TW293782B - - Google Patents

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208782 A7 B7 五、發明説明（ 經濟部中央橾準局員工消費合作杜印製 本發明 分離方法， 自以注 分離装置， 分離而製成 以空氣壓縮 而昇溫之壓 進吸着塔， 交換器使其 逑沸點之差 造。惟，在 沸黏間沒有 因此，原料 中常會殘留 存在之氳氣 氣無法液化 術内容並加 問題。 因此， 人等便提案 107間，配 内之把条_ 離竺置。在 10 1取進之 m關於，能夠防止觸媒性能之早期劣化之空氣 及所使用之装置。 ，高純度之氰氣，m氣，氬氣等，像使用空氣 利用氮氣，氧氣，氬氣等之沸點之差別，將其 。亦即，上述高純度m氣等傜以空氣為原料， 機睡缩此原料空氣，接着以冷却器冷却因壓缩 縮空氣使其降溫，然後將此降溫之壓縮空氣放 去除壓縮空氣中之二氣化硪及水分，再通遇熱 與冷媒熱交換加以冷却，然後在精留塔利用上 別，進行深冷液化分離，經由這些過程進行製 這種空氣分離裝置，氣氣之沸點與一mr之 木大之差別，氣化狀態之比重量也幾平相同， 空氣中之一氣化磺之分離去除很難，裂品氣腥 一氣化碩成為雜霣，甚為不妥。同時，對撖量 ，亦因其沸黏較氮氣之沸點為低，因此也有氫 去除而混在製品中之問題。在半導鱺工業之技 高度化之現在，這種棰撤悬之不鈍物也會成為 為了完全去除上述之一氣化磺，氫氣，本發明 ，如第8圖所示，在空氣壓縮機101與吸兼塔 設内裝耙条觭媒之觸媒塔104,藉此觸媒塔104 媒去除壓繚空氣中之一氣化硪及氫氣之空氣分 圔中，102你熱交換器，通過由空氣壓縮機 壓縮空氣與經過觸媒塔104之空氣，雙方進行 請 先 閲 讀 背 之 注 項 再 填 寫 本 頁 袈 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 293782 $ 五、發明説明（2 ) 熱交換，使因空氣壓縮機101之壓缠而昇溫之壓縮空氣進 —步昇溫，同時使經過觸媒塔104之空氣降瀣。103傜用 以使藉熱交換器102使其昇溫之壓缠空氣再昇溫到一定ffi 度（適合觸媒塔104之氣化反應之溫度，&0 01D以上之溫 )之加熱器，106偽揉滅分離器β 105傜使藉熱交換器102 使其降溫之空氣再降溫到一定溫度（適合吸着塔107之吸 着之溫度）之氟利昂冷却器。 ... ,〆—··一-- - +._+ —---------· " · *.. 在上述空氣分離裝置，以空氣S縮機101壓缩空氣， 再利用熱交換器102及加熱器103,使箱空氣懕缩機101壓 缩而昇通之空氣昇溫到一定溫度，而送至觸媒塔104,接 着令此«媒塔104内之把条觭媒與壓縮空氣中之一氣化硪 及氫氣産生氣化反應。藉此將壓縮空氣中之一氱化碩及氫 氣豐成二寒化眯及水北。然後利用熱交換器1〇2及氟利昂 冷却器105,使經過觸媒塔104之空氣降溫到一定溫度， 再送進吸兼塔1〇7,以吸着塔1〇7内之吸_董里乂适隹置J：劈 ，嚴五等）吸着去除二氣化硪及水分。將如此獲得之精製 空氣供給低溫精留塔（未圈示），將其分離成，氮氣，氣氣 ，氫氣等。 然而，上述空氣分離装置之嫌媒塔104内之耙条觸媒 有時會未題一f其样能见隆.步。這時必須將昂貴之觸媒提 早換新，頻繁進行提早更換《媒等之保養工作，同時其缠 成本也會增加。並且，也發生在®媒塔104内下部提早稹 有默览末等之缺陷，同樣必須頻繁進行提早清除上迷徹粉 末之保養工作。 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----------裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 228762 ΑΊ Β7 五、發明説明（3 ) 本發明僳有鑑於上述實情而完成者，其目的在提供， 觸媒之性能不會提早劣化，而且長時間不必保養，廉儷之 空氣分離方法，及所使用之裝置。 為了逹成上述目的，本發明之第1主旨傜關於一種， 壓缩由外部取進之空氣使成壓縮空氣，將此壓縮空氣導入 去除機構，去除空氣中之二氣化磺與水分，深冷液化分雄 經過上述去除機構之空氣，將其分離成氮氣與氣氣之空氣 分離方法，在將上述壓縮空氣導入去除機構之前，先以冷 却機構，將因壓縮空氣時之壓缩熱而昇温之壓縮空氣加以 冷却降溫後導入吸着機構，吸着去除壓縮空氣中之水分， 接着，令經由上述吸着機構之空氣接》到觸媒，氧化空氣 中之一氣化碩及氫氣。本發明之第2主旨偽鼷於一種，備 有，壓縮由外部取進之空氣之空氣壓编機構，去除經由上 述空氣壓縮機構之壓縮空氣中之二氣化硪與水分之去除機 構，以及將經過此去除機構之空氣液化分離成氮氣與《氣 之深冷液化分離機構之空氣分離裝置，在上述空氣®縮檐 構與去除機構之間，配設有，將因空氣壓縮機構之壓縮熱 而昇溫之壓縮空氣加以冷却之冷却機構，吸着去除藉此冷 却機構加以冷却而降溫之空氣中之水分之吸着機構，將經 吸着機構吸着去除之空氣加熱之加熱機構，以及，使藉由 此加熱機構加熱而昇溫之空氣中之一氣化硪及氫氣《化之 觭媒機構。 亦即，本發明人等曾進行一連串之研究，追究觸媒塔 内之耙条觸媒未達一年其性能即提早劣化之原因，以及在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ^^3782 at _B7_ 五、發明説明（4 ) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 觸媒塔内下部會有微粉末積存之原因。在其研究之過程， 證實了，如上述把糸觸媒在氧化鋁之外周面担持耙粒子者 ,當水分從氣化鋁外周面之空陳或溝逸進時，《化鋁便會 蟛脹，使把粒子從氣化鋁外周面剝離、脱落，致使活性面 稹變小，性能提早劣化，同時，上述脱落之耙粒子成為撤 粉末積存在《媒塔下面等事實。除此之外也證實了，若E 縮空氣中含有較多之水分時，為使觸媒塔内之氳氣及一氣 化碩容易起氣化反應，必須使壓缠空氣昇溫至20〇υ以上 再送進觸媒塔，而因為曝露在如此之高溫使觸辉容易劣化 ，致使性能提早下降。而再進一步進行研究之结果發現， 若在將從外部引進之颸縮空氣送進去除檐構以前，先葙冷 却機構將因壓縮空氣時之壓缩熱而昇溫之壓縮空氣加以冷 却降溫後，再導入吸着機嫌，吸着去除壓縮空氣中之水分 ，接着令上述經由吸着機構之空氣接觴到觸媒，使空氣中 之一氣化硪及氳氣氧化，則可在使空氣接觸到觸媒前，先 以吸兼櫬構去除壓编空氣中绝大部分之水分，因而，由於 不會使觴媒提早劣化，而且從壓縮空氣中去除水分而不必 使壓縮空氣成為高溫，可以長期維持上述臁媒之優異待性 ，而完成本發明。 玆詳細説明本發明之實施例如下。 第1圖表示本發明之一實施例。在圖中，1像從外部 取進原料空氣（25C前後），加以壓縮使成壓縮空氣之旋渦 式（或螺旋式，往復式）空氣壓縮機，因壓縮熱，壓縮空氣 昇溫到 100t。2 係葉 H (Plate-Fin)式（或 shell and 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（5 )

Tube式）之第1熱交換器。此第1熱交換器2在其内部 配設有，供由空氣壓縮檐1取進之壓縮空氣通遇之通路2a ，及供吸着爾再生用之排氣（在後述之精留塔産生之排氣 ,IOC左右）通過之通路2b,因為通過各通路2a, 2b之 壓缩空氣舆排氣間之熱交換，可將颳縮空氣降湿到前 後，同時使排氣昇溫到90¾前後。3傜第1冷却器，可將 經由第1熱交換器2降溫之壓缠空氣再冷却，使其降瀣到 4013前後（適合在吸着塔4〜6進行吸着去除之觀度）.同 時去除壓缩空氣中之水分。4, 5, 6偽相同構造之吸着塔 ，在各塔内部均收容有可吸着去除壓鑣空氣中之；ϊΚϋ二 氧化碩之吸着嫌。此吸着劑傜在吸着塔4〜6之下部配設 氣化鋁澱膠12，在其上倒配設分子篩（合成沸石）13而成。 這種吸着塔4〜6用在導入嫌媒塔9前之吸着過程，導出 觴媒塔9後之吸着過程及吸着剤12, 13之再生過程。7俱 鋁製之第2熱交換器，設有供經過上述吸着塔4〜6之壓 縮空氣通遇之通路7a,供經過觸媒塔9之空氣通通之通路 7b,因通過通路7a, 7b之空氣相互間之熱交換，可使經 過吸着塔4〜6之壓缩空氣昇溫到55t：前後，同時可使經遍 觸媒塔9之空氣降通到50t：前後。8傺第1加熱器，將經 遇上逑第2熱交換器7昇溫之壓缩空氣加熱，使其再昇溫 到前後（適合在觸媒塔9之氧化反應之溫度9俱觸 媒塔，内部裝設有可使空氣中之一氣化碩及氳氣氣化而産 生二氣化碩與水之觴媒。所用觸媒僳白金条或鼦条之觴媒 。1C偽第2冷却器，可使經由上述第2熱交換器7降溫之 -8- 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 請 先 閱 讀 背 Λ 之 注 意 事 項 再 裝 訂 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 _B7_ 五、發明説明（6 ) 空氣再降溫到20t：以下。11偽第2加熱器，可將經第1熱 交換器2昇溫之排氣加熱，使其昇溫到20〇υ前後。 上述兩冷却器3, 10與各吸着塔4〜6偽以下述配管類 相互連结在一起。即，第1冷却器3之出口管3a輿第2冷 却器10之出口管l〇a,像以安装有兩傾两閉閥15a, 15b之 第1逋結管15相互連结在一起，並從位在醑閉閥jja, 15b 間之第1連结管15部分分支設有，連结在第1吸着塔4之 空氣導入口之第1導入管18，及附設有開閉閬19a之第1 大氣放氣管19。同時，從上述各出口管3a，10a延伸，分 支之各分支管3b, 10b偽以安裝有兩梅開閉Ml6a, 16b之 第2連結管16,及安裝有兩雇開閉閥17a, 17b之第3連 結管17相互連結在一起。此等兩連結管16, 17也與上述第 1連結管15—樣，從位於兩開閉閥16a, 16b, 17a, 17b間 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 之部分，分別分支設有連结於第2吸着塔5之空氣導入口 之第2導入管20,附設開閉閥21a之第2大氣放氣管21， 及連結於第3吸着塔S之空氣導入口之第3導入管22,附 設閬閉閥23a之第3大氣放氣管23。另一方面，上述各吸 着塔4〜6，第2熱交換器7與精製空氣取出管30,像箱下 述配管類連結在一起。亦卽，第2熱交換器7之入口管7c 傜以附設開閉閥24a之第4連结管24,遽結在從第1吸着 塔4之空氣導出口延伸之第1導出管4a,以附設開閉閥26a 之第5連結管26,連結在從第2吸着塔5之空氣導出口 延伸之第2導出管5a並以附設開閉，閥28a之第6連結管28 ，連結在從第3吸着塔6之空氣導出口延伸之第3導出管 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） B7___ 五、發明説明（7 ) 6a。同時，精製空氣取出管30之起端部30a傜以附設開閉 閥25a之第1取出管25,連結在第1導出管4a之終嫋部4b, 從精製空氣取出管30之起端部30a延伸，分支之分支管 30b,傜以附設開閉閥27a之第2取出管27,連结在第2導 出管5 a之终端部5b,並以附設開閉閥29a之第3取出管29 ，連結在第3導出管6a之终端部5b。 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 而從精留塔供給之排氣之通路之排氣供應管（圏中僅 表示其終端部3 la之附近部分）31,與第2加熱器11及各 趿着塔4〜6,傜以下述配管類相互連結在一起。亦即，排 氣供蘸管31之终端部31a像藉由，連結在第1熱交換器2 之通路2b之附設開閉閥32a之第1供匾管32,第1熱交 換器2之通路2b,從此第1熱交換器2之通路2 b延伸，連 結在第2加熱器11之排氣入口之第2供應管33,連結在第 2加熱器11。同時，從第2加熱器11之排氣出口延伸之第 3供應管34之終端部34a,僳以附設開閉閥35a之第4供 應管35連結在第1導出管4a之終端部4b,以附設開閉閥36a 之第5供應管36連结在第2導出管5a之終端部5b,並以附 設開閉閥37a之第6供鼴管3 7連結在第3導出管6 a之終纗 部6b。同時由上述第3供應管34有附設開閉閥3 8a之分支 連結管38,連結在上述排氣供應管31之终端部31ae 茲説明，在上述裝置，第1吸着塔4在導人觸媒塔9 以前之吸着過程使用，第2吸着塔5在導出觸媒塔9後之 吸着過程使用，第3吸着塔6在再生過程使用時之情形如 下。這時僳如第2圖所示，打開開閉閥15a, 16b, 23a, -1 0 - 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局身工消費合作社印裂 A7 B7 五、發明説明（8 ) 24a, 27a, 32a, 37a (以箭頭表示是在打開狀態），關閉 開閉閥 15b, 16a, 17a, 17b, 19a· 21a, 25a, 26a, 28a, 29a, 35a. 36a, 38a (將閥塗黑以表示在鼷閉狀態）。首 先，以空氣壓缩機1從外部取進原料空氣，使成壓缩空氣 。接着在第1熱交換器2,使上述被壓缩之高溫壓缩空氣 與排氣進行熱交換降溫後，以第1冷却器3冷却，将其降 溫到40·〇前後。接着，通過第1連结管15及第1導入管18 ，將降溫之壓縮空氣供給第1吸着塔4。此第1吸着塔4 刖藉吸着_12, 13,將壓縮空氣中之水分吸着去除到ρρ· 。然後，通過第1導出管4a，第4迪結管24及入口管 7c,向第2熱交換器7供應經由第1吸着塔4之空氣，在 第2熱交換器7與經過觸媒塔9之空氣熱交換而昇溫後， 以第1加熱器8將其昇溫至60"C前後，而供給《媒塔9。 在觸媒塔9藉觸媒將空氣中之一氣化碩氣化而産生二氱化 硪，氳氣被氣化而産生水。然後，將經過觸媒塔9之空氣 供給第2熱交換器7,在第2熱交換器7舆經由第1吸着 塔4之壓縮空氣進行熱交換降溫後，在第2冷却器10降溫 至l〇t前後，再經出口管10a,分支管10b,第2連結管16 及第2導入管20供給第2吸着塔5。在第2吸着塔5刖藉 吸着劑12, 13,吸着去除IS縮空氣中之水分及二氧化硪。 令經過此第2吸着塔5之空氣，通過第2導出管5a,第2 取出管27,分支管30b,送至精製空氣取出管30。送到此 精製空氣取出管30之精製空氣將供給低溫精留塔（未圖示） ，分離為氮氣（Ν2),氧氣（08),氬氣（Ar)等。另一方面 -1 1- 本紙法尺度適用中國國家榡準（CNS〉A4規格（210X297公釐） -----------<*衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 203782 A7 B7 五、發明説明（9 ) 將由精留塔送來之排氣通通排氣供應管31及第1供應管32 ，供給第1熱交換器2,在此第1熱交換器2與從空氣壓 縮機1取進之壓縮空氣進行熱交換而昇溫。然後將在第1 熱交換器2昇溫之揉氣經由第2供應管33供給第2加熱器 11,在第2加熱器11將其昇溫至200t：後，通過第3供醮 管34,第6供鼷管37及第3導出管6a,供給第3吸着塔6 。在此第3吸着塔B,吸着劑I2, 13曝露车專S之辨展而 \/ ..，然後在再生後打開開閉閥38a,關閉開閉閥32a,對 排氣不加熱而供給第3趿着塔6。藉此，第3吸着塔6之 吸羞剤12, 13 '由排氣加以冷却，備供下一過程。 上述各吸着塔4〜6可以藉開閉操作各開閉閥而自動 切換。其切換範式示於下表1。在下表1,於導入《媒塔9 前之吸着過程使用第2吸着塔5,導出觸媒塔9後之吸着 過程使用第3吸着塔6,在再生過程使用第1吸着塔4時 ，則打開開閉閥 16a, 17b, 19a, 2Sa, 29a, 32a, 35a, 開閉開閉閥 15a, 15b, 16b, 17a, 21a, 23a, 24a, 25a, 27a, 28a, 36 a、37a, 38a。若在導入«媒塔9前之吸着 遇程使用第3吸着塔6,在導出觸媒塔9後之吸着過程使 用第1吸着塔4,在再生過程使用第2吸着塔5時，則打 開開閉閥 15b, 17a, 21a, 25a, 28a, 32a, 36a,關閉開 閉閥 15a, 16a, 16b, 17a, 19a, 23a, 24a, 26a, 27a, 2 9a,35a, 37a, 38a。如此使用時，則可以将使用在導入觸 媒塔9前之吸着過程而吸着量到達界限之吸着塔4〜6移 至再生過程，將使用在導出觴媒塔9後之吸着遇程其吸蹩 -12- 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ----r---.---{衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 293762 Α7 Β7 五、發明説明（10 ) Μ尚有宽裕之吸着塔4〜6移到導入《媒塔9前之吸着過 程。而再生後之吸着塔4〜6則移至導出嫌媒塔9後之吸 着過程。因此，能夠以3値吸着塔4〜6進行离效率之吸 着去除及U作業。 表1 甩 途 切 換時限 觸媒塔前吸着過程 4 5 6 4 … 觸媒塔後吸着遇程 5 6 4 5 … 再生 a 程 6 4 5 6 … 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如此，上述装置可在供給觴媒塔9内以前，藉吸着塔 4〜6完全吸着去除缩壓空氣中之水分，因此差不多不會 有水分進人_媒塔9内之觸媒表面，使其膨脹之情事。因 此，*媒表面之把条粒子等將不會剝離，脱落。而且如上 述，縮壓空氣中之水分差不多完全被吸着去除掉，因而可 在供給觸媒塔9時，將縮壓空氣之溫度設定得低一黠。因 之，不再會有招致嫌媒之性能提早劣化，或在觴媒塔9之 下部提早積存撤粉末之情事，長期間不需要保養，且總成 本較低。而且如上述，能夠將導入觸媒塔9以前之吸着過 程使用之（吸着S到達界限值）吸着塔4〜S移至再生過程 ，將在導出觸媒塔9後之吸着過程使用之（尚可吸着）吸 -13- 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（11 ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 着塔4〜6移至導入觸媒塔9前之吸着過程，將在再生通 程再生之吸着塔4〜6移至導出觴媒塔9後之吸着過程， 而得有效利用吸着量尚有宽裕之吸着塔4〜6,得以3健吸 着塔4〜6進行高效率之吸着去除及再生作業。同時亦可考 盧輿本實施例類似之裝置，卽在同一容器内，藉由不锈鏑 製網片，分上下3層堆叠下部吸着部，觸媒作用部與上部 吸着部，使縮IE空氣在通過觸媒作用部前，先通過吸着部 。埴種裝置可並設兩値上述容器，其一方在吸着過程使用 時，另一方則可進行再生。惟，逋種裝置必須以不锈網網 分離各部分，其嫌充方法會《祺雜。而且，再生用之排氣 含有35〜40¾以上之氧氣時，如果在此排氣再生中對觸媒 加熱，也有氧化使*媒劣化加速之間題。同時，在再生中 不僅吸着部連®媒作用部也會加熱，因此而會衍生再生時 間延長及再生動力增加之問題。同時更有霈要4個吸着部 兩掴觸媒作用部，致使成本增加之問題，對此，本實施例 之吸着塔4〜6與觸媒塔9分開，《充吸着塔4〜6之吸着 劑很容易填充。而且在再生過程時能夠僅将揉氣通人吸兼 塔4〜6進行再生，再生時不會使觸媒塔9内之觴媒劣化 。而且，僅需3個吸着塔4〜6,觸媒塔9則1催就可以， 不僅廉價，且可收到上述之優異效果。 弟3圔表示本發明之其他實施例。本實施例傜考量， 供應«媒塔9之空氣必須恒常加溫，但再生用之拂氣則暫 時性之加溫即可，以及送進觸媒塔9之縮壓空氣並不箱要 太高溫，而僅利用第1熱交換器41對供給觸媒塔9之空氣 -1 4 * 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閲 I& 之 注 項 再 填 寫 本 .頁 袈 訂 203782 A7 B7 經濟部中央樣準局員工消费合作社印製 五、發明説明（I2 ) 進行熱交換使其昇溫，上述實施例中之第1加熱器8在本 實施例省略不甩。在圈中，41偽葉片（Plate-Fin)式（或 者shell and tube式）之第1熱交換器。此第1熱交換 器41在其内部設有，空氣縮壓機1取進之縮壓空氣通過之 通路41a,及經過各吸着塔4〜6之空氣通過之通路41b, 藉通過各通路41a, 41b之空氣相互間之熱交換，將經通 空氣縮壓機1之空氣降溫到85t：前後，同時使經過各吸着 塔4〜6之空氣昇溫到60*0前後。42像第2熱交換器，設 有經過上述觸媒塔9'之空氣通過之通路42a,及拂氣供應 路31供應之排氣通過之通路42b,藉通過各通路42a, 42b 之空氣與排氣之熱交換，將經過«媒塔9之空氣降溫到25 t：前後，同畤將排氣昇溫到5〇υ前後。43僳加熱器，可對 在第2熱交換器42昇溫之排氣加熱使其再昇溫到前 後。在圖中，41c僳第1熱交換器41之入口管，與第1圏 之入口管7 c相同。其他部分均與上述實施例相同，相同的 部分標示有同一記號。 E再説明，在上述裝置，於導入觸媒塔9前之吸着a 程使用第1吸着塔4,於導出觸媒塔9後之吸着過程使用 第2吸着塔5,再生過程使用第3吸着塔6時之作用。逭 時，與上述實施例一樣，打開或關閉各開閉閥。首先以空 氣縮壓機1從外部取進原料空氣使成编壓空氣。接着在第 1熱交換器41,令此被縮壓之离溫縮壓空氣與經過第1吸 着塔4之空氣進行熱交換而降溫後，以第1冷却器3加以 冷却，將其降溫到401前後。接着令此降溫之縮壓空氣通 -15 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 B7 五、發明説明（13 ) 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 寫贫 本衣 .頁 訂 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 過第1連結管15及第1導入管18,供給第1吸着塔4。在 第1吸着塔4内，縮睡空氣中之水分被吸着去除到ppm程 度。然後通過第1導出管4a,第4逋結管24及入口管41c ，將經過第1吸着塔4之空氣供給第1熱交換器41,在此 第1熱交換器4 1與從空氣縮壓機1取進之空氣進行熱交換 ,昇溫到60¾左右後，供給觸媒塔9。在觸媒塔9,空氣中 之一氣化碩及氫氣被氣化而産生二氣化碩及水。其次將經 過》媒塔9之空氣供給第2熱交換器42,在此第2熱交換 器42與嫌氣熱交換而降溫後.在第2冷却器10降通到10t： 前後，經由出口管l〇a,分支管l〇b,第2連結管16及第2 導入管20,供给第2皈着塔5。在第2吸着塔5吸着去除 缩壓空氣中之水分及二氣化磺。將經過此第2吸着塔5之 空氣通過第2導出管5a,第2取出管27,分支管30b,送 至精製空氣取出管30。另一方面，將由精留塔送出之排氣 ，通過排氣供應管31及第1供應管32,供給第2熱交換器 42,在此第2熱交換器42與經過觸媒塔9之空氣交換而昇 溫。接着，將在此第2熱交換器4 2昇溫之排氣，通過第2 供應管33供給加熱器43,在此加熱器43昇溫到20〇υ後， 通過第3供應管34，第6供應管37及第3導出管6a，供給 第3吸兼塔6。在第3吸着塔6進行吸着劑12, 13之再生 。然後，經過第3導入管22及第2大氣開放管23,將排氣 放出大氣中。 本S施例之各吸着塔4〜6也與上述實施例一樣，可 藉開閉操作各開閉閥，而自動切換。其切換範式與上述實 -1 6 _ 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 /r v /卢 五、發明説明（I4 ) 施一樣„本例不僅可收到與上迷實施例一樣之效果，同時 如上述，有可以省略第1圖之第1加熱器8之優點„ 第4圖係表示將由上逑冒施例精製之精製空氣（壓编 空氣）分離成氮氣，氣氣之裝置之構成圔。在園中，51偽 主熱交換器，從精製空氣取出管30 (參照第1困）將精製 空氣送進此主熱交換器51,藉熱交換作用冷却至超低溫。 30c偽由精製空氣取出管30分支之分支管，令通過精製空 氣取出管3 0之縮壓空氣之一部分通過主熱交換器5 1後，送 進膨脹渦輪機（Turbine) 52。53a偽將從膨脹渦輪機52取 得之空氣作為冷媒送進主熱交換器51之第1冷媒供應管， 53b俗用以將結束主熱交換器51之冷媒作用之冷氣送進低 壓精留塔64之第2冷媒供應管„ 54傜棚架式之高壓精留塔 ，將經由主熱交換器51冷却成超低溫之縮壓空氣有加以冷 却，將其一部分液化使成液鱧空氣55積存在底部，同時在 上部以氣體方式僅儲存氮氣。58傜主冷凝器，内部設有凝 縮器59。鍺存在高壓精留塔54上部之氮氣之一部分經由第 1還流管56送進此凝縮器59被液化，再經第2邐流管57送 進高壓精留塔54上部之液態氟儲存部54a。被送進之液態 I---^---r — ΤΊ I 裝-------訂-----^-線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標牟局貝工消費合作杜印製 ，而中低主液 流觸氣之而之 下接空 5 C部 向面縮塔部底 内對壓留上54 54面，精之塔 塔氣中壓54留 留空程高塔精 精縮過在留壓 壓暖此存精高 高之在稽壓於 在昇，而高存 而上即，在積7-出部亦化留而-1 溘底 C 液則 ， a 之化被氣態 5454液 lm狀 部塔分Η之壓 存留部(€分減 儲精一 分成呈 氮 S 其成點則 態高使點沸58 液從.，沸低器 由與却高，凝 氰而冷之部冷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）

Β7__ 五、發明説明（15 ) 態空氣（Nb: 60〜65%, 〇2: 33〜38%)55則經由附設膨脹閥 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (未圖示）之連接管60,成噴霧狀送進，在膨脹閥使液態 空氣中之氮氣成分氣化，將主冷凝器58之内部保持在超低 溫狀態。而以噴霧狀送進主冷凝器58之液態空氣之—部分 將成為氣化液態空氣（Νε: 60〜653；, 〇2: 33〜38¾)留在 上部，其他部分則成為較富氣氣之超低溫液體（Νζ: 30〜 35¾. 〇2: 63〜682) 61留在主冷凝器58之底部。因此項含 氣較多之超低溫液體61之冷却使送進冷凝器59内之钪氣液 化，通過上逑之第2邐流管57送進高壓精留塔54。同時， 主冷凝器58库部之含氣較多之超低溫液體61則受到通過冷 凝器59内之氮氣之加熱而氣化，成為氣化液態空氣而留在 上部。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 64像棚架式之低壓精留塔，設在與高腰精留塔54之間 一水平高度。此低壓精留塔64之中段部分由連結管62連在 主冷凝器(5 8$底部，積存在主冷凝器5 8底部之含氣較多之 超低溫液體（液態空氣）61則經由缠結管62送進。送進之 液態空氣將從低壓精留塔64内向下流而積存在低壓精留塔 64之底部，冷却設在低K精留塔64底部内之凝縮器66。此 凝縮器66之作用是，將從主冷凝器58之頂部經導入管63送 進之氣化液態空氣之一部分液化後送進導出管68，經由過 冷却器67使成過冷却狀態後以噴霧狀送進低壓精留塔64之 作用。經由過冷却器67而成噴蓀狀送進低®精留塔64之液 態空氣也在低壓精留塔64内向下流後，稽存在低壓精留塔 64之底部，冷却設在低壓精留塔64底部之凝縮器而存 -18- 本纸張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X2?7公嫠） 20S762 A7 B7 五、發明説明（16 ) 在低壓精留塔64底部之液態空氣65則被通過凝縮器6S之氣 化液態空氣加溫。7ϋ傜將主冷凝器58之凝縮器59液化之液 態氮（此液態氮之一部分俗如上述，送進高壓精留塔54之 液態氮儲存部54a)當作過冷却器67之冷媒輸送之第1液 態氮供應管，7 1偽將結束冷媒作用之液態氮送至低壓精留 塔64之液態氮儲存部64a之第2液態氮供應管。72傜用以 將存在低壓精留塔64上部之氮氣窖作製品氮氣取出之«氣 取出管，具有，將超低溫之氛氣引至過冷却器<6 7，藉此過 冷却器67以熱交換作用降溫後引至主熱交換器51内，令其 與送進該處之壓縮空氣進行熱交換而成常溫狀態，而送進 製品氮氣取出管73之作用。74俗氣氣取出管，具有，從低 壓精留塔64底部之滞留液態氣65取出氣化之《氣，引至主 熱交換器51内，令其與送進該處之壓縮空氣進行熱交換而 成常溫狀態，再送進製品《氣取出管75之作用。76傜用以 將稹存在低壓精留塔64内之氮氣分（純度並不很高）等當作 排氣取出之排氣取出管，具有，將從低壓精留塔64取出之 排氣引至主熱交換器51内，令其與送進該處在靨编空氣進 行熱交換使成常溫狀態，而送進排氣放出管77,同時將其 一部分送進排氣供應管.3 1 (參照第1圖）之作甩。 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本裝置偽以下述方式製造製品氛氣及氣氣。亦即，將 從上逑精製空氣取出管30送來之精製空氣送進主熱交換器 51内，冷却成超低溫，而投入高壓精留塔54之下部内.接 着，令此投入之壓縮空氯，與從主冷凝器58送進高壓精留 塔54内，而從液態氮氣儲存部54a溢流之液態氮接觸而被 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（Η ) A7 B7 經濟部中央橾準局員工消费合作杜印製 冷却，將其一 過程中，因氪 10 ,氮氣之沸 氧氣先液化， 高之液態空氣 58,液化後稹 主冷凝器58内 54上部之氰氣 6 1加以冷却使 存部54a内。 5 9液化之液態 冷狀態後，送 同時以連結管 進低壓精留塔 部之液態空氣 進低壓精留塔 方面，藉熱交 一部分液化後 却器6 7使成過 塔64内則與高 液態空氣與從 而加以冷却， 。在此過程中 中之高沸點成 部分液化而存在离壓精留塔54之底部。在此 氣與氣氣之沸黏之差別（氣氣之沸點為-183 點為-1 9 S ),壓縮空氣中之高沸點成分之 氮氣則以氣態留下來。然後將此氣氣含量很 55,以膨脹閥使其^[熱膨脹後送進主冷凝器 存在主冷凝器5 8底部成液態空氣61,以冷却 之凝缩器59。另一方面，將存在高K精留塔 送進主冷凝器58内之凝縮器59,以液態空氣 其液化，而回流到高S精留塔54之液態m鏟 同時，通遇第1液態氮供應管70從在凝编器 氰供給過冷却器67,藉此過冷却器6 7使成過 進低壓精留塔64内之液態氰儲存部64a内。 62將積存在主冷凝器58底部之液態空氣61送 64,儲存在底部。稹存在此低壓精留塔64底 65將以，從主冷凝器58頂部經由導入管63送 64内之凝编器66之氣化液態空氣加溫。另一 換作用將通過凝縮器66内之氣化液態空氣之 ，通過導出管68供給過冷却器S7,以此過冷 冷却狀態後送進低壓精留塔64。在低靨精留 壓精留塔54内一樣，令低壓精留塔64之氣化 液態氮儲存部64a溘流之液態讯面對面接觸 將其一部份液化而存在低壓精留塔64之底部 ，因為氰氣與氣氣之沸點之差別，壓缩空氣 分之氣氣先液化，而氰氣則以氣態留下來。 -2 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 请 先 閲 讀 背 之 注

I .旁 k 訂 線 203782 |ί 五、發明説明（l8 )

MM A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印裂 而在低壓精留塔64之底部穑存氣氣較多之液態空氣65，上 部則稹存氮氣。如此，稽存在低壓精留塔64上部之氮氣將 直接成為製品而由氮氣取出管72取出，在主熱交換器51進 行熱交換後，成為常溫製品氣體送出糸統外。在低壓精留 塔64底部之液態空氣65並非直接成製品取出，而是以氣化 物（氣氣）而從氣氣取出管74取出.在主熱交換器51進行熱 交換後，成為常溫製品氣體送出条統外。如此獲得高## 之氮氣與氣氣n 本裝置之高壓精留塔5 4與低壓精留塔64設置在同一水 平位置，因此整體裝置不會很高η可使裝置小型化，同# 可降低製造成本。因此可以有，在使甩者之用地内設 裝置以販賣氣體（現場供應）之優點。

第5鼴表示將精製空氣分離成氮氣，氣氣之裝 他例子。本例俱將製成氮氣之一部分用作對稹存在低壓辖 啻塔64底部之液態空氣65之加熱源。亦即，在製品氛氣取 出賀73設昇壓器80,藉此昇壓器80從製品氣氣取出口（未 圖示）側部分設分支管81,令此分支管8 1通過主熱交挨 51後連接在低壓精留塔64内之凝縮器66。而S通過此凝縮 器S6之製品氮氣對低壓精留塔64底部之液態空氣65加溫， 同時在凝縮器66内使製品氡氣液化，通過導入管68供給過 冷却器67,以過冷却器67使其成為過冷却狀態後，導入低 壓精留塔64。B —方面，通過導入管82，將從主冷凝器58 之頂部取出之氣化液態空氣（h: 60〜65%，〇广35〜4DSO 供給過冷却器67,藉此過冷却器67使其成過冷狀態後導入 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ： Ί--「I裝-- (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂.

五、發明説明（W A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製 低壓精留塔64。其他部分輿第4圖所示裝置相同，相同的 部分檩示同一記號。此裝置亦可收到與第4圖所示裝置相 同之效果，而且因為使製品氰氣再回到低歷精留塔64,因 而有可以P得較第4圃之裝置獲得者為高純度之氮氣。 '赛6黼係表示將精製空氣分離成氮氣，氣氣之装置之 另一其他例子。本例在兩精留塔54, 64之上部分別設有主 冷凝器5 8, 85。而將稹存在高壓精留塔54之主冷凝器58底 部之剩餘之液態空氣61 (N2: 60〜70%, Oa: 30〜402)導 入低壓精留塔64之第2主冷凝器85,將其當作冷却用。同 時令從低壓播留塔64之頂部取出之氰氣在第2主冷凝器85 加以液化使成液態®，而將其當作琿流液送回低壓精留塔 64。亦即，85係第2主冷凝器，内部配設有凝缩器86。而 經由第3邇流管87,將積存在低壓精留塔64上部之氰氣之 一部分送進此凝缩器86令其液化，再經第4還流管88，送 進設在低壓精留塔64上部之液態氮儲存部64a。被送進之 液態氮將從液態氡儲存部S4a溢出，在低壓精留塔64内向 下流，接梅到從低壓精留塔64底部上昇之壓缠空氣而冷却 ，使其一部分液化。亦即，在此過程中，靨縮空氣中之高 沸點成分（氣氣成分）被液化而積存在低壓精留塔64之底部 ,低沸點成分之m氣穑存在低壓精留塔64之上部。同時· 第2主冷凝器85呈減壓狀態，積存在主冷凝器58底部之液 態空氣61則經附設膨脹閥（未圖示）之連接管90成噴霧狀送 進，藉膨脹閥使液態空氣中之®氣成分氣化，而將第2主 凝器85之内部溫度保持在超低溫。而成曠霧狀送進第2主 -22- 本紙伕尺度適用中國國家樣準（CNS ) Α4規格（210X29?公釐） 請 先 閲 面 之 注 項 再 填 .寫裝 本私 % 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（2〇 ) 冷凝器85之液態空氣之一部分酣成為氣化液態空氣（Na: 60〜65!S, O2: 33〜38X)稹存在上部，其他部分刖成為含 «較多之超低溫液醱（Na: 33〜38%, 0 8 : 6 0〜653!) 89,稹 存在第2主冷凝器85之底部。因此項含《較多之超低溫液 «89之冷熱，使送進凝縮器86内之氮氣液化，而如上述， 通過第4邇流管8 8送進低臛精留塔64,稹存在低颳精留塔 6 4之底部。91a傈取出積存在第2主冷凝器85上部之氣化 液態空氣後供給過冷却器67,使其再次降溫之第1排氣取 出管，911)像將在過冷却器67内降溫之氣化液態空氣引至 主熱交換器51内，令其與送進此之壓编空氣進行熱交換變 成常溫後送進排氣放出管94之第2排氣取出管。9 2僳從高 壓精留塔54之第1邐流管56延伸之第1 »氣取出管，與從 低壓精留塔64之第3邇流管87延伸之第2氮氣取出管93合 流。此合流氮氣取出管95 (相當於第4圓之氮氣取出管72 )將從第1氮氣取出管9 2及第2氮氣取出管93取出之氰氣 供給過冷却器67,藉此過冷却器67以熱交換作用昇溫後引 至主熱交換器51内，其他部分與第4圔所示之裝置一樣， 相同之部分樣示相同之記號。 本裝置在低壓精留塔64也以下述方式製迪製品氮氣及 氣氣。亦即，從高壓精留塔54之主冷凝器58之底部以膨脹 閥使液態氡61斷熱膨脹後送進第2主冷凝器85,液化後以 液態空氣89穡存在第2主冷凝器85底部，以冷却第2主冷 凝器85内之凝缩器86。另一方面，將稹存在低壓精留塔64 上部之氮氣，送進第2主冷凝器85内之凝縮器86，以液態 -23- 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -------;---^ I裝-------IT·-----』線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟，部中央標準局員工消費合作社印拏 2S3762 A7 B7 五、發明説明（21 ) 空氣89加以冷却液化，而邏流至低壓精留塔64内之液態氰 儲存部64a内。而在低壓精留塔64内，令氣化液態空氣與 從液態氮儲存部64a溢流之液態讯接觸而被冷却，使其一 部分液化而存在低壓精留塔64之底部。在此過程中，由於 氟氣與氧氣之沸點之差別。壓缩空氣中之高沸黏成分之氱 氣液化，而氰氣則以氣钃狀留下來。而低壓糖留塔64之底 部則稹存含《董較多之液態空氣65。然後，經由第1氮氣 取出管92及第2氮氣取出管93，取出積存在高壓精葷塔54 上部之«氣及積存在低壓精留塔64上部之氮氣，直接當作 製品送至製品氮氣取出管73。同時，低壓精留塔64底部之 液態空氣65刖不是直接當製品取出，而是以其氣化物（氯 氣）.由製品氣氣取出管75取出。如此«得高純度之氰氣 與氣氣。 本裝置亦可收到與第4圖所示裝置同樣之结果，同時 ，因為是在各精留塔54, 64分別設有主冷凝器58, 85,因 此可製造純度較第4所示裝置為高之氮氣。 /第7圖係表示將精製空氣分離成氮氣，氣氣之裝置之 再一其他例子。本例使用液態«作為寒冷源，將其直接導 入高壓精留塔54,以取代第4圖〜第6圖之膨脹渦輪機。 其他部分與第4圖所示裝置相同，相同之部分標示同一紀 號。本裝置也可收到與第4圖所示裝置同樣之效果。而且 如第4 _〜第6圖所示各例子使用膨脹渦輪機52時，因膨 脹渦輪機5 2之轉速很大，很難追随負載之變動（製品氮氣 之取出量）運轉，因而有負載變動時製品之純度會有差別 -2 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210 χ 297公釐） ----------{-裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（22 ) 之缺點。而且因膨脹渦輪機52离速轉動，機械结構上霱要 有較高之精密度，且因價格昂賁，檐構複雜，因此必須要 有特別訓練之作業人貝。對此，若依本例使用液態氮時， 因為可精密諝整供應量，能夠完美地追随負載之變動，因 此具有可裂造鈍度穩度，純度很离之氮氣等之優貼。而且 裝置本身沒有轉動部分，幾乎不會發生任何故障。 再者，第4圖〜第6圈，偽將從膨脹渦輪機5 2取得之 冷氣當作冷媒供給低壓精留塔64，但並不限定如此，也可 以供給高壓精留塔54。同時，第7圖係以液態氮當作冷媒 供給高應精留塔54,但也不限定如此，也可以供給低壓精 留塔64。 如以上所述，依據本發明之空氣分離方法時，傳統方 法因供給觸媒塔之壓缩空氣中之水分很多，觸媒反藝箱要 2 00 上之高通，而本發明像在冷壓缩空氣在接腸到* 媒以前先吸着去除該壓编空氣中之水分，因此能夠以 之低溫進行反應。同時由於上述反應通度之下降，因加熱 到离溫致使觸媒劣化之問題也較之傳統方法.可以大幅度 抑制。因此可長時間雄持《媒之優異特性，其維修也可長 期間免除。不僅如此，以傳統方式而必須在2 00 t：以上之 高溫下使用時，熱交換器之材質必須使用不辑轉等昂貴的 材料，但本發明則因上述反應溫度之下降，而得使用諸如 鋁等廉價之材料。同時，依據本發明之裝置時，可簡箪且 有效率地實現本發明之方法。同時，本發明像設有可兼用 作去除構件之3艏吸着機構，並設有再生此等吸着機構之 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· B7 五、發明説明 ( 23 ) 再 生 機 構 * 在 第 1 階 段 以 第 1 吸 着 機 構 吸 着 去 除 壓 縮 空 氣 中 之 二 氣 化 硪 與 水 分 t 以 第 2 吸 着 機 構 吸 着 去 除 接 m 到 嫌 媒 之 空 氣 中 之 二 氧 化 硪 與 水 分 9 以 再 生 機 構 再 生 第 3 吸 着 機 構 » % 第 2 陏 段 以 第 2 吸 着 機 構 吸 着 去 除 壓 縮 空 氣 中 之 二 氣 化 m 輿 水 分 * 以 第 3 吸 着 機 構 吸 着 去 除 接 觸 到 觸 媒 之 空 氣 中 之 二 氣 化 硪 輿 水 分 以 再 生 機 構 再 生 第 1 吸 着 機 構 » 在 第 3 m 段 則 以 第 3 吸 着 機 構 吸 着 去 除 壓 缩 空 氣 中 之 二 氣 化 m 與 水 分 » 以 第 1 吸 着 檐 構 吸 着 去 除 接 鼸 到 m 媒 之 空 氣 中 之 二 氣 化 硪 與 水 分 9 以 再 生 機 構 再 生 第 2 吸 着 機 構 然 後 以 上 述 順 序 返 覆 上 述 第 1〜第3 之各陏段。 如此安排 時 則 可 利 用 吸 着 去 除 接 觸 到 觸 媒 之 空 氣 中 之 二 氣 化 硪 與 水 分 之 吸 着 機 構 之 吸 着 量 f 較 吸 着 去 除 壓 编 空 氣 中 之 二 氣 化 硪 與 水 分 之 吸 着 機 構 之 吸 着 量 為 少 f 而進 行 效 率 良 好 之 吸 着去 除 及 再 生 作、 業 Ο 亦 即 9 可 以 將 吸 着 去 除 壓 缩 空 氣 中 之 二 氣 化 硪 與 水 分 而 吸 着 量 到 速 界 限 之 吸 着 機 構 移 至 再 生 過 程 9 將 吸 着 去 除 接 觸 到 嫌 媒 之 空 氣 中 之 二 氣 化 硪 與 水 分 而 吸 着 量 仍 有 宽 裕 之 吸 着 機 構 移 至 吸 着 去 除 壓 縮 空 氣 中 之 二 氣 化 碩 與 水 分 之 過 程 » 並 將 再 生 後 之 吸 着 機 構 移 至 上 述 吸 着 去 除 上 述 二 化 硪 與 水 分 之 過 程 〇 而 且 各 吸 着 塔 與 觸 媒 塔 是 個 別 分 閭 的 因 而 有 在 吸 着 塔 iX 充 吸 着 繭 之 作 業 很 容 易 之 優 點 0 而 且 t 再 生 過 程 可 以 僅 再 生 吸 着 塔 • 不 會 在 再 生 時 使 觸 媒 塔 内 之 觸 媒 劣 化 Ο 並 且 只 要 有 3 値 吸 着 塔 便 可 以 9 觸 媒 塔 僅 設 1 個 卽 可 - 不 僅 成 成 低 廉 * 且 可 收 到 上 述 優 異 之 效 果 〇 -2 6 - 請 先 閲 讀 背 之 注 項 再 填 窝 本 •頁 本紙崁尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ^762 . A7 _B7___ 五、發明説明（24 ) 圖式之簡單說明 第1圃傜表示本發明一買施例之構成圃； 第2圖傜表示上述實施例之作用之構成圈； 第3画僳表示本發明其他實施例之構成鼷； 第4匾傜表示將精製空氣分離為笛氣，翥氣等之装置 之構成圖； 第5圃傜表示上述分離裝置之S —實施例之構成圖； 第S圔换表示上述分離裝置之又一實施例之構成臞； 第7麵僳表示上述分離装置之再一實施例之構成圖； 第8圔傜表示傳统例之構成腿。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -27- 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. Α9 Β9 C9 D9 第84111903號專利申請案 修正申請專利範圍 1. 一種空氣分離方法，傷壓縮由外部取谁之空氣使 成壓縮空氣，將此壓縮空氣導入去除機構，去除空氣中之 二氣化硪與水分，再將經由上述去除機構之空氣予以深冷 液化分離，分成氛氣與氣氣之空氣分離方法，其特激為， 將上述壓编空氣導入去除機構前，先以冷却機嫌冷却壓縮 空氣時之壓縮熱使其昇熱之壓縮空氣，使其降溫後導人吸 着機構，吸着去除壓縮空氣中之水分，接着，令經由上述 吸着機構之空氣接觸到鼸媒，使空氣中之一氧化硪及氫氣 氣化。 2. 如申請專利範圍第1項所述之空氣分離方法，上 述觴媒為钯觴媒。 3. 如申請專利範圔第1項所述之空氣分離方法，上 述吸着機構為活性氣化鋁（Alumina)及分子篩中，至少為 分子鋪。 4- 訂 缓濟部中央搮準局負工消費合作杜印製 4. 如申瀚專利範圍第1項所述之空氣分離方法，其 中，可兼用作去除機構之吸着機構設有3個，並設有再生 此等吸着機構之再生機構，在第1階段，以第1吸着機構 吸着去除壓縮空氣中之二氣化硪及水分，以第2吸着機構 吸着去除接觸到觸媒之空氣中之二氯化硪與水分，以再生 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） S03782 ?9 秀你_D9_ 機嫌再生第3吸着機構，在第2階段以第2吸着機構吸着 去除壓縮空氣中之二氣化硪與水分，以第3吸着機構吸着 去除接觸到觸媒之空氣中之二氣化磺與水分，以再生機構 再生第1吸着機構，在第3階段，以第3趿着機構吸着去 除壓縮空氣中之二氣化磺與水分，以第1吸着機構吸着去 除接觸到嫌媒之空氣中之二氣化磺與水分，以再生機構再 生第2吸着機構，以上述順序返覆上述第1〜第3之各階 段。 空空除 之缩去 進壓此 取之過 部構經 外機將 由縮， 縮壓及 壓氣以 有空 ， 備述構 偽上機 , 由除 置經去 裝除之 離去分 分，水 氣構與 空機碩 種縮化 1 壓氣 氣二 5 空之 之中 氣氣 之機 構除 機去 離與 分構 化機 液缩 冷壓 深氣 之空 氣述 氣上 及在 氣. 氮為 成徴 離特 分其 化 . 液置 氣装 空離 之分 構氣 機空 之溫 溫降 昇而 而却 熱冷 縮構 壓機 之却 镌冷 機此 缩由 壓除 氣去 空着 因吸 却 ， 冷構 可機 ，却 設冷 配之 ，氣 間空 之縮 構11 _ 及 機以 夷 , 吸構 之機 分熱 水加 之之 中熱 氣加 空氣 之空 經濟部中央標準局負工消费合作社印装 之 化 氣 氣 氫 及 硪 化 氣 - 之 中 氣 空 之 之溫 除昇 去而 着熱 吸加 構構 。 機機構 着熱機 吸加媒 此此觸 由藉 將使 上 置 装 離 分 氣 空 之 述 所 項 5 第 圍 範 利 專 c 請媒 申觸 如鈀 為 6 媒 觸 逑 其 C ，篩 置子 裝分 離為 分少 氣至 空 ， 之中 述篩 所子 項分 5 及 第鋁 圍化 範氣 利性 專活 請為 申構 如機 着 70 中 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐）