TW412625B - Fixing device with bottom member and fluid control apparatus with the fixing device - Google Patents

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A7 412625 B7 五、發明說明（） [發明之背景] 本發明係關於如將多數的接頭固定於基板上，藉由固 定開閉閥以便跨接瑄些接顗裝配的流體控制裝置所使用 ，將配置於基板（支撐構件）和開閉閥（上層構件）之間的 接頭（下層構件）固定於基板（支撐構件而且，闞於具 備此固定裝置的流體控制裝置。 在本說明書，上下雖指圖的上下，但此上下係方便說 明，固定裝置及流體控制裝置，除如圖所示的狀態設置 於水平面Μ外，有時上下形成相反設置於水平面，或設 置於垂直面。 例如，在用於半導體製造等的流體控制裝置，將下層 構件作為附螺栓插通孔接頭構件，將上層構件作為開閉 閥，利用螺栓將配置於支撐構件和上層構件之間的下層 構件固定於支撐構件上。此時，為使流體緊密地連接下 圄構件和上層構件，在各下層構件和上層溝件之間分別 裝設密封部。 在習用之流體控制裝置，將下層構件固定於支撐構件 時，有時下層構件的上面未成為一面，會發生不容易將 上層構件安裝於下層構件上的問題。而且，Κ下層構件 的上面互相來形成一面的吠態安裝上層構件時，所涉及 的壓力因油封部而異，也會產生油封部的密封性不完全 的問題。 於是，本案發明者們，為消除這種問題，提案如第5 圖所示下層構件的固定裝置（參間特願平9-258075)。 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ♦--------訂---------線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 412625 A7 _B7_ 五、發明說明（> ) 此下層構件的固定裝置，係利用螺栓no透過配置於支 撺櫞件108和上層構件7之間的附螺栓插通孔107將下層 構件31、33固定於支撐構件108的裝置，下層構件31、33 的螺栓插通孔107,具有徑大於螺栓頭部110a徑的大徑部 107a及在下方介由階段部107c連接，而且由具有螺栓頭部 UOa徑和螺栓軸部U〇b徑中間徑的小徑部l〇7b所成，在 螺栓插通孔小徑部170b,具有大於螺栓軸部110b徑的內徑 ，而且下端承接於支撐構件108的上端套入位於大徑部 107a内的圓筒狀隔板111,在螺拴頭部110a和階段部107c 之間，介有賦予下段構件31,33能朝向支撐構件108的圓 筒吠强性構件112為其特激者。 不過，在其備這種下層構件固定裝置的流體控制裝置 ，為了防止结霜及在常溫下屬於液體的流體氣化流動時 為防止再液化有時設置加熱裝置。此時，在屬於不銹鋼 等金翳製的下層構件和屬於鋁或不綉網等金臑製的支撐 構件之間，可介人特氟龍（聚四氟乙烯= PTFE)等的合成 樹脂製隔熱材料。 [發明之概要] 本發明的目的，在於提供使隔熱材料介於支撐構件和 下層構件之間的恰當的下層構件固定裝置及具備該裝置 的流體控制裝置。 依本發明的下層構件固定裝置，偽利用螺栓中間隔著 隔熱材料將配置於支撐構件和上層構件之間的附螺栓插 通孔下層構件固定於支撐構件的裝置.下罾構件的螺栓 -4- 本紙張尺度適用中圉國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --_----1-------^------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 412625 B7 五、發明說明（4 ) 插通孔，由具有徑大於螺栓頭部徑的大徑部及介於階段 連接於此下方，而旦具有嫘栓頭部徑和螺拴軸部徑中間 徑的小徑部所成，在隔熱材料装設隔板插通孔，在螺栓 插通孔小徑部及隔板插通孔中，有大於螺栓軸部徑内徑 的圓筒吠隔板插入其上端位於大徑部内，由支撐構件承 受其下端，在螺栓頭部和階段部之間介有賦予下層構件 能朝向支撐構件的圓简狀彈性構件為其特激者。 對於弾性構件而言，最好是橡嘐墊圈，但具有和橡膠 墊圈間等彈性愫數的壓縮螺旋盤簧也可Μ。 如果依本發明的下層構件固定裝置，一固鎖螺栓，隔 板即被保持於螺栓頭部和支撐構件之間，形成不能固鎖 。此時，由於彈性構件賦予各下層構件朝向支撐構件的 能最，因此各下層構件不會鬆動。一方面，因壓縮彈性 構件，而將上面低的下層構件朝從支撐構件分離的方向 移動，可使下層構件的上面互相形成一面。因此容易達 成安裝上層構件於下層構件上。隔熱材料較金_製的支 撐構件及下層構件，其溫度依賴性或經時間變化大，有 時在隔熱材料和支撐構件或下層構件之間產生間隙，但 此時，支檔構件和下層構件的間隔仍保持於規定值，下 層構件藉由彈性構件及隔板Κ適當的推壓力推壓於支撐 構件不會鬆動。 上述下層構件的固定装置，適合需要加熱裝置的流體 控制裝置，例如，形成的下層構件在上方具有開口流體 通路的接頭，藉由形成的上層構件在分別流通各下層構 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Ϊ l·----------^ - — III---^ ---------I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 412625 B7_ 五、發明說明（4 ) 件流體通路的下方具有開口的兩値流體通路的開閉閥， 被用於流體控制裝置。如果這樣做，卽形成從接頭經過 開閉閥流動於接頭的流路，藉由組合這些接頭，開閉閥 及其他流體控制器，可構成所需要的流體控制裝置。對 於加熱裝置而言，雖有連接沿下層構件側面頂接的帶式 電熱器，但並不限定。 這種流體控制裝置，最好在下層構件的流體通路和上 層構件的流體通路的對接面，介有油封部。如果這樣做 ,即由油封部以流體緊密地連接下層構件和上層構件， 而且，因可使下層構件的上面互相形成一面，可對於各 油封部附加均勻的力量。 [圖式之簡單説明] 第1圖係表示以依本發明的下層構件固定裝置為對象 的流體控制裝置一例的正面圖。 第2圖偽放大第1圔的流體控制裝置的主要部位表示 的一部分缺口分解斜視圖。 第3園像表示使用依本發明下層構件固定装置的流體 控制裝置一部份的側面圖。 第4圖傜表示依本發明下層構件固定裝置的剖面_。 第5 _像表示習用下層構件固定裝置的剖面圖。 [理想之具體例詳細說明] 茲參閲圖式說明本發明的實施形態如下： 第1圖及第2圖係表示以本發明為對象的流體控制裝 置的一例。流體控制裝置4,偽在半導體製造装置等所使 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ---------E I 1 於'-------訂-----1 — — * 線 J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印*·1农 A7 412625 B7 五、發明說明（r ) 用，由宵量流量控制器3,和裝設於質量流量控制器3的左 方及右方的遮斷開放器1、2所成。 左方的遮斷開放器1，具備配置於左方的第1開閉閥6 及配置於右方的第2開閉閥7,和安裝第1開閉閥6及第 2開閉閥7的第1閥安裝基部28。第1閥安裝基部28, 係由後述多數的接頭8 0、3 0、3 1、3 2、3 3形成。在左方 的遮斷開敗器1的左方，裝設第1止回閥5。 而目_,右方的遮斷開放器2,具備配置於左方的第3開 5^閥8 ,配置於中間的第4開閉閥9及配置於右方的第5 開閉閥10,和安裝第4開閉閥9及第5開閉閥10的第2 閥安裝基部29。第2閥安裝基郜29.係由後述多數的接 頡34、35、36、37、38、39、79所形成。在右方的遮斷 開放器2的右方，裝設第2止回閥11。 客聞閉閥6、7、8、9、10,係由閥本體12、14、16、18 、20及分別從上方安裝於此處適當遮斷開放閥本體12、 14、16、18、20 内通路的致動器 13、15、17、19、21 所 成。第1開閉閥6及第5開閉閥1 0係2 口閥，第2開閉 閥7 ,第3開閉閥8及第4開閉閥9係3 口閥。在各開閉 閥6、 7、 8、 9、 10的閥本體12、 14、 16、 18、 20的下端 部，裝設從上面看來方形的凸緣部12a、14a、16a、18a 、2 0 8^1 各ik回閥5、η ,分別具備在下面裝設人口的左側閥 本體22、25,和Μ螺栓和左側閥本體22、25連接的中央 閥本體23、26,和以螺栓和中央本體23、26連接而且在 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 訂---------線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ΚΙ Β7_ 五、發明說明（t ) 下面裝設出口的右側閥本體24、27。 在質量流量控制器3的下端部左面，裝設下面入口的 長方體狀左方突出部49,在同右面，在下面裝設出口的 長方體狀右方突出部5(^ 位於質量流里控制器3左方以各閥本體22、23、24、 、12、 14下面及質量流量控制器3的左方突出部49的下 面，金部形成一面，質量流量控制器3的右方突出部50 及位於質量流量控制器3右方的各閥本體16、 18、20、 25、26、27的下面，也形成全部一面。 在第1止回閥5的左側閥本體22的入口係由裝設保 持構件10及保持於此處的L型通路形成構件41所構成。 第1止回閥5的右側閥本體24的出口和第1開閉閥6 的閥本體12的入口，偽由兩個保持構件42、44及保持這 些的U字狀連通路形成構件4 6所成，由將流體引進左方 遮斷開放器1的第1流入通路形成用接頭30連通。流通 路形成構件46,藉由連接兩痼L型通路形成構件43、45 互相而形成。

跨越第1開閉閥6的閥本體12的靠右部份下面和第2 開閉閥7的閥本體1 4靠左部份下面，裝設連通第1開閉 閥6的出口和第2開閉閥7的入口具有V字狀通路31a 的長方體狀的第1建通路形成用方塊接頭3U 在第2開閉閥7的閥本體14副出人口，裝設由保持構 件47及保持於此處的工型通路形成構件48所成的第1副 通路形成用接頭32。在第1副通路形成接頭32的下端部 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210^ 297公釐） ------------- ^ - I------訂·-------* " Ί (靖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 412625 B7_ 五、發明說明（7 ) ，结合連接於處理氣體引進線路的眾所皆知的L型接頭 78 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 跨接第2開閉閥7的閥本體14的靠右部份下面和質量 流量控制器3的左方突出部49下面，裝設從第2開閉閥 7的出口排出流體送入質量流！ 控制器3具有V字狀通路33a 的長方體狀的第1流出通路肜成用方塊接頭33。 跨接質量流童控制器3的右方突出部50下面和第3開 閉閥8的閥本體16的靠左部分下面，裝設將從質量流量 控制器3排出的流體引進右方遮斷器2具有V字狀通路 34a的長方體狀的第2流入通路形成用方塊接頭34。 在第3開閉閥8的閥本體1 6的副出人口係由裝設保持 構件51及保持於此處的L型通路形成構件52所構成，被 連接於抽真空線路的第2副通路形成用接頭35。 跨接第3開閉閥8的閥本體16的靠右部份下面和第4 開閉閥9的閥本體的靠左部份下面，裝設連通第3開 閉閥8的出口和第4開閉閥9的入口具有V字狀通路36a 的長方體狀的第2連通路形成用方塊接頭36。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在第4開閉閥9的閥本體18的副出入口係由裝設由保 持構件53及被保持於此處的L型通路形成構件54所構成 ,連接於處理氣體送入線路的第3副通路形成用接顗3 7。 第4開閉閥9的閥本體18的出口和第5開閉閥10的閥 本體20的人口，係依由兩個保持構件55、57及被保持於 這些的連通路形成構件59所成的第3連通路形成用接頭 38連通。連通路形成構件59,係藉由结合兩個L型通路 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 412625 B7_ 五、發明說明（s ) 形成構件56、5 8互相而形成。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 跨接第5開閉閥10的閥本體20的靠右部份下面和第2 止回閥11的左側閥本體25的下面，裝設連通第5開閉閥 10的出口和第2止回閥11的入口具有V字狀通路39a的 長方體狀的第2流出通路形成用方塊接頭39。 在第2止回閥11的右倒閥本體27的出口，裝設由保持 構件60及被保持於此處的L型通路形成構件61所成，被 連接於清洗氣體排出線路的清洗氣體排出用接頭79。 由位於質量流量控制器3左方的第1流入通路形成用 接頭30，第1連通路形成用接頭31,第1副通路形成用 接頭32及第1流出通路形成用接頭33,形成左方的遮斷 開放器1的閥安裝基部28。而且，由位於質量流量控制 器3右方的第2流入通路形成用接頭34，第2副通路形 成用接頭3 5 ,第2連通路形成用接頭3 6 ,第3副通路形 成用接頭37，第3連通路形成用接頭38及第2流出通路 形成用接頭39,形成右方的遮斷開放器2的閥安裝基部 2 9 c 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因此，在左方的遮斷開放器1,形成經過止回閥5引進 的清洗氣體，通過第1流入通路形成用接頭30,第1開 閉閥6的閥本體12,第1連通路形成用接頭31,第2開 閉閥7的閥本體14及第1流出通路形成用接頭33排出的 清洗氣體用通路，和從第1副通路形成用接頭32的下面 引進的處理氣體，通過第1到副通路形成用接頭32,第2 開閉閥7的閥本體14及第1流出通路形成用接頭33排出 的處理氣體用通路。而且，在左方的遮斷開放器2,形成 -1 0 -本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 412625 A7 _B7五、發明說明（9 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 入連的理成理接 的的62口 的的斷，右口室路閥致 2 ， 流 3 出處形處用 口 6 口入66片遮14靠出閥通閉閥第72 2 第排的路的成 開閥入從室膜67體同或過副開依過路 第 ，39進通室形 下閉的成閥使體本於 口透的 2 成透通 過36頭引連理路 向開央形過偽閥閥位入6874第形。出 通頭接 32 處通 有 1 中，透，由的和的口室 。-73流 ,接用器第入副 具第致内6313施 7 ，體入閥72作路的 體用成制34送 2 都在大12口 器實閥68流從過路動通69 氣成形控頭37第5,，面體出動，閉 口他成透通75副口 洗形路量接頭從 閥且下本從致作開入其形70出體放出 清路通流用接體 回而的閥和閥操 2 的為 ，口流閥開和 的通出量成用氣 止 。12在 ，的的第左作内入的的斷71 進連流質形成的 cl7b_ ，64613在靠央14出74片遮輅 引 22 過路形内路第 η 本63路閥器-面中體副室膜75通 路 3 第第經通路路通， 閥口 通閉動且下致本從閥使體入 器，及和入通通用示tHl於出入開致而的大閥和過傜閥流 制3438，流副些空所 位的流 1 閥 。14於在-透，依的 控頭頭路 23 這真大&-設右的第依 6 體位 ，7col 1 6 量接接通第第和抽放as裝靠66。-路本和70路口 器作口 流用用用過及 ，的圖77-同室65作通閥 ，口通出動操入 量成成體通36路出 2 路12於閥路動入於69入入從致的 7 質形形氣，頭通油第通體位過通67流位口出流和閥15閥 過路路洗體接體35如入本和透出體放設出副的-的器閉 經通接清氣用氣頭 流閥 ，62流闊開裝的的74737動開 ----------- - 衣.-------訂·--------線I(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 412625 A7 _B7_ 五、發明說明（~ ) 被製成以便介由閥室74經常連通。 各閥本體 22、 23、 24、 12、 14、 16、 18、 20、 25、 26 、27和與這些對接的各構件41、30、31、32、33、34、 3 5、3 6、3 7、3 8、3 9、6 1之間，分別裝設如第2圔所示 的密封部76。而且，止回閥5、 11及開閉閥6、 7、8、9 、1 〇和與它因應的接頭8 0、3 ϋ、3 1、3 2、3 3、3 4、3 5、 36、37、38、 39、 79，全部利用從閥本體22、 23、24、 12、 14、 16、 18、20、25、26、27 的上方旋入的螺栓 Η3 (參閲第2圖）連接，藉由拆除這些螺拴113,可朝上方拆 除止回閥5、11及開閉閥6、7、8、3、10。此外，第2止 回閥11係和第1止回閥5相同的結構，第5開閉閥10和 第1開閉閥6相同的結構，當成第3開閉閥8及第4開 閉閥9偽和第2開閉閥7相同的結構。 如果依此流體控制裝置4,將第1開閉閥6設定為閥， 將第2開閉閥7設定為開，將第3開閉閥8設定為閉， 將第4開閉閥9設定為開，將第5開閉閥10設定為閉， 如果在左方的遮斷開放器1的第1副通路形成用接頭32 引進處理氣體，處理氣體即通過第2開閉閥7的閥本體 14及第1流出通路形成用接頭33至質量流量控制器3,在 這裡被諝整其流量，被引進右方的遮斷開放器2。然後， 通過第2流入通路形成用接頭34，第3開閉閥8的閥本 體16,第2連通路形成用接頭36,第4開閉閥9的閥本 體18及第3副通路形成用接頭37送入處理室。之後，將 第1開閉閥6設定為開，將第2開閉閥9設定為閉，將 -1 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------牧--------訂------I !線·" (請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁) 412625 A7 B7 五、發明說明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第氣 12 質343638頭的路通動 入成第方通成左閥 1 放 將洗第第至頭頭頭接身通連流 流當 ，用入形在其第開 ，清 ，-33接接接用本出 2 間 1 偽31成流路 ，在及斷 閉進3031頭用用用成依流第時 第38頭形 2 通卽時31遮 為引頭頭接成成成形 ，1 及短 ，頭接路第副亦同頭的 定 5 接接用形形形路體第34有 言接塊通及各 〇 ，接方 設閥用用成路路路通氣，頭只 而用方入36，件閥用右 閥回成成形通通通出洗14接成 卩成用流頭件構閉成得 閉止形形路入連連流清體用形 1、形成 2 接構的開形獲 開 1 路路通流 232 ，本成此 器路形第塊的通的路可 4 第通通出 2 第第第時閥形因 放通路，方通共孔通即 第從入建流第，，，此的路， 開連通33用共是 3 連 ， 將果流一 1 入161820C7 通體 斷 3 連頭成是成個 I 者 ，如 1 第第流體體體出閥入氣 遮第 1 接形成當一第同 閉，第，及，本本本排閉流理 的及第塊路當披加和相 為閉過1214且閥閥閥11開 2 處 方 ，，方通39也附加32 定為通體體並的的的閥 2 第的 右3D且用連頭371 附頭 設定即本本3’8910回第 ，36及頭而成 2 接 、器僅接 8 設體閥閥器閥閥閥止在33頭。方接，形第塊35放，用 閥10氣的的制閉閉閉 2 留頭接體左用件路，方、開28成 閉閥洗 6 7 控開開開第出接用氣逑成構通34用32斷部形 開閉清閥閥量 3 4 5 由趕用成洗上形的出頭成頭遮基路 3 開，閉閉流第第第及力成形清在路通流接形接的裝通 第 5 體開開量 -, 、39壓形路的 通共 1 塊路用方安副 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 412625 B7_ 五、發明說明（ο ) 器2。在這裡，所附加的開閉閥靥於2 口閥時，將右方的 遮斷開放器2的第4開閉閥9置換為2 口的閥，同時只 要從安裝基部29移除第3副通路形成用接頭37卽可。因 此，上述左方及右方的遮斷器1、2，形成容易因應各種 的規格變更。 此外，在第1匯所示的例，左方遮斷開放器1,具有兩 個開閉閥6、7,右方的遮斷開放器2,雖具有三個開閉閥 8、9、10,但可適當變更這些開閉閥的數目。然後，具 有適當數目開閉閥的遮斷開放器被裝設於質量流量控制 器的左方及右方，同時再以並聯狀配置於此處，構成半 導體製造裝置用的流體控制裝置。然後，此流體控制裝 置，以螺拴在基板108安裝接頭80、30、31、32、33、34 、35、36、37、38、39,以螺栓安裝這些接頭80、30、31 、32、 33、 34、 35、 36、 37、 38、 39,以螺栓安裝止回 閥5、1 1 ,開閉閥6、7、8、9、1 0及質量流量控制器3等 的流體控制器，藉由將基板10 8固定於規定位置而設置。 在上述流體控制裝置4,為防止結霜及在常溫屬於液體 的流體加以氣化流動時為防止再液化等有時設置加熱裝 置。第3圖傜表示其一例的一部份，在至少一個的接頭 構件3 1的兩側面或一倒面頂接帶式電熱器1 2 13 ,同時在屬 於不銹網製的接頭構件3 1和基板1 0 8之間，介有待氟龍（ 聚四氟乙烯：P T F E )製隔熱材料1 2 2。 第4圖傜本發明的下層構件的固定裝置，亦即利用螺 栓將配置於基板（支撐構件）和流體控制器（上層構件）之 -1 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I κ----^-------- 衣·-------訂--------線！ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 412625 A7 B7 五、發明說明（θ 接 在 示 0 表的 . 當 置恰 裝是 的時 板22 基41 Λκ ί r材 定w τ—I 熱 固 )E隔 件有 構介 層間 下之 ( 8 件10 構板 頭基 接的 iS 3 間頭 材閉 熱開 隔於 著對 隔 ， 3 面 頭上 接的 .¾¾ 1 携 3 方頭 的接 7塊 6、方 閥在 °^ο ο 二 安基 圖於 裝 4- 第安 0 2 在12 _b δΗ 旋接 螺塊 用方 裝於 安裝 的安 體時 本同 閥 - 裝 近 附 部 央 處中 彳在 寧 ， 4 時 8 ο 1X 板 基 的 於 置 設 被 示 圖 略 省 鑽 8 ο 1ί Ο 板09 基L1 在？ 栓 7。螺 ο I -™ 孔用 通使 插所 栓時 螺08 的1 0&板 11基 栓於 螺裝 定安 固31 頭頭 接接 通塊 插方 設將 頭01處 接11此 塊栓於 方螺接 定連 栓 螺 部 頭 的 有 具 且 而 1 徑 部flb 段11 階部 由軸 介栓 和螺 a 和 07徑 1Xa，部1071. 1 ο 徑 Id部 L大 孑 J 的 通 徑 Hyff. 插 a 螺 頭 栓 固 頭 接 於 大 往 有 具 由 係 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 部孔 徑通 \ r-J d 插 的栓 徑螺 間在 中 成 所 部 徑 的 料 材 熱 隔 入 被 端 下 大 於 位 入 套 端 且 而12 接板 承隔 8 ο ο 1A 11 2 板 1 基板 被隔 23狀 L1筒 ?圓 通ϋ 插 J 板 a 隔07 勺 1 26部 12徑 部 軸 栓 螺 於 大 有 具 部 頭 栓 螺 於 小 有 具 且 而 徑 内 的 徑 在 ο 徑 外 的 徑 板 隔 部 徑 大 孔 通 M J 插 栓 螺 和 徑 設 裝 端 上 的 徑 的 ,iii·------f 訂- --------, 部 緣 凸 的 同 ΓΤΤΤ 本 致 大 板 隔 此 在 螺 定 固 頭 接 入 套 部 軸 的 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 U栓 12螺 板定 隔固 。 頭 oa接 1± 一—-1 1 將 栓部果 隔 以 定插 規10 部栓孔 緣螺通 凸定插 的固旋 21頭螺 II接通 頭 同 接 承 面上 量板 鎖基 固入 的旋 拴 螺 定 固 頭 接 於 出 突 即 KH At. 韵 7 頭10 的 孔 10通 --J 据 栓 。螺 態和 狀蓋 鎖覆 画入 成套 已被 就 -， 55 1 間端 板之上 隔08的 1M 1X f 2 9 板 1 10基板 孔和隔 栓oa在 螺11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 412625 A7 _B7五、發明說明（^ ) 部圈 徑墊 大膠 橡此 2 因 1X 1 ο 圏面 墊下 膠la 橡12 狀部 環緣 圓凸 的的 徑21 外 同 目 44：·* 致 大 徑 的 板 隔 R9 0 接 端 上 的 墊 0 橡 孔 緣 凸11 設栓 裝螺 段 頭 圈I部的 Kr {· ^u. 通不 PH J~_ 捅 2 栓1 板 1 £ a 在 21以 部然 b 當 凸 的l·, 1 夕 12此 板 。 隔持 由夾 偽7C ο 12部 L段 定的 固向 頭方 接下 於上 觸的 接12 端1 上圈 ¾墊 2 0 1 橡 圈 〇 墊面 _ 下 橡的 使oa a1i 2 部 第 1 在 Η ，墊 度膠 長橡 態 狀 鎖 固 成 完 的 示 所 圖 力 縮 壓 D 力 附 頭 接 此 因 '2 於 1 對 nn 圈 墊 膠 橡 由 便 以 定 設 被 量 力 的 向 方 形 變 縮 壓 再 1 它 板使 基可 向 此 朝因 予 ， 賦性 離 11分 圏朝 墊08 _ L 橡 於 由 板 基 從 可 aBi 有 具 方 的 (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 頭 1 接栓 使螺 即定 ..固 此31 因頭 。接 3 以 頭果 接如 動 ， 移態 狀 的 面 1 成 形 不 面 上 的 頭 接 於 裝 安 7 閥 閉 開 將 接 於栓 由螺 ，定 3 固 閥 閉 開 近 接 然 仍 ili 3 頭 頭 ί 附 接 6 施ί 實 單 簡 可 此 因

部 封 油 的 有 所 於 對 可 以 所 0 鎖 固 的 ο 1X 換5、 更閥 或回 。理止 性修3, 封為器 密4,制 保置控 確裝量 ,制流 力控量 壓體質 推流裝 的述安 當上再 適在除 加 拆 旦 一生 發 繁 頻 / 6 閥 閉 開 及 料 材 熱 隔 於 由 ο 性 要 必 的 部 全 或 份 部 一 中 ο -^--------訂--------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 合 樹 成 Μ 匕曰 板 基 的 M *5 颶 金 較 此 因 其 謂 所 有 具 此隙 因間 。生 性産 待間 的之 3 大 頭化 接變 及時 I08M 1且 而 大 性 0 依 度 溫 的 化 變 度 厚 料 材 熱 隔 在 時 有 隹 截 固 10的 板件 基構 和層 2 , 2 下 fL 的 明 發 本 依 果 如 但 接 或 1i 3 置 裝 定 值 定 規 為 持 保 仍 隔 間 J 2 rfr 1 31板 頭隔 接及 D 2 孝 1 8 1 10件 板構 基性 BtnL ， 彈 時由 此藉 頭向 接朝 >壓 推 力 壓 推 的 當 適 以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 412625 a7____五、發明說明（π ) 基板】08。因此，儘管重複質量流量控制器3,止回閥5、 U及開閉閥6、7、8、9、10的裝卸，仍不受隔熱材材122 的厚度變化的影響，可實施安裝於這些基板108Μ免經 常鬆動。 ί符號之說明] 7… ' * .開 閉 閥 (上層 構 件 ) 31 ' 33. ，方 塊 接 頭（下 層 構 件） 31a、 33 a .流體通路 71、 72. ，流 體 通 路 76 .. •油 封 部 107. ，螺 栓 插 通孔 107a •大 徑 部 107b .小 徑 部 107c .階 段 部 108 . .基 板 (支撐構 件 ) 110. •螺 栓 110a .螺 栓 頭 部 110b ，螺 栓 軸 部 112. ，弾 性 構 件 120 . .帶 式 電 熱器（ 加 熱 裝置） 12 1. .隔 板 122. .隔 熱 材 料 123. .隔 板 插 通孔 -17- 本紙張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^--------訂---------線·

Claims (1)

1. 888¾ ABCD 412625 六、申請專利範圍 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1. 一種下庸構件的固定裝置，係利用螺栓110隔著隔熱材 料122將配置於支撐構件108和上層構件7之間的附嫘 拴插通孔107下層構件31、33固定於支撐構件108的装 置，其特徵為下層構件31、33的螺栓插通孔107,由具 有徑大於螺栓頭部110a徑的大徑部107a及在此下方藉 由階段部1 0 7 c連接而且具有螺栓頭部1 1 0 a的徑和嫘栓 軸部Π 0 b的徑中間徑的小徑部1 0 7 b所成，在隔熱材料 122裝設隔板插通孔123,在螺栓插通孔小徑部107b及 - 隔板插通孔123中，有大於螺栓軸部110b徑内徑的圓筒 狀隔板121插人，其隔板上端位於大徑部107a内，其下 端被支撐構件108承接，在螺栓頭部110a和階段部107c 之間，介有賦予構件31、33朝向支撐構件108的筒吠彈 性構件1 12。 2. —種流體控制裝置，其中具備申請專利範圍第1項的 下層構件的固定装置，和上層構件，和至少加熱一個 下層構件加熱装置者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 .如申請專利範園第2項所述的流體控制裝置，其中在 下層構件31、33,裝設上方開口的流體通路31a、33a ，在上層構件7,裝設分別通往各下層構件31、33的下 方開口的兩個流體通路71、72者。 4.如申請專利範圍第3項所述的流體控制裝置，其中在 下層構件31、33的流體通路31a、33a和上層構成7的 流體通路71、72的對接面，介有油封部76者。 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公复）