TW297203B - - Google Patents

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^Γ Α7 Β7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（ 發明領域 本發明俤關於一種具有寬影像域，換言之，具有一値 透鏡陣列，其構造為具有跨距有待加圖樣的基片全寬的影 像域的透鏡条统。 發明背景 目前許多情況需要對10至12吋寬的基片加圖赛。使用 既有透鏡，該棰寬度基片僅能採多重掃描加圈樣。欲以習 知透鏡從事此種工作困難且緩慢，原因為需使用具有二維 蓮動能力的精確鏡裹多重掃描。 若干影印機中，曾使用梯度指數光纗陣列來成像狹長 區。然而，於精準平版印刷用途中，藉此方式成像既粗糙 又不可行。 製成二元光學透鏡之小透鏡陣列可用於此棰用途，但 此種辦法於精準用途亦不合實際，原因爲透鏡須極小才能 限制光行差，如此，造成精確製作困難。此外，二元光學 透鏑易產生許多迷途光，此亦為高解析度光學条統不期望 者。 需有一棰光學条統*其併有高解析度與極大連繡域而 透鏡条統非極大。本發明之維恩迪生透鏡陣列提供具有全 部性能組合而又未過大的透鏡条统。 發明概述 根據本發明，揭示一棰由檷線片再現圈樣至基片之新 穎圔樣掃描與投射糸統。本發明之糸統由檫線片之部分長 度掃描圖樣，並投射該被掃描圖樣至基片之對醮長度。該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） ----------批衣------ΐτ------^ 丨 · ~ < (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明（2 ) 具體例中，有部第一車架供接受並轉蓮檫線片俥掃描其上 的圖樣，接著安置一對彼此串聯的維恩迪生透鏡糸統，供 於檫線片藉第一車架蓮送時接受該掃描圖樣，及透鏡掃描 圔樣通遇成對維恩迪生透縝条統。亦有部第二車架，供接 受基片並對基片提供浬動，而該蓮動與第一車架上檷線片 的轉蓮同步，俾将基片設置成可接受來自成對維恩迪生透 鏡条统之掃描圏樣。 本發明亦可擴大成包括多對維恩迪生透鏡而涵蓋檫線 片全寬。各對透鏡投射部分圔樣横遇檫線片寬度至基片的 對應位置。各對維恩迪生透鏡条統延遲的域為梯形，且設 置成於挿描後，各域部分重叠部分毗鄰域，因此，全域的 影像連續。 圖式之簡單說明 第la圖為本發明之雙維恩迪生透鏡条統之簡化侧視圖 Ο 第lb圖示例說明第la圔之維恩迪生陣列相對於透銪陣 列宽度之有用域。 第2圖示例說明如同第la圖，多個排齊雙維恩迪生透 嫌条統之有用域於基片上排齊。 第3aH為本發明之雒恩迪生陣列之簡化俩梘圖。 第3b圈為本發明之五傾雙維恩迪生透鏡糸統陣列之簡 化頂視圖。 第4圖為本發明之第二種雙維恩迪生透銪条統構型之 簡化側視圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ----------批衣------，玎------# - . ί ♦ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 297203 A7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 B7五、發明説明（3 ) 第5画為利用第4圖之透鏡条統陣列之部分透視圖。 較佳具驩例之說明 長久以來，需有一種具有高通量與低成本且可對大基 片（例如，多晶片棋組，平板，等）加圖樣之平版印刷条統 。如下文描述且如第4圈所示，本發明之糸統羼於IX (— 維〉光學糸統，具有域寬度約0.75吋與任何期望長度（例如 ，6，12或22吋）而焦點平面間隔僅約7.0吋，如此，可設 置檷線片罩和基片於同部車架上，結果導致可得單向單次 搏描，其又獲得条統期望的極高通量。 如後文及附圖可見，本發明併合有多値小的雙維恩迪 生透鏡条統，其各自使用串聯的兩個維恩迪生透鑌。本發 明之整體陣列包含兩固或多個維恩迪生透鏡条統陣列而產 生期望寬度之域。 第la圜為本發明之基本雙維恩迪生透鏑条統之钿視圈 。此視圃中，可見通過檷線片10之照射光線撞擊第一倍鏡 12,且反射入第一平面透鏡14之上半，繼繙通過第一凹凸 透鏑16之上半，並展開於第一凹面鏑18的大鳗整傾表面。 第一凹面鏡18又反射撞擊其上之光至第一凹凸透銪16下半 ，然後，通遇第一平面透鏡14的下半，並繼鑛射至第二倍 嫌20上，由此處，光線向下方反射至板22之孔。如此界定 放大率-1的第一維恩迪生透鏡。 此處所示第二維恩迪生透鏡係同第一透鏡且Μ相同方 式作用。第二条統中，通經板22之孔之光線由第三倍鏡24 反射，至第二平面透銕26之上半，通經第二凹凸透鏡28上 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装· 、1Τ 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨ΟΧ297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ). 半，然後，透射至第二凹面鏡30之大體整値表面。由第二 凹面鏡30之大體全表面，光線反射至第二凹凸透鏡28下半 ，前進通經第二平面透鏡26,至第四倍鏑32,由此處光線 反射至基片34。若檷線片10的影像為有待投射至基片34, 且有正確取向供重倍影像平面，則兩種維恩迪生透鏡皆為 第la圓所示糸統所需。 第lb圖示例說明第la圖之雙維恩迪生透鏡糸統之有用 域。此處透鏡条統之全域尺寸以圔形域36示例說明之，供 舉例說明之用，直徑64.0πιβ。有用域以梯形域38示例說明 之，而最小寬度為梯形域上邊界40,此處顯示長43.2mm， 梯形高16.2nin。欲使第lb圖之視圖相對於第la圖之取向適 當，梯形域38之梯形域上邊界40垂直紙面，且最逮離第二 平面透鏡26。此外，第lb圖平面爲基片34平面。另一棰描 述第lb圖之視圔之方式爲當向下檢視檫線片10時，梯形域 38為基片34上投射回檫線片10之域。 如此，欲單次由橒線片10投射影像至基片34上的細長 域，當於基片34表面檢視時，多值梯形域38，38’ * 38”.. ..需如第2圖所示取向。 其次，參考第3a和3b画，顯示如第2圔所示，於基片 34上產生域圈樣之本發明之雙維恩迪生透鏡条统陣列之簡 化視圓。欲輔助辨認各棰本發明之雙維恩迪生透鏡条統， 對另一透鏡条統保留使用各組件參考编號並加上檫。此外 ，欲方便討論本發明之整體陣列的操作，右俩榡示為「陣 列Aj而左側「陣列Bj 。第3a和3b圆中，檫線片10和基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -0 7 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（5 ) 片34二者之掃描方向由左至右示例說明之。掃描方向另可 為由右至左。 如此，第3a圖中，示例說明雙維恩迪生透鏡糸統陣列 之側視圖，而第二維恩迪生透鏡条統顯示為陣列B之一部 分；第3b圖中，第二雙維恩迪生透鏡糸統相對於第一此種 透轉糸統交錯，如此，第3a圖左側之第二透鏡条統之檢視 侧非在第一透鏡条統平面。由第3b圖亦可見上倍鏡稜鏡42 為長矩形稜鏡，其通過介於第一平面透鏡14，14’，14"， 14-和144間的陣列全長，第一倍鏡12由組成陣列A的各透 鏡条統共用，而倍鏡12’，由陣列B之各透鏡条統共用。 須注意，下倍鏡稜鏡44亦通過全陣列的全寬，且具有如同 上倍鏡稜鏡之特擻。 又，第3b圖中，可見平面透鏡14’之一緣大體排齊平 面透鏡14中線，平面透鏡14和14”之一緣大《排齊平面透 鏡14’中線，平面透鏡14’之第二緣和第一平面透鏡14"’之 —緣大體排齊平面透鏡14"中線，等。當然，遵照此棰方 式，此等透鏡糸統可無限串级。 第4圖示例說明本發明之第二堆疊的燹維恩迪生五透鏡 元件糸統，其具有比第la圖之透鏡糸統更多孔*且提供比 第3a和3b圔之第一透鏡糸統更高解析度。如同第一透鏡糸 統，光線接收於頂部並通經檷線片10,撞擊第一倍鏡12, 反射至第一平面透鏡14上半，繼續通經第一凹凸透銪16上 半。此時，又加兩個透鏡，第一雙凸透銪46繼Μ第三凹凸 透鏡48,而光線繼續通過各透鏡上半，由第三凹凸透鏡48 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 線 8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) ，光線展布於第一凹面鏡18之大體全表面。第一凹面縯18 又反射撞擊其上之光至第三凹凸透鏡48下半，至第一雙凸 透鏡46下半，至第一凹凸透鏡16下半，然後，通經第一平 面透鏡14下半，投射至第二倍鏡20上，由此處，光線向下 反射至板22之孔。如此界定利用五元件透鏡糸統的第一維 恩迪生透鏡条統。 此處所示之第二維恩迪生透親如同第一透鏡且Μ相同 方式作用。第二透鏡中，通經板22之孔之光線由第三倍鏡 24反射，至第二平面透鏡26上半，通經第二凹凸透鏡28上 半，至第二雙凸透鏡50上半，至第四凹凸透鏡52上半，然 後，透射至第二凹面鏡30大體全表面。由第二凹面鏡30全 表面，光線反射至第四凹凸透鏑52下半，至第二雙凸透鏡 50下半，至第二凹凸透鏡28下半，通經第二平面透鏑26, 至第四倍鏑32,由此處，光反射至基片34。 此外，第4圈之維恩迪生透鏡糸統含四片玻璃板54, 56 , 58和60,當影像被加工處理時影像通遇各點。玻瑰板 之小傾斜可用來調整如第2圓所示，介於不同影像間之拂 齊。 第5圈顔示三偏雙維恩迪生透嫌条統陣列之一部分， 各含第4圖所示該型雙五透鏡式維恩迪生透鏡条統。亦含 板54-60。板54-60可於此構型及於任何其它維恩迪生構型 發揮多棰功能，欲確保由吡鄰類似的維恩迪生透鏡条統各 自透射至基片34的彩像排齊，各板54-60可傾斜而於小範 園調整個別影像位置。中間焦點平面提供成形孔之方便處 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂

五、 發明説明（ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 所，俥確定來自各維恩迪生透鏡条統之照射域適當重疊。 雙維恩迪生透嫌糸统之任一者之個別板54-60亦可茧擇性 彎折而比較另一維恩迪生透鏡糸統，調整一個維恩迪生透 鏡糸統之放大率變化。同理，經由選擇性扭曲任一透鏡条 統之一或多片板54-60而達成若干失真矯正。 如此，使用此型陣列，光軸（連接檷線片與基片平面 上對應點之線 > 可介於陣列之全部透鏑条統棋組間排齊平 行。此外，焦點平面可共面，於一域棰端照光可截頭，因 此，重叠域於掃描後不會曝光遇度或曝光不足。又，陣列 可排齊傾別透鏡条統模組，係經由製造光學组件時採用緊 密公差，Μ及經由Μ前述板54-60，對各透鏡条統模組作 撤調。經由調整各透鏡条統棋組内的鏡18或30之軸向位置 ，可逹成使透鏡糸統模組之各焦點平面共面的額外撖調。 於掃描方向，整體陣列之放大率可如同桕金愛瑪 Micralign 500/600条列条統，於掃描時於掃描方向略撤 前進或後退橒線片位置調整。 亦可使用本發明，經由餡別動態聚焦各陣列楔組而遵 循不規則基片表面（例如，薄膜面板）。聚焦可以慼測基片 位置之各透鏡条统棋組之空氣錶計感測器感測。另外，各 棋組可使用一對感拥器，一者用於檫線片，而另一者用於 基片。 此棰構型亦可使用廣泛多棰光照条统，最庙者将依陣 列之整黼尺寸決定。若希望寬帶操作，則各透鏑条統棋組 可用佃別燈（100-200瓦 >。同理，可使用單一大燈而光照 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· -d 線 10 A7 B7 五、發明説明（8 ) 均分至各透鏑糸統模組。此外，使用汞燈照射g-h条統， 0.1NA糸統可使用約0.5瓦/平方厘米之光強度。假定光阻 敏感度250毫焦耳/平方厘米和長槽宽16.2毫米，則需 3.24厘米/秒掃描速度。此棰光照糸統可於約9秒曝光 8. 5 X 11吋面板。 本發明糸統之優點為全然彈性，且如第3圖所示交錯 ，單純增加額外透鏡条統棋組即可擴充至任何期望長度。 如此，可得棰高通置，原因為於單一方向僅單次掃描。 此型陣列有無數用途。舉例言之，對多晶片模組，平 坦面板或晶圖掃描器可在8时，12吋或甚至更大容量。亦 可用作解析度1000點/时之靜霣影印機透鏡，對應於解析 度25撤米，假設平均波長5000埃，則僅需0.014NA。 雖已描述本發明之各棰態樣，預期業界人士於硏讀前 文說明與附圈後，將了解實施本發明之各掴態樣之多種替 代辦法。因此，随附之申請專利範圍解釋為涵蓋落入本發 明之及隨附之申請專利範圍之精«與範圍内之全部變化與 修改。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部中央標準局貝工消費合作.杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X：297公釐） 11 B7 五、發明説明（9 ) 元件檫號對照 10… .檫線片 36. ...圓形域 12… .第一倍鏡 38. ...梯形域 14… .第一平面透鏡 40. ...梯形域上邊界 16… .第一凹凸透鏡 42. ...上倍鏡稜鏡 18… .第一凹面鏡 44. ...下倍鏡稜鏡 20... .第二倍鏡 46. ...第一雙凸透鏡 22… 板 48. ...第三凹凸透鏡 24… .第三倍鏡 50. ...第二雙凸透鏡 26… .第二平面透鏡 52. ...第四凹凸透鏡 28... .第二凹凸透嫌 54. ...第一玻瑰板 30... .第二凹面鏡 56. ...第二玻璃板 32... .第四倍鏡 58. ...第三玻瑰板 34··. .基片 60. ...第四玻瓖板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公釐） 12

Claims (1)

1. 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 A8 Βδ C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一棰由棲線片之部分長度掃描圃樣及投射該掃描圖樣 至基片的對醮長度之掃描条統，該掃描条統包括： 一部第一車架，其係供接受並轉運該其上有圖樣 之檷線片； 一對彼此串聯設置的維恩迪生（Wynne Dyson)透 鏡条統，其係供於藉第一車架蓮送檷線片時，接受來 自該檫線片掃描的圈樣，以及透射該掃描圖樣通過該 第一對維恩迪生透鏡糸統；及 一部第二車架，其係供接受該基片而對基片提供 轉邐*而該轉蓮係與第一車架上檷線片的轉浬同步提 供，而該轉蓮位置係可接受來自該對維恩迪生透鏡糸 統之掃描圖樣至基片上。 2. 如申請專利範園第1項之掃描条統，其中該第一和第 二車架係於彼此相同方向移動。 3. 如申請專利範圍第1項之掃描糸統，其中該對維恩迪 生透鏑条統包含： 一值第一倍銪，其係供接收來自棰線片之掃描圖 樣； 一個第一平面透鏑，其係供於其上半接收由該第 一倍鏡反射的掃描讕樣； 一偁第一凹凸透鏡，其係供於其上半接收來自第 —平面透鏡之掃描画樣； 一個第一凹面鏡，其係供於其大饈全表面接收由 該第一凹凸透鏡投射的掃描圖樣，以及反射該掃描圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ..装. 訂 207203 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 々、申請專利範圍 樣至第一凹凸透鏡下半； 掃描圈樣由第一凹凸透鏡下半透射至第一平面透 鑌下半； 一個第二倍鏡，其係供接收由該第一平面透鏡下 半投射的掃描鼷樣； 一値第三倍鏡，其係供接收由第二倍鏡反射的掃 描鼷樣，此時掃描圇樣係與播描自檷線片之原倍圖樣 相反； 一個第二平面透鏡，其係供於其上半接收由該第 三倍鏑反射的掃描圖樣； 一锢第二凹凸透鏡，其係供於其上半接收來自第 二平面透鏡之掃描圖樣； 一個第二凹面鏡，其係供於其大體全表面接收由 該第二凹凸透鏡投射的掃描圔樣，Μ及反射該捕描圖 樣至第二凹凸透鏡下半； 掃描圃樣由第二凹凸透鏡下半透射至第二平面透 鏡下半；及 一値第四倍鏡，其係供接收由該第二平面透鏡下 半投射的掃描圔樣，Μ及反射該掃描圈樣至第二車架 上的基片，而由基片接收得之挿描圖樣具有與橒線片 上之圔樣相同的取向。 擎 4·如申請專利範圍第3項之描描条统，其又包含一値介 於第二倍鏡與第三倍鏡間之有孔板。 5.如申請專利範围第i項之掃描条统，其中該對維恩迪 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) *^ 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 14 -14 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 生透鏡条統包含： 一個第一倍鏡，其係供接收來自檷線片之播描圈 樣； 一催第一平面透鏡，其係供於其上半接收由該第 一倍鏡反射的掃描圖樣； 一値第一凹凸透鏡，其係供於其上半接收來自第 一平面透鏑之掃描匾樣； 一個第一雙凸透鏡，其係供於其上半接收來自第 一凹凸透鏡的掃描圖樣； 一個第二凹凸透鏡，其係供於其上半接收來自第 一雙凸透鏡之掃描圈樣；一傾第一凹面鏡，其係供於 其大覦全表面接收由該第一凹凸透鏡投射的掃描圖樣 ，以及反射該掃描圖樣至第二凹凸透鏡下半； 掃描圔樣由第二凹凸透鏡下半透射至第一雙凸透 鏡下半，然後，透射至第一凹凸透鏑下半，由此處， 該掃描圖樣透射至第一平面透鏡下半； 一個第二倍鏡，其係供接收來自該第一平面透鏡 下半的掃描圏樣； 一螌第三倍鏡，其係供接收由第二倍鏡反射的掃 描圈樣，此時掃描圏樣係與掃描自檫線片之原始团樣 相反； 一掴第二平面透鏡*其係供於其上半接收由該第 三倍鏡反射的掃描圈樣； 一値第三凹凸透鑌，其係供於其上半接收來自第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 15 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Γ T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 二平面透鏡之掃描圖樣； 一®第二雙凸透鏡，其係供於其上半接收來自該 第三凹凸透鏡的掃描圈樣； 一饀第四凹凸透鏡，其係供於基上半接收來自第 二雙凸透鏡之掃描圖樣；一傾第面鏑，其係供 於其大體全表面接收由該第四凹凸ί ί投射的掃描圖 樣，以及反射該掃描圔樣至第四凹凸透鏡下半； 掃描圈樣由第四凹凸透親下半透射至第二雙凸透 鏡下半，然後，透射至第三凹凸透鏡下半，由此處， 該掃描園樣透射至第二平面透鏡下半；及 一個第四倍鏡，其係供接收由該第二平面透鏡下 半投射的掃描圖樣，以及反射該挿描圖樣至第二車架 上的基片，而由基片接收得之掃描圖樣具有與檫線片 上之圖樣相同的取向。 6. 如申請專利範围第5項之掃描糸統，其中該對雒恩迪 生透鏡糸統又包含一個介於第二倍鏡與第三倍鏡間之 有孔板。 7. 如申請專利範面第5項之揷描条统，其中該對維恩迪 生透鏑糸統又包含至少一片於掃描圖樣徑路上吡鄰第 一、二、三和四倍鏡中之一者之玻璃板，其係供分別 經由傾斜、彎折與扭曲而調整維恩迪生透鏡条統之排 齊、放大率和失真。 8. —種由檁線片之部分長度掃描圖樣及投射該掃描圃樣 至基片的對應長度之掃描糸統，該掃描糸統包括： 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ 16 _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α8 Β8 C8 D8 夂、申請專利範圍 一部第一車架，其係供接受並轉蓮該其上有圓樣 之橒線片； 第一對彼此串聯設置的維恩迪生（Wynne Dyson) 透鏡糸統，其係供於檫線片藉第一車架蓮送時接收來 自該檷線片之播描圈樣之第一部分，以及透射該掃描 圖樣之第一部分通遇該第一對維恩迪生透鏡糸統； 第二對彼此串聯設置的維恩迪生透鏡条统，其係 供於檷線片藉第一車架蓮送時接收來自該橒線片之掃 描圈樣之第二部分，Μ及透射該掃描圈樣之第二部分 » 通過該第二對維恩迪生透鏑糸統；及 一部第二車架，其係供接受該基片而對基片提供 轉蓮，而該轉蓮係與第一車架上檫線片的轉蓮同步提 供，而該位置係可接受來自該第一對和第二對維恩迪 生透鏡条統之掃描圖樣之第一和第二部分。 9.如申請專利範圍第8項之掃描条統，其中該第一對和 第二對維恩迪生透鏑糸統係相對於彼此交錯設置，因 此，當掃描與透射完成時，掃描團樣之第一和第二部 分係吡鄰位在基片上。 10.如申請專利範圍第8項之掃描糸統，其中： 該第一對維恩迪生透鏑糸統包含： 一個第一倍鏡，其係供接收來自檷線片之掃描圈 樣之第一部分； 一個第一維恩迪生透鏡，其係供於其上半接收來 自該第一倍鏡的掃描圈樣之第一部分，Μ及透射該掃 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -17 - I I n I I n I n . I n ' I "訂 I I I ; (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 描圖樣之第一部分通過第一維恩迪生透鏡至其底部； 一個第二倍鏡，其係供接收來自該第一維恩迪生 透鏡下半的掃描圖樣之第一部分； 一掴第三倍鏡，其係供接收由第二倍鏡反射的掃 描圖樣之第一部分，此時掃描圖樣之第一部分係與掃 描自檫線片之原姶圈樣之第一部分相反； 一偏第二維恩迪生透鏡，其係供於其上半接收來 自該第三倍鏡的掃描圖樣之第一部分，Μ及透射該掃 描圖樣之第一部分通過第二維恩迪生透鏡至其底部； 及 . 一個第四倍鏡》其係供接收來自第二維恩迪生透 鏡下半的掃描圔樣之第一部分；及 該第二對維恩迪生透鏡条統包含： 一個第五倍鏡，其係供接收來自檷線片之掃描圖 樣之第二部分； 一個第三維恩迪生透鏡，其係供於其上半接收來 自該第五倍鏡的掃描圖樣之第二部分，Μ及透射該掃 描圖樣之第二部分通過第三維恩迪生透鏡至其底部； 一個第六倍縝》其係供接收來自該第三維恩迪生 透鏑下半的掃描圃樣之第二部分； 一個第七倍鏡，其係供接收由第六倍鏡反射的掃 描圖樣之第二部分，此時掃描圖樣之第二部分係與掃 描自檷線片之原姶圖樣之第二部分相反； 一個第四維恩迪生透鏡，其係供於其上半接收來 自該第七倍鏡的掃描_樣之第二部分，以及透射該掃 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_ 、1Τ 線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 18 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 描圔樣之第二部分通過第四維恩迪生透鏡至其底部； 及 一個第八倍鏡，其係供接收來自第四維恩迪生透 鏑下半的掃描圖樣之第二部分； 而該第一和第二對維恩迪生透鏡糸統係遠離彼此 取向，而第一與第五，及第三與第t倍鏡分別Μ相反 方向反射掃描圈樣之第一和第二部分。 11. 如申請專利範围第10項之掃描糸統*其中： 各該第一對和第二對維恩迪生透鏡条統各自界定 一條通過其中的中線； 各該第一對和第二對維恩迪生透鏡条统各自界定 一攔具有特選長度的視域；及 該第一對維恩迪生透鏡条統之中線偏離第二雒恩 迪生透鏑条統之中線達該第一和第二對維恩迪生透鏡 糸統之視域之特遘長度均值。 12. 如申請専利範園第8項之掃描糸統，其中該掃描条統 又包含： 第三對彼此串聯設置的維恩迪生透鏡条統，其係 供於檷線片藉第一車架蓮送時接收由該檷線片掃描圃 樣之第三部分，Μ及透射該掃描圈樣之第三部分通過 該第三對維恩迪生透鏡条統； 而該第二車架，其又係供接受來自該第三對雒恩 迪生透鏡条統之掃描圖樣之第三部分；及 而該第三對維恩迪生透鏡糸統係相對於彼此偏離 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -19 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 第一對和第二對維恩迪生透嫌条统設置，因此，當掃 描與透射完成時，掃描圖樣之第一、第二和第三部分 係K串聯排列方式吡鄰位在基片上。 13. 如申請專利範圍第12項之掃描条統，其中： 各該第一對、第二對和第三對維恩迪生透鏡糸統 各自界定一條通過其中的中線： 各該第一對、第二對和第三對維恩迪生透鏡糸統 各自界定一欄具有特選長度的視域； 該第一對維恩迪生透鏡糸統之中線傷離第二維恩 迪生透鏡糸統之中線達該第一對和第二對雒恩迪生透 鏡条統之視域之特選長度均值；及 該第二對維恩迪生透鏡条統之中線僱離第三維恩 迪生透嫌条統之中線達該第二對和第三對維恩迪生透 縝条統之視域之特選長度均值。 14. 如申請專利範園第12項之掃描糸統，其中： 該第一對維恩迪生透鏡条統包含： 一偁第一倍鏡之第一區，其係供接收來自檷線片 之播描圓樣之第一部分； 一痼第一維恩迪生透鏡*其係供於其上半接收來 自該第一倍鏡之第一®的掃描圔樣之第一部分，Μ及 透射該掃描圔樣之第一部分通過第一維恩迪生透鏡至 其底部； 一個第二倍鏡之第一匾，其係供接收來自該第一 維恩迪生透鏡下半的挿描圖樣之第一部分； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210Χ297公釐） 20 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. 訂 8 8 8 8 ABCD 207203 六、申請專利範圍 一個第三倍鏡之第一區，其係供接收由第二倍鏡 之第一區反射的掃描圔樣之第一部分，此時掃描圖樣 之第一部分係與掃描自禰線片之原姶圖樣之第一部分 相反； 一値第二雒恩迪生透鏡，其係供於丼上半接收來 自該第三倍鏑之第一區的掃描圖樣之第一部分，Μ及 透射該掃描圖樣之第一部分通過第二維恩迪生透鏡至 其底部；及 一徧第四倍鏑之第一區，其係供接收來自第二維 恩迪生透鏔下半的掃描圖樣之第一部分；及 該第二對維恩迪生透鏡条統包含： 一摘第五倍嫌，其係供接收來自禳線片之掃描圖 樣之第二部分； 一傾第三錐恩迪生透銪，其係供於其上半接收來 自該第五倍鏡的掃描圈樣之第二部分* Μ及透射該掃 描圈樣之第二部分通遇第三維恩迪生透鑌至其底部： 一偁第六倍鏡，其係供接收來自該第三維恩迪生 透鏡下半的掃描圖樣之第二部分； 一館第七倍鏡，其係供接收由第六倍鏑反射的掃 描圔樣第二部分，此時掃描圏樣之第二部分係與掃描 自禰線片之原姶圈樣之第二部分相反； 一雇第四維恩迪生透鏡，其係供於其上半接收來 自該第t倍鏑的掃描圈樣之第二部分，W及透射該掃 描圜樣之第二部分通過第四維恩迪生透鏡至其底部； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公漦） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ..装_ 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 21 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 及 一個第八倍鏡，其係供接收來自第四維恩迪生透 鏑下半的掃描團樣之第二部分；及 該第三對維恩迪生透鏡条统包含： 利用該第一倍鏡之第二匾，其係供接收來自檷線 片之掃描圖樣之第三部分； 包含一値第五維恩迪生透鏡，其係供於其上半接 收來自該第一倍鏡之第二區的掃描圈樣第三部分，κ 及透射該掃描圖樣之第三部分通過第五維恩迪生透鏡 至其底部； 利用該第二倍鏡之第二匾，其係供接收來自該第 五維恩迪生透鏡下半的掃描圈樣之第三部分； 利用該第三倍鏡之第二匾，其係供接收由第二倍 鏡之第二區反射的掃描圖樣第三部分，此時掃描圖樣 之第三部分係與挿描自檫線片之原始圖樣第三部分相 反； 包含一値第六維恩迪生透鏡，其係供於其上半接 收來自該第三倍鏑之第二匾的掃描圖樣第三部分，以 及透射該掃描圈樣之第三部分通遇第六維恩迪生透鏡 至其底部；及 利用該第四倍鏡之第二區，其係供接收來自第六 維恩迪生透鏡下半的掃描圖樣第二部分； 而該第一對和第二對維恩迪生透鏡条統係遠離彼 此取向，而第一與第五，及第三輿第七倍鏑分別Μ相 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（21〇χ297公釐） -22 - (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 装- 訂 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 反方向反射掃描圚樣之第一和第二部分；及 而該第一和第三對維恩迪生透鏡糸統係於同向取 向*而該第一、第二、第三和第四倍鏡之第一區和第 二區分別以彼此儋位之方向反射掃描圖樣之第一和第 三部分。 15.—種由檷線片之部分長度挿描圈樣及投射該掃描圔樣 至基片的對醮長度之掃描条統，該掃描糸统包括： 一部第一車架，其係供接受並轉運該其上有圖樣 之檁線片； 多傾第一透鏡条統彼此吡鄰且Μ彼此同向、邊靠 邊取向，各艏透鏡糸統包含彼此串聯設置的第一與第 二維恩迪生（Wynne Dyson)透鏡条統； 多傾第二透鏡条统彼此吡鄰且Μ彼此同向、邊靠 邊取向，各掴透鏡条统包含彼此串聯設置的第一舆第 二維恩迪生透嫌条統； 一傾第一倍鏡糸统，其係供接受來自棰線片之掃 描圔樣，Μ及反射來自第一倍鏡糸統不同位置的掃描 _樣不同部分至各該多傾第一和第二透鏡条统之第一 維恩迪生透鏑陣列； 一镳第二倍嫌条統，其係供於該挿描圓樣之不同 部分已經通遇各該多傾第一和第二透鏡糸統之各锢第 一維恩迪生透銪陣列後，於該第二倍鏡条統之不同位 置，接受掃描圔樣之不同部分； 一個第三倍鏡条統，其係供於第三倍鏡条統之不 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ 23 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -艮· 訂 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 同位置，接受來自第二倍鏑糸統不同位置之掃描圔樣 不同部分，以及反射來自第一倍鏡条統不同位置的掃 描圖樣不同部分至各該多個第一和第二透鏡条統之第 二維恩迪生透銪陣列； 一個第四倍鏡条統，其係供於該掃描圖樣不同部 分已經通過各該多値第一和第二透鏡条統之各個第二 維恩迪生透鏑陣列後，於該第四倍鏡条統之不同位置 ，接受掃描圖樣之不同部分；及 一部第二車架，其係供接受該基片而對基片提供 轉浬*而該轉蓮係與第一車架上檷線片的轉蓮同步提 供，而該位置係可於基片上不同位置，接受來自該第 二對維恩迪生透嫌条統之掃描圖樣不同部分。 16.如申請專利範圍第15項之掃描条统，其中該不同的掃 描圖樣部分投射至基片時係彼此吡鄰。 17·如申請專利範圍第15項之掃描条统，其中該不同的掃 描圖樣部分係由該多值第一和第二透鏑条統交替投射 至該基片。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 24