 供 轉 動 該 底 部 心 軸 的 — 底 部 馬 達 J 請 先 1 1 Ml | 被 維 持 在 該 底 部 心 軸 的 一 末 端 之 一 底 部 磨 輪 > Μ 此 方 式 背 I I 7 該 底 部 磨 輪 被 固 持 在 實 質 上 平 行 於 且 相 對 於 該 頂 部 磨 輪 之 注 I 意 1 I 的 位 置 4 章 項 1 再 1 具 有 供 將 轉 動 移 動 轉 換 成 為 線 性 移 動 之 機 構 的 底 部 進 填 寫 本 A 給 機 構 f 且 被 安 排 在 垂 直 方 移 動 該 底 部 磨 輪 及 頁 i i 底 部 準 確 進 給 Wk m 構 j 具 有 可 Μ 調 節 在 底 部 液 體 靜 力 止 推 1 I 1 軸 承 内 的 液 am 體 之 壓 力 的 底 部 壓 力 調 節 徹 構 供 轉 動 的 支 1 1 撐 底 部 心 軸 且 被 安 排 Μ 垂 直 方 向 移 動 該 底 部 磨 輪 其 中 i 訂 1 該 頂 部 馬 達 的 轉 軸 該 底 部 馬 達 的 旋 轉 軸 該 頂 部 心 1 I 軸 的 旋 轉 軸 該 底 部 心 軸 的 旋 轉 軸 該 頂 部 進 給 機 構 的 軸 1 I 向 線 該 底 部 進 給 機 構 的 軸 向 線 該 頂 部 準 確 進 給 機 構 的 1 1 1 軸 向 線 與 該 底 部 準 確 進 給 機 構 的 軸 向 線 係 均 互 相 成 列 1 l 的 對 準 〇 1 此 外 必 須 注 思 前 述 巨 的 亦 可 由 研 削 裝 置 所 達 成 依 1 | 據 本 發 明 9 包 含 了 1 I 直 立 的 站 立 於 垂 直 方 向 中 的 一 磨 輪 驅 動 單 位 i 1 1 一 心 軸 可 轉 動 的 置 於 該 頂 部 磨 輪 驅 相· 動 單 位 内 ， 1 1 被 置 於 該 心 軸 之 一 末 端 的 一 磨 輪 ΤΠ7 固 持 器 > 及 1 1 —- 水 平 度 調 整 機 構 r 經 由 調 節 該 液 體 壓 力 * Η 補 償 該 磨 1 | 輪 固 持 器 的 水 平 度 ί I 此 外 為 達 成 該 巨 的 1 依 據 本 發 明 之 —, 態 樣 t 提 供 . 種 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（€奶）么4規枋（210/ 297公嫠） -15- 434100 A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（1J ) 1 1 I OI*· 雙 頭 研 磨 裝 置 t 具 有 二 磨 輪 當 該 二 磨 輪 被 轉 動 時 9 該 磨 1 1 I 輪 移 動 在 軸 向 方 向 因 此 研 削 該 工 件 該 雙 頭 研 削 装 置 1 包 含 了 二 供 該 磨 輪 用 的 心 軸 係 被 安 排 為 至 少 — 該 心 軸 請 閱 ή 背 1 1 m ||U- 由 一 液 體 靜 力 止 推 軸 承 而 由 供 該 磨 m 用 的 工 作 台 產 生 1 I 面 I 轉 動 及 壓 力 調 節 機 構 供 調 節 被 供 η*»? 懕 至 該 液 體 靜 力 止 推 之 注 I 意 1 I 軸 承 内 之 至 少 —^1 供 trpct 愿 □ 的 該 液 體 之 壓 力 且 允許在該心軸 事 項 再 1 I 的 軸 向 線 之 方 1¾ 上 以 互 相 相 對 的 方 向 而 互 相 連 通 0 填 當 一 工 件 由 依 據 本 發 明 之 前 述 雙 頭 研 削 裝 置 所 研 削 時 1 寫 本 頁 i 1 I 供 該 磨 輪 用 的 X 作 台 當 該 磨 輪 被 轉 動 時 * 可 由 該 馬 達 與 1 1 滾 珠 螺 钉 快 速 的 將 磨 輪 進 給 至 接 近 該 工 件 的 位 置 0 然 後 1 i » 該 進 給 模 式 被 轉 換 成 為 供 一 研 削 作 業 的 進 給 因 此 該 1 訂 1 ! 工 件 接 近 於 預 定 數 量 的 數 量 加 以 研 削 〇 最 後 該 壓 力 調 節 機 構 調 節 被 供 應 至 該 疲 體 靜 力 止 推 軸 承 的 至 少 一 供 應 1 1 I D 的 該 液 體 之 壓 力 〇 其 结 果 經 由 液 體 靜 力 止 推 軸 承 所 達 1 1 成 之 在 軸 向 方 向 的 該 心 軸 之 軸 承 平 衡 被 改 變 因 此 該 磨 1 ..Λ 輪 被 準 確 的 進 給 且 移 動 至 預 定 的 研 削 it 置 〇 1 於 前 述 之 依 據 本 發 明 之 雙 頭 研 削 裝 置 有 ώϊ 的 該 壓 力 I [ 調 節 m 構 具 有 調 節 m 構 以 供 經 由 調 整 該 液 體 之 限 制 而 1 1 改 變 壓 力 0 1 1 此 外 如 前 述 之 雙 頭 研 削 裝 置 有 益 的 該 壓 力 調 節 機 1 1 構 的 结 構 具 有 供 調 整 該 壓 力 之 一 限 制 的 調 節 機 構 〇 當 該 1 j 調 節 機 構 改 變 壓 力 必 須 被 供 gpg 至 該 液 體 靜 力 止 推 蚰 承 1 I 的 供 應 P 之 液 體 的 壓 力 可 輕 易 的 被 調 節 0 1 1 I 此 外 為 使 達 成 前 述 y 目 的 據 本 發 明 之 —* 態 樣 提 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（〇~5)八4規格（210><297公蝥） 434100 A7 B7 經濟部中央標窣局貝工消費合作社印裝
五、發明説明（11) ! 1 供 種 雙 頭 研 削 裝 置 其 具 有 直 JL·. 站 立 的 磨 m 驅 動 單 位 ， 1 1 I 且 包 含 了 可 由 馬 達 轉 動 之 頂 部 與 底 部 心 軸 以 此 方 式 安 排 1 I | r 經 由 該 頂 部 與 底 部 心 軸 該 頂 部 與 底 部 磨 輪 被 維 持 實 質 請 先 閱 讀 背 1 1 上 為 互 相 平 行 且 互 相 相 對 的 且 一 工 件 被 嵌 入 在 二 磨 輪 之 1 I ιέ I 間 的 空 間 内 因 此 該 工 件 被 轉 動 且 研 削 該 雙 頭 研 削 裝 冬 | 置 提 意 ! I 包 含 了 供 給 每 頂 部 與 底 部 磨 WS 驅 動 單 位 之 第 —* 進 事 項 1 給 機 構 且 每 — 第 —- 進 給 m 構 具 有 滕 構 以 供 將 每 —· 頂 再 填 1 部 及 底 部 磨 輪 的 轉 動 移 動 轉 換 成 為 往 復 的 直 線 移 動 使 寫 本 頁 裝 1 垂 直 的 移 動 該 頂 部 與 底 部 磨 m 朝 向 該 工 件 及 提 供 給 至 少 1 1 — 頂 部 與 底 部 磨 輪 驅 動 單 位 之 第 二 進 給 ϋ3ή Μ 構 該 第 二 進 給 [ 1 機 構 Μ 液 am 體 壓 力 移 動 該 磨 輪 一 短 距 離 κ 使 準 確 的 精 製 該 1 訂 1 I 工 件 〇 每 一 該 頂 部 與 底 部 磨 輪 驅 動 單 位 具 有 在 直 立 站 之 導 1 1 1 件 内 的 外 罩 〇 此 夕卜 該 心 軸 係 可 轉 動 的 置 於 該 外 罩 内 〇 為 1 1 使 由 該 第 一 進 給 m 構 垂 直 的 移 動 該 磨 輪 該 外 罩 係 直 接 的 ! 由 該 第 一 進 給 機 構 垂 直 的 移 動 〇 因 為 使 用 將 轉 動 移 動 轉 換 1 成 為 線 性 注 復 移 動 的 機 構 該 外 罩 可 被 快 速 的 進 給 使 1 I 容 許 接 近 該 磨 輪 此 外 該 磨 輪 可 被 因 而 饋 人 而 研 削 工 件。 I t 該 第 二 進 給 機 構 直 接 的 在 垂 直 方 向 移 動 該 心 軸 〇 該 第 二 1 1 進 給 機 構 係 提 供 給 每 一 頂 部 及 底 部 磨 輪 驅 動 m 位 飞 僅 提 供 1 1 給 頂 部 磨 輪 驅 動 翬 位 或 僅 提 供 給 底 部 磨 輪 驅 動 單 位 Ο 此 外 1 | 1 該 第 一 進 給 機 構 不 易 進 行 之 Μ 次 微 米 單 位 進 姶 可 進 行 1 I Μ 完 成 該 功 能 〇 1 1 I 如 前 述 之 依 據 本 發 明 的 雙 頭 研 削 裝 置 中 該 第 一 進 給 擁 1 I -17 - 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4現格（210X2?7公梵） 4341〇〇 A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印聚 五、發明説明 (1? ) 1 1 I 構 係 配 合 了 一 馬 達 ， 一 滾 珠 螺 訂 及 - 螺 η 部 份 ♦ 且 該 滾 珠 1 1 | 螺 釘 的 軸 向 線 » 係 被 製 成 與 該 頂 部 及 底 部 心 軸 的 軸 向 線 為 1 1 成 列 對 準 的 〇 請 先 R/] 1 t I 如 前 述 之 依 據 本 發 明 的 雙 頭 研 削 裝 置 中 有 益 的 少 該 第 讀 背 1 1 二 進 給 laa m 構 係 經 由 一 液 體 靜 力 止 推 軸 承 與 一 液 體 靜 力 徑 向 IEJ 之 注 I Μ 意 1 I 軸 承 支 撐 該 心 軸 » 且 改 變 該 液 體 靜 力 止 推 釉 承 的 反 » Μ 事 項 1 再 1 使 可 垂 直 的 移 動 該 心 軸 0 填 承 與 液 體 寫 本 裝 該 第 二 進 給 機 構 係 由 該 第 _ 液 體 靜 力 徑 向 軸 —· 頁 、， 1 I 靜 力 止 推 軸 承 所 組 成 0 該 止 推 軸 承 之 頂 部 反 壓 與 底 部 反 壓 1 1 -b 間 的 差 7 被 使 用 以 準 確 的 移 動 該 心 軸 〇 1 1 於 前 述 之 依 據 本 發 明 的 雙 頭 研 削 裝 置 中 有 的 該 頂 1 訂 部 心 軸 之 軸 向 線 與 該 底 部 心 軸 之 軸 向 線 保 被 製 成 互 相 成 1 1 列 對 準 的 且 供 轉 動 該 頂 部 與 底 部 心 軸 該 第 — m 第 二 進 1 1 | 給 Wk Μ 構 該 頂 部 與 底 部 馬 達 的 軸 向 線 ί系 被 製 成 與 該 頂 部 1 1 與 底 部 心 軸 的 軸 同 線 為 互 相 成 列 對 準 的 0 1 1 - 刖 述 之 六 個 單 位 的 軸 向 m 被 製 成 與 該 心 軸 之 軸 向 線 為 成 1 1- 列 m 準 的 结 構 T 代 表 了 一 種 驅 動 源 的 軸 向 線 被 製 成 與 該 心 1 I 軸 的 軸 向 線 成 列 對 準 之 结 構 取 代 了 供 轉 動 該 心 軸 的 馬 達 1 1 I 被 置 於 該 心 軸 之 側 邊 上 » 並 皮 帶 轉 動 該 心 軸 的 结 構 〇 特 1 1 別 的 T 前 述 结 構 可 以 内 装 式 馬 達 來 達 成 0 此 外 t 供 產 生 該 1 1 力 以 轉 動 第 * 進 給 機 構 及 該 線 性 注 復 移 動 轉 換 槠 構 的 該 驅 1 I 動 源 r 均 被 置 於 互 相 成 列 的 對 準 0 此 外 * 此 方 式 i 於 該 1 1 第 二 進 給 tilfc m 構 的 结 構 中 供 進 給 作 業 用 的 該 力 r 於 相 同 的 1 1 \ 軸 向 m 上 產 生 〇 因 此 t 該 頂 部 與 底 部 心 蚰 « 該 頂 部 與 底 部 [ ί 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現栳（210X297公犮） -18- 434100 A7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 B7五、發明説明（U';) 第一及第t馬達，及該第一與第二進給機構，均被置於互 相成列的對準。由前述结構之結果*該研削装置之全體结 構，相關於該心軸的軸向線，係具有對稱的結構。因而· 可Μ達成良好之穩定的機械剛性*且可以進行一非常準確 的研削作業。 參照所附之圖式，由下述之詳细說明與申請專利範圍， 珂更清楚的了解本發明之本質、原理及實用性。 圖式之簡單說明 圏1係一横剖面圖，顯示依據本發明之一雙頭研削裝置 的一具體例之基本部份； 圖2係一放大横剖面圖，顯示一磨輪進給單位之壓力調 節器； 圖3係一横剖面画，顯示示於圖2中之該單位的一作業狀 態； 圖4偽一透視圖，顯示供調整一底部磨輪之水平度的設 溜之基本部份； 圖5係一放大橫剖面圖，顯示一水平度調整設備之一壓 力調節器； 圖6係沿著圖5之線V I - V I取得之横剖面圖； 圖7係一横剖面圖，顯示示於圃6之該單位的一作業狀態； 圖S係一圖表|顯示該磨輪進給單位的壓力調節器之作 業； 圖9係一圖表，顯示由壓力調節器所進行之進給供一磨 輪用的工作台之作業； 本紙掁尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规梏（210Χ297公犮） -- - ---I--· · .去^------- T n n ----表 ----11 (請先間讀背面之注意事項再填寫本X ) _ 19 一 434100 A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 五、發明説明（Π ) 1 1 圖 1 〇係 一 圖 表 顯 示 供 該 底 部 磨 輪 固 持 器 的 壓 力 調 節 器 1 ! I 之 作 業； ! ! I 圖 1 1係 一 圖 表 顯 示 供 進 給 該 磨 輪 固 持 器 的 壓 力 調 節 器 請 先 1 ! 閱 | 之 作 業； 讀 背 1 I | 圖 12係 一 前 視 圖 概 略 的 顯 示 本 發 明 之 第 二 具 Han 體 例 的 — 冬 I 意 ! I - 雙 頭 研削 装 置 事 t 項 圖 1 3係 — 側 視 圖 顯 示 該 雖 頭 研 削 裝 置 存 填 圖 14係 一 横 剖 面 Γ^Ι 圖 顯 示 依 據 本 發 明 之 該 雙 頭 研 削 装 置 寫 本 頁 裝 1 之 一 頂部 磨 輪 驅 動 單 位 1 1 圖 15係 — 橫 向 橫 剖 面 圖 顯 示 該 頂 部 磨 ym 驅 動 單 位 的 — 1 1 液 體 靜力 徑 向 軸 承 » I 訂 圖 16係 一 橫 剖 面 圖 顯 示 一 底 部 磨 輪 驅 動 單 位 1 I 圖 1 7係 一 平 面 圖 顯 示 —. 工 件 支 撐 單 位 及 1 I ί 圖 18係 一 横 剖 面 圖 顯 示 該 工 件 支 撐 單 位 的 基 本 部 份 1 1 較 佳 具體 例 之 詳 细 說 明 1 來 參 照圖 式 於 下 將 說 明 依 據 本 發 明 之 雙 頭 研 削 装 ΓττΙ 置 之 第 1 [ 具 體例 〇 1 I 如 示於 圖 1 一 -底部心軸頭1 1被裝配在- -底部框架（未 示 1 ! 於 圖 )上 J — -底部心軸1 2旋轉的支撐在該底部心軸頭1 1的 1 1 中 央 部份 内 〇 經 由 一 磨 輪 固 持 器 14 一 底 部 磨 輪 1 3與 該 底 1 1 部 心 铀12的 頂 部 末 端 部 份 整 體 的 形 成 0 一 變 動 馬 達 15 装 配 1 I 在 底 部心 袖 頭 11 的 側 邊 表 面 上 且 當 該 磨 輪 經 由 修 整 作 業 1 I 所 變 更/修正時 該變動馬達1 5會轉動1 ，當該變動馬達1 5 1 1 I 被 轉 動時 經 由 一 滑 輪 16 . 皮 帶 17 —. 滑 輪 13及 底 部 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規梏（210X297公负） 經濟部中央標準局員工消費合作社印^ Α7 137五、發明説明（1¾) 心軸12，該底部磨輪13以低速率轉動，以達成變更/修正 該磨輪13的目的。一用以轉動該磨輪固持器14的底部切削 馬達9 1 *係被包含在該底部心軸頭1 1内|因此，當加工工 件時，該底部磨輪13 K高速率轉動。 一工件固持器19被置於一底部框架上，Μ此方式，該工 件固持器19係被置於鄰近該底部磨輪13之上方的位置_。一 工件經由形成在該工件固持器19之中央部份的孔20而被固 持。一工件21經由該工件固持器19的孔20而嵌人該工件固 持器19内，Μ此方式，形成在工件固持器19上的突起（未 示於圖）及形成在工泮21上的槽，互相的結合。因此，該 工件21與工件固持器19均經由一馬達（未示於圖）所轉動。 當執行一切削作業時，該工件Κ低速率轉動。此外，該工 件2 1的底部表面係裝配在底部磨輪1 3上。 該頂部心铀頭2 2係裝配在一頂部框架（未示於圖）上，Μ 此方式，該頂部心軸頭2 2可垂直直立的移動*因此*該頂 部1 5軸頭2 2被置於該底部心軸頭11的上方。為了在加工該 工件2 1時，將該頂部心軸2 3延伸與該底部心軸1 2對準成列 ，該頂部心軸2 3經由成對的液體靜力徑向軸承2 4與2 5及液 體靜力止推軸承2 6與2 7 *而被旋轉的支撐在該頂部心軸頭 2 2之中央部份。一頂部磨輪2 8被裝配在一磨輪固持器2 9上 ，且與該頂部心軸2 3的底部末端整體的形成。 該液體靜力徑向軸承24與25具有供應口 2 4a與25a，將作 用為一壓力液體的油，供愿至該頂部心軸2 3的外部表面。 該液體靜力止推轴率2 β與2 7具有供應口 2 h與2 7 a *將油供 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公兑） (讀先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁} 434 彳 00 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印聚
五、發明説明 (1 ： 丨） 1 1 應 至 該 頂 部 心 軸 23的 一 凸 緣 部 份 23 a之二相對末端表面c i I | 一 磨 m 調 整 馬 達 3 0係 被 裝 配 在 該 頂 部 心 軸 頭 2 2的 側 邊 表 1 I 面 上 0 當 該 馬 達 30被 轉 動 時 1 經 由 一 滑 輪 3 1 1 一 皮 帶 32 t 請 先 gn 1 ί 1 一 滑 輪 33及 該 頂 部 心 軸 23 r 低 速 率 轉 動 該 頂 部 磨 輪 28 0 讀 背 ! [ 一 頂 部 切 削 馬 達 90 被 包 含 在 該 頂 部 心 蚰 頭 22内 當 加 工 之 注 1 意 1 I 工 件 時 9 Η 高 速 率 轉 動 該 頂 部 磨 m 28 〇 —* 磨 輪 TtTrl 進 給 馬 達 34 事 jg 1 再 1 係 裝 配 在 一 頂 部 框 架 (未示於圖） 上 0 當 該 馬 達 34 轉 動 經 填 速 的 進 給 至 接 近 該 寫 本 ά 由 — 滾 珠 螺 釘 35 ϊ 該 頂 部 心 軸 頭 22快 工 頁 1 I 件 21 的 位 置 m •η»* 後 經 由 一 m 件 (未示於圖） * 低 速 率 進 給 1 1 至 一 預 定 的 切 削 位 置 〇 1 I 一 作 為 液 體 供 B 來 源 的 液 體 靜 力 泵 36 t 連 接 至 該 液 體 靜力 i 訂 1 I 徑 向 軸 承 24與 25的 供 irtxr 懕 α 24 a 與 25a 且 經 由 —. 供 應 管 通 路 37 連 接 至 液 體 靜 力 止 推 軸 承 26的 供 臑 P 26 a 並經由- -供 1 1 | ntxr 懕 管 通 路 39 連 接 至 液 體 靜 力 止 推 軸 承 27 之 供 愿 α 27 a、 )於 1 ! 預 定 壓 力 下 的 液 體 經 ώ 該 供 應 •£5^ 通 路 37 與 39 自 該 疲 體 ί .東 靜 力 泵 36供 應 至 該 供 應 Ρ 24 a 25a 26 a 與 27a 0 1 一 作 用 為 壓 力 調 節 itifi m 構 的 壓 力 調 節 器 38 連 接 該 液 體 1 I 靜 力 泵 36延 伸 至 該 液 體 靜 力 止 推 軸 承 27 之 供 歷 □ 27 a的洪 1 1 I WBC SB 管 通 路 39 〇 在 經 由 該 馬 達 34與 滾 珠 螺 訂 35而 快 速 的 將 頂 1 I 部 心 軸 頭 22快 速 的 Am m 入 接 近 該 工 件 2 1 的 位 置 之 後 開 始 了 1 1 一 研 削 作 業 > 此 方 式 9 該 頂 部 心 軸 頭 2 2ί系 被 準 確 的 進 給 1 I 0 狀 « 後 t 該 Μ 力 調 節 器 38 - 調 節 自 該 液 wiw 體 靜 力 泵 36 供 應 至 1 I 該 液 體 靜 力 止 推 軸 承 27 之 供 應 □ 27 a的液體之壓力 因而 1 1 I t 該 頂 部 心 軸 2 3被 更 進 —, 步 精 確 的 進 給 * 因 此 i 該 頂 部 磨 1 I 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規梏（210X297公龄） 22 α34100 Α7 Β7 五、發明説明（；jn) 輪2 8以一小距離向下移動至該預定的研削位置。 如示於圖2 *在該壓力調節器3 8的外罩4 0之外部表面内 ，形成Μ預定距離互相分開之一液體入口 41與一液體出口 42。一調整桿43可移動的嵌入該外罩40。於該調整桿40的 外部表面上|提供了 一小直徑部份4 3 a與一大直徑部份4 3 b 。當調整桿43已向左移動，如示於圖3·該大直徑部份43b 在該液體入口 41與液體出口 42之間的區域肉 > 向左的移動 。因而，在液體入口 41、液體出口42、及該小直徑部份43a 之間，形成一阻流通路44。 一作用為調節機構的一調節馬達4 5組成一調節構件，且 被裝配在該外罩40的外部表面上。一滾珠螺釘46經由一軸承 構件47而由該外罩4 0的外部表面旋轉的支撐*以使經由一 聯结器48連接至一調節馬達45的一馬達軸。一螺帽49經由 一接合板5 0而接著至該調整桿4 3的外部末端|且然後，與 該滾珠螺釘46螺紋的結合。一編碼器5 1接著至該調節馬達 4 5，以使依據該調節馬達4 5的旋轉次數，來偵測該調整捍 4 3的移動數量。一外蓋5 2裝配在該外罩4 0上，以覆蓋該調 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 - ^^^1 ^^^1. - - —- - I / I- —^^1' ^—^1 ^—^1 ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 節馬達4 5，該編碼器5 1，該滾珠螺訂4 6及該螺帽4 9。 如示於圖2，當該調節馬達45轉動*且該調整桿43的小 1徑部汾4 3 a係被置於液體人口 4 1與液體出口 42之間的狀 態時|該調整桿4 3經由滾珠螺訂4 6與該螺帽4 9 *而移動向 示於圖2中的左側。其结果|如示於圖3，該調整桿4 3的大 直徑部份43b，移動至位於該液體入口 41與該液體出口 42 之間的位置。因而，在液體人口 41、液體出口 、及該小直 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公费) -23 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 434100 A7 B7五、發明説明（21) 徑部份4 3 a之間，彤成一姐流通路4 4。該阻流通路4 4之長 度，係依據該調整桿4 3已移動之距離而變化。因而*如示 於圖1，供應至該液體伴靜力止推軸承27之供應口 27a的液 體之壓力•依據因而形成之阻流通路44之長度*係為破降 低的。其结果，經由二疲體靜力止推軸承26與27所達成之 在軸向方向中之頂部心軸23的軸承平衡，因而產生變化， 因此|該頂部磨輪28精確的尚下進給。 如示於圖1及圖4至圖7中，一水平度（水平傾斜度）調整 翬位53，偽相對應於該底部磨輪13的磨輪固持器14而放置 ，該水平度調整單位53具有多數的（例如*於本具體例中 係為八個）壓力調節器5 4，以預定之間隔而互相分開的放 置在底部心軸頭1 1上。經由該供應管通路3 7，閥7 0，及每 一壓力調節器54，該加壓液體自該液壓泵36供應至該底部 磨輪13的磨輪固持器14之底部表面。該液體的壓力，經由 每一壓力調節器54所調整，因此*調整了該底部磨輪13之 水平傾斜度。該壓力調節器5 4之數量係相對應於該閥7 0之 數量。 即為*連接至自該液壓泵3 6延伸之供應管通路3 7之一液 體入口 56>形成在該壓力調節器54之外罩55的一末端。此 外，允許與該磨輪固持器14之底部表面連通之一液體出口 5 7 *係形成在該外罩5 5的外部表面中。一調整桿5 8旋轉的 嵌入該外罩55。允許與該液體入口 56連通之一液體通路59 •形成在該調整桿5 8的中央部份。此外|允許與液體通路 59及液體出057連通之一阻流通路60，肜成在該調整桿58 本紙張尺度適用中國國家標準^他）六4见搞（210)< 297公#) n -2 4 - (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 434100 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ΑΊ Β7五、發明説明（2:2) 的外部表面。使用該水平度調整單位53*可非常有效且有 用的防止該工件21，該磨輪，及環繞的元件被加熱，因為 該磨輪的水平度（水平傾斜度）之調整，可經由該水平度調 整單位53，進行微米（micron)之量的調整。必須注意，此 種由於在工件與Μ傾斜狀態轉動的磨輪之間產生的熱，使 用習知技術，特別是使用機械方式的習知技術（例如，一 起重装置），是無法防止的。 一調整馬達61經由一托架62，裝配在該外罩55之一末端 上。該調整馬達6 1的馬達軸*經由一聯结件6 3而連接至該 調整桿58。一編碼器64接著至該調整馬達61，以使依據該 調整馬達61的旋轉數量，來偵測該調整桿58之轉動數量。 如示於圖1、6及7中•該調整桿58係經由一控制機構（未 示於圖）預先選定之壓力調節器54之調整馬達61所轉動。 因而*插人於液體通路59與液體出口 5?之間的阻流通路60 之長度|已被改變。自該選定的壓力調節器54之液體出口 57*供應至該磨輪固持器14之底部表面的液體之壓力已改 變，因此，該底郜磨輪1 3的水平傾斜度被準確的調整= 具有前述结構之雙頭研削裝置的操作|將於下詳述。 當該雙頭研削裝置被操作Μ質施該研削作業時《如示於 圖1，該工件2 1被帶入該工件2 1與底部磨輪1 3接觸的位置 ，且其中，該工许21偽為被該工件固持器19旋轉的固持之 狀態。於前述狀態中，該底部磨輪1 3由底部切削馬達9 1所 轉動。此外 > 該頂部磨輪2 8由頂部切削馬達9 0所轉動。該 頂部心軸頭2 2由該磨輪進給馬達3 4，經由該滾珠螺奵3 5而 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規梏（210X297公趋） 25 - 434100 A 7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（2:0 向下移動，因此|該頂部磨輪2 8快速的移動至接近該工件 2 1的位置。然後，該進給模式更換為供切削作業用的低速 率模式*因此，該頂部磨輪2 8被進給至該預定的切削加工 位置。 當經由該磨輪進給馬達3 4及該螺釘3 5進行該進給操作之 後，該壓力調節器38的調整桿43的小直徑部份43a，係被 置於液體入口 41與液體出口 42之間。因而，在液體人口 41 ，液體出口 42及小直徑部份43a之間，並不存在有阻流通 路44。因此，在預定壓力下的油，經由該供應管通路37, 自該液壓泵36供應至頂部液體靜力止推軸承26。此外，在 前述壓力下的液體，經由該供應管通路39與該壓力調節器 38*被供應至底部液體靜力止推蚰承27。因此，該頂部心 軸23 Μ在軸向方向維持預定之平衡的方式*由該二液壓靜 力止推軸承26與27產生旋轉。 然後 > 如示於圖3，該調整桿43經由該壓力調節器3S的 調節馬達45，而向左移動。因此，移動了該大直徑部份 4 3 b *因此，該阻流通路4 4形成在液體入口 4 1與液體出口 4 2之間的一位置之該外罩4 0內。該姐流通路4 4之長度，係 依據該調整桿4 3的移動數量而改變。 依據該壓力調節器3 8之咀流通路4 4之長度的改變，如示 於圖8，降低被供應至該底部液體靜力止推袖承2 7的液體 之壓力。因為液體之壓力如前所述的降低，由二液體靜力 止推蚰承2 6與2 7所紈行之該頂部心蚰2 3的軸承平衡，因而 產生改變。其结果，如示於麵9 *該頂部磨輪2 8以次微米 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 泉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規栝（210X 297公#_ ) -26 _ 434100 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（) (sub-micron)的單位精確的移動。因此，該頂部磨輪28準 確的移動至該預定的研削伎置。 依據自國8與圖9中可獲致的阻流通路44的長度與該心铀 移動數量之間的闞係，經由該阻流通路的長度，可獲致該 調節馬達4 5的轉動數量與頂部心軸的移動數量之間的關係 。其结果|該頂部心軸2 3可被精確的設定。 如示於圖9*示於圖8中之壓力曲線的影響，導致在精確 進給作業中的區域Α内，必須執行相當大的進給。於區域Β 中 > 在精確進給作業中，可執行相當小的進給。因此，該 區域B信用以執行該磨輪之進給的最後階段。 如示於圖可獲致多數的壓力調節器54之阻流通路60码 長度*與壓力調節器5 4之液體出口處的液體之壓力之間的 關係。依據所獲致的關係，如示於圖11，可獲致該磨輪固 持器1 4之相對應部份的向下偏斜之長度與數量之間的關係 >該磨輪固持器44係與該壓力調節器54接觸。 其结果*可獲致在阻流通路6 0的長度（即為調整馬達6 1 > ，與該磨輪固持器14之接觸部份的向下偏斜之數量之間的 闢係。當一預定之壓力調節器5 4自多數的壓力調節器5 4中 選用之後 < 可以調整該磨輪固持器14與底部磨輪13之準確 的傾斜角度。 由前述之具體例中可獲致之效果*將於下詳述。 依據本具體例之該雙頭研削装置具有之结構，該頂部磨 輪2 S之頂部心軸2 3，偽經由該液體靜力止推軸承2 6與2 7 * 而由頂部心袖顗2 2產生轉動。該壓力調節器3 8，作用為一 (請先閲讀背面之注意事項再填』"本頁) 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（2I0X297公筍） 27 434彳〇〇 A7 137 經濟部中央標羋局員工消費合作社印54 五、發明説明 ( 一 '· ) 1 I 壓 力 調 節 機 構 用 Μ 調 節 必 須 被 供 應 至 該 液 體 靜 力 止 推 軸 1 ! I 承 26 與 27之 供 應 口 26 a 與 2 7 a 中 之 供 應 □ 27 a的液體之壓力。 1 1 因 為 必 須 被 供 應 至 該 液 體 靜 力 止 推 軸 承 27 之 供 應 □ 27 a 請 先 1 1 的 液 體 之 壓 力 係 由 壓 力 調 節 器 38所 調 節 該 頂 部 磨 輪 28 讀 背 1 I 1 可 被 準 確 的 進 給 至 該 預 定 的 研 削 装 置 〇 此 外 可 Μ 進 行 一 I 意 1 I 剛 性 且 準 確 的 研 削 作 業 Ο 事 1 項 Ί 依 據 本 具 體 例 之 該 雙 頭 研 削 裝 置 之 结 構 該 壓 力 調 酣 器 fl- 填 J 3δ具 有 該 調 節 馬 達 45 Μ 供 改 變 該 阻 流 通 路 44 m ^s 該 阻 流 通 寫 本 頁 裝 i 路 44的 長 度 0 田 該 阻 流 通 路 44的 長 度 被 該 調 節 馬 達 45的 1 I 轉 動 而 改 變 時 必 須 被 供 應 至 該 液 體 靜 力 止 推 軸 承 27的 供 ί t trpg m □ 27 a之疲體的壓力 可輕易的調整t 其结果 該頂部 1 訂 磨 輪 28可 準 確 的 被 進 給 〇 1 I 依 據 本 具 體 Μ 之 雙 頭 研 削 裝 置 具 有 水 平 度 調 整 單 位 53 1 1 Μ 相 對 nfp 應 於 底 部 磨 輪 1 3之 磨 輪 固 持 器 14 ΰ 因 而 經 由 該 水 i 1 平 度 調 整 單 位 53 之 每 —* 壓 力 調 節 器 5 4 該 加 壓 液 體 被 供 m 1 Λ 至 底 部 磨 輪 13之 磨 *4» m 固 持 器 1 4之 底 部 表 面 0 當 自 該 選 定 的 1 \ 壓 力 調 節 器 54排 出 液 體 壓 力 改 時 j 可 K 調 整 底 部 磨 1 I 輪 1 3的 傾 斜 度 角 度 〇 因 此 該 底 部 磨 輪 1 3可 被 調 整 為 實 質 1 1 上 平 行 於 該 頂 部 磨 輪 28 ) 因 而 If 頂 部 及 底 部 磨 輪 28與 13 1 i 1 可 Μ 準 確 的 R 平 行 的 切 削 該 工 件 21 之 頂 部 與 底 部 表 面 0 1 1 於 下 將 說 明 本 發 明 之 具 體 例 的 變 化 Q 1 1 前 逑 之 具 .HtWI 體 Μ 可 Μ 下 述 方 式 安 排 1 即 為 該 供 應 管 通 1 1 I 路 37連 接 至 該 底 部 液 體 靜 力 止 推 軸 承 27 » Μ 烘 應 於 預 定 壓 1 1 力 下 之 液 體 0 此 外 % 該 壓 力 調 節 器 38可 連 接 至 該 頂 部 液 體 i ! 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規栝（2:0X297公犛） 28 434100 A7 137 經濟部中央標準局員工消費合作社印" 五、發明説明（ 2Η) ! 1 靜 力 止 推 軸 承 26 S 以 使 調 節 該 必 須 被 供 應 至 該 供 應 Π 26 a 1 1 I 之 液 體 的 壓 力 ύ 1 1 前 述 具 體 例 之 另 可 應 用 的 變 化 中 其 中 該 壓 力 調 節 # 先 1 1 μ | 器3 8係連接至每 一 頂 部 與 底 部 液 體 靜 力 止 推軸承26與27 > 讀 背 | I 以 個 別 的 調 節 該 必 須 被 供 應 至 該 供 應 0 26 a與2 7 a的 液 體 之 ! 意 1 I 壓 力 0 事 1 項 再 前 述 具 體 例 之 —k 種 可 應 用 的 變 化 中 其 中 用 >1 調 節 該 填 1 寫 本 裝 必 須 被 供 應 至 該 疲 體 靜 力 止推軸承Μ與27之液體的壓力 之 頁 1 I m 構 可 使 用 如 示 於 圖 5至圖7中 之 具 有 旋 轉調整桿5 8的壓 1 1 力 調 節 器 54 來 取 代 如 示 於 圖 2與圖3中 之 具 有 可 滑 動 調 整 1 1 桿4 3的壓力 整 閥 38 〇 i IT 前 述 具 體 例 之 一 種 可 □fig 膨 用 的 變 化 中 其 中 可 使 用 一 操 1 I 作 手 柄 或 一 操 作 鈕 來 連 接 至 供 該 磨 Φη Tl'JI 進 給 單 位 用 的 該 滾 珠 j 1 1 m 訂 46 Μ 取 代 該 壓 力 調 節 器3 8的調節 馬 達 45 Μ 使 可 經 1 1 由 手 動 的 操 作 該 操 作 手 柄 或 操 作 紐 來杉功該調整桿43 〇 1 ，衣 前 述 之 具 體 例 可 Μ 下 述 方 式 安 排 即 為 使 用 一 操 作 1 手 柄 或 — 操 作 紐 連 接 至 該 調 整 桿 58 來 取 代 該 水 平 度 细 整 i I 單 位5 3之壓 力 調節器5 4的 調 整 馬 達 6 1 Μ 使 可 經 由 手 動 的 1 I 操 作 該 操 作 手 柄 或 操 作 紐 來 旋 轉 該 調 整 桿 58 0 1 1 因 為 本 發 明 之 — 態 樣 具 有 前 述 之 结 構 敗 可 獲 致 下 列 之 1 1 效 果 〇 1 I 依 據 本 發 明 之 研 削 裝 置 可 將 該 磨 輪 準 確 的 m 給 至 預 定 1 I 的 研 削 置 0 因 此 t 可 進 行 — 準 確 的 研 削 作 業 0 1 1 | 本 發 明 之 該 一 態 樣 中 具 有 的 结 構 該 壓 力 調 節 機 構 的 蛆 1 1 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規枱（210X 297公勢） 29 434100 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 五、發明説明（ ')* 7) 1 1 流 通 路 之 長 度 係 可 改 變 的 〇 因 此 可 輕 易 的 調 節 該 必 須 被 1 1 I 供 應 至 該 液 體 靜 力 止 推 軸 承 之 供 應 部 份 的 液 體 之 壓 力 〇 其 1 1 I 結 果 該 磨 輪 可 被 準 確 的 進 給 ΰ 請 先 1 1 閱 | 本 發 明 之 第 二 態 樣 所 具 有 之 基 本 结 構 包 含 了 讀 背 I I 一 第 —— 磨 輪 驅 動 單 位 在 垂 直 方 向 中 直 立 的 站 立 該 第 一 I 意 1 I 磨 輪 ΤΤΠ1 驅 動 單 位 具 有 可 轉 動 的 第 __. 心 軸 及 供 可 轉 動 的 支 撐 事 1 4 1 該 第 —- 心 軸 之 第 一 外 罩 填 I 第 寫 $ 裝 被 維 持 在 該 —* 心 軸 之 —1 末 端 的 第 — 磨 輪 頁 1 供 在 垂 直 方 向 中 移 動 該 第 一 外 罩 的 第 一 進 給 im m 構 該 第 1 I 一 進 給 機 稱 具 有 將 轉 動 移 動 轉 換 成 為 線 性 移 動 的 一 種 m 構 1 1 t 及 1 訂 供 可 移 動 的 支 撐 該 第 一 外 罩 之 第 一 液 ΒΜ 體 靜 力 徑 向 軸 承 0 1 1 除 了 此 一 結 構 之 外 於 後 說 明 之 第 二 具 體 例 中 亦 可 選 1 1 I 擇 的 提 供 第 二 進 給 m 構 該 第 二 進 給 ijsik Μ 構 可 準 確 的 進 給 該 1 1 磨 輪 以 使 更 準 確 的 研 削 該 工 件 0 1 來 進 一 步 的 在 本 發 明 之 第 二 態 樣 的 结 構 中 該 第 一 與 第 1 [ 二 進 給 W 構 之 铀 向 線 » 較 佳 的 互 相 成 列 對 準 » Η 使 更 準 確 ! I 的 研 削 該 工 件 0 1 I 1 必 須 注 意 到 依 據 本 發 明 之 第 二 態 m 的 前 述 结 構 之 基 本 概 1 1 念 » 可 應 用 在 單 頭 型 式 研 磨 裝 置 與 雙 頭噔式研 磨 裝 置 二 者 中 C' 1 1 依 據 本 發 明 之 第 二 態 樣 的 第 二 具 體 例 之 結 構 中 具 有 可 1 | 選 擇 的 提 供 該 頂 部 磨 輪 驅 動 a 位 用 的 第 二 進 給 機 構 將 於 1 I 下 詳 述 0 如 示 於 圖 12及 13 中 經 由 固 定 桌 台 Η)3至- -底 1 1 I 座 1 0 2的頂部表面 Π Ώ形成- -框架1 0 1 0 在 該 底 座 102輿該 1 1 -3 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現輅（210 X 297公犛） 經濟部中央標隼局員工消资合作社印製 434 1 〇〇 A7 137 五、發明説明（:2b) 桌台103的每一頂部板104與105之中央部份，肜成一開敗 部份。該桌台1 0 3之頂部板1 0 5，係由多數的壁或柱（P 〇 U ) 組成之一固持器106所支撐《此外，該底座102之頂部板 104與該桌台103之頂部板105，係被製成實質上為互相平 行的。 一頂部磨輪驅動單位1 0 7被提供給該桌台1 0 3之頂部板 I 0 5。此外，一底部磨輪驅動單位1 0 8被提供給該底座1 0 2 之頂部板104。相對應於頂部及底部磨輪驅動單位107與 108而放置的心軸109與110，均互相同軸的放置成列。一 頂部磨輪U被装配在置於該頂部心軸109之底部末端的一頂 部磨輪固持器111之底部表面，且，一底部磨輪L被裝配在 置於該底部心軸Η 0之頂部末端的一底部磨輪固持器11 2之 頂部表面。此外，一工件支撐單位Η3被置於該頂部與底 部磨輪I)與L之間。 如示於圖1 4，提供給該桌台1 0 3的頂部磨輪驅動輩位1 0 7 ，具有一圓筒形頂部外罩115被置於固定至該桌台103的一 圓筒形頂部導件1 1 4内，該外罩11 5可由該第一進給機構 II 6垂直的移動。該頂部心軸1 0 9被置於該頂部外罩Π 5内 ，該心軸109由第一馬達1丨7所轉動且可由第二進給機構 1 1 8垂t杓移動。此外•如示於圖1 5，該頂部外罩1 1 5係由相 關於該頂部尋件114的第一液體靜力徑向軸承119所支撐。 該用以轉動該頂部心軸1 0 9之第一馬達1 1 7，係被置於頂 部外罩1 1 5内的内裝（b u i 1 t丨η丨型式馬達。該第一禺達1 1 7 的一定子固定至該頂部外罩Π 5的内部表面，而其轉子則 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) ΛΜ見格（210X 297公釐） 。， -----：--Ί ii.装-- {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -1· 4 3 4 10 0 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7五、發明説明) 固定至該頂部心軸1 0 9的外部表面。因為每一頂部外罩11 5 與頂部心軸1 0 9具有一圓形横剖面，該第一馬達η 7與頂部 心軸1 0 9的軸線，係為互相成列的對準。 該第一進給機構η 6係供將該馬達的轉動，轉換成為在 垂直方向上線性注復蓮動的一種機構。如示於圖14，一第 二馬達1 2 1係固定至覆蓋該頂部導件1 1 4的一頂部末端開口 之頭部外蓋1 2 0，Μ此方式，該第二馬達1 2 1之軸線係與該 頂部心軸之軸線成列的對準。經由一聯结件124，第一滾 珠螺釘123連接至該第二馬達121的一輸出軸122。另一方 面，一第一螺帽部份1 2 6被提供給一頂部外蓋1 2 5，且固定 Μ覆蓋該頂部外罩11 5的頂部開口。該第一滾珠螺釘1 2 3係 螺紋的结合與裝配在該第一螺帽部份1 2 6上。當第二馬達 121被轉動，該頂部外罩115經由第一液體靜力徑向軸承 119a與119b，而垂直的移動於頂部導件114中，且該頂部 外罩115係由第一疲體靜力徑向軸承119a與119b的支撐。 如示於圖14，該第一液體靜力徑向軸承119a與119b t系於 垂直方向互相的分離。 以該頂部外罩U 5由第一液體靜力徑向軸承1 1 9 a與1 1 9 b 可轉動的支撐之结構，其可能經由該液體K不接觸的方式 支撐該頂部外罩1 1 5，因此，在頂部外罩1 1 5與圓筒形頂部 導件1 1 4之間，不存在摩擦阻力。此外，可增加支撐該頂 部心軸1 0 9的元件之剛性，因此，該頂部心軸可以次微米 的量而準確的進給。 此外，該頂部外罩1 1 5，該第二馬達1 2 1，該第一滾珠嫘 -3 2 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規桔（210X 297公尨） (請先閲讀背面之注意事項再填艿本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 434100 AT 137五、發明説明（:丨η) 訂123，一聯结件124與該第一螺帽部份126*均互相為同 軸的提供，而更進一步的增加支撐該頂部心軸1 0 9之元件 的剛性，因此，該頂部心軸可更準確的進給。 如示於圖1 4 ·該第二進給機構1 1 8具有的結構，係該第 二液體靜力徑向軸承127被置於在頂部外罩115内之第一馬 達11 7的上方及下方，Μ旋轉的支撐該頂部心軸1 0 9。'此外 ，在高於該頂部磨輪固持器11 1的位置處，一凸緣128被提 供在該頂部心軸109的底部部份。該凸緣128之外部部份， 係由該詨體靜力止推軸承1 2 9 a與1 2 9 b，在垂直方向的頂部 與底部位置所支撐。一液體泵1 3 0 (特別是一液壓泵）經由 該壓力調節器1 3 1 a與1 3 1 b，供應加壓疲體至該液體靜力止 推軸承1 2 9 a與1 2 9 b及該第二液體靜力徑向軸承1 2 7。當該 壓力調舒器1 31a與131b進行調整作業時，其反壓已改變。該 壓力之差係被使用Μ在垂直方向上正確的移動該頂部心軸 109 =該第二液體靜力徑向軸承127與液體靜力止推軸承 1 2 9 a與1 2 9 b，係被置於該頂部心軸1 0 9的外惻。且其軸線 係與該頂部心铀1 〇 g之蚰線為成列對準的。 第三與第四馬達1 3 2與1 3 3 |係装配在具有頂部磨輪驅動 單位107的桌台103上，以此方式，該第三與第四馬達132 與1 3 3的輸出軸係均為面向下方的，此外，該第三與第四 馬達1 3 2與1 3 3均被置於該頂部導件1 1 4的直徑線上，以使 被互相相對的放置。當實施該磨輪的修整時，該第三馬達 1 3 2被使用Μ轉動具有一修整器D的一臂1 3 4。該第四馬達 1 3 3轉動具有感測器S的一臂U 5 |以偵測該磨輪之磨損= 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公犮） -3 3 - (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 434100
AT 137 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明 1 1 | 如 示 於 圖6，該 底 部 磨 輪驅動單 位10 8具 有一鞍 台 1 37， 1 1 1 該 ΨΚ 台 1 3 7可沿著 供 該 底 座102的頂部板104用之軌條136， '—、 1 I 可 滑 動 的 移動。該鞍台U7具有1¾ 下延伸之一底部導件138 請 先 閱 ί [ 〇 該 底 部 外罩1 3 9係 被 置 於底部導 件138中 > Μ此 方式，該 讀 背 1 1 I 底 部 外 罩 1 39可垂 直 的 移 動。此外 ，該底部心軸1 1 0係旋轉 之 注 1 Ί 意 I 的 置 於 底 部外罩1 3 9 内 0 該底部磨 輪固持器1 1 2係 被置於突 事 項 1 再 1 \ 出 超 底部心軸1 10 之 底部外罩 139 的一 頂部末 端處。此 填 j 裝 寫 本 外 該 底 部磨輪L偁 被 固 定在底部 磨輪固持器112 的頂部表 頁 1 I 面 ΰ 當 調 整該鞍台1 3 7的 位置時， 該底部心軸11 0的蚰線被 1 1 I 形 成 與 該 頂部心軸109的 軸線為一 致的，且然後進行研削 1 1 作 業 〇 1 訂 該 鞍 台 1 3 7係經 由 將 提 供給該鞍 台137的 第二螺 帽部份 1 I 142 |结合由第五 馬 達 1 4 0所轉動之第二滾 珠螺訂 1 4 1的結 1 I 構 而 可 滑 動的移動 該第五馬達1 40係固定至該底座1 0 2的 1 1 J 頂 部 板 1 0 4。當第 五 馬 達 140轉動 該鞍台 1 3 7沿著該軌條 1 ί 1 36而可滑動的移 動 Cf 該 軌條i 3 6具有一導 引結構 (未示於 I ί 圖 ) ，以此方式， 該 軌 條 136之一形成為一 V形槽 且其他 I 1 的 軌 絛 1 36具有平 坦 之 形 態。當研 削作業進行時 該鞍台 1 I 1 3 7通常被可滑動 的 移 動 至被放置 在該底座1 0 2的 中央部份 l 1 I 0 例 如 ， 當進行修整裝配在頂部磨輪驅動 簞位107上之頂 1 1 部 磨 輪 τΓίΠ U時，該鞍 台 1 3 7自中央部份縮回， Μ使允 許進行該 1 1 修 整 作 業 0 1 1 該 底 部 外罩13 g \% 结 合 在底部専 件138中 ，以此 方式•該 1 I 底 部 外 罩 139可由 安 排 類 1W於頂部 磨輪驅動單位1 0 7的一機 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現枋（210X 297公楚） -34 - 434 彳 〇〇 A7 B7 __ 五、發明説明（32) 構所垂直的移動。如示圖1 5與1 6，該底部外罩1 3 9係由相 關於該底部導件138的第三液體靜力徑向軸承143a與143b 所支撐。 如示於圖16，該第三液體靜力徑向軸承143a與143b，係 在垂直方向上互相的分離。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印家 進一步的*如示於圖1 4，該第二進給機搆1 1 8具有的结 構’係該第二液體靜力徑向軸承127被置於在頂部外罩115 内之第一馬達117的上方及下方，以旋轉的支撐該頂部心 軸1 0 9。此外，在高於該頂部磨輪固持器π 1的位置處，一 凸緣1 2 8被提供在該頂部心軸.1 〇 9的底部部份。該凸緣1 2 8 之外部部份，係由該液體靜力止推軸承1 2 9 a與1 2 9 b，在垂 直方向的頂部與底部位置所支撐。一液體泵1 3 0 (特別是一 液壓泵）經由該壓力調節器131a與131b，供應加壓疲體至 該疲體靜力止推軸承1 2 9 a與1 2 9 b及該第二液體靜力徑向軸 承127。當該壓力調節器131a與131b進行調整作業時，其 反壓已改麥。該壓力之差係被使用以在垂直方昀上正確的 移動該頂部心軸1 0 9。該第二液體靜力徑向軸承1 2 7與液體 靜力止推釉承1 2 £1 a與1 2 9 b，係被置於該頂部心軸1 〇 9之外 側。且其軸線係與該頂部心軸1 〇 9之軸線為成列對準的。 該底部外罩1 3 9係由一第一底部進給機構1 4 4，而相關於 該底部導件138垂直的移動。在通常的情況中，支撐一工 件W的第一底部進給機構1 4 4，在該工件y必須被支撐的位 置處，装配在該工件支撐單位Π 3上。當該工件W的反向側 邊被研削時，該底部磨輪L向上移動以進行研削。當進行 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4坭枯（210X 297公处） -------- - t ----- —. .......I- — ----,11^ (请先閱讀背面之注意事項再填窩本頁) 〜3 5 ~ 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印^ 434100 A7 B7 五、發明説明（ϋ) 修整時，該底部磨輪L被向下移動至低於一般高度的位置 。該第一底部進給機構1 4 4具有短的行程，且具有於切削 作業進行中不會垂直移動該底部磨輪L的结構。 如示於圖16，該第一底部進給機構1 4 4被安排之结構，以 此方式*第三螺帽部份1 4 5係被形成突出超過該底部外罩 1 3 9的外部表面。此外*第三滾珠螺釘1 4 7螺紋的结合該第 三螺帽部份145，且由固定至該底部導件138之側邊部份的 一第六馬達146所轉動。當第六馬達146被轉動|可垂直的 移動該底部外罩1 3 9。 如前述安排之结構*以此方式，該第一底部進給機構 1 44之軸向線，係被形成茛質上與底部心軸11 0的軸線平行 。依據本發明之结構並不侷限於此。該頂部磨輪驅動單位 107之第一進給機構116的結構，可具有一倒置结構（未示 於圖），因此*該第一底部進給機構144的軸向線，係與該 底部心軸11 0的軸向線為一致的。 進一步的，如示於圖16，提供了質質上與頂部磨輪驅動 單位1 0 7的進給機構相同之一底部第二進給機構3 0 0。即為 ，自該底部心軸1 1 0徑向擴展之一凸緣*在低於該頂部磨 輪固持器11 1的位置處，被提供在該底部心軸1 1 0的頂部部 份。該凸緣7 0 0的外部部份係由液體靜力止推軸承3 0 0a與 300b所支撐，該軸承300a與300b在垂直方向中自頂部與底 部位置固持該前述之外部部份。一液體泵5 0 0 (特別是一液 壓泵）經由該壓力調節器4 0 0 a與4 0 0 b，供應加壓液體至該 液體靜力止推軸承3 0 0 a及第二液體靜力止推軸承3 0 0 b。當 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規枱（2!0X 297公势） ，，,、 -----1--— ，-裝------1訂------·λ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 137 _4341〇〇 A7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（:丨1) 該壓力調節器400a與400b進行調整作業時，其反壓已改變 。該壓力之差偽被使用Μ在垂直方向上正確的移動該底部 心軸110。該第二疲體靜力止推铀承300a與300b及該液體 靜力徑间軸承6 0 0 a與6 0 0 b，係被置於該底部心軸1 1 0之外 側以支擋該底部心軸11 0。且其軸線係與該底部心軸1 ί 0之 軸線為成列對準的。 當研削作業進行時，結合在該底部外罩1 3 9之内側部份 中的底部心铀1 1 0，經由內裝形式的第七馬達1 48Κ高速率 轉動。類IU於該頂部磨輪驅動單位1 0 7，該內裝形式的第 t馬達148，具有固定至該底部外罩139的內部表面之一定 子，及固定至該底部心軸1 1 0之外部表面的一轉子。因此 ，該第七馬達1 4 8的軸向線，係與該底部心軸1 1 〇的軸向線 為成列對準的，即為，該第七馬達1 4 8係與該底部心軸Π 0 為同軸的放置。 該工件支撐單位113被置於該底座102的頂部板104之上 方，且該工件支撐單位11 3係被置於高於安裝在底部心軸 Π 0上之該底部磨輪L。如示於圖1 6至1 8，該工件支撐單位 Π 3具有之结構中，一固定桌台1 4 9被置於該底座1 0 2之頂 部板1 0 4上。此外，一水平導件1 5 0被固定在該固定桌台 149的上方，因此，該導件150係實質上的平行於該固定臬 台149，且Μ —預定距離自該固定桌台U9分離®如示於圖 1 7 · —滑動桌台1 5丨像由第四滾珠螺訂1 5 3所移動，其中| 該滑動桌台1 51係Μ相同於烘支撐該底部磨輪驅動眾位1 〇 8 的鞍台1 3 7所滑動的移動方向之方向，而可滑動的移動在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ 297公犮） _ 。， (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4341〇〇 A 7 B7 五、發明説明（:_G) 該水平導件1 5 0之頂部表面上，且該第四滾珠螺釘1 5 3慑由 固定至該固定桌台1 4 9之第八馬達1 5 1所轉動。必須注意該 滑動桌台151係形成為一樞架形態，且具有肜成在一矩形 板內的圓形開口。 多數的每一均具有V形槽的導引滾輪1 5 4 *係Μ相同間隔 而以該圖形開口之切線方向*環繞在滑勃表台1 5 1之圓形開 口的邊緣而放置。該導引滾輪i54旋轉的支撐一圓形形態 之旋轉框架155。如示於圖18，一從動齒輪156形成在該旋 轉框架155的外部表面上。一被提供給滑動桌台151之第九 馬達157之軸的主要驅動齒輪158*結合該從動齒輪156， 以使當開始該第九馬達157的轉動時，轉動該從動齒輪 156。此外* 一支撐板159被固定至該旋轉框架155的底部 表面*以此方式，該旋轉樞架1 5 5的内部空間被覆蓋。該 支撐板1 5 9，係由具有小於該工件y之厚度的一板所形成。 該支撐扳1 5 9係於一張力之下*被安排在水平的向外方向 中*因此，可防止由於載重量所導致的該支撐板159之變 形與撓曲。此外，形成供可脫離的將該工件設定於該支撐 經濟部中央標隼局負工消f合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填鸿本頁) 板159之中央部份的一設定孔160。在該設定孔160之內部 末端*形成一突起形式的结合部份161，Μ使傳送該轉動 力至該工件W。另一方面，該工件W具有所謂的一”凹口”之 凹處形式的结合部份Η，被安排與該結合部份1 6 1结合。該 工件W自一頂部位置而被接收在設定孔1 6 0内，以使被置於 裝配在底部心軸Π 0的底部磨輪L上。該工件W有時具有所 謂的”定向凸緣”之一切口部份（未示於圖）。而且，於此情 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) Λ4規枋（210X297公势) 一 ό 8 一 434ί〇〇 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 五、發明説明 ( ；ϊί ;) 1 1 況 中 供 傳 送 該 旋 轉 力 至 該 工 泮y的機構 •係類iW於當應 1 1 I 用 被 提 供 的 凹 P 時 之 傳 送 構 〇 1 t f 當 該 X 件 W被設定 |且該第九馬達157轉 動時，該旋轉框 請 龙 ΑΆ 1 1 架 1 5 5因而由該主要驅動與從動齒輪1 53與 156所轉動。因 Π£] 讀 背 1 1 1¾ I 此 r 被 設 定 在 供 旋 轉 框 架 1 5 5的支持板1 5 S 之設定孔160內 之 注 I 意 1 I 的 I 件 y 同步的與該旋轉框架155之 旋轉 而轉動。 事 項 1 如 前 所 述 B 成 了 該 结 構 ύ 該工件 W被設定£該底部磨輪B 再 填 \ 3 * t 且 m 後 該 第 二 馬 達 1 2 1轉動 因此 ，該頂部外罩1 1 5向下 寫 本 頁 装 1 且 快 速 的 移 動 0 當 頂 部 磨 輪 ϋ已接近該工件W的頂部表面， 1 1 該 均 為 内 装 形 式 馬 達 之 第 一 及 第七馬 達1 17與148被轉動， 1 1 >1 轉 動 該 頂 部 與 底 部 心 軸 109與 1 10 0 因此 ，該頂部外罩 1 訂 1 I 115的向下移動速率被相當的減速，因此 可進行一合適 的 研 削 作 業 0 1 1 以 至 目 前 為 止 的 作 業 因 為 當該頂 部外 罩11 5與頂部専 i ! 件 11 4分離之後 由第- -液體靜力：ii向軸承119a與119b所 ί j 旋 轉 的 支 撐 故 可 以 次 微 米 的 量來準 確的 研削該工泮。 1 但 是 如 果 需 要 更 精 確 的 研 削該工 件， 該第一進給機構 1 I 11 6的第二馬達1 21 之 轉 動 被 中 斷。此 外， 施加至該疲體靜 1 I 1 力 止 推 軸 承 129a 與 1 2 9 b 的 底 部 液體靜 力止 推軸承1 2 9 a之凸 1 1 緣 的 反 壓 被 適 度 的 減 少 0 因 此，該 頂部 磨輪U係以次徽 1 1 米 單 位 而 向 下 移 動 0 前 述 向 下移動 的结 果|可進行極佳 1 I 的 正 確 卞 完 工 精 製 〇 1 1 I 提 供 給 該 底 部 磨 輪 驅 動 單 位 1 0 S之第二底部進給機構的 ! 1 結 構 \h 被 安 排 成 為 類 於 第 二頂部 進給 槠構i 1 8的形態（ 1 1 一 39 — 本紙張尺度適用中國國家栋準（CNS ) Λ4現杉（2IOX 297公釐） 434100 明説 明發 '五 中 圖 於 示 未 件 工 置 倒 下 3 上11 被位 構單 结撐 該支 ， 件 是 Η 但 該 。 至 丨定 設 被 亥 1=·° 況 情 此 <、/ 方 後 然 且 輪 磨 部 頂 該
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myJ 輪 磨 部 底 與 部 頂 在 10持 位維 單 被 勖 33 驅 輪 磨 β. S 頂 該 構 機 給 進 1 第 的 件 Η 該 此 因 移 - 的 間 下之 I Β 向 6 與 動 轉 行 進 的 後LI確 然輪準 且磨 , 第 該 由 與 § 底 亥 1-日 fc B· 因底 --二 動第 WO移該 件的作 Η 上操 該向 ， 及且要 ,慢需 緩果 輪 4 如 磨«1, SI5機㊣ 底 Η 然 I 各 與進" β. 支 咅卩 f 頂§研 底 該-Γ該 行 進 可 〇 ’ 態 此狀 因 之 〇 定 業設 作所 削先 研預 的成 確完 準至 該削 行研 進的 - 確 此準 因更 , 或 構製 機精 給 工 進完 部 頂 該 給 供 提 均 進 二 第 興 一 第 該 由 11經 、 可 8 1—- 1 時 、 8 6 ο f-*H r~H il0 構 7 機10 給位 進單 二 動 第驅 與輪 一 磨 第部 當底 與 0 側 二 之 W 件 Η 該 製 精 的 確 準 且 的 時 同 構 機 給 該 單 明種 說 一 係在 ’ 用 中應 明 可 說例 的體 例 具 體 該 具 ， 二 說 第用 之不 明 * 發是 本但 據 〇 依置 之 装 述削 前研 於頭 雙 立 可 直有 中具 向 位 方單 直動 垂驅 在輪 : 磨 了 一 含第 包該 置位 裝 單 削 動 研驅 該輪 。 之 磨 中明 一 置發第 装本之 削據立 研依站 頭 的 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) i裝
、1T 經濟部中央標隼局負工消費合作社印掣 外 直 一 垂 第 在 之 供 軸 .， 心 輪 一 磨 第 一 該第 擋的 支 端 的末 動 一 轉 之 可铀 供 心 及 一 ’ 第 軸該 心 在 一 持 第維 的被 動 丨 轉罩 第構 該機 -1ί- > 構 一 機的 給動 進移 一 性 第線 的為 罩成 外轉 一 勤 第移 該轉 動旋 移 中將 向有 方具 構 機 給 進 移 可 供 增工 M該 可 s； 其研 ’ 的 承 確 軸準 向來 徑 量 力的 靜米 體微 液 次 1 Μ 第且 之 ’ 罩性 夕 0 一 之 第置 該裝 撐削 支研 的 該 勤 加 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規枯（210X297公釐） 40 4341〇〇 A7 B7 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印裝 五、發明説明 ( Ο ,) 1 1 此 外 依 據 本 發 明 之 該 研 削 装 置 具 有 之 结 構 該 種 轉 換 1 1 I (SWITCHING )係於該可實施快速進給操作的第- -進給機構 1 I ， 與 可 進 行 準 確 的 進 給 作 業 Μ 研 削 ^. 工 件 的 第 二 進 給 構 請 先 1 1 之 間 進 行 〇 因 為 該 進 給 m 構 可 適 用 於 快 速 進 給 故 可 選 擇 PiJ 讀 背 1 j ιέ 1 供 粗 撻 切 削 的 進 給 與 準 確 精 製 的 進 給 該 工 件 可 在 m 取 短 的 1 意 1 I 切 削 時 間 中 > 被 精 良 的 準 確 完 工 0 事 1 第 再 1 依 據 本 發 明 之 該 研 削 裝 置 所 具 有 的 結 構 中 該 一 進 給 填 寫 裝 抛 m 構 的 滾 珠 螺 釘 之 軸 向 線 係 與 該 頂 部 及 底 部 心 軸 之 軸 向 頁 、- 1 線 成 列 的 對 準 〇 因 而 該 磨 輪 可 m 定 的 被 進 給 0 1 1 依 據 本 發 明 之 研 削 裝 置 包 含 了 具 有 支 撐 該 心 軸 的 液 體 1 1 靜 力 止 推 軸 承 之 第 二 進 給 機 構 Ο 該 液 jam 體 靜 力 止 推 軸 承 的 反 1 訂 1 I -壓 被 改 變 因 此 該 心 軸 被 垂 直 的 移 動 因 而 該 心 軸 可 平 順 且 準 確 的 移 動 在 垂 直 方 尚 〇 其 結 果 可 進 行 精 良 的 準 1 i ί 確 研 削 1 1 依 據 本 發 明 之 研 削 装 置 的 结 構 所 有 的 該 頂 部 與 底 部 心 1 Λ 軸 r 供 轉 動 該 頂 部 與 底 部 心 軸 的 馬 達 及 第 一 與 第 二 進 給 1 慨 構 的 軸 向 線 均 被 製 成 互 相 的 成 列 對 準 〇 因 而 可 獲 致 ! I 一 具 有 m 械 的 與 熱 的 剛 性 结 構 0 此 外 經 由 第 一 與 第 二 進 1 1 給 m 構 » 可 獲 致 準 確 的 所 需 要 之 進 給 數 量 0 其 ir士 ,*rtU 果 一 3；舛 1 1 可 Μ 被 可 靠 的 精 製 至 具 有 所 需 之 厚 度 0 1 1 進 _ 步 的 * 依 據 本 發 明 之 研 削 方 法 可 Μ 經 由 W 微 细 數 1 1 量 進 給 該 磨 m 而 可 Μ 準 確 的 研 削 該 一 工 件 〇 1 I 雖 然 已 以 較 佳 具 體 例 之 方 式 說 明 本 發 明 f 習 於 本 技 藝 者 1 1 1 可 清 楚 的 了 解 » 在 不 離 本 發 明 的 情 況 下 可 kk 製 成 多 種 的 改 I 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0X 297公f ) 434 彳 00 Λ7 B7五、發明説明) 良與變化I因而 > 後列之申請專利範圍，係含蓋了所有於 本發明之真實精神與範疇之內的所有該種改良與變化。 元件編號之說明 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印" D 修 整 器 Η 结 合 部 汾 L 第 二 磨 輪 τπυ S 感 測 器 U 第 一 磨 击Λ TO V 工 件 1 1 底 部 心 軸 頭 12 底 部 心 軸 13 底 部 磨 輪 14 磨 輪 固 持 器 15 變 動 馬 達 16 滑 輪 17 皮 帶 18 滑 輪 19 工 件 固 持 器 20 孔 21 工 件 22 頂 部 心 軸 頭 23 頂 部 心 軸 23a 凸 緣 部 份 24,25 液 體 靜 力 徑向軸承 > ^~ "s° (請先間讀背面之注意事項再填转本頁) 本紙張尺度適用中國國家標潭-(〇\5)点4規枋（210'乂 297公蝥） -4 2 - 434100 A7 R7 五、發明説明（U)) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 24a ,25a 供 應 Ρ 26 , 27 液 體 靜 力 止 推軸承 26a ,27a 供 βΒϊ 愿 Ρ 28 頂 部 磨 輪 29 磨 輪 固 持 器 30 磨 輪 調 整 馬 達 31 滑 輪 32 皮 帶 33 滑 輪 34 磨 進 給 馬 達 35 滾 珠 螺 38 液 體 靜 力 泵 37 供 應 管 通 路 38 壓 力 調 節 器 39 供 懕 管 通 路 40 外 罩 41 液 體 入 □ 42 液 體 出 □ 43 調 整 捍 43a 小 直 徑 部 份 43b 大 直 徑 部 份 44 姐 流 通 路 45 調 節 禺 達 46 滾 珠 螺 訂 I I ^ -"衣 訂 -—-^ (請先Η讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規插（210X2W公免） -43 - 434100 A7 B7 五、發明説明（4 i ) 經濟部中央標嗥局負工消费合作社印衆 47 軸 承 搆 件 48 聯 结 器 49 螺 帽 50 接 合 板 5 1 編 碼 器 52 外 蓋 53 水 平 度 調 整 單位 54 壓 力 調 節 器 55 外 罩 56 液 體 人 α 57 液 WBB 體 出 □ 58 調 整 桿 59 液 體 通 路 60 阻 流 通 路 6 1 調 整 馬 達 62 托 架 63 聯 结 件 64 編 碼 器 70 閥 90 頂 部 切 削 馬 達 9 1 底 部 切 削 馬 達 101 框 架 102 底 座 103 桌 台 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -Φ ^ 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規柊（210X 297公梦_ ) -4 4 一 4341〇〇 A7 B7 五、發明説明（1:2) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 104,105 頂 部 板 106 固 持 器 107 頂 部 磨 輪 驅 動 單 位 108 底 部 磨 輪 Trt| 驅 動 單 位 109 頂 部 心 軸 110 底 部 心 軸 111 頂 部 磨 輪 Tfn| 固 持 器 113 工 件 支 撑 單 位 114 導 件 115 外 罩 116 進 給 機 構 117 第 一 馬 達 118 第 二 進 給 機 構 119 液 體 靜 力 徑 向 軸 承 1 19a , 119b 液 體 靜 力 徑 商 軸 承 120 頭 部 外 蓋 121 第 二 馬 達 122 輪 出 袖 123 第 一 滾 珠 螺 訂 124 聯 结 件 125 頂 部 外 蓋 126 第 一 螺 帽 部 份 127 第 二 液 體 靜 力 徑 向軸承 128 凸 緣 ^ ΙΊ V /爹 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X29?公釐） 45 434100 A7 B7 五、發明説明（U ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 129a ,129b 液 體 靜 力 止 推 軸 承 130 液 體 泵 13 1a ,131b 壓 力 調 節 器 132 第 三 馬 達 133 第 四 馬 達 134, 135 臂 136 軌 條 137 殺 台 138 底 部 導 件 139 底 部 外 罩 140 第 五 馬 達 141 第 二 滾 珠 螺 釘 142 第 二 螺 帽 部 份 143a ,143b 第 三 液 體 靜 力 徑 1¾軸承 144 第 一 底 部 進 給 機 構 145 第 螺 帽 部 份 146 第 六 馬 達 147 第 滾 珠 螺 釘 148 第 七 馬 達 149 固 定 桌 台 150 水 平 導 件 151 滑 動 桌 台 152 第 八 馬 達 153 第 四 滾 珠 螺 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公f ) -46 - ί、4341〇〇 Λ7 Β7 五、發明説明（H) 154 導 引 滾 輪 155 旋 轉 框 架 156 從 動 齒 輪 7ΤΠ* 157 第 九 馬 達 158 驅 動 齒 輪 159 支 撐 板 160 設 定 孔 16 1 结 合 部 份 300 底 部 第 二 進 給 機 構 300a , ,300b 液 體 靜 力 止 推 軸 承 4 0 0a, ,400b 壓 力 調 節 器 500 液 體 泵 6 0 0a ,600b 液 體 靜 力 徑 向 軸 承 n^i ^^^^1 ^^^^1 —^^J· I— n^^i ' s ^ρϋ * ---丨 ^^^^1 ^^^^1 ^^^^1 —.， (請先閱讀背面之注意事項再填蹲本頁) 經濟部中夾標準局員工消費合作社印繁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規枱（2I0X297公f ) 47