KR960002469A - 마이크로 메캐니컬 디바이스용으로 개량된 힌지 - Google Patents

마이크로 메캐니컬 디바이스용으로 개량된 힌지 Download PDF

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엘. 니페 리차드
제이. 포라디시 프랭크
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윌리엄 이. 힐러
텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드
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Abstract

마이크로 매캐니컬 디바이스(10)용 개량된 힌지(12). 힌지는 다른 물질의 교호층(12a,12b)으로 제조된다. 제1물질은 제조 프로세스에 대한 반응성에 기초하여 선택되고, 제2물질은 제1물질과 관련하여 강도 또는 소정의 다른 원하는 특징을 위해 선택된다.

Description

마이크로 매캐니컬 디바이스용으로 개량된 힌지
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 제조된 마이크로 매캐니컬 디바이스의 한 종류진 디지탈 마이크로 미러 디바이스(DMD)의 편향적이지 않은 빔 소자를 도시하는 도면,
제2도는 편형된 위치의 제1도의 빔 소자를 도시하는 도면,
제3도는 제1도 및 제2도의 힌지를 도시하는 도면.

Claims (20)

  1. 힌지에 의해 지지된 적어도 하나의 이동 소자를 갖고 있는 형태의 개량된 마이크로 매캐니컬 디바이스에 있어서, 제1물질 및 제2물질의 교호층을 갖고 있는 힌지를 포함하고, 상기 제1물질이 상기 마이크로 매캐니컬 디바이스의 프로세싱에 반응하고, 상기 제2물질이 상기 제1물질보다 덜 변형가능한 것을 특징으로 하는 마이크로 메캐니컬 디바이스.
  2. 제1항에 있어서, 상개 제1물질이 주로 알루미늄인 것을 특징으로 하는 마이크로 메캐니컬 디바이스.
  3. 제2항에 있어서, 상개 제2물질이 주로 알루미나인 것을 특징으로 하는 마이크로 메캐니컬 디바이스.
  4. 제2항에 있어서, 상개 제2물질이 주로 티타늄인 것을 특징으로 하는 마이크로 메캐니컬 디바이스.
  5. 제2항에 있어서, 상개 제2물질이 주로 텅스턴인 것을 특징으로 하는 마이크로 메캐니컬 디바이스.
  6. 제2항에 있어서, 상개 제2물질이 주로 탄탈륨인 것을 특징으로 하는 마이크로 메캐니컬 디바이스.
  7. 제2항에 있어서, 상개 제2물질이 주로 크롬인 것을 특징으로 하는 마이크로 메캐니컬 디바이스.
  8. 제2항에 있어서, 상개 제2물질이 주로 황화 아연인 것을 특징으로 하는 마이크로 메캐니컬 디바이스.
  9. 제1항에 있어서, 상개 제2물질이 주로 질화 알루미늄인 것을 특징으로 하는 마이크로 메캐니컬 디바이스.
  10. 소자가 이동할 수 있도록 힌지에 부착된 적어도 하나의 이동가능한 소자를 갖고 있는 마이크로 메캐니컬 디바이스용 힌지를 제조하는 개량된 방법에 있어서, 기판상에 상기 마이크로 메캐니컬 디바이스의 프로세싱에 반응하는 제1물질의 층을 피착하는 단계; 상기 제1물질의 상기 층 상에 상기 제1물질보다 덜 변형가능한 제2물질의 층을 피착하는 단계; 및 상기 힌지를 패턴화하기 위해 상기 제1 또는 상기 제2층 또는 이들 2개의 층을 에칭하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 힌지를 제조하는 개량된 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1물질이 주로 알루미늄인 것을 특징으로 하는 힌지를 제조하는 개량된 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제2물질이 주로 알루미나인 것을 특징으로 하는 힌지를 제조하는 개량된 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 제2물질이 주로 티타늄인 것을 특징으로 하는 힌지를 제조하는 개량된 방법.
  14. 제11항에 있어서, 상기 제2물질이 주로 텅스턴인 것을 특징으로 하는 힌지를 제조하는 개량된 방법.
  15. 제11항에 있어서, 상기 제2물질이 주로 질화 알루미늄인 것을 특징으로 하는 힌지를 제조하는 개량된 방법.
  16. 적어도 하나의 랭딩 전극, 지지 포스트, 상기 지지 포스트로부터 연장하는 힌지, 상기 힌지에 부착된 미러가 제조되는 기판을 포함하고, 상기 힌지는 인가된 힘에 영향을 받을 때 상기 미러가 상기 랜딩 전극을 향해 이동되도록 변형될 수 있고, 상기 힌지는 제1물질 및 제2물질의 교호층을 갖고 있고, 상기 제1층은 상기 DMD의 프로세싱에 대한 반응성을 위해 선택되고 상기 제2물질은 제1물질보다 비교적 강도가 높게 선택되는 것을 특징으로 하는 디지탈 마이크로 미러 디바이스(DMD).
  17. 제16항에 있어서, 상기 제1물질이 주로 알루미늄인 것을 특징으로 하는 디지탈 마이크로 미러 디바이스(DMD).
  18. 제17항에 있어서, 상기 제2물질이 주로 알루미나인 것을 특징으로 하는 디지탈 마이크로 미러 디바이스(DMD).
  19. 제18항에 있어서, 상기 제1물질의 상기 층이 약 75A 두께이고, 상기 제2물질의 상기 층이 약 50A 두께인 것을 특징으로 하는 디지탈 마이크로 미러 디바이스(DVD).
  20. 제16항에 있어서, 상기 충돌의 각각은 두께가 100A 이하인 것을 특징으로 하는 디지탈 마이크로 미러 디바이스(DMD).
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950017439A 1994-06-30 1995-06-26 마이크로메캐니컬디바이스용으로개량된힌지 KR100344610B1 (ko)

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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6421365B1 (en) 1999-11-18 2002-07-16 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
AUPP993299A0 (en) 1999-04-22 1999-05-20 Silverbrook Research Pty Ltd A micro-electro mechanical method and apparatus(mems15)
AUPP993099A0 (en) * 1999-04-22 1999-05-20 Silverbrook Research Pty Ltd A micromechancial device and method(ij46p2b)
AU770945B2 (en) * 1999-04-22 2004-03-11 Silverbrook Research Pty Ltd Actuator element
US6220561B1 (en) * 1999-06-30 2001-04-24 Sandia Corporation Compound floating pivot micromechanisms
US6952302B2 (en) * 2000-08-11 2005-10-04 Reflectivity, Inc Hinge structures for micro-mirror arrays
US6307169B1 (en) * 2000-02-01 2001-10-23 Motorola Inc. Micro-electromechanical switch
US7091924B1 (en) * 2000-06-09 2006-08-15 University Of Hawaii MEMS transmission and circuit components
US6556741B1 (en) 2000-10-25 2003-04-29 Omm, Inc. MEMS optical switch with torsional hinge and method of fabrication thereof
US6647164B1 (en) 2000-10-31 2003-11-11 3M Innovative Properties Company Gimbaled micro-mirror positionable by thermal actuators
US6711318B2 (en) 2001-01-29 2004-03-23 3M Innovative Properties Company Optical switch based on rotating vertical micro-mirror
US6571029B1 (en) 2001-02-13 2003-05-27 Omm, Inc. Method for determining and implementing electrical damping coefficients
US6556739B1 (en) 2001-02-13 2003-04-29 Omm, Inc. Electronic damping of MEMS devices using a look-up table
US6525396B2 (en) * 2001-04-17 2003-02-25 Texas Instruments Incorporated Selection of materials and dimensions for a micro-electromechanical switch for use in the RF regime
US7436573B2 (en) * 2003-02-12 2008-10-14 Texas Instruments Incorporated Electrical connections in microelectromechanical devices
US7459402B2 (en) * 2003-02-12 2008-12-02 Texas Instruments Incorporated Protection layers in micromirror array devices
US7183618B2 (en) * 2004-08-14 2007-02-27 Fusao Ishii Hinge for micro-mirror devices
US7320899B2 (en) * 2004-10-21 2008-01-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-displays and their manufacture
US20080068697A1 (en) * 2004-10-29 2008-03-20 Haluzak Charles C Micro-Displays and Their Manufacture
US7463406B2 (en) * 2004-12-31 2008-12-09 Au Optronics Corp. Method for fabricating microelectromechanical optical display devices
TWI249191B (en) * 2004-12-31 2006-02-11 Au Optronics Corp Method for fabricating a microelectromechanical optical display device
US7384799B2 (en) * 2005-01-26 2008-06-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method to avoid amorphous-si damage during wet stripping processes in the manufacture of MEMS devices
US7374962B2 (en) * 2005-09-29 2008-05-20 Miradia Inc. Method of fabricating reflective spatial light modulator having high contrast ratio
US8171804B2 (en) 2006-12-22 2012-05-08 Texas Instruments Incorporated Motion conversion system
US9138994B2 (en) 2009-03-03 2015-09-22 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. MEMS devices and methods of fabrication thereof
US11892619B2 (en) 2019-09-04 2024-02-06 Lumentum Operations Llc MEMS device with a three-layer comb actuator structure and a two-layer hinge
CN116025222A (zh) * 2022-12-28 2023-04-28 厦门承宏五金有限公司 一种磁力机械锁

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4423401A (en) * 1982-07-21 1983-12-27 Tektronix, Inc. Thin-film electrothermal device
US4662746A (en) 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5096279A (en) * 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5061049A (en) * 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4793699A (en) * 1985-04-19 1988-12-27 Canon Kabushiki Kaisha Projection apparatus provided with an electro-mechanical transducer element
US4740410A (en) * 1987-05-28 1988-04-26 The Regents Of The University Of California Micromechanical elements and methods for their fabrication
US4956610A (en) 1988-02-12 1990-09-11 Pgm Diversified Industries, Inc. Current density measurement system by self-sustaining magnetic oscillation
US5083857A (en) 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
US5233456A (en) * 1991-12-20 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated Resonant mirror and method of manufacture
US5374792A (en) * 1993-01-04 1994-12-20 General Electric Company Micromechanical moving structures including multiple contact switching system
US5399415A (en) * 1993-02-05 1995-03-21 Cornell Research Foundation, Inc. Isolated tungsten microelectromechanical structures
WO2014078484A1 (en) 2012-11-15 2014-05-22 Endocyte, Inc. Conjugates for treating diseases caused by psma expressing cells

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KR100344610B1 (ko) 2002-11-29

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