TW378325B - Hinge for micro-mechanical device - Google Patents

Description

A7 B7 五、發明説明（1 ) <發明之技術領域> 本發明係有關於一種微機械裝置，並且特別係有關於 一種微機械裝置，該微機械裝置具有一個或多個可藉助樞 紐移動的活動元件。 <發明之背景> 近來在電機械學領域中的發展已趨向各種機械裝置的 微小型化。此類裝置的常見例子有微型齒輪、微型槓桿、 和微型閥。這些微機械裝置是使用積體電路技術製造的， 且經常帶有電氣控制線路。一般的用途包括加速計、壓力 感測器、和致動器。另外一個例子是：立體空間調光器能 夠以微機械的光反射圖素來建構它的架構。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 有一種類型的微機械空間調光器係數位微反射鏡裝置 (DMD)，它有時被稱爲可變形反射鏡裝置。DMD具有由數 百個或數千個微小傾斜反射鏡組成的陣列。投射在 DMD 上面的入射光線被每一反射鏡予以選擇性地反射或不反射 到圖像面 （image plane)上，以便形成影像。爲了要讓 反射鏡傾斜，每一反射鏡係安裝在一個或多個由柱子支撑 的樞紐上。這些反射鏡是藉由空氣間隙來加以隔離開的， 並係設置在控制線路的上方。該控制線路提供靜電作用力 ， 該靜電作用力使得每一反射鏡選擇性地傾斜。在許多 DMD裝置裏，反射鏡的邊緣會接觸到一個著地電極，該電 極的功能係用作爲一止塊 （stop)。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4 - A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 2 ) 1 1 I DMD 經 過 持 續 使 用 之 後 9 樞 紐 可 能 會 因 爲 重 覆 的 變 形 1 I 而 有 機 械 鬆 他 的 現 象 〇 引 起 此 類 鬆 他 現 象 的 另 一 個 可 能 因 /-—V I 請 素 是 在 極 限 溫 度 環 境 下 操 作 DMD 〇 當 樞 紐 發 生 鬆 他 之 後 9 先 閎 1 1 該 裝 置 可 能 不 再 能 夠 適 當 地 操 作 〇 背 面 1 I 之 1 注 | 意 I 事 1 < 發 明 之 概 述 > 項 再 本 發 明 之 一 特 徵 是 本 發 明 係 屬 於 — 種 改 良 的 微 機 械 裝 填 寫 裝 頁 1 置 9 該 類 微 機 械 裝 置 至 少 具 有 個 由 樞 紐 支 撑 的 移 動 元 件 S/ 1 〇 該 極 紐 具 有 第 一 材 料 和 第 二 材 料 的 交 替 層 0 該 第 一 材 料 1 1 由 於 它 的 易 於 接 受 加 工 作 業 程 序 的 特 性 9 所 以 傳 統 上 即 被 1 1 使 用 於 微 機 械 枢 紐 上 0 第 二 種 材 料 具 有 某 些 特 性 9 這 些 特 訂 1 性 是 吾 人 希 望 要 有 但 是 係 第 類 材 料 所 缺 乏 的 9 譬 如 是 強 1 1 度 或 熱 穩 定 性 〇 1 本 發 明 的 一 項 優 點 是 它 提 供 一 個 更 有 彈 性 的 樞 紐 9 f 11 V 1 該 樞 紐: 能 夠 增 加 DMD 或其它微機械裝置的壽命 ) 這 些 被 1 1 使 用 於 交 替 層 的 材 料 可 以 依 照 所 希 望 要 有 的 各 種 性 質 來 作 - '1 1 選 擇 〇 例如 — -個 「原始母材料 (P a r e η t m a t e r i a 1 ) J I ， 該 材 料 係 由 於 其 易 接 受 加 工 流 程 的 特 性 所 以 傳 統 上 被 1 I 使 用 於 樞 紐 9 這 原 始 母 材 料 能 夠 交 替 地 以 一 個 厂 補 強 性 材 1 1 1 料 J 取 代 9 該 補 強 性 材 料 能 夠 增 加 樞 紐 的 強 度 〇 因 此 9 製 1 1 造 該 極 紐 的 方 法 不 需 要 實 質 改 變 現 行 生 產 程 序 中 的 蚀 刻 化 1 1 學 法 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（3 ) <圖式之簡單説明> 圖1説明一種微機械裝置的未受變形橫梁元件，該微 機械裝置係本發明的數位微反射鏡裝置（DMD)。 圖2説明圖1之橫梁元件的變形狀態。 圖3説明圖1和圖2裏的柩紐。 圖4至圖7説明具有本發明樞紐的 DMD裝置之製造 方法。 圖8説明本發明樞紐的使用壽命與傳統樞紐相比較的 情形。 <發明之詳細説明> 爲了舉例説明起見，以下係藉由一種特殊類型的微機 械裝置來作説明，該微機械裝置係一種「數位微反射鏡裝 置」（DMD )。有時也被稱爲「可變形反射鏡裝置」。如同 先前在「發明之背景」裏的説明，一個 DMD裝置包含有 微小型的樞紐接反射鏡，每一反射鏡被支撑在控制電路基 層的上方。本發明係應用於 DMD的製程期間，以便提供 一種改良的樞紐。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 •6· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 4 ) 1 1 DMD 的 用 途 之 一 是 用 來 形 成 影 像 的 9 在 此 種 用 途 上 9 I DMD 裝 置 具 有 — 個 可 偏 轉 的 反 射 鏡 陣 列 9 該 陣 列 可 選 擇 性 1 地 將 光 線 反 射 到 圖 像 面 上 〇 由該 DMD 裝 置 形 成 的 影 像 能 /—S 1 1 請 \ 夠 被 使 用 在 顯 示 系 統 内 、 或 是 使 用 於 非 擊 打 式 的 印 刷 作 業 先 閱 1 1 ♦ 1 | 裏 Ο DMD 也 能 夠 被 使 用 在 其 它 不 涉 及 成 像 作 用 的 應 用 上 背 面 1 J 之， 1 9 例 如 光 學 導 航 光 學 開 關 操 作 > 和 加 速 度 計 〇 在 這 些 用 注 意 重 1 | 途 之 中 的 某 些 應 用 裏 9 反 射 鏡 不 需 要 有 反 射 作 用 0 且 在 某 Ψ 項 再 些 應 用 裏 9 DMD 係 以 類 比 模 式 操 作 、 而 非 數 位 模 式 操 作 〇 填 寫 本 頁 大 體 上 9 此處所用的 Γ DMD J -— 詞 是 包 括 任 何 具 有 至 少 1 一 個 裝 設 有 樞 紐 的 可 偏 轉 元 件 之 微 機 械 裝 置 9 該 元 件 係 藉 1 1 由 空 氣 間 隙 將 它 與 一 個 呈 相 對 移 動 的 基 層 ( S U bs t r at e ) 1 I 隔 離 開 Ο 訂 1 | 本 發 明 也 能 夠 被 使 用 在 其 它 種 類 的 微 機 械 裝 置 裏 9 該 1 1 I 微 機 械 裝 置 具 有 依 附 在 樞 紐 上 的 活 動 元 件 0 與 DMD 的 傾 1 斜 橫 梁 一 樣 9 其 它 的 微 機 械 裝 置 也 可 以 具 有 移 動 部 件 這 (I 1 些 部 件 的 運 動 是 由 於 極 紐 的 變 形 而 產 生 的 9 因 此 導 致 一 段 1 1 時 間 之 後 9 極 紐 產 生 機 械 鬆 他 的 可 能 性 Ο - | 1 圖 1 和 圖 2 説 明 DMD 裝置的單- '反射鏡元件 10 〇 在 - 1 1 I 圖 1 裏 9 該 反 射 鏡 1 1 未 受 到 偏 轉 9 然 而 在 圖 2 裏 9 該 反 1 1 1 射 鏡 1 1 受 到 偏 轉 9 而 傾 斜 朝 向 一 著 地 電 極 17 ) 如 同 上 1 1 述 所 指 出 的 9 此 類 的 橫 梁 元 件 1 0 能 夠 以 單 獨 或 排 列 成 -— 1 1 陣 列 的 方 式 9 被 使 用 在 各 種 DMD 的應用上 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（5 ) 圖1和圖2的反射鏡元件 10 是以「抗扭梁 (torsion beam)」的名稱爲人所熟知。本發明之製法也 可以製作成其它類型的橫梁元件10， 包括懸臂梁型和撓 曲梁型。美國專利 4 / Ϊ62，74 6標題爲「空間立體調光 器與方法」、美國專利 4，9 5 6 , 6 ί0標題爲「空間立體 調光器」、美國專利 5 , 061，049標題爲「空間立體調光 器與方法」、美國專利 5.083，85 7標題爲「多級可變形 反射鏡裝置」、和美國專利 08/097, 824之中，説明種種 的 DMD裝置類型，這些專利每一項都係授與德州儀器公 司（Texas Instruments Incorporated)，這些專利將在 此處予以參照説明。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 在影像顯示應用的作業裏，一個光源照射在 DMD裝 置的表面。一透鏡系統可以被用來將光線塑造成近似橫梁 元件陣列 1 0的大小，並且將光線導引向這些橫梁元件陣 列。每一個反射鏡元件 10在扭轉樞紐 12 (torsion h i n g e )上面設有一個傾斜反射鏡 11，該扭轉樞紐係依附 於支柱 13。 這些支柱係設置在基層 15上面，並向外延 伸。反射鏡 1 1是放置在一控制線路 14的上方，該控制 線路係由基層 1 5上面的位址與記憶線路構成的。 根據存在於控制線路 1 4的記憶體内部之數據，施加 電壓到兩個位址電極 1 6， 該位址電極係位於反射鏡 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 3—-1. [ '---- I ' I □ A7 B7五、發明説明（6 ) 的兩相反隅角下方。在反射鏡 11和它們的位址電極 1 6 之間的靜電作用力係藉由將電壓選擇性地施加到位址電極 16而產生的。這靜電作用力使得每一反射鏡 11傾斜大 約 + 10度（通電時）或-10度（電壓消除時），藉此 ，調整 DMD裝置表面上的入射光線。從通電時的反射鏡 11折射而回的光線，經由顯示光學鏡片’被引向一個圖 像面。來自電壓消除時的反射鏡 1 1之光線被折射離開圖 像面。這些光線所產生的圖形構成一個影像。在每一影像 畫面中，反射鏡 1 1通電時間的比例決定影像的灰影。並 且能夠藉由一個彩色轉盤或是以一個具有三個 DMD的裝 置而得以添加顏色到影像上0 在實際上，反射鏡 1 1和它的位址電極 16形成電容 器。當適當的電壓被施加到反射鏡 1 1和它的位址電極 1 6的時候，產生出來的靜電作用力（吸引力或排斥力） 使得該反射鏡 1 1傾斜向具有吸力的位址電極 1 6或離開 具有排斥力的位址電極 16。 反射鏡 1 1向下傾倒直到它 的邊緣接觸到下方的著地電極 17爲止。 一旦介於位址電極 1 6和反射鏡 1 1之間的靜電作用 力被去除，儲存在樞紐 1 2内部的能量提供一個回復作用 力，以便使該反射鏡 1 1回到未受偏轉的位置。適當的電 壓可以被施加到該反射鏡 1 1或位址電極 16， 以便幫助 將反射鏡 1 1退回到它的未受偏轉位置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210父297公釐） ~ ~~ 1^-------——.——------© (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部甲央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 如同圖1和圖2所顯示的，樞紐 12 包含有不同材料 構成的交替層 12a和 12b。 如同以下的解釋，一個交替 層係由一個「母材料 （parent material)」製作成的， 該母材料因其易於接受該裝置製造程序，所以一般被使用 在製造此類的樞紐。另一交替層爲一「加強材料」，該加 強材料能夠將一些所希望得到的特性添加到該樞紐之中， 譬如是強度或熱穩定性。在本説明的例子之中，交替層 1 2 a和 1 2 b分別是氧化鋁和鋁材，而且以氧化鋁爲補強 材料。 樞紐 12 的總厚度爲 100 至 1 000 埃 (angstroms)的大小程度，而每一交替層 12a和 12b的 厚度佔有此一總厚度的一部份。在本説明之中，只使用兩 個交替層是爲了説明方便起見---典型的樞紐 12對每 一種材料能夠有許多交替層。作爲另一個例子，該加強材 料可以被包裹在母材料之中，此意謂：由加強材料構成的 核心層將會有母材料在該核心層的上方和下方。 圖3係樞紐 12的剖面視圖。在這個例子之中，有四 個以母材料製作的交替層 1 2 a和三個以另一材料製作的 交替層 12b。 每一交替層 12a厚度大約 75埃，而每一 交替層 12b的厚度大約爲 50埃。 如同以上的説明，母材料係由於它易於接受微機械裝 置製造期間採取的傳統加工步驟，而被選用。依照這個規 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 10 - 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 則，該母材料主要是鋁。因爲由於各種理由，在同一裝置 之中的其它結構適合使用鋁材，是故，鋁可能被選用作爲 母材料。且，特別對於樞紐而言，鋁適合於作裝飾加工 (pattern processing)， 例如， 光電阻蚀刻 (photoresist etching)。 對於本説明之目的，交.替層 1 2 a所使用的母材料之特性係指它的易於加工性，並且意 指該母材料係屬於傳統上被使用於微機械裝置的一種材料 類型。 加強材料係由於某些可能是第一材料所缺乏的特性， 而被選用。在本説明之例子之中，第二類型的材料限制了 母材料的鬆弛。這是因爲第二材料比母材料較爲堅硬（較 少延展性）所產生的結果。於是，使用氧化鋁作爲加強材 料。 當想要增強樞、紐強度的時候，氧化鋁是唯一可能的候 選材料，用以製作交替層 12b。 交替層 12b的其它候選 材料有鈦、鈦-鎢合金、鎢、钽、鉻、硫化鋅、多晶硅 、二氧化硅、銅、鉬、鎳、和氮化鋁。這些材料之中的每 一種在本質上都比鋁有更高的強度，這意謂在重覆的變形 之後，材料將不會很快地失去張力。 其它的材料組合能夠改善其它的性能標準。溫度穩定 性可以藉由加入比母材料具有更大溫度範圍之穩定性的交 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閎讀背面之注意事頃再填寫本頁)

11 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（9 ) 替層材料，而得到改善。 圖4至圖7説明本發明的樞紐 1 2的製造方法。爲了 舉例説明起見，係藉由上述類型之 DMD裝置的一個單一 反射鏡元件 1 0爲例以解釋説明本發明的方法。一般而言 ， 將是在具有橫梁元件 10構成之陣列的 DMD裝置製造 期間採用本發明之方法。或是在製造任何其它具有至少一 個活動元件的微機械裝置期間採用本發明之方法。 大體上，圖4至圖7的加工程序涉及交替輪流的步驟 ，以沉澱樞紐 1 2的交替層。爲了舉例説明之目的，僅解 釋兩個交替層的沉積作用，但應瞭解的是，可以進行另外 的沉積步驟，以沉積更多的交替層。 在圖4裏，支柱 13已經藉由像是光電阻蝕刻法的方 式，被形成在基層 15上面。一個隔離材料 40 已經被沉 積完成，並且已經被加工以填入支柱 13之間的空間，使 得隔離材料 40的頂面實質地與支柱 13的頂端位於同一 平面上。 極紐交替層 1 2 a的一個第一交替層 4 2 已經被沉積 且形成在隔離材料 40頂面和支柱 13頂面的表面上。然 後，樞紐交替層 1 2 b的一個第二交替層 4 4被沉積且形 成在第一交替層 42的上方。兩交替層的沉積可以藉由任 (請先W讀背面t注意事項再填寫本頁) ΛΙ7 Γ IL7. 裝. 訂 .6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS》A4規格（210X297公釐） 12 A7 B7 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 10 ) 1 I 何 傳 統 方 法 譬 如 是 喷濺法達成 〇 這 種 結 構 形 成 法 造 成 圖 1 1 1 和 圖 2 所 提 供 的 樞 紐形狀。如 同 上 述 的 説 明 9 第 一 交 替 層 1 1 42 和第二交替層 4 4係屬不同的材料 } 其 中 — 種 材 料 係 1 I 請- 1 I 易 於 加 工 的 母 材 料 ，而另一種 材 料 爲 種 可 改 善 母 材 料 中 閎 1 1 較 爲 缺 乏 的 某 些 材 料特性之增 強 材 料 〇 符 合 説 明 例 子 的 交 m 背 面 1 I 之 1 替 層 42 和 44 的 兩種材料分 別 是 氧 化 鋁 和 鋁 材 0 然 而 9 注 音 1 事 1 就 如 同 上 述 的 説 明 ，兩交替層 也 可 以 使 用 其 它 的 材 料 〇 項 再 (1 填 寫 本 •ΕΓ .1 裝 I 在 圖 5 之 中 9 一個氧化物 交 替 層 52 已 經 被 沉 積 覆 蓋 貝 1 1 在 交 替 層 44 上 方 ，然後加入 圖 案 和 蝕 刻 加 工 以 便 在 支 柱 1 1 13 上方產生交替層 44的多條氧化物長條帶< ) 然 後 在 交 1 I 替 層 42 現 有 曝 露 在外的表面 上 和 氧 化 物 交 替 層 52 的 上 訂 I 方 沉 積 一 反 射 鏡 層 54。一種常被用作爲反射鏡交替層 54 1 1 I 的 材 料 是 鋁 9 這是因爲它的反射特性 ，且符合交替層 44 1 1 I 的 易 於 加 工 之 特 性 。 在本説明之例子裏 只有交替層 44 1 /*111 被 蚀 刻 加 工 9 但 應 瞭解：像在 圖 5 裏 的 用 以 去 除 部 份 的 枢 (J 1 紐 交 替 層 12a 和 1 2 b之蚀刻 加 工 作 業 係 可 任 意 選 擇 使 用 1 1 的 〇 對於每- -種材料具有多個交替層之樞紐 12 9 蚀 刻 能 I 夠 在 兩 種 類 型 材 料 的交替層上 進 行 〇 - 1 1 I 在 圖 6 裏 9 反 射鏡層 5 4 的 形 成 與 蚀 刻 加 工 是 以 某 種 1 1 1 加 工 程 序 完 成 的 9 選擇何種加 工 程 序 係 依 照 氧 化 物 交 替 層 1 1 52 之氧化物而定c 參照圖1 和 圖 2 以 及 圖 6 9 其 結 果 是 1 1 形 成 每 一 反 射 鏡 元 件 10的反 射 鏡 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 13 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（11) 在圖7裏，隔離材料 4 0和氧化物層 5 2的殘留部份 已被去除。這使得反射鏡 1 1能夠如同上述的討論一般地 被轉動。如同在圖1和圖2裏，樞紐 12 包含有兩交替層 12a和 12b，其中，交.替層 12b係母材料交替層，使用 如同反射鏡 1 1 一樣的材料。因此，樞+紐層 1 2 b也是有 反射性的，也與反射鏡 1 1同樣易接受其後的加工步驟。 圖8説明本發明之層疊狀樞紐與一個單層鋁製樞紐的 比較。這些樞紐：被使用作爲圖1和圖2所示的反射鏡元件 10 的樞紐 12。糸了圖8的比較結果之外，樞紐 12具有 四層鋁材，每一層厚度約爲 120埃，以及五層的氧化鋁 ，每一層厚度約爲 30埃。 這項比較係藉由負荷鬆他 （load relaxation)來進 行的，也就是量取令反射鏡 1 1朝任一方向傾斜所需的最 低尋址電壓：（address voltage)之增加量來作比較。當 最小尋址電壓達到下方的控制線路 1 4所產生的最大値的 時候，反射鏡元件 1 0被視爲已故障。在 1 0 0小時的操 作之後，非層疊式的樞紐故障。然而，層疊式的樞紐：在 6 0 0小時操作之後才故障。 其它的實施例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ---------^裝-- (請先®w背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A7 B7 五、發明説明（12 ) 雖然本發明已經參照特定的實施例來作説明，但這項 説明並不應被解釋爲係本發明之限制。對熟知此一技術領 域者，本實施例的各種變化和修改是顯而易見的。因此， 本發明之眞正範園應包括所有在本發明随附申請專利範圍 内之變化。 (請先®^背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 、申請專利範圍 1. 一種改良的微機械裝置，該微機械裝置係屬於一種包 含至少一個移動元件的類型，該移動元件係支撑於樞紐上 ，其中，所作的改良包括： 一個樞紐，該樞紐具有由第一材料和第二材料製成的交替 層、前述的第一材料易於接受前述微機械裝置的加工作業 程序，而俞述的第二材料比前述的第一.材料有較少的延展 性。 請 先 閱 之 注 意 事 項 再 頁 2 .如申請專利範圍第1項所述的微機械裝置，其中前述 的一材料主要是鋁。 3 .如申請專利範園第2項所述的微機械裝置，其中前述 的第二材料主要是氧化鋁。 置 裝 械 機 微 的 述 所 項 2 第 圍 範 利 專 請 中 如 述 前 中 其 鈥 是 要 主 料 材二 第 的 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 置 裝 械 機 微 的 述 所 項 2 第 圍 範 利 專 請 申 如 5 述 前 中 其 鎢 是 要 主 料 材二 第 的 置 裝 械 機 微 的 述 所 項 2 第 圍 範 利 專 請 中 如 6 M 是 要 主 料 材二 第 的 置 裝 械 機 微 的 述 所 項 2 第 園 範 利 專 請 中 如 述 前 中 其 述 前 中 其 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） 16 找㈣鈕. 戠 C8 D8 •申請專利範圍 的第二材料主要是鉻。 (請先閱讀背面之·ίΐ-意事項再填寫本頁) 8 .如申請專利範園第2項所述的微機械裝置，其中前述 的第二材料主要是硫化鋅。 9 .如申請專利範圍第1項所述的微機械裝置，其中前述 的第二材料主要是氮化鋁。 1 0 . —種改良的微機械裝置之樞紐製造法，該微機械裝置 包含至少一個活動元件，該活動元件附著到樞紐上，使得 前述的元件可以活動，前述之改良包括以下的步驟： 將一層第一材料沉積在基層上’前述的第一材料易於接受 前述微機械裝置之加工程序； 將一層第二材料沉積在前述的第一材料層上，前述的第二 材料係比前述的第一材料層較少延展性；以及 對前述的第一或第二材料層或兩材料層進行蚀刻作業’以 形成前述的樞、細。 經濟部中央楯準局員工消費合作社印製 11 .如申請專利範園第1 述的第一材料主要是鋁。 項所述的 S: 微機械^中前 1 2 .如申請專利範圍第1 1項所述的微· 述的第二材料主要是氧化鋁。 其中前 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 17

   申請專利範圍 13.如申請專利範園第1 1項所述的微機，其中前 述的第二材料主要是鈦。 1 4 .如申請專利範圍第1 述的第二材料主要是鎢。 項所述的

   ，其中前 1 5 .如申請專利範園第1 述的第二材料主要是氮化鋁。 幽 項所述的稱

   其中前 (請先閔讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 16. —種數位微反射鏡裝置（DMD)，該裝置包含有： • - ______ .-..... -' ' ' 一基層，在該基層上製作有以下的元件：至少一個著地電 極、一個支柱、一個自該支柱延伸出來的樞紐、和一個附 著到該樞紐上的反射鏡，其中，前述的樞紐係可變形的， 以便讓前述的反射鏡在承受一施加的作用力之下，可以移 向前述的著地電極；以及 其中，前述的樞紐具有第一材料和第二材料的交替層，前 述的第一材料係由於它的易於進行該 DMD裝置的加工程 序之特性而被選用，而前述的第二材料之選擇係由於它比 前述第一材料有較大的強度。

   本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 述的第二材料主要是氧化鋁。 8

   5 7 所埃 ϊ ο 項 ο I—Η 6 1 於 第少 圍度 範厚 利層 專 一 請 每 申 層 如各 . 的 20述

   前 (諳先閔讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 19