TW203668B - Laser output control apparatus - Google Patents

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^ J36G8 Λ 6 η 6 五、發明説明（3) 圍 範 用 利 之 上 業Η 器 盪 振 射 雷 之 等Η 加 射 雷 於 用 使 種1 於 關 有 為 明 發 本 置 裝 制 控 出 輸 之 術 技 之 往 以 如 有 知 已 往 以 置 裝 制 控 出 輸 之 器1 振 射 雷 種 此 於 在 置 裝 之 示 所 鏡 射 反 分 RW- 咅 由 份 圖部 中 9 圖 該 IJ 反 之 3 出 輸 射 雷 之 偵 出 輸 射 雷 之 成 組 器偶 盪電 振熱 射由 雷經 度 強 之 3 出 輸 射 雷 測 偵 4 器 測 器 偵 出 輸 射 雷 與 5 令 指 出 輸 將 為 6 器 大 放 差 誤 者 再 輸 射 雷 之 11 器1 振 4MJ -Ιβρ 雷 制 控 此 由 大 放 較 比 予 施 值 出 輸 之 4 出 器 測 偵 出 輸 •ΒίΡ 雷 於 由 為 置 裝 制 控 射 雷 i 種 此 是 但 慢 緩 度 速 應 0 (請先閲讀背而之注意事項再项寫本頁) 雷 使 法 無 , 匕 成彳 構變 電 令 熱指 由出 出 輸方 於決 對解 有 0 具點 , 缺 下之 況隨 情追 種速 此高 5 圖 昭塊 開方 特之 案 置 開裝 公制 ο 利控 案專出 方本輸 之 日 射 示如雷 所示之 10表往 圖10以 如圔之 有 示 法 所 報 公 號 經濟部屮央櫺準局貞工消许合作社印驭 中 圖 之 3 出 輸 鏡令 射 反 分 咅 器該 盪由 振測 射偵 雷為 該 將 . Ir鏡 為彳 2 feT , 反 器分 盪部 振之 射 射 雷 反 為分 1 B. 0

射 雷 之 IX 指 為 偵 出 , 輸 器 射 測雷 偵述 出 前 輸入 射輸 雷 為 之7 度 ’ 強 之 出 輸 射 雷 之 出 射 反 所 2 令 指 出 輸 之 度 強 之 出 輸 射 雷 器 测 器 盪 振 射 雷 億 記 為 置 7 裝置 億裝 記算 式演 模往 , 出送 置輸式 裝之模 算Π)出 演er輸 之tt之 o 令 P 指 t 出PU 輸ut s. ο 與 { 出式 輸模 之出 11 輸 之 記 置 裝 億 記 式 模 出 輸 在 億_ 用 使 本紙張尺度逍用中國困家標準(CNS) TM規格（2]0X297公;it) 81. 2. 20,000 ^03〇G8 五、發明説明（4 ) 之 5 9* 號出 信輸 入 射 輸雷 器之 令盪1 指振 出射 lijlt® 於為 應做 對且 將並 式， 模算 出演 輸值 該之 器 器 盪 振 射 雷 此 由 ο 出 輸 號盪令 信振指 人射出 輸雷 輸 之向於 器 ，等 i—r> 盪 振 4UJ I田 值 之 動 之 置 裝 制 控 出 輸 射 雷 之 往 以 之 造 構 種 此 於 次 其 作中出 11α 1Χ 圖 在 ο 明 說 性 待 出 輸 入 輸 之 器I 振 射 雷 之 II 11 圖 用 併 9 號 信 入 輸 器 盪 振 射 雷 為 示 表 軸 輸 射 雷 示 表 軸 之 3 者 再 令 指 出 輸 此 在 號入 信輸億之 己 1 >1^ 8 盪 置振 裝射 億 雷 記 ， 式 模 出為 輸值 為 亦 此 之 5 時a 且 並 (請先閲讀背而之注意事項典项寫本頁) 出 輸 〇 射 X 雷 為該 成此 值因 之 ， 8)同 號相令 信值指 入之出 IS15II 令II器 I 如 旨 盪 設 振 此 輸 射 — 在 與 雷 〇 卩值 a g之Y 亦 3 為 出 rj 雷 時 b Y 為化 變 速 急 成 7 亦置 值裝 之算 3演 置 裝 億號 記信 式入 模輸 出器 輸盪 照 振 参射 之 8 器 盪 振 出 射輸 雷 射 將 雷 , 使 號侔 信 ， 億xb 記為 成 制 控 之 3 雷 之 為 變 值 出 輸 $ 雷 測 偵 確 正 法 無 使 即 4 器 測 偵 出 輸 SJ身 雷 時 此 經濟部t央榣準局员工消赀合作社印31 器 測 偵 之 慢 缓 度 速 應 置 響裝 用 算 使 演 即 由 亦經 9 I號直ί=口 ΓΑΙ 之入 3 xy 器 測 偵 出 輸 射 雷 與 而 定 設 輸 器 盪之 1± 振 射 雷 出 ο 3 出 輸 射 雷 制 控 度器 速盪 高振 以射 可 雷 此 ， 由 者 -再 關 無 之 接連為 時 上 钱 接 連 线 償解一 補欲 動明 自發 7 Γ 置 裝 化 變置 性裝 待億 出記 輸式 入模 輸出 之輸 -* 由 輸出 射輸 雷 於 據對 依常 式經 方此 之由 上 ， 題 問之決一 本紙張尺度逍用中國國家楳準（CNS) Ή規格（210x297公茇) Μ ο ΤΑ 圔 為 成 成言 億己言 之 8 器 偵 令 出 指 正 5 算 演 出 輸制 之控 1* 確 出 厶flij 81. 2. 20,000

^〇36bB Λ 6 Π 6 五、發明説明（5) WMU f 控 式 方 之 述 所 上 以 甴W- 裝題 制問 控値 出幾 輸之 射述 雷 所 之下 往以 以如 有 此 直 為 成 性 待 出 輸 入 輸 之 器輸 盪之 振 1 射器 雷盪 之振 1 射 圖 雷 , 之 中際 例實 往但 以 ， 狀 线 之 雜 複 成 形 性 待 出 輸 入 實致 ,一 性為 特成 出定 輸 一 入不 輸並 之 ， 狀狀 钱线 直曲 示 為 所性 11持 圖出 於輸 對入 , 輸 此之 因器 。 盪 狀振 钱之 曲際 題 η ί ο /—s 為工 成施 上 電 用通 實在 果其 結尤 大中 增例 差往 誤以 使 而 向 光 射 雷 即 亦 制 控 上 线 在 用 時 應 Η 於 力 _ 行置 施裝 際種 實此 而此 , 因 出 ， 輸慮 部考 外何 之任 器予 盪施 振未 射 並 雷 制 控 之 態 狀 之 (請先閲讀背而之注意事項孙艰寫本頁) 機者 之再 示 。 表題 之 問 式之 形上 種用 某實 備起 具引 未而 想 -理時 不器 並盪 來振 看射 點雷 觀型 之割 護切 保封 體氣 硬在 之其 源尤 電 〇 甩題 磁問 激有 之亦 器此 0 在 振果 由結 置 ， 經濟部屮央標準局貝工消"合作社印製 為 成 題 問 •1 種 此 此 因 fcE 违 快 化 劣 器 盪 振 。 射題 雷 問 之要 類重 種之 他視 其忽 較法 比無 解第射 為之雷 乃明之 明發際 發本實 本在於 似 近 者 KU 倉 研 而 題 問 述 前 決 得 求 易 容 供 提 於 在 的 巨 其 中 明 發 性 待 出 輸 入 輸 之 性 待 出 輸 入 輸 之 器 盪 振 度 確 精 好 良 於 應 對 以 可 出 輸 射 雷 之 器 。 盪置 振裝 射之 雷 令 , 指 法出 方輸 之之 边 度 尺 Λ 紙 本 (CN 华 家 腿 公

i)B ,03608 Λ 6 Π 6 五、發明説明（（3) 向 光 4UJ 雷 供 提 於 在 的 ΠΠ 其 中 明 發 補 體 具 之 下 態 狀 之Η 加 -J //Λ—· 施 。 際置 實裝 , 之 出用 輸使 第部易 之外容 明之用 發器實 本盪 ， 在振法 射方 雷 償 中 明 發 出 輸 β· ώ° 丨-卜 夕 之 第器 之盪 明振 發射 本 雷 在向 不 光 射 雷 用 併 供 提 於 在 的 百 其 及 以 態 狀 之Η 加 行 施 不 態 狀 之Η 行 。 施置 上装 際之 實 甩 ， 使 出易 輸容 部 上 外用 之 實 器 ， 盪法 振方 射 償 雷 補 向之 光體 射具 雷 之 發杓 4 對 第性 U 之待置 明出裝 發輸之 本入示 在輸顯 之常 器異 中 巨 其 提 於 在 盪 振 射 雷 (請先閱讀背而之注意事項#填寫本頁) 大 時 常 正 幅 離 偏 度 種 某 有 以 可

備 具 為 置 裝 制 控 出 法輸 方射 之 雷 題之 問明 決發 解L 射 雷 之 度 強 之 光 射 雷 之 出 輸 所 器0 振 射 雷 第 該 測 偵 器0 振 射 雷 測 偵 出 輸號 之信 度 令 強指 之入 出 輸 輸出 射輸 雷 器 及盪 號振 信射 出 I田 輸述 之 前 器於 Μ 對 偵 ， 出入 Α5£ 八！1,1 射為 雷 做 該號 ; 信 器出 值 之 號 信 令 指 入 ; 輸 置之 裝點 算間 演時 之 値 裝 算 演 該 於 线 接 億一依 記一 & 之I以 裝 據 信 , 等 置|此 三 用 使 少 至 述 前 之 號 經濟部屮央標準局只工消赀合作杜印虹 入置 輸裝 之 億 器記 盪於 振億 射記 雷而 述算 前演 , 置 值裝 之算 號演 信述 出 前 輸由 之經 器式 測模 偵之 出性 輸待 射出 雷輸 , 號 令 信 指令 出指 輸入 述輸 前述 與前 式出. 模輸 之器 性盪 持振 出射 輸雷 入述 II·前 之向 億置 記裝 所算 據演 依述 而前 。 ; 由者 發 2 第 第 雷 圍 之 範出 利輸 專所 請 器 申盪 在振 » 射 為 雷 置述 裝前 制 控中 出置 輸裝 射制 雷控 之出 明輸 射 雷 之 項 本紙張尺度边用中國圉家標毕（〇Ν5)Ή規格（210X297公犮） 81. 2. 20,000 03668 Λ 6 Π 6 經濟部屮央標準扁貝工消"合作杜印^ 五、發明説明（7) 射光，對於前述被加工物直接耠出時，每在一定時間Τ之 輸入指令信號之值I s ( T n ) ( η = 1，2 ,……），以及相當於對此 雷射振盪器所輸出之雷射光之強度之前述雷射輸出偵測器 之輸出信號之值V r ( Τ η )記億於記億裝置之同時將時刻（ T n + t )(但是時間t〈時間Τ )之_入指令信號之值I s ( T n + t )， 以及依據該信號之前述雷射锫出偵測器之輸出信號之值W「 (Tn + t)記億於記億裝置，僅限於輸入指令信號之值Is (Τη) 與輸入指令信號之值I s ( Τ η + t )大約相等之情況，使用時刻 (T n + t)下之輸入指令信號之值I s ( T n + t )及雷射輸出偵測器 之輸出信號之值Vr(Tn + t)演算，由此求出前述雷射振盪器 之輸入輸出特性之補償量者： 一. I — ^ 第3發明之雷射輸出控制裝置為，在於申請專利範圍 第1項所述之雷射輸岀控制裝置中，雷射振盪器所輸出之 雷射光，未到達彼加工物前被遮斷時，至少使用三個時間 點之輸入指令信號之值，以S砍據此等信號之前述雷射輸 出偵測器之輸出信號之值，前述雷射振1器之輸入輸出待 性之模式由前述演算#裝置演算而記億於記憶裝置中之同時 ,前述雷射振盪器所輸出之雷射光，對於被加工物直接輸 出時，將每一定時間T之輸入指令信號之值I s ( T n ) U = 1 , 2 , ……），以及相當於雷射振盪器所輸出之雷射光之強度之 前述雷射輪出偵測器之輸出信號之值Wr (Τη )記億於記億裝 置，另一方面將時刻（T n + t)(但是時間t〈時間Τ )之輸入信 號之值Is (Tn + t),以及對此相當於雷射振盪器所輸出之雷 射光之強度之前述雷射輸出偵測器之輸出信號之值W r ( (請先閲讀背而之注意枣項#艰窵木頁) 本紙張尺度边用中國Η家標準（CNS) 規格（210X297公足） 81. 2. 20,000 Λ 0 Ιϊ 6 L036G8 五、發明説明（8 ) (請先閱-背而之注意事項孙碭寫本頁) Τ η + t )記億於記億裝置，隈於輸入指令信號之值I s ( Τ η )與 輸入指令信號之值I s ( Τ η + t )大約相等之情況，使用時刻（: T n + t)下之輸入指令信號之值I s ( T n + t)及雷射輸出偵測器 之輸出信號之值W r ( T n + t )演算，由此求出前述雷射振盪器 之輸入輸出待性之補償量。 第4發明之雷射輸出控制裝置為，具備雷射振1器； 偵測該雷射振盪器所輸出之雷射光之強度之雷射輸出偵測 器；該雷射輸出偵測器之輸出信號及指令雷射輸出之強度 之輸出指令做為輸入，對於前述雷射振盪器輸出輸入指令 信號之演算装置；接线於該演算裝置之記憶裝置；以及接 线於前述演算裝置之顯示裝置；使用輸入指令信號之值， 以及依據該信號之前述雷射輸出偵測器之铪出信號之值， 演算前述雷射振盪器之輸人輸出特柱之模式（patter· η)時， 所求得之前述雷射振盪器之ffi入锫出待性，由記億於記億 裝置ΙΤΠ具有任意有陪巾§度之正常之輸入輸出待性偏離時， 在前述顯示裝置施行某種顯示 [作用] 經濟部屮央標準^β工消费合作社印" 本發明之雷射輸出控制裝置中，使用至少三個時間點 之輸入指令信號之值，以及依據該信號之雷射輸出偵測器 之輸出信號之值，前述雷射振盪器之輸入輸出特性之模式 由前述演算裝置演算之方式構成，因此依據輸入輸出待性 之模式與輸出指令，經由前述演算裝置之動作輸出輸入指 令信號，结果成為非常接近實際之輸入輸出模式者。 再者在另一發明，將時刻（T n + t )(但是，時間t〈時間 本紙張尺度逍用中國困家楳準（CNS) ΤΊ規格（2】0x297公;!!:） 81. 2. 20,000 03obb Λ 6 Π 6 五、發明説明（9 ) 述置Is 前裝值 之億之 號記號 信於信 該.憶令 據記指 依t)入 及n+輸 以 ，<_ 與 P \—/ ， V Π •XI/ . T1 t 值 .ί + 7- S C 之 I (Τ號值 Is信之 值出號 之輸信 號之令 信器指 令 測入 指偵輸 入出於 輸輸限 之射僅 T 雷 ， + η 值 之 號 t 出 Π+輸 (T之 刻 器 時測 S偵 使出 , 輸 況射 情 雷 之 及 等t) 相n+ 約(T 大Is 信 令 {si 入值 輸之 之號 下信 + Π 待 出 輸 入 輸 之 器 盪 振 射 雷 述 前 出 求 此 由 算 演 -了 施 況 情 之 出 輸 物Η 加 被 向 接 直 光 射# 在 此 因 «. 〇 者償 量補 償行 補施 之可 性亦 算 淺 於 线 接 備 具 明 發1 另 在 者 再 =口 /Ί 該 據 依 及 以 值 之 號 信 令 指 入 輸 用 使 置輸 裝射 示 雷 顯述 之 前 置之 裝號 輸性 入恃 輸出 之輸 器入 鹽輸 振之 射 器 雷盪 述振 rj 穿身 算 雷 演述 , 前 值 之 之求 號所 信 ， 出時 輸式 之模 器之 rfy · Ξ S 性 偵待 出出 之方 時之 常示 正顯 之 種 度 某 一 0S 一了 ώψ yi 限施 有置 之 裝 意示 任顯 有 述 具 前 之由 置 ， 裝時 億 離 記偏 在性 憶 待 記 出 先輸 預入 由輸 狀 異 之 置 裝 覺 發 易 容 者 業 作「J 此1^ Μ 因& ’ 實 成[? 構 式 (請先閲讀背而之注意事項孙艰寫本頁) 經濟部屮央橾準局员工消货合作社印製 率 〇 光 例透 施有 實具 1方 第一 之 明 發 本 明器 説盪 , 振 下該 以 ， 器 盪 其 在 為 中 11 圖 振 射 雷 為 鏡 射 反 全 之 射 彡 - 為 雷做 1 出 器輸 盪之 振來 該送 為側 3 鏡 b 射 1反 鏡全 射 έ 反 1 分器 部盪 有振 具射 側 雷 一 由 之為 ] a 向 4 對 ， 相出 ， 輸 器 測 偵 出 輸 射 雷 之 成 組 偶 電 熱 ’ '度 之 入強 之 輸 3 該 輸 測 偵 測 偵 此 由 出 輸 射 雷 於 例 比 為 出 } 輸度 射強 雷 之 3 W壯衣 為 W 7 知具 寅 令 之 指號 出信 輸出 之輸 號 信 彳 壓 器 電 測 之偵 出 出 輸 輸 ί 身 身 甲日 lta ^B"'SI 求與 13 所 於 例 比 為 令 指 出 輸 該 入 之 a 本紙張尺度边用中困S家楳準(CNS)T4規格(2〗0父297公龙) 81. 2. 20,000 L03BG8 Λ 6 Π 6 五、發明説明（1d 射之 雷 性 將待 先出 預輸 此入 在輸 , 該 置 。 裝億 億記 記式 之模 置之 裝性 算特 演出 該輸 於入 线輸 接之 為S,1 置振 7;出 置輸 裝該 算 於 演應 往對 送將 式式 模 模 乃 7 器 盪 振 射 置 雷 裝 算 演 之 5 令 旨 之大 性之 待號 出信 輸入 入輸 輸之 該1 據 依 此 由 算 演 小 者 再 〇 出 輸 成 構 腦 電 微 用 使 > 號 言 /1 入 輸 器 盪 振 射置 雷裝 為算 做 演 器 盪 振 射 雷 向 為 8 置 裝 億 記 及 控軸 CTJ 更光光 變之射 帛71:3*® S广射 射 ： ,- 反 雷 更 I 在 之 變ίΰ置 *以 式所了 1 可 程 ί 器有 e)0 具 od振鏡 C ί 付 ΓΟ雷反 1C在全 (m置該 碼配 ， 微為鏡 由 1 射 經 。反 且能全 並機之 , 制上 κ« 構 機 之 置 位 何 任 之光 置射 位 雷 之述 過前 通於 而對 ί ο 哀？ 1—I 反鏡 不射 在反 置全 配在 或置 1 配 置為 位11 之 ' 〇 某 成 形 軸 光 之 方 之 光 射 反 該 入 射 器 由盪 , 振 軸 射 光 雷 之述 光前 射由 反 且 之 並 射 ， 反 體 式收 方吸 之之 度置 角配 種式 4J 身 雷 之 出 輸 所 (請先閲讀背而之注意事項/)-璜寫本I) 為 鏡 射 反 全 向 置 位 之 ο f—_ 鏡 射 反 全 述 前 由 擇 選 以 可 髏 收 吸 述 前 於 入 射 而 射 光反 射 反 ο 鏡 射 反 金 述 前 由 不 或 經濟部屮央楳準局员工消赀合作社印51 出 輸 射 雷 自1目 K實 3¾ 1—- 之第示 作明表 動說軸 方 3 X 圖 在 一 2 9 何圖號 任用信 等使入 出 ，輸 輸次器 接其盪 直 振 而 射 作 動 之 例 施 雷 示 將表 中軸 2 Y 圖在 盪 之 振 8 射置 雷裝 之億 際 記 實為 示 即 表亦 , 此 為 ， 线者 曲再 之 〇 示线 表曲 线之 波性 由待 中出 圖輸 > 入 者輸 再之 〇 器 號作 信動 億之 記性 持 出 輸 入 輸 之 明 發 本 出 求 明 說 3 圔 用 使 先 首 圖 程 流 之 式 程 作 gl-Br,ty, 33 之 置 裝 示 所 11 圖 示 表 為 3 圖 式 程 (?驟 e 步 1J 第 由 E 為 碼置 微裝 為 算 做 演 式 程先 作 首 動 該 置 ),裝 t憶 記 於 容 收 Γ a ο Γ

ο C 本紙张尺度逍用中困國家榣準((：Ν5)Ή規怙（2]0X297公龙) 81. 2. 20,000 Λ 6 η 6 L036G8 五、發明説明（11) (請先閲讀背而之注意事項#艰寫本頁) 斷雷射振盪器1所輸出之雷射光3是否經由全反射鏡1 0反射 而射入於吸收體11 ,亦即判斷是否實際並未施行加工等時 ，實際並未施行加工之情況下，由第2步驟S 2做為雷射振 憑器輸入信號9將Xa向雷射振盪器1輸出。並且，在第3步 驟S3考慮雷射輸出偵測器4a之時常數等待預定時間後，在 第4步驟S 4演算裝置7輸入對於雷射振盪器輸入信號X a之雷 射輸出Ya (雷射輸出偵測器4之輸出信號）輸入，將此做為 1組資料（X a , Y a )收容於記億裝置8。以下，由第5步驟S 5 至第1 0步驟S 1 0施行相同動作，輸入對於雷射振盪器輸入 信號X b , X c之雷射輸出Y b及Y c ,分別做為資料（X b , Y b ), (X c , Y c )收容於記億裝置8。經由該動作终了第1 0步驟S 1 Ο 之時間點，得、到對於任意之3點之輸入信號（輸入指令值） 之3點雷射輸出值之資料，並且在次一第1 1步驟S 1 1至第1 3 步驟13中施行資料之改寫。在此，做為一例，實際由曲线 表示之雷射振盪器之輸入輸出待性，使用前述3組資料由2 値线段近似之方法。首先使用（Xa, Ya)及（Xc, Yc)求出圖 2所示线段a , c。在此线段a c由一次式表示得 經洧部屮央標準局员工消作合作杜印3i X = ( A 1 / B 1 ) * Y + C 1...... 在此A1,B1,C1為由下式求出， • A1 = Xc-Xa Bl=Yc-Ya c 1 = xc- (a 1 /bmYc 因此使用（Xa, Ya)及（Xc, Yc)可以求出圖2所示线段 ac。同樣，使用（Xc, Yc)及（Xb, Yb)@_可求出圖2所示线 本紙張尺度边用中國困家楳準(CNS)TM規怙(210x297公;«：) 81.2.20,000 11 經胯部屮央標準局员工消许合作社印製 k,036G8 Λ β _Β6_ 五、發明説明（1 2) 段cb。线段cb由一次式表示得， X=(A2/B2)*Y + C2...... 結果A2， B2， C2可以由下式求出， A2 = Xb -Xc B2=Yb-Yc C2=Xb-(A2/B2)*Yb 如此，由曲线表示之雷射振盪器之輸入輸出特性，可 以使用3組資料由2個线段近似表示。由圖2可以明瞭，比 較近似於-直线ab之情況，由2値线段近似表示時更為近似 於實際之雷射振盪器之輸入輸出持性。 由於此，在第1步驟S11使用（Xa, Ya)及（Xc, Yc)求出 常數Al, Bl, Cl,在第12步驟使用（Xc, Yc)及（Xb, Yb)求 岀常數A 2 , Β 2 , C 2 ,新得到之雷射振盪器之輸入輸出待性 之近似式之常數為，在第13步驟S13由以前之常數改寫， 常時獲得表示最新之雷射振盪器之狀態之輸入輸出待性之 近似式。 其次使用圖4說明线上狀態之補償動作。圖4為表示圖 1所示裝置之動作程式之流程圖。演算裝置7為，由第1步 驟S21判斷雷射振盪器1所輸出之雷射光3,是否不經過全 反射鏡10之反射而直接輸出，亦即是否施行實際之加工， 設如為實際施行加工之時期則施行圖4所示動作。首先， 演算裝置7為，在第2步驟S2將時刻T1之輸入指令值Is(Tl) 及輸出偵測值W r ( T 1 )收容於記億裝置8。並且，在第3步驟 S 2 3由T 1等待間t。其玄，在第4步驟S 同樣將時刻T 1 + t下 12 本紙張尺度逍用中國國家榣準(CNS)>P4規格(210X297公龙) 81. 2. 20,000 (請先閲讀背而之注念事項孙艰莴本頁) ^〇36b8 經洧部中央櫺準，局貝工消作合作杜印^ 五、發明説明（1 3) 之輸入指令值I s ( T 1 + t )及輸出指令值W r ( T 1 + t )收容於記铠 裝置8。其次，演算裝置7為限於在第5步驟S 2 5 [時刻T 1下 之輸入指令值I s ( T 1 )=時刻T 1 + t下之輸入指令值I s ( T 1 + t )] 時，或在[時刻T 1下之輸入指令值I s ( T 1 ),時刻T 1 + t下之 輸入指令值I s ( T 1 + t)]時，在第6步驟S 2 6施行求出補償量 之演算。設如在[時刻T 1下之輸入指令值I s ( T 1 )弇時刻 Tl + t之輸人指令值Is(Tl + t)]時，不施行企求補償量之演 算。並且，所求得之補償量，在第7步驟S27對於預先記憶 在記億裝置之雷射振1器之初期之輸入輸出待性加算或減 算。 同樣，由時刻T1每在經過時間T,反覆施行前述動作 c亦即，在時刻T 2 ,將時刻T 2之輸入指令值I s ( T 2 )及輸出 偵測值W r ( T 2 )收容於記憶裝置7。然後由T 2等待時間t。其 次，時刻T 2 + t之輸入指令值I s ( T 2 + t )及輸出偵測值W r ( T 2 + t )，同樣收容於記億装置8。 此種一連串之動作使用圖5說明之。圖5為，表示施行 補償動件之時間時期（i n t e r v a 1 )與各時間下之輸入指令值 及輸出偵測值。圖5中，在時刻T 1 + t ,由於I s ( T 1 ) = I s ( T 1 + t),因此旅行補償動作。但是，在時刻T 2 + t，由於I s ( T 2 ) 关Is(T2 + t),不施行補償動作。其理由在，時刻T2 + t對於 Is (T2 + U之雷射輸出信號為，理應成為圔5所示'' W 〃值， 而實際上由於雷射輸出偵測器4之時常數使雷射輸出信號 之值成為W r ( T 2 + t)。亦即W # W r ( T 2 + t )。換言之，在此時 刻施行補償時可能成為錯誤之補償量。亦即，時間t為考 (請先閲-背而之注意事項典堝寫本頁) 裝· 線- 本紙張尺度逍用中®困家楳準（CNS)^M規格（210X297公茇） 81. 2. 20,000

L036GB Λ 6 Β 6 五、發明説明（1 4) 器 測 偵 出 輸器 射測 雷 偵 慮 出 之 4 輸 4WJ 身 雷 由 需 祗 數 常 C 之可 設即 所值 Γ t 數Γ< 常於 時擇 1 數 常 時 之 之 明 說 雷 將 中 6 圔 信 入 輸 之 器0 偵 出 輸 圖射 由 雷 法’ 方示 之表 量軸 償 補 出號 求信 將入 ， 輸 次器 其盪 振 射 在 段 线 中 圖 C 示 表 之 性 〇 待示 出表 輸式 入下 _ 由 . b 之 ¢0 ί 器分 Ϊ盪线 在振 ， 則射時 號 雷示 之 置 裝 億 記 在 億 記 先 預 為 分 表 值 似 近 由 式 次 置為 裝號 億 信 記 測 在偵 億出 記輸 先射 預 雷 , 之 vr際 令 實 指 ， 出Is 輸為 射 號 雷 信 之入 求輸 所器 於盪 對振 4UJ 此 雷 在 之 求 式 下 由 X 值 償 補 之 號 信 入 輸 器 盪 振 射 雷 時 (請先閱讀背而之注意事項#艰寫本頁) 出

X 輸 器 盪 振 射 雷 之 Γ W 令 指 出 輸 射 雷 之 求 所 於 對 S , I 此值 於之 由號 •15 /1» 入 給 供 式 下 由 S I—_ 時 Η 加 1Ί 施 際 實 上 线 在 使 即 述 所 前 如 0 振 射 雷 經濟部屮央標準灼EX工消赀合作杜印製 化 變 值 出 輸 射 雷 。 之值 求令 所指 . 入 之輸 ^a償 換補 ( T 況間 情 時 之定 化 一 變每 9以 號 可 信 } 入況 輸情 器之 狀不 上光 线射 與 雷 bb 4EC , 機即 之亦 性 〇 待作· 出動 輸之 入況 輸情 之之 述用 前併 出 厶口 求組 ΕΠ? 匕匕 As 說機 ， 之 次償 fcLX flhT> 其補 之 態 時 e 3 用同 意 適之 任 ，式 於值模 對 該 之 將用性 , 使待 ) , 出 億輸 丨記入 I 值輸 ff出之 (0輸器 時 射盪 出雷振 輸之射 部值射 外令出 之指求 器入去 盪輸似 振之近 射上之 雷 以當 向點適 本紙張尺度边用中® S家楳準（CNS) T4規格（2〗0x297公龙） 81. 2. 20,000 L036G8 Λ 6 Π 6 經濟部中央標準局Μ工消仰合作社印製 五、發明説明（1 5) 時，在於雷射光向雷射振邊器之外部_出時（ο η - 1 i n e時） ，記億每一定時間T之輸入指令值I s ( Τ η )及對該值之雷射 輸出值W r ( Τ η ),另一方面，記億時刻（T n + t )之輸入指令值 I s ( T n + t )與對於該值之雷射輸出值V r ( T n + t ),限於[輸入 指令值I s ( Τ η )=輸入指令值I s ( 了 n + t )]或[輸入指令值I s ( Τ η )輸入指令值I s ( T n + t )]之情況，使用輸入指令值I s ( T n + t ) 及雷射輸出值tf r ( Τ η + t )之值施行演算，求出雷射振盪器之 輸入輸出恃性之補償量，由此使雷射振1器之輸入輸出， 可以對應於所求之輸出值之方式控制雷射振盪器。 [實施例2 ] 其次，使用圖7及圖8說明本發明之第2實施例。該第 2實施例中主要持徵在具備顯示裝置之一點。記億裝置7為 ,預先將具有任意之有限輻度之正常時之輸入輸出特性由 圖8所示記億。演算裝置7為，輸入指令值9對於雷射振盪 器1輸出。對於該輸人指令值9之雷射振盪器1所輸出之雷 射光3之強度，由雷射輸出偵測器4偵測。演算裝置7為， 使用所偵測之雷射輸出值與輸+指令值，演算雷射振盪器 1之輸入輸出特性之模式。演算裝置7為，演算所求得之雷 射振盪器之輸入輸出待性，由預先記億而具有任意之有限 幅度之正常時之輸入輸出待性偏離時（圖8為演算求出之雷 射振盪器之輸入輸出待性（2)之情況），對於顯示裝置12施 行某種異常表示（例如光信號，接點信號等）。再者，演算 求出之雷射振1器之輸入輸出待性進入正常時之輸入輸出 待性之範圍内時（圖S中，演算所求雷射振盪器之輸入輸出 (請先閲1?背而之注7&.事項#艰寫本頁) 裝· 訂一 線 卜紙张尺度逍用中國Η家樣準(CNS)TM規格（210x297公龙） 81. 2. 20,000 1 5 k,036G8 經濟部中央槛準局β工消作合作杜印製 五、發明説明（1渗 特性（1 )之情況），對於頴示裝置1 2不需施行表示。 [發明之效果] 如前所說明，本發明之第1發明為，由於使甩至少3値 時間點之輸入指令信號之值，以及依據該信號之雷射輸出 偵測器之輸出信號之值，前述雷射振1器之輸入輸出特性 之模式由前述演算裝置演算，因此容易求出近似於實際之 雷射振盪器之輸入輸出待性之輸入輸出待性，由此具有可 以獲得雷射振盪器之雷射輸出由良好精確度對應於輸出指 令之裝置之效果。 本發明之第2發明為，由於將時刻（T n + t )(但是，時間 t_〈時間T )之輸入指令信號之值I s ( T n + t ),及依據該信號值 之前述雷射輸出偵測器之輸出信號之值V r ( 了 n + t )記億在記 億裝置，僅限於輸入指令信號之值I s ( Τ η )與輸入指令信號 之值I s ( T n + t )大約相等之情況，使用時刻（T n + t )下之輸入 指令信號之值I s ( T n + t )及雷射輸出偵測器之輸出信號之值 W r ( T n + t )施行演算，由此求出前述雷射振盪器之輸入輸出 待性之補償量者，因此雷射光對於被加工物直接輸出時可 以施行補償，結果具有實用上容易獲得可以旋行輸入輸出 待性之自動補償之雷射輸出控制裝置之效果。 本發明之第3發明為，由於對演算裝置自動補償雷射 振盪器之輸入輸出待性之時間（timing),併用施工（online)之 狀態與 不施工 （off-line) 之 狀態之 具體之 補償方 法，具有實用上容易獲得可以施行輸入輸出持性之自動補 償之雷射輸出控制裝置之效果。 (請先閲讀背而之注意事項再艰筠本頁) 裝- -•w 線， 本紙張尺度逍用中a Η家樣準（CHS) TMm怙（210X297公龙） 81. 2. 20,000 16 ^〇36Gb Λ 6 B 6 五、發明説明（1 ) 顯 之 置 裝 算 演 於 线 接 備 具 於 由 為 明 發 4 第 之 明 發 本 前器輸 之1之 值振器 號射盪 信雷振 該述射 據前雷 依算述 及 演 前 以 ，求 , 值所 值之 ， 之號時 號信出 信出求 令輸式 指之模 入器之 輸測性 用偵待 使出出 么Si I · -~ ， -SHI Flu*· 置射入 裝雷輸 示述之 度 行 幅施 限置 有裝 之示 意顯 任述 有前 具於 之對 置 -裝時 億離 記偏 在性 億特 記 出 先輸 預入 由輸 性之 待時 出常 輸正 入之 輸表效 之常之 器異護 盪種保 振某之 射行源 雷施電 得以用 獲可磁 以 ，激 可時之 有離器 具偏盪 果度振 結幅行 ， 大施 成值以 構常可 式正此 方由由 之性 ， 示待置 表出裝 種輸之 某入示 專 請 串 明 示 說 W表 簡 1 之圖 〇 面 果圖 之 明 發 本 之 項 3 及 2 (請先閲讀背而之注意事項#堺寫木頁) iiY^ 塊在 方出 之輸 置射 裝雷 之 ， 例示 施表 在 號 言 /— 入 輸 器 盪 振 射圖 1’ 雷 ， 第將圖 圍為之 範]2示 圖 利 表 實軸 圍 範 利 專 請 串 示 表 為 及 4 圔 作 , 之 圖例 程施 流賁 之 一 式之 程明 作發 動本 之之 例項 施 實 一 第 之圍 明範 發利 本專 之請 項申 示 表 第為 及 2 申 示 表 為 請 經濟部屮央標準局貞工消贤合作社印51 間 期 間 時 之 作 動 償 補 圔行 ，施 圖例 程施 流實 之一 式之 程明 發 本 之 項 3 及 2 第 圍 範 利 專 V Γ Θ 時 各 與 射 雷 將 為 圖 之 示 圖表 ， 軸 /1 號 信 出 輸 射 雷 及 號 信 入 輸在 器號 盪信 振入 射輸 雷 器 之盪 間振

在 出 輸 射 雷 示 表 軸 X 之 明 發 本 之 項 4 圖 圖 在 號 -1Π 入 輸 器 盪 第振 圍射 範雷 利將 專為 請 申 為 圖 圖 之 示 表 軸 圖 圖 塊 方 之 塊在 方出 之輸 置射 裝雷 之 -例示 施表 實1軸 造之 構造 之構 置之 裝置 制裝 控制 出控 輸 出 射# 雷 之 雷 往之 以往 示以 表示 為表 19為 圖 < 本紙張尺度逍用中國國家樣準(CNS)^M規格(210x297公釐） 81. 2. 20,000 03608 Λ 6 Π 6 五、發明説明（1沒 方塊圖，圖11為雷射振盪器輸入信號在X軸，雷射輸出在γ 軸表不之圖。 匾中主要符號分別表示， 1…雷射振盪器，2…部分反射鏡，3…雷射光（雷射輸 出），4…雷射輸出偵測器，5…輸出指令，6…誤差放大器 ，7…演算裝置，8…記億裝置，9…雷射振盪器輸入信號， 10…全反射鏡，1 1…吸收體，1 2…顯示裝置。 · (請先閲誚背而之注意事項#硝寫本頁) 經濟部屮央標準扃员工消"合作社印製 ΜΛ張尺度边用中國Η家標準（CNS) TM規怙（2】0X297公；《：) 81. 2. 20,000 18

Claims (1)

1. AT^03608 C7 D7 六、申請4利範圍 經濟部屮央標準局员工消f合作社印蚁 雷該輸信使之器記出輸 射，： 記時值於令下出器 該之令·’號盪於輸述 雷時；射Tn)t<號億指+t)輸 1 測器度指置信振億述前 述出 信記入n+之振 偵測強入裝該射記前出 前輸1W 時該+ t輸丨器备 ,偵之輸億據雷而與輸 ，接n=出值是據τη+與刻測雷 器出出出記依述算式器 置直)(輸之旦依Γ(ττη)時偵述 憑輸輸輸之及前演模盪 裝物(τηιΐ號 Π 及wrs(T用出前 振射射器置值，置之振 制工s(§gp信t)以值Is使輸出 射雷雷盪裝之值裝性射 控加11憑出τη+，之值，射求 雷之令振算號之算待雷 出被U振輸(T+t)號之況雷此 :度指射演信號演出述 輸述 ί之刻n+信號情及由 備強及雷該令信述輸前 射前言雷器時s(出信之+t，。 具之號述於指出前入於 雷於^ίΛ、、測將Is輸令等τη+算者 ，光信前线入輸由輸對 之對h偵亦值之指相S(T演量 置射出於接輸之式之置。項光入 ΐ 出，之器入約I行償 裝雷輸對及之器楔億裝者1射lMt輸時號測輸)λ值)¾補 制之之，以點測之記算徵第雷之言射同信偵於+t之+t之 控出器入；間偵性所演特圍之 TW 雷之令出限τη號τη性| 出輸測輸置時出特據述為範出間一 述置指輸僅S(T信r(T待+ 輸所偵為裝個輸出依前號利輸時"前裝入射 ，18令：^出 射器出做算 3 射輸由信專所定及之億輸雷置值指值輸 雷盪輸令演少雷入置，令II器 一义度記之述裝之入之入 種振射指之至述输裝令指申盪毎 > 強於Τ)前億號輸號輸 一 射雷出號用前之億指入如振將),之億間之記信之信之 {a先«!讀背面之注意事頊再填寫本頁) 木蚊沒又度適用中®國家標準（CNS)甲‘丨^^(210x297公釐） A7 ^〇36〇S c? __D7_ 六、申請專利範圍 3.如申請專利範圍第1項之雷射輸出控制裝置，其中，雷 射振盪器所輸出之雷射光，未到達被加工物而被遮斷時 ，使用至少3個時間點之輸入信號之值，以及依據該信 號之前述雷射輸出偵測器之銷出信號之值 前述雷射振 盪器之輸入輸出待性之模式甴前述演算裝置演算而記億 於記億裝置之同時，前述雷射振盪器所輸出之雷射光， 對於被加工物直接輸出時，每一定時間τ之輸入指令信 號之值I s ( T n ) (n = 1 , 2 ,......),以及相當於對此雷射振盪 器所輸出之雷射光之強度之前述雷射輸出偵測器之輸出 信號之值W r ( Τ η )記億於記億裝置，另一方面亦將時刻（ T n + t)(但是，時間t〈時間Τ )之輸入指令信號之值I s ( T n + t ),及相當於對該信號值雷射振證器所輸出之雷射 光之強度之前述雷射輸出偵測器之輸出信號之值W r ( 經濟部中央標準局貝工消贽合作社印製 {請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) Τ n + t )記億於記億裝置，僅限於輸人指令信號之值I s (Τ n )與輸入指令信號之值Is (Tn + t)大約相等之情況，使用 時刻（Τ n + t )之輸入指令信號之值I s ( Τ n + t )及雷射輸出偵 測器之輸出信號之值V r ( Τ n + t)演算，由此求出前述雷射 振盪器之輸入輸出特性之補償量者。 4 . 一種雷射輸出控制装置，具備：雷射振盪器；偵測該雷 射振盪器所輸出之雷射光之強度之雷射輸出偵測器；該 雷射輸出偵測器之輸出信號及指令雷射輸出之強度之輸 出指令做為輸入，對於前述當射振盪器輸出輸入指令信 號之演算裝置；接线於該演算裝置之記億裝置；以及接 线於前述演算裝置之顯示裝置，而使用輸入指令信號之 本紙張尺度適用中國Η家標準（CNS)甲4規格（210x297公釐） 20 ,036^8 A7 B7 C7 D7 六、申請專利範面 號在特 信億出 出記輸 輸由入 〇 之 ，輸者 器性之示 測特時表 偵 出常種 出輸正某 輸入之行 射輸度施 雷之幅 置 述器限裝 前盪有示 之振之顔 號射意述 信 雷 任前 該述有於 據 前具對 依算而 ， 及演置時 以 ，裝離 , 值億偏 值之記性 (請先閲讀背面之注意事項再填其本百) 經濟部屮央標準局貝工消费合作社印製 本紙張尺度適用中B國家揉準(CNS)甲4規格(210x297公釐）