TW423195B - Positioning device, drive unit and an exposure apparatus having them - Google Patents

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Aiy 部中消资合竹w卬則?: 五、發明説明 ( I ) 1 Γ 技 術 領 域 3 本 發 明 係 閫 於 Μ 非 接 觸 決 定 載 置 如 半 m 體 晶 片 等 位 置 決 定 對 象 物 的 可 動 體 位 置 的 位 置 決 定 裝 置 » 驅 動 單 元 及 ^---v 請 1 先 1 具 備 此 位 置 決 定 裝 置 之 曝 光 裝 置 〇 閱 讀 一 [ 背 景 技 術 ) 背 1¾ 1 ) 之 以 注 * 在 為 製 造 半 導 體 元 件 ， 攝 影 元 件 (CCD) 等 9 液 注 意 1 I 晶 顯 示 元 件 9 或 薄 瞑 磁 頭 等 的 光 平 版 印 刷 過 程 t 使 用 將 事 項 1 I 再 1 作 為 屏 蔽 的 叉 線 面 圖 形 合 由 投 影 光 學 % 铳 轉 錄 於 作 為 基 板 球' 寫 本 i 裝 的 晶 片 ί 或 玻 璃 板 等 ) 各 發 射 領 域 的 步 進 器 等 投 影 曝 光 頁 ·—- —1 装 置 〇 在 這 種 投 影 曝 光 裝 置 ， 由 於 必 需 Μ 高 精 度 晶 片 定 1 1 位 於 曝 光 位 置 » 因 肚 * 晶 Η 由 真 空 吸 附 等 保 持 於 晶 片 夾 I 具 上 ♦ Μ 往 被 r-rt 固 定 於 可 Μ 高 精 度 決 定 此 晶 片 夾 具 位 置 的 ! 訂 晶 Η 階 極 上 〇 i 相 對 地 ， 最 近 為 使 晶 Η 更 加 高 速 且 未 被 機 械 性 引 導 面 1 I 的 精 度 等 影 m 而 能 高 精 度 地 決 定 位 置 » 乃 促 進 Μ 非 接 觸 ί 1 使 載 置 晶 Η 的 平 板 狀 工 作 檯 浮 昇 以 決 定 位 置 的 位 置 決 定 1 J 裝 置 之 開 發 〇 然 後 ， 在 如 美 國 專 利 (USP) 第 5196745 號 Λ J 說 明 書 » 揭 示 著 Μ 二 维 方 式 在 載 置 有 晶 片 的 工 作 檀 上 下 ί 1 面 交 替 地 配 置 外 側 成 為 Ν 掻 及 S 掻 的 永 久 磁 AMf 锇 9 在 容 納 ί ] 其 工 作 權 的 固 定 體 側 配 置 對 應 那 些 永 久 磁 m 的 多 相 線 圈 1 排 的 位 置 決 定 裝 置 〇 在 此 位 置 決 定 裝 置 9 那 永 久 磁 m 1 Ί 的 磁 通 量 對 於 工 作 m 形 成 垂 直 的 場 所 多 相 線 圈 發 生 水 平 I 方 向 的 推 力 ί 在 其 磁 通 量 形 成 水 平 的 場 所 線 圈 利 用 發 生 i. * 1 垂 直 方 向 的 推 力 * Μ 非 接 Μ 觸 朗 6 白 由 度 的 方 向 決 定 該 X ί 1 -3 1 1 I 1 本紙张尺度遍川中內國家標羋（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 423195 A7 -4(.1T.rrr'-?,h ?f 合：^^印： 五、發明説明 ( 2 ) 1 作 植 的 位 置 Ο 1 在 這 種 習 用 非 接 fua» 觸 方 式 的 位 置 決 定 裝 置 * 在 作 為 可 動 i 體 的 I 作 植 的 上 下 面 安 装 交 替 地 反 轉 的 多 數 永 久 磁 锇 0 請 1 因 此 其 工 作 植 大 型 化 而 且 加 重 重 量 〇 此 外 t 藉 多 相 先 閱 [ 1 讀 1 線 圈 的 垂 直 方 向 其 推 力 非 常 小 ， 僅 其 垂 直 方 向 的 推 力 背 面 1 I 之 1 . 使 該 偌 大 重 量 的 工 作 檯 浮 昇 » 實 際 上 極 有 困 難 〇 意 1 1 而 且 9 由 於 其 位 置 決 定 裝 置 需 有 工 作 描 移 動 行 程 2 倍 事 項 ί I 再 I 大 小 的 線 圈 排 ， 故 有 裝 置 會 變 成 大 型 化 的 缺 陷 0 填 本 裝 C 發 明 之 揭 示 ) 頁 '— 1 λ 本 發 明 的 第 1 巨 的 在 於 r 提 供 可 安 定 地 支 持 載 置 如 晶 1 I Η 等 位 置 決 定 對 象 物 的 可 動 體 > 同 時 > 並 可 正 確 地 決 定 i I 可 動 髖 位 置 的 位 置 決 定 裝 置 Ο 1 1 訂 i 此 外 本 發 明 的 第 2 的 在 於 > 提 供 較 其 可 動 體 的 行程 不 使 驅 動 楗 構 過 於 大 型 化 i >1 非 接 觸 即 可 決 定 其 可 動 體 1 j 位 置 的 位 置 決 定 裝 置 〇 1 1 並 且 * 本 發 明 的 g 的 在 於 提 供 具 有 可 在 那 種 位 置 決 1 J 定 裝 置 使 用 驅 動 單 元 » 及 那 種 位 置 決 定 裝 置 1 得 以 高 生 1 產 力 及 高 m 良 元 件 等 曝 光 裝 置 〇 I 1 為 達 成 這 種 百 的 t 按 本 發 明 的 位 置 決 定 裝 置 者 > 乃 是 I r 用 於 決 定 載 置 有 位 置 決 定 對 象 物 的 可 動 體 位 置 的 位 置 決 1 J 定 裝 置 具 備 著 用 於 組 裝 可 動 體 的 發 磁 體 被 形 成 為 1 ί 如 同 夾 入 發 磁 照 的 磁 力 構 件 和 配 置 於 發 磁 體 和 磁 力 構 I 件 之 間 Μ 驅 動 發 磁 體 的 驅 動 單 元 ， Μ 藉 由 磁 力 構 件 及 驅 l K 1 動 里 元 決 定 可 動 f§ 位 置 為 基 本 構 成 〇 1 1 -4 1 1 i 1 ίΑ ;i [,八 纸 本 格 規 釐 公 423195

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Uf ΑΊ B7 部 t ii 卬 五、發明説明 ( 3 ) 1 在 此 基 本 構 成 下 9 本 發 明 的 ( 第 1 ) 位 置 決 定 裝 置 係 具 備 ( 如 平 板 吠 的 1 片 f 或 多 數 Η ) 發 磁 體 8 在 可 動 1 體 6 的 移 動 面 發 生 朝 垂 直 一 方 向 的 磁 通 虽 9 磁 力 構 件 請 先 1 ( 10 、 1 5 Α - -1 5C 16) 即 連 同 發 磁 體 8 起 形 成 磁 路 * 閱 讀 驅 動 單 元 對 於 發 磁 體 8 在 其 移 動 面 使 能 朝 垂 直 方 向 發 生 背 面 ί 1 之 •*1' 可 變 推 力 般 捲 繞 的 浮 昇 用 線 圈 1 4 r 而 藉 磁 力 構 件 10等 及 注 意 1 I 驅 動 單 元 11M 非 接 觸 狀 態 決 定 可 動 體 6 的 位 置 0 f 項 1 I 再 如 果 依 據 這 種 ( 第 1 的 ) 位 置 決 定 裝 置 者 • 由 可 動 η 寫 本 4 裝 6 及 發 磁 體 8 所 組 成 的 可 動 工 作 擡 6 8 9 g 可 製 成 薄 頁 、· 1 又 輕 量 化 〇 呔 時 赘 由 發 磁 體 8 兼 用 可 動 體 6 也 可 0 而 1 1 旦 * 在 本 發 明 主 要 形 成 兩 個 磁 路 0 第 1 磁 路 從 發 磁 體 8 I 的 Η 極 發 出 的 磁 通 量 經 由 上 面 或 底 面 的 磁 力 構 件 及 與 其 1 訂 對 向 的 磁 力 構 件 而 返 回 發 磁 體 8 S 掻 的 磁 路 0 第 2 磁 路 1 係 從 發 磁 體 8 的 N 極 發 出 的 磁 通 量 在 空 間 中 洩 蓊 而 通 過 1 1 如 上 面 的 磁 力 構 件 欲 返 回 S 極 的 磁 路 0 1 1 第 1 負 及 第 2 磁 路 分 別 對 於 可 動 工 作 植 6 8 發 生 朝 1 向 上 面 9 及 底 面 磁 力 構 件 的 吸 引 力 > 由 於 Μ 磁 力 方 式 控 Λ I 制 此 吸 引 力 而 使 可 動 工 作 m 發 生 浮 昇 力 ， 白 可 支 持 可 動 1 1 工 作 植 本 身 的 重 量 0 藉 此 t 驅 動 單 元 11 的 浮 昇 用 線 圈 14 1 1 只 Μ 規 定 範 圍 調 整 其 反 彈 力 1 或 吸 引 力 就 可 * 因 此 ， 其 1 發 熱 最 最 小 〇 如 欲 Μ 磁 力 方 式 控 制 其 吸 引 力 者 ， 即 調 整 1 1 可 動 工 作 檯 的 高 度 亦 可 t 或 調 整 驅 動 單 元 11的 線 圈 大 小 1 抑 或 調 整 磁 力 構 件 的 導 磁 率 也 都 可 0 1 I 然 後 因 控 制 如 3 個 >1 上 的 驅 動 單 元 11 的 浮 畀 用 線 圈 1 1 -5 1 1 1 i 4 23 195 ^ A7 B7 五、發明説明（4 ) 的反彈力、或吸引力，自可控制可動工作檯的高度，及 2軸周圍的傾斜角。亦即，可正確實施高度方向的位置 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 決定。 其次，本發明另外的（第2 )位置決定裝置，係由發 磁體8在可動體6的移動面發生朝垂直一方向的磁通量 ，由磁力構件（10、15A〜15C、16)連同發磁體8 —起 形成磁路，其驅動單元11即具備著；使磁通量在磁路内 通遇的磁心構件20，和對於發磁體8朝其移動面内的第 1方向捲繞於其磁心構件，Μ使發生由勞倫茲（Urentz) 力所成推力的第1推力發生用線圈〗2A ,和對於發磁體 8朝其移動面内的其第1方向交叉的第2方向捲繞於磁 心構件，以便發生由勞倫玆力所成推力的第2推力發生 用線圈1 3 A 。 如果按這種（第2 )位置決定裝置者，即藉由可流動 於可動工作樓的底面，或上面的推力發生用線圈12A 、 13A的電流，和發磁體8的磁通量發生的勞倫玆力的反 力，對於可動工作植會發生二維的推力。從而，因裝設 如3個（驅動單元為兩涸）推力發生用線圈，就可對可 動工作植賦與二維的大推力及回轉力。亦即，可在二維 平而内正確決定其可動工作檯6、8的位置。 然後，藉由組合（第1 )位置決定裝置和（第2 )位 置決定裝置，得K非接觸6自由度正確決定可動工作植 的位置。此時，由於對可動工作Μ的移勖行程，以同程 度的多數驅動單元的設置面積即可的緣故，故不會使位 本紙汰尺度迖圯十囤丨驾家標牟（CNS ) Λ4规格（210Χ 297公犛） 423195 A7 B7 五、發明説明（5 )

if- 部 屮 -A 竹 置決定 而且 ,故可 可實施 其次 磁體8 ,由磁 形成磁 在磁路 著移動 推力般 、73d 2方向 圈（第 即使 磁體一 線圈實 用線圈 此時 弧形狀 連接於 構件的 於磁心 的内側 裝置大 ,由於 減少各 高速的 ,本發 在可動 力構件 路，其 內通過 面的方 捲鐃在 ' 73c) )能發 2的推 依據瑄 起由磁 拖可動 控制在 ,作為 構件， 磁力構 中間部 構件的 面積， 型化。 沒有直 線圈的 位置決 明的其 體6的 ί 10、 驅動單 的磁心 向（第 磁心構 ,及對 生可變 力發生 種（第 路支持 體的高 可動體 一例， 而且此 件，推 ,且推 面積， 浮昇用 接以磁力方式連接多 電感再因可提高電流 定。 他（第3 )位置決定 移動面發生朝垂直一 15Α〜15C、 16)連同 元（70Χ 、 74Χ)具備 構件（71 、 75),和 1方向）使能發生由 件的（第1 )推力發 於發磁體朝移動面垂 推力般捲繞於磁心構 線圈）（72Α 、 72Β 、 3 )位置決定裝置， 其大部份的重量。然 度，及傾斜角的控制 移動面内的位置。 磁心構件71係在發磁 弧形狀構件的兩個端 力發生用線圈73即被 力發生用線圈像外側 同時，對於其外側的 線圈72Α、72Β即被捲 -7- 數的驅動單元 的響懕性，故 裝置， 方向的 發磁體 著；使 對於發 勞倫Ε 生用線 直的方 件的浮 76) 〇 可動體 而，藉 ,由推 係由發 磁通量 8 —起 磁通最 磁體沿 力所成 圈（73 向（第 昇用線 仍與發 由浮昇 力發生 體側朗凸部的 部以磁力方式 捲繞於弧形狀 面積實際上大 面積形成狹窄 繞於强形狀構 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 乂 本紙张尺度这川屮1.¾¾家椋车（CNS ) Μ規格（210Χ2?7公# ) A7 423195 B7 五'發明説明（6) 件的兩涸端部。 這些場合，Μ裝設用於測定可動體移動面内位置的位 置測定糸统（17Χ、 17Υ、 18Χ、 18Υ1、 18Υ2)為宜。藉 依據其位置測定结果驅動驅動單元11, Μ闞閉環彤方式 實施高精度的可動體位置決定。 此外，也可Κ裝設測定發磁體U)變形量的變形量測 定系統（9Α〜9D)。例如預先在這些附近裝設可伸縮的致 動器，因驅動那些致動器Μ抵銷被檢測的變形而抑制發 磁踊8的變形。取代使用致動器而Μ多數浮昇用線圈14 控制所發生的浮昇力亦可。 而巨，在發磁體8包覆變形的磁變構件，Κ主動柢銷 .因這種發磁體磁力的變形也可以。對於磁變構件而言， 苛使用由如锇氧體石榴石系統，或稀土合金系統等磁變 構件所形成的構件。使用這種磁變構件時，在發磁體因 磁場而容易凸出變形的位置，只要巳覆因磁場而收縮的 磁變材料（CoFe2〇4或SmFe2等）即可，在發磁體因 磁場而容易下陷變形的位置，只要包覆因磁場而膨脹的 磁變材料（TbPe2 或 70wtSJTb-30wtS：Pe等）即可。 另外，本發明的其他（第4 )位置決定裝置，乃分別 具有在可動體44的移動面發生朗垂直一方向磁通量的第 1及第2的發磁體45A 、45B ,磁力構件46M被連接的 状態配置Μ便分別在上下夾持第1及第2的發磁體45A 、45Β ,同時，連同第1及第2的發磁體45Α 、45Β — 起分別形成磁路，驅動單元，即具備被配置於第1發磁 本紙尺度迖州屮1¾闽家標苹（（'NS ) Λ4規格（2】ΟΧΜ7公犛） .^—^1 - - -- i .^1^1 ^^^1 Iff ( — [ (諳先閱讀背面之注意事項再填艿本頁) 訂 423195 A7 B7 五、發明説明（7 ) (讀先閱讀背面之注意事項再填艿本貫) 髖45和磁力構件46之間而驅動此發磁體的第1驅動單元 11，和配置於第2發磁體45B和磁力構件46之間而驅動 此發磁體的第2驅動單元11C 。 然而，第1驅動單元11,乃具有，在其磁路内附於第 1發磁體45A朝其移動面的垂直方向能發生可變推力般 被捲繞的浮昇用線圈14,第2驅動單元11C即具有.在 其磁路内對於其第2發磁體在其移動面的垂直方向能發 生可麥推力般被捲繞的浮昇用線圏14,藉由磁力構件第1 驅動單元.及第2驅動單元Μ非接觸狀態決定可動體的 位置。 如依照這種（第4 )位置決定裝置者，載置晶片等位 置決定對象物的可動體44,係由如细長平板狀的非磁性 材料所構成，在可動體44的兩端部連接第1及第2的發 磁體45Α 、45Β ,在可動體44的一端底面或上面（或兩 面）配置了第1驅動單元11,在可動體44的他端底面或 上面（或兩面）即配置第2驅動單元11C ◊然後，對於 可動體44的大部份浮昇力僳由其磁路（第1的磁路）， 及在空間中洩漏的磁通量所形成的第2磁路提供。 而且，假定可動體44的移動面雙方向為X方向、Υ方 向，假定其移動面垂直的方向為Ζ第，即由那些驅動單 元Κ非接觸地正確決定其可動體44為Ζ方向的位置。此 時，由於在可動體44的中央剖幾乎不存在磁通量，故對 於如電子線轉錄裝置等也可適用此位置決定裝置。 在瑄些場合上，最好Μ具有將因可動體被位置決定時 -9- a 23 彳 95 A7 B7 五、發明説明（8

A f,' 合ίϊ 卬 所發生的推力反力，導 可抑制振動的發生。而 具有多數涠時，座全部 中任何一種都可Μ。且 狀為宜。因此，可使可 a,在發磁體δ的上面 率材料所構成的輔助磁 磁力構件因其磁路對於 時，藉Κ各線圈的推力 並且，多數的浮昇用 科所構成的磁心79a移 的線圈83所構成，多數 別由對於磁力79a捲繞 ,那些多數的第2推力 心79a捲繞於其第2方 多數磁心10a構成其磁 於發磁體S發生浮昇力 成的多數驅動單元11, 而a,最奸在驅動單元 (主要是線圈）的冷卻 其次，本發明的暍光 定裝置，在K此位置決 崮形^此時，作為位置決定對 决定裝置以非接觸定位 致地板消敢的構 且，其發磁體靥 朝同一方向發生 K可動體6及發 動體（工作檯） 及底面的至少一 力構件77、78也 其可動體6的浮 也會增大。 線圈乃是，對於 動可動體6的面 的第1推力發生 於是第1方向的 發生用線圈乃是 向的線圈82A所 力構件的一部份 及推力的構件互 容易達成控制， 11的附近配置用 裝置21。 裝置，具備上述 定裝置定位的基 象物的基板W得 造為宜。因此， 於單掻（發磁趙 磁通量）或多極 磁體8都是平板 薄又輕量化。而 方配置由高透磁 可Μ。藉此輔助 昇力會增大，同 分別由高 垂直之方 用線圈乃 線圈81 A ,分別由 構成，最 。藉此， 相整合為 而構成被 於冷卻驅 透率材 向捲繞 是，分 所構成 對於磁 好係由 可將對 同一構 簡化。 動單元 本發明的位置決 板W上轉錄屏蔽 以本發明的位置 為高速。對於曝光裝置而言，除 -10 本紙张尺度述；丨）十丨叫阄家標苹（CNS ) Λ4规格（2〗0x297公釐） ^i^.r I —^n 111— ^ J--— (請先閱讀背面之注意事項再填荇本頁)

、1T 423195 y Α7 Β7 ^^:,部屮"^:^^以5;;1於合竹^卬4']-^ 五、發明説明 ( 9 ) 1 了 光 學 式 的 投 影 曝 光 装 置 Μ 外 也 可 以 使 用 電 子 線 轉 錄 裝 置 等 〇 1 1 其 次 * 按 本 發 明 的 驅 動 單 元 乃 是 » 被 配 置 於 由 發 磁 體 讀 先 1 8 和 磁 力 構 件 (1 0 1 5 Α〜 15C 16) 所 形 成 的 磁 路 内 9 而 閱 讀 ,! 發 生 勞 倫 磁 力 的 驅 動 單 元 70Χ 74X , 具 有 在 磁 路 内 使 磁 背 I 之 *1 - 通 虽 朝 第 1 方 向 通 過 * 同 時 磁 力 方 式 和 磁 力 構 件 連 接 注 意 1 I 的 磁 心 構 件 71 75 ， 和 在 磁 心 構 件 朝 與 第 1 方 向 正 交 的 事 項 1 1 再 第 2 方 向 捲 m 的 m 圈 (73 73d 、 73e) 而 媒 圈 被 捲 繞 得 寫 本 裝 在 發 磁 賴 側 其 面 積 大 » 與 發 磁 體 相 反 側 的 面 稹 即 變 成 窄 頁 1 小 〇 1 1 此 時 t 磁 心 構 件 係 作 為 一 例 在 發 磁 體 8 側 朝 凸 部 的 弧 •1 | 形 狀 構 件 7 1 9 且 Μ 磁 力 方 式 在 磁 力 構 件 10連 接 弧 形 狀 構 1 訂 1 件 的 兩 端 剖 t 第 2 方 向 線 圈 73 即 被 捲 繞 於 弧 形 狀 的 構 件 7 1 的 中 間 部 〇 而 且 ， 磁 心 構 件 係 作 為 一 例 具 有 交 叉 多 數 1 I 平 面 的 矩 形 構 件 75 ♦ 第 2 方 向 線 圈 73即 廣 達 互 相 交 差 的 1 1 平 面 被 捲 Adb 者 〇 1 U 並 且 > 磁 心 構 件 最 好 具 備 捲 m 於 第 1 方 向 的 第 1 方 向 I 線 圈 (72A 72B 76 ) 〇 而 且 ， 第 1 方 向 線 圈 29 9 VX 捲 m 1 1 多 數 磁 心 構 件 周 圍 的 狀 態 被 配 置 也 可 Μ 〇 I 1- 其 次 » 本 發 明 的 位 置 決 定 裝 置 具 有 上 述 本 發 明 的 驅 動 1 ] 單 元 > 載 置 了 位 置 決 定 對 象 物 且 由 驅 動 單 元 及 磁 力 構 \ ί 件 (1 0、 1 5 A 1 5C、 1 6) 決 定 組 裝 發 磁 體 8 的 可 動 體 5 之 I 位 置 〇 } 而 a » 本 發 明 的 暘 光 裝 置 乃 具 備 著 上 述 本 發 明 驅 動 單 I 1 -1 1 - 1 1 1 1 本紙张尺度追州屮《阄家桴率（CNS ) Λ4規格（2Ι0Χ297公麓） 423195 A7 B7 五、發明説明（10 π π f 九、 π 元的位置 上轉錄屏 得K本發 ί圖式之 第1圖 成圈。 第2圖 線圈10構 第3 a圖 b係其側 第4圖 第5圓 驅動單元 第6 a圃 工作樓5 回轉時的 第7圖 部的剖而 第8圖 第9画 第10圖 斜視圖。 第1 1圓 1 1 Y的平 決定裝 蔽圖形 明的位 簡里說 係表示 置，在K位置決定裝置所定位的基板W 。此時，作為位置決定對象物的基板W 置決定裝置以非接觸高速決定裝置。 明〕 本發明實拖形態投影曝光裝置的概略構 係表示從第1圖的頂部偏轉線圈16至底部偏轉 成一部份缺U的斜視圖。 第2圖中驅動單元11磁心20的平面圖， 係表示 面圖。 係表不 係提供 11的動 偁使用 的X方 平面圖 係表示 圖。 係表不 係提供 係表示 第2圖中驅動單元11的分解斜視圖。 第2圖中的驅動單元11的驅動電路，及 作說明圖。 第2圖中的多數驅動單元11實施朗晶片 向、Y方向驅動時的平面画，b係實施 0 本發明其他實施形態的投影曝宄裝置要 第7圖驅動單元60的分解斜視圖。 第7圖中驅動單元60的動作說明圖。 本發明其他實狍形態的投影曝光裝置的 係表示第10圖的磁鐵板45B的底面側驅動單元 面圖。 -12- 本紙張尺度这川十丨巧囚宋掠率（CNS ) Λ4現格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再磧寫本頁) 裝 ,ιτ A7 B7 1Ϊ ϋ 卬 t 五、發明説明 ( 11 ) 1 第 12圃 係 表 示 本 發 明 的 其 他 實 施 形 態投 影 曝 光 裝 置 的 斜 視 圖0 1 第 13· 係 在 本 發 明 的 實 施 形 態 1 表 示使 用 多 極 磁 鐵 板 請 ί 1 時 的 平面 m 0 閱 讀 % | 背 第 14圖 係 表 示 本 發 明 的 實 施 形 態 晶 Η階 極 要 部 的 斜 視 面 I 之 nai _ 〇 注 意 1 ] 事 1 第 15圖 係 表 示 從 第 1 4圖 的 驅 動 單 元 70Χ 70Υ 拆 除 —* 項 再 1 部 份 線圈 狀 態 的 分 解 斜 視 圖 〇 % 本 I 裝 I 第 16圖 係 表 示 從 有 關 實 胞 形 態 的 驅 動單 元 拆 除 一 部 份 頁 1 線 圈 狀態 的 分 解 斜 視 圖 〇 1 第 17圖 係 表 示 組 裝 有 闞 實 施 形 慇 的 驅動 單 元 的 狀 態 > 1 沿第16BAA線 的 剖 面 圖 〇 i π 第 1 8阖 係 在 本 發 明 的 實 腌 形 態 中 表示 由 線 圈 的 磁 心 1 構 成 磁力 構 件 部 份 之 一 例 的 概 略 構 成圖 〇 1 第 19圖 係 表 從 第 18 圖 的 頂 部 偏 轉 線 圈16 至 磁 心 板 79的 1 構 成 而一 部 份 缺 □ 的 斜 視 圖 0 1 泉 1 第 20圖 係 表 示 從 第 1 9画 的 磁 心 板 79去除 驅 動 單 元 80 Η 外 之驅 動 單 元 狀 態 的 斜 視 圖 〇 1 t 第 2】騸 係 提 供 就 第 19 圖 的 驅 動 單 元 80的 驅 動 電 路 • 及 1 Μ 驅 動 單元 80的 動 作 說 明 之 圖 0 I 第 22a IBI _ 係 使 用 第 19 画 的 多 數 驅 動 單元 80 實 腌 朝 m 片 Ί 工 作 檯5 的 X 方 向 、 Y 方 向 驅 動 時 的 平面 圖 9 b 係 實 施 1 1 回 轉 時的 平 面 圖 〇 I Γ 為 實胞 發 明 之 最 隹 形 態 3 1 1 -1 3 _ 1 1 1 ί 本紙认尺及追圯1!,阐家標碑-（CNS ) Λ4规格（210X297公釐） 部 屮 n η1 2 3195 - A7 B7 五、發明説明（u 玆參閱圖式說明有關本發明的理想實拖形態如下；本 例係在投影曝光裝置的半導體晶Η位置決定部適用本發 明者。 第1圖係表示本例 第1圖，藉來自照明 等亮線，或檄元激光 成於叉線fi下面的圖 曝光光U之下叉線R 的投影放大率点(β 體晶片（Μ下，簡稱 在晶片W的表面塗敷 統3的像面大致上符 光軸ΑΧ平行的Ζ軸， ί圖的紙面平行的X 說明。 叉線R被保持於可 動的叉線階極2上， 激光干涉計的測定值 的晶，如以靜電 具4 (參閭第2圖） 形的平板狀的晶Η工 依序從晶Η夾具4側 6 ,和朝Ζ方向發生 投影曝光裝置的概略構成圖，在本 光學系统的瞜光光（水銀燈的；線 器（exciner laser)光等）IL,形 形Μ均勻的照度分佈備受照明，在 的圖形介由投影光學系统3 Μ所定 係如1/4、1/5等），被投影於半専 「晶片」）y上的所定發射領域。 光致抗蝕劑，其表面和投影光學系 合。以下，取和投影光學系铳3的 再取Μ和光軸A)(垂直的平面内與第 軸，和第1圖的紙面垂直的Υ軸來 朝X方向、Υ方向，及回轉方向微 叉線階極2的位置係依據未圖示的 被控制 方面，本例的薄圓板狀 吸附般被保持於薄圓板狀的晶片夾 上，晶Η夾具4的全體被固定於矩 作植5上。本例的晶片工作檯5係 ,貼合了作為非磁性體的陶瓷製板 一樣磁通虽的一片磁锇板8者，磁 -14- 本紙认尺度这抝十闲囚家椋次-(CNS ) Λ4規格（210Χ2?7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、裝- '1Τ 423195 ^ A7 B7 五、發明説明（13 部 屮 火 ϋ. 準 ί/； <ΐ it ii 卬 锇板8 的一 Η 而且 成的平 移動範 等防振 1 0的上 電路被 分別賦 Υ方向 元1 ], 的蓋子 用的冷 供給口 體組成 元1 1發 給裝置 由於所 外部的 度實胞 而且 成的平 部的開 糸統3 為如底面 永久磁鐵 >在晶片 板狀底面 圍全面， 機構被設 面安裝多 組裝在晶 與朝磁锇 、Ζ方向 係由非磁 構件21所 卻裝置產 2 1 a從未 之冷媒， 生的熱之 。雖然在 發生的僅 緣故，故 定位。 >在晶Η 板狀頂部 口 1 6 a 插 的鏡筒係 側係Η極上面側係S極（相反也可Μ) 工作檯5的底面側S置由 餳轉線圈10,使能覆蓋晶 底部偏轉線圈10即直接或 置於未圖示的地板上。在 數的驅動單元11,各驅動 片工作檯驅動系铳23内。 板8 (甚至晶片工作檯5 的可變推力（Μ後詳述） 性體的薄板構成而被裝設 覆蓋。蓋子構件21，也作 生功能，在蓋子構件21的 匾示的冷媒供給裝置供給 在蓋子構件21流動而吸收 冷媒，乃從排出口 21b返 本例的各驅動單元所發生 少熱量亦由蓋子構件21内 晶片工作檯5的溫度上昇 工作檯5的上面側，配置 偏轉線圈16,在頂部偏轉 入投影光學系統3的前端 由強磁體形成，投影光學 -1 5- 強磁性體所構 片工作棰5的 隔著防振橡膠 底部偏轉線圈 單元11的驅動 驅動單元11 , )的X方向、 。這些驅動單 於狹窄中空部 為驅動單元Π 中空部，介著 由溫度低的液 從多數驅動單 回到其冷媒供 的熱量少，但 的冷媒搬運到 少，得Μ高精 由強磁性體所 線圈16的中央 部。投影光學 系統3的前端 1· - —fn ^^^1 (r ^, ^^^1 ml ^^^1 ----I, ^^1 \ (誚先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙张尺度違川屮阀阄家標準（CNS ) Λ4规招 ( 2】ΟΧ 297公犛） A7 B7 五、發明説明（Μ) 部也成為頂部饒轉線圈16的一部份》 然後，底部偏轉線圈10和頂部偏轉線 藉K強磁性體所構成的支柱15AX15D ( 15A 、15B )連接，由底部僱轉線圈10 部偏轉線圈16及支柱15A 、15B等形成 也可在支柱15A〜15D裝設振動絕緣構件 髖所成的彈簧構件等）。因裝設振動絕 光學糸統3下傳輸因驅動單元11而產生 決定可動體位置時所發生的推力反力導 散。 並曰.，也形成從磁鐵板8的N極洩漏 最經過頂部偏轉線圈16而返回磁鐵板8 磁路，在本例即主Μ第2磁路在晶片工 性的浮昇力。實際上，藉由驅動單元11 吸引於底部偏轉線圈10側的推力，磁鐵 檯5 )就在Ζ方向所希望的位置，Μ浮 被支持。 本來，由於磁鐵的吸引力係Κ非線形 故因晶Η工作檯5在Ζ方向的位置控制 難，但Μ磁場解析本例的該第2磁路， 的浮昇力即使具有負面剛性，但得知非 常小。從而，易使Ζ方向的位置之所定 而且其缴應性也極其優良。 而两，在晶Η5上面的晶片夾具4的 _ 1 6 _ 本紙張尺度述州屮丨.¾阄家稃卑{ CNS ) Λ4规格（210Χ297公釐） 圈16係在四角隅 在第1圃僅出現 、磁截板8 、頂 第1關閉磁路。 (例如由強磁性 緣構件而在投影 的反力，就可將 致地板，使其消 於空間中的磁通 S搔的所諝第2 作檯5賦與經常 發生將磁鐵板δ 板8 (晶片工作 昇的狀態安定地 具有負面剛性， 雖似导被認為困 结果，其經常性 線形性的程度非 目標值安定化， 周圍3處，固定 15423195 A7 B7 五、發明説明（ A ji J 合 卬 了由合成橡膠等 f參閱第2圖） 轉線圈16側，仍 力0 然而，在晶片 固定X铀的移動 動鏡17Y ,在移 計1 8 X的激光束 聯配置兩個的瀲 激光束。激光干 〜〇*〇l/i I*程度的 18Y之變位，將 體動作的主控制 的測定值，及激 分別求出晶片工 藉Y軸的兩個激 晶片工作植5的 而介著晶片工作 作棰5底面側的 Η工作樓5 (晶 而目.，雖然並 ί頂部偏轉線圈 像等，配置了藉 像的横偏罱檢测 所構成的圓柱狀柔软觸地構件7Α〜7C ，故儘管晶片工作擡5被吸引於頂部偏 然亦可藉由觸地構件7Α〜7C鍰和其衝擊 工作Μ5的板6上面的一 X 鏡17Χ ,在+ Υ方向的端部固 動鏡17Χ和X軸平行照射來 ，在移動鏡17Υ和Υ軸平行 光干涉計18Υ1、18Υ2 (參閱 涉計 18Χ 、18Υ1、18Υ2即 Κ 分解能測定分別對應的移動 測定结果輸出於統一控制第 系統22。此時，例如從激光 光干涉計18Υ1、18Υ2的测定 作棰（晶片1ί )的X座標， 光干涉計18Υ1、1δΥ2的测定 回轉角。主控制系統2 2係依 檯驅動糸統23，藉控制由配 多數驅動單元11所發生的推 片W )的位置決定。 無圖示，但在投影光學糸統 16的一部份）在晶HW的表 來自其晶片W的反射光再成 晶HW散焦量的斜入射方式 -1 7- 本紙張.尺度述t阀國家標準（nvs ) Μ规格（210X29?公犮） 方向的端部 定Υ軸的移 自激光干涉 照射來自並 第2圈）的 如0.001//!11 鏡 1 8 X 、 1圖裝置全 干涉計18Χ 值的平均值 及Υ座標， 值差分求出 據其測定值 置於晶片工 力，實行晶 3的側面 面投影狹縫 像而從狹縫 的焦點位置 Ν— --1 裝 fΊ ^ 訂--------^^ (請先閱讀背面之注意事項再項艿本哀) A7 423 195 B7 五、發明説明（16 ) 檢測系铳，主倥制糸统22乃依據此焦點位置檢測系統的 輸出等，K自動焦點方式實施晶片V的Z方向位置及傾 斜角的控制，使晶HW的表面對準投影光學系統3的像 而。然後，當曝光時，如果结束曝光於晶片上的某發 射領域者，就介著多數驅動單元11Μ非接觸高速改變晶 將下一發射領域而移動到投影光學系統3的曝光領 域，Κ步驟及重複方式重複所諝將叉線R的圖形像投影 瞜光於其發射領域的動作，實施晶片W曝光於各發射領 域。 再者，如上述在本例的晶片工作檯5的磁鐵板8 ，藉 由配置於其底面的多數驅動單元11陚與朝X方商、Υ方 向、Ζ方向的推力。茲詳细說明有闞驅動單元11的構成 及其動作如下： 第2圖係第1圖的頂部偏轉線圈16，及蓋子構件21的 一部份缺口的斜視圖、如本第2圖所示，朝X方向及Υ 方向Μ所定的節距驵裝在多敗（本例為7行Χ7排）同 一構成的驅動單元Η ,使能覆蓋晶片工作撞5 (晶片W) 在底部偏轉線圈10内移動的全部領域。此時，在晶Η工 作檀5的底面設定驅動單元11的排列節距，俾使驅動單 元U經常被配置為合計3行Χ3排程度Μ上。各驅動單 元1 1係分別由磁心2 0 ,和對於磁鐵板8 (晶片工作檯5 ) 賦與臛於朝X方向推力用的線圈之X線圈12Α 、12Β , 和對於磁銷板8 (晶Η工作檯5 )賦與屬於朝Υ方向推 力用的線圈之Υ線圈13Α 、13Β ,和鼷於朗Ζ方向發生 本紙认尺攻迓川屮β丨句家#卒（CNS ) Λ4规格（210Χ 297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再磧寫本裔) -裝_ '1Τ 423195 A7 B7 好;Γ部中呔打^·,-?·-^-?消於合竹^印t 五、發明説明 ( 17 ) 1 磁 通 量 用 的 線 圈 之 1 線 圈 14所 構 成 〇 此 時 t 由 於 多 數 驅 動 單 元 1 1 並 不 互 相 磁 力 方 式 直 接 卜 1 連 接 的 緣 故 故 各 線 圈 的 電 感 便 被 減 少 轉 換 驅 動 電 流 請 先 時 的 響 應 性 也 良 好 〇 閱 第 3 a IBI 闢 係 表 示 由 驅 動 單 元 1 1 用 的 強 磁 性 體 ίΐ-ϊΐ 所 構 成 的 磁 背 ii | 之 心 20之 平 面 圖 > 第 3b圖 係 其 側 面 圖 ， 如 第 3 a 3b 圖所示， 注 意 1 I 磁 心 20之 剖 面 為 在 正 方 形 的 角 柱 20 a 上 部 側 面 安 裝 4 Η 事 項 1 i 再 矩 形 兼 用 m 線 筒 凸 緣 部 2 0b^ - 2 0 e 的 形 狀 〇 結 果 1 通 過 凸 填 本 ! 裝 緣 部 20b〜20e的 磁 通 量 BA t 由 於 分 別 彎 曲 通 過 角 柱 20 a 頁 、«_- 1 的 內 部 9 所 Μ 在 凸 緣 部 2 0 b 〜2 0 e 的 底 面 幾 乎 不 存 在 磁 通 1 1 最 0 | 第 4 圖 係 表 示 驅 動 單 元 11 的 分 解 斜 視 ΓΟΤ 画 9 在 設 置 於 底 1 訂 部 偏 轉 線 圈 10 上 的 狀 態 係 如 第 4 圖 所 示 t 使 凸 緣 部 20b 1 及 20 C 分 別 能 朝 -X方 向 及 .X方 向 般 決 定 磁 心 20的 位 置 0 然 而 f 在 磁 心 20Χ 方 向 的 凸 緣 部 20b 及 20 C 的 周 圍 9 亦 1 Ϊ 即 ψ 和 X 軸 平 行 的 軸 周 分 別 捲 繞 X 線 圈 1 2A 及 12B 1 在 磁 心 20Y 方 向 的 凸 緣 部 20d 及 20 e 的 周 圍 r 亦 即 « 和 Y Λ I 軸 平 行 的 軸 周 分 別 捲 繞 Y 線 圈 13A 及 13B 9 又 在 磁 心 20 1 t 的 底 部 角 柱 20 a 的 周 圍 9 亦 即 和 1 軸 平 行 的 袖 周 捲 繞 1 \| Z 線 圈 14 t 藉 Μ 構 成 一 驅 動 單 元 11 〇 其 他 的 驅 動 單 元 11 f 也 同 樣 被 構 成 ο 1 I 此 時 j 雖 對 於 X 線 圈 12 A 如 供 給 在 上 部 流 動 於 + Y方 向 1 ( 或 -Y方 向 ) 嘗 在 底 部 流 動 於 -Y方 向 ( 或 + Y方 向 ) 的 電 •丨 \ 流 IX t 但 由 於 通 過 X 線 圈 1 2A 上 部 的 磁 通 量 B A因 磁 心 20 1 1 -1 9- 1 1 1 1 本紙张尺度ii川屮1.¾阐家掠攻 ( C’NS )八4规格（2IOX297公釐） 423195 :十'· % 1ί J ;ί: Aίί 五、發明説明（IS ) 的作用而不通過底部， X方向的勞倫玆力FXA 作用朝X方向的勞倫玆 然供給如在上部流動於 動於+X方向（或-X方向 13B上部的磁通量BA不 作用朝Y方向的勞倫茲 也同樣作用朝Y方向的 而且，藉由通電於Z 板8發生可變的反彈力 X線圈12A 、 12B ，及 置於磁心2 0和底部偏轉 線圈14園住連接部全體 。因此，對於晶片工作 。假如杷Z媒圈1 4構成 ,即在磁心20形成局部 變成非常非線形，有時 吸引力作用。 茲參閱第5圖說明有 ,及驅動單元1〗的動作 B7 A7 故對於X線圈12A全體會作用朝 。對於他方的X線圈12B也同樣 力。一方面，對於Y線圈13B雖 -X方向（或+X方向），在底部流 )的電流IY,但由於通過Y線圈 通過底部，對於Y線圈13B全體 力PYB ,對於他方的Y線圈12A 勞倫茲力。 線圈14,對於磁心20上部的磁鐵 ，或吸引力。此時，Z線圈14在 Y線圈13A 、13&的下側，被配 線圈〗0的連接部份附近。由於Z ，故可對磁心20全體賦與磁通力 檯5可賦與較線形的Z方向推力 為在磁心20賦與局部性磁通力者 性磁路，Z線圈14所發生的力垦 想要使晶片工作植5浮昇也會有 關驅動單元11的驅動電路的構成 如下： 第5圖係第2圖的一部份放大圖，在第2圖中，注因 了位於晶Η工作植5底面的一個驅動單元11。此時，藉 晶Η工作檯5内的磁鐵 1〇及頂部偏轉線圈16等 板8 ,和第2圖的底部偏轉線圈 從磁羯板8對於驅動單元發 20 (誚先閲讀背面之注意事項再埴荇本頁)

本紙尺度说W十授闯家標卑（CNS ) Λ4规格（210Χ 297公釐） 4 2 3 1 95 ^ A7 B7 五、發明説明（d ) 生例如朝一 Z方向的磁通量ΒΑβ i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 而且:，對其驅動單元11連接了驅動電路31,驅動電路 31内的控制部35，就在來自主控制糸統22的命令下統一 控制各電路的動作。然後，在驅動電路31内，装設X軸 驅動電路32、Y軸驅動電銘33、及Z軸驅動電路34，X 軸驅動電路即附於所對應的驅動單元11的X線圈12A 、 12B供給在上部側朝Ϊ方向流動的電流IX，Y軸驅動電 路3 3所對於丫線圈134、138供給在上部側流動於乂方 向的電流IY, Z驅動電路34即對於Z線圈Η供給電流IZ 。結果如參閲第4圖所說明，藉流動於X線圈12Α 、12Β 中的電流IX和Ζ方向的磁通量BA, X線圈12Α 、 12Β發 生朝X方向的努倫玆力，在磁鐵板8 (晶片工作檯5 ) 作為其勞倫玆的反力全發生X方向的推力FX。 同樣地，藉流動於Υ線圏13Α 、 13Β的電流ΙΥ和Ζ方 向的磁通量ΒΑ,在Υ線圈13Α 、13Β發生朝Υ方向的勞 倫茲力，在磁鐵板8 (晶片工作撩5)作為其勞倫玆力 的反力産生朝Υ方向的推力FYo由於推力FX、FY分別和 電流IX、IY成正比，故在X軸驅動電路32及Y軸驅動電 路33因應分別從控制部35指示的推力，以控制電流IX及 IY。那些推力FX、 FY的方向（±X方向、土 Y方向）乃 分別藉所對·的電流IX、IY的方向（符號），可任意設 定為任一方向。 而且，藉由控制從Z宙驅動電路34供給於Z線圈14的 電流IX值，發生如上述貫通Z線圈14的新可變磁通量， -2 1 — 本紙張尺度適用中國國家標率（（:奶）44規格（210\ 297公釐） 423195 w A7 B7 五、發明説明（2〇 ) 藉此可變的磁通量在磁鐵板8 ,作用由磁阻力所構成而 (諳先閲讀背面之注意事項再瑣寫本頁) 朝Z方向的推力FZ。此推力FZ也可視供給於Z線圈的電 潦方向（符號）設定於+Z方向（反彈力），或-Z方向 (吸引力）中任一方向。在Z軸驅動電路34，即因應從 控制部35指示的推力FZ,控制供給於Z線圈14的電流IZ。 和第5圖的驅動電路31同一的驅動電路，分別連接於 第2圖的各驅動單元11,由這種多數驅動電路31構成了 第1圓的晶片工作檯驅動系統23。此時的晶片工作檯5 (晶片W)的X方向、Y方向的座標，及迴轉角係由激 光干涉計18X 、18Y1、18Y2的測定值求出，依據此結果 主控制糸g 2又度_對於各驅動單元11的驅動電路31内的控 制部35，給與在各部份應使晶片工作撞5變位為什麽程 度的指令，倥制部35便應此命令藉所對應的線圈使發生 所定的推力。由於在本例的晶片工作植5底面經常配置 有3行X3排程度Μ上的驅動單元Π,故藉使從那些驅 動單元11對於磁锇板8 (晶片工作檯5 )發生而朝X方 向、Υ方向、Ζ方向的推力PX、FY、FZ組合，以6自由 度（朝X方向、Υ方向、Ζ方向的變位，及X軸、Υ軸 、Ζ軸周圍的迴轉）可決定晶Μ工作棰5的位置。 並目.，在本例的晶片工作植5的板6上面的四角隅黏 貼變形規9Α〜9D,變肜規9Α〜9D介著未圖示而具有可撓 性導線連接於未_示的檢測電路，Μ此檢测電路所檢測 的板6的變形量即被供給主控制糸統22。當主控制条統 22檢測了磁餓板8甚至於板6的變形時，即控制因晶片 本紙依尺度这圯屮1¾固家標準（rNS ) Λ4规梠（2!0χ297公趋） 423195 A7 B7 經濟部屮"標枣局烏T_;fi资合作社印" 五、發明説明 ( Vf ) 1 1 X 作 檯 5 底 面 倒 的 多 數 鼷 動 早 元 11的 1 方 向 推 力 而 修 正 1. t 其 變 形 〇 1 此 外 並 非 如 上 述 那 樣 主 動 修 正 變 形 ， 而 是 在 磁 鐵 板 讀 I 先 8 的 上 面 或 底 面 黏 貼 由 因 磁 場 而 變 形 的 磁 變 材 料 所 構 成 閲 讀 * 背 的 修 正 板 * 以 主 動 方 式 修 正 其 磁 鐵 板 8 的 變 形 也 可 以 面 1 之 1 對 於 其 磁 變 材 料 而 言 可 使 用 例 如 鐵 氧 石 榴 石 % 統 ί王 意 古 1 1 ( Co F e 2 0 4等） 或稀土合金糸統 (7 0 Μ t X Tb 〜 3 G w t % F e Ψ 項 再 1 1 、 S 1 Fe 2 Tb Fe 2 Tb (C 〇 F e) 2 等） 等〇 使用這種磁變 填 寫 裝 材 料 時 ί 作 為 一 例 在 磁 鐵 板 8 因 磁 場 而 容 易 凸 出 變 形 的 頁 1 位 置 7 只 要 包 覆 磁 場 而 收 縮 的 磁 變 材 料 m 可 在 其 發 磁 1 i 體 因 磁 場 而 容 易 凹 陷 變 形 的 位 置 則 只 要 包 覆 因 磁 場 而 1 1 膨 脹 的 磁 變 材 料 即 可 0 1 .訂 玆 參 閲 第 6 圖 說 明 有 闋 使 晶 Η 工 作 檯 5 以 二 維 方 式 m 1 位 時 的 動 作 例 如 下 ： 首 先 * 使 工 作 檯 5 ( 晶 片 W ) 朝 1 y 方 向 變 位 時 > 如 第 6 a 圖 所 示 > 主 控 制 % 統 2 2對 於 晶 Η 1 I 5 底 部 的 多 數 驅 動 DO 早 元 11 A 11 Β 11 C 的 控 制 部 » 發 1 出 使 其 發 生 朝 Y 方 向 的 推 力 F Y 1 之 指 令 〇 因 m 此 指 令 而 I 從 驅 動 an 早 元 11 A 11 C 、圯丨 對 於 晶 片 工 作 檯 5 分 別 作 用 朝 Υ 1 I 方 向 的 推 力 F Y ί 該 晶 片 X 作 檯 5 便 朝 Y 方 向 變 位 〇 同 樣 1 地 * 欲 使 晶 片 工 作 檯 5 朝 X 方 向 m 位 時 ♦ 從 晶 Η 工 作 檯 5 底 部 的 多 數 驅 動 no 早 元 11 D s 11 B 11 E 對 於 晶 Η 工 作 樺 5 只 要 使 分 別 作 用 朝 X 方 向 的 推 力 FX 1 m 可 〇 1 而 且 1 如 第 6 b 圖 所 示 $ 在 晶 Μ 工 作 檯 5 ( 晶 Η V ) 發 生 迺 轉 誤 差 Θ 時 ， 從 離 自 晶 Η 工 作 檯 5 的 底 部 X 方 向 的 1 1 -2 3 - i 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（2】OX 297公釐）

Q ur A7 B7 五、發明说明（22 ) 一對驅動蚩元 及朝+Y方向的 部 ：H f A η 1 1 D -的推力 差Θ即 圖的激 Μ可在 如上 晶片工 可提高 要將驅 面就可 圓中， 部的缺 而巨 的上而 而側雙 11實可 的Ζ方 圃示） 片工作 11Ε分 -FY2 , 可。此 光千涉 關閉環 述在本 作檯5 曝光過 動單元 ,故位 晶H W 口部ί ，在本 側，並 方配置 獲得更 ,在上 向位置 ,但此 檯5間 1 1 A 、11 C 分別 推力-FY2 ,從離 別使發生朝-X方 只要轉動晶片工 時，由於晶Η工 計 1 8 Υ 1 ' 1 8 Υ 2 的 線正確修正晶Η 例，由於Μ非接 ,自可Κ高速決 程的處理能力（ 11配置於晶片工 置決定裝置不會 的更換，可透過 未圖示）進行。 例中，驅動單元 且也可Κ在晶片 驅動單元11。似 大的推力。 述實狍形態中， 用的斜人射方式 外也可在底部偏 隔用的多數空隙 使伋生 自Υ方 向的推 作檯5 作檀5 测定值 工作檯 觸驅動 定晶片 生產性 作植5 大型化 裝設於 朝-Υ方 向的一 力FX2 使其能 的迴轉 來監視 5的迴 了載置 W的位 )。而 的移動 。此外 頂部偏 向的推力FY2 對驅動單元 及朝+Χ方向 抵銷迴轉誤 角係由第2 的緣故，據 轉角。 有晶片W的 置。從而， 且，由於只 範圍大約全 ,如在第1 轉線圈16端 11可配置於晶片工作植5 工作檯5的上面側，及底 此，在兩側配置驅動單元 雖裝設了測定晶片W表面 的焦點位置檢測系統（未 轉線圈10側裝設測定和晶 感測器。 茲參閱第7 _〜第9圖說明有關本發明第2賁腌肜態 -24 本紙张尺度述;丨]屮丨.¾¾家桴牟（CNS ) Λ4規輅（2IOX297公釐） --„---r--^ ---Γ!------^ *裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填fiT本頁) 4 2 3 彳 95 A7 B7 五、發明説明（23 如下： 第7圖 同一符

:1 |! 、T

i; A 消 合 η 卬

第7 的剖面 偏轉線 方向以 儒轉線 驅動單 8 ) 〇 在本 的磁锇 構成第 通最經 主Μ第 側的浮 3行X 備著分 ^ 27Β 與朝Ζ 第8 ,第8 向平行 的逆U 本例係使 〜第9圖 號而省略 圖係表示 圖，在第 圈10上固 所定節距 圈1 0上被 元60上並 例也形成 板8 、頂 1磁路， 由頂部偏 2磁路在 昇力。而 3排程度 別對於磁 ，陚與朝 方向推力 圖係表？κ 圖中，在 的逆U字 字型磁心 用和第1實施形態不同的驅動單元，在 中就對應第1圖及第2圖的部份即附加 其詳细說明。 本例的投影暍光裝置的晶片階極側要部 7圖中，介著支柱15C 、15D等在底部 定了頂部偏轉線圈16,朝X方向，及Y 配置了多數驅動單元60,使其能在底部 覆晶片工作檯5的移動面全面，在多數 配置了晶片工作檯5 (底部成為磁鐵板 了由底 部偏轉 及從磁 轉線圈 晶片工 且，在 的驅動 鐵板8 Y方向 的Z線 分解第 底部偏 型磁心 26A及 部偏轉線圈 線圈16、及 鐵板8的底 16返回至磁 作檯5作用 晶片工作檯 翬元60。然 賦與朝X方 推力的Y線 圈29。 7圖中的一 1 0、晶片工作權5內 支柱15C 、 15D等所 面洩漏於空間中的磁 鐵板8的第2磁路， 了朝頂部偏轉線圏16 5的底面經常配置了 而，驅動單元60也具 向推力的X線圈27A 圈28A 、 28B ，及賦 個驅動單元60的狀態 ,傾斜設置了和X方 ,設置和Y方向平行 26B ;使其與上述磁心交叉。然

轉線圈10上 25A 及 25B -25 本紙if(尺度闽家椋羋（CNS ) Λ4^格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- '-° 泉 4 2 1. A7 B7 五、發明説明（24 ) 後，如二點虛線所示，在磁心25A 、25B的上部和X軸

平行的軸周捲繞X線圈27A 、27B ，在磁心26A 、26B 的上部和Y軸平行的軸周捲嬈Y線圈28A 、28B ,又如 實線所示，由於如同圍住上逑線圈般在和Z軸平行的軸 周捲繞Z線圈29, Μ構成驅動翬元60。 在本例中，例如從磁心25Α上部進入的磁通量ΒΑ,由 於Μ逆U字型的路徑朝底部偏轉線圈10的緣故，故在X 線圈27Α的底部幾乎不存在磁通量。從而，若對於X線 圈27Α在上部供給朝Υ方向的電潦IX者，即由電流IX及 磁通最ΒΑ在X線圈27Α合作朝X方向的勞倫玆力FXA 。 他方的X線圈27Β也相同。一方商，在Υ線圈28Α、28Β 側藉由供給朝X方向的電流就作用朗Υ方向的勞倫茲力 。並目.，在本例如磁心2 5 A ,因X線圏2 7 Α而產生的磁 通最係如路徑30所示，形成由磁心25A及底部偏轉線圈 10所構成的翮閉磁路，由於對其他的磁心25B 、26B不 會影響所Μ故提高朝X方向、及Y方向的推力控制精度。 其次，如果參閱第9圃說明本例的驅動單元60的動作 ,即在第9圖中，對於驅動單元60的驅動電路而言，可 使用第丨宵施形態的第5画的驅動電路31。然而，藉流 通於X線圈27Α 、27Β的電流IX和Ζ方向的磁通量ΒΑ， 朝X方向發生勞倫茲力，在磁鐵板S (晶Η工作檯5 ) 作為是反力發生朝X方向的推力FX。同樣地，藉流通於 Υ線圈28Α 、28Β的電流ΙΥ和Ζ方向的磁通量ΒΑ,朝Υ 方向發生勞倫玆力，在磁锇板8發生作為其反力朝Υ方 不紙张尺度丨！屮Ν阀家標卒（CNS ) Λ4规辂（210Χ 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --：---：---1：--ί-------f..裝. A7 B7 •ν·. W· -火 ί' _τ f A， 印 丸： 五、發明説明 (2 5 ) 1 1 向 的 推 力 FY 〇 而 且 » 藉 由 控 制 供 給 於 Ζ 線 圈 29的 電 流 11 值 ♦ 發 生 貫 通 Z 線 圈 29的 新 可 變 磁 通 量 依 此 可 變 的 磁 1 1 通 遒 ’ 在 磁 m 板 8 作 用 由 磁 阻 力 所 構 成 而 朝 Ζ 方 向 的 推 請 先 力 FZ ( 反 彈 力 > 或 吸 引 力 ) 〇 所 Μ » 因 組 合 多 數 驅 動 單 閱 讀 I 元 60使 用 t 而 和 第 1 實 施 形 態 相 同 得 6 白 由 度 驅 動 晶 背 面 1 | 之 W 1 片 Τ. 作 撞 5 0 注 意 1 I SL 3 實 胞 形 铕 事 項 1 I 再 Η 參 閱 第 1 4圖 第 17 圖 說 明 有 闞 本 發 明 的 第 3 實 施 形 填 寫 本 裝 態 » 及 此 變 形 例 如 下 本 例 也 是 使 用 和 上 述 實 施 形 態 不 I 1 同 的 驅 動 蚩 元 > 在 第 1 4 第 17圖 就 對 應 第 7 圖 第 9 圖 1 1 的 部 份 附 加 同 符 虢 赘 其 詳 细 說 明 即 予 從 略 Ο 1 | 第 1 4 鬮 係 表 示 本 例 的 投 影 曝 光 裝 置 的 晶 Η 階 極 側 要 部 1 訂 的 剖 而 Γ^Τ 麵 i 第 1 4 reft 圖 中 i 在 底 部 偏 rnV 轉 線 圈 10和 未 圖 示 的 頂 1 部 偏 轉 線 圈 16 ( 參 閲 第 7 圄 ) 間 的 磁 路 中 能 使 晶 片 工 作 I 植 5 若 干 浮 昇 般 加 以 配 置 ) 在 底 部 偏 轉 線 圈 1 0的 上 面 朝 1 I 向 X 方 向 * 及 Y 方 向 能 覆 蓋 晶 片 工 作 m 5 的 全 移 抑· 動 面 般 1 Μ 所 定 的 節 距 交 替 配 置 了 兩 種 驅 動 單 元 70X 飞 70Y Ο X 々 I 軸 的 胆 ϊ?β 動 單 元 70X 在 晶 Η 工 作 m 5 内 的 磁 鐵 板 8 1 賦 與 1 1 朝 Ζ 方 向 及 X 方 向 的 可 變 推 力 > Υ 軸 的 驅 動 單 元 70Y 乃 1 將 其 驅 動 m 元 70X m 轉 90 〇 而 被 配 置 > 對 磁 ΑΗ\ m 板 8 ( 甚 1 ί 至 於 晶 Η 5 ) 賦 與 朝 Z 方 向 及 Y 方 向 的 可 變 推 力 0 在 晶 t 1 Η 工 作 植 5 的 底 面 經 常 配 置 了 3 行 X 3 排 程 度 的 驅 動 單 1 元 70Χ 70 Y » 藉 瑄 些 在 晶 Η 工 作 檯 5 ( 磁 鐵 板 8 ) 的 i 整 體 上 會 作 用 6 白 由 度 的 可 變 推 力 〇 1 1 -27- 1 1 1 本紙张尺度吒⑴中囤阁家標卑（CNS ) Μ規格（21 OX 297公釐） 423 195 A7 B7 五、發明説明（ 26 然而， 定了兩個 ，亦即， 與作為此 的水平線 的軸周所 元70X的 水平線圈 第15_ 圈73的狀 ，係在較 的周圃捲 上平坦， 部73b縮 一方的驅動單 腳部的同時， 由逆U字型的 捲線茼的磁心 圈73 ,及和磁 捲繞的兩個Z 水平線圈73相 7 3即相當於Y 係表示從驅動 態，在第1 5圖 磁心7 1的虛線 繞線圈者。然 擁有較諸磁心 進線圈，構成 元70X乃在 並由對於磁 強磁性體構 7 1上部的X 心7 1的兩個 線圈72A 、 當於X線圈 線圈。 單元70X 、 中，驅動單 上面插通上 而，水平線 的上部71a 為下部7 3能 71c之間

I /，、ii 此一場合，作為一例，由3個另 成磁心71的腳部71b 、71c及上部 相同剖面積的板狀構件預先捲繞水 插通於水平線圈73的開口部73c Μ 栓將分別捲缡Ζ嫦阇72Α 、72Β的 於上部7 1 a的兩端部，就可組裝驅 右交替地將L字型的強磁性體的薄 開口部73c以後，Μ便在左右的空 磁性髖的薄板，也可Μ組裝驅動單 -28- 底部偏轉線圈10上固 鐵板8凸出的弧形狀 成的磁心7 1 ,和大約 軸平行的軸周所捲繞 腳部構成的Ζ袖平行 72Β所構成。驅動單 ，而驅動單元70Υ的 70Υ分別分離水平線 元70Χ的水平線圈73 部7 1 a的開口部7 3 c 圈73的上部73a大致 更寬的面積，在其下 通過磁心71的腳部71b 體的板狀構件形成構 71a ,使用和上部71a 平線圈73 ,使上部71a 後，藉從底面側以螺 腳部71c 、 71b固定 動單元70X 。或從左 板插入水平線圈73的 隙部裝設I字型的強 元7 0 X 。他方的驅動 --[Γ J--.---f ' 装--- (請先閲讀背面之注意事項再填KT本頁)

、1T 本紙认尺政追;丨丨十闽阁家椋卑（CNS ) Λ4规格（210X29"7公犛） 0· 423195 A7 B7 五、發明説明（27 ' rt ίΤ·； 部

j ί/i A 留元70Y也相間。 在第15鬭，磁心71的腳部71b 直接連接於底部餳轉媒圈，但腳 有以磁力直接連接。這是因為減 7 3的電感，而使能提高推力的響 而且，第14圖中，在驅動單元 線圈）的上面部，包含磁鐵板8 線圈10的磁路中的磁通量BA,僳 -Z方向），如果使+ Y方向的電流 ,B卩在水平線圈73發生朝-X方向 作檯5 (磁鐵板8)發生作為其 。因抟制其電流IX的方向及大小 作植5的推力F X的方向及大小。 動單元70Y的水平線圈73 (Y線 ，就可對於晶Η工作楢5發生朝 由於磁通最密度在水平線圈73的 水平線圈7 3的下部73b (參閱第 逆向的勞倫Η力。因為，從磁鐵 龎於強磁性體的磁心71，流動於 而S. , Z線圈72A 、72B在水 置於磁心71和底部偏轉線圈10的 圈72A 、72B實質上包圍其連接 單元70X的Z線圈72A 、72B流 ，可對於磁心73的全體陚與磁通 、71c雖然K 部 71b 、 71c 少各線圈72A 應性所致。 70X的水平線 、磁心7 1、及 朝Z方向（在 IX流動於水平 的勞倫茲力， 反作用的+X方 ，而可控制對 同樣地，因控 圈）的朝X方 Y方向的可變 上部7 3 a Μ外 15圖）幾乎不 板8出來的磁 底部偏轉線圈 平媒圈73的下 連接部附近。 部全體，故藉 通Ζ軸周圍的 勢。因此，可 磁力分別 互相卻沒 ^ 72Β - 圈 73 ( X 底部偏轉 第14画為 線圈73者 在晶片工 向推力FX 於晶片工 制供給驅 向電流I Υ 推力FY。 小，如在 會發生朗 通量經過 10使然。 側，被配 由於Ζ線 由在驅動 電流ΙΖ1 對於晶片 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 ，訂 :一 -29- 423195 A7 B7 五、發明说明（28 λ,ii U' T：作棰5 (磁锇板8 並Η.,因控制流通於 、72Β的電流ΙΖ2 Μ 推力ΡΖ2 ，就可實陁 此外，在本例如果 的水平線圈73時，即 則發生貫通;由磁心71及 通最，恐怕對於晶片 ih這種推力ΡΧ的降低 於電流IZ1 ,而且互 其磁通最的磁通最即 X方向的推力FX (就 在此，參間第16圖 平線圈73流通以逆向 的驅動單元的變形例 第〗6阃係表示分解 的狀態，第1 6圖中， 厚平板狀強磁性體構 夾持磁心75的上部般 7 3c )周的一對水平 7 3 e係分別將第1 4圖 對稱二等分時的-X方 然而，因裝設在Z軸 其如同園住磁心75及 )賦與較 他方的驅 控制對於 晶片工作 想要將電 發生欲朝 底部偏轉 工作檯5 ,只要使 相Μ逆向 可。因此 FY也相同 、第〗7圖 電流的電 線形的 動單元 晶片工 檯5調 流IX流 逆向流 線圈構 的推力 乙線圈 流通電 ,可將 )控制 說明有 通勢之 乙方向 70Υ的 作檯5 整水平 通於驅 通電流 成闞閉 ΡΧ會變 72Α ' 流使能 於晶Η 為所需 闞為減 上述第 推力FZ1 。 Ζ線圈72Α 的朗Ζ方向 〇 動單元70 X 的電動勢， 磁路内的磁 小。若為防 7 2Β能重畳 發生為抵銷 工作棰5朝 數值。 小欲對於水 3實拖形態 此變形例的一個X軸驅動單元74Χ 在底部偏轉線圈10上固定由矩形的 成的磁心75,裝設了如同Μ)(方向 分別捲繞於和X軸平行的軸（開口 線圈73d 、73e 。水平線圏73d及 的水平線圈73與ZY平面平行的面Μ 向，及+Χ方向的一半線圈等效者。 周圍捲成矩形框狀的Ζ線圈76,使 水平線圈73d 、73e般，構成了驅 — 30 — 本紙张尺度迖圯屮1¾¾¾:拣卑（CNS ) A4ML格（2]0X297公釐） (誚先閲讀背面之注意事項再"寫本頁) ----f r 裝. -訂 423195 A7 B7 部 t

-A if

J f; 五、發明説明 ( 29 ) 1 動 單 元 74X 〇 [ 1 第 1 7國 係 表 示 在 第 16圖 的 驅 動 單 元 74X 的 上 面 定 位 晶 1 Η X 作 植 5 的 吠 態 沿 A A線 的 剖 ΓΤ.ιΐ 面 rat 圆 在 第 17圖 中 * 藉 包 諳 1 先 含 晶 片 工 作 檯 5 的 磁 截 板 8 \ 磁 心 75 、 及 底 部 偏 轉 線 圈 閱 讀 • 1 · 上 的 i 10的 磁 路 磁 通 量 BA朝 Z 方 向 通 過 磁 心 75的 面 水 平 I 之 1 線 圈 73d 、 73 e 〇 從 而 f 藉 由 朝 Y 方 向 將 電 流 1X1 流 通 意 1 r 事 1 於 水 平 線 圈 73d 73 e ( 參 閱 第 1 6圖 ) » 在 磁 m 板 8 項 再 1 ( 晶 片 X 作 擡 5 ) 即 發 生 水 平 線 圈 73 d 73 e 所 發 生 作 4 本 装 I 為 勞 倫 玆 力 的 反 作 用 朝 X 方 向 的 可 變 推 力 FX 0 而 且 t 藉 頁 1 1 由 在 Z 線 圈 76流 通 和 Z 軸 平 行 的 蚰 周 的 電 流 11 貫 通 磁 t 1 心 75全 體 的 磁 通 量 就 化 t 而 發 生 對 於 磁 鐵 板 8 ( 晶 片 1 i 工 作 m 5 ) 大 致 上 變 成 線 形 的 可 變 朝 Z 方 向 的 推 力 FZ 〇 1 訂 在 本 變 形 例 中 ► 將 電 流 1X1 供 給 水 平 線 圈 73d \ 73 e 1 時 » 由 於 在 磁 心 75不 發 生 抵 銷 其 電 流 1X1 的 方 向 電 通 勢 1 1 ( 磁 通 畢 ) 9 故 在 Z m SWIC 圈 76 只 供 給 對 應 朝 Ζ 方 向 推 力 FZ 1 | 的 電 流 即 可 〇 而 a » 消 除 磁 心 76的 飽 和 情 事 0 1 第 宵 确 形 態 | 玆 參 閱 第 10 圖 及 第 11 圖 說 明 有 關 本 發 明 的 第 4 實 施 形 1 1 態 如 下 t 例 如 在 第 1 面 圖 及 第 2 圖 所 示 的 實 施 形 態 » 晶 片 1 1 y 為 移 動 磁 通 虽 中 » 其 位 置 決 定 裝 置 使 用 載 電 顆 粒 線 轉 1 錄 屏 m m 形 的 暘 光 裝 置 y 例 如 具 有 不 易 週 用 於 電 子 線 轉 1 1 錄 裝 置 的 傾 向 〇 於 是 在 本 例 表 示 也 可 用 於 電 子 線 轉 錄 裝 1 置 等 的 位 置 決 定 裝 置 例 > 使 得 m 阳 片 不 通 過 磁 通 量 中 亦 仍 '1 I 可 解 決 〇 1 I -31- 1 I 1 1 本紙张尺度』U丨]十內闽家標枣（CNS ) Λ4规格（2】0>〇97公釐） A7 B7 • 部 r|] 人'} ίϊ 印 五、發明説明（30 ) 第10圖係表示 中，未圖示的屏 H W上。對於投 光的紫外線光下 ,也可使用在電 學系統等。Κ下 ,作為X袖，及 標系統。 此時，晶片W 4 2被固定於試料 於细長非磁性體 44的+Χ方向的端 固定了分別朝Ζ 板 45Α ,及 45Β Ν搔而上面為S 的底而側配置由 阇板4 6的兩端部 如同在上下夾持 然而，在+ )(方 ，朝X方向、Υ ，使能如同覆蓋 磁娥板45Β和偏 所定的節距配置 板45 Β的移動範 本例的投影曝光裝置的要部，在第10圖 蔽圖形介由投影光學系統41被轉錄到晶 影光學糸統41而言，除在如激元激光器 投影圖形像的光學式投影光學系統之外 子線下轉錄屏蔽圖形縮小像等的電子光 ，朝投影光學系統41的光軸方向取Ζ軸 Υ軸來說明和Ζ軸垂直的面内之正交座 被吸附保持於晶片夾 台43上，試料台43大 的可動板44的中央部 部44a ，及-X方向的 方向發生一樣磁通量 。磁鐵板45A 、45B 極的一片永久磁鐵。 強磁性體構成偏轉線 46a及46b即分別形 可動板44兩端部的磁 向側的磁鐵板45A和 方向Μ所定節距配置 磁锇板45 Α的移動範 轉線圈板46之間，朗 多數驅動單元11Y , 圍。+ X方尚側的驅動 -32- 具4 2上，晶 致上沿X軸 。然後，在 端部44b的 的矩形板狀 係分別例如 而且，在可 圈板46，此 成為□字型 鐵板45 A及 偏轉線圈板 多數驅動單 圍，在-X方 X方向、Y 使能如同覆 單元1 1 ,係 片夾具 被固定 可動板 底面， 的磁鐵 底面為 動板44 偏轉線 ,使能 45B - 46之間 兀1 1 向側的 方向Μ 蓋磁鐵 和第5 JI, ..... I*.— - J- - - -I -扣^-Ϊ -1 - ---I -- \1τ-^ -I -I _ ___ (請先閲讀背面之注意事項再填荇本頁) 423 1^5 1 A7 Β7 ίϊ 乂，、 ί'ί 卬 五、發明説明 (31 ) 1 _ 所 示 的 第 1 實 施 形 態 之 驅 動 單 元 1 1 同 一 構 成 * 在 第 10 闢 中 對 於 + X方 向 側 的 磁 iUb 銀 板 45 A ， 在 偏 ΠΠΙ 轉 線 圈 板 46中 1 附 加 浮 昇 力 » 同 時 在 磁 鐵 板 45A 作 用 了 從 多 數 驅 動 單 元 丨 先 1 1 1 朝 X 方 向 的 推 力 f XI 朝 Y 方 向 的 推 力 f Υ1 ， 及 朝 Z 閱 讀 方 向 的 推 力 fZl 〇 藉 Μ 控 制 這 些 推 力 > 非 接 觸 朝 X 方 背 I 之 向 % Y 方 向 1 方 向 決 定 磁 m 板 45 A 甚 至 可 動 板 44的 注 意 1 I + X方 向 側 端 部 44 a 的 位 置 0 項 1 I 再 Kr __► 方 而 > -X方 向 側 的 驅 動 單 元 11 Y 即 第 1 實 施 形 態 的 填 本 i 裝 驅 動 單 元 1 1 不 同 * 為 只 發 生 朝 Y 方 向 » 及 Z 方 向 推 力 的 頁 i I m 動 單 兀 〇 1 1 第 11 阔 係 表 示 第 1 0 圖 的 -X方 向 側 的 磁 鐵 板 45B 的 底 面 1 1 狀 態 > 第 11 圖 中 在 磁 鐵 板 45B 的 底 面 側 經 常 容 納 有 例 訂 如 3 行 X 3 排 程 度 的 驅 動 單 元 11 Y 〇 然 而 > — 涸 驅 動 單 1 元 11 Y ， 對 於 第 4 fgT 圈 所 示 的 磁 心 20 只 在 Y 方 向 的 一 對 1 I 凸 緣 部 ( 第 4 圖 的 20d 20e ) 捲 m Y 線 圈 13A 1 3B 的 1 1 1 同 時 S 捲 m Z 線 圈 14M 構 成 如 同 圍 住 磁 心 20的 底 部 0 例 1 如 Ϊ 若 對 Y 線 圈 13B 供 給 朝 X 方 向 的 實 施 形 態 I Y者 t 藉 Λ 1 從 磁 心 20 的 匕 而 進 入 Μ 凸 緣 部 彎 進 内 側 的 磁 通 量 BA 9 在 1 1 Y 線 m 1 3Β 作 用 朝 Y 方 向 的 勞 倫 U 力 FYB ， 同 樣 地 在 他 ί 1 方 的 Y 線 圈 13 A 也 作 用 朝 Y 方 向 的 勞 倫 Η 力 t 作 為 這 jtb I 反 作 用 在 上 部 的 磁 鐵 板 45B 發 生 朝 Y 方 向 的 推 力 〇 而 且 ! I t 藉 將 電 潦 供 給 Z 線 圈 而 在 其 上 方 的 磁 鐵 板 45B 發 生 朝 1 1 1 方 向 的 推 力 0 結 果 % 驅 動 單 元 1 1 Y * 以 非 接 觸 對 於 其 I h 的 磁 鐵 板 45B 可 賦 與 朝 Y 方 向 t 及 Z 方 向 的 可 變 推 力0 I -33 - 1 1 ί 1 本紙張尺度丨]十㈨闽家柢卑（CNS ) /\4現格（210Χ297公釐） A7 B7 五、發明説明（3 2 A ;ΐ· 部 1 f- Aii 卬 回到 板46中 動翬元 。藉以 磁餓板 似此使 行的軸 45 B的 推力， 傾斜角 固定於 在此 字塑偏 央部， 定部也 在本例 45 A ' 置於磁 實确形 線圈， 但除此 動單元 及Y線 第10圖，於 賦與浮昇力 11 Y朝Y方 控制瑄些推 4 5 B甚至可 端部44b朝 周迴轉可動 底面3個Μ 就可控制可 ,及Υ袖周 可動板44的 一場合，由 轉線圈板的 亦即，晶Η 可做電子線 中，也可將 45Β的上面 鐵板45 A 、 態在驅動單 雖在驅動里 之外，裝設 R具有Z線 圈，而剩下 -X方向側的磁 ，同時在磁鐵 向的推力f Y2 力，K非接觸 動板44的-X方 Y方向變位者 板44。並且， 上的驅動單元 動板44的Z方 園的傾斜角， 試料台43上的 於本例的偏轉 構造，故磁通 W側變成極少 轉錄装置等的 驅動單元11、 側，並且也可 45B的上面及 元1 1裝設磁心 元11 Y裝設磁 如四個驅動單 圈，一個驅動 的一個即只具 -34- 锁板45B乃在偏轉線圈 板45B作用了從多數驅 及朝Z方向的推力fZ2 朝Y方向、Z方向決定 向側端部44b的位置。 ,乃意味著在和Z軸平 藉K控制磁鐵板45A 、 11、11Y的朝Z方向的 向的位置，Z軸周圍的 结果得M6自由度決定 晶片W位置。 線圈板46為連結左右n 量洩漏於可動板44的中 。從而，本例的位置決 晶片階極使用。此外， 1 1 Y分別配置於磁鐵板 將驅動單元11、11Y配 底面的兩側。而且，本 、X線圏、Y線圈及Z 心、Y線圈及Z線圈， 元而只將其中的兩個驅 單元只具磁心，X線圈 磁心及Y線圈也可K。 本紙仔-尺片家栋牟（t'NS ) Λ4规格（210>< 297公舞） (請先閲讀背面之注意事項再硪寫本頁) 丨裝- 訂 4 23 195 A7 B7 五、發明説明（W ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 玆參閲第12圏説明有關本發明的第5實施形態如下： 本例也對於作為位置決定對象物的晶片W不會作用磁通 量，也可適用於載電顆粒線轉錄裝置的位置決定裝置例 ，對於在第12圖對鼴第10圖的部份附加同一符號而省略 其詳細說明》

第12圖傺表示本例的投影曝光装置的要部，在第12圖 中，未画示的屛蔽圖形乃介由投影光學条統41轉錄於晶 HW上。晶片W被吸附保持於晶Η夾具4 2上，晶片夾具 4 2大致上沿X軸固定於細長非磁性體的可動板47的-X方 向的端部47b上。在載置晶HW的端部47b的底面以所 定的間隔，配置隨時可載置其端部47b的基極5U 然後，在可動板4 7的+ X方向的端部4 7 a的底面，固定 朝Z方向發生一樣磁通量的矩形板狀的磁鐵板45。磁鐵 板45偽如底面為N極上面為S極的一片永久磁鐵。而且 ，配置了連接底部徧轉線圈50四角隅的支柱49A〜49D (在第12圖只出現49A〜49C),及頂部偏轉線圈48而成 的偏轉線圈構件，使得不僅僅以上下夾持可動板47端部 的磁鐵板45，且能覆蓋磁鐵板45的移動範圍全面。然後 ，在磁鐵板45的底部對於底部镐轉線圈50的上面朝X方向， Y方向以所定節距配置了多數驅動單元1U驅動單元11 僳和第5圖所示第1實施形態的驅動單元11相同構成， 在第12圖中，對於磁鐵板45，在偏轉線圈構件中賦與浮 昇力的同時，對於磁鐵板45,可賦與從多數的驅動單元 11朝X方向的推力fX,朝Y方向的推力fY,朝Z方向的 -3 5- 本紙張尺度適用中國國家標率（rNS ) Λ4規格（2i〇XM7公釐） 4 2 3 19 5 A7 Β7 消 入、 Η 五、發明説明 (34 ) 1 推 力 f Z r 朝 Z 軸 周 圍 θ 方 向 的 轉 矩 > X 袖 周 圍 ixi 的 轉 矩 ， 1 及 Y 軸 周 園 轉 矩 〇 藉 由 控 制 這 些 推 力 或 轉 矩 懸 垂 1 1 (0 V € r h a η g ) 方 式 6 自 由 度 決 定 磁 鐵 板 45 , 甚 至 可 動 板 47 '—*«. 請 先 端 部 上 的 晶 Η V 的 位 置 0 閱 讀 1 在 本 例 中 » 位 於 磁 通 鼉 中 者 只 有 可 動 板 47的 + X方 向 的 背 | 之 Μ 彌 部 47 a * 由 於 對 晶 Η V 幾 乎 不 會 有 磁 通 量 的 作 用 f 故 ί 1 I 可 將 此 位 置 決 定 裝 置 用 於 電 子 線 轉 錄 裝 置 等 晶 片 階 極 Ο 事 項 1 I 再 此 外 » 在 Κ 上 的 實 施 形 態 其 磁 A**. 鐵 板 8 雖 是 單 掻 的 構 造 本 裝 r 但 即 使 為 多 極 的 構 造 亦 可 同 樣 決 定 工 作 檯 的 位 置 〇 頁 、 1 I 第 1 3圖 係 表 示 多 極 化 的 磁 A±h 撖 板 8A 例 的 平 面 圖 9 在 第 1 i 1 3 圖 中 * 如 Μ 虛 線 在 磁 鐵 板 8 A的 底 面 側 所 示 朝 X 方 向 * ί I Y 方 向 Μ 所 定 節 距 配 置 了 多 數 驅 動 單 元 11 ( 和 第 2 圖 所 1 訂 示 者 相 同 ) 〇 磁 鐵 板 8 Α係 以 4 行 X 4 排 排 列 矩 形 板 狀 的 1 小 磁 AM· 锁 板 t 而 自. 那 小 磁 鐵 板 的 極 性 係 X 方 向 Y 方 向 1 1 I 俱 為 交 反 轉 著 〇 而 且 t 對 於 個 驅 動 單 元 11 配 置 磁 鐵 1 1 板 8 A内 的 2 行 X 2 排 ( 第 4 圖 ) 的 小 磁 鐵 板 ( 極 性 係 同 1 α 一 的 對 角 線 上 者 互 相 相 同 t 且 交 叉 的 對 角 線 上 者 * 其 極 I 件 即 異 ) j 在 X 線 圈 1 2底 面 當 N 極 ( S 極 ) 的 磁 鐵 板 1 i 相 對 向 時 > 在 Υ 線 圈 1 3底 面 其 S 極 ( 或 N 掻 ) 的 磁 A*h m 板 1 即 對 向 著 〇 從 而 * π 反 轉 流 通 於 X 線 roci 圃 12 i 或 Y 線 圈 13 1 I 的 電 流 m 性 9 就 和 上 述 實 施 形 態 相 同 可 驅 動 磁 鐵 板 8A Ο Γ 1 而 Η 9 在 第 13 蹰 中 > 雖 然 X 線 圈 12 Y m 圈 13的 . 部 I 份 捲 掛 於 極 性 不 同 的 磁 A*f\ 锁 板 » 但 由 於 此 部 份 係 線 圈 朝 1 i I 方 向 彎 曲 的 部 份 f 故 對 於 X 方 向 » Y 方 向 的 推 力 沒 有 多 1 -36- 1 1 i 1 本紙认Λ度这州屮内囚家牡卑（CNS ) Λ4规格（2Ι0Χ 297公尨） 423195 A7 B7 五、發明説明（35 ) 大墉幫助 因應磁鐵 ，所Μ控 第R官搁 。此外， 板8 Α的位 制注注會 形辋 像瑄樣使用多極的磁鐵板8A時，由於 置而必須決定電流應流通那一個線圈 容易變成複雜。 玆參閱第1 8圓 態如下： 第18圖〜 同一符號 第18圖 作檯5上 為高透磁 發牛一樣 本例係使 第22圖中 而省略其 係表示本 ，從晶片 率材料而 磁通量的 if-

A A 卬 薄板78。而a ,磁 的薄板7 8厚。這是 + Z方向使能發生相 使然。而且，薄板 5 (磁鐵板8 )推 亦即，在晶Η工 的磁心（辨心）構 驅動窜元80。各驅 辨板8 (晶片工作 、81 Β ,對於磁鐵 力用的Υ線圈82Α 線圈83所構成，各 第22圖說明有闞本發明 用和第1實施形態不同 就對應第1圖及第2圖 詳细說明。 例投影暍光裝置的概略 夾具4側依序貼合了陶 由強磁性體構成的薄板 一 Η磁鐵板8 ,及由強 鐵板8上面的薄板77被 因為如同後述，對於晶 當於其本身重量的經常 77、78也扮演著加強對 力的角色。 作檯5的底面側配置由 成的磁心板7 9 ,在磁心 動單元80係分別由：一 植5 )賦與X方向推力 板8 (晶片工作檯5 ) 、82β;和朝Ζ方向發 驅動單元80的驅動電路 -37- 的第6實拖形 的驅動單元，在 的部份即附加 構成圖，在工 瓷製板6 ,作 77 ,朝Ζ方向 磁性體構成的 彤成為較底面 片工作檯5朝 性磁力浮昇力 於晶片工作檯 作為多數磁心 板79安裝多數 磁心；對於磁 用的X線圈81 A 賦與Y方向推 生磁通量的Z 被組裝在晶片 (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- .訂 本紙认尺政述；!]屮Η阁家行:卑（rNS ) Λ4规格（2IOX 297公趦） A7 B7 五、發明説明（ 36 n1 \\ A, τ作植驅動系统23内。 然而，在四角隅藉以強磁性體所構成 (在第1圖出現15Α、15Β)連接磁心板 圈1β，由磁心板79、磁鐵板8 、頂部偏 杵15Α 、15Β等形成關閉的磁路。而且 t而的強磁性薄板77的比底面的強磁性 故。故在驅動單元80竑不動作的狀態， ί晶Η工作檯5 )在磁心板7 9和頂部偏 作用菁被吸附到頂部偏轉線圈16側方向 t藉由發生由驅動單元δ0將磁鐵板8吸 的推力，磁鐵板8 (晶片工作檯5)便 位置浮昇的狀態安定地被支持。 而目，在磁心板79的底面側設置了介 由非磁件賴構成的基板85，在基板20上 裝置於多數驅動單元80的底面側ΜΖ字 2]。在冷卻管21的人口 21a ,從未圖示 供給由溫度低的液體所姐成的冷媒，流 吸收從多數驅動單元80所發生的熱量之 21b回到其冷媒供給裝置。在本例亦因 最都被冷卻管2 1搬運到外部，故晶片工 昇少得Μ高精度實胞位置決定。 而Μ ,在本例中，主控制系統2 2依撺 、：I 8 Υ 1、1 8 Υ 2及藉分別對應移動鏡1 8 X 作權5 (晶HW)的X座標，及Υ座插 一 3 8 _ 的支柱15Α〜UD 7 9和頂部偏轉線 轉線圈1 6、及支 ，由於磁鐵板δ 薄板78較厚的緣 對於磁鐵板8 轉線圈16之前， 的浮昇力。實際 引到磁心板79側 以Ζ方向的所霜 著支柱84Α 、84Β 配置了作為冷卻 形配設的冷卻管 的冷媒供給裝置 通冷卻管21内而 冷媒，即從出口 所發生的微小熱 作檯5的溫度上 激光干涉計18Χ 、：18Υ的晶片工 以及回轉角等的 (讀先閱讀背面之注意事項再填巧本頁) -裝· '1Τ Λ 423195 A7 Β7 又:j ]ί

A ΐί 卬 五、發明説明 ( 37 ) i 測 定 情 而 介 由 晶 Η 工 作 檯 驅 動 系 統 23 藉 控 制 被 配 置 於 .丨 I 晶 Η 工· 作 檯 5 的 底 面 側 之 多 數 驅 動 單 元 80所 發 生 的 推 力 ! > 實 拖 晶 Η 工 作 m 5 ( 晶 片 W ) 的 位 置 決 定 〇 讀 先 1 惟 如 上 述 在 本 例 的 晶 片 X 作 檯 5 的 磁 鐵 板 8 » 由 其 閱 讀 i 底 而 的 多 數 驅 動 單 元 80賦 與 X 方 向 、 Y 方 向 Ζ 方 向 的 背 面 I 之 \ 推 力 0 茲 詳 细 說 明 有 m 驅 動 單 元 80的 構 成 及 其 ?ct. 動 作 如 注 意 1 Ψ 1 下 ; 項 | 再 第 1 9 fgl 闊 係 第 18 圖 的 頂 部 偏 轉 m 圈 16的 —* 部 份 缺 □ 的 斜 填 本 裝 視 画 卡 如 此 第 19 固 圖 所 示 > 朝 X 方 向 及 Y 方 向 K 所 定 節 距 頁 1 I 組 裝 了 多 數 ( 在 本 例 係 以 5 行 X 5 排 ) 同 一 構 成 的 驅 動 1 i 菌 元 80 ， 使 能 覆 蓋 晶 Η 工 作 檯 5 ( 晶 片 W ) 在 磁 心 板 79 1 | 内 移 動 的 全 部 領 域 〇 此 時 r 在 晶 Μ 工 作 擡 5 的 底 面 配 置 1 訂 了 設 定 驅 動 單 元 8 0的 排 列 節 距 能 經 常 為 合 計 3 行 X 3 排 1 稈 度 Μ h 的 驅 動 單 元 80 0 I 第 20 围 係 表 示 從 第 19 圖 的 磁 心 板 79拆 除 一 個 驅 動 單 元 1 I 8 0Μ 外 的 軀 動 單 元 狀 態 之 磁 心 板 79 在 第 20 圖 中 ， 磁 心 1 」. 板 79係 在 強 磁 性 體 的 平 板 朝 X 方 向 f Y 方 向 Μ 所 定 節 距 I 形 成 ΪΗ 方 形 的 貫 通 孔 79b » 被 四 個 貫 通 孔 79b 圍 住 的 部 1 1 份 分 別 形 成 十 字 型 的 磁 心 79 a 〇 狀 後 t 在 一 個 十 字 型 的 1 磁 心 79 a 上 t 在 和 此 X 铀 平 行 的 軸 周 > 捲 繞 —' 對 X 線 圈 1 \ 8 1 A 8 1 Β 使 能 夾 持 磁 心 79 a 的 交 叉 部 在 和 磁 心 79 a Γ i 的 Y 軸 平 行 的 軸 周 捲 繞 — 對 Y 線 圈 82 A \ 82B * 使 能 夾 | 持 其 交 叉 部 » 藉 包 覆 在 磁 心 79 a 的 交 叉 部 上 面 捲 繞 於 和 1 I Ζ 軸 平 行 的 軸 周 的 Z m 圈 83 » 乃 形 成 了 _____. 個 驅 動 單 元 80 〇 1 -39- 1 1 1 1 本紙讥尺度试圯十囚闽家栉準（CNS ) Λ4规格（2】Οχ2π公釐） 4 2 3 19 5 -rl yr· 部 Φ ..)- !； _T >7； f 卬 V' A7 B7 五、發明説明（ 38 ) 1 1 回 到 第19圖 其 他 的 驅 動 單 元 80也 和 第 20圖 的 驅 動 單 1 -1 元 80相 同， 被 構 成 為 分 別 在 十 字 型 的 磁 心 79 a 裝 設 X 線 1 1 圈 8 1 A 、81 B \ Υ 線 圈 82 A λ 82B 及 1 線 圈 83 〇 繼 而 9 請 I 先 參 閲 第 21圖 說 明 有 闞 驅 動 單 元 80 與 其 驅 動 電 路 的 構 成 閱 讀 '1* i 及 驅 无· 四 動單 元 8 0的 動 作 如 下 ： ιέ I 之 1 第 21 圖係 第 19圖 的 — 部 份 放 大 圖 > 在 第 21 圖 中 > 應 注 注 意 畫 ί I 因 位 於 晶片 X 作 棰 5 底 面 的 一 個 驅 動 m 元 80 〇 此 —- 場 合 ψ 項 再 1 y 因 晶 Η工 作 檯 5 内 的 磁 戡 板 8 > 和 第 19匾 的 磁 心 板 79 % 本 裝 I 及 頂 部 偏轉 ΠΠι 十'Γ 線 〇<1 围 16 等 P 從 磁 m 板 8 對 於 驅 動 單 元 80 發 生 % t I 如 朝 —- Ζ方 向 的 磁 通 量 B A 〇 1 1 而 a ,和 第 5 圖 所 示 者 相 同 各 驅 動 單 元 分 別 連 接 於 1 1 驅 動 電 路31 > 驅 動 電 路 31 内 的 控 制 部 35 > 在 來 白 主 控 制 1 訂 系 統 22的命 令 下 統 一 控 制 各 電 路 的 動 作 Q 從 而 因 由 驅 1 rfil. Wi 電 路 3 ΐ内 的 X 軸 磁 通 最 32 Λ Y 軸 驅 動 電 路 33及 1 ΒπΠ 糊 驅 1 1 動 電 路 34控 制 對 於 X 線 圈 81 A 81B t Υ 線 圈 82 A 82B ί I 及 Z 線 圈83的 電 流 > 組 合 對 於 磁 鐵 板 8 ( 晶 片 工 作 植 5 ) 1 1 的 X 、 Υ 、 1 方 向 的 推 力 FX F Y 、 FZ * 可 以 6 g 由 度 1 ( 朝 X 方向 Y 方 向 Z 方 向 的 變 位 * 及 X 軸 、 Y A 1. 軸 1 ί 1 铀 周 的睚 轉 ) 決 定 晶 片 工 作 m 5 的 位 置 〇 1 具 賴 上， 使 晶 Η 工 作 檯 5 ( 晶 Η V ) 朝 Υ 方 向 變 位 時 ! T 如 第 2 2a 圖 所 示 t 主 控 制 糸 統 22對 於 晶 Η 工 作 檯 5 底 1 部 的 多 數驅 動 單 元 80 A 80 B 80C 的 控 制 部 > 發 出 發 ί 1 生 朝 Y 方向 的 推 力 FY1 之 指 令 〇 因 應 而 從 驅 動 單 元 80A 80C 對於 晶 Μ 工 作 檯 5 分 刖 作 用 了 朝 Υ 方 向 的 推 力 F Y 1 1 ί -40- 1 I 1 本紙依尺度4 β屮家樣半（（，NS ) Λ4規格（2丨0X297公漦） "'^:部屮"vi?'x,JmT_;/i^<Ln^rpf 4 23 195 A7 ______B7_ 五、發明説明（39 ) ，晶片工作棰5便朝Y方向變位。同樣地，欲使晶片工 作植5朝X方向變位時，只要從晶片工作楢5底部的多 數驅動單元80D 、80B 、80E對於晶片工作檯5分別使 朝X方向的推力FX〗作用即可。 而目.，如第22b圖所示，在晶Η工作檯5 (晶片V ) 發生娌轉誤差0時，從晶Η工作檯5的底部朝X方向分 雛的一對驅動單元80 A 、80C使分別發生朝-Υ方向的推 力FY2及朝-Y方向的推力FY2及朝+Y方向的推力-FY2, 從朝Y方向分離的一對驅動單元80D 、80E使分別發生 朝-X方向的推FX2及朝+ X方向的推力- PX2,只要能柢銷 迴轉誤差Θ般娌轉晶Η工作檯5就可。此時，由於晶片 工作檯5的娌轉角被第2阚的激光干涉計18Υ1、18Υ2的 測定值監視著，據Κ在關閉環形正確修正晶片工作植5 的画轉角。 此外，在上述第6的實胞形態中，雖裝設為测定晶片 W表面的Ζ方向位置的斜入射方式的焦點位置檢測系統 f未圖示），但此外在磁心板7 9側裝設為测定和晶片工 作植5的間隔所需多數空隙感測器也可Μ。 此時，本發明不只限定於上述第〗〜第6實施的形態 ，在不脫雜本發明的要g範園内可採取各種構成。而且 ，上述各苜拖形態，雖將本發明適用於統稱暍光型投影 瞜光裝置，但本發明也可適用於將叉線及晶Η對於投影 光學系統同歩掃描而實狍轉錄的步驟及掃描方式的掃描 曝光型的投影曝光裝置。 _ 4 1 _ I.— i ---：----( 1 裝------訂------^-^ (請先閱讀背面之注意事項再蜞寫本頁) 423 195 A7 B7 五、發明説明（4〇 ) f產業 本發 置決定 此位置 ,由可 輕最化 於Η磁 動工作 磁頻的 晶Η那 力可將 ,由於 的可動 間隙空 同漾 定裝置 作檯本 (或驅 上之利 明係關 對象物 決定裝 動髖及 。而日 力構件 檯本身 浮昇力 樣位置 其可動 可獲得 工作棰 間配置 地，若 者，ΕΙΡ 身的大 動單元 用可能性 於具備以 可動體位 置的暘光 發磁體構 ,如果按 及發磁體 窜量的大 ,因此， 決定對象 體朝高度 朝高度方 和驅動單 如冷卻機 按本發明 Μ磁路支 部份童蛋 )使其發 非接觸 置的位 裝置。 成的可 (第1 所構成 部份， 得Μ非 物的可 方向正 向的大 元間的 構等的 其他的 持包含 ,同時 磁體在 決定載置 置決定裝 若按照此 動工作權 的）位置 的磁路支 而Μ浮昇 接觸安定 動體的同 確決定位 推力的緣 空隙，也 優點。 (第2 、 可動體及 ,由於Κ 其可動體 半導體 置，驅 位置決 ,自可 決定裝 持，例 用線圈 地支持 時，具 置的優 故，可 具有可 晶片等位 動單元及 定裝置者 製成薄又 置者，由 如，其可 控制其發 載置有如 有Μ大推 點。而且 取得較大 容易在此 或第3 )位置決 發磁體的可動工 推力發生用線圈 的移動面内發生 〈"先閱讀背而之注意事項再硪寫本頁)

Cl" 的位置決定對象物的可動體，同時，具有Μ大推力並Μ 二雄方式iK確決定其可動體位置的優點。而且，由於配 置例如多數驅動單元，使能覆蓋其可動體（發磁體）移 動範園的大約全面即可，故較諸可動體的移動行程也不 必使驅動機構過於大型化，得Μ非接觸決定可動體的位 -42- 本紙张尺度!ί 中闲國家摞卑（CNS ) Λ4规格（210X2W公釐） A7 423195 ____ B7 五、發明説明（41 ) (請先閱讀背面之注意事項再填艿本頁) 置。而,若裝設用於测定在可動體移動面内位置的位 置測定糸統時，就可提高位置決定精度，若裝設用於測 定發磁踊變形最的變形量測定系統時，就可主動地修正 其發磁體的變形。而巨，在其發磁骽包覆會變形的磁變 構件，使能自力地抵銷因這種發磁體磁力所引起的變形 時，自可高精度地維持此發磁體的平坦度等。 其次，若按本發明其他的（第4 )位置決定裝置者， 即和上述（第1 ,或第2 )位置決定裝置相同可Μ非接 觸安定地支持載置位置決定m象物的可動體，同時，具 有可Μ大推力正確決定其可動體位置的優點。並且，由 於藉將位置決定對象物載置於例如兩個發磁體之間，對 於位置決定對象物幾乎不會作用磁通量，故具有可作為 如載電顆粒線轉錄裝置等位置決定裝置適用的優點。 而目，具有將因決定其可勤體：位置時發生的推力反力 導致地板使其消散的構造時，抑制振動的發生。而且， 其發磁體屬單極時構造就被簡化。而且，由於在浮昇用 線圈的發熱最少，故可提高位置決定精度。而且，磁力 構件具有第1磁力構件〜第3磁力構件時，就容易組裝 調輅其磁力構件。並且，可動髖及發磁體鼷平板狀時， 就可使可動工作檯薄又輕曇化。而且，在發磁體的上面 及底面的牵少一方配置由高透磁率材料構成的輔肋磁力 構件時，由於增大藉其磁路的浮昇力，所Κ,更可減少 浮昇用線圈的發熱最。而旦，當多數線圈的磁心構成磁 力構件的一部份時，可使浮昇用線圈或推力發生用線圈 -43- 本紙张尺;家椋準（t’NS ) 格（2Ι0Χ 297公犛） A7 B7 五、發明説明（42 ) η 先 閱 讀 背 ιέ 之 注 意 事 項 再 填 驾 本 頁 單元化的同時，使得籣化構成。而a,在驅動單元的附 近配置為冷卻該驅動單元所需的冷卻裝置時，更可減少 因線圈發熱的影響。 如上述逑本發明的位置決定裝置者，可高速且高精度 地決定可動體的位置，適合用於需要高速而且高精度地 決定如晶片等基板位置的曝光裝置或檢査裝置、測定裝 置等。 而且，若按本發明的曝光裝置者，由於藉本發明的位 置決定裝置可高速地決定量板的位置，故有得Μ髙生產 力目高精度地製造半導體元件等的優點。 本發明的驅動單元作為如本發明的（第3 )位置決定 裝置的驅動簞元有用，適合作為Μ高速且高精度地決定 可動體位置的驅動源使用。 -4 4 ~ 本紙張尺度述州屮囚阄家椋準（CNS ) Λ4規格（210><297公趦） d 2 3 1 9 5 1 at B7

五、發明説明（43 ) 參考符號說明 2 4,42 5 6 7A 〜7C I 0，1 5 A 〜1 5 C , 1 6 II 1 1C 1 2A , 1 3 A 10a 16 1 5 A , 1 5 B 1 8X , 1 8 Y 1 4 1 7 Y 2 0 b 〜2 0 e 9 卜 91) 20 22 2 5 A , 2 5 B 2B A ,26B 2 1 8,8A,45A,45B 叉線階極 晶片夾具 晶Η工作檯 可動體.板 觸地構件 磁力構件 驅動單元 第2驅動單元 上面的推力發生用媒圈 多數的磁心 頂部偏轉線圈 支柱 激光干涉計 浮昇用線圈 移動鏡 凸緣部 變形規，變形量測定系統 基板 主控制系統 逆II字型的磁心 磁心 冷卻裝置，蓋子構件 磁鐵板 -45- (誚先閱讀背面之注意事項再硝寫本頁) 裝__

..、tT 本紙张尺度述州屮1¾闽家掠率（CNS ) Λ4规格（2Ι0Χ2?7公f ) 423195 A7 B7 五、發明説明（44) 17Χ,17Υ.18Χ,18Υ1，18Υ2 位置測定糸統 部 屮 消 t: 々 η 卬 34,33,32,31 29 10,50 41 47a,44b,46b 46 72 A ,72B,76 71,25 44 7 1 c , 7 1 b 7 3o 7 3 d , 7 3 e 73,73d 77.78 79a 77.78 79 8 1 A , 8 3 W Ϊ X , I Z , I Y FX , FZ FZ2 驅動電路 第1方向線圈 底部偏轉線圈 投影光學系統 端部 偏轉線圈板，磁力構件 第2的推力發生線圈 磁心構件 可動體 腳部 開口部 水平線圈 推力發生線圈 輔肋磁力構件 磁心 薄板 磁心板 線圈 基板，晶片 電流 推力 推力 -46- 本紙张尺度迖出十阁國家標碑-i CNS ) Λ4現格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填荇本育) -裝 、π :/r

Claims (1)

1. 423195 中 •k 標 隼 局 員 工 消 费 合 作 杜 印 製 A8 B8 C8 D8 經 六、申請專利範圍 1 1 4 .如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 的 位 置 決 定 裝 置 ， 其 中 前 述 發 磁 照 乃 發 生 和 前 述 可 動 體 的 移 動 面 垂 直 朝 一 方 向 的 磁 I 通 饈 > 請 Ί 先 1 ^ « 刖 述 磁 力 構 件 即 連 同 前 逑 發 磁 體 起 形 成 磁 路 ， 閲 讀 ' J- m 述 m 動 aa 早 元 具 備 著 使 磁 通 量 在 前 述 磁 路 内 通 背 面 1 I 之 叫 的 磁 心 構 件 和 被 捲 m 於 前 述 磁 心 構 件 而 使 能 對 於 前 注 意 1 1 述 發 磁 體 發 生 朝 著 沿 前 述 移 動 面 方 向 由 勞 倫 im 玆 力 構 成 事 項 } | 再 —V1 推 力 的 推 力 發 生 用 線 圈 > 和 被 捲 繞 於 前 述 磁 心 構 件 而 % 寫 本 i 使 能 對 於 前 逑 發 磁 體 發 生 朝 和 前 述 移 動 面 垂 直 方 向 可 頁 >«· 1 I m 推 力 的 浮 昇 線 圈 者 0 1 i 5 .如 φ 請 專 利 範 園 第 4 項 的 位 置 決 定 装 置 > 其 中 前 述 磁 1 1 心 構 件 為 使 凸 部 朝 向 前 述 發 磁 體 側 的 弧 形 狀 構 件 9 而 訂 目 該 弧 形 狀 的 構 件 兩 個 端 部 磁 連 接 前 述 磁 力 構 件 ， 1 »» 刖 述 推 力 發 生 用 線 圈 ， 即 被 捲 繞 於 前 述 弧 形 吠 構 件 1 I 的 中 間 部 » a 前 述 推 力 發 生 用 線 圈 外 俩 的 面 積 實 際 上 1 I 大 於 前 述 磁 心 構 件 的 面 積 的 同 時 » 對 於 前 述 外 側 的 面 1 積 形 成 內 側 的 商 積 狹 窄 » Λ 1 m 述 浮 昇 用 線 圈 被 捲 繞 於 -Α_Α· 刖 述 弧 形 狀 的 構 件 兩 個 端 1 1 I 部 者 〇 1 1 6 .如 牢 請 專 利 範 圃 第 1 項 第 5 項 中 任 一 項 的 位 置 決 定 1 .1 裝 置 i 其 中 裝 設 了 用 於 測 定 刖 述 可 動 體 在 前 述 移 動 面 1 1 内 的 位 置 之 位 置 測 定 系 統 者 〇 1 7 .如 申 謫 專 利 範 圖 第 1 項 —V_- 第 5 項 中 任 一 項 的 位 置 決 定 Ί I 裝 置 > 其 中 装 設 了 用 於 測 定 前 述 發 磁 體 變 形 量 的 變 形 1 \ - 4 8 - 1 1 1 1 本紙張尺度通用中國圉家揉牟（CNS ) Α4ΪΙ格（2丨.0X297公釐） 423 1 y A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 六、申請專利範圍 最測定系統者。 8. 如申請專利範圃第1項〜第5項中任一項的位置決定 裝置，其中在前述發磁體包覆磁變構件，使能主動地 柢銷因該發磁體磁力所發生的變彤者。 9. 如申請專利範圍第1項的位置決定裝置，其中前逑發 磁體被連接於前述可動體，具有發生分別和前逑可動 體的移動面垂直而朗一方向的磁通量之第1及第2的 發磁體， 前述磁力構件即分別能K上夾住前述第1及第2發 磁體般被連結而配置的同時，並和前述第1及第2的 發磁體一起分別形成磁路， 前述驅動單元具有被配置於前述第1發磁體和前述 磁力構件之間而驅動該發磁體的第1驅動單元，和被 配置於前述第2發磁體和前述磁力構件之間而驅動該 發磁體的第2驅動單元， 前述第1驅動單元具有，使能發生在前逑磁路内對 於前述第1發磁體朝和前逑移動面垂直方向而可變推 力般被捲繞的浮昇用線圈， 前述第2的驅動單元即具有，使能發生在前述磁路 内對於前述第2發磁體朝和前述移動面垂直方向可變 推力般被捲繞的浮昇用線圈， 藉由前述磁力構件，前述第1驅動單元，及前述第 2驅動單元K非接觸狀態決定前述可動體的位置者。 10. 如申請專利範圍第1項〜第5項或第9項中任一項 -4 9 - I υ "ΐ Γ 裝 訂一, ^",4. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 423195 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局貝工消費合作社印簟 六、申請專利範圍 1 1 的 位 置 決 定 装 置 ， 其 中 具 有 將 因 前 述 可 動 體 位 置 決 定 .1 時 所 發 生 的 推 力 反 力 » 導 致 地 板 使 其 消 敗 的 構 造 者 0 1 11· 如 請 專 利 範 圍 第 1 項 Aw 第 5 項 或 第 9 項 中 任 一 項 請 先 的 位 置 決 定 裝 置 » 其 中 前 述 發 磁 體 單 槿 或 多 極 者 〇 閔 12. 如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 第 5 項 或 第 9 項 中 任 一 項 背 ιδ 之 j κ 的 位 置 決 定 裝 置 其 中 前 述 可 動 體 9 及 前 述 發 磁 體 為 注 意 1 1 平 板 吠 者 〇 举 項 1 I 再 I 13 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 第 5 項 或 第 9 項 中 任 —1 項 % 寫 本 ί 的 位 置 決 定 裝 置 » 其 中 在 、署. 刖 述 發 磁 體 的 上 面 及 底 面 至 頁 1 1 少 —. 方 配 置 由 高 透 磁 率 材 料 所 m 成 的 輔 助 磁 力 構 件 者0 1 I 14. 如 講 專 利 範 r=»tf 圍 第 1 項 第 5 項 或 第 9 項 中 任 一 項 I ι 的 位 置 決 定 装 置 * 其 中 在 1 «1 刖 述 驅 動 章 元 附 近 配 置 為 冷 1 ,ΐ-Γ 卻 該 驅 動 單 元 所 需 的 冷 卻 裝 置 者 0 云丁 1 1 5 . ___- 穐 曝 光 裝 置 ， 其 特 徵 為 具 備 甲 請 專 利 範 圍 第 1 項 1 第 5 項 或 第 9 項 中 任 項 所 記 載 的 位 置 決 定 裝 置 ， 1 I 在 以 該 位 置 決 定 裝 置 決 定 位 置 的 基 板 上 轉 錄 屏 蔽 圖 形 1 者 〇 i Ί 6 . —' 榑 驅 動 單 元 係 被 配 置 於 由 發 磁 體 和 磁 力 櫞 件 所 1 1 形 成 的 磁 路 内 » 發 生 勞 倫 玆 力 的 驅 動 單 元 9 1 1 其 特 徵 為 具 備 著 ； 使 在 前 述 磁 路 内 朝 第 1 方 向 逋 過 1 十 磁 通 S 的 同 時 » 並 和 前 述 磁 力 構 件 Μ 磁 性 連 接 的 磁 心 i 構 件 » 和 "I 朝 與 前 述 第 方向正交的第2 方向被捲缡女 ϊ Η Ϊ述磁心 J I 構 件 的 第 2 方 向 線 圈 9 1 1 -50- 1 1 i 本紙承尺度逋用中國國家梂準（CNS ) Α^ί規格（210X25»7公釐） 423195 A8 B8 C8 D8 經濟部中央揉隼局貞工消費合作社印装 々、申請專利範圍 前述第2方向媒圈即被捲成在前述發磁體側的面積 大，而在反彈磁體側的面積狹窄者。 17. 如申請專利範園第16項的驅動單元，其中前述磁心 構件為將凸部朝向前述發磁體脚的圓弧形狀構件，且 該_弧形吠的構件兩個端部以磁性被連接於前述磁力 構件， 前述第2方向線圈即被捲繞於前述圓弧形狀的構件 中間部者。 18. 如申請專利範圍第16項的驅動單元，其中前述磁心 構件為具有1；為交叉之多數平面的矩形構件， 前述第2方向線圈即廣達前述互為交叉的平面被捲 繞者。 19. 如申請專利範圃第16項〜第18項中任一項的驅動單 元，其中前述磁心構件具有被捲繞於前逑第1方向的 第1方向線圈者。 20. 如申請專利範圍第19項的驅動單元，其中前述第1 方向線圈便以捲繞於多數前述磁心構件周圍的狀態被 配置者。 21. —種位置決定裝置，其中具有申請專利範圍第16項 〜第18項中任一項的驅動單元，載置有位置決定對象 物目藉由該騮動單元及前述磁力構件來決定被組裝在 前述發磁體的可動體位置者。 -si- 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 、1T /.Γ ABICD 々、申請專利範圍 22. —種暍光裝置，其特徵為具有如申請專利範圍第21 項所記載的位置決定裝置，在Μ該位置決定裝置決定 位置的基板上轉錄屏蔽騸形者。 —t^i m n l^i mfl ^^^1 —tn t I f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· -訂 • 超濟部中央樣準局員工消費合作杜印製 -52- 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐）