TW384365B - Pressure type flow rate control apparatus - Google Patents

Description

五、發明說明（1 ) 〔技術領域〕 本發明，係關於改良氣體等的流體之壓力式流量控制 裝置者，主要係被利用在半導體製造設備的氣體供給系統 之流量控制者。 〔背景技術〕

做爲半導體製造設備的氣體供給系統之流量控制裝置 ，自過去多被使用質量流控制器，但是，近年來做爲代替 此者，已被開發壓力式流量控制裝置（開平8 -3351 17號，特開平8 -338546號等）。 第1 1圖，係顯示本申請專利發明者在先前公開的前 述特開平8 - 3 3 8 5 4 6號之壓力式流量控制裝置者， 在將孔口 5的上游側壓力P i和下游側壓力P2之比P2/ 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 P 1保持在氣體的臨界壓力比以下之狀態，把孔口下游側的 流體之流量做爲Q c zKPi (但是K爲常數）運算，把該 運算流量Q c和設定流量Q s之差做爲控制信號Qy输入 控制閥2的閥驅動部3，由調整控制閥2之開度使孔口 5 的上游側壓力P :會成爲運算流量Q c =設定流量Q s (亦 即，控制信號Qy = 0 )地調節，據此把孔口 5的下游側 之流量控制成前述設定流量Q s者。 再者，第1 1圖中，1爲壓力式流量控制裝置，2爲 控制閥，3爲閥驅勸部，4爲壓力檢出器，5爲孔口，7 爲控制裝置，7 a爲溫度校正電路，7 b爲流量運算電路 ，7c爲比較電路，7d爲放大電路，21a，21b爲 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 · _B7___, 五、發明說明（2 ) 請 先 « 讀 背 面 之 注 放大電路，22a，22b爲A/D變換電路，24爲反 轉放大器，25爲閥，Qc爲運算流量之信號，Qs爲流 量設定之信號，Qy爲控制信號（Qc_Qs)。 前述壓力式流量控制裝置能夠由將控制閥（2 )開· 閉控制調整孔口上游側壓力P i，把孔口下游側流童Q以高 精確度控制成任意之流量，將發揮優異的實用性效果者。 可是，在該壓力式流量控制裝置，因孔口的直徑一定 ，只能適用在特定之流量範圍，具有無法把流量範圍切換 變更之問題。 訂 同時，爲了變更流量範圍，需要將孔口 5自由更換地 著插，同時事先準備多數的不同口徑之孔口 5。可是，在 此時，具有孔口 5的加工精確度之參差，會直接影響流量 控制的誤差之問題。 並且，準備多數的不同口徑之孔口，在經濟性和控制 精確度之點有問題。 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 一方面，在利用所謂音速噴嘴（或孔口）的定流量之 流量控制裝置，爲了將流量範圍做爲能夠變更，已被開發 可變斷面積型噴嘴（或孔口）（實開昭56 — 4 1210 號，實公昭60—42332號等）。 可是，此等可變斷面積型孔口，皆係類似針孔型閥的 機構之孔口，構造上在流體流量內死空間會變多。結果， 不僅氣體的置換性化變差，而且引發塵屑會增加，具有難 以適用在半導體‘製造裝置用的氣體供給系統之缺點。 〔發明之揭示〕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -5 - A7 B7_ 五、發明說明（3 ) 本發明，係設法解決在已往的壓力式流量控制裝置之 如上述問題，即（1 )孔口爲固定直徑而無法切換變更流 量範圍，（2)不僅孔口的加工困難，而且加工精確度之 參差會直接影響控制流量的固體差，無法以髙精確度進行 安定之流量控制，及（3 )在已往的可變斷面積型孔口， 不僅氣體之置換性差並且引發塵屑多，難以使用在半導體 製造裝置用的氣體供給系統等問題者，因此將提供能夠把 孔口斷面積簡單地調整，經廣大的流量範圍能進行髙精確 度之流量控制，同時在氣體的置換性和發塵之防止性能也 優異，也能夠使用在半導體製造裝置的氣體供給系統之壓 力式流量控制裝置者。 因此，本申請專利發明者等，首先在一開始，想到將 備有對適用在半導體製造裝置的氣體供給系統之機器不可 缺的高淸潔性和高氣體置換性之兩特性的直接接觸型之金 靥膜片閥，做爲可變斷面積型孔口使用。接著，調査該直 接接觸型金屬膜片閥的流體通路，是否具有和所謂超音速 孔口（或噴嘴）略等效之流量控制機能。 第1圖，係顯示將前述直接接觸型金靥膜片閥做爲可 變孔口使用的流量控制試驗裝置之構成者’在第1圖、2 爲壓力控制閥，3爲控制閥的驅動部，4爲壓力檢出器’ 5爲可變孔口（直接接觸型金屬膜片閥），6爲孔口驅動 部，7爲控制裝置，8 a爲氣體入口，8b爲氣體出口， 9爲質量流量計，10爲真空室，l〇a爲真空計， 1 1爲真空泵。 (請先闓讀背面之注$項再填寫本1 >

訂· 經濟部智慧財產局霣工消费合作社印髮 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） -6- 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 A7 __B7__. 五、發明說明（4 ) 在前述控制閥2 ,用和在特開平8 — 3 3 8 5 4 6號 所揭示者相同的直接接觸型之金屬膜片閥，同時，在其驅 動部3，使用壓電元件型驅動裝置。再者，做爲控制閥2 的驅動部3，此外也能使用磁致伸縮元件形驅動裝置或電 磁圈型驅動裝置，馬達型驅動裝置，氣壓驅動裝置，熱膨 脹型驅動裝置等。 同時，在前述壓力檢出計4使用半導體應變計，具體 上和特開平8 — 3 3 8 5 4 6號時一樣，壓力檢出器4係 在壓力控制閥2之閥本體一體地被編入》 更且，在前述可變孔口 5，如後述地被使用直接接觸 型的金屬膜片閥，而在其驅動部6，設有利用脈衝馬達和 螺桿機構之線性致動器（以下·稱爲脈衝馬達型驅動部）。 前述控制裝置7，將把從壓力檢出器4的孔口上游側 之壓力檢出信號Qp 1和設定壓力Qp s比對，將控制信 號Qy向兩者的差値成爲零之方向輸入制閥驅動部3，而 把控制閥2開閉控制。 前述形成可變孔口 5的直接接觸型金屬膜片閥，係如 第2圖所示，由備有流體入口 12a ，閥座12b，閥座 1 2 c ’流體出口 1 2 e等的不銹鋼製之閥本體} 2，和 不銹鋼或鎳，鈷合金製的隔膜1 3，和把隔膜1 3向下方 推壓之脈衝馬達型驅動部6等構成。 亦即，將脈衝馬達1 4向初始位置設定時，前述隔膜 1 3，將經由螺桿機構1 9，由導滑件1 8及隔膜壓件 1 6抗拒彈簧1 7，1 5的彈力被向下方推壓，而成爲撞 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先Μ讀背面之注f項再填寫本I) -訂· A7 - __ΒΤ_, 五、發明說明（5 ) 接在閥座12b之狀態（閉閥狀態）。 接著，孔口控制信號Q z被輸入脈衝馬達1 4時，脈 衝馬達14將經由螺桿機構19向把導滑件18向上方拉 起的方向旋轉，由彈簧1 5之彈力使隔膜壓件，被向上方 推壓。 結果，由隔膜1·3向上方彈性復原，從閥座1 2b分 開，將在閥座12b和隔膜13之間形成環狀的流體通路 (孔口）。 再者，本實施例係如第2圖所示，做爲脈衝馬達1 4 使用5 0 0 0 0脈衝/轉的所謂步進馬達。同時，在螺桿 機構1 9，使用螺節距0 . 5mm/轉者。 結果，能得到對脈衝馬達1 4的每1個輸入脈衝1 0 n m之隔膜變位，而能夠進行極高精確度的孔口開度控制 。再者，第2圖中，20爲聯結器，2 1爲軸承，22爲 螺桿機構之軸部。 前述質量流量計9，係測定可變孔口 5的下游側之流 量Q者，將輸出流量檢出信號Q X。 同時，前述真空室1 0，真空壓力計1 0 a及真空泵 1 1等，係構成半導體製造裝置者，前述真空室1 0內的 力··通常係被保持數t 〇 r r程度之真空。 在可變孔口 5的流量特性之試驗時，首先輸入適當的 孔口控制信號Q z，將可變孔口 5之開度設定成所定値， 接著把壓力6 . 0kg/cm2G的氮氣N2供給氣體入口 8ει。其後，把設定壓力信號Qps設定爲0〜3 ( 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

訂 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 -8- A7 ， _____B7___· 五、發明說明（6 ) L.-----------7 裝 (請先閱讀背面之注$項y kgf/cm2 abs)之間的適當値，把壓力控制閥2 開閉控制，同時以質量流量計9測定可變孔口 5的下游側 之N 2流量。 再者，室10係如前述具有9 . 2 6 <的容稹’由真 .空泵1 1保持成約1 t 〇 r r之真空度。 第3圖，係顯示由孔口控制信號Qz，將可變孔口 5 的環狀之間隙（流體通路）面積，做爲和<P = 〇 . 1 4 mm的圓孔形孔口之斷面積等效時的，上游側壓力（亦即 ，壓力設定値Q p s )和孔口下游側的氣體流量Q ( s c c m )之關係者。 再者，此處所謂s c cm，係意指換算成標準狀態時 之流量c c /m i η者》 of· 同時，第4圖係顯示，變更孔口控制信號Qz ，使可 變孔口5的環狀間隙面積成爲和φ=0.25mm之圓孔 形孔口的撕面積等效時之孔口 5上游側的壓力（亦即，設 定壓力信號Qp s )和孔口下游側的氣體流量（s c cm )之關係者。 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 如第3圖及4第圖所顯示，可變孔口 5的下游側壓力 卩2爲1 t 〇 r r = l 33 . 3Pa時，在可變孔口上游側 壓力Pi爲0 . 5kg f/cm2 a b s以上之領域，流 量Q和上游側壓力Ρ:之間，將略成立關係。 換言之，可知即使前述第2圖所示構造的，直接接觸 型之金屬膜片閥的閥座和隔膜間之環狀的流體通路（間隙 )’也具有略等於所謂固定孔口時之壓力，流量控制特性 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（210x297公爱) A7 · _____B7___， 五、發明說明（7 ) 者。 第5圖，係顯示可變孔口 5的流量特性者，在前述第 1圖之試驗裝置，分別將可變孔口 5的上游側壓力Ρχ保持 0.5kgf/cm2 abs，同時將下游側壓力P2保 持爲1 t 〇 r r的真空度之狀態，測定可變孔口 5的動作 行程L(隔膜13之間隙長度）和孔口下游流量Q的關係 測定者。 得知在動作行程L爲0〜約0.12mm之範圍，行 程L (mm)和流量Q ( s c cm)成爲略直線狀的比例 關係，並且此關係能經常被再現》 第6圖，係顯示可變孔口 5的行程L (mm)，和從 第5圖之各流量値將孔口做爲圓孔計算的孔口口徑<pmm 之關係的線圖，得知行程L (mm)和孔口口徑pmm之 關係，係經常有再現性的關係。 亦即，如從前述第5圖及第6圖也顯示，因可變孔口 5的行程L (mm)和流量Q ( s c cm)或行程L ( mm)和孔口口徑p(mm)係經常在一定之對應關係， 故能由改變行程L (mm)將可變孔口的口徑p (mm) 或流量Q ( s c cm)正確地切換變更爲所希望之値，可 知能夠做爲所謂可變孔口充份地作用。 本申請專利範圍的發明，係以如上述之第2圖所示的 直接接觸型金靥膜片閥做爲可變孔口 5的壓力，流量特性 試驗之結果爲基礎而被開發者，申請專利範圍第1項之發 明，係由孔口 5，和設在孔口 5的上游側之控制閥2，和 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) ·扣· (請先Μ讀背面之注$項再填寫本頁)

訂.

經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（8 ) 設在控制閥2與孔口 5間的壓力檢出器4，及將從壓力檢 出器4之檢出壓力Ρ:把流體的流量Q做爲Q^KPi (但 是K爲常數）運算，同時把流童指令信號Q s與前述運算 的流量信號Q之差做爲控制信號Q y向前述控制閥2的驅 動部3輸出之控制裝置7所構成，在以將孔口的上游側壓 力P 2與下游側壓力P 2之比P 2 / P i保持在控制流體的臨 界壓比以下之狀態，由前述控制閥2的開閉調整孔口上游 側壓力Pi，使之控制孔口下游側的流體之流量Q的壓力式 流量控制裝置，把前述孔口 5做爲直接接觸型之金靥膜片 閥，把其閥座1 2 b和隔膜1 3的環狀間隙做爲可變孔口 5者。 同時，申請專利範圍第2項之發明，係如申請專利範 圍第1項之發明，其中，將可變孔口 5，做爲由脈衝馬達 型驅動部調節環狀的間隙之可變孔口者。 並且，申請專利範圍第3項之發明，係如申請專利範 圍第1項之發明，其中，將可變孔口 5，做爲由壓電元件 型驅動部調節環狀的間隙之可變孔口 5者。 申請專利範圍第4項之發明，係如申請專利範圍第1 項之發明，其中，把隔膜1 3的動作行程L做爲〇〜 〇.12mm之範圍者。 申請專利範圍第5項之發明’係如申請專利範圍第1 項之發明，其中，使閥座1 2 b和隔膜1 3的環狀間隙（ 流體通路）之面·積，做爲會和直徑爲〇 . 14〜〇 . 25 mm的圓孔之斷面積相等者。 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本買>

-4— 訂· (f· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -11- A7 __B7__ 五、發明說明（9 ) 申請專利範圍第6項之發明，係如申請專利範圍第2 項之發明，其中，將脈衝馬達型驅動部6，由步進馬達 14和螺桿機構19構成者。 〔爲了將發明實施.的最佳形態〕 以下，根據圖面說明本發明之實施例。 第7圖，係關於本發明的壓力式流量控制裝置之構成 圖，在第7圖1爲壓力式流量控制裝置，2爲壓力之控制 閥，3爲閥驅動部，4爲壓力檢出器，5爲可變孔口，6 爲孔口之驅動部，7爲控制裝置，8 a爲氣體入口，8b 爲氣體出口，10爲真空室，10a爲真空計，11爲真 空泵，Qy爲控制閥之控制信號，QPi爲壓力檢出信號， Q z爲孔口之控制信號，Q s爲流量設定信號，Q 〇 s爲 孔口之開度設定信號。 第7圖中，在壓力控制閥2，係使用和前述特開平8 一 3 3 8 5 4 6號時同樣的，如第8圖之構造的直接接觸 型之金屬膜片閥。 同時，做爲壓力檢出器4，係被用半導體應變計’被 插入固定在壓力控制閥2之壓力檢出器安裝孔1 2 d內。 更且，做爲可變孔口 5及其驅動部6 ’係被使用前述 第2圖所示的直接接觸型之金靥膜片閥及脈衝馬達型驅動 部6。再者，該可變孔口 5及驅動部6的構造’因係和前 述第2圖時相同，在此將省略其說明。 再者，做爲驅動部6，除了脈衝馬達驅動部之外’也 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱) -12- h---.---------& . ο (請先闓讀背面之注$項再填 寫本1>

經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 A7 ' __B7 _ 五、發明說明（10 ) 能夠使用壓電元件型的驅動部或電磁圈型驅動部。 接著，將說明關於該壓力式流置控制裝置之動作。 首先，將流量設定信號Q S及孔口的開度設定信度 Q 〇 s輸入控制裝置7。 接著，所定壓力的氣體被供給氣體入口 8 a時，相當 於由壓力檢出器4檢出的上游側壓力P i之壓力檢出信號‘ Q F_ :會被輸入控制裝置7，而在控制裝置7內被運算流量 Q = K P !。 同時，從控制裝置7 ,將被輸出相當於前述流量設定 信號Q s和運算的流量Q之差的控制閥之控制信號Q y， 壓力控制閥2將把控制閥2向前述Q s和Q之差會減少的 方向開閉控制。 並且，要使可變孔口 5的口徑變化而變更控制流量之 範圍時，將變更孔口的開度信號Q〇 s之設定。據此，孔 口的控制信號Q z會變化，結果由孔口驅動部6之隔膜 1 3的動作行程L會變化，而使孔口之口徑¢) (mm)變 化。 再者，雖然在第7圖的實施例，未進行動作行程L之 所謂反饋控制，可是，當然也可以檢出孔口驅動部6的動 作行程L，由將其檢出値向控制裝置7反饋，而進行行程 L之反饋控制。 同時，在第7圖的實施例，未如第1 1圖所示之已往 的壓力式流量控制裝置，設置由氣體溫度之校正電路，和 孔口 5的下游側壓力P 2上升而P 2/P :之値接近臨界値 (請先鬩讀背面之注$項再填寫本頁) 訂.

經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 L. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公Μ ) -13 - A7 · __B7 _· 五、發明說明（11 ) 時（或成爲臨界値以上時）的警報電路和氣體供給之停止 電路，可是當然也可以設置此等之各電路。 並且，在第7圖的控制裝置7，當然設有使流量Q之 運算値Q = K P i會和第3圖和第4圖等的壓力一流量曲線 一致地校正之電路，和此等的校正所需要之資料的記憶裝 置。 實施例' 第9圖，係顯示構成在本發明使用的可變孔口 5之直 接接觸型的金靥膜片閥之閥本體1 2的主要部份者，第 10圖係第9圖的B部之部份放大圖。 設在閥本體1 2的閥座1 2 c之內徑《/^係設定爲1 5 mm，流體流入通路的內徑#2係設定爲0 . 4mm，同時 ，閥座1 2 b之外徑係設定爲3mm<p，流體流出路的內 徑係設定爲2.5mmp中。 〔發明之效果〕 在本發明，.係做爲流量壓力控制裝置的可變孔口，使 用直接接觸型之金靥膜片閥，將切換控制流童的範圍，做 爲由變更隔膜之動作行程而進行的構成》 結果，例如，比已往之使用針孔式可變孔口時，能夠 將孔口的構造簡化，同時在流體通路內之構件的機械性滑 動部完全消失，發塵等也能夠幾乎忽視。 同時，因爲把直接接觸型的金屬膜片閥做爲可變孔口 <請先閱讀背面之注$項再瑱寫本1) 4 - 訂·

經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -14- A7 B7 五、發明說明（12 ) ’流體流路內之所謂死空間會大幅減少，同時在流體流路 內將不會存在發生咬入氣體之間隙。結果，氣體的置換性 會大幅度地提高。 更且’由變更隔膜之動作行程，能夠簡單而且正確地 進行孔口口徑的變更（亦即變更流量範圍）。結果，比已 往之變換爲口徑不同的孔口時，壓力流量控制裝置之控制 性將大幅提高。本發明係如上述，如半導體製造裝置的氣 體供給系統，做爲處理超高純度氣體之壓力式流量控制裝 置，將發揮特別優異之實用性效果者。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖，係在本發明使用之可變孔口（直接接觸型金 屬膜片閥）的流量控制試驗裝置之構成圖。 第2圖，係在本發明使用的可變孔口之直斷面圖。 第3圖，係顯示由第1圖的試驗裝置之壓力-流量的 測定値之一例者。 第4圖，係顯示由第1圖的試驗裝置之壓力一流量的 測定値之其他例者。 第5圖’.係顯示將可變孔口的上游側壓力P ^和下游側 壓力.P2做爲一定値時，隔膜之行程L (mm)和流量q ( s c cm)的關係者。 第6圖，係顯示將可變孔口的上游側壓力Pi和下游側 壓力P 2做爲一·定値時，和由隔膜之行程（mm)與流量q (s c cm)算出的孔口口徑p (mm)之關係者》 -L---.----I----良.！ - . ^—v (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·

經濟部智慧財產局興工消费合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） .-|5- A7 _B7_ 五、發明說明（13) 第7隱，係關於本發明的壓力式流量控制裝置之構成 圖‘ 第8圖，係壓力控制閥的直撕面圖。 第9圖，係顯示關於本發明的資施例可變孔口的主 要部之直斷面圖。 第1 0圖，係第，9圖的部份擴大圖〆 ，第1 1圖，係已往的壓力式流置控制裝置^之構成圖》 〔圖號說明〕 1……流體壓力控制裝置，2……壓力控制閥，3… …控制閥驅動部，4……壓力檢出器，5……可變孔口， 6……孔口驅動部，7……壓力控制裝置，7 a ......控制 裝置，8 a……氣體入口，8 b……氣體出口，9 ......質 量流量計，1 0……真空室，1 0 a……真空計，1 1… …真空泵，1 2……閥本體，1 2 a……流體入口， 12b ......閥座，1 2 c ......閥室，1 2 d ......壓力檢出 器安裝孔，1 2 e……流體出口 ’ 1 3 ......金屬隔膜， 經濟部智慧財產局貝工消费合作杜印製 14 ......脈衝馬達，1 5 ......彈簧，1 6 ......隔膜壓件， 1 7……彈簧，1 8……導滑件，1 9……螺桿機構， 2 0……聯結器，2 1……軸承，2 2……軸部，Q P :… …壓力檢出信號’ Q P s ......設定壓力信號，Q z ......孔 口之控制信號，Q y……控制閥之控制信號.......Q s… …流量設定信號，Q 〇 s ......孔口之開度設定信號。 -16 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 六、申請專利範固 (請先《tft背面之注—項再填«本頁) 1 . 一種壓力式流量控制裝置，係由孔口，和設在孔 口的上\游側之控制閥，和設在控制閥與孔口間的壓力檢出 器，及從壓力檢出器之檢出壓力？！將流體的流量當成Q = KPi (但是K爲常數）來運算，並且將流量指令信號 Q s與前述運算後的流量信號Q之差當作控制信號Q y向 前述控制閥的驅動部輸出之控制裝置所構成，以將孔口的 上游側壓力P :和/下游側壓力P 2之比P 2 / p i保持在控制 流體.的臨界壓力.以下之狀態下.，藉由前述控制閥的開閉.來 調整孔口上游側壓力P i，以資控制孔口下游側的流體之流 量Q之形態的壓力式流量控制裝置，其特徵爲：前述孔口 係採用直接接觸型之金靥膜片閥，其閥座與隔膜的環狀之 間隙係採用可變孔口。 2 .如申請專利範圍第1項之壓力式流量控制裝置， 其中，可變孔口係採用由脈衝馬達型驅動部來調整環狀間 隙之可變？k 口。 - 經濟部智慧財產局貝工消費合作杜印製 3 .如申請專利範圍第1項之壓力式流量控制裝置， 其中，可變孔口係採用由壓電元件型驅動部來調節環狀間 隙之可變孔口。 4 .如申請專利範圍第1項之壓力式流量控制裝置， 其中，係將隔膜的動作行程L設定在0〜0 · 1 2mm之 範圍。 5 .如申請專利範圍第1項之壓力式流量控制裝置， 其中.，係將閥座‘和隔膜的環狀間隙（流體通路）之面積設 定成：與直徑爲0.14〜0.25mm的圓孔之斷面積 本纸張尺度遠用中家輮率（CNS ) A4规格（210X297公釐） -17 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 相等者。 6.如申請專利範圍第2項之壓力式流韋控制裝置， 其中，脈衝馬達型驅動部係採用：由步進馬達和螺桿機構 所構成者。 (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 本紙》尺度逋用中••家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -18-