TW426541B - Method and apparatus for generating controlled mixture of organic vapor and inert gas - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 426541 A7 _B7_ 五、發明說明（） 發明領域 本發明係關於一種產生有機蒸氣（例如：四乙基正矽 酸鹽（TEO S )蒸氣）和惰性氣體（例如：氦）之混合物的.改良 方法與設備，此混合物之蒸氣對氣體比係經過精密控制， 例如：根據半導體製造極均句之絕緣沈積層（例如：Si02) 之需要。 發明背景 在製造半導體裝置時，例如：積體電路、記憶體等半 導體晶片時（例如：單一矽晶薄片），均係連續經過許多 道製程（技藝上已知的）。此類一道或多道步驟，包括將 晶片與具反應性的氣體混合物接觸以便在晶片之曝露面 沈積上一層絕緣層，例如：二氧化砂（S丨0 2)。具反應性的 氣體包括，例如：於惰性氣體（例如：氦）内含有臭氧及 有機液體之蒸氣（例如：四乙基正矽酸鹽（TEOS))。由於 臭氧及有機蒸氣（例如：T E 0 S) —旦混合後會開始迅速反 應，因而其係分別被安排在待沈積絕緣層之晶片附近， 然後再予以混合。混合的氣體其後便立即以均勻的反應 性氣體煙霧或分散液流向晶片並遍佈於其上藉以沈積上 一層絕緣層。 為求能在給定的時段内迅速地在晶片上沈積均勻的絕 緣層，每標準測量單位之TEO S蒸氣及氦（例如）混合物内 宜含有充足且精確控制量之TE◦ S蒸氣。基於此點，須 在略高之溫度下產生TEOS氣體-氦混合物（例如：略高於 -第3頁- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

----— ！ I 訂-----I i I I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 ? 6·5 4 1 Α7 _Β7__ 五、發明說明（） 約65 °C )以免混合物中之TEOS蒸氣凝結成液體而降低了 所需達成之蒸氣對氦比例。 先前技藝中產生有機蒸氣-惰性氣體混合物（例如： TEO S蒸氣及氦）的微型組件一般稍嫌龐大，且其運轉溫 度較高。由於空間上的限制及為了減少熱堆積，一般係 將此種微型组件置於離晶片製造室之外較方便的距離（例 如：數英呎）。然後微型組件送出的氣體混合物即經由適 當的裝置輸送到晶片室。 過去曾採用各種不同方法產生供半導體製造使用之有 機蒸氣-惰性氣體混合物。第一種方法是將惰性氣體吹入 有機液體（例如：TEOS)容器。在輸出混合物中蒸氣對氣 體之比例係由測量蒸氣及氣體輸出混合物中有機蒸氣之 數量控制。不過此種蒸氣測量方法之精確度並不盡理想， 並且由於未能將容器内之液體數量控制在設定量，因而 使得產生此種蒸氣-氣體混合物之設備體積亦相當龐大。 因此，必須提供超額數量的液體（須使用較大容器）來涵 蓋運轉時液體數量之變異。 第二種廣受採用之產生有機蒸氣-惰性氣體混合物的 方法則是在較高溫度（例如：1 200)下透過注射針頭部將 有機液體喷霧注入惰性氣體液流中。此系統效果頗佳， 不過卻有幾項缺點。注射針頭易於阻塞，以致於須將設 備暫時停機維修。此外，有機蒸氣會引起注射針頭磨損 以致於必須經常替換（例如：约略每六個月）。因此有必 要另外尋求一種產生有機蒸氣和惰性氣體混合物之方法 -第4頁- 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --— — —— — — ΙΓΙ— - I I I I I I I - — — — — Ilf < (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 426541 A7 B7 五、發明說明（） 以便能連續而精確的控制混合物中之蒸氣數量，同時又 免去舊設備成本上的問題。 發明概述 依據本發明特色之一是提供一種極有效產生有機蒸氣 -惰性氣體混合物（例如：T E 0 S蒸氣-氦）的方法，其能便 能連續而精確的控制混合物中蒸氣對氣體之比例。此方 法可確保在半導體製程的給定時段内沈積上一層具有預 定均勾厚度之絕緣層。若混合物中蒸氣對氣體之比例有 差異便會在給定的時段内產生不同厚度之沈積絕緣層' 此種自然是不欲見的結果。 本發明之方法包括在相當小的室（口語上稱之為"吹室"） 内裝上有機液體，例如：TEOS，此室是充滿著預定或設 定的數量，其後並維持在此水準。液體係維持在略高於 室溫而所欲求之溫度下（例如：7 5 °C )。將惰性氣體（例如： 氦）以既定的速度吹入室内液體中*而其所產生的蒸氣-氣體混合物則連續排出室外。室内液體的數量或水平則 由控制進入室内之氣流及連續監測液流速自動維持在設 定值。 各股進入吹室之惰性氣流及有機液流均由電子電路利 用電腦輸入訊息送出之數值信號及各氣流及液流送出之 信號控制，這些均極為精密。此類控制電路與各信號均 係以迥饋設計互相連接，如此一來便可確使自吹室流出 的混合物其有機蒸氣對惰性氣體之比例維持在極精確的 •第5頁- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

_ I I ί I I I 訂 --------I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 426541 A7 _B7_ 五、發明說明（) 範圍内。亦即在單位時間内由蒸氣及氣體混合物傳送給 半導體製造台的有機蒸氣量係經過極準確的控制。 依據本發明之其他特色尚提供一種方法可精確的控制 混合物中液體蒸氣對氣體之比例。此方法包括步驟：液 體流入室内：氣體進入吹室並吹入液體中；測定室内液 體之揮發速度是否符合所欲求之變異；產生依據液體之 揮發速度變異迥饋信；依據迥饋信號調整進入吹室之氣 體流速以便液體之揮發速度維持在所欲求之範圍；及將 蒸氣及氣體的混合物排出室外以便控制混合物中之蒸氣 數量。 依據本發明之其他特色尚提供產生液體蒸氣及氣體混 合物之設備以便精確的控制蒸氣對氣體之比例。此設備 包括：外殼，以界定内含待蒸發液體之室；液體源，將 液體以預定速度輸送到室内；氣體源，將氣體輸送進入 吹室以蒸發室内液體；排氣裝置，將蒸氣及氣體混合物 排出室外；及控制電路。控制電路操控著氣體供應並根 據其室内液流是否增加或減少（相較於其預定速度）而自 進入吹室之液流發出迴饋信號，週饋信號漸次地調整進 入吹室之氣流，而使排出室外的蒸氣及氣體混合物維持 在預定之蒸氣對氣體比例。亦即蒸氣及氣體混合物在單 位時間内傳送之有機蒸氣數量係由半導體製造台精密控 制。 為求更徹底了解本發明，將由圖形協同下列詳細說明 及申請專利範圍予以解說。 -第6頁- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

--------訂·!----線 I 4265^1 A7 B7_五、發明說明（） 圖示簡單說明 第1圖是依據本發明供產生精確受控之有機蒸氣及惰 性氣體混合物（例如：供半導體製造使用）之設備的透視 圖，其中部份未予顯示；而 第2圖則以方塊流程圖顯示包括控制電路之第1圖的 設備，並展示其自動將蒸氣對氣體比例維持在設定之精 密範圍内產生蒸氣-氣體混合物的運作方式。 圖號對照說明 沒濟部智慧財產局員工消費合作社印製 設備 10 外殼 12 吹室 14 液體輸入管 16 惰性氣體輸入管 18 蒸氣及氣體輸出管 20 輸出管（36) 20 液體輸入控制螺線閥 22 氣體輸入控制螺線閥 24 氣體旁通管螺線閥 26 蒸氣-氣體混合物輸出控28 制螺線閥 熱交換器散熱片 30 -第7頁- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） JI- --------訂--------- (請先閱讀背面之主意事項再填寫本頁> 426541 A7 B7五、發明說明（） 内 液 體 輸 送 管 32 内 氣 體 輸 1 管 34 内 輸 % 运 管 36 液 流 控 制 電 路 42 氣 流 控 制 電 路 44 第 一 電 訊 線 路 46 第 二 電 訊 線 路 48 電 迥 饋 訊 號 線路 50 (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明詳細說明 參照第1圖，設備10展示本發明供產生精確受控之 有機蒸氣及惰性氣體混合物（例如：供半導體製造使用） 之主要設備。設備1 0 (其中部份並未顯示）包括：外殼1 2、 吹室1 4(以虛線表示）、液體輸入管1 6、惰性氣體輸入管 1 8、蒸氣及氣體輸出管2 0 ;液體輸入控制螺線閥2 2、氣 體輸入控制螺線閥24、氣體旁通管螺線閥26、蒸氣-氣 體混合物輸出控制螺線閥2 8、及熱交換器散熱片3 0。電 子控制電路、液體水平感應器 '及氣體和液流監控器均 屬設備1 0運作之重要部份，但未顯示於第1圖中。其將 於第2圖中詳盡描述。 再次參考第1圖，外殼12係經過熱絕緣。其内部及 吹室1 4係由依Pellitier原理運作之固態熱裝置（未顯示） 精確的維持在所需之溫度下（例如：7 5 °C )。熱裝置之外圍 係與熱交換器散熱片3 0聯結，其能與大氣交換熱能量並 -第S頁· 裝-------訂---------線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製

4 2654 1 J A7 _________Β7___ 五、發明說明（） 有助於熱裝置將外殼内部之溫度精確地維持在所欲求之 數值，約略高於室溫（例如：7 5 )。 吹室14裝有預定或設定水平之有機液體，例如： TEOS。當設備1G運轉時，室内14之液體數量係由輿吹 室Μ才目連接之液體水平自動控制機械裝置（未顯示）自動 維持在此設定水平。此自動機械裝置係依維持液體在此 設定水平之需要而漸次地增加或減少進入吹室丨4之液 流，此方面在本技藝上是眾所皆知的。輸送管16送出的 液體係透過㈣it管32(如虛，線所示）經過螺線間22輸入 吹室I4中。下文中將詳細說明此種自動化運轉。 惰性孔體（例如：氦）係透過輸送管】8、螺線閥μ、 及内輸送管34(如虚線所示，其一端向下伸而進入吹室14) 送入設備10。在將氣體透過輸送管34 一端吹入並通過 吹至1 4内之液體時，流動的氣體引起部份液體連續揮 發。在室1 4頂部之内輸送管3 6 (如虚線所示）則透過輸出 螺線閥2 8將在室1 4内由於吹氣而產生之蒸氣及氣體混 合物排放至輸出管20。此股透過輸送管18進入吹室14 之氣流則由螺線閥24自動控制，進而控制預定比例之蒸 氣及氣體混合物自室1 4流放到輪出管2 〇 ,此點將於稍 後進一步說明。螺線閥2 6係用以將惰性氣體自輸入管】8 直接溢流到輸出管2 0，而使惰性氣體免於流經吹室丨4， 當須要清除設備1 0之輸出管2 〇的蒸氣及氣體混合物。 此機械裝置包括外殼1 2、吹宣1 4、及相關元件，例如： 第1圖所示為商用之機種，例如：IeQn Dynamics，Ltx，New -第9頁· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4提格（210x 297 --—-- —— — — — — — — — — — I. * — — — — — — — <1!— — — — — — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^2654 1 A7 _________B7_____ 五、發明說明（）

York。 現在參考第2圖，此方塊流程圖4 0展示一部份設備 1 〇。流程圖40顯示有吹室1 4 '液體輪入管丨6(如實線所 不）、氣體輸入管1 8 (如實線所示）、液流控制電路4 2 (以 方塊顯示）、氣流控制電路44(以方塊顯示）、内液體輸送 管3 2 (如實線所示）、内氣體輸送管3 4 (如實線所示）、輸 出管（3 6)20(如實線所示）、第一電訊線路46(如虛線所 示）、第二電訊線路48(如虛線所示）、及介於電路42及44 之間的電迥饋訊號線路5 0(如虚線所示）。 基於下列之理由，假設液體輸入螺線閥22(未於此處 顯不但參見第1圖）與輸送管丨6之液流輸入計（未顯示）及 相連的電子記憶、邏輯及控制元件（未顯示）均屬於液流 控制電路42的一部份。同樣地，假設氣體輸入螺線間 24(未於此處顯示但參見第1圖）與輸送管is之氣流輸入 計（未顯示）及相連的電子記憶、邏輯及控制電路（未顯示） 均屬於氣流控制電路44的一部份。液流控制電路42， 包括液流計（未顯示）及液體螺線閥2 2，均有市售，例如： Stec，Inc_。同樣地’氣流控制電路44，包括氣流計（未顯 示）及氣體螺線閥24，均有市售，例如：Tylan General。 設備1 〇啟動吹氣運轉時’電腦（未顯示）的電子信號 係分別送到各條信號線路46及48，並將信號送達（經由 一個未顯示的線路）輸出螺線閥2 8予以開啟。此電腦信 號經由信號線路4 6送達液流控制電路4 2而開動液體輪 入螺線閥22，並提供一個透過輪送管16及32進入吹室 -第10頁- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公沒） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 裝-------訂---------線 426541 A7 B7

五、發明說明（） 14之液流基準值°電腦信號透過信號線路48送達氣Ϋ 控制電路44，並與迥饋信號透過信號線路50測定氣^ 輸入螺線閥24及透過輸送管1 8及3 4進入吹室1 4之情 性氣體的設定值。 在設備丨〇進行吹氣運轉時，流入室1 4之液流係由液 體控制電路4 2監控’其係將輸送管1 6内液流計（未賴示） 送出的信號與透過線路46得到的電腦信號比較。液體^ 制電路42内之邏輯電路（未顯示）再測定進入吹室]4之 液流是否因為揮發速度低於或大於送達信號線路46之電 腦輸入信號而高於或低於所欲求之預定值。若探發速度 異於所欲求之速度’而為了使吹室1 4内之液體精確地維 持一定液體流入室内在設定之水平上’液體控制電路42 便透過信號線路5 0送出迥饋信號到氣體控制電路44。 此種透過導線50送出的迥饋信號及透過信號線路48送 出的電腦輸入信號一起引起氣體控制電路44之邏輯電路 (未顯示）產生細微、漸增的氣體輸入螺線管設定值24。 因此，進入吹室1 4的氣流略少或略大會使其内的液體精 確地維持在所欲求之液流速度水平設定值。如此，便可 將自吹室1 4流入輸送管（36)2〇之有機混合物中蒸氣對氣 體之比例精確的控制在所欲求之精確值上。 當設備10在進行吹氣時停止時，電腦信號便透過各 個控制電路42及48送到每個螺線管閥22、24及28以 便予以關閉。若欲清除輸出管2〇中之蒸氣_氣體混合物， 則須打開螺線閥26(由電腦發出信號），有別於正常的關閉 -第11頁- 本紙張尺度i®帛_ ® ®家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) t--------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^ ? B 5 4 1 A7 ____ B7___ 五、發明說明（） 態，使螺線管閥24及28溢流。此舉可使混合氣體（例如： 氦）直接的自氣體輸入管1 8流至輸出管2 0而無須經過吹 室1 4。 例如，在特定的設備1 0具體化實施例中，吹室1 4之 體積為150毫升，其内所裝之TEOS液體水平係維持在 預設水平及7 5 °C溫度下β在運轉當中，每分鐘流入吹室 14之氦壓力為200T〇rr 、速度為20標準公升。每分鐘 有6克TEOS液體流入吹室1 4以維持其内之液體預設水 平。設備1 0之液流計及氣流計均極精確，如同液體水平 控制機械裝置一般。在溫度75 °C下自室14内揮發之液體 蒸氣仍為產生的蒸氣及氣體混合物之蒸氣。因此，流進 輸出管2 0之蒸氣-氣體混合物中蒸氣對氣體比例便由設 備1 〇之控制電路4 2及4 4精確的控制在所欲求之比例。 由於設備10之體積小巧且其能源消耗低，因此能將 數個機械單位結構結合成組以於必要時立即分離不同有 機蒸氣及惰性氣體之混合物。因此，例如：其中一個設 備丨〇可供應TEOS液體（如上迷）’而第二個設備10可供 應三乙硼酸鹽液體（TEB) ’而第三個設備10可供應三乙 基磷酸鹽液體（TEPO) »此類有機材料在半導體製造技藝 上之利用是已眾所皆知的。除了氦之外的惰性氣體均可 視情況需要適時使用。 上述說明係旨於展示而非限制本發明。上述本發明之 具體實施例均可由熟於本技藝之人士作各種調整或改變 而仍不脫本發明之本意及下列申請專利範圍之範蜂。尤 -第12寅- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫-4頁 裝--------訂---------線 4 2654 1 A7 B7 五、發明說明（） 其是，設備1 〇並不僅限應用在TEOS液體及氦、也並未 限於使用任何特定體積之吹室1 4或特定的氣體及液體流 速、或特定運轉溫度。控制電路42及44之詳細構造及 運轉均極易於由習知技藝人士所了解= (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝-------—訂--- - - ---線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印焚 -第13頁- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

4 2654 1 H C8 D8 六、申請專利範圍 t 1 . 一種可精確控制蒸氣對氣體比例以產生液體蒸氣及氣 體混合物的設備，其設備包括： 外殼，以界定内含待蒸發液體之室； 液體源，將液體以預定速度輸送到室内； 氣體源，將氣體輸送進入吹室以蒸發室内液體： 排氣裝置，將蒸氣及氣體混合物排出室外；及 控制電路，以操控氣體供應之裝置，此控制電路 先測量進入吹室之液流來判定室内液流是否增加或減 少（相較於其預定速度）而發出迥饋信號，迥饋信號漸 次地調整進入吹室之氣流，而使排出室外的蒸氣及氣 體混合物維持在預定之蒸氣對氣體比例。 2. 一種可精確控制蒸氣對氣體比例以產生液體蒸氣及氣 體混合物的設備，其設備包括： 外殼，以界定内含待蒸發液體之室； 液體源，將液體以預定速度輸送到室内； 氣體源，將氣體輸送進入吹室以蒸發室内液體： 裝置，將蒸氣及氣體混合物排出室外； 控制裝置，以操控氣體供應之裝置，此控制裝置 先測量進入吹室之液流來判定室内液流是否增加或減 少（相較於其預定速度）而發出迥饋信號，迥饋信號漸 次地調整進入吹室之氣流，而使排出室外的蒸氣及氣 體混合物維持在預定之蒸氣對氣體比例。 -第14頁· 表紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 2654 1 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3. 如申請專利範圍第2項所述之設備，其中控制裝置包 括液流控制電路、及氣流控制電路及氣體螺線管閥。 4. 如申請專利範圍第2項所述之設備，其中外殼係經過 絕緣，並進一步包含溫度控制裝置以精密地維持室内 液體在略高於室溫的溫度下。 5. —種產生諸如四乙基正矽酸鹽（TEOS)之液體蒸氣及諸 如氦之惰性氣體混合物的設備，其中蒸氣對氣體比例 可精確控制成半導體製造所需之比例1其設備包括： 外殼，將吹室圍起並熱絕緣； 液體供應裝置，供應液體到吹室内使其達到設定 的水平； 氣體供應裝置，供應氣體到吹室内，通過及蒸發 其内的液體； 溫度控制裝置，將吹室及其肉液體精確維持在所 欲求之溫度下； 液體控制電路，監測進入吹室之液體流； 氣體控制電路，控制氣體供應裝置及進入吹室之 氣流； 輸出裝置，以排放室内產生的蒸氣及氣體混合物； 及 液體控制電路至氣體控制電路的迥饋裝置，以使 進入吹室之氣流速度可將其蒸氣對氣體混合物比例受 -第15百- 本纸張尺度遙用中國國家橾準（〇奶）八4洗格（210><297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 426541 A8 B8 C8 D8 六、申請專利她圍 控制的室内液體維持在預設水平。 6. 如申請專利範圍第5項所述之設備，其中液體供應裝 置包括液體螺線管閥，氣體供應裝置包括氣體螺線管 閥，閥係由各控制電路控制。 7. 如申請專利範圍第6項所述之設備，其中迥饋裝置包 括信號線路以便將信號自液體控制電路送到氣體控制 電路，其係代表室内液體水平與設定水平之偏差。 8. 如申請專利範圍第6項所述之設備，其中液體供應裝 置進一步包括液流計，氣體供應裝置進一步包括氣流 計，液流計的信號係被耦合至液體控制電路，氣流計 的信號則係被耦合至氣體控制電路。 9 ,如申請專利範圍第5項所述之設備，進一步包括外加 的數個設備，且各設備基本上是此設備相同且至少部 份設備係各供應不同有機液體，以於必要時應半導體 製程之製造步騾所需，立即分離不同有機蒸氣及惰性 氣體之混合物。 1 0. —種產生有機液體蒸氣及惰性氣體混合物的設備， 其蒸氣對氣體比例可精確控制成丰導體製造所需之 比例，其設備包括： ___ -箆 16苜-_ 本紙張尺度逍用t國國家梂準（CNS ) A4说格（210X297公釐） (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Γ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 426541 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 外殼，將吹室圍起並熱絕緣； (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 液體供應裝置，供應液體到吹室内使其達到設定 的水平，此液體供應裝置包括液流計及液體螺線管 閥； 氣體供應裝置，供應氣體到吹室内並通過及蒸發 其内的液體，此氣體供應裝置包括氣流計及氣體螺 線管閥； 溫度控制裝置，將吹室及其内液體精確維持在所 欲求之溫度下； 液體控制電路，内含電子元件可監測進入吹室之 液流及測量其對於預定速度之相對速度，液體控制 電路係連接到液流計； 氣體控制電路，内含電子元件可控制氣體供應裝 置及進入吹室之氣流，氣體控制電路係連接到氣流 計及氣體螺線管閥； 輸出裝置，可排放室内產生的蒸氣及氣體混合 物； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 液體水平機械裝置，可使吹室内液體維持在設定 水平； 電腦輸入裝置，可送出輸入信號給液體控制電路 以指定液體依所欲求之速度進入吹室，並送出輸入 信號給氣體控制電路以建立氣流進入吹室的速度； 及 迥饋信號裝置，連接液體控制電路及氣體控制電 _ -第17頁· 本紙張尺度逋用中國國家梂率（CNS ) Α4ίΜΓΓ2丨ΟΧ”7公釐） 426541 A8 BS C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 路以控制進入吹室之氣流，使得吹室内之液體水平 基本上維持在設定水平，其吹室内排出之混合物中 蒸氣對氣體之比例則受到控制。 1 1 .如申請專利範圍第1 0項所述之設備，其中溫度為75 °C，其液體為四乙基正矽酸鹽（TEOS)，而氣體為氦， 液流為每分鐘6克，氣流為在2 0 0 T o r r壓：力下每分 鐘2 0標準公升。 1 2.如申請專利範圍第1 0項所述之設備，其中輸出裝置 包括輸出螺線管闊，進一步包含螺線閥供輸入氣流 直接溢流到輸出裝置而無須進入吹室，可清除輸出 裝置中之蒸氣-氣體混合物。 13. —種產生諸如四乙基正矽酸鹽（TEOS)之液體蒸氣及 諸如氦之惰性氣體混合物的方法，其蒸氣對氣體比 例可精確控制成半導體製造所需之比例，其方法包 括步驟： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 有機液體流入室内並維持室内液體在設定水平； 惰性氣體流入室内並使氣體吹透液體以使其部份 蒸發； 排放室内產生的有機蒸氣及惰性氣體混合物； 判定進入室内之液流是否偏離於所欲求之值及對 迥饋信號產生任何誤差；及 _-第〗8頁-_ H尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4洗格（210X297公ΪΠ 4 2654 1 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 依據預定信號及迥饋信號控制進入吹室之惰性氣 體速度以便控制室内排放之混合物中蒸氣對氣體的 比例。 1 4. 一種精確控制混合物中液體蒸氣對氣體之比例的方 法，其步驟包括： 將液體流入室内； 將氣體流入吹室並通過液體； 判定室内液體的揮發速度是否異於所欲求之值： 依據液體的揮發速度變異產生迥饋信號： 依據迥饋信號調節氣體進入吹室之流速以便液體 以所欲求之速度揮發；及 排出室内之蒸氣及氣體混合物以控制混合物中之 蒸氣。 經濟部智葸財產局員工消費合作社印製 1 5 .如申請專利範圍第1 4項所述之方法，其中液體為有 機液體，例如：四乙基正矽酸鹽（TEOS)，而氣體為 惰性氣體，例如：氦，此液體之溫度係維持在略高 於室溫。 1 6.如申請專利範圍第1 5項所述之方法，其中氣流及液 流係控制在所欲求之速度。 1 7.如申請專利範圍第1 6項所述之方法，其中氣流速度 ___-筚丨9苜-__ 本紙張又度逋用中國國家梂準（CNS ) A4規格（2〖0X297公釐） 4 2654 1 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 在約20 0 Torr壓力下為每分鐘20標準公升，而液流 為每分鐘6克，液體係維持在7 5 °C。 (請先閱读背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消#合作社印製 _ -箄20苜- 本紙張尺度適用中國國家樣车(CNS > A4規格（210X297公釐）