TW318940B - Device for measuring thickness of metal film on inner surface of panel - Google Patents

Description

318q 4〇 A7 B7 五 '發明説明（ 經濟部中央標準局員工消費合作.杜印製 《發明之範圍》 本發明係有關於一種裝置，用以測量在面板之内表两 上形成的金屬薄膜厚度，例如陰極射線管（CRT)面板，尤 其將指一種裝置，用以測量移動中的面板内表面上堆積的 薄膜厚度。 ' 《發明之背景》 在典型的面板的内表面上，形成一層預設圓型的螢光 膜，而在螢光膜表面上又形成一層金屬薄膜。該金屬膜反 射螢光膜產生的光，該光乃由於電子束衝擊面扳的前表面 所激起者，藉此增進光度，並保護螢光膜不致於受電子束 =衝擊。金屬薄膜係*具有優異反光性能的纟g製成。 薄膜厚度愈增加，其光學上的反絲亦增加，但卻減少了 2束透if金麟膜傳送的能量。由是在纽射性與能量 送生兩相權衡下，金屬薄膜厚度須予適當的設定。 制。在形成金屬薄膜時其厚度予以週期性的測量並予控者。度係由一操作員操作一測量用偵察器測量 卜在測量時係以—^置於金屬«堆積器者，’置化而使測量結果無法正確。更有甚 量作業更形困難Γ面板間歇性移動的結果，使上揭測 《發明之總論》 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} -----------------------、玎----—-^--- n^n (^ϋ ·

五、發明説明（ A7 B7 為了克服上揭問題，本發明之目的乃在 以測量在面板之内表面上形 =产、$置二 表面則連同面板移動者。 尤屬叶膜厗度，而孩内 本發明的另-目的是提供一裂置，用以測量在面板之 L測量作 J量在面 被移動之面板上，一道勒甘、Γ 低木，.覆蓋於 Γ ’其—糾樞軸與框架相結合使 用 ==成的金屬薄膜厚度:改進

士為達成上揭目的，於此提供—種裝置 Κΐϊίί形成的金麟膜厚度，包括—J 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 =置的触可以祕，—裝設⑽軌上的小 :軌:;;動，與小拖車結合的軌道機構，用以移 =j表面，裝設於小拖車上的測量用偵 屬薄二：移時離開小拖車，以接觸移動的面板而測量金 ΐίί 及升降機構可對著面板舉上與降下測量利用 最好更有裝在導軌另—第—引· =軌來調整導軌触置角度，且在沿面板移動^ 軌上形成一導溝。 彳工幻等 最好的是軌道機構包括—軌道桿，其—端固定於小拖 丄另-端則向下垂直延伸，如避免與導軌相接觸，還有 一弟二引動器連接於軌道桿的另一端，以選擇性的與面扳 接觸，而使小拖車跟隨面板的移動而沿導軌移動。 (請先閲請背面之注意事項再填寫本頁) 丨裝，— mi 嘗 I v~^ . *νβ Μ氏浪尺度刺巾_ ^iTcNS ) Α4規格（210Χ 297^1~ Α7 Β7 ^ίδ94〇 五、發明説明（） 更進一步，最好疋有—垂直貫穿孔形成於小拖車，而 且升降機構包括-個托盤位於導軌下部可以相對 垂直方向移動，並且連有測量用偵察器，還有一篦=軌在 J附有一桿通過小拖車的垂直貫穿孔及導溝 《圖示之簡單説明》 上揭的本發明之目的與優點可就較佳之具實施例來昭 所附圖示予以描述後更能明瞭，其中： ’ 第1圖為本發明之測量在面板之内表面上的金屬薄膜厚 度之裝置之分解透視圖；及 第2A圖至2C圖為本發明裝置之動作情形侧面圖。 《較佳具體實施例之詳細描述》 參照第1圖，本發明測量金屬薄膜厚度之裝夏係安裝 於一面板90之上部，該面板90則安置於移動盤1〇之上，該 盤10由一驅動馬達（未標示）開歇移動，而可測量堆積在 面板90内表面上之金屬薄膜厚度。該測量金屬薄膜厚度的 裝置包含：一框架20裝設於鄰近移動盤1〇之處；一扁平而 弩’曲的導軌31裝設於框架2〇上，而該導軌31之角度為可調 整者；一小拖車41可沿導軌31往返；一軌道機構50，裝設 於小拖車41，依據與面板90侧部的選擇性接觸移動小拖車 41，及一升降機構6〇與小拖車41結合，用以相對於面扳9〇 舉上或降下金屬薄膜厚度的測量用偵察器70。 小拖車41在導軌31上沿面板90的移動路徑移動。導軌 31的一端以框軸鉸接於框架2〇的一側，其另一端則被框架 ----------i II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 • 1...... · 本紙張尺度適财國，娜（CNS )Α^(2ί0χ 297^'7 A7

經濟部中央標準局員工消費合作杜印製

軌，支持。一導溝32沿面板90的移動路徑形成於導 其用—5丨動器33裝設於未被鉸接的框架20的一侧， 持導軌31的另-端且舉上贿下導簡的自由端 而轉動導軌31 ’藉此調整裂設角度 動 、拖車41的任—侧均裝有輪子42，可在導軌31上滾 4該軌道機構5G包含-軌道桿51，其—端肢於小拖車 的—侧且向下延伸以免觸及導軌31 ;及-第二引動器 # 1 道#51的端相結合，與面板90選擇性接觸而 小拖車41跟隨面板9〇的移動而沿導軌31移動。 升降機構60與小拖車41結合，且舉上或降下複數的測 厚用價察器70以測量面板90内表面上的轉 =細包括一托盤63安置於導軌31下可相軌= 一直方向移動，並連接有複數的測厚用偵察器，還有一第 三引動器61附有一桿62穿過小拖車4〗上的垂直貫穿孔“ 及導溝32後固定於托盤63。同財二支導侧固定於托盤 63上且穿過導溝32而可滑動的插入小拖車“的垂直貫穿孔41b。 、 本發明測量在面板之内表面上的金屬薄膜厚度之裝 置，更進一步包含第一與第二偵察器66與67，第一偵察器 66用以偵察當移動盤1〇移動且選擇性的作動第二或第三引 動器52或61時面板90是否在測量用偵察器7〇之下，第二偵 察器67則用以偵察面板90是否已與導軌31的低部分離且作 動弟、一或二引動為'33、52或61。同樣，一缓衝器設 a 本纸法尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚）

~Γ I 裝 ~~ 訂—I----- _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) S^94〇 a? ----- - B7 Η： 蛵濟部中央標準局員工消費合作杜印製 發明説明（） 置於導軌引的鉸接部份，用以缓衝小拖車41移動期間產生 的衝擊。典韻場合，衝擊吸收器或彈簧可被採用為缓衝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 為80 〇 參照第2A至2C圖，下文將描述本發明測量在面板之内 表面上的金屬薄膜厚度之裝置的運作情形，該裝置已具有 上揭之型態。

如第2A圖，當小拖車41接近缓衝器80，而在移動盤1〇 於移動時面板90被第一偵察器66偵測，軌道機構5〇的第二 引動器52就被作動而使軌道桿51 (請參閲第1圖）接觸於 面板90之侧表面，而第三引動器61同時作動將連接於桿 62(請參閱第1圖）的托盤降下，因而使測量用偵察器 70接觸於面板90的上表面。 T 繼而面板90隨移動盤10移動。由於第二引動琴52的軌 道桿51接觸於面板90的侧表面，小拖車41亦以面板1〇的移 動速度沿導軌31移動。此時由於第三引動器61的桿62及托 盤63的導桿64通過形成在導執31上的導溝32，因桿62與導 桿64沿導溝32移動，小拖車41亦被移動。 測量用偵察7 0以小拖車41相同的速度沿軌道移動時藉 接觸面板90的上表面測量形成於該面板90内表面上金屬薄 膜之厚度。 〜 然後若面板90繼續移動而被第二偵察器67偵察到，如 第2Β圖所示者，第二引動器52被作動而從面板90的侧表面 分離軌道桿51，而第三引動器61同時被作動而舉起托盤 63。因此測量用偵察器70即從面板90的上表面分離。 7 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210χ：297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） ~ 如第2C圖所示，在測量用偵察器7〇從面板的侧表面分 離後，第引動器33被作動而舉起導軌31的另一遄而使導軌 31以預定的角度傾斜。當導軌31傾斜後，小拖車41以&本 身的重量沿導軌31回到原來的位置。於此，由於有缓衝器 80裝設於導軌31之鉸接部份，可吸收作用於升降機構⑼及 測量用偵察器70的衝擊。 俟小拖車41回歸到其原來的位置後，第—引動器扣再 度被作動而回復導軌31的水平狀態，然後上揭之動作反復 下去。 如上揭情形，本發明測量在面板之内表面上的金屬薄 膜厚度之裝置在以相等於面板移動的速度移動同時測量面 ，内表面上之金屬薄膜厚度，由此改進測量的精確度同時 節省起因於以人工測量形成於面板内表面上之金屬薄膜厚 度所耗費的工時。 、雖然上揭之本發明較佳具體實施例乃用來説明本發明 芡目t而揭示者。對於那些熟習於與本發明有關之技藝人 士而百，依據上揭説明可能對該具體實施例加以部份變 更、修改或潤飾，而不脱離本發明之精神範圍。所以，本 發明之專利範圍，僅就附錄之申請專利範圍來加以説明。 -¾------1T (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. A8 BS C8 D8

   申請專利範圍 1. 一 括 種測量在祕之域面上金顧轉度之裝置，其包 一框架，覆蓋於被移動之面扳上，·以樞軸難架相結合使其裝置的角度 可 -小拖車裝設在該導軌上，可沿該導軌往返移動；與該小拖車結合’用以移動該小拖車，其速 度相同於_歸動速度，—面麵性接臟面板的侧 表面 測量用偵察器，裝設於小拖車上，可 1時，該小拖車，接觸移動的面板而測量金屬^厚 及 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 2:=丄可相對於面板舉上與降下測量偵察器。 Γ第1項之測量麵板之内表面上的金屬 賴厚度之j置，其更包括—具第—㈣器 ^另舉上或降下鱗軌來調整該導_裝置角 3 Γ由有二導溝沿面板移動路徑形成於該導軌上。 薄〇膜^2:第2項之測量在面板之内表面上的金屬 -端iii 其中所雜導機構包括—軌道桿，其 岭導^相2車’另一端則向下垂直延伸，如此避免 二導軌相_，及__第二引動器連接於該軌道桿的另 以選擇性與該面板棚，而使該小拖車跟隨該面 扳的移動而沿該導軌移動。 ά------IT (碕先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紐尺度—^ 國^gTB^T^(210x2-97：^y·

   、申請專利範圍 •，申請專利範圍第3項之測量在面板之内表面上的金 薄膜厚度之裝置，其中有一垂直貫穿孔形成於小_， 且該升降機構包括一托盤位於導軌下部可以相對於導軌 ^垂直方向移動，並且連接有該測量用偵察器，還有— 第二引動器附有一桿通過該小拖車的垂直貫穿孔及董 後固定於該托盤。 ' '如申請專利範HJ第4項之測量在面板之内表面上的金屬 涛膜厚度之裝置，其更包括： /、苐#察器用以彳貞察該面板是否位於該導軌之下. 及 =第二偵察器用以偵察該面扳是否已離開該導軌<區域， 叫 J中所述第-，第二或第三引動器係受 、察器之選抛作動。 $ 偵 利範圍第2項之測量在面板之内表面上的全屬 =厚度之裝置，更包括—缓衝器用以吸收由於梦小= ，車移動而產生的衝擊及加於該小拖車的衝擊。'扼 = 圍第1項之測量在面扳之内表上的金屬薄 II 1 m m i ·- 1--- 1J . t HI 1^1 I -- 1^1 *T (碕先閔讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 膜:皇其中，所述軌道機構包括-軌道桿，其 ^口疋小拢車，另一端則向下垂直延、 該導軌相接觸，及—第—σ I：避免與 端動益連接於該軌道桿的另― 而以選擇性與該面扳接觸，而#·、故由_力_ 的移動而沿該導軌移動 而使該小拖車跟隨該面扳 -------- ιυ

   、如申請專利範圍第！項之測量在面板 缚膜厚度之裝置，其中，有H 面上的金屬 車，且該雜機馳括-托触彡成於小拖 導軌在垂直方向移動，並且連接有 啊以相對於 有—第三引動器附有-桿通過該小=里用偵察器’還 導溝後固定於該托盤。 他卑的垂直貫穿孔及 裝 訂 經濟部t央梂绛局貝工消费合作社印装 11 用中國國家標準(CNS)