經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） C產業上之利用領域〕 本發明係有鼷一種大型高純度石英玻璃板，其製法， 以及其製造裝置，尤指一種透明及高純度之平板狀大型石 英玻璃板，其製法，以及其製造装置。 〔背景技術] 迄今為止，晶片等之不蓽雜質附著的高純度構件之洗 淨用角權、石英玻璃製之大口徑窺視窗、或是燈軍等，係 由高純度之透明平板狀大形石英披璃板所製造。 此盧所用之石英玻璃I與其他之玻璃相較，在高溫時 粘度高*而且在熔融狀慇成形時注槙等等之作業困難，因 此，其係一種難K形成板材之材質。 有闞形成此種石英玻璃板之方法，一般而言，包括將 石英玻璃之塊體|切鱖成薄曆板狀而予成形之方法，以及 將石英玻璃管予以開裂成形之方法等兩棰方法。 有關前者之習用技術，係將天然之水晶或矽石精製所 得之粉碎粉，以霣氣或燃燒器加Μ加熱熔融一體化所形成 塊狀之石英玻璃塊，Μ金剛石切斷器等予以切出，而製造 板髏之方法。 然而，有關此種習用技術，係利用金剛石切斷器等將 塊艚予Μ切出，因該切出所得之板鱧的表面會成為粗箱之 狀態，如無特別地以研磨等將其表面平滑化處理的話，無 法使其成為透明之狀態。 另一方面·石英玻璃像一種光透明性及光透過性佳之 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210 Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) U% 訂 309511 a7 B7 五、發明説明（） 材料，特別是在用於窺視窗或燈罩等之用途中，所要求的 幾乎都是光學上透明良好的材科*如果是如前所述之表面 粗糙之不透明板材*其表面，例如在精研磨後必須以砂粒 所達成之鏡面研磨或必須以火焰所達成之表面熔融處理進 行透明化*此一透明化處理非常麻煩，不僅需要勞力及時 間，同時由上述砂粒所進行之研磨中*會成為半専體毒化 物之雜質或金靥元素易於混人的原因》或是，在Μ火焰所 進行之表面熔融處理中，會因為熱應變而產生龜裂，因此 ，在工業上非常不利。 又，上述塊體，係將天然之水晶或矽石的粉碎粉末， 在一定之横具内予Μ熔融一髖化而製成，因此•由模具產 生之雜質或反懕氣髏或熔融物中央部之殘留氣體，會在高 粘度之石英玻璃熔融物中成為氣泡*該氣泡易於殘留，此 —傾向*在塊II愈大形愈為顯著，因此，由此等之塊體所 切出之大形板材中當然會混入異物或氣泡|利用此一板材 予Μ應用於石英玻璃製之窺視窗或燈罩等之需高透明度的 製品時，有所困難。 經濟部中央樣隼局貝工消费合作社印袋 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，根攞此一習用技術，因在熔融一髓化時所用之模 具的懺械強度或是因耐熱性不足，所能形成之瑰體的大小 ，在竇際上有所限制，此外，若為了從大形之塊體獾得大 形的板材•金剛石切断器之厚度有所必要，因此畢竞會成 一肇莫大之切割費用，使得石英玻璃之價格高昂，在工業 上只能獲得非常不經濟之板材，是以，畢竞在製埴大形之 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 A7 B7五、發明説明（） 石英玻璃板上有所困難。因此•可由石英玻璃板所形成之 洗淨用角檷的大小也會_受到限制，無法因應作為被洗淨物 之半導體等的大口徑化的需求。 另一方面*根據後者之習用技術，例如如第5圓所示 ，係將石英玻璃管1 00在_向肜成缺口，或是將其開裂 成兩半後，在其邊緣中央部熔接石英玻璃板形成操作用把 手1 0 1後，將該把手1 0 1保持之，並將上述開裂之石 英玻璃管1 0 0整體予以加熱砍化，再將暫時彎曲之板體 整體裂開後，然後再將其一部份加熱砍化，一面將該软化 部份1 00a在碳製台1 03上，以碳製壓平器1 04等 將其壓迫之使其平板化，而後再重複上述動作，並變換把 手1 0 1之熔接位置，一面將其他部份依序階段地予以平 板化，肜成石英玻璃板，然後將該整體已展開成彎曲板形 之石英玻璃管1 0 0予Μ加熱軟化，一面將其夾於碳製平 板中*而予平板化。 然而，此一作業完全是由手作業，平板化之石英玻璃 之板厚或板的大小必然會受到限制，一般而言，其最大之 尺寸，例如其限度為300X300咖，而且其作業需要 熟練度或勞力。 又，上述平板化，係一面魘迫碳製歷平器或碳製平板 一面謀求平板化，因此*因碳製臞平器或碳製平板之接觸 所導致之損餳或碳表面之凹凸將會殘留，Μ致其表面變得 粗槠，不僅如此，由於平板化之不均勻所導致之彎曲現象 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
U ^. 訂 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS )八4規格（2丨0X297公釐） 309511 A7 B7 五、發明説明（） {請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 也會發生，以致平滑化、平面化也會不良，此外，碳製壓 平器或碳装平板及碳製台會壓接於石英玻璃板之上面，因 此，雜質會易於接觸殘留，K致難以製造高純度之平板。 又，上述殘留之雜質不僅會成為半導體的毒害物，遢會促 進石英玻璃本身之结晶化，因此，由於局部之结晶化所造 成微性龜裂，將會引致不透明化，Μ致無法配合要求透明 性之用途，是為其嚴重之問题。 本發明係有鑑此等習用技術之缺點開發而成者，其目 的係在提供一種大型高純度且不混有氣泡之石英玻璃板、 其製法、以及其製造装置。 〔發明之概要] 根據本發明之製法，如第1 及第2圃所示，其特徵 係在：取在管軸方向經開裂一定寬度，最好具有帶狀缺口 部la之石英玻璃管1 ，由該玻璃管1之一定部位沿管周 方向依序在菅袖方向全寬度區域帶狀地予K加熱軟化|並 一面由該一定部位，相對該玻璃管園周在路切線方向予以 拉引，而將上述玻璃管1予K平板化者。 經濟部中央橾窣局員工消费合作社印製 此時，係可預先將上述坡璃管1予Μ固定，並將沿管 袖方向整體帶狀加熱軚化之加熱«，旋轉於圓周方向，並 追随於此，一面將拉引櫬構螺旋狀地旋轉，而在略切媒方 向將其拉引成直線狀予Μ展開，但是，更好的是預先將上 述加熱體3Α、3Β固定於石英玻璃管1之缺口開始端1 b附近的位置，並沿玻璃管1之外周上在圓周方向予以轉 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央橾隼局負工消费合作社印袋 A7 B7 五、發明説明（） 動，並一面追隨於此，將固定上述玻璃管1開始端1 b之 拉引機構2，由該缺口開始端1 b直線狀拉伸於略切線方 向，依此而將該玻璃管1平板化。 又，上述加热體3A、3B之加熱初期位置，不一定 非得設定於缺口起始端1 b ，也可例如使拉引儺播2把持 上述缺口開始端1 b ·此時，由於無法直接加熱該缺口開 始端1 b，因此，在此一場合•也可由從該把持部偏移之 缺口開始端1 b稍上方的位置開始加熱。 又，上述玻瑰管1之周速與拉引機構2之拉引速度， 不一定非得為同速，賴著適當地決定，可使形成之平板的 板厚，相對玻璃管1之管厚，變得更厚或更薄。 例如，蕹著將上述拉引速度設定成較上述石英玻璃管 1之周速更大，可形成薄壁之大肜平板玻璃板*又，躇著 將上述石英玻璃管1之周速設定成較上述拉引速度為小， 可形成厚坚之大形平板玻璃板。 按，根據上述構成，係可採用使上述拉引櫬構2直接 把持石英玻璃管1之缺口開始端1 b的構成，在該把捋部 為金龎時，導因於加熱耽化時之熱，雜霣會由該把持部侵 入，K致難Μ形成高純度之石英玻璃平板，因此，期望能 介隔Κ高純度、高耐熱之碳或陶瓷材料，例如，介Μ氧化 鋁、S i C、氧化锆、氮化矽等進行把持*但是，由把持 部*對於其附近之雜霣污染•難Μ完全消除。 因此，最好不《上述把持部直接把持缺口開始端1 b -7 - 本紙張Λ度適用中國國家橾準（CNS ) A4*!格（2丨OX 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
A7 309511 _______B7 五、發明説明（） ，而在介隔以石英玻《材4連结之狀態，進行拉引。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，上述玻璃管1之加熱，可由一側進行，但是在表 裡兩面側產生溫度差時•均勻之拉引，將會有所困難。 因此，較好的是，由石英玻璣管1之表裡兩面側，在 管粬方向全寬度方向進行加熱。 此時，上述加熱«3Α、3B，雖可由S i C或由碳 等所構成之棒狀加熱器構成，或是由多數個燃堍器嘴配設 成列狀所成之加熱器集合髓所構成，在使用此棰加熱體3 A、3B時，若為消除在石英玻璃管1軸向供給熱量之不 均勻，可將上述加熱部及石英玻璃管1間，在管軸方向相 對往復移動，更好的是，一面將加热體3A、3B往復移 動，一面將上述玻璃管1在全寬度區域線狀或帶狀地予以 钦化。 本發明之作為起始母材之石英玻璃管1 ，由於加熱源 有配置於管内脚之情形*因此•難K使用小徑狀之石英玻 璃管，就實用上而言，最好使用直徑1 00〜500咖， 且壁厚為2〜2 0咖之透明石英玻璃管。 經濟部中央橾準局負工消费合作杜印装 又，上述玻璃板，如前所述•為了作為窺視窗或角槽 使用，最好為高純度之玻璃板•具賵而言，宜為Na、L i 、Fe、Al 、Cu、Ca、Ni 、B、Ms、Y、T i 、Cr之各元素的含量在10〇(重量）ppmK下， 最好為易於擴散之Na 、K、Cu等各元素或易於污染之 C a等等的元素在0 · 5p pm Μ下的透明高純度石英玻 -8 本紙張尺度遑用中國國家橾準（CNS } Α4规格（210X 297公釐） 經濟部中央橾準局負工消费合作社印製 309511 a? B7 五、發明说明（） 璃板。 又，上逑方法，係由石英玻璃管1形成平板構件之方 法，也可與上述者相反，取大型之平板狀石英玻璃板，將 該玻璃板由一側端依序朝向另一俩纗在全寬度區域線狀或 帶狀地予Μ加熱软化，一面由該一側端拉引於彎曲成一定 形狀之方向，依此可形成曲面狀之玻璃板。 本發明之第二發明，係在提供一種實施上述製法之逋 當裝置，其特徴係在此装置係由：一在管軸方向以一定寬 度開裂，或是具有帶狀缺口部1 a之石英玻璃管1 :一將 該玻璃管1 Μ管轴為中心予Μ旋轉之櫬構5 ; —將該玻璃 管1在管軸方向全寬度區域帶狀地予Μ加熱軟化，一面從 上述玻璃管1缺口開始端1b在略切線方向直媒狀地予以 拉引之櫬構2所構成。 此時，將上述石英玻璃板i以管轴為中心精確地予Μ 旋轉此舉|由於該玻璃板1為中空，非常困難。 因此，本發明係設置將石英玻壤管1周面予Μ支持之 支持櫬構6，將上述支持機構6及上述旋轉髏構5，形成 為在玻璃管斷面方向可相對移動之狀態，Μ使上述旋轉機 構5之軸心與石英玻璃管1之袖心可為之一致。 又，為了將上述玻瑀管1由缺口起始端1 b拉伸於切 線方向，必須至少使與缺口開始嫌SI b相對之缺口终端1 c ，位於由該開始*1 b之切線上退避的位置，因此，由 上述支挎機構所建立之石英玻璃管1的支持初期位置，最 -9- 本紙張尺度適用中國國家樣率（CNS〉A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標率局貝工消费合作社印製 309511 A7 B7 五、發明説明（） 好相對缺口終蝙lc ，可設定於由管袖中心缠離於半徑方 向之位置。 另一方面，有關上述旋轉機構5，若採用：利用把持 構件等將石英玻璃管1之.缺口開始端1 b直接把持的结構 時*在加热软化時，有可能雜霣會由該把持部侵入，而發 生不易形成高純度石英玻璃製平板之情形。 因此，最好不以上述把持部直接把持缺口開始蝙1 b ，而將上述旋轉拥構5由以旋轉袖為中心之可旋轉旋轉板 或臂構件所構成，在將該脣構件等與上述玻璃管1之缺口 終端1 c側間，Μ石英玻瑀材8熔接之後，追隨於上述赞 構件之旋轉，將上述石英玻璃管1 ，形成為可旋轉之结構 0 又，在將玻璃管予Μ平板化時，將未到達缺口终端1 c為止的部份予Μ平板化之装置，係可為：將介隔以高酎 熱之碳或陶瓷材料，例如氣化鋁、S i C、氧化銷、氮化 矽等進行把持之把持構件*將上述玻璃板1之缺口終端1 c側予K夾持固定後，追騮上述臂構件之旋轉，將上述石 英玻璃管1予以旋轉之裝置；也可在上述平板形成後，將 上述把持部份切除*而形成高純度石英玻璃板。 此時，也可同搛地薄著相對控制石英玻璃板之周速及 拉引櫬構2之拉引速度*而缠當地諝整形成之平板的厚度 0 是Μ *最好設置可將K上述旋轉懺構5旋轉之石英玻 -10- 本紙张尺度逋用中國國家標牟（CNS ) Α4规格（210Χ 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -Λ4. 訂 經濟部中央樣準局負工消费合作社印製 A7 _B7 五、發明説明（） 瑀管1的周速，以及上述拉引欐構2之拉引速度，相對予 以變速之變速櫬構等等。 又，為了達成高純度化，最好將上述拉引機構2及石 英玻璃管1之缺口關始皤1 b間，介Μ石英玻璃管予以連 结此點，在上文中已予說明。又，為了能由表裡兩面將上 述玻漓管1加熱，最好將加熱櫬構，由夾蕃上述玻璃管1 相對向S置之一對樺狀加熱器，或是燃燒器或其他加熱體 3Α、3Β所構成，再者，最好一面將上述一對加熱體3 A、3Β在管細方向往復動，一面將上述玻璃管1在全寬 度方向均等地予以帶狀地砍化。 又，由上述装置可製造之石英玻璃管1 ，如前所述， 係將缺口開始端1 b在切線方向拉引製成，必須直徑至少 為1 OOnnnM上，又，有關其厚度，若過薄時*在加熱砍 化之際I為之麥形，又，在過厚時，則無法均勻地加熱· 因此，其厚度宜在2〜2 0师1左右。 又，利用上述石英玻璃管1所製成之平板，可形成為 長邊在30 0咖以上*而厚度在2〜20mm左右之平板 狀高純度透明狀石英玻璃板。 又，上述石英玻璃管1 ，係由較小型之石英玻璃塊所 形成，幾乎不會發生如大型塊«般之混入氣泡或雜質等異 物之情事，基於此所形成之石英玻璃板鱷，可成為逋於窺 視窗或角懵之高純度且透明性的石英玻璃板。 另外，由於在利用上述製法時，可儘量在製造過程中 -1 1- 本紙张尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X 297公釐） (請先《讀背面之注意事項再填寫本頁)
309511 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明说明0 ) 1 1 I 防 止 雜 罾 混 入 因 此 該 玻 璃 板 可 如 前 所 述 可 形 成 為 N 1 I 1 a \ L 、 F 0 、 A 1 、 C U C a 、 Ν B 、 Μ g S 1 I Y 、 T C r 等 各 元 素 含 量 總 計 在 1 0 〇 重 量 P Ρ m 請 先 1 1 閲 I 下 tat m 好 易 於 擴 散 之 N a K 、 C a 等 各 元 素 或 易 造 成 污 讀 背 1 Φ - I 染 之 c a 等 等 的 元 素 在 0 5 P Ρ rn VX 下 之 透 明 石 英 玻 璃 1 I 意 1 | 板 其 可 適 用 於 單 结 晶 拉 出 装 置 用 之 窺 視 窗 或 晶 片 等 之 洗 事 XS 1 1 淨 角 槽 再 填 1 寫 此 外 藉 著 使 用 合 成 石 英 坡 璃 作 為 上 逑 石 英 玻 璃 板 本 頁 1 可 將 該 玻 璃 板 中 所 含 上 述 N a \ L F e A 1 N C 1 1 U 、 C a Λ Ν B Μ g Y 、 T C Γ -七 各 元 素 的 1 1 含 量 缌 量 設 定 在 2 0 0 Ρ P b Η 下 0 1 訂 又 此 種 高 純 度 透 明 石 英 玻 璃 板 製 造 係 II 著 在 上 述 1 I 製 造 過 程 中 儘 蠆 避 免 使 石 英 玻 璃 Μ 外 之 I 具 與 石 英 玻 璃 1 1 管 1 接 m 而 最 先 達 成 1 1 Γ 圖 面 之 單 說 明 1 第 1 圖 係 本 發 明 製 造 装 置 之 基 本 構 造 圈 1 I 第 2 圖 係 該 装 置 製 造 順 序 的 作 用 圈 : 1 1 第 3 圖 係 該 装 置 整 體 结 溝 之 正 視 圖 1 1 第 4 圖 係 該 装 置 之 要 部 構 成 的 透 視 圖 : 1 I 第 5 圖 係 習 用 技 術 中 將 石 英 玻 璃 板 予 以 平 板 ib 卞 過 程 1 I 說 明 圈 ；- 1 1 〔 符 號 說 明 1 1 1 … … 石 英 玻 璃 板 1 1 - 12 - I 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 309511 A7 B7__ 五、發明説明（I I ) 1 a…石英玻瑀板之缺口部1 a 1 b…石英玻璃板之缺口開始端 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 c…石英玻瑀板之缺口终端 2……拉引饑構 3 A、3 B…加熱機構 4……石英玻璃板 5……旋轉機構 6……支持機構 8……帶狀石英玻璃板 2 4…旋轉構件 〔簧施發明之最佳形態〕 Μ下，茲根據圖面，將本發明之實施例詳细地舉例說 明。但是，於此實施例中所記載之構成零件的尺寸、材質 、形狀、其相對配置等等，只要無持別記載，本發明之範 圍即不受其限制，亦即，其只是一說明例。 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 第3圖涤本發明實施例之平板製造系統的整體構造圖 。此一糸统係由一支持輸送裝置7 0及一平板形成装置1 0組成形成。該支持装置7 0 ，係由：一將管铀方向缺口 成帶狀之石英玻璃板1 ，以上下各一對之支持滾子5 7 、 5 8予Μ支持的支持機構5 0 ，及一將該支持機構5 0輸 送至平板形成装置1 0側之一定位置的_送饑構6 ◦所構 成：該平板形成装置1 0 ，係由：一將石英玻璃板1 Μ管 軸為中心予以旋轉之旋搏餓搆5 ，一將該石英玻璃板1在 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（[V) 1 I 1 管 軸 方 向 全 寬 度 區 域 帶 地 予 Μ 加 熱 砍 (b 之 加 熱 機 構 3 ) 1 1 1 及 一 將 加 熱 軟 化 之 玻 瑀 板 1 由 玦 P 開 始 JfOl 1 b 直 線 狀 拉 1 I 引 於 珞 切 缲 方 向 之 泣 引 機 構 2 所 構 成 :1 請 先 閱· 1 1 I 以 下 今 么幺 將 各 装 置 詳 细 說 明 之 讀 背 | ^ * I Ifi 送 機 構 6 〇 係 由 — 在 基 台 8 〇 上 朝 平 板 形 成 装 之 注 1 I 3SL M. 1 0 測 水 平 地 延 設 之 行 走 用 m 妯 6 1 —* 介 以 嫘 合 於 該 意 事 項 \ 1 I 嫘 軸 g 1 上 之 嫘 M3T fa 部 6 2 藉 驅 動 馬 達 6 3 之 正 逆 旋 轉 而 朝 再 填 寫 1 平 板 形 成 装 置 1 0 側 進 或 退 之 水 平 台 6 4 Μ 及 一 垂 直 本 頁 1 設 於 該 水 平 台 6 4 上 之 垂 直 瘩 6 5 所 搆 成 : 該 垂 直 塔 6 5 1 1 之 前 面 安 装 有 垂 直 導 軌 6 6 上 述 塔 6 5 内 配 設 有 與 導 軌 1 1 6 6 平 行 -jr 垂 直 延 設 的 垂 直 m 軸 6 7 Μ 及 將 該 垂 直 m 袖 1 訂 6 7 正 逆 '旋 轉 驅 動 的 驅 動 馬 達 6 8 1 I 依 此 一 溝 藉 著 上 述 1 勤 馬 達 6 8 之 1 動 將 垂 直 I 1 主累 釉 6 7 正 逆 旋 轉 可 沿 導 軌 6 6 介 Μ C 字 狀 之 框 5 2 ， 1 1 上 述 支 持 機 搆 5 0 昇 降 1 支 持 機 構 5 〇 ί系 由 — m 動 馬 達 5 3 . 藉 由 該 驅 1 I 動 馬 達 5 〇 1 動 而 正 逆 旋 轉 的 旋 轉 嫘 軸 5 4 在 其 全 長 方 1 1 向 垂 設 -y 垂 直 撐 桿 5 1 以 及 — 對 Μ m 爾 部 5 5 m 合 於 上 1 ! 述 旋 轉 m 轴 δ 4 藉 該 旋 轉 m 軸 5 4 之 正 逆 旋 轉 而 彼 此 在 1 1 接 離 方 向 昇 降 之 一 對 支 持 撐 桿 5 6 A 、 5 6 Β 所 構 成 又 1 I * 上 述 支 持 撐 捍 5 6 A 、 5 6 B 係 由 安 装 上 述 m m 部 5 5 1 1 之 基 側 延 ό又 於 水 平 方 向 1 在 彼 此 相 對 之 上 面 a 下 面 分 別 軸 1 1 支 一 對 支 持 滾 子 5 -~ι 5 8 ， 可 庄 該 支 持 滾 子 5 7 5 8 1 1 - 14 - 1 1 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（/>) 對間，夾持固定上述石英玻璃板1 。 如此，在將上述下側支持撐稈5 6 A之支持滾子5 7 對上載置石英玻璃板1浚，藉著驅動馬達5 3之驅動，令 螺軸54正轉，可使上述一對支持撐桿56 A、56B接 近，而據K夾持上述石英玻璃板1 。 其以，茲就平板形成装置1 0之搆成，K第4圈為基 礎說明之。 首先，有關旋轉機構5 ，係在配設有石英玻璃板1之 玻璃板1配置空間的铀向兩側，分別配設支持台2 1 、2 2 ，在該支持台2 2上配設安装有旋轉板24之驅動馬達 2 3 ，並在包夾上述玻璃板1配設空間在其相反側之支持 台2 1上，設置在上述驅動馬達2 3之軸線的延長線上之 從動轉動機構6 B所構成。 驅動馬達2 3之旋轉釉2 3 a上，安装有與石英玻璃 管1對面配置之圓形旋轉板24 ，該旋轉板24上安装有 帶狀玻瑀板8之夾持_阵1 1 A，該帶狀玻璃板8之一端 係熔接固定於石英玻璃板1之缺口终端1 c 。 又，上述旋轉板2 4之中心與夾持構件1 1 A之夾持 位置間的距離（半徑）•像與石英玻璃板1之半徑一致。 另一方面，從動轉動機構6 B ，其中設有：在可沿釉 向延伸1另一支持台2 1上之兩支平行導軌2 5移動的移 動台26上安裝的一對铀承27 、27 ;腚轉自如地袖支 於該袖承2 7 、2 7 ，且軸線與上述謳動馬達2 3之旋轉 -15 - 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） : Λ衣------訂------^ • m (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 309511 A7 B7 五、發明説明（（★) 蚰2 3 a —致的祖徑釉部2 8 ; Μ及一在該軸部2 8之前 端，在與釉線直交之方向，延伸設置之臂部2 9 ; Μ及一 在該臂部2 9之前端，Κ 一端熔接固定於石英玻璃板1缺 口终端1 c的帶狀玻瑀板8之夾持構ί牛1 1 Β。又，上述 軸部2 8之中心與夾持構件1 1 Β之夾持位置之間的距離 (半徑），係與石英玻璃板1之半徑一致，此與上述旋轉 板2 4之吠況相同。 另一方面|與上述驅動馬達2 3與祖徑軸部2 8間連 结之軸線平行的方向 > 在一個支持台2 2上配置有流體壓 缸3 1 ，在另一画支持台2 1上配置有在軸線方向上之引 導導軌.3 2 ，此二搆件間架設有一支持體3 3 : 上述支持體3 3 ，一端係固設於上述流體壓缸3 1之 軸部，另一端係固設於嵌合在上述引導導軌3 2上之垂直 片3 4 ，其係藉由壓缸3 1之進退動作在軸線上可往復移 動；在其途中位置，固設有一副支持體33Β ，其係與支 持體33包夾石英玻璃板1缺口開始端1 b成對峙狀，彎 曲成L字形。該二支持體3 3 、33B上，分別安装有由 多數個燃燒器嘴的集合體所構成之硌平板狀加熱體3 A、 3 B ) 又，上述流體壓缸3 1之衝程Μ及引導軌道3 2之長 度，偽設定成可使上述副支持體3 3由上述石英玻璃板1 之配設位置退遴之長度： 此外，上述加熱體3 A 、3 Β ，（系由Μ唄射孔朝向石 -1 6 - 本紙浪尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格（210 X 297公釐) ------訂------^ - · (請先閱請背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 五、發明説明 ((Γ 1 1 1 英 玻 璃 板 1 側 配 設 之 多 數 個 m m 器 嘴 連 設 所 搆 成 可 m 出 1 1 1 丙 烷 或 氧 tear Μ 火 焰 ， 其 長 度 係 較 石 英 玻 瑀 板 之 袖 寬 稍 長 0 1 1 拉 引 機 構 2 如 第 3 圖 所 示 \k 在 基 台 8 〇 上 垂 直 -1— 請 先. 1 1 閱 I 設 之 垂 直 台 4 0 的 前 面 » 安 装 垂 直 導 軌 4 並 在 上 述 垂 讀 背 I 1¾ . I 直 台 4 0 内 設 置 與 導 軌 4 1 平 行 垂 直 延 設 之 垂 直 摞 釉 4 之 注 1 I 意 1 I 2 及 可 將 該 垂 直 m 釉 4 2 逆 旋 轉 -y 驅 動 馬 達 4 3 並 在 事 1 I 上 述 引 導 導 軌 4 1 上 昇 降 g 如 地 嵌 合 前 端 安 装 有 帶 狀 玻 再 填 寫 1 璃 板 4 之 夾 持 構 (牛 4 4 的 拉 引 台 4 5 並 將 該 拉 引 台 4 5 本 頁 1 1 介 以 m m 部 4 6 連 结 於 上 述 垂 直 m 軸 4 2 所 形 成 Λ, 1 1 拉 引 台 4 5 係 如 第 4 圖 所 示 其 兩 側 延 設 有 朝 向 石 英 1 1 破 璃 板 1 側 腕 部 該 腕 部 上 安 装 有 帶 狀 玻 璃 板 4 之 夾 持 1 訂 搆 伴 4 4 該 帶 狀 玻 璃 板 4 之 一 端 係 熔 接 於 石 英 玻 璃 板 1 1 I 之 玦 □ 開 始 1 b - 可 垂 直 地 將 該 Μ 1 b 向 下 拉 引 〇 1 1 又 上 述 11 動 馬 達 2 3 中 内 m 有 可 任 意 m 整 其 旋 轉 1 1 速 度 之 'St 速 機 構 1 其 次 » 十·* 么幺 就 此 實 拖 例 之 平 板 製 造 方 法 進 行 說 明 1 | 苜 先 i 準 m 將 外 徑 為 φ 2 4 0 Π1ΪΠ 壁 厚 為 4 mm 之 高 1 1 純 度 透 明 石 英 玻 璃 板 1 切 tUfer 斷 成 長 度 5 0 0 _ 而 成 且 具 1 1 有 Θ ： 約 1 0 1 5 ( 約 3 0 imn ) 之 市 狀 缺 □ 寬 度 的 石 1 1 英 玻 璃 板 1 : 又 » 有 關 該 玻 瑀 板 1 之 雜 質 含 量 係 使 上 逑 1 I N a L I F 〇 A 1 C U Γ* a N ί B Μ S 1 1 、 Y T 1 、 C Γ 等 各 元 素 的 含 曼 f 合 計 在 2 0 0 P Ρ b 1 1 Η 下 - 17 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（β) 其次，將上述石英玻璃板1 ，如第2圖（A )所示般 之予K載置於輸送機構60之下測支持撐桿56A、56 B之支持滾子57 、58對上，使其缺口開始端1 b設定 於水平線上，使缺口终端1 c設定於由該開始端1 b朝内 側僅退避h距雞之位置。 又，上述h之距離|只要是用以將後述玻璃板1拉引 之帶狀玻璃板4，熔接於上述缺口開始端1 b時，能退避 成不致構成妨礙的程度即可，上述缺口角度Θ也配合於此 •只要任意設定於1 0〜1 5 °之範圍即可 在將上述石英玻瑀板1設定於上述一定位置後|藉著 將垂直撐桿5 1内之驅動馬達5 3正轉，g卩可使下側a上 側支持撐桿5 6 A、5 6 B間朝接近之方向移動，而K上 下之支持滾子5 7 、5 8對，將上述石英玻璃板1定位夾 持； 又，夾持上述石英玻璃板1之支持機搆5 0 ，首先係 利用垂直塔6 5内之驅動馬達，上昇至與平板形成装置1 ◦側之旋轉機構5的釉線一致之高度位置，然後再藉水平 台6 4之行走，水平移動至與平板形成装置1 0側之旋轉 機搆5的軸線一致的位置。 此時，預先伸長流賴壓紅3 1之活塞釉3 1 a ，到達 不致與上述加熱媸構3 0之副支持體3 3衡接的位置： 其次，如第2圖（B )所示，將由高純度含成石英玻 璃所構成之帶状石英玻璃板8 ，在其玦口终端1 c側之管 -18- 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） --------i------ΐτ------^ •* (請先閱讀背面之注意事項再填寫本萸) 309511 A7 B7 經濟部中央標孪局員工消費合作社印製 五、發明説明（厂 V 1 1 | 兩 端 面 ， 平 行 地 予 Μ 熔 接 > 並 分 別 予 以 夾 持 於 旋 轉 板 2 4 1 1 1 之 夾 持 構 件 1 1 A 及 臂 部 前 端 之 夾 持 搆 件 1 1 B 上 y—v 1 I 其 次 » 在 上 述 缺 □ 開 始 端 1 b 之 端 面 的 左 右 兩 側 熔 請 閱 1 I 接 市 狀 石 英 玻 璃 板 4 使 苴 沿 切 線 η 向 垂 下 於 垂 直 下 方 ， 讀 背 I ιέ · I 並 將 其 下 端 夾 持 於 拉 引 台 4 5 之 夾 持 構 件 4 4 r： 1 I 在 如 上 所 述 般 之 固 定 後 將 垂 直 撐 桿 5 1 内 之 驅 動 馬 事 項 1 1 I 達 5 3 反 轉 於 將 定 位 支 持 該 Ό 英 玻 璃 板 1 之 下 側 及 上 測 再 填 % 1 支 持 架 5 6 A 5 6 B 離 開 後 將 上 述 輸 送 機 搆 6 〇 由 上 本 頁 、_， 1 述 支 持 位 置 退 避 復 元 到 原 始 位 置 .Λ 1 1 之 後 將 上 述 流 體 壓 缸 後 退 移 動 今 加 熱 M/k 健 構 3 0 之 1 1 副 支 持 體 3 3 B 侵 入 石 英 玻 璃 板 1 内 使 上 述 加 熱 體 3 A 1 訂 、 3 Β 成 .包 夾 上 述 缺 □ 開 始 端 1 b 之 對 峙 狀 態 0 1 | 其 次 進 行 平 板 化 操 作 首 先 係 如 第 2 圈 ( C ) 所 示 1 1 J 利 用 上 述 加 熱 體 3 A 3 B 由 管 表 裡 兩 面 朝 管 軸 寬 1 1 度 方 丨句 在 水 平 方 向 對 向 噴 出 燃 燒 氣 體 〇 此 時 若 Η 燃 燒 人 器 嘴 之 集 合 髖 形 成 上 述 加 熱 體 3 Αι 3 Β 時 由 於 燃 燒 器 1 I 間 之 間 隔 易 於 造 成 線 狀 加 熱 不 均 勻 之 情 形 因 此 可 利 用 1 1 | 上 述 流 體 壓 缸 3 1 f 以 較 燃 燒 器 間 隔 稍 大 之 衝 程 間 隔 使 其 1 1 注 復 動 i 可 達 成 均 勻 之 加 熱 1 1 藉 由 上 述 線 狀 加 熱 t 在 缺 P 開 始 端 1 b 加 熱 欽 it 後 * 1 I 同 時 開 始 上 述 驅 動 馬 達 2 3 所 達 成 石 英 玻 瑀 扳 1 的 旋 轉 1 1 1 ♦ Μ 及 由 拉 引 機 辑 2 所 達 成 之 缺 □ 開 始 Λ b 的 下 :丨 1 I 此 時 若 使 泣 引 速 度 與 期 間 之 旋 轉 速 度 完 全 — 致 ， 1 1 - 1 9 - 1 1 本紙張尺度適用中國國家襟率（CNS ) A4規格（210X29*7公嫠) A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（[ 't: 1 1 1 可 形 成 同 — 學 度 平 板 又 藉 著 將 泣 引 速 度 設 定 地 稍 > 1 1 1 可 獲 得 較 上 述 石 英 玻 璃 板 1 為 薄 之 平 板 C 又 反 之 若 使 拉 1 I 引 速 度 稍 慢 時 則 可 獲 得 較 上 述 玻 璃 板 1 為 厚 之 平 板 請 先· 閱 1 1 I 又 如 前 所 述 平 板 形 成 至 如 第 2 圖 ( D \ 所 示 讀 背 面· 1 I 位 置 時 在 上 述 石 英 玻 璃 板 1 之 缺 □ 终 端 1 C 到 達 加 熱 體 1 1 3 A 、 3 B 之 前 加 熱 Λ 旋 轉 饑 構 5 之 旋 轉 及 拉 引 機 機 〇 意 事 1 1 I 之 拉 引 分 別 停 止 : 再 填 寫 1 上 述 平 板 fh 之 石 英 坡 璃 板 在 上 述 熔 接 之 帶 狀 石 英 玻 本 頁 1 璃 板 切 斷 並 由 該 形 成 装 置 取 下 後 其 未 平 板 化 之 缺 □ 終 i.Ul Λ 1 1 1 C 側 的 部 份 被 切 斷 而 形 成 平 板 1 1 之 後 上 述 平 板 在 接 受 洗 淨 及 徐 冷 等 之 一 定 後 處 理 之 1 訂 後 作 為 製 品 出 貨 1 I 又 在 調 查 依 此 所 形 成 之 平 板 的 純 度 時 發 現 不 管 任 1 1 場 et m 好 在 下 方 組 含 拉 引 引 導 m 構 1 1 然 後 依 此 而 延 伸 成 平 板 狀 之 石 英 玻 璃 板 再 接 受 冷 1 卻 而 形 成 大 型 透 明 石 英 玻 璃 板 0 1 I 依 此 所 形 成 之 平 板 表 面 並 無 起 伏 不 平 之 情 事 又 ♦ 1 1 1 有 關 雑 質 之 含 量 若 上 述 N a L F e 、 A 1 C U I 1 、 C a N Λ B Μ g Y T C r 等 各 元 素 含 量 1 1 的 合 計 量 在 2 0 0 Ρ Ρ b Μ 下 時 1 則 與 平 板 形 成 前 之 雜 筲 1 I m 度 幾 乎 沒 有 ί匕 1 1 其 次 為 了 調 査 壁 學 之 化 9 取 外 徑 Φ 2 4 0 _ 壁 1 1 厚 為 4 m j 長 度 為 5 〇 〇 m 且 缺 □ 寬 度 約 為 3 〇 ΠΠΠ 之 與 1 1 - 2 0 - 1 1 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公釐） 五、發明説明（ A7 B7 轉i與璃 ·象 高面英 旋rn依坡 3 現 型平石 為 \ , 英、之 大時或 ^^画度石腦平 得同槽 i ο 速各 7 不 製 、角 m6 個將 ·伏 地滑用 \ 、 四可 3 起 效平淨 mn 等現、有 有、洗 o.ln 發 g 沒 且象片 6mi - ο 面 易現晶 κ\ε 板.表 容伏作 , 顧 \璃4， 可起製 1 ο i 玻、板 ，無其 C 板 5 0 英腦平 明面用利 瑀於 7 石 8·之 發表利有 玻化及造.成。 本 之在為 英變 η 製 4 形板、；，據泡，極 石度 i -於所 平性根氣板， 明速m鑛fb此之用-入璃時 透引 \手變依好利述混玻板 的拉Inin之，且良之所未英射 同將 5 同度而成上上 且石反 相 ，6 相厚-形業如，之製 述度、述之πιιπ可產 度高璃 上速η上板 4, ί 纯度玻 ---------f衣------訂------f • * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央櫟準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐）