經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _____ B7_ 五、發明説明1() 〔技術領域〕 ' 本發明係爲關於機床工作台之拋光劑均勻供應機構; 特別是關於藉由安裝在單片式單面拋光機器的工作台,以 機床的壓力板所運送的晶圓進行拋光時,可以對於晶圓均 勻地供應拋光劑的機床工作台之拋光劑均勻供應機構。 〔先行技術及其問題點〕 一般,在於單片式單面拋光機器的工作台拋光以壓力 板所運送的晶圓;爲了圓滑地進行此拋光而將作爲硏磨材 之拋光劑供應到機床工作台。 機床工作台之拋光劑供應位置一般是滴流到機床回轉 中心的一處所;然且供應拋光劑之噴嘴一般爲固定式。_ 因此,在機床工作台硏磨一對的晶圓時,機床工作台 之拋光劑供應位置在回轉中心位置的一處均句地供應到晶 圓會有困難,並且爲使變化拋光劑的供應量只是使其變化 拋光劑的供應壓力,對於晶圓的各部適當地供應拋光劑會 有困難,因而會有對於晶圓的拋光精度造成參差不齊之問 題。 進而,由於對於機床拋光劑的供應部分爲一定所以硏 磨的擺動幅變窄,無法充分地硏磨機床工作台之問題點。 本發明的目的係爲提供在於單片式單面拋光機器,晶 圓位於機床工作台進行拋光時,可以對於晶圓均勻地供應 拋光劑,並且可以對晶圓的供應量也能變化而進行良好的 拋光;另外可以充分地硏磨機床工作台之機床工作台之拋 I"----------II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 4 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4規格(210X297公釐) -4- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 • A7 _B7 五、發明説明) 光劑均勻供應機構。 〔用以解決問題點之手段〕 爲了解決上述問題點,本發明係爲爲了將拋光劑均勻 地供應到構成單片式單面拋光機器之機床裝置的機床工作 台之拋光劑供應機構;該拋光劑均勻供應機構,被配置在 機床裝置的機床上方,貫穿設有複數個拋光劑供應孔,並 且具備:具有與拋光劑供應源連接的拋光劑供應管之拋光 劑供應構材;及在機床工作台能接近•隔離該拋光劑供應 構件之作動構件;具有從前述拋光劑供應構件所流出之拋 光劑供應到位於機床工作台的晶圓之構成。 進而,在被設於前述拋光劑供應管之拋光劑供應孔設 置針型閥;具有以此針型閥調整拋光劑供應孔的張開度之 構成。 〔作用〕 採用上述的手段,從拋光劑供應構件的複數個供應孔 所流下的拋光劑直接供應到位於機床工作台之晶圓周面; 因此形成爲新的拋光劑供到晶圓的拋光。 〔實施形態〕 以下,說明圖示的本發明實施形態。 第1圖係爲表示設有採用本發明機床工作台之拋光劑 均勻供應機構之機床裝置的單片式單面拋光機器之槪略平 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2丨Ο X 297公釐) .5 - --------II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A7 ____B7 五、發明説明) 面圖。 〜 此單片式單面拋光機器1 ’在上面一側的侧部之一端 側配置具有一對裝載匣2、 3之自動裝載機器4;此自動 裝載機器4 一方的裝載匣2在拋光前的晶圓相互間不接觸 的狀態下收容複數片;另外在他端側配置拋光後的晶圓相 互間不接觸的狀態下收容複數片之裝載匣3。 在此自動裝載機器4他方的側部側,從自動裝載機器 4 一方的裝載匣2取出拋光前的晶圓,或者是設置將拋光 後的晶圓收容在他方的裝載匣3之抓持構件5;進而在鄰 接於此抓持構件5之他方側部側的中央部設有以等量設置 4個緩衝器6之緩衝裝置7 ;此緩衝裝置7各別採用緩衝 器外周承受環上下機構。 然後在鄰接於此緩衝裝置7之他方側部側設置一對機 床裝置8、 8;鄰接於此兩機床裝置8、 8而分別設置硏 磨裝置9、9。 此兩硏磨裝置9、 9的硏磨臂10、 10,形成爲能 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 分別擺動抵接所對應之機床裝置8、8的機床8 a上面之 位置與從上面的上方脫離之待機位置之間。 進而,位於前述緩衝裝置7及一對機床裝置8、 8的 上方設置2個壓力板裝置11、 11;此兩壓力板裝置 11、11藉由被設在兩側之驅動機構12、12而能朝 水平方向移動緩衝裝置7、一對機床裝置8、 8的上方; 況且兩壓力板裝置1 1、1 1相互間藉由其他的壓力板裝 置1 1不限制移動而能自由移動;然後兩壓力板裝置1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ΓβΙ ~ A7 __B7__ 五、發明説明(4 ) 、1 1分別能上下作ϋ·地設置2個壓力板13、13» 然而此壓力板裝置11、 11的2個壓力板13、 1 3之間隔係爲與前述緩衝裝置7的對角線之2個緩衝器 6同樣的間隔,並且位於機床裝置8的幾床8 a之直徑內 〇 在於如上述所構成之單片式單面拋光機器,前述機床 裝置的機床工作台之拋光劑均等供應機構,如第2圖〜第 5圖所示而被構成。 即是在以驅動源14而能回轉之機床裝置8的機床 8 a工作台,在隔著所定間隔且通過機床8 a的回轉中心 之狀態下,設置拋光劑供應機構2 0的拋光劑供應構件 2 1。此拋光劑供應構件2 1具有3條抛光劑供應管2 2 ;在此各拋光劑供應管2 2隔著所定間隔貫穿設有拋光劑 供應孔2 3,並且在此拋光劑供應孔2 3分別安裝針型閥 2 4而以手動能變化張開度。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 然且,前述拋光劑供應構件2 3的兩側,分別被安裝 在裝於基板而作動部2 6 a能朝上下方向出沒的作動構件 之氣缸2 6。 進而,前述拋光劑供應構件2 1的3條拋光劑供應管 2 2分別介由該連接管2 7而與拋光劑供應源(未圖示) 連接。 因此,因應於氣缸2 6的出沒而拋光劑供應構件2 1 的全體上下作動;此時,因連接管2 7也一體地上下作動 ,所以3條拋光劑供應管2 2通常是與拋光劑供應源連接 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(5 ) 0 ♦ 在於如上述所構成之單片式單面拋光機器,作業者積 載複數片拋光前的晶圓而收容在前述一方的裝載匣2。 在此後,藉由抓持構件5抓持拋光前的晶圓而運送載 置到緩衝裝置7的緩衝器6。 進而,以壓力板裝置11的一對壓力板13、13運 送。即是在壓力板1 3的下面分別設置凹窪部1 3 a ;此 凹窪部1 3 a因介由流體回路連接到真空源而成爲負壓所 以能吸著晶圓。然後在吸著的狀態下,爲了進行拋光而使 其位於機床裝置8的機床8a上面。 _第5圖係爲表示朝箭頭A方向回轉之機床8 a工作台 、兩晶圓30、30、與拋光劑供應構件2 1的關係;依 此位置關係而將拋光劑供應源的拋光劑供應到各拋光劑供 應管2 2,從各拋光劑供應管2 2的拋光劑供應孔2 3所 流下之拋光劑如箭頭的流向被供應到晶圓3 0、3 0。 即是由於直接供應到晶圓3 0、3 0當中的機床8 a 之回轉方向前方側的全部分,所以兩晶圓3 0、3 0使用 新的拋光劑進行拋光。 關於此樣在晶圓3 0的機床8 a之回轉方向前方側的 全部分直接供應新的拋光劑,與過去的情況比較,過去的 方式因只在機床8 a的回轉中心位置〇設置拋光劑的供應 孔’所以從該機床8 a的回轉中心位置〇所流下之拋光劑 如虛線所示流動。 即是拋光劑如虛線箭頭所示流動,首先供到一方晶圓 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210x297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 A7 B7 五、發明説明fe ) 3 0的拋光,在此後挺'到他方晶圓3 0的拋光;進而在此 後再度供到一方晶圓3 0的拋光,依順被使用。 因此,拋光劑自體劣化,並且當拋光時所產生晶圓 3 0的微小片物混合在拋光劑內,無法進行良好的拋光。 對於此點,如本發明若從複數個拋光劑供應孔2 3使 拋光劑流下,則通常是均勻地供應新的拋光劑而能供到兩 晶圓的拋光,可以消除晶圓精度的拋光參差不齊。 然而,此樣流下拋光劑而進行晶圓的拋光時,被安裝 在前述拋光劑供應構件2 1的兩側之氣缸因成爲沒入狀態 ,所以各拋光劑供應管2 2接近機床8 a。 如上述拋光劑供應到晶圓進行晶圓的拋光;所定的時 間進行機床8 a的硏磨時使硏磨裝置9作動。 此時,使其作動安裝在前述兩側的作動構件之氣缸而 將拋光劑供應構件2 1離有間隔到達上方位置,可以增大 硏磨臂10所形成硏磨裝置9的擺動幅。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 然而,在於前述實施形態,說明了配置拋光劑供應構 件2 1使其通過機床8 a的回轉中心位置之情況,但並不 限於此方法,在機床8 a的上面任何位置皆可。也就是若 爲新的拋光劑能供應到晶圓的各部亦可。另外設在拋光劑 供應管2 2之拋光劑供應孔2 3個數也沒有特別的限定, 而因應所須能作變更。 〔發明效果〕 本發明係爲如上述爲了將拋光劑均勻地供給到構成單 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X:297公釐) -9 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(7 ) 片式單面拋光機器之機·床裝置的機床工作台之拋光劑供應 機構;該拋光劑均与供應機構,被配置在機床裝置的機床 上方,被貫穿設有複數個拋光劑供應孔,並且具備:具有 與拋光劑供應源連接的拋光劑供應管之拋光劑供應構件; 及在機床工作台能接近。隔離該拋光劑供應構件之作動構 件:由於從前述拋光劑供應孔所流出之拋光劑直接供應到 位於機床上面的晶圓,所以不致對於晶圓的拋光精度造成 參差不齊而可以進行良好的拋光。 另外因拋光劑供應構件藉由作動構件而成爲能上下作 動所以能擴張硏磨的擺動幅,而可以充分地硏磨機床的工 作台。 進而因在被設於前述拋光劑供給管之拋光劑供給孔設 有針型閥而調整拋光劑供應孔的張開度,所以具有能確保 對於拋光的最適當拋光劑供應量之效果。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係爲本發明單片式拋光機器之槪略平面圖。 第2圖係爲表示設置在被設於第1圖所示的單片式拋 光機器之機床裝置的機床近旁之機床工作台之拋光劑均勻 供應機構的槪略圖。 第3圖係爲表示第2圖所示的拋光劑供應構件之槪略 圖。 第4圖係爲表示第3圖所示的拋光劑供應管之拋光劑 供應孔的槪略圖。 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I —'I I I---------裝------訂-----—^^1 I - 1度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐)_ · B7 五、發明説明(8 ) 第5圖係爲表示機_床、與晶圓、與拋光劑供應構件之 間的拋光劑流向之說明圖。 主要元件對照 I 單片式單面拋光機器 2、3 裝載匣 4 自動裝載機器 5 抓持構件 6 緩衝器 7 緩衝裝置 8 機床裝置 8a 機床 9 硏磨裝置 10 硏磨臂 II 壓力板裝置 12 驅動機構 13 壓力板 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲請背面之注意事項.再填寫本頁) 13a 凹窪部 14 驅動源 20 拋光劑供應機構 21 拋光劑供應構件 22 拋光劑供給管 23 拋光劑供應孔 24 針型閥 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐)_ _
S9337S 五、發明説明(9 ) 25 基板 26 作動構件(氣缸) 26a 作動部 27 連接管 30 晶圓 〇 機床的回轉中心位置 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) *τ ο. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(2丨0 X 297公釐)_ 12 -